JPH08336975A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
- Publication number
- JPH08336975A JPH08336975A JP14335395A JP14335395A JPH08336975A JP H08336975 A JPH08336975 A JP H08336975A JP 14335395 A JP14335395 A JP 14335395A JP 14335395 A JP14335395 A JP 14335395A JP H08336975 A JPH08336975 A JP H08336975A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording
- adhesive
- ink
- recording head
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 記録用液体を吐出口から飛翔させて記録媒体
に付着させることにより記録を行うインクジェット記録
装置の記録ヘッドにおいて、初期に記録用液体を入れて
から共通液室あるいは吐出口内に記録用液体を入れてエ
ージングを行う必要がないようにする。 【構成】 記録用液体を飛翔させるための複数の電気熱
変換体を有したシリコン基板１に、各電気熱変換体に対
応した記録用液体の吐出口及びその共通液室を有した天
板２を接合する。また、シリコン基板１と、該シリコン
基板１からの熱を放熱させるアルミニウム製の放熱部材
６とを、エポキシ系の接着剤から成る接着層７により接
着する。
に付着させることにより記録を行うインクジェット記録
装置の記録ヘッドにおいて、初期に記録用液体を入れて
から共通液室あるいは吐出口内に記録用液体を入れてエ
ージングを行う必要がないようにする。 【構成】 記録用液体を飛翔させるための複数の電気熱
変換体を有したシリコン基板１に、各電気熱変換体に対
応した記録用液体の吐出口及びその共通液室を有した天
板２を接合する。また、シリコン基板１と、該シリコン
基板１からの熱を放熱させるアルミニウム製の放熱部材
６とを、エポキシ系の接着剤から成る接着層７により接
着する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インク等の記録用液体
を飛翔液滴として吐出口（オリフィス）から吐出させて
記録媒体に付着させることにより記録を行うインクジェ
ット記録装置に使用されるインクジェット記録ヘッドに
関するものである。
を飛翔液滴として吐出口（オリフィス）から吐出させて
記録媒体に付着させることにより記録を行うインクジェ
ット記録装置に使用されるインクジェット記録ヘッドに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、インクジェット記録装置に使用さ
れる記録ヘッドは、例えば特開昭５５−１３２２５３号
公報に記載されているように、シリコン基板上に形成さ
れた電気熱変換体と、該シリコン基板上の記録用インク
の吐出口と、前記電気熱変換体による熱作用部を有する
インク流路と、該インク流路に記録用インクを供給する
共通液室を構成する凹部を有した天板とから成り、前記
電気熱変換体を有したシリコン基板を例えばアルミニウ
ムの板材から成る放熱部材に接着した構成となってい
る。また、その接着剤としては、シリコーン接着剤の加
熱硬化型、あるいは常温硬化の脱アルコール型の材料が
使われている。
れる記録ヘッドは、例えば特開昭５５−１３２２５３号
公報に記載されているように、シリコン基板上に形成さ
れた電気熱変換体と、該シリコン基板上の記録用インク
の吐出口と、前記電気熱変換体による熱作用部を有する
インク流路と、該インク流路に記録用インクを供給する
共通液室を構成する凹部を有した天板とから成り、前記
電気熱変換体を有したシリコン基板を例えばアルミニウ
ムの板材から成る放熱部材に接着した構成となってい
る。また、その接着剤としては、シリコーン接着剤の加
熱硬化型、あるいは常温硬化の脱アルコール型の材料が
使われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
インクジェット記録ヘッドにあっては、上記のようにシ
リコン基板と放熱部材を接着する際に、シリコーン系の
接着剤を用いた場合は硬化時及び硬化後に低分子シロキ
サン成分が揮発し、この低分子シロキサン成分が記録用
インクを入れる前にシリコン基板上の記録用インクの吐
出口内部及び記録用インクを供給する共通液室内に付着
すると表面エネルギーが小さくなる。
インクジェット記録ヘッドにあっては、上記のようにシ
リコン基板と放熱部材を接着する際に、シリコーン系の
接着剤を用いた場合は硬化時及び硬化後に低分子シロキ
サン成分が揮発し、この低分子シロキサン成分が記録用
インクを入れる前にシリコン基板上の記録用インクの吐
出口内部及び記録用インクを供給する共通液室内に付着
すると表面エネルギーが小さくなる。
【０００４】その結果、接触角が大きくなり、上記のよ
うにシリコン基板上の記録用インクの吐出口内部及び記
録用インクを供給する共通液室を構成する凹部に付着し
た場合は、記録用インクをはじくので吐出時にヨレを生
じ、また記録用インクを供給する共通液室を構成する凹
部に付着した場合は記録用インクをはじき、共通液室内
に泡ができ易くなると言う特有の問題がある。
うにシリコン基板上の記録用インクの吐出口内部及び記
録用インクを供給する共通液室を構成する凹部に付着し
た場合は、記録用インクをはじくので吐出時にヨレを生
じ、また記録用インクを供給する共通液室を構成する凹
部に付着した場合は記録用インクをはじき、共通液室内
に泡ができ易くなると言う特有の問題がある。
