JPH0835883A - マイケルソン干渉計 - Google Patents
マイケルソン干渉計Info
- Publication number
- JPH0835883A JPH0835883A JP6169126A JP16912694A JPH0835883A JP H0835883 A JPH0835883 A JP H0835883A JP 6169126 A JP6169126 A JP 6169126A JP 16912694 A JP16912694 A JP 16912694A JP H0835883 A JPH0835883 A JP H0835883A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beam splitter
- mirror
- fixed mirror
- light
- light path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、高密度な光路長の調整制御を実現
し得るようにして、検出精度の向上を図ることができる
マイケルソン干渉計を提供することを目的としている。 【構成】 本発明は、アライメント検出部１７が、移動
鏡１３の移動中に発生するアライメント誤差を検出し、
この誤差が固定鏡１２の駆動部１９にフィ−ドバックさ
れ、アクチュエ−タ１８ａ，１８ｂが駆動部１９の制御
により前述のアライメント誤差が最小になるように固定
鏡１２の角度制御を行うように構成されている。
し得るようにして、検出精度の向上を図ることができる
マイケルソン干渉計を提供することを目的としている。 【構成】 本発明は、アライメント検出部１７が、移動
鏡１３の移動中に発生するアライメント誤差を検出し、
この誤差が固定鏡１２の駆動部１９にフィ−ドバックさ
れ、アクチュエ−タ１８ａ，１８ｂが駆動部１９の制御
により前述のアライメント誤差が最小になるように固定
鏡１２の角度制御を行うように構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、空気中の成分を分析す
るマイケルソン型フ−リエ分光計、例えばマイケルソン
干渉計に係わる。
るマイケルソン型フ−リエ分光計、例えばマイケルソン
干渉計に係わる。
【０００２】
【従来の技術】マイケルソン干渉計は、図２に示すよう
に周知のビ−ムスプリッタ２１が、その視線軸（入射光
路）を測定方向に指示されて配置される。このビ−ムス
プリッタ２１の透過光路には、固定鏡２２が配置され
る。固定鏡２２は、ビ−ムスプリッタ２１を介して導か
れた観測光を反射して再びビ−ムスプリッタ２１に導
く。
に周知のビ−ムスプリッタ２１が、その視線軸（入射光
路）を測定方向に指示されて配置される。このビ−ムス
プリッタ２１の透過光路には、固定鏡２２が配置され
る。固定鏡２２は、ビ−ムスプリッタ２１を介して導か
れた観測光を反射して再びビ−ムスプリッタ２１に導
く。
【０００３】また、ビ−ムスプリッタ２１の反射光路上
には、移動鏡２３が、駆動部２４，アクチュエ−タ２８
を介して矢印方向Ａ，Ｂに直線走査自在に配置される。
そして、ビ−ムスプリッタ２１の干渉光路上には、光検
出器２５が配置される。これにより、ビ−ムスプリッタ
２１で反射した観測光は、移動鏡２３に導かれて該移動
鏡２３で反射され、再びビ−ムスプリッタ２１に導かれ
る。この際、移動鏡２３は、駆動部２４により反射光路
上に所定の状態に直線駆動されて光路長が可変設定され
る。
には、移動鏡２３が、駆動部２４，アクチュエ−タ２８
を介して矢印方向Ａ，Ｂに直線走査自在に配置される。
そして、ビ−ムスプリッタ２１の干渉光路上には、光検
出器２５が配置される。これにより、ビ−ムスプリッタ
２１で反射した観測光は、移動鏡２３に導かれて該移動
鏡２３で反射され、再びビ−ムスプリッタ２１に導かれ
る。この際、移動鏡２３は、駆動部２４により反射光路
上に所定の状態に直線駆動されて光路長が可変設定され
る。
【０００４】移動鏡２３の移動中に発生するアライメン
ト誤差は、アライメント検出部２７によって検出され、
この誤差を移動鏡２３の駆動部２４にフィ−ドバック
し、このアライメント誤差が最小になるようにアクチュ
エ−タ２８が移動鏡２３の角度制御を行う。
ト誤差は、アライメント検出部２７によって検出され、
この誤差を移動鏡２３の駆動部２４にフィ−ドバック
し、このアライメント誤差が最小になるようにアクチュ
エ−タ２８が移動鏡２３の角度制御を行う。
【０００５】ここで、上記固定鏡２２からの光と、移動
鏡２３からの光は、ビ−ムスプリッタ２１に導かれて干
渉されて、その干渉した光が光検出器２５に導かれ、光
のスペクトルの強度として検出される。
