JPH08286111A - 試料の目視とｉｒ測定を同時に行うことの可能な赤外分光用顕微鏡 - Google Patents
試料の目視とｉｒ測定を同時に行うことの可能な赤外分光用顕微鏡Info
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- JPH08286111A JPH08286111A JP8059270A JP5927096A JPH08286111A JP H08286111 A JPH08286111 A JP H08286111A JP 8059270 A JP8059270 A JP 8059270A JP 5927096 A JP5927096 A JP 5927096A JP H08286111 A JPH08286111 A JP H08286111A
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- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 title claims description 5
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 title claims description 4
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/18—Arrangements with more than one light path, e.g. for comparing two specimens
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 目視モードおよび測定モード間の切り替えの
際に、反射エレメントを動かす必要のない顕微鏡を提供
する。 【解決手段】 ＩＲ分光用の顕微鏡が可視光源を具備
し、目視モードまたは測定モードにて操作できる。顕微
鏡のビーム光路上には、少なくとも部分的に一方の光源
からの放射光を透過し、他方の光源からの放射光を少な
くとも部分的に反射する、反射エレメントが配設されて
いる。
際に、反射エレメントを動かす必要のない顕微鏡を提供
する。 【解決手段】 ＩＲ分光用の顕微鏡が可視光源を具備
し、目視モードまたは測定モードにて操作できる。顕微
鏡のビーム光路上には、少なくとも部分的に一方の光源
からの放射光を透過し、他方の光源からの放射光を少な
くとも部分的に反射する、反射エレメントが配設されて
いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は試料の赤外（Ｉ
Ｒ）分析に使用できる顕微鏡に関する。
Ｒ）分析に使用できる顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の装置としては例えばパーキンエ
ルマー社製のＦＴ−ＩＲ顕微鏡が公知である。この種の
顕微鏡は物質の微小試料を分析するのに用いられる。こ
の顕微鏡は目視用の構成と測定用の構成を有している。
いづれの構成においても、試料の性質に応じて透過モー
ドまたは反射モードで使用できる。特に、ＩＲ分光光度
計と連結して用いられることが多い。
ルマー社製のＦＴ−ＩＲ顕微鏡が公知である。この種の
顕微鏡は物質の微小試料を分析するのに用いられる。こ
の顕微鏡は目視用の構成と測定用の構成を有している。
いづれの構成においても、試料の性質に応じて透過モー
ドまたは反射モードで使用できる。特に、ＩＲ分光光度
計と連結して用いられることが多い。
【０００３】こうした顕微鏡は可視光源を具備するとと
もに分光光度計内の光源から赤外光を受光することがで
きる。また、測定試料を載置するための試料ステージお
よびいずれかの光源からの放射光を試料ステージへ方向
付けるための光学エレメントを有している。さらに、ス
テージ上の試料像を可視光により光学的に目視するため
の光学顕微鏡と、試料を透過または反射した赤外光を検
出する赤外光検出器を具備する。
もに分光光度計内の光源から赤外光を受光することがで
きる。また、測定試料を載置するための試料ステージお
よびいずれかの光源からの放射光を試料ステージへ方向
付けるための光学エレメントを有している。さらに、ス
テージ上の試料像を可視光により光学的に目視するため
の光学顕微鏡と、試料を透過または反射した赤外光を検
出する赤外光検出器を具備する。
【０００４】この顕微鏡を構成する光学エレメントのう
ち、通常少なくとも１つは放射光を特定の光路に方向付
けするためのミラーである。公知の構成においては、少
なくともこれらミラーのいくつかを可動にし、顕微鏡を
目視用と測定用の構成に切り替えて、光学顕微鏡による
試料の目視等ができるようにする必要がある。しかし、
このような構成では、顕微鏡の操作が遅れるのみなら
ず、正確に位置決め可能な取り付け手段にミラーを設置
する必要が生じる。なぜならば、そうしないと高精度の
測定値が得られないからである。
ち、通常少なくとも１つは放射光を特定の光路に方向付
けするためのミラーである。公知の構成においては、少
なくともこれらミラーのいくつかを可動にし、顕微鏡を
目視用と測定用の構成に切り替えて、光学顕微鏡による
試料の目視等ができるようにする必要がある。しかし、
このような構成では、顕微鏡の操作が遅れるのみなら
ず、正確に位置決め可能な取り付け手段にミラーを設置
する必要が生じる。なぜならば、そうしないと高精度の