【０００５】このため、現状では初期に記録用インクを
入れてから該記録用インクとの濡れ性を向上させるため
に共通液室あるいは吐出口内に記録用インクを入れてエ
ージングを行っている。したがって、製造工程を増すこ
とになり、コストアップを招いているという問題点があ
った。
入れてから該記録用インクとの濡れ性を向上させるため
に共通液室あるいは吐出口内に記録用インクを入れてエ
ージングを行っている。したがって、製造工程を増すこ
とになり、コストアップを招いているという問題点があ
った。
【０００６】本発明は、上記のような問題点に着目して
なされたもので、記録用液体を入れてから共通液室ある
いは吐出口内に記録用液体を入れてエージングを行う必
要がなく、製造工程が短縮され、コストダウンが可能な
インクジェット記録ヘッドを得ることを目的としてい
る。
なされたもので、記録用液体を入れてから共通液室ある
いは吐出口内に記録用液体を入れてエージングを行う必
要がなく、製造工程が短縮され、コストダウンが可能な
インクジェット記録ヘッドを得ることを目的としてい
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係るインクジェ
ット記録ヘッドは、次のように構成したものである。
ット記録ヘッドは、次のように構成したものである。
【０００８】（１）記録用液体を吐出させるための熱エ
ネルギーを発生する複数の熱エネルギー発生手段を有し
た基板と、前記各熱エネルギー発生手段に対応して設け
られたそれらの記録用液体の吐出口に連通する記録用液
体の共通液室と、前記基板から発生する熱を逃がすため
の放熱部材とを備え、前記基板をエポキシ系の接着剤を
用いた接着材により放熱部材に接着した。
ネルギーを発生する複数の熱エネルギー発生手段を有し
た基板と、前記各熱エネルギー発生手段に対応して設け
られたそれらの記録用液体の吐出口に連通する記録用液
体の共通液室と、前記基板から発生する熱を逃がすため
の放熱部材とを備え、前記基板をエポキシ系の接着剤を
用いた接着材により放熱部材に接着した。
【０００９】（２）上記（１）のインクジェット記録ヘ
ッドにおいて、接着材は、エポキシ系の接着剤に金属粒
子あるいはアルミナ粒子を分散させた。
ッドにおいて、接着材は、エポキシ系の接着剤に金属粒
子あるいはアルミナ粒子を分散させた。
【００１０】（３）上記（１）または（２）のインクジ
ェット記録ヘッドにおいて、接着材は、弾性率が７５０
Ｋｇ／ｍ2 以下とした。
ェット記録ヘッドにおいて、接着材は、弾性率が７５０
Ｋｇ／ｍ2 以下とした。
【００１１】（４）上記（１）ないし（３）何れかのイ
ンクジェット記録ヘッドにおいて、熱エネルギー発生手
段は、電気熱変換体とした。
ンクジェット記録ヘッドにおいて、熱エネルギー発生手
段は、電気熱変換体とした。
【００１２】
【作用】本発明によれば、熱エネルギー発生手段を有し
た基板と放熱部材を接着する接着材にエポキシ系の接着
剤を用いることによって、低分子シロキサン揮発をする
ことがなくなり、接触角の変化を低減することが可能と
なった。その結果、基板上の記録用液体の吐出口内部及
び記録用液体を供給する共通液室で記録用液体をはじく
ことがなくなり、記録用液体を入れてから濡れ性を向上
させるため共通液室あるいは吐出口内に記録用液体を入
れてエージングを行う必要がなくなる。
た基板と放熱部材を接着する接着材にエポキシ系の接着
剤を用いることによって、低分子シロキサン揮発をする
ことがなくなり、接触角の変化を低減することが可能と
なった。その結果、基板上の記録用液体の吐出口内部及
び記録用液体を供給する共通液室で記録用液体をはじく
ことがなくなり、記録用液体を入れてから濡れ性を向上
させるため共通液室あるいは吐出口内に記録用液体を入
れてエージングを行う必要がなくなる。
【００１３】
【実施例】図１は本発明の一実施例によるインクジェッ
ト記録ヘッドの構成を示す断面図である。図において、
１は記録用インク（記録用液体）を吐出させるための熱
エネルギーを発生する複数の電気熱変換体及び電気配線
を有したシリコン基板で、各電気熱変換体を挟んで一対
の対向する電極が設けられている。
ト記録ヘッドの構成を示す断面図である。図において、
１は記録用インク（記録用液体）を吐出させるための熱
エネルギーを発生する複数の電気熱変換体及び電気配線
を有したシリコン基板で、各電気熱変換体を挟んで一対
の対向する電極が設けられている。
【００１４】２は上記シリコン基板１と接合された天板
で、各電気熱変換体に対応して設けられたそれぞれの記
録用インクの吐出口、各電気熱変換体による熱作用部を
有するそれぞれのインク流路、及び各記録用インクの吐
出口に連通し各インク流路に記録用インクを供給する共
通液室を構成する凹部を有している。
で、各電気熱変換体に対応して設けられたそれぞれの記
録用インクの吐出口、各電気熱変換体による熱作用部を
有するそれぞれのインク流路、及び各記録用インクの吐
出口に連通し各インク流路に記録用インクを供給する共
通液室を構成する凹部を有している。
【００１５】３は上記天板２内の電気熱変換体を駆動す
るためのドライバー用ＩＣ、４は駆動回路が構成された
プリント基板、５はシリコン基板１とドライバー用ＩＣ
３及びドライバー用ＩＣ３とプリント基板４の間を電気
的に接続しているボンディングワイヤー、６はシリコン
基板１から発生する熱を逃がすための放熱部材で、アル
ミニウム材質で形成されている。
るためのドライバー用ＩＣ、４は駆動回路が構成された
プリント基板、５はシリコン基板１とドライバー用ＩＣ
３及びドライバー用ＩＣ３とプリント基板４の間を電気
的に接続しているボンディングワイヤー、６はシリコン
基板１から発生する熱を逃がすための放熱部材で、アル
ミニウム材質で形成されている。
【００１６】７はシリコン基板１と放熱部材６とを接着
