JPH11166861A - カセグレン型光学系 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光軸を中心とする一定範囲の可視光の光束を
利用可能なカセグレン型光学系を提供すること。低入射
角の光路が遮断されることが無く、ＡＴＲ測定用として
使用可能なカセグレン型光学系を提供すること。 【解決手段】 中央部に光通過孔７aが形成された凹面
鏡７に対向する凸面８aを有する凸レンズ８と、可視光
Ｌ1を透過させるが赤外光Ｌ2を反射するように前記凸面
８aに形成された赤外光反射膜９と、前記赤外光反射膜
９で反射しさらに前記凹面鏡７で反射した赤外光Ｌ2を
前記凸レンズ８の前記凸面８aとは反対側の赤外光収束
位置（試料Ｓの位置）に収束させる前記凹面鏡７と、前
記凸レンズ８を透過した可視光Ｌ1が収束する可視光収
束位置が前記赤外光収束位置（試料Ｓの位置）と同一位
置となるように形成された前記凸レンズ８とを備えたカ
セグレン型光学系。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カセグレン型光学
系に関する。本発明のカセグレン型光学系は、顕微分析
又は分光分析等に使用される赤外光（すなわち、分析用
赤外光）の光路中に配置して使用される。また、本発明
のカセグレン型光学系は、天文用望遠鏡に使用すること
も可能である。

【０００２】

【従来の技術】従来、カセグレン型光学系として次の技
術（Ｊ01）が知られている。 （Ｊ01）図４に示す技術 図４は従来のカセグレン型光学系の説明図である。図４
において、カセグレン型光学系Ｕは、中央部に光通過孔
０１aが形成された凹面鏡０１と、前記凹面鏡０１に対
向して配置され、前記光通過孔０１aを通過した光束で
ある孔通過光束Ｌの通路に配置された凸面鏡０２を有し
ている。前記凸面鏡０２の反射凸面０２aにはアルミ蒸
着膜等の光反射膜が形成されている。前記カセグレン型
光学系Ｕを赤外分光分析器で使用する場合、前記孔通過
光束Ｌのうち、前記凸面鏡０２で反射しさらに前記凹面
鏡０１で反射した光（赤外光および可視光を含む光）は
前記凸面鏡０２の前記反射凸面０２aとは反対側で且つ
前記孔通過光束Ｌの中心線上の試料位置Ｓに収束する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】（Ｊ01）の問題点 前記従来技術（Ｊ01）では、図４から分かるように、凸
面鏡０２上の円周Ｐ2で反射した光が凹面鏡０１で反射
して凸面鏡０２の外周縁Ｐ1の外側を通過する場合、試
料位置Ｓに到達する光は前記凸面鏡０２の反射凸面０２
a上の円周Ｐ2よりも外側に入射する光のみであり、前記
反射凸面０２a上の円周Ｐ2よりも内側に入射する光は前
記試料位置Ｓには到達しない。したがって、光軸を中心
とする一定の範囲の光束は前記凸レンズ０２により遮断
されるので、試料位置Ｓに到達する可視光が制限され
る。このため、目視により確認できる画像が暗く不鮮明
な画像となっていた。また、前述したように、光軸を中
心とする一定の範囲の光束は前記凸レンズ０２により遮
断され、試料位置Ｓにはリング状の光（可視光および赤
外光を含む光）が斜めに入射している。これが、従来の
カセグレン型光学系における光の収差の主原因となって
いる。

【０００４】前述のように試料位置Ｓにリング状の光
（可視光および赤外光を含む光）が斜めに入射する従来
のカセグレン型光学系は、顕微ＡＴＲ（attenuated tot
al reflection）法、すなわち、全反射吸収測定法に使
用するには不向きである。前記顕微ＡＴＲ法は高分子厚
膜、塗膜、紙、糸等、透過法を適用することが難しい試
料の測定に使用される。顕微ＡＴＲ法では、可視光およ
び赤外光の両方に透明な半球型のＡＴＲ結晶の平面側に
試料を密着配置し、赤外顕微鏡の試料台にセットする。
前記可視光はＡＴＲ結晶を通して試料を観測できるよう
にＡＴＲ結晶と試料の屈折率から決まる全反射角よりも
小さな入射角で試料に入射し、赤外光はＡＴＲ測定のた
め、全反射角よりも大きな角で試料に入射しなければな
らない。