測定値が得られないからである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本願発明の目的は可動
ミラーを必要としない顕微鏡を提供することである。
ミラーを必要としない顕微鏡を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本願発明によれば、この
課題は、可視光源または赤外光源からの放射光を、測定
用試料の位置へ向かう光路に沿って反射するための少な
くとも１つの反射エレメント、および光源からの光路に
沿って伝播する放射光の光路上に配置された少なくとも
もう１つの反射エレメントを具備し、このもう１つの反
射エレメントは放射光を検出手段へ方向付けるよう配置
された構成を有する赤外分光用顕微鏡において、これら
反射エレメントが、一方の光源からの放射光を少なくと
も部分的に透過し、他方の光源からの放射光を少なくと
も部分的に反射することにより、顕微鏡を目視および測
定モード間で切り替える際に反射エレメントを動かす必
要のない、赤外分光用顕微鏡により解決される。
課題は、可視光源または赤外光源からの放射光を、測定
用試料の位置へ向かう光路に沿って反射するための少な
くとも１つの反射エレメント、および光源からの光路に
沿って伝播する放射光の光路上に配置された少なくとも
もう１つの反射エレメントを具備し、このもう１つの反
射エレメントは放射光を検出手段へ方向付けるよう配置
された構成を有する赤外分光用顕微鏡において、これら
反射エレメントが、一方の光源からの放射光を少なくと
も部分的に透過し、他方の光源からの放射光を少なくと
も部分的に反射することにより、顕微鏡を目視および測
定モード間で切り替える際に反射エレメントを動かす必
要のない、赤外分光用顕微鏡により解決される。
【０００７】
【発明の実施の形態】可視光源は顕微鏡に装着可能とす
ることができる。赤外光源は分光光度計等の関連装置内
に配設することもできる。
ることができる。赤外光源は分光光度計等の関連装置内
に配設することもできる。
【０００８】反射エレメントには、入射赤外光の特に８
０〜９０％を反射し、入射可視光の少なくとも５０％を
透過する部分反射ミラーを用いるのが好ましい。一例を
あげれば、オプティカル・コーティング社から入手可能
である酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）のコーティングが
施されたガラスミラーがある。
０〜９０％を反射し、入射可視光の少なくとも５０％を
透過する部分反射ミラーを用いるのが好ましい。一例を
あげれば、オプティカル・コーティング社から入手可能
である酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）のコーティングが
施されたガラスミラーがある。
【０００９】
【実施例】以下に、添付の概略図を参照しながら、本願
発明によるＦＴ−ＩＲ顕微鏡を単なる例示として説明す
る。
発明によるＦＴ−ＩＲ顕微鏡を単なる例示として説明す
る。
【００１０】図１は赤外分光に用いるＦＴ−ＩＲ顕微鏡
の主な構成要素を示す概略図である。この型の顕微鏡の
一例としては、パーキンエルマー社製のＦＴ−ＩＲ顕微
鏡があり、その通常の使用に関する詳細は１９９０年１
１月発行のアメリカン・ラボラトリー誌に掲載された、
Ｄ．Ｗ．シアリング、Ｅ．Ｆ．ヤング、およびＴ．Ｐ．
バイロンによる論文「ＦＴＩＲ顕微鏡」に記載されてい
る。
の主な構成要素を示す概略図である。この型の顕微鏡の
一例としては、パーキンエルマー社製のＦＴ−ＩＲ顕微
鏡があり、その通常の使用に関する詳細は１９９０年１
１月発行のアメリカン・ラボラトリー誌に掲載された、
Ｄ．Ｗ．シアリング、Ｅ．Ｆ．ヤング、およびＴ．Ｐ．
バイロンによる論文「ＦＴＩＲ顕微鏡」に記載されてい
る。
【００１１】本願発明による顕微鏡は、ミラー１４を介
して試料ステージ１２上の試料を目視するための光学顕
微鏡１０、遠隔アパーチャ１６、および対物カセグレン
レンズ構造体１８を具備する。本願の顕微鏡はまた、集
光カセグレンレンズ構造体２０、下部ミラー２２、およ
びトロイドリフレクタ２４をも具備する。この顕微鏡
は、共に使用する分光光度計内に配設可能な赤外光源
（図示しない）からの放射光を受光することができるよ
うになっている。入射赤外光ビーム２６は入力平面ミラ
ー２８を介してトロイドリフレクタ２４へと伝播する。
顕微鏡は可視光源（図示しない）を具備し、それにより
平面ミラー２８を介した光路を進む可視光のビーム３０
を得ることができる。可視光源は顕微鏡の適当な位置に
配設することができる。
して試料ステージ１２上の試料を目視するための光学顕
微鏡１０、遠隔アパーチャ１６、および対物カセグレン
レンズ構造体１８を具備する。本願の顕微鏡はまた、集
光カセグレンレンズ構造体２０、下部ミラー２２、およ
びトロイドリフレクタ２４をも具備する。この顕微鏡
は、共に使用する分光光度計内に配設可能な赤外光源
（図示しない）からの放射光を受光することができるよ
うになっている。入射赤外光ビーム２６は入力平面ミラ
ー２８を介してトロイドリフレクタ２４へと伝播する。
顕微鏡は可視光源（図示しない）を具備し、それにより
平面ミラー２８を介した光路を進む可視光のビーム３０
を得ることができる。可視光源は顕微鏡の適当な位置に
配設することができる。
【００１２】ＭＣＴ検出器３２等の赤外光検出器がミラ
ー１４の横に配置され、このミラーから反射された赤外