している接着層（接着材）で、エポキシ系の接着剤から
成る。またこの接着層７の弾性率は、７５０Ｋｇ／ｍ2
以下としてある。
している接着層（接着材）で、エポキシ系の接着剤から
成る。またこの接着層７の弾性率は、７５０Ｋｇ／ｍ2
以下としてある。
【００１７】上記シリコン基板１上の電気熱変換体及び
電気配線は、次のようにして形成することができる。す
なわち、例えばまずシリコンウエハー表面に熱酸化によ
りＳｉＯ2 膜を１〜３μｍ形成し、その上に発熱抵抗体
となるＨｆＢ2 膜を４００〜２０００Å、密着向上層で
あるＴｉを１０〜１００Å、電極材料Ａｌを３０００〜
１００００Åそれぞれスパッタリングによって成膜形成
し、更にフオトリソグラフ工程によって所望の発熱体形
状及び電極形状が得られるようにパターン形成する。次
に、保護層としてＳｉＯ2 膜またはＳｉ3 Ｎ4 膜を１〜
２μｍスパッタリングあるいはＣＶＤ法により形成す
る。
電気配線は、次のようにして形成することができる。す
なわち、例えばまずシリコンウエハー表面に熱酸化によ
りＳｉＯ2 膜を１〜３μｍ形成し、その上に発熱抵抗体
となるＨｆＢ2 膜を４００〜２０００Å、密着向上層で
あるＴｉを１０〜１００Å、電極材料Ａｌを３０００〜
１００００Åそれぞれスパッタリングによって成膜形成
し、更にフオトリソグラフ工程によって所望の発熱体形
状及び電極形状が得られるようにパターン形成する。次
に、保護層としてＳｉＯ2 膜またはＳｉ3 Ｎ4 膜を１〜
２μｍスパッタリングあるいはＣＶＤ法により形成す
る。
【００１８】上記のように構成されたインクジェット記
録ヘッドにおいては、シリコン基板１と放熱部材６を接
着する接着材にエポキシ系の接着剤が用いられているの
で、低分子シロキサン成分の揮発がなく、シリコン基板
１上の記録用インクの吐出口内部及び記録用インクを供
給する共通液室を構成している凹部に低分子シロキサン
成分が付着することがなくなる。
録ヘッドにおいては、シリコン基板１と放熱部材６を接
着する接着材にエポキシ系の接着剤が用いられているの
で、低分子シロキサン成分の揮発がなく、シリコン基板
１上の記録用インクの吐出口内部及び記録用インクを供
給する共通液室を構成している凹部に低分子シロキサン
成分が付着することがなくなる。
【００１９】その結果、接触角の変化を抑えられること
になり、吐出口内で記録用インクをはじくことがなくな
り、記録用インクを入れてから該記録用インクとの濡れ
性を向上させるために共通液室あるいは吐出口内に記録
用インクを入れてエージングを行う必要がなくなるとと
もに、安価なインクジェット記録ヘッドを提供すること
が可能となる。
になり、吐出口内で記録用インクをはじくことがなくな
り、記録用インクを入れてから該記録用インクとの濡れ
性を向上させるために共通液室あるいは吐出口内に記録
用インクを入れてエージングを行う必要がなくなるとと
もに、安価なインクジェット記録ヘッドを提供すること
が可能となる。
【００２０】図２は従来のシリコーン系接着剤及び本実
施例のエポキシ系接着剤を用いた場合のシリコンチップ
表面の接触角の変化を示したものである。図示のよう
に、本実施例のエポキシ系接着剤を用いた場合には、接
着前と接着キュアー後とで接触角の変化はわずかなもの
に抑えられる。
施例のエポキシ系接着剤を用いた場合のシリコンチップ
表面の接触角の変化を示したものである。図示のよう
に、本実施例のエポキシ系接着剤を用いた場合には、接
着前と接着キュアー後とで接触角の変化はわずかなもの
に抑えられる。
【００２１】また本実施例では、接着剤として弾性率が
７５０Ｋｇ／ｍ2 以下と低いエポキシ系の加熱硬化型接
着剤を用いており、環境温度が変化した場合の応力が接
着層７により吸収される。このため、吐出口間の壁を破
壊することがなく、信頼性の高いインクジェット記録ヘ
ッドを提供することが可能となる。
７５０Ｋｇ／ｍ2 以下と低いエポキシ系の加熱硬化型接
着剤を用いており、環境温度が変化した場合の応力が接
着層７により吸収される。このため、吐出口間の壁を破
壊することがなく、信頼性の高いインクジェット記録ヘ
ッドを提供することが可能となる。
【００２２】さらに本実施例においては、シリコン基板
１と放熱部材６との間の接着層７にエポキシ系の接着剤
を用いているため、ワイヤーボンディング時の超音波が
逃げないので、製造工程で安定し、しかも歩留の高いワ
イヤーボンディング接続が得られることになる。
１と放熱部材６との間の接着層７にエポキシ系の接着剤
を用いているため、ワイヤーボンディング時の超音波が
逃げないので、製造工程で安定し、しかも歩留の高いワ
イヤーボンディング接続が得られることになる。
【００２３】図３は本発明の他の実施例の構成を示す断
面図であり、図１と同一符号は同一構成部分を示してい
る。同図中、８はシリコン基板１と放熱部材６を接着し
ている接着層（接着材）で、図１の接着層７に相当する
ものである。この接着層８は、本実施例ではエポキシ系
の接着剤にアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）粒子９を分散させた
ものとしているが、分散粒子は他の金属粒子であっても
良い。
面図であり、図１と同一符号は同一構成部分を示してい
る。同図中、８はシリコン基板１と放熱部材６を接着し
ている接着層（接着材）で、図１の接着層７に相当する
ものである。この接着層８は、本実施例ではエポキシ系
の接着剤にアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）粒子９を分散させた
ものとしているが、分散粒子は他の金属粒子であっても
良い。
【００２４】上記のように構成されたインクジェット記
録ヘッドにおいては、図１の実施例と同様、シリコン基
板１と放熱部材６を接着する接着材にエポキシ系の接着
