JPH08338561A - 超音波モータを用いたアクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 低速高トルクの超音波モータを用いて小型で
安価なバルブ開閉用のアクチュエータを提供する。 【構成】 仕切弁５０のバルブケース５０ａの上部に設
けられた凹部５０ｂに、アクチュエータ１のケーシング
２の下面に係止された略筒状の支持部材９の下部が取り
付けられるとともに、支持部材９やケーシング２に弁軸
５１が通されて、いる。また、ケーシング２の内部に
は、その上下位置に複数の超音波モータ３が配置されて
いるとともに、軸方向の移動が規制された略筒状の動力
軸５と各超音波モータ３とが、大径の外歯歯車６と超音
波モータ３の小径歯車７とで構成された減速ギヤ構造を
介して歯車結合されており、ケーシング２の下面から突
出させられた動力軸５の下部内周の環状突部３０の内周
面に設けられたネジ溝３０ａに、弁軸５１の上部のネジ
部５１ａをねじ込んで互いに連結して、軸の回転運動を
軸方向の往復運動に変換する駆動力伝達手段を構成して
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、配管などに設けられる
バルブ等の開閉に用いられるアクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】気体や液体などの流体を通す配管には、
流体の流れを遮断したり流量を調節するバルブが設けら
れており、バルブは、その内部の弁体を開閉作動させて
流体の制御を行なっている。バルブとしては、作業員が
バルブ開閉用のハンドルを手で回動させることによりバ
ルブ内の弁体が上下に移動して管内の流量の制御を行な
うことができる仕切弁や、信号電流による電磁石によっ
てバルブ内部の弁体を上下させることにより管内の流量
制御を行なう電磁弁などが用いられており、配管の口径
が数インチ以上の場合は仕切弁がよく用いられている。
ところで、アクチュエータを用いて弁体を上下させ、仕
切弁の開閉を自動で行なうようにする場合があり、従
来、仕切弁の開閉を自動で行なう際に使用するアクチュ
エータとしては、エアーモータ型，エアーシリンダ型，
電動機型などがある。例えば、図６に示すように、電動
モータを用いる電動機型のアクチュエータを使用して仕
切弁の開閉制御を行なう場合、電動モータ７０の駆動軸
の回転を高減速比の減速機７１で減速してギア７２へ伝
達し、ギア７２から回転運動を上下運動に変換する駆動
伝達装置７３に回転運動が伝達され、駆動伝達装置７３
によって弁軸７４が軸方向に移動し、弁軸７４の下端に
設けられた弁体７５が上下方向に移動して仕切弁７６の
開閉が行なわれるようになっている。また、開閉時の弁
体のかみこみ防止などのため、トルク制限制御を行なう
ようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、エアーモータ
型，エアーシリンダ型，電動機型などのアクチュエータ
を用いて仕切弁の開閉制御を行なう際には、電動機など
高回転型のものは高減速比の減速機を用いて低速にする
必要があるとともに、トルク制限制御を行なう装置など
を設ける必要があるし、エアーモータやエアーシリンダ
では、駆動源となる高価な形装エアー設備やエアー用電
磁弁などを設ける必要があるためアクチュエータが大型
で高価になるという問題があった。また、大型の仕切弁
等では、油圧シリンダや油圧モータなどもアクチュエー
タとして使用されているが、油圧シリンダや油圧モータ
などを使用するには、高価な専用の油圧駆動設備等を必
要とするためアクチュエータが大型で高価になる。さら
に、上記の各種アクチュエータを用いて既存の手動ハン
ドル仕様のバルブを自動化するには、アクチュエータの
取り付けに際してバルブ本体の大幅な改造を必要とする
ため作業に時間がかかるとともに費用も高額になりがち
であった。そこで、本発明の超音波モータを用いたアク
チュエータは、低速高トルクの超音波モータを用いて小
型で安価なバルブ開閉用のアクチュエータを提供するこ
とを目的とする。また、簡単な構成でバルブの開閉に必
要な回転数やトルクを得ることができるアクチュエータ
を提供することを目的とする。また、既存の手動ハンド
ル仕様のバルブなどに容易に取り付けることができるア
クチュエータを提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明の超音波モータを
用いたアクチュエータは上記課題を解決したもので、バ
ルブの開閉を行なうアクチュエータであって、ステータ
の下面に接着された圧電体によりステータに進行波を生
じさせ、ステータに圧接したロータをステータの進行波
により駆動して回転させるようにした超音波モータをケ
ーシング内に複数個設けるとともに、ケーシングをバル
ブケースに係止し、各超音波モータのロータに連結され
た出力軸とケーシングに保持した動力軸とを減速ギヤ構
造で歯車結合し、弁体に接続された弁軸を、軸の回転を
軸方向移動に変換する駆動力伝達手段を介して前記動力
軸に連結して動力軸の駆動によりバルブの開閉を行なう
ことができるようにした。減速ギヤ構造を、動力軸に連
結された大径の外歯歯車の周縁付近に各超音波モータを
任意間隔で配置し、各超音波モータの出力軸の端部に設
けられたそれぞれの小径歯車を前記外歯歯車の歯車部に
かみ合わせて構成し、簡単な構成で小型で低速高トルク
のアクチュエータとすることができるようにした。ま
た、駆動力伝達手段を、ケーシングの下面に、その内部
をケーシング内と連通するとともに下部をバルブケース
の上部に係止する略筒状の支持部材を突設し、内周にネ
ジ溝を有する略筒状の動力軸をケーシングと支持部材と
に軸方向移動が阻止されて回動可能に保持するととも
に、動力軸の内周ネジ溝に弁軸の上部のネジ部をねじ込
み、弁軸上部とケーシングとの間に弁軸の回転を阻止す
るとともに弁軸の軸方向移動を可能にするストッパ手段
を設けて構成し、容易にアクチュエータをバルブに取り
付けることができるようにした。

