JPH08316771A - 圧電振動子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 電極を設けるベース５と、ベース上に設けベ
ースの電極に導通すう電極を有する支持台３と、支持台
と導電性ペースト２で接続する圧電素子１と、ベースと
接合部材４により気密封止するキャップ６からなる圧電
振動子の支持台３は、ベースと接する面に溝部９を有
し、圧電素子と接する面に凹部８を有し、凹部にベース
側の溝部９へ貫通する穴１０を有する。 【効果】 余分な導電性ペーストが、励振電極側に流れ
ることがなく、圧電振動子の基本特性であるＣＩ値やＱ
値を低下させることを防ぐことができる。また、隣り合
わせた電極に導電性ペーストが流れることもなく、ショ
ートによる圧電振動子の発振不良が防ぐことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、導電性ペーストを使用
して支持台に接続する圧電素子や圧電フィルターの構造
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の技術における導電性ペーストを使
用して支持台に接続する圧電素子の構造を、図３を用い
て説明する。図３は従来例における圧電素子の支持構造
を示す斜視図である。

【０００３】図３に示すように、電極を設けるベース５
と、ベース５上に設けこのベース５の電極に導通する電
極を備える支持台３と、支持台３と導電性ペースト２で
接続する圧電素子１と、ベース５と接合部材４により気
密封止するキャップ６からなる。圧電素子１には励振電
極７を、その表面に設ける。

【０００４】支持台３は、セラミックス材料あるいはガ
ラスセラミックス材料からなる。そして支持台３の圧電
素子１が接する面は、平面形状であり隣り合わせた２つ
の電極１１ａ、１１ｂを設けている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前述のように、図３に
示す圧電振動子の支持構造は、支持台３の圧電素子１が
接する面が平面である。

【０００６】このため、支持台３と圧電素子１を導電性
ペースト２で接続するときに導電性ペースト２の塗布量
が多くなると圧電素子１の励振電極７側に流入してしま
い、支持面積が大きくなる。そのため圧電素子１の振動
エネルギーが支持部に漏れてエネルギーを損失すること
から、圧電振動子の基本特性であるクリスタルインピー
ダンス（ＣＩ）値が増大し、Ｑ値の低下を招く。

【０００７】さらに、導電性ペースト２の塗布量が多く
なると、隣り合わせる電極１１ａと電極１１ｂ間でショ
ートが発生し、圧電振動子は発振不良となる。

【０００８】これとは逆に導電性ペースト２の塗布量が
少ないと、支持台５と圧電素子１との充分な接着強度が
得られず、圧電振動子が支持台から剥離するという問題
点が発生する。

【０００９】導電性ペースト２の塗布量が一定であれば
このような圧電振動子特性の劣化や発振不良を防ぐこと
ができるが、導電性ペースト２の粘度の経時変化や使用
環境の変化による粘度の変化により、塗布量を一定に保
つことは困難である。

【００１０】本発明の目的は、上記課題を解決して、導
電性ペーストの塗布量のバラツキが圧電振動子の特性や
発振に影響しない圧電振動子の構造を提供することであ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の圧電振動子においては、下記記載の構造を
採用する。

【００１２】本発明の圧電振動子は、電極を設けるベー
スと、ベース上に設けこのベースの電極に導通する電極
を有する支持台と、支持台に導電性ペーストを用いて接
続する圧電素子と、ベースと接合部材により気密封止す
るキャップからなる圧電振動子にあって、支持台は、ベ
ースと接する面に設ける溝部と、圧電素子と接する面に
設ける凹部とを有し、凹部にベース側の溝部へ貫通する
穴を設けることを特徴とする。

【００１３】本発明の圧電振動子は、電極を設けるベー
スと、ベース上に設けこのベースの電極に導通する電極
を有する支持台と、支持台に導電性ペーストを用いて接
続する圧電素子と、ベースと接合部材により気密封止す
るキャップからなる圧電振動子にあって、支持台は、ベ
ースと接する面に設ける溝部を有し、圧電素子と接する
面にベース側の溝部へ貫通する穴を設けることを特徴と
する。