鏡２３からの光は、ビ−ムスプリッタ２１に導かれて干
渉されて、その干渉した光が光検出器２５に導かれ、光
のスペクトルの強度として検出される。
【０００６】上記光検出器２５には、演算部２６が接続
され、検出信号を演算部２６に出力する。演算部２６
は、入力した光のスペクトルの強度をレ−ザ光のスペク
トルの強度に基づいてフ−リエ逆変換して、観測光の光
成分を求める。
され、検出信号を演算部２６に出力する。演算部２６
は、入力した光のスペクトルの強度をレ−ザ光のスペク
トルの強度に基づいてフ−リエ逆変換して、観測光の光
成分を求める。
【０００７】ところが、上記マイケルソン干渉計では、
移動鏡２３を光路方向に移動して光路長を可変設定しな
がら観測光をビ−ムスプリッタ２１上に導き、干渉した
光のスペクトルの強度を検出する構成のため、固定鏡２
２と移動鏡２３とのアライメント変動許容量が極めて厳
しく要求されるために、移動時に高い周波数成分まで応
答する能力が必要となり、その結果移動鏡２３を角度制
御するアクチュエ−タ２８が強力かつ大型となり、制御
に必要な電力も大きくなるという欠点が生じていた。
移動鏡２３を光路方向に移動して光路長を可変設定しな
がら観測光をビ−ムスプリッタ２１上に導き、干渉した
光のスペクトルの強度を検出する構成のため、固定鏡２
２と移動鏡２３とのアライメント変動許容量が極めて厳
しく要求されるために、移動時に高い周波数成分まで応
答する能力が必要となり、その結果移動鏡２３を角度制
御するアクチュエ−タ２８が強力かつ大型となり、制御
に必要な電力も大きくなるという欠点が生じていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来のマイケルソン干渉計では、移動鏡の角度制御アクチ
ュエ−タが強力且つ大型となり、消費する電力も大きく
移動鏡の角度制御が繁雑になるという欠点があった。
来のマイケルソン干渉計では、移動鏡の角度制御アクチ
ュエ−タが強力且つ大型となり、消費する電力も大きく
移動鏡の角度制御が繁雑になるという欠点があった。
【０００９】そこで、本発明は、上記欠点を除去し、簡
単な構成で高密度な光路長の調整制御を実現し得るよう
にして、検出精度の向上を図ることができるマイケルソ
ン干渉計を提供することを目的としている。
単な構成で高密度な光路長の調整制御を実現し得るよう
にして、検出精度の向上を図ることができるマイケルソ
ン干渉計を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、入射光路が測定方向に指向されて配置
されるビ−ムスプリッタと、このビ−ムスプリッタの透
過光路あるいは反射光路の一方に配置され、透過光路あ
るいは反射光路に対して平行に移動される移動鏡と、前
記ビ−ムスプリッタの透過光路あるいは反射光路の他方
に配置される固定鏡と、前記ビ−ムスプリッタに導かれ
た光が前記移動鏡及び前記固定鏡で反射された後、前記
ビ−ムスプリッタで干渉された光を受光し、光のスペク
トルの強度を検出する光検出部と、この光検出部で検出
した光のスペクトルの強度に基づいて前記ビ−ムスプリ
ッタに入射された光の成分を求めるマイケルソン干渉計
において、前記固定鏡の前記ビ−ムスプリッタに対する
角度制御を行う制御手段を具備した構成である。
に、本発明では、入射光路が測定方向に指向されて配置
されるビ−ムスプリッタと、このビ−ムスプリッタの透
過光路あるいは反射光路の一方に配置され、透過光路あ
るいは反射光路に対して平行に移動される移動鏡と、前
記ビ−ムスプリッタの透過光路あるいは反射光路の他方
に配置される固定鏡と、前記ビ−ムスプリッタに導かれ
た光が前記移動鏡及び前記固定鏡で反射された後、前記
ビ−ムスプリッタで干渉された光を受光し、光のスペク
トルの強度を検出する光検出部と、この光検出部で検出
した光のスペクトルの強度に基づいて前記ビ−ムスプリ
ッタに入射された光の成分を求めるマイケルソン干渉計
において、前記固定鏡の前記ビ−ムスプリッタに対する
角度制御を行う制御手段を具備した構成である。
【００１１】
【作用】上記構成により、本発明では、制御手段により
固定鏡においてアライメント誤差が最小になるようにビ
−ムスプリッタに対する角度制御が行われる。
固定鏡においてアライメント誤差が最小になるようにビ
−ムスプリッタに対する角度制御が行われる。
【００１２】
【実施例】本発明の一実施例を図１を用いて詳細に説明
する。図１はこの発明の一実施例に係るマイケルソン干
渉計を示すもので、ビ−ムスプリッタ１１の透過光路上
には、固定鏡１２が中心を固定された状態で配設され
る。固定鏡１２はビ−ムスプリッタ１１を介して導かれ
た観測光を反射して再びビ−ムスプリッタ１１に導く。
する。図１はこの発明の一実施例に係るマイケルソン干