【０００５】しかしながら、従来のカセグレン型光学系
では、可視光が入射する低入射角の光路は凸面鏡が遮断
している。したがって、通常はＡＴＲ測定用には特別の
光学系が使用されている。このような従来の方法では赤
外顕微鏡でＡＴＲ法を行う場合には特別の光学系を赤外
顕微鏡に組み込む作業が必要となり、また、前記カセグ
レン型光学系を前記顕微ＡＴＲ法以外の測定に使用する
際には前記特別の光学系を前記赤外顕微鏡から取り外す
作業が必要となる。

【０００６】本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載
内容（Ｏ01），（Ｏ02）を課題とする。 （Ｏ01）光軸を中心とする一定範囲の可視光の光束を利
用可能なカセグレン型光学系を提供すること。 （Ｏ02）低入射角の光路が遮断されることが無く、ＡＴ
Ｒ測定時の観測用として使用可能なカセグレン型光学系
を提供すること。

【０００７】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明の構成を説明するが、本発明の
構成要素には、後述の実施例の構成要素との対応を容易
にするため、実施例の構成要素の符号をカッコで囲んだ
ものを付記している。なお、本発明を後述の実施例の符
号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易に
するためであり、本発明の範囲を実施例に限定するため
ではない。

【０００８】（本発明）前記課題を解決するために、本
発明のカセグレン型光学系は、下記の要件を備えたこと
を特徴とする、（Ｙ01）中央部に光通過孔（７a）が形
成された凹面鏡（７）、（Ｙ02）前記凹面鏡（７）に対
向する凸面（８a）を有し、前記光通過孔（７a）を通過
した光束である孔通過光束の通路に配置された凸レンズ
（８）、（Ｙ03）可視光（Ｌ1）を透過させるが赤外光
（Ｌ2）を反射するように前記凸面（８a）に形成された
光反射膜（９）、（Ｙ04）前記孔通過光束のうち、前記
光反射膜（９）で反射しさらに前記凹面鏡（７）で反射
した赤外光（Ｌ2）を前記凸レンズ（８）の前記凸面
（８a）とは反対側で且つ前記孔通過光束の中心線上の
赤外光収束位置に収束させる前記凹面鏡（７）。

【０００９】前記本発明において、前記凸面（８a）に
形成される光反射膜（９）は、次のような構成とするこ
とが可能である。 （a）凸面（８a）の全面に可視光（Ｌ1）を透過させる
が赤外光（Ｌ2）を反射させる光反射膜（９）を形成し
た構成。 （b）凸面（８a）の中央部を除いたリング状の外周部分
にのみ可視光（Ｌ1）および赤外線（Ｌ2）を共に反射す
る光反射膜（９）を形成し、前記凸面（８a）の中央部
には前記光反射膜（９）を形成しない構成。

【００１０】（本発明の作用）前記構成を備えた本発明
のカセグレン型光学系では、凹面鏡（７）の中央部に形
成された光通過孔（７a）を通過した可視光（Ｌ1）およ
び赤外光（Ｌ2）の光束（孔通過光束）は、凸レンズ
（８）の凸面（８a）に入射する。前記凸面（８a）に入
射した可視光（Ｌ1）は凸レンズ（８）を通過するが、
赤外光（Ｌ2）は前記光反射膜（９）で反射しさらに前
記凹面鏡（７）で反射して、前記凸レンズ（８）の前記
凸面（８a）とは反対側で且つ前記孔通過光束の中心線
上（光軸上）の赤外光収束位置に収束する。したがっ
て、本発明のカセグレン型光学系は、可視光（Ｌ1）が
凸レンズ（８）を通過するので、凸レンズ（８）に入射
した可視光（Ｌ1）の光束を利用可能である。また、前
記可視光（Ｌ1）は凸レンズ（８）の光軸の中心部を通
過することができるので、可視光（Ｌ1）は低入射角の
光路が遮断されることが無い。また、本発明のカセグレ
ン型光学系は、ＡＴＲ測定用として使用可能である。

