JPH07243806A - マイケルソン干渉計 - Google Patents
マイケルソン干渉計Info
- Publication number
- JPH07243806A JPH07243806A JP3357894A JP3357894A JPH07243806A JP H07243806 A JPH07243806 A JP H07243806A JP 3357894 A JP3357894 A JP 3357894A JP 3357894 A JP3357894 A JP 3357894A JP H07243806 A JPH07243806 A JP H07243806A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beam splitter
- light
- laser beam
- path
- mirror
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- Pending
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、簡便にして高精度な視線軸調整を
実現し得るようにすることにある。 【構成】観測光のスペクトル測定に供するレーザ光をハ
ーフミラー２０を用いてビームスプリッタ２に導くと共
に、マイケルソン干渉計の測定方向に向けて透過するよ
うに構成し、所期の目的を達成したものである。
実現し得るようにすることにある。 【構成】観測光のスペクトル測定に供するレーザ光をハ
ーフミラー２０を用いてビームスプリッタ２に導くと共
に、マイケルソン干渉計の測定方向に向けて透過するよ
うに構成し、所期の目的を達成したものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば地球の大気成
分等を検出するのに用いられるマイケルソン干渉計に関
する。
分等を検出するのに用いられるマイケルソン干渉計に関
する。
【０００２】
【従来の技術】マイケルソン干渉計は、図２に示すよう
に筐体１に観測窓１ａが形成され、この筐体１内には、
周知のビームスプリッタ２が、入射光を透過光と反射光
に分割するように配置される。このビームスプリッタ２
の透過光路には、固定鏡３が配置される。固定鏡３は、
ビームスプリッタ２を介して導かれた観測光を反射して
再びビームスプリッタ２に導く。
に筐体１に観測窓１ａが形成され、この筐体１内には、
周知のビームスプリッタ２が、入射光を透過光と反射光
に分割するように配置される。このビームスプリッタ２
の透過光路には、固定鏡３が配置される。固定鏡３は、
ビームスプリッタ２を介して導かれた観測光を反射して
再びビームスプリッタ２に導く。
【０００３】また、ビームスプリッタ２の反射光路上に
は、駆動鏡４が駆動部５を介して矢印方向に直線走査自
在に配置される。そして、ビームスプリッタ２の干渉光
路上には、光検出器６が配設される。これにより、ビー
ムスプリッタ３で反射した観測光は、駆動鏡４に導かれ
て該駆動鏡４で反射され、再びビームスプリッタ２に導
かれる。この際、駆動鏡４は、駆動部５により反射光路
上に所定の状態に直線駆動される。ここで、上記固定鏡
３からの光と、駆動鏡４からの光は、ビームスプリッタ
２に導かれて干渉された後、光検出器６に導かれ、光の
強度に比例した電圧として検出される。
は、駆動鏡４が駆動部５を介して矢印方向に直線走査自
在に配置される。そして、ビームスプリッタ２の干渉光
路上には、光検出器６が配設される。これにより、ビー
ムスプリッタ３で反射した観測光は、駆動鏡４に導かれ
て該駆動鏡４で反射され、再びビームスプリッタ２に導
かれる。この際、駆動鏡４は、駆動部５により反射光路
上に所定の状態に直線駆動される。ここで、上記固定鏡
３からの光と、駆動鏡４からの光は、ビームスプリッタ
２に導かれて干渉された後、光検出器６に導かれ、光の
強度に比例した電圧として検出される。
【０００４】さらに、ビームスプリッタ２の入射光路上
には、レーザ光用の第１の鏡７が配設される。この第１
の鏡７は、レーザ光源８からのレーザ光をビームスプリ
ッタ２に導く。ビームスプリッタ２に導かれたレーザ光
は、その透過光路を透過して固定鏡３に導かれると共
に、その反射光路を通って駆動鏡４に導かれた後、再び
ビームスプリッタ２に導かれて干渉される。そして、ビ
ームスプリッタ２で干渉されたレーザ光は、レーザ光用
の第２の鏡９を介してレーザ光検出部１０に導かれ、レ
ーザ光の強度が電圧として検出される。
には、レーザ光用の第１の鏡７が配設される。この第１
の鏡７は、レーザ光源８からのレーザ光をビームスプリ
ッタ２に導く。ビームスプリッタ２に導かれたレーザ光
は、その透過光路を透過して固定鏡３に導かれると共
に、その反射光路を通って駆動鏡４に導かれた後、再び
ビームスプリッタ２に導かれて干渉される。そして、ビ
ームスプリッタ２で干渉されたレーザ光は、レーザ光用
の第２の鏡９を介してレーザ光検出部１０に導かれ、レ