【０００５】

【作用】上記手段により本発明の超音波モータを用いた
アクチュエータは、複数の超音波モータの出力軸と動力
軸とを減速ギヤ構造で歯車結合し、動力軸を駆動力伝達
手段を介して弁軸に連結して、動力軸の回転を弁軸の軸
方向の移動に変えて伝達することにより弁体を開閉させ
ることができる。減速ギヤ構造を、動力軸に連結された
大径の外歯歯車の周縁付近に各超音波モータを任意間隔
で配置し、各超音波モータの出力軸の端部に設けられた
それぞれの小径歯車を前記外歯歯車の歯車部にかみ合わ
せた場合は、簡単な構造で低速高トルクのアクチュエー
タを得ることができ、装置を小型にすることができる。
また、ケーシングの下面に、略筒状の支持部材を突設
し、動力軸をケーシングと支持部材とに軸方向移動が阻
止されて回動可能に保持し、動力軸の内周ネジ溝に弁軸
の上部のネジ部をねじ込み、弁軸上部とケーシングとの
間に弁軸の回転を阻止するとともに弁軸の軸方向移動を
可能にするストッパ手段を設けて駆動力伝達手段を構成
した場合は、支持部材の下部をバルブケースの上部に係
止するとともに、弁軸を動力軸のネジ部にねじ込んで容
易にアクチュエータをバルブに取り付けることができ、
動力軸の回動により、ネジの作用で弁軸を軸方向に移動
させることができる。

【０００６】

【実施例】本発明の超音波モータを用いたアクチュエー
タの実施例を図１〜図４により説明する。配管に設けら
れる仕切弁などのバルブの開閉に使用される超音波モー
タを用いたアクチュエータは、仕切弁５０のバルブケー
ス５０ａの上部に設けられた凹部５０ｂに、アクチュエ
ータ１のケーシング２の下面に係止された略筒状の支持
部材９の下部が取り付けられるとともに、支持部材９や
ケーシング２に弁軸５１が通されて、仕切弁５０の上方
にアクチュエータ１が取り付けられている。アクチュエ
ータ１のケーシング２の内部には、その上下位置に複数
の超音波モータ３が配置されているとともに、軸方向の
移動が規制された略筒状の動力軸５と各超音波モータ３
とが、大径の外歯歯車６と超音波モータ３の小径歯車７
とで構成された減速ギヤ構造を介して歯車結合されてい
る。また、ケーシング２の下面から突出させられた動力
軸５の下部内周の環状突部３０の内周面に設けられたネ
ジ溝３０ａに、弁軸５１の上部のネジ部５１ａをねじ込
んで互いに連結して、軸の回転運動を軸方向の往復運動
に変換する駆動力伝達手段を構成している。そして、超
音波モータ３の作動によって動力軸５が回転すると、動
力軸５の下部のネジ溝３０ａにねじ込まれた弁軸５１が
ネジの作用によって軸方向に移動するようになってい
る。