【００１１】

【発明の実施の形態】（発明の実施の形態１） （Ｙ05）前記孔通過光束のうち前記凸レンズ（８）を透
過した可視光（Ｌ1）が収束する可視光収束位置が前記
赤外光収束位置と同一位置となるように形成された前記
凸レンズ（８）。 （発明の実施の形態１の作用）前記凸レンズ（８）を透
過した可視光（Ｌ1）は、前記赤外光収束位置と同一の
可視光収束位置に収束する。したがって本発明のカセグ
レン型光学系では、凹面鏡（７）の中央部に形成された
光通過孔（７a）を通過した孔通過光束中の可視光（Ｌ
1）および赤外光（Ｌ2）は共に同一の収束位置（可視光
収束位置および赤外光収束位置）に収束する。したがっ
て、前記収束位置に試料（Ｓ）を配置することにより、
前記試料（Ｓ）を透過または反射した可視光（Ｌ1）を
観察しながら、赤外光（Ｌ2）による前記試料の顕微分
析を行うことが可能となる。

【００１２】（本発明の実施の形態２）本発明のカセグ
レン型光学系の実施の形態２は、前記本発明または本発
明の実施の形態１のカセグレン型光学系において、下記
の要件を備えたことを特徴とする、（Ｙ06）前記凸面
（８a）に入射し前記凸レンズ（８）を透過して前記可
視光収束位置に収束する可視光（Ｌ1）の断面円形の光
束の外周縁と前記凸面（８a）で反射しさらに前記凹面
鏡（７）で反射して前記赤外光収束位置に収束する赤外
光（Ｌ2）の断面リング状の光束の内周縁とは前記凸面
（８a）への入射位置が同一で且つ同一の収束位置に同
一の入射角度で入射するように形成された前記凸レンズ
（８）。

【００１３】（本発明の実施の形態２の作用）前述の構
成を備えた本発明の実施の形態２のカセグレン型光学系
では、前記凸面（８a）に入射し前記凸レンズ（８）を
透過して前記可視光収束位置に収束する可視光（Ｌ1）
の断面円形の光束の外周縁と前記凸面（８a）で反射し
さらに前記凹面鏡（７）で反射して前記赤外光収束位置
に収束する赤外光（Ｌ2）の断面リング状の光束の内周
縁とは前記凸面（８a）への入射位置が同一となり、且
つ、同一の収束位置に同一の入射角度で入射する。この
場合、前記可視光（Ｌ1）および赤外光（Ｌ2）により観
察される試料の像の倍率は同一となる。したがって、前
記収束位置に試料（Ｓ）を配置することにより、前記試
料（Ｓ）を透過または反射した可視光（Ｌ1）による試
料（Ｓ）の拡大像を観察しながら、前記観察像の拡大倍
率と同倍率で、赤外光（Ｌ2）による前記試料（Ｓ）の
顕微分析を行うことができる。

【００１４】（本発明の実施の形態３）本発明のカセグ
レン型光学系の実施の形態３は、前記本発明または本発
明の実施の形態１もしくは２のカセグレン型光学系にお
いて、下記の要件を備えたことを特徴とする、（Ｙ07）
前記凸面（８a）の中心部を除いた外周部にリング状に
形成された可視光（Ｌ1）および赤外光（Ｌ2）を共に反
射する光反射膜（９）。

【００１５】（本発明の実施の形態３の作用）前述の構
成を備えた本発明の実施の形態３のカセグレン型光学系
では、前記凸面（８a）の外周部にリング状に形成され
た光反射膜（９）は、可視光（Ｌ1）および赤外光（Ｌ
2）の両方を反射する。したがって、前記凸面（８a）の
中央部を透過した可視光（Ｌ1）および前記凸面（８a）
の前記リング状の光反射膜（９）で反射した可視光（Ｌ
1）の両方の光が試料（Ｓ）に入射する。このため、試
料（Ｓ）に入射する可視光（Ｌ1）の光量が多くなるの
で、可視光（Ｌ1）による試料（Ｓ）の明るい画像を観
察することができる。

