JPH08320289A - Ａｔｒ型クリスタル用取り付けアセンブリ - Google Patents
Ａｔｒ型クリスタル用取り付けアセンブリInfo
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- JPH08320289A JPH08320289A JP8046478A JP4647896A JPH08320289A JP H08320289 A JPH08320289 A JP H08320289A JP 8046478 A JP8046478 A JP 8046478A JP 4647896 A JP4647896 A JP 4647896A JP H08320289 A JPH08320289 A JP H08320289A
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/02—Objectives
- G02B21/04—Objectives involving mirrors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/552—Attenuated total reflection
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 実際に測定している試料の面積を知ることが
できるようにするとともに、試料とクリスタルの間に十
分な当接圧をもたらすことにより、正確な測定を可能に
する。 【解決手段】 ＡＴＲ型クリスタルの上部を略半球状に
したことにより放射光が屈折することなく通過でき、下
部は円錐状でその頂点が試料と当接するようになってい
る。ＡＴＲアセンブリが、取り付けアセンブリにおいて
上下動可能になっている。
できるようにするとともに、試料とクリスタルの間に十
分な当接圧をもたらすことにより、正確な測定を可能に
する。 【解決手段】 ＡＴＲ型クリスタルの上部を略半球状に
したことにより放射光が屈折することなく通過でき、下
部は円錐状でその頂点が試料と当接するようになってい
る。ＡＴＲアセンブリが、取り付けアセンブリにおいて
上下動可能になっている。
Description
【０００１】
【発明の関する技術分野】本願発明は、試料の分光分析
を行うための装置に関する。
を行うための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】このような装置は通常可視光源および非
可視波長域、特に赤外ＩＲ)域の放射エネルギー源を具
備する。赤外線は試料の分光分析に用いられる。
可視波長域、特に赤外ＩＲ)域の放射エネルギー源を具
備する。赤外線は試料の分光分析に用いられる。
【０００３】この種の装置には例えばパーキンエルマー
社製のＦＴ−ＩＲ顕微鏡干渉計がある。この種の顕微鏡
は微小試料の分析に使用することができる。試料は対物
レンズとコンデンサレンズの間のステージに載置でき
る。この顕微鏡は概して透過モードと反射モードのどち
らでも使用できる。観察する試料が分析光を透過しない
場合には反射モードが用いられる。この顕微鏡は通常Ｉ
Ｒ分光光度計と連結して用い、試料の赤外スペクトルを
得る。
社製のＦＴ−ＩＲ顕微鏡干渉計がある。この種の顕微鏡
は微小試料の分析に使用することができる。試料は対物
レンズとコンデンサレンズの間のステージに載置でき
る。この顕微鏡は概して透過モードと反射モードのどち
らでも使用できる。観察する試料が分析光を透過しない
場合には反射モードが用いられる。この顕微鏡は通常Ｉ
Ｒ分光光度計と連結して用い、試料の赤外スペクトルを
得る。
【０００４】反射モードにおいて反射の良くない試料を
分析する場合、いわゆる全反射減衰分光ＡＴＲ）法を用
いることが公知である。その際、内部全反射あるいは内
部全反射減衰を利用したクリスタルが、分析中に試料に