【０００７】弁軸５１の下端は、弁体５２の上部に回動
可能に連結されており、動力軸５の中空部分と外歯歯車
６の中心開口部とを通された弁軸５１の上端が、弁体５
２が閉じられた状態でケーシング２の上面から突出する
ように弁軸５１の長さが調節されている。また、弁体５
２が閉じられた状態で、弁軸５１の上部のネジ部５１ａ
の下端がバルブケース５０ａに設けられた環状のパッキ
ンに掛からないようにするとともに、ネジ部５１ａの下
端から動力軸のネジ溝３０ａまでの長さが弁体５２のス
トローク長よりも少し長くなるようにバルブケース５０
ａの上方の長さが調節されている。なお、弁軸５１の上
部は、弁体５２が閉じられた状態で、動力軸５の下部の
ネジ溝３０ａにねじ込まれた部分付近から上方はネジ切
りされていなくてもよく、その場合、ネジ切りされてい
ない部分はネジ切りされた部分より少し径を小さくし
て、弁軸５１の先端をネジ溝３０ａに通すことができる
ようにする。

【０００８】バルブケース５０ａの上部に取り付けられ
てケーシング２を支持している支持部材９は、例えば略
筒状でその上端の外周に鍔部９ａが設けられた形状で、
支持部材９の下部がバルブケース５０ａの上部の凹部５
０ｂに嵌合されてネジ５３により取り付けられていると
ともに、支持部材９の上端の鍔部９ａがケーシング２の
下面に係止され、係止ボルト４０によってケーシング２
が固定されている。また、支持部材９の筒の内部には、
ケーシング２の下面から突出している動力軸５の下部が
差し込まれており、動力軸５の下端と支持部材９の下部
の内周に設けられた環状突部９ｂとの間にベアリング４
１が設けられているとともに、動力軸５の下部の外周面
と支持部材９の内周面との間にベアリング４２が設けら
れて、動力軸５の下部が支持部材９内に回動可能に保持
されている。

【０００９】なお、支持部材９の下端を既存のバルブケ
ースの上部に係止するとともに、弁軸のネジ部を動力軸
５の下部のネジ溝３０ａにねじ込むようにすれば、簡単
な改造で既存の仕切弁にアクチュエータ１を設けること
ができる。また、動力軸５をその軸方向の中程で切断
し、動力軸５を外歯歯車６側の筒状部材とネジ溝３０ａ
を有する筒状部材とに分割して、動力軸５の下部のネジ
溝３０ａに弁軸５１のネジ部５１ａをねじ込んだ状態で
アクチュエータ１を交換することができるようにしても
よく、その場合、外歯歯車６側の筒状部材とネジ溝３０
ａを有する筒状部材との接合部分に嵌合突起と嵌合穴を
設けて互いに嵌合して外歯歯車６の回動がネジ溝３０ａ
を有する筒状部材に伝達できるようにする。そのほか、
アクチュエータ１のケーシング２は、バルブケースにケ
ーシング２の支持部を一体に設けて保持させるようにし
てもよいし、ケーシング２をステーでバルブケース５０
ａに係止するようにしてもよく、その場合は、動力軸５
の下部をバルブケース５０ａの上部の凹部５０ｂに回動
可能に保持させる。

【００１０】支持部材９の上端に固定されたケーシング
２は、例えば略円筒形の上面が開口された保持容器２ａ
と、保持容器２ａの蓋部材２ｂとからなり保持容器２ａ
の上面に蓋部材２ｂが被せられてボルト４３により係止
されており、保持容器２ａの底面の中程に動力軸５を通
す貫通孔１３ａが開けられているとともに、蓋部材２ｂ
の中程にベアリング４８を介して弁軸５１を通す貫通孔
１３ｂが開けられている。保持容器２ａ内には、大径の
外歯歯車６が配置されており、外歯歯車６の中心部から
下方に動力軸５が突設され、動力軸５の下部が前記貫通
孔１３ａを通ってケーシング２の下面から突出して、動
力軸５の下方の筒部が支持部材９内に保持されている。
また大歯歯車６の上面と蓋部材２ｂの内側面との間にベ
アリング４４が設けられて、ベアリング４４と前記動力
軸５の下端に設けられたベアリング４１とによって動力
軸５の軸方向の移動を規制しているとともに、外歯歯車
６をケーシング２内に保持している。なお、動力軸５の
下部の外周面と支持部材９の内周面との間に設けられた
ベアリング４２が、貫通孔１３ａを通ってケーシング２
内の外歯歯車６の下面に達するように設けられて、動力
軸５を軸方向に保持できるようになっている。また、ケ
ーシング２や支持部材９をアルミなどで形成して、それ
ぞれの接合部分等をシールするなどして密封し、アクチ
ュエータ１を防爆構造にすることもでき、その場合は、
アクチュエータ１を可燃性ガスのある場所などで使用す
ることも可能である。