【００１６】

【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の顕微分析
用のカセグレン型光学系の実施例を説明するが、本発明
は以下の実施例に限定されるものではない。 （実施例１）図１は本発明のカセグレン型光学系を装着
した実施例１の赤外顕微鏡の説明図である。図２は前記
図１の要部拡大図である。図１、図２において、赤外顕
微鏡１は、透過測定、反射測定の両測定が可能に構成さ
れている。前記赤外顕微鏡１は、試料台２を有してい
る。試料台２は水平なＸＹ平面内で移動可能なＸＹステ
ージにより構成されている。試料台２には試料ホルダＨ
が着脱自在に装着されるようになっている。試料ホルダ
Ｈには試料Ｓが保持されている。

【００１７】前記試料台２の下方には第１カセグレン型
光学系４が配置されている。第１カセグレン型光学系４
の下方には透過測定用ミラー５が配置されている。前記
透過測定用ミラー５は、透過測定を行う場合に、側方か
ら入射する測定用赤外光Ｌ（図１の点線参照）を上方に
反射する部材である。

【００１８】前記試料台２の上方には外筒部材３に支持
された第２カセグレン型光学系６が配置されている。図
２において、第２カセグレン型光学系は、中央部に光通
過孔７aが形成された凹面鏡７と、前記凹面鏡７に対向
する凸面８aを有し、前記光通過孔７aを通過した光束Ｌ
（すなわち、孔通過光束Ｌ）の通路に配置された凸レン
ズ８を有している。前記凸レンズ８の凸面８aには、可
視光Ｌ1を透過させるが赤外光Ｌ2を反射する赤外光反射
膜９が形成されている。

【００１９】前記孔通過光束Ｌのうち、前記凸レンズ８
の赤外光反射膜９で反射した赤外光Ｌ2は前記凹面鏡７
で反射されて、前記凸レンズ８の前記凸面８aとは反対
側（すなわち、試料Ｓ側）で且つ前記孔通過光束の中心
線（光軸）上の赤外光収束位置（試料Ｓが配置されてい
る位置、すなわち試料位置）に収束する。前記凸レンズ
８の凸面８aの外周縁は円周Ｐ1により形成されており、
前記凸面８a上の円周Ｐ2で反射して次に前記凹面鏡７で
反射した赤外光Ｌ2は、前記円周Ｐ1の外側を通って試料
Ｓに入射している。前記凸レンズ８は、前記孔通過光束
Ｌのうち前記凸レンズ８を透過した可視光Ｌ1が収束す
る可視光収束位置が前記赤外光収束位置（試料Ｓが配置
されている位置、すなわち試料位置）と同一位置となる
ように形成されている。

【００２０】また前記凸レンズ８は、前記凸面８aの円
周Ｐ1よりも内側に入射し前記凸レンズ８を透過して前
記可視光収束位置（すなわち、試料位置）に収束する可
視光Ｌ1の断面円形の光束の外周縁を形成する可視光Ｌ1
と前記凸面８aの前記円周Ｐ2の外側で反射しさらに前記
凹面鏡７で反射して前記赤外光収束位置（すなわち、試
料位置）に収束する赤外光Ｌ2の断面リング状の光束の
内周縁を形成する赤外光Ｌ2とは前記凸面８aへの入射位
置が同一で且つ同一の収束位置に同一の入射角度で入射
するように形成されている。この場合、前記図２から分
かるように、前記凸レンズ８の側面は前記赤外光Ｌ2の
断面リング状の光束の内周面と同一形状を有し、且つ黒
色の塗料により無反射面に形成されている。そして、前
記凸面８aの同一位置（円周Ｐ2）に入射した可視光Ｌ1
および赤外光Ｌ2の、前記試料Ｓへの入射位置および入
射角が同一となっている。このように形成された凸レン
ズ８を透過する可視光Ｌ1を使用して前記試料Ｓを観察
する場合の倍率と、前記凸面８aおよび凹面鏡７を反射
する赤外光Ｌ2を使用して試料Ｓを測定する場合の倍率
とは、同一となる。