剤を用いているので、低分子シロキサン成分の揮発がな
く、シリコン基板１上の記録用インクの吐出口内部及び
記録用インクを供給する共通液室を構成している凹部に
低分子シロキサン成分が付着することがなくなる。その
結果、接触角の変化を抑えられ、吐出口内で記録用イン
クをはじくことがなくなり、記録用インクを入れてから
該記録用インクとの濡れ性を向上させるために共通液室
あるいは吐出口内に記録用インクを入れてエージングを
行う必要がなくなり、安価なインクジェット記録ヘッド
を提供することが可能となる。
録ヘッドにおいては、図１の実施例と同様、シリコン基
板１と放熱部材６を接着する接着材にエポキシ系の接着
剤を用いているので、低分子シロキサン成分の揮発がな
く、シリコン基板１上の記録用インクの吐出口内部及び
記録用インクを供給する共通液室を構成している凹部に
低分子シロキサン成分が付着することがなくなる。その
結果、接触角の変化を抑えられ、吐出口内で記録用イン
クをはじくことがなくなり、記録用インクを入れてから
該記録用インクとの濡れ性を向上させるために共通液室
あるいは吐出口内に記録用インクを入れてエージングを
行う必要がなくなり、安価なインクジェット記録ヘッド
を提供することが可能となる。
【００２５】また本実施例においては、接着剤としてア
ルミナを添加したエポキシ系の加熱硬化型接着剤を用い
ている。通常エポキシ系接着剤では熱伝導率が１〜５×
１０-4cal/cm・sec・ ℃であるが、アルミナを添加した場
合は熱伝導率は１〜４×１０-3cal/cm・sec・ ℃となり、
シリコン基板１からアルミニウムでできた放熱部材６へ
の放熱効率を良くすることができる。この放熱効率が悪
い場合は、電気熱変換体及び電気配線を有したシリコン
基板１の温度がある一定温度を越えたときに、記録用イ
ンクの吐出を一時中断して該シリコン基板１の温度があ
る一定温度以下になるまで待機するシーケンスが組まれ
ており、使用途中で印字記録が中断されることがある。
ルミナを添加したエポキシ系の加熱硬化型接着剤を用い
ている。通常エポキシ系接着剤では熱伝導率が１〜５×
１０-4cal/cm・sec・ ℃であるが、アルミナを添加した場
合は熱伝導率は１〜４×１０-3cal/cm・sec・ ℃となり、
シリコン基板１からアルミニウムでできた放熱部材６へ
の放熱効率を良くすることができる。この放熱効率が悪
い場合は、電気熱変換体及び電気配線を有したシリコン
基板１の温度がある一定温度を越えたときに、記録用イ
ンクの吐出を一時中断して該シリコン基板１の温度があ
る一定温度以下になるまで待機するシーケンスが組まれ
ており、使用途中で印字記録が中断されることがある。
【００２６】また、インク液滴を吐出するときにシリコ
ン基板１上に設けられた電気熱変換体からの発熱により
シリコン基板１の温度が上昇し、インク液滴の吐出体積
が大きくなり、さらには吐出体積が大きくなることによ
り吐出口のメニスカス後退量が大きくなり、インク吐出
口内部に外から空気が入りやすく、泡となって不吐を起
こすことがあるが、本実施例では上記のようにシリコン
基板１から放熱部材６への放熱性が向上するので、不吐
を起こすことはない。
ン基板１上に設けられた電気熱変換体からの発熱により
シリコン基板１の温度が上昇し、インク液滴の吐出体積
が大きくなり、さらには吐出体積が大きくなることによ
り吐出口のメニスカス後退量が大きくなり、インク吐出
口内部に外から空気が入りやすく、泡となって不吐を起
こすことがあるが、本実施例では上記のようにシリコン
基板１から放熱部材６への放熱性が向上するので、不吐
を起こすことはない。
【００２７】さらに本実施例においても、前述の実施例
と同様シリコン基板１と放熱部材６との間の接着層８に
エポキシ系の接着剤を用いているため、ワイヤーボンデ
ィング時の超音波が安定して伝達し、ワイヤーボンディ
ングの品質が安定する。
と同様シリコン基板１と放熱部材６との間の接着層８に
エポキシ系の接着剤を用いているため、ワイヤーボンデ
ィング時の超音波が安定して伝達し、ワイヤーボンディ
ングの品質が安定する。
【００２８】ところで本発明は、特にインクジェット記
録方式の中でも、インク吐出を行わせるために利用され
るエネルギーとして熱エネルギーを発生する手段（例え
ば電気熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギ
ーによりインクの状態変化を生起させる方式の記録ヘッ
ド、記録装置において、優れた効果をもたらすものであ
る。その代表的な構成や原理については、例えば、米国
特許第４７２３１２９号明細書，同第４７４０７９６号
明細書に開示されている基本的な原理を用いて行うもの
が好ましい。
録方式の中でも、インク吐出を行わせるために利用され
るエネルギーとして熱エネルギーを発生する手段（例え
ば電気熱変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギ
ーによりインクの状態変化を生起させる方式の記録ヘッ
ド、記録装置において、優れた効果をもたらすものであ
る。その代表的な構成や原理については、例えば、米国
特許第４７２３１２９号明細書，同第４７４０７９６号
明細書に開示されている基本的な原理を用いて行うもの
が好ましい。
【００２９】この方式は所謂オンデマンド型，コンティ
ニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特に、オン
デマンド型の場合には、液体（インク）が保持されてい
るシートや液路に対応して配置されている電気熱変換体
に、記録情報に対応していて膜沸騰を越える急速な温度
上昇を与える少なくとも一つの駆動信号を印加すること
によって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生せしめ、