渉計を示すもので、ビ−ムスプリッタ１１の透過光路上
には、固定鏡１２が中心を固定された状態で配設され
る。固定鏡１２はビ−ムスプリッタ１１を介して導かれ
た観測光を反射して再びビ−ムスプリッタ１１に導く。
【００１３】また、ビ−ムスプリッタ１１の反射光路上
には移動鏡１３が移動アクチュエ−タ１４を介して矢印
方向Ａ，Ｂに直線自在方向に配設される。そして、ビ−
ムスプリッタ１１の干渉光路上には、光検出器１５が配
設される。これにより、ビ−ムスプリッタ１１で反射し
た観測光は、移動鏡１３に導かれて該移動鏡１３で反射
され、再びビ−ムスプリッタ１１に導かれる。この際、
移動鏡１３は、移動アクチュエ−タ１４により反射光路
上に所定の状態に直線駆動されて光路長が可変設定され
る。
には移動鏡１３が移動アクチュエ−タ１４を介して矢印
方向Ａ，Ｂに直線自在方向に配設される。そして、ビ−
ムスプリッタ１１の干渉光路上には、光検出器１５が配
設される。これにより、ビ−ムスプリッタ１１で反射し
た観測光は、移動鏡１３に導かれて該移動鏡１３で反射
され、再びビ−ムスプリッタ１１に導かれる。この際、
移動鏡１３は、移動アクチュエ−タ１４により反射光路
上に所定の状態に直線駆動されて光路長が可変設定され
る。
【００１４】固定鏡１２には、この固定鏡１２の角度制
御を行うためのアクチュエ−タ１８ａ，１８ｂとこのア
クチュエ−タ１８ａ，１８ｂを駆動する駆動部１９が配
設されている。
御を行うためのアクチュエ−タ１８ａ，１８ｂとこのア
クチュエ−タ１８ａ，１８ｂを駆動する駆動部１９が配
設されている。
【００１５】また、移動鏡１３の移動中に発生するアラ
イメント誤差を検出するためにアライメント検出部１７
が配設されている。つまり、アライメント検出部１７が
移動鏡１３の移動中に発生するアライメント誤差を検出
し、この誤差が固定鏡１２の駆動部１９にフィ−ドバッ
クされる。そして、アクチュエ−タ１８ａ，１８ｂは駆
動部１９の制御により検出されたアライメント誤差が最
小になるように固定鏡１２の角度制御を行う。
イメント誤差を検出するためにアライメント検出部１７
が配設されている。つまり、アライメント検出部１７が
移動鏡１３の移動中に発生するアライメント誤差を検出
し、この誤差が固定鏡１２の駆動部１９にフィ−ドバッ
クされる。そして、アクチュエ−タ１８ａ，１８ｂは駆
動部１９の制御により検出されたアライメント誤差が最
小になるように固定鏡１２の角度制御を行う。
【００１６】具体的な例としては、図１に示すように、
アクチュエ−タ１８ａ，１８ｂが固定鏡１２の中心に対
して両側に配置され、駆動部１９の制御により、アクチ
ュエ−タ１８ａが固定鏡１２の片側を押すとき、アクチ
ュエ−タ１８ｂが固定鏡１２のもう片側を同じ量だけ引
くことにより、固定鏡１２の角度制御が行われる。
アクチュエ−タ１８ａ，１８ｂが固定鏡１２の中心に対
して両側に配置され、駆動部１９の制御により、アクチ
ュエ−タ１８ａが固定鏡１２の片側を押すとき、アクチ
ュエ−タ１８ｂが固定鏡１２のもう片側を同じ量だけ引
くことにより、固定鏡１２の角度制御が行われる。
【００１７】ここで固定鏡１２からの光と、移動鏡１３
からの光はビ−ムスプリッタ１１に導かれて干渉され、
その干渉した光が光検出部１５に導かれ、光スペクトル
の強度として検出される。
からの光はビ−ムスプリッタ１１に導かれて干渉され、
その干渉した光が光検出部１５に導かれ、光スペクトル
の強度として検出される。
【００１８】光検出器１５には、演算部１６が接続さ
れ、検出信号を演算部１６に出力する。演算部１６は、
入力した光のスペクトルの強度を校正光の強度に基づい
てフ−リエ変換して、観測光の光成分を求めることにな
る。
れ、検出信号を演算部１６に出力する。演算部１６は、
入力した光のスペクトルの強度を校正光の強度に基づい
てフ−リエ変換して、観測光の光成分を求めることにな
る。
【００１９】よって、移動鏡１３は角度制御を必要とし
ないために、この移動鏡１３を駆動する移動アクチュエ
−タ１４は小型・低消費電力で制御が可能になるという
効果が得られる。
ないために、この移動鏡１３を駆動する移動アクチュエ
−タ１４は小型・低消費電力で制御が可能になるという
効果が得られる。
【００２０】また、本実施例によれば、移動鏡１３の角
度制御を行うことなく、固定鏡１２の角度制御によって
アライメントを厳密に設定することができるという効果
が得られる。
度制御を行うことなく、固定鏡１２の角度制御によって
アライメントを厳密に設定することができるという効果
が得られる。
【００２１】さらには、アライメント検出部１７によっ
て検出されたアライメント誤差は、固定鏡１２の角度制
御を行う駆動鏡１９にフィ−ドバックされ、アクチュエ