当接して置かれる。試料とクリスタル間の当接状態は通
常圧力を加えることにより維持されている。先行技術で
はクリスタルは半球型であり、その底面部が試料と当接
している。そのようなクリスタルを用いた装置の例は米
国特許５０９３５８０、特開平４ー３４８２５４および
特開平５ー１６４９７２に記載されている。クリスタル
は通常ＺｎＳｅやゲルマニウムなどの赤外透過性の材料
からなる。先行技術装置の中には、クリスタルを試料か
ら離すことにより、準備段階において試料の目視観察が
できるように構成されているものもある。
分析する場合、いわゆる全反射減衰分光ＡＴＲ）法を用
いることが公知である。その際、内部全反射あるいは内
部全反射減衰を利用したクリスタルが、分析中に試料に
当接して置かれる。試料とクリスタル間の当接状態は通
常圧力を加えることにより維持されている。先行技術で
はクリスタルは半球型であり、その底面部が試料と当接
している。そのようなクリスタルを用いた装置の例は米
国特許５０９３５８０、特開平４ー３４８２５４および
特開平５ー１６４９７２に記載されている。クリスタル
は通常ＺｎＳｅやゲルマニウムなどの赤外透過性の材料
からなる。先行技術装置の中には、クリスタルを試料か
ら離すことにより、準備段階において試料の目視観察が
できるように構成されているものもある。
【０００５】クリスタルが離された位置において、試料
を例えば光学顕微鏡により目視観察し、測定点を確認
し、適切に位置決めする。そしてクリスタルを試料に当
接させた後、顕微鏡の赤外モードにて分析する。
を例えば光学顕微鏡により目視観察し、測定点を確認
し、適切に位置決めする。そしてクリスタルを試料に当
接させた後、顕微鏡の赤外モードにて分析する。
【０００６】半球型のクリスタルを利用するこれまでの
構成には２つの大きな問題がある。１つは実際に分析さ
れている試料の面積に関する不安定性であり、もう１つ
は信頼できる測定結果を得るために、クリスタルと試料
を十分な圧力で当接させなければならないということで
ある。
構成には２つの大きな問題がある。１つは実際に分析さ
れている試料の面積に関する不安定性であり、もう１つ
は信頼できる測定結果を得るために、クリスタルと試料
を十分な圧力で当接させなければならないということで
ある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本願発明の課題は、上
記の問題点を解決した装置を提供することである。
記の問題点を解決した装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願発明によれば、この
課題は、略放射状に伸び、分光分析用装置の対物レンズ
に取り付け可能な腕部を有するフレームと、フレームに
取り付けられて軸方向に垂下した支持体を具備し、支持
体は第１・第２の相対的に可動の部材を有し、第２の可
動部材はその下端にＡＴＲ型クリスタル、第２部材を下
端位置に付勢する手段および第２部材を付勢手段に抗し
て上方に移動させる手段を有するＡＴＲ型クリスタル用
取り付けアセンブリにより解決される。
課題は、略放射状に伸び、分光分析用装置の対物レンズ
に取り付け可能な腕部を有するフレームと、フレームに
取り付けられて軸方向に垂下した支持体を具備し、支持
体は第１・第２の相対的に可動の部材を有し、第２の可
動部材はその下端にＡＴＲ型クリスタル、第２部材を下
端位置に付勢する手段および第２部材を付勢手段に抗し
て上方に移動させる手段を有するＡＴＲ型クリスタル用
取り付けアセンブリにより解決される。
【０００９】
【発明の実施の形態】本願発明の別の態様によれば、略
放射状に伸びた、分光分析用装置の対物レンズに取り付
け可能のリムを有するフレームと、フレームより軸方向
に垂下した支持体を具備し、この支持体は第１・第２の
相対的に可動である部材を有し、そのうち第２部材の下
端には既述の第１の特徴により記載したＡＴＲ型クリス