【００１１】ケーシング２の蓋部材２ｂの内側面には、
図２に示すように、弁軸５１を中心とする同心円上の相
対する位置に２つの超音波モータ３が取り付けられてお
り、各超音波モータ３の出力軸４が下方に垂下されてい
るとともに、下方に垂下された各出力軸４の先端に設け
られた小径歯車７が外歯歯車６の外周にかみ合わされて
いる。また、ケーシング２の保持容器２ａの内側底面に
は、蓋部材２ｂに設けられた超音波モータ３と相対する
位置に２つの超音波モータ３が取り付けられ、その超音
波モータ３の出力軸４が上方に突設させられているとと
もに、各出力軸４の先端に設けられた小径歯車７が外歯
歯車６の外周にかみ合わされて、ケーシング２の上下位
置に設けられた各超音波モータ３のそれぞれの出力軸４
と外歯歯車６とが減速ギヤ構造で歯車結合されて、超音
波モータ３の回転が減速されるとともにトルクが増大さ
れて動力軸５に伝達されるようになっている。

【００１２】なお、ケーシング２の上下位置に配置され
る超音波モータ３の配置は上記に限定されるものではな
いし、個数も４つに限定されるものではなく、個数を増
減させることもでき、個数を増やせば駆動トルクを増す
ことができる。また、複数の超音波モータ３をケーシン
グ２内に配置する際に、各超音波モータ３が動力軸５を
挟んで対向するようにそれぞれを配置するとともに、軸
線をずらした少なくとも２対以上の相対する超音波モー
タ３の出力軸４で外歯歯車６を挟むようにすれば、出力
軸４で外歯歯車６を安定して保持することができ、外歯
歯車６に連結された動力軸５の軸受が簡易なものでも動
力軸５を安定して保持することができる。例えば、ケー
シングの上方には、図３（ａ）に示すように、外歯歯車
６の周囲に３つの超音波モータを等間隔で配置してそれ
ぞれの小径歯車７を外歯歯車６に連結させるとともに、
ケーシングの下方には、図３（ｂ）に示すように、３つ
の超音波モータを、外歯歯車６を挟んで上方の超音波モ
ータと相対する位置に下方の超音波モータを配置するよ
うにしてそれぞれの小径歯車７を外歯歯車６に連結させ
て、超音波モータを外歯歯車を挟んで３対配置させる場
合などがある。さらに、ケーシング２の上下位置に超音
波モータ３を配置しているが、上方または下方のどちら
か一方のみに配置するようにしてもよく、その場合は、
ケーシング２を薄く形成することができる。

【００１３】図４に示すように、上記アクチュエータ１
の動力源である超音波モータ３は、基板２０上に円盤状
のステータ２１がネジ２８によって取り付けられてお
り、ステータ２１の上に円盤状のロータ２２が重ねら
れ、ロータ２２が出力軸４の基端側の鍔状の押圧部４ａ
に連結された皿ばね２４によりステータ２１側に圧接さ
れている。ステータ２１の周縁部２１ａの下面には、分
極された多数の圧電素子２３が接着され、それらは駆動
用高周波の１／４波長の間隔を開けて２組に分けられ
る。なお、ステータ２１の周縁部２１ａの上面には、図
示を省略した多数の溝が設けられて突起が形成され、ス
テータ２１の周縁部２１ａの上面とロータ２２の周縁部
の下面とが圧接されて、ロータ２２を効率よく回転させ
ることができるようになっている。また、ロータ２２と
皿ばね２４との接触部分に摩擦材２７が設けられて、ロ
ータ２２のトルクを皿ばね２４に効率よく伝達できるよ
うになっている。