記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結果的に
この駆動信号に一対一対応し液体（インク）内の気泡を
形成できるので有効である。
ニュアス型のいずれにも適用可能であるが、特に、オン
デマンド型の場合には、液体（インク）が保持されてい
るシートや液路に対応して配置されている電気熱変換体
に、記録情報に対応していて膜沸騰を越える急速な温度
上昇を与える少なくとも一つの駆動信号を印加すること
によって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生せしめ、
記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結果的に
この駆動信号に一対一対応し液体（インク）内の気泡を
形成できるので有効である。
【００３０】そして、上記の気泡の成長，収縮により吐
出用開口を介して液体（インク）を吐出させて、少なく
とも一つの滴を形成する。このときの駆動信号をパルス
形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行われるの
で、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成で
き、より好ましい。このパルス形状の駆動信号として
は、米国特許第４４６３３５９号明細書，同第４３４５
２６２号明細書に記載されているようなものが適してい
る。
出用開口を介して液体（インク）を吐出させて、少なく
とも一つの滴を形成する。このときの駆動信号をパルス
形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行われるの
で、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成で
き、より好ましい。このパルス形状の駆動信号として
は、米国特許第４４６３３５９号明細書，同第４３４５
２６２号明細書に記載されているようなものが適してい
る。
【００３１】尚、前記熱作用面の温度上昇率に関する発
明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されてい
る条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことがで
きる。また記録ヘッドの構成としては、上述の各明細書
に開示されているような吐出口，液路，電気熱変換体の
組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の他
に熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示
する米国特許第４５５８３３３号明細書，米国特許第４
４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれる
ものである。
明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されてい
る条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことがで
きる。また記録ヘッドの構成としては、上述の各明細書
に開示されているような吐出口，液路，電気熱変換体の
組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の他
に熱作用部が屈曲する領域に配置されている構成を開示
する米国特許第４５５８３３３号明細書，米国特許第４
４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれる
ものである。
【００３２】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
としても本発明の効果は有効である。
通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする構成を開
示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギー
の圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を開
示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構成
としても本発明の効果は有効である。
【００３３】さらに加えて、装置本体に装着されること
で、装置本体との電気的な接続や装置本体からのインク
の供給が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッ
ド、あるいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカー
トリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は
有効である。
で、装置本体との電気的な接続や装置本体からのインク
の供給が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッ
ド、あるいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカー
トリッジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は
有効である。
【００３４】また、本発明に記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段，予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できる