タルが取り付けられ、さらに第２部材を最下位置に付勢
するための手段、および第２部材を付勢部材に抗して上
方へ移動させるための手段を具備したＡＴＲ型クリスタ
ルが提供される。
放射状に伸びた、分光分析用装置の対物レンズに取り付
け可能のリムを有するフレームと、フレームより軸方向
に垂下した支持体を具備し、この支持体は第１・第２の
相対的に可動である部材を有し、そのうち第２部材の下
端には既述の第１の特徴により記載したＡＴＲ型クリス
タルが取り付けられ、さらに第２部材を最下位置に付勢
するための手段、および第２部材を付勢部材に抗して上
方へ移動させるための手段を具備したＡＴＲ型クリスタ
ルが提供される。
【００１０】上記のような構成により、円錐の頂点を比
較的小さい平面にすることが可能となり、試料との当接
面積を知ることができる。さらに、円錐の頂点面積が比
較的小さいため、当接面積を増加させることなく試料と
クリスタルを高い圧力で当接させるようにすることがで
きる。
較的小さい平面にすることが可能となり、試料との当接
面積を知ることができる。さらに、円錐の頂点面積が比
較的小さいため、当接面積を増加させることなく試料と
クリスタルを高い圧力で当接させるようにすることがで
きる。
【００１１】クリスタル本体の上面を平らにして支持体
に結合することができる。頂点の当接面は通常５０〜２
００ミクロン程度の寸法であり、特には１００ミクロン
程度である。
に結合することができる。頂点の当接面は通常５０〜２
００ミクロン程度の寸法であり、特には１００ミクロン
程度である。
【００１２】第２部材は管状外部第１部材内に軸方向に
配設し、これら部材を軸上にて相対的に動かすことがで
きる。ＡＴＲ型クリスタルはにより第２部材の下端へ接
着剤により固定することができる。付勢手段は第１管状
部材の上部内に配設したスプリングとすることができ
る。支持手段は第２部材上にてスプリングによる付勢量
を調節する手段を含むことができる。
配設し、これら部材を軸上にて相対的に動かすことがで
きる。ＡＴＲ型クリスタルはにより第２部材の下端へ接
着剤により固定することができる。付勢手段は第１管状
部材の上部内に配設したスプリングとすることができ
る。支持手段は第２部材上にてスプリングによる付勢量
を調節する手段を含むことができる。
【００１３】このような取り付けアセンブリは既存の、
例えばＦＴ−ＩＲ顕微鏡などの分光分析装置の付属装置
とすることができる。
例えばＦＴ−ＩＲ顕微鏡などの分光分析装置の付属装置
とすることができる。
【００１４】
【実施例】以下に、本願発明を付随の図面を参照しなが
ら単なる例示として説明する。
ら単なる例示として説明する。
【００１５】図１に示したのは、例えばパーキンエルマ
ー社製のＦＴ−ＩＲ顕微鏡の主要構成要素である。この
顕微鏡は可視／赤外ミラー１１の上部に配設された光学
顕微鏡１０を具備する。可視／赤外ミラーは遠隔アパー
チャ１２の上部に配設されている。遠隔アパーチャ１２
の下部には透過／反射ミラー１４が位置し、その下部に
は対物カセグレンアセンブリ１６および集光カセグレン
アセンブリ１８がある。２つのカセグレンアセンブリ間
には通常ステージである試料位置がくる。集光カセグレ
ン１８の下部には平面ミラー２２があり、それによりト
ロイドカップリングレンズｔｏｒｏｉｄ ｃｏｕｐｌｉ
ｎｇ ｏｐｔｉｃ）２４からの放射光を方向付けること
ができる。トロイドカップリングレンズ２４は放射光
源、特に可視光源または赤外線源からの放射光を受光す
るよう構成されている。本装置はまた検出器とＭＣＴカ
セグレン装置２６を有し、これをＩＲ分光光度計図示し
ない）と共に用いて分光分析を行う。
ー社製のＦＴ−ＩＲ顕微鏡の主要構成要素である。この
顕微鏡は可視／赤外ミラー１１の上部に配設された光学
顕微鏡１０を具備する。可視／赤外ミラーは遠隔アパー
チャ１２の上部に配設されている。遠隔アパーチャ１２