ーザ光の強度が電圧として検出される。
【０００５】上記光検出器６及びレーザ光検出器１０に
は、演算部１１が接続され、各検出信号を演算部１１に
出力する。演算部１１は、入力した光の強度をレーザ光
の強度にも基づいてフーリエ変換（ＦＦＴ）して、観測
光のスペクトルを求める。
は、演算部１１が接続され、各検出信号を演算部１１に
出力する。演算部１１は、入力した光の強度をレーザ光
の強度にも基づいてフーリエ変換（ＦＦＴ）して、観測
光のスペクトルを求める。
【０００６】また、上記筐体１には、観測窓近傍にアラ
イメントミラー１２がビームスプリッタ２の入射光路
（視線軸）に対応して配設される。このアライメントミ
ラー１２は、筐体１を、例えば宇宙航行体等の図示しな
い取付基体に設置する場合、その光軸を例えばオートコ
リメータ等の光軸検出器を用いて検出することにより、
ビームスプリッタ２の視線軸を所望の指向方向に設定す
るのに用いられる。
イメントミラー１２がビームスプリッタ２の入射光路
（視線軸）に対応して配設される。このアライメントミ
ラー１２は、筐体１を、例えば宇宙航行体等の図示しな
い取付基体に設置する場合、その光軸を例えばオートコ
リメータ等の光軸検出器を用いて検出することにより、
ビームスプリッタ２の視線軸を所望の指向方向に設定す
るのに用いられる。
【０００７】ところが、上記マイケルソン干渉計では、
その視線軸を測定方向に指向させるのに、筐体の周壁に
設けたアライメントミラー１２の光軸と、ビームスプリ
ッタ２の視線軸のずれ量を予め測定しておいて、このず
れ量に基づいてアライメントミラー１２の光軸を測定方
向に設定するように筐体１を上記取付基体（図示せず）
に取付けることにより、ビームスプリッタ２の視線軸を
所望の指向方向に設定しなればならないために、その視
線軸の調整作業が非常に面倒であるという問題を有す
る。
その視線軸を測定方向に指向させるのに、筐体の周壁に
設けたアライメントミラー１２の光軸と、ビームスプリ
ッタ２の視線軸のずれ量を予め測定しておいて、このず
れ量に基づいてアライメントミラー１２の光軸を測定方
向に設定するように筐体１を上記取付基体（図示せず）
に取付けることにより、ビームスプリッタ２の視線軸を
所望の指向方向に設定しなればならないために、その視
線軸の調整作業が非常に面倒であるという問題を有す
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】以上述べたように、従
来のマイケルソン干渉計では、視線軸の調整作業が非常
に面倒であるという問題を有する。この発明は上記の事
情に鑑みてなされたもので、簡易な構成で、且つ、簡便
にして高精度な視線軸調整を実現し得るようにしたマイ
ケルソン干渉計を提供することを目的とする。
来のマイケルソン干渉計では、視線軸の調整作業が非常
に面倒であるという問題を有する。この発明は上記の事
情に鑑みてなされたもので、簡易な構成で、且つ、簡便
にして高精度な視線軸調整を実現し得るようにしたマイ
ケルソン干渉計を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明は、入射光を透
過光と反射光に分割するように指向されて配置されるビ
ームスプリッタと、このビームスプリッタの透過光路あ
るいは反射光路の一方に配置される固定鏡と、前記ビー
ムスプリッタの透過光路あるいは反射光路の他方路上に
直線走査自在に配設される駆動鏡と、この駆動鏡を透過
光路あるいは反射光路の他方路上に直線駆動する直線駆
動手段と、前記ビームスプリッタの干渉光路上に配置さ
れ、該ビームスプリッタで干渉された光を受光して光の
強度を検出する光検出部と、レーザ光源からのレーザ光
を前記ビームスプリッタに導くと共に、レーザ効の一部
を上記マイケルソン干渉計の測定方向に透過する光学系
と、前記ビームスプリッタに導かれたレーザ光が前記固
定鏡及び前記駆動鏡で反射された後、前記ビームスプリ
ッタで干渉したレーザ光を受光して、レーザ光の強度を
検出するレーザ光検出手段と、前記光検出部で検出した
光の強度及び前記レーザ光検出部で検出したレーザ光の
スペクトルの強度に基づいて前記ビームスプリッタに入
射された光の成分を求める演算手段とを備えてマイケル
ソン干渉計を構成したものである。
過光と反射光に分割するように指向されて配置されるビ
ームスプリッタと、このビームスプリッタの透過光路あ
るいは反射光路の一方に配置される固定鏡と、前記ビー
ムスプリッタの透過光路あるいは反射光路の他方路上に
直線走査自在に配設される駆動鏡と、この駆動鏡を透過
光路あるいは反射光路の他方路上に直線駆動する直線駆
動手段と、前記ビームスプリッタの干渉光路上に配置さ
れ、該ビームスプリッタで干渉された光を受光して光の
強度を検出する光検出部と、レーザ光源からのレーザ光
を前記ビームスプリッタに導くと共に、レーザ効の一部
を上記マイケルソン干渉計の測定方向に透過する光学系
と、前記ビームスプリッタに導かれたレーザ光が前記固
定鏡及び前記駆動鏡で反射された後、前記ビームスプリ