光をＭＣＴカセグレンレンズ構造体３４を介して受光で
きるようになっている。
ー１４の横に配置され、このミラーから反射された赤外
光をＭＣＴカセグレンレンズ構造体３４を介して受光で
きるようになっている。
【００１３】試料を分析する際の図１の顕微鏡の操作に
関しては当業者には明らかであり、ここでは詳述しない
が、それについては例えば上記の論文に詳しく記載され
ている。図１に示した各エレメントの大部分は通常のも
のであるが、本願発明の構成においてはミラー１４が部
分反射ミラーであり、入射赤外光の特に８０〜９０％を
反射し、可視光を５０％より多く透過する。例として、
オプティカル・コーティング社の酸化インジウムスズ
（ＩＴＯ）によりコーティングを施したガラス基板から
成るミラーが使用できる。そのようなコーティングは入
射可視光（４００ｎｍ〜７００ｎｍ）を８０％を超えて
透過し、入射赤外光（２．２μｍ〜２２μｍ）を８５％
を超えて反射する。ガラス基板はＢＫ７ガラスでよい
が、他にも何種類かのガラスを用いることができる。つ
まり、ミラー１４を図１に示した位置に固定しておくこ
とができ、物理的に動かす必要がないのである。入射赤
外光ビーム２６を反射するために用いられる平面ミラー
２８にも同様の構造を持たせることができる。この設計
によれば、顕微鏡のモードを切り替える際に可動ミラー
を必要としないため測定速度を上げることができ、その
上更に、試料の測定位置をより正しく確認することがで
きるため、測定値の信頼性をも向上できる。
関しては当業者には明らかであり、ここでは詳述しない
が、それについては例えば上記の論文に詳しく記載され
ている。図１に示した各エレメントの大部分は通常のも
のであるが、本願発明の構成においてはミラー１４が部
分反射ミラーであり、入射赤外光の特に８０〜９０％を
反射し、可視光を５０％より多く透過する。例として、
オプティカル・コーティング社の酸化インジウムスズ
（ＩＴＯ）によりコーティングを施したガラス基板から
成るミラーが使用できる。そのようなコーティングは入
射可視光（４００ｎｍ〜７００ｎｍ）を８０％を超えて
透過し、入射赤外光（２．２μｍ〜２２μｍ）を８５％
を超えて反射する。ガラス基板はＢＫ７ガラスでよい
が、他にも何種類かのガラスを用いることができる。つ
まり、ミラー１４を図１に示した位置に固定しておくこ
とができ、物理的に動かす必要がないのである。入射赤
外光ビーム２６を反射するために用いられる平面ミラー
２８にも同様の構造を持たせることができる。この設計
によれば、顕微鏡のモードを切り替える際に可動ミラー
を必要としないため測定速度を上げることができ、その
上更に、試料の測定位置をより正しく確認することがで
きるため、測定値の信頼性をも向上できる。
【００１４】本願発明の顕微鏡に、例えば本願出願人に
よる欧州特許出願９５３０１４２８．９に記載された自
動スキャニング／マッピング装置を備えれば、測定速度
の向上は一層である。
よる欧州特許出願９５３０１４２８．９に記載された自
動スキャニング／マッピング装置を備えれば、測定速度
の向上は一層である。
【００１５】
【発明の効果】本願発明の構成によれば、ミラーを可動
とする必要がなく、よって常に測定中の試料の正しい部
分の測定値を得ることが容易になるという大きな利点が
得られる。
とする必要がなく、よって常に測定中の試料の正しい部
分の測定値を得ることが容易になるという大きな利点が
得られる。
【図１】本願発明によるＦＴ−ＩＲ顕微鏡の概略図であ
る。
る。
１０ 光学顕微鏡 １２ 試料ステージ １４ ミラー １６ 遠隔アパーチャ １８ 対物カセグレンレンズ構造体 ２０ 集光カセグレンレンズ構造体 ２２ 下部ミラー ２４ トロイドリフレクタ ２６ 赤外光ビーム ２８ 入力平面ミラー ３０ 可視光ビーム ３２ ＭＣＴ検出器 ３４ ＭＣＴカセグレンレンズ構造体
Claims (4)
- 【請求項１】 可視光源または赤外光源からの放射光
を、測定用試料の位置へ向かう光路に沿って反射するた
めの少なくとも１つの反射エレメント、および光源から
の光路に沿って伝播する放射光の光路上に配置された少
なくとももう１つの反射エレメントを具備し、このもう
１つの反射エレメントは放射光を検出手段へ方向付ける
よう配置された構成を有する赤外分光用顕微鏡におい
て、これら反射エレメントが、一方の光源からの放射光
を少なくとも部分的に透過し、他方の光源からの放射光
を少なくとも部分的に反射することにより、顕微鏡を目
視および測定モード間で切り替える際に反射エレメント
を動かす必要のない、赤外分光用顕微鏡。 - 【請求項２】 可視光源が装着可能である、請求項１記
載の顕微鏡。 - 【請求項３】 分光光度計等の外部装置内に配設された
光源からの赤外光を受光する手段を具備した、請求項１
または２記載の顕微鏡。 - 【請求項４】 反射エレメントが、入射赤外光の特に８
０〜９０％程度を反射し、入射可視光の少なくとも５０
％を透過する部分反射ミラーから構成された、請求項１
から３までのいずれか１項記載の顕微鏡。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB9505221.3 | 1995-03-15 | ||