−タ１８ａ，１８ｂが固定鏡１２の角度を所定量だけ移
動させるので、移動鏡１３の制御が容易になると共に、
光のスペクトル検出精度の向上ができるという効果が得
られる。
て検出されたアライメント誤差は、固定鏡１２の角度制
御を行う駆動鏡１９にフィ−ドバックされ、アクチュエ
−タ１８ａ，１８ｂが固定鏡１２の角度を所定量だけ移
動させるので、移動鏡１３の制御が容易になると共に、
光のスペクトル検出精度の向上ができるという効果が得
られる。
【００２２】尚、上述した実施例では、固定鏡１２をビ
−ムスプリッタ１１の透過光路側に配設するように構成
した場合について説明したが、このような構成に限定さ
れることなく、その他この発明の要旨を逸脱しない範囲
で、種々の変形を実施し得ることが可能である。
−ムスプリッタ１１の透過光路側に配設するように構成
した場合について説明したが、このような構成に限定さ
れることなく、その他この発明の要旨を逸脱しない範囲
で、種々の変形を実施し得ることが可能である。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
移動鏡の角度制御を必要としないので、移動アクチュエ
−タは小型・低消費電力で制御が可能になるという効果
が得られる。また、固定鏡の角度制御を行うことによっ
て、移動鏡の移動アクチュエ−タは小型・低消費電力で
制御しつつ、アライメントを厳密に設定することができ
るという効果が得られる。
移動鏡の角度制御を必要としないので、移動アクチュエ
−タは小型・低消費電力で制御が可能になるという効果
が得られる。また、固定鏡の角度制御を行うことによっ
て、移動鏡の移動アクチュエ−タは小型・低消費電力で
制御しつつ、アライメントを厳密に設定することができ
るという効果が得られる。
【図１】 本発明のマイケルソン干渉計の構成を示した
図である。
図である。
【図２】 従来のマイケルソン干渉計の構成を示した図
である。
である。
１１，２１・・・ビ−ムスプリッタ １２，２２・・・固定鏡 １３，２３・・・移動鏡 １４ ・・・移動アクチュエ−タ １５，２５・・・光検出器 １６，２６・・・演算部 １７，２７・・・アライメント検出部 １８ａ，ｂ・・・アクチュエ−タ ２４，１９・・・駆動部
Claims (3)
- 【請求項１】 入射光路が測定方向に指向されて配置さ
れるビ−ムスプリッタと、 このビ−ムスプリッタの透過光路あるいは反射光路の一
方に配置され、透過光路あるいは反射光路に対して平行
に移動される移動鏡と、 前記ビ−ムスプリッタの透過光路あるいは反射光路の他
方に配置される固定鏡と、 前記ビ−ムスプリッタに導かれた光が前記移動鏡及び前
記固定鏡で反射された後、前記ビ−ムスプリッタで干渉
された光を受光し、光のスペクトルの強度を検出する光
検出部と、 この光検出部で検出した光のスペクトルの強度に基づい
て前記ビ−ムスプリッタに入射された光の成分を求める
マイケルソン干渉計において、 前記固定鏡の前記ビ−ムスプリッタに対する角度制御を
行う制御手段を具備することを特徴とするマイケルソン
干渉計。 - 【請求項２】 制御手段は、移動鏡及び固定鏡で反射さ
れる光の入射誤差を検出し、この検出結果に基づいて前
記固定鏡の前記ビ−ムスプリッタに対する角度制御を行
うことを特徴とする請求項１記載のマイケルソン干渉
計。 - 【請求項３】 制御手段は、固定鏡の中心軸に対して両
側にそれぞれ配置されたアクチュエ−タであり、アクチ
ュエ−タが前記固定鏡の一端をビ−ムスプリッタ側に所
定量だけ押すとき、前記固定鏡の他端を前記ビ−ムスプ
リッタ側から前記所定量だけ引く制御を行うことを特徴
とする請求項１記載のマイケルソン干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6169126A JPH0835883A (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | マイケルソン干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6169126A JPH0835883A (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | マイケルソン干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0835883A true JPH0835883A (ja) | 1996-02-06 |
Family