ッタで干渉したレーザ光を受光して、レーザ光の強度を
検出するレーザ光検出手段と、前記光検出部で検出した
光の強度及び前記レーザ光検出部で検出したレーザ光の
スペクトルの強度に基づいて前記ビームスプリッタに入
射された光の成分を求める演算手段とを備えてマイケル
ソン干渉計を構成したものである。
【００１０】
【作用】上記構成によれば、レーザ光源からのレーザ光
は、光学系を介してビームスプリッタに導かれて観測光
のスペクトル測定に供されると共に、マイケルソン干渉
計の測定方向に向けて透過される。これにより、視線軸
の調整は、測定方向に透過されるレーザ光を測定するこ
とにより、実行することが可能となり、簡便にして、高
精度な調整が定量的に実行することが可能となる。
は、光学系を介してビームスプリッタに導かれて観測光
のスペクトル測定に供されると共に、マイケルソン干渉
計の測定方向に向けて透過される。これにより、視線軸
の調整は、測定方向に透過されるレーザ光を測定するこ
とにより、実行することが可能となり、簡便にして、高
精度な調整が定量的に実行することが可能となる。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の実施例について、図面を参
照して詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例に係
るマイケルソン干渉計を示すもので、ここでは、前記図
２と同一部分については、同一符号を付して、その説明
を省略する。
照して詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例に係
るマイケルソン干渉計を示すもので、ここでは、前記図
２と同一部分については、同一符号を付して、その説明
を省略する。
【００１２】すなわち、筐体１内のビームスプリッタ２
の入射光路上には、光学系、例えばハーフミラー２０が
配設される。このハーフミラー２０は、上記レーザ光源
８からのレーザ光をビームスプリッタ２の入射光路に導
くと共に、筐体１の観測窓方向に導く。このうち、ビー
ムスプリッタ２の入射光路に導かれたレーザ光は、前述
したようにビームスプリッタ２に入射される観測光のス
ペクトル測定に供される。
の入射光路上には、光学系、例えばハーフミラー２０が
配設される。このハーフミラー２０は、上記レーザ光源
８からのレーザ光をビームスプリッタ２の入射光路に導
くと共に、筐体１の観測窓方向に導く。このうち、ビー
ムスプリッタ２の入射光路に導かれたレーザ光は、前述
したようにビームスプリッタ２に入射される観測光のス
ペクトル測定に供される。
【００１３】他方、ハーフミラー２０を介して筐体１の
観測窓方向に導かれたレーザ光は、マイケルソン干渉計
の視線軸方向に透過され、例えば図示しないオートコリ
メータ等の光軸検出器を用いて上記マイケルソン干渉計
の視線軸検出光として供される。
観測窓方向に導かれたレーザ光は、マイケルソン干渉計
の視線軸方向に透過され、例えば図示しないオートコリ
メータ等の光軸検出器を用いて上記マイケルソン干渉計
の視線軸検出光として供される。
【００１４】このように、上記マイケルソン干渉計は、
観測光のスペクトル測定に供するレーザ光をハーフミラ
ー２０を用いてビームスプリッタ２に導くと共に、上記
マイケルソン干渉計の測定方向に向けて透過するように
構成した。これによれば、視線軸の調整は、観測窓から
測定方向に放射されるレーザ光を測定することにより、
実行することが可能となることで、簡便にして、高精度
な調整が容易に実現される。
観測光のスペクトル測定に供するレーザ光をハーフミラ
ー２０を用いてビームスプリッタ２に導くと共に、上記
マイケルソン干渉計の測定方向に向けて透過するように
構成した。これによれば、視線軸の調整は、観測窓から
測定方向に放射されるレーザ光を測定することにより、
実行することが可能となることで、簡便にして、高精度
な調整が容易に実現される。
【００１５】また、これによれば、従来に比して構成部
品の軽減が図れると共に、定量的な測定が可能となるこ
とにより、検出精度の向上も図れるという効用を有す
る。なお、上記実施例では、演算部１１を筐体１内に配
設するように構成した場合で説明したが、これに限るこ
となく、例えば筐体１の外部に配設するように構成する
ことも可能である。
品の軽減が図れると共に、定量的な測定が可能となるこ
とにより、検出精度の向上も図れるという効用を有す
る。なお、上記実施例では、演算部１１を筐体１内に配
設するように構成した場合で説明したが、これに限るこ
となく、例えば筐体１の外部に配設するように構成する
ことも可能である。
【００１６】また、上記実施例では、固定鏡３をビーム
スプリッタ２の透過光路に配設し、駆動鏡４をビームス
プリッタ２の反射光路に配設する構成のものに適用した
場合で説明したが、これにに限ることなく、固定鏡３を
ビームスプリッタ２の反射光路に配設し、駆動鏡４をビ
ームスプリッタ２の透過光路に配設する構成のものにお