の下部には透過／反射ミラー１４が位置し、その下部に
は対物カセグレンアセンブリ１６および集光カセグレン
アセンブリ１８がある。２つのカセグレンアセンブリ間
には通常ステージである試料位置がくる。集光カセグレ
ン１８の下部には平面ミラー２２があり、それによりト
ロイドカップリングレンズｔｏｒｏｉｄ ｃｏｕｐｌｉ
ｎｇ ｏｐｔｉｃ）２４からの放射光を方向付けること
ができる。トロイドカップリングレンズ２４は放射光
源、特に可視光源または赤外線源からの放射光を受光す
るよう構成されている。本装置はまた検出器とＭＣＴカ
セグレン装置２６を有し、これをＩＲ分光光度計図示し
ない）と共に用いて分光分析を行う。
【００１６】顕微鏡は可視光源を有し、また赤外光源と
も連結することができることが明らかであろう。赤外光
源は通常、共に用いられる分光光度計に内蔵されてい
る。これらの光源は図１には示してない。
も連結することができることが明らかであろう。赤外光
源は通常、共に用いられる分光光度計に内蔵されてい
る。これらの光源は図１には示してない。
【００１７】当業者であればこのような顕微鏡の動作は
明らかであり、その詳細な説明は本願発明を理解する上
で必要とは思われない。この顕微鏡に関しては、１９９
０年１１月にアメリカン・ラボラトリー誌に掲載された
Ｄ．Ｗ．シアリング，Ｅ．Ｆ．ヤング、およびＴ．Ｐ．
バイロンらによる論文“ＦＴＩＲ顕微鏡”、およびパー
キンエルマー社製ＦＴ／ＩＲ顕微鏡の取り扱い説明書に
詳しい。
明らかであり、その詳細な説明は本願発明を理解する上
で必要とは思われない。この顕微鏡に関しては、１９９
０年１１月にアメリカン・ラボラトリー誌に掲載された
Ｄ．Ｗ．シアリング，Ｅ．Ｆ．ヤング、およびＴ．Ｐ．
バイロンらによる論文“ＦＴＩＲ顕微鏡”、およびパー
キンエルマー社製ＦＴ／ＩＲ顕微鏡の取り扱い説明書に
詳しい。
【００１８】手短に言えば、図１に示した型の顕微鏡を
使用して試料を分析する際の最初のステップは、目視に
より試料の測定箇所を確認することである。試料を目視
観察する際の顕微鏡の構成を図２に示す。この構成にお
いて、可視光源からの入力ビームは反射ミラー１４に向
けられ、対物カセグレン１６へと反射される。このカセ
グレンから光ビームは試料位置へ進み、光は対物カセグ
レンを介して、光学顕微鏡１０へと戻る。
使用して試料を分析する際の最初のステップは、目視に
より試料の測定箇所を確認することである。試料を目視
観察する際の顕微鏡の構成を図２に示す。この構成にお
いて、可視光源からの入力ビームは反射ミラー１４に向
けられ、対物カセグレン１６へと反射される。このカセ
グレンから光ビームは試料位置へ進み、光は対物カセグ
レンを介して、光学顕微鏡１０へと戻る。
【００１９】試料をステージ上に正しく載置すれば、引
き続き基準反射率測定を開始することができる。このモ
ードにおける構成を図３に示す。測定入射光は同様に反
射ミラー１４へ向かって進み、対物カセグレン１６を介
して試料位置２０へと進む。試料からビームは上側に反
射され対物カセグレンおよび遠隔アパーチャ１２を介し
てミラー１１へと進む。ここで、ミラー１１は可動エレ
メントであり、図２に示す目視用の構成においては動作
位置になく、分析用にこの位置に置かれているいという
ことが重要である。ミラー１１からビームは検出装置に
向けられ、分光分析が可能となる。
き続き基準反射率測定を開始することができる。このモ
ードにおける構成を図３に示す。測定入射光は同様に反
射ミラー１４へ向かって進み、対物カセグレン１６を介
して試料位置２０へと進む。試料からビームは上側に反
射され対物カセグレンおよび遠隔アパーチャ１２を介し
てミラー１１へと進む。ここで、ミラー１１は可動エレ
メントであり、図２に示す目視用の構成においては動作
位置になく、分析用にこの位置に置かれているいという
ことが重要である。ミラー１１からビームは検出装置に