【００１４】上記の超音波モータ３は、それぞれの組の
圧電素子２３に互いに９０°位相差のある高周波電圧を
印加することにより、ステータ２１に進行波が発生し、
ステータ２１に発生した進行波により、ステータ２１に
圧接されているロータ２２が回転するようになってい
る。ロータ２２が回転すると、ロータ２２と皿ばね２４
との摩擦力によって皿ばね２４が回転し、皿ばね２４に
連結された出力軸４がロータ２２と一体に回転するよう
になっている。なお、超音波モータ３は、進行波を利用
したものであればよく、上記の構成に限るものではな
い。そのほか、超音波モータ３に高周波電圧を印加する
駆動装置２５がケーシング２内に納められ、駆動装置２
５に駆動信号を送る操作装置２６がケーシング２の外に
設けられてそれぞれが信号線で接続されており、操作装
置２６が電源に接続されている。なお、操作装置２６と
電源との間にバッテリーを有する無停電装置を設け、停
電時に無停電装置内のバッテリーから駆動装置２５に電
気を供給できるようにし、停電時でもアクチュエータ１
を作動させることができるようにしてもよい。また、駆
動装置２５はケーシング２の外に設けるようにしてもか
まわない。

【００１５】弁軸５１の上部とケーシングとの間に弁軸
５１の回転を阻止するとともに弁軸５１の軸方向移動を
可能にするストッパ手段が設けられており、そのストッ
パ手段は、例えば、次のように構成されている。弁体５
２の上部に回動可能に連結されるとともに上部にネジ部
５１ａを有する弁軸５１の上端の軸方向にキー溝５１ｂ
が設けられており、前記キー溝５１ｂに嵌合される突部
４５ａを有するキー４５が、ケーシング２の上面の貫通
孔１３ｂの周囲に突設された支持台４６に揺動可能に軸
支されており、キー４５の突部４５ａが弁軸５１のキー
溝５１ｂに嵌合されて、弁軸５１がキー４５に沿って軸
方向に移動可能であるとともに弁軸５１の回動を規制す
るようになっている。なお、キー４５とケーシング２の
上面との間にスプリング４７が設けられており、キー４
５の突部４５ａをキー溝５１ｂに嵌合させた状態に付勢
させている。また、後記するハンドルを回動させる際に
キー４５の突部４５ａをキー溝５１ｂから外した状態に
しておくために、キー４５が設けられている付近のケー
シング２の上面に係止部材を設けるようにしてもよい。

【００１６】また、弁軸５１の上端には、手動操作用の
ハンドル５４が取付ネジで係止されており、ハンドル５
４のアクチュエータ１が使用できないときに、ケーシン
グ２の上面に設けられたキー４５を揺動させてキー４５
の突部４５ａをキー溝５１ｂから外して弁軸５１を回動
可能にし、ハンドル５４を回して弁軸５１を回転させて
仕切弁５０の開閉を行なうことができるようになってい
る。なお、ハンドル５４は、はじめは設けないようにし
ておき、手動操作が必要なときに、弁軸５１の上端に係
止するようにしてもよい。

【００１７】上記構成のアクチュエータ１を使用した仕
切弁５０の開閉を行なうには、ケーシング２の外に設け
られた操作装置２６から超音波モータ３の駆動装置２５
に駆動信号を送って各超音波モータ３を駆動させる。超
音波モータ３が駆動すると、各超音波モータ３のそれぞ
れの出力軸４が回転して外歯歯車６が回転し、外歯歯車
６に連結されている動力軸５が回転する。動力軸５が回
転すると、その下部のネジ溝３０ａにねじ込まれた弁軸
５１がネジの作用により弁軸５１の軸方向に移動して弁
軸５１の下端の弁体５２を移動させることができる。

【００１８】アクチュエータ１の超音波モータ３を停止
させると、超音波モータ３のロータ２２とステータ２１
が皿ばね２４によって圧接されてブレーキとなり、弁体
５２の移動が瞬時に停止するとともに、弁体５２がその
位置で保持される。なお、上記実施例では、アクチュエ
ータ１を、弁軸５１が軸方向に上下することによってバ
ルブの開閉を行なうタイプの仕切弁に設置しているが、
そのほか、弁軸の下端がネジ切りされ、弁軸を回転させ
ることによって弁軸の下端に設けられた弁体が弁軸に沿
って移動する（弁軸が軸方向に移動しない）タイプの仕
切弁に取り付けることもできる。その場合、アクチュエ
ータ１の動力軸５の下端と弁軸の上端とを係止するなど
して動力軸５と弁軸とを連結するとともに、アクチュエ
ータ１をバルブケースに係止し、動力軸５の回転に合わ
せて弁軸が回転するようにして、弁軸の下端の弁体が軸
方向に移動できるようにする。