いても適用可能である。よって、この発明は、上記実施
例に限ることなく、その他、この発明の要旨を逸脱しな
い範囲で種々の変形を実施し得ることは勿論である。
スプリッタ２の透過光路に配設し、駆動鏡４をビームス
プリッタ２の反射光路に配設する構成のものに適用した
場合で説明したが、これにに限ることなく、固定鏡３を
ビームスプリッタ２の反射光路に配設し、駆動鏡４をビ
ームスプリッタ２の透過光路に配設する構成のものにお
いても適用可能である。よって、この発明は、上記実施
例に限ることなく、その他、この発明の要旨を逸脱しな
い範囲で種々の変形を実施し得ることは勿論である。
【００１７】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、簡易な構成で、且つ、簡便にして高精度な視線軸調
整を実現し得るようにしたマイケルソン干渉計を提供す
ることができる。
ば、簡易な構成で、且つ、簡便にして高精度な視線軸調
整を実現し得るようにしたマイケルソン干渉計を提供す
ることができる。
【図１】この発明の一実施例に係るマイケルソン干渉計
を示した図。
を示した図。
【図２】従来のマイケルソン干渉計を示した図。
１…筐体。 １ａ…観測窓。 ２…ビームスプリッタ。 ３…固定鏡。 ４…駆動鏡。 ５…駆動部。 ６…光検出器。 ８…レーザ光源。 ９…第２の鏡。 １０…レーザ光検出器。 １１…演算部。 ２０…ハーフミラー。
Claims (1)
- 【請求項１】 入射光を透過光と反射光に分割するよう
に指向されて配置されるビームスプリッタと、 このビームスプリッタの透過光路あるいは反射光路の一
方に配置される固定鏡と、 前記ビームスプリッタの透過光路あるいは反射光路の他
方路上に直線走査自在に配設される駆動鏡と、 この駆動鏡を透過光路あるいは反射光路の他方路上に直
線駆動する直線駆動手段と、 前記ビームスプリッタの干渉光路上に配置され、該ビー
ムスプリッタで干渉された光を受光して光のスペクトル
の強度を検出する光検出部と、 レーザ光源からのレーザ光を前記ビームスプリッタに導
くと共に、該ビームスプリッタの測定方向に向けてレー
ザ光を透過する光学系と、 前記ビームスプリッタに導かれたレーザ光が前記固定鏡
及び前記駆動鏡で反射された後、前記ビームスプリッタ
で干渉したレーザ光を受光して、レーザ光のスペクトル
の強度を検出するレーザ光検出手段と、 前記光検出部で検出した光の強度及び前記レーザ光検出
部で検出したレーザ光の強度に基づいて前記ビームスプ
リッタに入射された光の成分を求める演算手段とを具備
したマイケルソン干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3357894A JPH07243806A (ja) | 1994-03-03 | 1994-03-03 | マイケルソン干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3357894A JPH07243806A (ja) | 1994-03-03 | 1994-03-03 | マイケルソン干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07243806A true JPH07243806A (ja) | 1995-09-19 |
Family
ID=12390421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3357894A Pending JPH07243806A (ja) | 1994-03-03 | 1994-03-03 | マイケルソン干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07243806A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020067344A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 国立大学法人埼玉大学 | 光学特性測定装置 |
| JP2022126835A (ja) * | 2018-10-23 | 2022-08-30 | 国立大学法人埼玉大学 | 光学特性測定装置 |
-
1994
- 1994-03-03 JP JP3357894A patent/JPH07243806A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020067344A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 国立大学法人埼玉大学 | 光学特性測定装置 |
| JP2022126835A (ja) * | 2018-10-23 | 2022-08-30 | 国立大学法人埼玉大学 | 光学特性測定装置 |
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