【００２１】図１において、前記第２カセグレン光学系
６の上方には可変スリット１１が配置され、その上方に
は光路中および光路から外れた位置の間で位置調節可能
な移動ミラー１２が配置されている。移動ミラー１２の
右方にはミラー１３が配置され、ミラー１３の上方には
第３カセグレン光学系１４、ＭＣＴ検知器１５が配置さ
れている。前記可変スリット１１の下方には光路中およ
び光路から外れた位置の間で移動可能なハーフミラー１
６が配置され、ハーフミラー１６の右方には分析したい
前記試料ホルダーＨ上の付着試料Ｓの位置を目視によっ
て決めるための照明用光源１７が配置されている。前記
ハーフミラー１６の下方には光路中および光路から外れ
た位置の間で移動可能ハーフミラー１８が配置され、ハ
ーフミラー１８の右方には分光された赤外光を出射する
分光赤外光光源１９が配置されている。前記分光赤外光
源１９はマイケルソン干渉計を用いて構成されている。
前記移動ミラー１２の上方には、光路中および光路から
外れた位置の間で位置調節可能な移動ミラー２１が配置
されている。移動ミラー２１は、光路中に移動したとき
には下方からの可視光を接眼レンズ２２に向けて反射す
るミラーである。なお、移動ミラー２１の上方には、可
視光Ｌ1の撮影用のカメラ（図示せず）が配置されてお
り、前記カメラで撮影する場合には前記移動ミラー２１
は光路から外れた位置に移動させられる。

【００２２】（実施例１の作用）試料Ｓの赤外光Ｌ2に
よる顕微分析および可視光Ｌ1による観察を行う際、試
料Ｓを保持した試料ホルダＨを前記試料台２に装着す
る。赤外光Ｌ2による試料Ｓの顕微分析を行う前に、ま
ず、可視光Ｌ1による観察を行う。その際、前記図１に
示す赤外光Ｌ2反射用の移動ミラー１２および移動可能
なハーフミラー１８は光路（光軸）から外れた位置に移
動させる。この状態で、照明用光源１７からの可視光Ｌ
1を可視光反射用のハーフミラー１６で反射させて、第
２カセグレン光学系６の前記孔通過光束７a上方から下
方に通過させ、前記凸面８aに入射させる。図２におい
て、前記凸面８a上の前記Ｐ2を通る円周よりも内側に入
射した可視光Ｌ1は凸レンズ８内部を透過して試料Ｓに
入射させる。

【００２３】図１、図２において、この状態で、前記凸
レンズ８内部を通って試料Ｓに入射した可視光Ｌ1は試
料Ｓで反射し、次に再び凸レンズ８を通って前記光束通
過孔７aを下方から上方に通過する。この可視光Ｌ1は前
記図１に示すハーフミラー１６、可変スリット１１、移
動ミラー２１、および接眼レンズ２２を通って観察者Ｎ
の目に入射する。したがって観察者Ｎは、凸レンズ８の
前記円周Ｐ2の内側を通る可視光Ｌ1により、試料Ｓの表
面を観察することができるので、比較的明るく歪みの少
ない試料像を観察することができる。