| GB9505221A GB2299402B (en) | 1995-03-15 | 1995-03-15 | Method for simultaneously viewing samples and making IR measurements |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08286111A true JPH08286111A (ja) | 1996-11-01 |
Family
ID=10771244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8059270A Pending JPH08286111A (ja) | 1995-03-15 | 1996-03-15 | 試料の目視とｉｒ測定を同時に行うことの可能な赤外分光用顕微鏡 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08286111A (ja) |
| GB (1) | GB2299402B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007057380A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Univ Of Electro-Communications | 非接触温度測定装置 |
| JP4642178B2 (ja) * | 2000-01-18 | 2011-03-02 | オリンパス株式会社 | 赤外顕微鏡及びそれに用いる観察鏡筒 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG66376A1 (en) * | 1997-07-03 | 1999-07-20 | Inst Of Microlectronics Nation | Multiwavelength imaging and spectroscopic photoemission microscope system |
| SG74025A1 (en) * | 1997-10-03 | 2000-07-18 | Inst Of Microelectronics | Combined infrared and visible light spectroscopic photoemission microscope |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2057680A (en) * | 1979-08-29 | 1981-04-01 | Econics Corp | Electro-optical flue gas analyzer |
| US4852955A (en) * | 1986-09-16 | 1989-08-01 | Laser Precision Corporation | Microscope for use in modular FTIR spectrometer system |
| US4877960A (en) * | 1987-02-17 | 1989-10-31 | Spectra-Tech, Inc. | Microscope having dual remote image masking |
| US5160826A (en) * | 1991-10-03 | 1992-11-03 | Tremco Incorporated | FT-IR spectrometer window and method |
-
1995
- 1995-03-15 GB GB9505221A patent/GB2299402B/en not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-03-15 JP JP8059270A patent/JPH08286111A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4642178B2 (ja) * | 2000-01-18 | 2011-03-02 | オリンパス株式会社 | 赤外顕微鏡及びそれに用いる観察鏡筒 |
| JP2007057380A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Univ Of Electro-Communications | 非接触温度測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB9505221D0 (en) | 1995-05-03 |
| GB2299402B (en) | 1999-07-21 |
| GB2299402A (en) | 1996-10-02 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060127 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
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|
| A602 | Written permission of extension of time |
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|
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|
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