向けられ、分光分析が可能となる。
【００２０】図２に示した顕微鏡の構成は反射モード用
であることが理解されよう。反射の良くない試料を測定
する場合、対物カセグレンと試料の間に支持されたＡＴ
Ｒクリスタルを利用することが公知である。図４と５は
図２と３に対応し、試料の目視観察（図４）および実際
の分析測定（図５）におけるＡＴＲクリスタル４０の位
置を示している。分析測定の際、クリスタルは試料と当
接しており、クリスタルの基本的な動作原理は当業者に
明らかであろう。
であることが理解されよう。反射の良くない試料を測定
する場合、対物カセグレンと試料の間に支持されたＡＴ
Ｒクリスタルを利用することが公知である。図４と５は
図２と３に対応し、試料の目視観察（図４）および実際
の分析測定（図５）におけるＡＴＲクリスタル４０の位
置を示している。分析測定の際、クリスタルは試料と当
接しており、クリスタルの基本的な動作原理は当業者に
明らかであろう。
【００２１】本構成はＡＴＲクリスタルの特別な形態に
係わる。クリスタルは図６ａおよび６ｃに詳細に示され
ている。クリスタルは円筒状の中間部６０、部分的に半
球状の表面を有する上部６２、平面上部６３および略円
錐状の下部６５を有する。クリスタルは特にゲルマニウ
ムやシリコン等の、赤外線を透過する材料より作られて
いる。クリスタルの寸法は大体次のとうりである。中間
部６０の半径は２ｍｍ程度、クリスタルの軸方向全長は
３ｍｍ程度、そして円錐の頂点６６は微小な平面であ
り、その寸法は特には１００ミクロン程度であるが、約
５０ミクロンから２００ミクロンの範囲でもよい。
係わる。クリスタルは図６ａおよび６ｃに詳細に示され
ている。クリスタルは円筒状の中間部６０、部分的に半
球状の表面を有する上部６２、平面上部６３および略円
錐状の下部６５を有する。クリスタルは特にゲルマニウ
ムやシリコン等の、赤外線を透過する材料より作られて
いる。クリスタルの寸法は大体次のとうりである。中間
部６０の半径は２ｍｍ程度、クリスタルの軸方向全長は
３ｍｍ程度、そして円錐の頂点６６は微小な平面であ
り、その寸法は特には１００ミクロン程度であるが、約
５０ミクロンから２００ミクロンの範囲でもよい。
【００２２】本構成において、クリスタルを図４と５に
示すように、カセグレン対物鏡から支持することが提案
されている。図７ａおよび７ｂは目視観察および測定モ
ードにおけるクリスタル４０の位置を詳細に示したもの
である。目視観察モードにおいて明らかなごとく、可視
光はクリスタルを通過せず、一方測定モードにおいては
通過する。半球状の表面６２は、入射光が実質的に表面
６２に対して直角になり、よって屈折なしに通過するよ
う形成されている。重要な点は、円錐部の頂点の平面の
みが観察中の試料と当接しているということである。こ
れにより、様々な試料の当接面積を特定、再現すること
ができる。さらに、面積が比較的微小であるため、試料
とクリスタル間の当接圧力を、相互間の当接面積を増加
することなく、比較的高くすることができる。これによ
り測定結果の信頼性が高められる。試料の位置・面積お
よび当接圧が再現可能であるため、この設計になるクリ
スタルによれば、ＡＴＲ分光法における試料の再現性が
高められる。
示すように、カセグレン対物鏡から支持することが提案
されている。図７ａおよび７ｂは目視観察および測定モ
ードにおけるクリスタル４０の位置を詳細に示したもの
である。目視観察モードにおいて明らかなごとく、可視
光はクリスタルを通過せず、一方測定モードにおいては
通過する。半球状の表面６２は、入射光が実質的に表面
６２に対して直角になり、よって屈折なしに通過するよ
う形成されている。重要な点は、円錐部の頂点の平面の
みが観察中の試料と当接しているということである。こ
れにより、様々な試料の当接面積を特定、再現すること
ができる。さらに、面積が比較的微小であるため、試料
とクリスタル間の当接圧力を、相互間の当接面積を増加