【００２４】次に赤外光Ｌ2による試料Ｓの顕微分析を
行う際には前記移動可能な赤外光反射用のハーフミラー
１８および移動ミラー１２は光路中に配置され、可視光
反射用のハーフミラー１６は光路から外れた位置に移動
される。この状態で赤外光光源１９からの赤外光（測定
光）Ｌ2をハーフミラー１８で反射させて、第２カセグ
レン光学系６の前記孔通過光束７a上方から下方に通過
させ、前記凸面８aに入射させる。図２において、前記
凸面８aの円周Ｐ2の外側で且つ円周Ｐ1の内側のリング
状部分で反射した赤外光Ｌ2は次に凹面鏡７で反射して
試料Ｓに入射する。前記凹面鏡７で反射して試料Ｓに入
射した赤外光Ｌ2は試料Ｓで反射する。この試料Ｓで反
射した赤外光Ｌ2は試料の成分に応じた波長の光が吸収
される。前記試料Ｓで反射した赤外光Ｌ2は、次に再び
凹レンズ７、凸面８aで反射されて前記光束通過孔７aを
下方から上方に通過する。この赤外光Ｌ1は前記ハーフ
ミラー１８、可変スリット１１を通り、移動ミラー１
２、ミラー１３で反射し、第３カセグレン光学系１４を
通って、ＭＣＴ検知器１５に入射する。前記ＭＣＴ検知
器１５に入射した赤外光Ｌ2の赤外光の波長スペクトル
または波数スペクトルを検出することにより前記試料Ｓ
の分析を行うことができる。

【００２５】（実施例２）図３は本発明の実施例２の説
明図でカセグレン型光学系を顕微ＡＴＲ光学系に組み込
んだ装置を示す図で、図３Ａは要部説明図、図３Ｂは前
記図３Ａの要部拡大図である。図３において、外筒部材
３の下端部に設けた連結部材３aにより上部ＡＴＲ結晶
２３が支持されている。前記上部ＡＴＲ結晶２３は半球
状のＡＴＲ結晶の平面部分をある厚さだけ切り落とした
形状である。前記水平なＸＹ平面内で移動可能なＸＹス
テージにより構成された試料台２には、試料Ｓを保持す
る試料ホルダＨが板バネ２４により持上げられている。
試料ホルダＨは試料支持基板２６と、前記試料支持基板
２６上面に支持された試料Ｓの上面に密着する下側ＡＴ
Ｒ結晶２７と、下側ＡＴＲ結晶２７を支持する下側ＡＴ
Ｒ支持部材２８と、前記下側ＡＴＲ支持部材２８を前記
試料支持基板２６に固定する固定部材２９により構成さ
れている。

【００２６】前記下側ＡＴＲ結晶２７は、前記上側ＡＴ
Ｒ結晶２３の前記切り落した部分の厚さを有する平板状
の部材である。したがって、下側ＡＴＲ結晶２７の上面
と上側ＡＴＲ結晶２３の下面とが当接した状態では、前
記上側ＡＴＲ結晶２３の球面部分を延長して前記下側Ａ
ＴＲ結晶２７の下面と交わる線は円形であり、且つ前記
上側ＡＴＲ結晶２３と、その球面部分を延長した面によ
り切り取られる前記下側ＡＴＲ結晶２７の切り取られた
部分とを合わせたものは半球体となる。前記下側ＡＴＲ
結晶２７は前記下側ＡＴＲ支持部材２８に、接着されて
いる。

【００２７】前記板バネ２４により、試料ホルダＨが持
上げられているため、前記下側ＡＴＲ結晶２７の上面は
前記上側ＡＴＲ結晶２３下面に当接している。前記下側
ＡＴＲ結晶２７の上面にはＡＴＲ結晶とほぼ同じ屈折率
の潤滑用液体（図示せず）が塗布されており、前記互い
に当接する下側ＡＴＲ結晶２７の上面および前記上側Ａ
ＴＲ結晶２３下面には前記潤滑用液体が充填されてい
る。前記潤滑用液体により前記下側ＡＴＲ結晶２７上面
と前記上側ＡＴＲ結晶２３下面との摩擦係数が低い値に
保持されるので、前記試料台２にをＸＹ平面内で移動さ
せたとき、前記下側ＡＴＲ結晶２７は、前記上側ＡＴＲ
結晶２３下面に当接した状態で滑らかに移動することが
できる。前記ＡＴＲ結晶の材料としては、ダイヤモンド
以外に、ＺnＳe（ジンクセレノイド）、ＺnＳ（ジンク
サルファ）等が使用される。また、前記潤滑用液体とし
ては、ハイドロカーボン（液体炭化水素）等のシリコー
ンオイル、液体フッ素化合物、加熱された液体状のイオ
ウ等を使用することが可能である。