【００１４】

【作用】本発明の圧電振動子においては、支持台はベー
スと接する面に溝部を有し、圧電素子と接する面に凹部
を有し、凹部には溝部へ貫通する穴を有する。

【００１５】ことにより、支持台と圧電素子を導電性ペ
ーストで接続するときに、凹部に塗布する導電性ペース
トの上に圧電素子の支持部をのせることで、支持台の上
面に垂直な力が加わり、導電性ペーストが凹部にあるベ
ースに接する面の溝部に貫通する穴へ流入し、余分な導
電性ペーストを溝部に溜まる。

【００１６】したがって、圧電素子の励振電極や隣り合
わせる電極方向への導電性ペーストの流入を抑え、圧電
素子特性の劣化や発振不良を防止することができる。

【００１７】さらに、支持台の凹部により導電性ペース
トの流入範囲を制限する。このことによって、圧電素子
の支持面積が一定となり、圧電素子基本特性であるＣＩ
値とＱ値とが安定する。

【００１８】この結果、導電性ペーストの塗布量のバラ
ツキが圧電振動子の特性や発振に影響をおよぼさなくな
り、導電性ペーストの塗布量の管理が容易になる。

【００１９】

【実施例】以下図面により本発明の実施例における圧電
振動子の構造を説明する。図１は本発明の実施例におけ
る圧電振動子を示す斜視図である。図２は本発明の実施
例における圧電振動子の支持部を示す断面図である。以
下、図１と図２とを交互に参照して説明する。

【００２０】図１に示すように、圧電振動子のベース５
は、セラミックスや、ガラスセラミックスや、あるいは
ガラス多層基板を重ねて構成するか、あるいは単層基板
の加工することにより形成する凹形状を有し、ベース５
下面に電極をもち、凹部８の表面に電極１１ａ、１１ｂ
を有する。なお、ベース５下面の電極と凹部８表面の電
極１１ａ、１１ｂとは、スルーホールと多層基板内部の
電極膜とにより接続している。

【００２１】支持台３は、その下部にある溝部９と、そ
の上部にある凹部８とを設ける。さらにこの溝部９と凹
部８とを貫通するように設ける穴１０を有する。ベース
５と支持台３の配線は、ベース５の凹部８表面の電極１
１ａ、１１ｂ上に支持台３を導電性接着剤と電極膜で接
続する。

【００２２】そして支持台３と圧電素子１との接続は、
２つの電極１１ａ、１１ｂを有するベース５上の支持台
５に導電性ペースト２を塗布し、導電性ペースト２の上
に圧電素子１を搭載したのち高温雰囲気で熱処理する。

【００２３】図２に示すように、支持台３は下部に溝部
９と上部に凹部８を有し、さらにこの溝部９と凹部８に
貫通するように穴１０を設けている。圧電素子１と支持
台３の接続処理工程において、導電性ペースト２を支持
台３の凹部８に塗布すると、導電性ペースト２は支持台
３の凹部３表面と溝部９と凹部８に貫通する穴１０の上
部に形成される。

【００２４】そして、圧電素子１を導電性ペースト２に
配置するときに加わる垂直方向の力により、余分な導電
性ペースト２が支持台３の凹部８に広がり、さらにその
下部の溝部９と上部の凹部８に貫通する穴１０を通り溝
部９内に溜まる。

【００２５】したがって、圧電素子１の励振電極７や隣
り合わせる電極１１ａ、１１ｂ方向への導電性ペースト
２の流入を抑え、圧電素子１特性の劣化や発振不良を防
止することができる。さらに、支持台３の凹部８により
導電性ペースト２の流入範囲を制限する。このことによ
って、圧電素子１の支持面積が一定となり、圧電素子１
基本特性であるＣＩ値とＱ値とが安定する。

【００２６】この結果、導電性ペースト２の塗布量のバ
ラツキが圧電振動子の特性や発振に影響をおよぼさなく
なり、導電性ペースト２の塗布量の管理が容易になる。

【００２７】つぎに図１と図２とを用いて説明した実施
例と異なる実施例における圧電振動子構造を図４と図５
とを用いて説明する。図４は本発明の実施例における圧
電振動子を示す斜視図である。図５は本発明の実施例に
おける圧電振動子の支持部を示す断面図である。以下、
図４と図５とを交互に参照して説明する。