することなく、比較的高くすることができる。これによ
り測定結果の信頼性が高められる。試料の位置・面積お
よび当接圧が再現可能であるため、この設計になるクリ
スタルによれば、ＡＴＲ分光法における試料の再現性が
高められる。
【００２３】クリスタル４０は図８ないし１１に示した
型の取り付けアセンブリに組み込むことができる。この
アセンブリはＦＴ−ＩＲ顕微鏡のような既存の分光装置
に組み込むこともできる。図８ないし１１に示した構成
はパーキンエルマー社製のＦＴ−ＩＲ顕微鏡に適合する
よう設計されており、特にその顕微鏡の対物カセグレン
１６に取り付けられるようになっている。取り付けアセ
ンブリはリング７１に接続された放射状に伸びるリム７
０を有するフレーム構造体を具備し、このフレーム構造
体はスクリューコネクタ７２により一定の角度をもって
間隔の開けられた周縁部においてカセグレン対物レンズ
へと接続されている。フレーム構造体はその中心位置に
おいて下向きに伸びる取り付けアセンブリを支持してい
る。この取り付けアセンブリは外側筒状部材７４を有
し、その内部に軸方向に可動の部材７６をが配設されて
いる。この軸方向可動部材はテーパ状の下部を有し、そ
の先端には図６に示したクリスタル４０が支持されてい
る。筒状部材７４内にはスプリング７８が配設され、内
部部材を下側に付勢している。第２部材の外側のねじ部
にはナット８０が螺合され、クリスタルを軸方向に調節
できる。手動のトグルバー８２を手動で操作して第２部
材を上下方向に動かすことにより、クリスタルを上下に
移動させることができる。
型の取り付けアセンブリに組み込むことができる。この
アセンブリはＦＴ−ＩＲ顕微鏡のような既存の分光装置
に組み込むこともできる。図８ないし１１に示した構成
はパーキンエルマー社製のＦＴ−ＩＲ顕微鏡に適合する
よう設計されており、特にその顕微鏡の対物カセグレン
１６に取り付けられるようになっている。取り付けアセ
ンブリはリング７１に接続された放射状に伸びるリム７
０を有するフレーム構造体を具備し、このフレーム構造
体はスクリューコネクタ７２により一定の角度をもって
間隔の開けられた周縁部においてカセグレン対物レンズ
へと接続されている。フレーム構造体はその中心位置に
おいて下向きに伸びる取り付けアセンブリを支持してい
る。この取り付けアセンブリは外側筒状部材７４を有
し、その内部に軸方向に可動の部材７６をが配設されて
いる。この軸方向可動部材はテーパ状の下部を有し、そ
の先端には図６に示したクリスタル４０が支持されてい
る。筒状部材７４内にはスプリング７８が配設され、内
部部材を下側に付勢している。第２部材の外側のねじ部
にはナット８０が螺合され、クリスタルを軸方向に調節
できる。手動のトグルバー８２を手動で操作して第２部
材を上下方向に動かすことにより、クリスタルを上下に
移動させることができる。
【００２４】内側および外側部材７４および７６は差し
込み式カップリングにより連結されており、内側部材７
６上で半径に沿って外方向へ伸びたピンが外側部材７４
の溝に嵌合するようになっている。クリスタルを上側位
置に移動させる場合には、トグルを上に押してスプリン
グの付勢に抗して部材７６を上方へ動かす。そしてトグ
ルバーをひねって、電球をはめ込む要領で、差し込み式
の連結により位置を固定する。クリスタルを下げるに
は、トグルバー８２をひねって差し込み連結を解除すれ
ば、部材７６を下側位置に降ろすことができる。
込み式カップリングにより連結されており、内側部材７
６上で半径に沿って外方向へ伸びたピンが外側部材７４
の溝に嵌合するようになっている。クリスタルを上側位
置に移動させる場合には、トグルを上に押してスプリン
グの付勢に抗して部材７６を上方へ動かす。そしてトグ
ルバーをひねって、電球をはめ込む要領で、差し込み式
の連結により位置を固定する。クリスタルを下げるに