【００２８】（実施例２の作用）前記構成を備えた顕微
ＡＴＲ光学系を用いた場合、可視光は試料Ｓに垂直な方
向から入射するので、可視光の入射角は小さい。このた
め、可視光による試料Ｓの観察を行うことができる。ま
た、赤外光は試料Ｓに斜めの方向から入射するので赤外
光の入射角は大きく試料Ｓ表面で全反射する。このた
め、赤外光による試料Ｓの顕微ＡＴＲ分析を行うことが
できる。また、試料台２をＸＹ平面内で移動させること
により試料Ｓを移動させて、試料Ｓへの赤外光の入射位
置を変えながら顕微ＡＴＲ分析を行うことができる。

【００２９】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。 （Ｈ01）前記実施例１および２において、凸レンズ８上
面の凸面８aの円周Ｐ2の外側に赤外光反射膜９を形成す
る代わりに、全波長の光を反射する光反射膜を形成する
ことが可能である。 （Ｈ02）前記実施例１および２において、凸レンズ８上
面の凸面８aの円周Ｐ2の内側に赤外光反射膜９を形成す
る代わりに、赤外光反射膜９を省略することが可能であ
る。 （Ｈ03）前記板ばね（ＡＴＲ接触用弾性部材）２４は試
料台２と試料ホルダＨとの間に設けることも可能である
が、試料ホルダＨ内部に設けることが可能である。その
場合には前記試料下部支持部材２６を支持する部材を試
料ホルダＨに設け、その保持する部材と前記試料下部支
持部材２６との間に前記板ばね２４を設けることが可能
である。なお、前記ＡＴＲ接触用弾性部材としては板バ
ネ２４の代わりに他の弾性部材を使用することが可能で
ある。

【００３０】

【発明の効果】本発明のカセグレン型光学系は下記の効
果を奏する。 （Ｅ01）光軸を中心とする一定範囲の可視光の光束を利
用可能なカセグレン型光学系を提供することができる。 （Ｅ02）低入射角の光路が遮断されることが無く、ＡＴ
Ｒ測定用として使用可能なカセグレン型光学系を提供す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は本発明のカセグレン型光学系を装着し
た実施例１の赤外顕微鏡の説明図である。

【図２】 図２は前記図１の要部拡大図である。

【図３】 図３は本発明の実施例２の説明図でカセグレ
ン型光学系を顕微ＡＴＲ光学系に組み込んだ装置を示す
図で、図３Ａは要部説明図、図３Ｂは前記図３Ａの要部
拡大図である。

【図４】 図４は従来のカセグレン型光学系の説明図で
ある。

【符号の説明】

Ｌ1…可視光、Ｌ2…赤外光、７…凹面鏡、７a…光通過
孔、８…凸面鏡、８a…凸面、９…光反射膜、

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記の要件を備えたカセグレン型光学
   系、（Ｙ01）中央部に光通過孔が形成された凹面鏡、
   （Ｙ02）前記凹面鏡に対向する凸面を有し、前記光通過
   孔を通過した光束である孔通過光束の通路に配置された
   凸レンズ、（Ｙ03）可視光を透過させるが赤外光を反射
   するように前記凸面に形成された光反射膜、（Ｙ04）前
   記孔通過光束のうち、前記光反射膜で反射しさらに前記
   凹面鏡で反射した赤外光を前記凸レンズの前記凸面とは
   反対側で且つ前記孔通過光束の中心線上の赤外光収束位
   置に収束させる前記凹面鏡。
2. 【請求項２】 下記の要件を備えた請求項１記載のカセ
   グレン型光学系、（Ｙ05）前記孔通過光束のうち前記凸
   レンズを透過した可視光が収束する可視光収束位置が前
   記赤外光収束位置と同一位置となるように形成された前
   記凸レンズ。