ので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、
記録ヘッドに対してのキャッピング手段，クリーニング
手段，加圧または吸引手段，電気熱変換体あるいは、こ
れとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによる
予備加熱手段，記録とは別の吐出を行う予備吐出モード
を行うことも安定した記録を行うために有効である。
られる、記録ヘッドに対しての回復手段，予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定できる
ので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、
記録ヘッドに対してのキャッピング手段，クリーニング
手段，加圧または吸引手段，電気熱変換体あるいは、こ
れとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによる
予備加熱手段，記録とは別の吐出を行う予備吐出モード
を行うことも安定した記録を行うために有効である。
【００３５】さらに、記録装置の記録モードとしては黒
色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによってで
も良いが、異なる色の複色カラーあるいは、混色による
フルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は
極めて有効である。
色等の主流色のみの記録モードだけではなく、記録ヘッ
ドを一体的に構成するか複数個の組み合わせによってで
も良いが、異なる色の複色カラーあるいは、混色による
フルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は
極めて有効である。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
熱エネルギー発生手段を有した基板と放熱部材を接着す
る接着材にエポキシ系の接着剤を用いるようにしたた
め、低分子シロキサン成分の揮発がなく、接触角の変化
が抑えられ、その結果、基板上の記録用液体の吐出口内
部及び記録用液体を供給する共通液室を構成する凹部と
記録用液体の吐出口内に付着しても記録用液体をはじく
ことがなく、記録用液体を入れてから該記録用液体との
濡れ性を向上させるために共通液室あるいは吐出口内に
記録用液体を入れてエーシングを行う必要がなくなり、
製造工程が短縮され、コストダウンが可能になるという
効果がある。
熱エネルギー発生手段を有した基板と放熱部材を接着す
る接着材にエポキシ系の接着剤を用いるようにしたた
め、低分子シロキサン成分の揮発がなく、接触角の変化
が抑えられ、その結果、基板上の記録用液体の吐出口内
部及び記録用液体を供給する共通液室を構成する凹部と
記録用液体の吐出口内に付着しても記録用液体をはじく
ことがなく、記録用液体を入れてから該記録用液体との
濡れ性を向上させるために共通液室あるいは吐出口内に
記録用液体を入れてエーシングを行う必要がなくなり、
製造工程が短縮され、コストダウンが可能になるという
効果がある。
【００３７】また、エポキシ系接着剤に金属粒子あるい
はアルミナ粒子を添加することにより、熱伝導率が向上
し、基板から放熱部材への放熱効率を良くすることがで
き、その結果、基板の温度がある一定温度を越えたとき
に記録用液体の吐出を一時中断して基板の温度がある一
定温度以下になるまで待機する必要がない。同時に、基
板の温度が上昇して液滴の吐出体積が大きくなり、この
吐出体積が大きくなることによって吐出口のメニスカス
後退量が大きくなり、記録用液体の吐出口内部に外から
空気が入りやすくなり、泡となって不吐を起こす原因を
取り除くことが可能となる。
はアルミナ粒子を添加することにより、熱伝導率が向上
し、基板から放熱部材への放熱効率を良くすることがで
き、その結果、基板の温度がある一定温度を越えたとき
に記録用液体の吐出を一時中断して基板の温度がある一
定温度以下になるまで待機する必要がない。同時に、基
板の温度が上昇して液滴の吐出体積が大きくなり、この
吐出体積が大きくなることによって吐出口のメニスカス
後退量が大きくなり、記録用液体の吐出口内部に外から
空気が入りやすくなり、泡となって不吐を起こす原因を
取り除くことが可能となる。
【００３８】さらに、基板と放熱部材を接着する接着材
にエポキシ系の接着剤を用いることによって基板の固定
を確実にでき、ワイヤーボンディング時の超音波が安定
して伝達するのでワイヤーボンディングの品質が安定
し、ワイヤーボンディング時の歩留が向上する。しか
も、接着材の弾性率を７５０Ｋｇ／ｍ2 以下とすること
で、吐出時に発生する熱膨張による応力を緩和でき、吐
出エレメントが壊れることなく、信頼性の高いインクジ
ェット記録ヘッドをより安価に作ることができる。
にエポキシ系の接着剤を用いることによって基板の固定
を確実にでき、ワイヤーボンディング時の超音波が安定
して伝達するのでワイヤーボンディングの品質が安定
し、ワイヤーボンディング時の歩留が向上する。しか
も、接着材の弾性率を７５０Ｋｇ／ｍ2 以下とすること
で、吐出時に発生する熱膨張による応力を緩和でき、吐
出エレメントが壊れることなく、信頼性の高いインクジ
ェット記録ヘッドをより安価に作ることができる。
【００３９】
【図１】 本発明の一実施例の構成を示す断面図
【図２】 接着剤の硬化前後の接触角の変化を示す説明
図
図
【図３】 本発明の他の実施例の構成を示す断面図
１ 電気熱変換体を有したシリコン基板 ２ 共通液室を有した天板 ６ 放熱部材 ７ 接着層（接着材） ８ 接着層（接着材） ９ アルミナ粒子