【００２８】図４に示すように、圧電振動子のベース５
は、セラミックスや、ガラスセラミックスや、あるいは
ガラスからなる多層基板を重ねることにより形成する凹
形状を有する。そして、ベース５の下面に電極をもち、
凹部８の表面に電極１１ａ、１１ｂを有する。ベース５
下面の電極と凹部８表面の電極１１ａ、１１ｂとは、ス
ルーホールと多層基板内部の電極膜で接続している。

【００２９】図５に示すように、支持台３は、ベース５
の多層基板の端部に段差を設けベース５と一体の支持台
３とし、支持台３上部にある凹部８と、中間層を空洞に
する溝部９と、さらにこの下部の溝部９と上部の凹部８
に貫通するように穴１０を有する。ベース５と支持台３
の配線は、一体構造のためスルーホールと多層基板内部
の電極膜で接続している。

【００３０】そして支持台３と圧電素子１との接続は、
電極１１ａと電極１１ｂを有するベース５の支持台３に
導電性ペースト２を塗布し、導電性ペースト２の上に圧
電素子１を載置したのち高温雰囲気で熱処理する。

【００３１】したがって、圧電素子１の励振電極７や隣
り合わせる電極１１ａ、１１ｂ方向への導電性ペースト
２の流入を抑え、圧電素子１特性の劣化や発振不良を防
止することができる。さらに、支持台３の凹部８により
導電性ペースト２の流入範囲を制限する。このことによ
って、圧電素子１の支持面積が一定となり、圧電素子１
基本特性であるＣＩ値とＱ値とが安定する。

【００３２】この結果、導電性ペースト２の塗布量のバ
ラツキが圧電振動子の特性や発振に影響をおよぼさなく
なり、導電性ペースト２の塗布量の管理が容易になる。

【００３３】

【発明の効果】上記のように本発明によれば、支持台の
ベースに接する面にある溝と、圧電素子と接する面にあ
る凹部と、凹部のベース側の溝へ貫通する穴を有する。
このことにより、支持台に導電ペーストを塗布し、圧電
素子を乗せた時に余分な導電性ペーストが、支持台の凹
部にある穴を通り溝に溜まる。

【００３４】したがって余分な導電性ペーストが、励振
電極側に流れることがなく、圧電振動子の基本特性であ
るＣＩ値やＱ値を低下させることを防ぐことができる。
さらに隣り合わせた電極に導電性ペーストが流れること
もなく、ショートによる圧電振動子の発振不良が防ぐこ
とができる。

【００３５】さらにまた、支持台の凹部を設けることに
より、導電性ペーストの粘度が経時変化する場合でも、
導電性ペーストの塗布面積が一定となるため、基本特性
のバラツキが小さくなり安定する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例における圧電振動子の支持構造
を示す斜視図である。

【図２】本発明の実施例における圧電振動子の支持構造
を示す断面図である。

【図３】従来例における圧電振動子の支持構造を示す斜
視図である。

【図４】本発明の実施例における圧電振動子の支持構造
を示す斜視図である。

【図５】本発明の実施例における圧電振動子の支持構造
を示す断面図である。

【符号の説明】

１ 圧電素子 ２ 導電ペースト ３ 支持台 ５ ベース ８ 凹部 ９ 溝部 １０ 穴

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電極を設けるベースと、ベース上に設け
   このベースの電極に導通する電極を有する支持台と、支
   持台に導電性ペーストを用いて接続する圧電素子と、ベ
   ースと接合部材により気密封止するキャップからなる圧
   電振動子にあって、支持台は、ベースと接する面に設け
   る溝部と、圧電素子と接する面に設ける凹部とを有し、
   凹部にベース側の溝部へ貫通する穴を設けることを特徴
   とする圧電振動子。
2. 【請求項２】 電極を設けるベースと、ベース上に設け
   このベースの電極に導通する電極を有する支持台と、支
   持台に導電性ペーストを用いて接続する圧電素子と、ベ
   ースと接合部材により気密封止するキャップからなる圧
   電振動子にあって、支持台は、ベースと接する面に設け
   る溝部を有し、圧電素子と接する面にベース側の溝部へ
   貫通する穴を設けることを特徴とする圧電振動子。