ID=15880768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6169126A Pending JPH0835883A (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | マイケルソン干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0835883A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7471396B2 (en) | 2006-03-28 | 2008-12-30 | Mitutoyo Corporation | Dual polarization interferometers for measuring opposite sides of a workpiece |
| JP2011145232A (ja) * | 2010-01-16 | 2011-07-28 | Canon Inc | 計測装置及び露光装置 |
-
1994
- 1994-07-21 JP JP6169126A patent/JPH0835883A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7471396B2 (en) | 2006-03-28 | 2008-12-30 | Mitutoyo Corporation | Dual polarization interferometers for measuring opposite sides of a workpiece |
| JP2011145232A (ja) * | 2010-01-16 | 2011-07-28 | Canon Inc | 計測装置及び露光装置 |
| US8902430B2 (en) | 2010-01-16 | 2014-12-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Measuring apparatus and exposure device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2748585B1 (en) | A laser based cavity enhanced optical absorption gas analyzer | |
| US20210026014A1 (en) | Apparatus and method for ascertaining a distance to an object | |
| JP2016142527A (ja) | フーリエ変換型分光光度計 | |
| JPH0835883A (ja) | マイケルソン干渉計 | |
| US8174705B1 (en) | Tilting mirror controlled using null-based interferometric sensing | |
| US4345838A (en) | Apparatus for spectrometer alignment | |
| JPH09166414A (ja) | 光計測装置 | |
| JPH02253103A (ja) | 二光束干渉計 | |
| JPH07260584A (ja) | マイケルソン干渉計 | |
| JPS5985918A (ja) | 直接比率式の分光光度計 | |
| JPH08219881A (ja) | 光学系アライメント調整装置 | |
| US20210033385A1 (en) | Optical device | |
| JP2000146525A (ja) | 光波干渉測定装置及び該装置を用いた投影露光装置 | |
| JPH03279821A (ja) | 可変波長光源装置 | |
| US5170224A (en) | Laser wavelength measuring device | |
| KR102158520B1 (ko) | 분광편광계의 광경로차를 자동으로 조절하는 장치 | |
| JP3113708B2 (ja) | 光伝送特性測定装置 | |
| JP3114290B2 (ja) | 近赤外線分光分析装置における検出部 | |
| JPH07243806A (ja) | マイケルソン干渉計 | |
| JP2550650B2 (ja) | 光スペクトラムアナライザ | |
| WO2020174665A1 (ja) | マイケルソン干渉計およびそれを備えるフーリエ変換赤外分光装置 | |
| JPH07218634A (ja) | 距離測定装置 | |
| JPH08261841A (ja) | 光学的アライメント調整装置 | |
| JP3309537B2 (ja) | フーリエ変換分光光度計 | |
| JPH04184106A (ja) | 干渉測定方法およびその装置 |