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年７月１２日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】（３）上記（１）または（２）のインクジ
ェット記録ヘッドにおいて、接着材は、弾性率が７５０
Ｋｇ／ｍｍ 2 以下とした。
ェット記録ヘッドにおいて、接着材は、弾性率が７５０
Ｋｇ／ｍｍ 2 以下とした。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１６】７はシリコン基板１と放熱部材６とを接着
している接着層（接着材）で、エポキシ系の接着剤から
成る。またこの接着層７の弾性率は、７５０Ｋｇ／ｍｍ
2 以下としてある。
している接着層（接着材）で、エポキシ系の接着剤から
成る。またこの接着層７の弾性率は、７５０Ｋｇ／ｍｍ
2 以下としてある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】また本実施例では、接着剤として弾性率が
７５０Ｋｇ／ｍｍ 2 以下と低いエポキシ系の加熱硬化型
接着剤を用いており、環境温度が変化した場合の応力が
接着層７により吸収される。このため、吐出口間の壁を
破壊することがなく、信頼性の高いインクジェット記録
ヘッドを提供することが可能となる。
７５０Ｋｇ／ｍｍ 2 以下と低いエポキシ系の加熱硬化型
接着剤を用いており、環境温度が変化した場合の応力が
接着層７により吸収される。このため、吐出口間の壁を
破壊することがなく、信頼性の高いインクジェット記録
ヘッドを提供することが可能となる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３８】さらに、基板と放熱部材を接着する接着材
にエポキシ系の接着剤を用いることによって基板の固定
を確実にでき、ワイヤーボンディング時の超音波が安定
して伝達するのでワイヤーボンディングの品質が安定
し、ワイヤーボンディング時の歩留が向上する。しか
も、接着材の弾性率を７５０Ｋｇ／ｍｍ 2 以下とするこ
とで、吐出時に発生する熱膨張による応力を緩和でき、
吐出エレメントが壊れることなく、信頼性の高いインク
ジェット記録ヘッドをより安価に作ることができる。
にエポキシ系の接着剤を用いることによって基板の固定
を確実にでき、ワイヤーボンディング時の超音波が安定
して伝達するのでワイヤーボンディングの品質が安定
し、ワイヤーボンディング時の歩留が向上する。しか
も、接着材の弾性率を７５０Ｋｇ／ｍｍ 2 以下とするこ
とで、吐出時に発生する熱膨張による応力を緩和でき、
吐出エレメントが壊れることなく、信頼性の高いインク
ジェット記録ヘッドをより安価に作ることができる。
Claims (4)
- 【請求項１】 記録用液体を吐出させるための熱エネル
ギーを発生する複数の熱エネルギー発生手段を有した基
板と、前記各熱エネルギー発生手段に対応して設けられ
たそれらの記録用液体の吐出口に連通する記録用液体の
共通液室と、前記基板から発生する熱を逃がすための放
熱部材とを備え、前記基板をエポキシ系の接着剤を用い
た接着材により放熱部材に接着したことを特徴とするイ
ンクジェット記録ヘッド。 - 【請求項２】 接着材は、エポキシ系の接着剤に金属粒
子あるいはアルミナ粒子が分散されていることを特徴と
する請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項３】 接着材は、弾性率が７５０Ｋｇ／ｍ2 以
下であることを特徴とする請求項１または２記載のイン
クジェット記録ヘッド。 - 【請求項４】 熱エネルギー発生手段は、電気熱変換体
であることを特徴とする請求項１ないし３何れか記載の
インクジェット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14335395A JPH08336975A (ja) | 1995-06-09 | 1995-06-09 | インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14335395A JPH08336975A (ja) | 1995-06-09 | 1995-06-09 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08336975A true JPH08336975A (ja) | 1996-12-24 |
Family
ID=15336819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14335395A Withdrawn JPH08336975A (ja) | 1995-06-09 | 1995-06-09 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08336975A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010143565A1 (en) * | 2009-06-09 | 2010-12-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge recording head and method of manufacturing the same |
| JP2015227035A (ja) * | 2014-06-02 | 2015-12-17 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド |
-
1995