は、トグルバー８２をひねって差し込み連結を解除すれ
ば、部材７６を下側位置に降ろすことができる。
【図１】ＦＴ−ＩＲ顕微鏡の主要な構成要素を示した概
略側面図である。
略側面図である。
【図２】顕微鏡の動作を示した、図１と同様の図であ
る。
る。
【図３】顕微鏡の動作を示した、図１と同様の図であ
る。
る。
【図４】ＡＴＲ法を示した概略図である。
【図５】ＡＴＲ法を示した概略図である。
【図６】ａ，ｂ，ｃはそれぞれ本願発明によるＡＴＲク
リスタルの平面図、側面図および底面図である。
リスタルの平面図、側面図および底面図である。
【図７】試料の目視観察中におけるＡＴＲクリスタルの
位置を示す側面概略図である。
位置を示す側面概略図である。
【図８】測定段階におけるクリスタルの位置を示す、図
７ａと同様の図である。
７ａと同様の図である。
【図９】ＡＴＲクリスタル用取り付けアセンブリの側面
図である。
図である。
【図１０】取り付けアセンブリを下側から見た斜視図で
ある。
ある。
【図１１】取り付けアセンブリの分解図である。
【図１２】クリスタルを上に移動させた位置における組
立アセンブリの側面立面図である。
立アセンブリの側面立面図である。
１０ 光学顕微鏡 １１ 目視／赤外ミラー １２ 遠隔アパーチャ １４ 透過／反射ミラー １６ 対物カセグレンアセンブリ １８ 集光カセグレンアセンブリ ２０ 試料位置 ２２ 平面ミラー ２４ トロイドカップリングレンズ ２６ 検出器・ＭＣＴカセグレン構成体 ４０ ＡＴＲクリスタル ６０ 円筒状中間部 ６１ 上部 ６２ 部分的半球面 ６３ 平面上部 ６５ 略円錐状下部 ６６ 頂点 ７０ リム ７１ リング ７２ スクリューコネクタ ７４ 外側円筒状部材 ７６ 軸方向可動部材 ７８ スプリング ８０ ナット ８２ トグルバー
Claims (9)
- 【請求項１】 略放射状に伸び、分光分析用装置の対物
レンズに取り付け可能な腕部を有するフレームと、フレ
ームに取り付けられて軸方向に垂下した支持体を具備
し、支持体は第１・第２の相対的に可動の部材を有し、
第２の可動部材はその下端にＡＴＲ型クリスタル、第２
部材を下端位置に付勢する手段および第２部材を付勢手
段に抗して上方に移動させる手段を有するＡＴＲ型クリ
スタル用取り付けアセンブリ。 - 【請求項２】 第２部材が外側の円筒状第１部材内軸上
に配設されており、双方の部材が軸上にて相対運動可能
である、請求項１記載のＡＴＲ型クリスタル用取り付け
アセンブリ。 - 【請求項３】 ＡＴＲ型クリスタルが接着剤により第２
部材の下端に固定されている、請求項１記載のＡＴＲ型
クリスタル用取り付けアセンブリ。 - 【請求項４】 付勢手段がスプリングであり、第１円筒
状部材の上部内に配設された、請求項１記載のＡＴＲ型
クリスタル用取り付けアセンブリ。 - 【請求項５】 支持手段が、第２部材上のスプリングに
よる付勢量を調節するための手段を有する、請求項２記
載のＡＴＲ型クリスタル用取り付けアセンブリ。 - 【請求項６】 ＡＴＲクリスタルがクリスタル本体より
構成され、該クリスタル本体は、分析光が分析試料へ向
けて通過することのできる本体上部と略円錐状の下部を
有し、該下部の頂点は使用中に試料と当接する、請求項
１記載のＡＴＲ型クリスタル用取り付けアセンブリ。 - 【請求項７】 本体上部が部分的に半球状であり、放射
光が実質的に屈折することなく通過できる、請求項６記
載のＡＴＲ型クリスタル用取り付けアセンブリ。 - 【請求項８】 クリスタル本体が平面上部を有し、支持
体と結合できる、請求項６または７記載のＡＴＲ型クリ
スタル用取り付けアセンブリ。 - 【請求項９】 円錐部の頂点における当接面が通常５０
〜２００ミクロン、特には１００ミクロン程度の寸法を
有する、請求項６記載のＡＴＲ型クリスタル用取り付け
アセンブリ。
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