【００１９】

【発明の効果】本発明の超音波モータを用いたアクチュ
エータは、超音波モータの駆動力を利用しているので、
簡単な減速ギヤ構造でバルブの開閉に必要な回転やトル
クを得ることができ、装置全体を小型にすることができ
る。また、複数の超音波モータを使用して大きなトルク
を得ることができるアクチュエータとすることができる
とともに、超音波モータの停止時には、超音波モータの
ロータとステータが圧接されてブレーキの役目をするの
で、弁体を任意の位置にすばやく停止させて保持するこ
とができるので、かみこみ防止のために別個に制御装置
を設ける必要がなく、装置が小型になるとともに安価に
製作することができる。さらに、既存の手動ハンドル仕
様のバルブにも簡単に取り付けることができ、バルブの
開閉を自動化する際のコストを低く押さえることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の超音波モータを用いたアクチュエータ
を使用したバルブの一部断面正面図である。

【図２】ケーシング内の超音波モータの配置を示す平面
説明図である。

【図３】超音波モータを外歯歯車を挟んで相対する位置
に３対配置した場合の上方の配置を示す平面説明図
（ａ）と、下方の配置を示す平面説明図（ｂ）である。

【図４】超音波モータの一部断面正面図である。

【図５】従来の電動機型のアクチュエータを用いたバル
ブの模式図である。

【符号の説明】 １ アクチュエータ ２ ケーシング ３ 超音波モータ ４ 出力軸 ５ 動力軸 ６ 外歯歯車 ７ 小径歯車 ９ 支持部材 ３０ａ ネジ溝 ５０ 仕切弁 ５１ 弁軸 ５１ａ ネジ部 ５２ 弁体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 貴英 東京都豊島区東池袋１−48−６−1402 (72)発明者 高畠 大介 埼玉県上尾市菅谷３丁目105番地株式会社 フコク内 (72)発明者 杉野谷 英清 埼玉県上尾市菅谷３丁目105番地株式会社 フコク内 (72)発明者 鈴木 一郎 埼玉県上尾市菅谷３丁目105番地株式会社 フコク内 (72)発明者 来栖 裕之 埼玉県上尾市菅谷３丁目105番地株式会社 フコク内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 バルブの開閉を行なうアクチュエータで
   あって、ステータの下面に接着された圧電体によりステ
   ータに進行波を生じさせ、ステータに圧接したロータを
   ステータの進行波により駆動して回転させるようにした
   超音波モータがケーシング内に複数個設けられていると
   ともに、ケーシングがバルブケースに係止され、各超音
   波モータのロータに連結された出力軸とケーシングに保
   持された動力軸とが減速ギヤ構造で歯車結合され、弁体
   に接続された弁軸が、軸の回転を軸方向の移動に変換す
   る駆動力伝達手段を介して前記動力軸に連結されている
   ことを特徴とする超音波モータを用いたアクチュエー
   タ。
2. 【請求項２】 上記減速ギヤ構造は、動力軸に連結され
   た大径の外歯歯車の周縁付近に各超音波モータが任意間
   隔で配置され、各超音波モータの出力軸の端部に設けら
   れたそれぞれの小径歯車が前記外歯歯車の歯車部にかみ
   合わされて構成されている請求項１に記載の超音波モー
   タを用いたアクチュエータ。
3. 【請求項３】 駆動力伝達手段は、ケーシングの下面
   に、その内部がケーシング内と連通されているとともに
   下部がバルブケースの上部に係止される略筒状の支持部
   材が突設され、内周にネジ溝を有する略筒状の動力軸が
   ケーシングと支持部材とに軸方向移動が阻止されて回動
   可能に保持されるとともに、動力軸の内周ネジ溝に弁軸
   の上部のネジ部がねじ込まれ、弁軸上部とケーシングと
   の間に弁軸の回動を阻止するとともに弁軸の軸方向移動
   を可能にするストッパ手段が設けられて構成されている
   請求項１または２に記載の超音波モータを用いたアクチ
   ュエータ。