- 1995-06-09 JP JP14335395A patent/JPH08336975A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010143565A1 (en) * | 2009-06-09 | 2010-12-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge recording head and method of manufacturing the same |
| JP2010284813A (ja) * | 2009-06-09 | 2010-12-24 | Canon Inc | 液体吐出記録ヘッドおよびその製造方法 |
| JP4732535B2 (ja) * | 2009-06-09 | 2011-07-27 | キヤノン株式会社 | 液体吐出記録ヘッドおよびその製造方法 |
| US20120033017A1 (en) * | 2009-06-09 | 2012-02-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge recording head and method of manufacturing the same |
| CN102458862A (zh) * | 2009-06-09 | 2012-05-16 | 佳能株式会社 | 液体排出记录头及其制造方法 |
| US8678556B2 (en) | 2009-06-09 | 2014-03-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge recording head and method of manufacturing the same |
| CN102458862B (zh) * | 2009-06-09 | 2014-10-01 | 佳能株式会社 | 液体排出记录头及其制造方法 |
| JP2015227035A (ja) * | 2014-06-02 | 2015-12-17 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6659597B2 (en) | Liquid discharge head | |
| JP5095352B2 (ja) | ヘッドユニット、ヘッドユニットの製造方法 | |
| EP0573014A2 (en) | Method for manufacturing ink jet head, ink jet head manufactured by such a method, and ink jet apparatus provided with such a head | |
| JP2004519359A (ja) | インクジェットプリンティング・モジュール | |
| JPH08336975A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| US7025439B2 (en) | Ink jet printer with extended nozzle plate and method | |
| JP4506145B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
| JP2002331667A (ja) | 記録ヘッド、記録ヘッドの製造方法、およびインクジェット記録装置 | |
| JPH10230611A (ja) | 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP2003072042A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 | |
| JP2001150680A (ja) | インクジェットプリンタヘッド | |
| US6364455B1 (en) | Printhead of ink jet printing apparatus and manufacturing method therefor | |
| JP3190454B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 | |
| JP3332563B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| JP2004160947A (ja) | 液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置 | |
| JP2007294520A (ja) | 半導体装置の実装方法 | |
| JP4408582B2 (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置 | |
| JP2002331666A (ja) | インクジェット記録ヘッド | |
| JPH06286127A (ja) | インクジェット記録ヘッド及び該インクジェット記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置 | |
| JP2812967B2 (ja) | 液体噴射記録装置 | |
| JPH08187860A (ja) | 液体噴射記録ヘッドおよびこれを搭載する液体噴射記録装置 | |
| JP2002273885A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH08150718A (ja) | インクジェット記録装置の記録ヘッド | |
| JPH07314685A (ja) | インクジェット記録ヘッド及び製造方法 | |
| JPH09109394A (ja) | 記録ヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020903 |