JP2000269773A - 圧電共振部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 空洞内の空気が熱膨張した場合であっても、
圧電基板とケース基板との間の接着剥がれが生じ難い構
造を備えた圧電共振部品を得る。 【解決手段】 第１，第２の振動電極６，７が圧電基板
５を介して表裏対向するように形成されてエネルギー閉
じ込め型の圧電振動部が構成されており、かつ振動電極
６が引出電極８ａ，８ｂにより端子電極９に接続されて
いる圧電素子２の両面に接着剤層１２，１３を介して第
１，第２のケース基板３，４が貼り合わされており、端
子電極９の圧電振動部側の端縁に凹部９ａが形成されて
おり、それによって円Ａに示される空洞１１の外側にお
いて、接着剤層１２を介して圧電素子２の圧電基板５と
ケース基板３とが直接接着されている、圧電共振部品
１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電共振子、圧電
発振子、圧電フィルタなどの圧電共振部品に関し、より
詳細には、エネルギー閉じ込め型の圧電振動部の振動を
妨げないための空洞が設けられた圧電共振部品に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、エネルギー閉じ込め型の圧電素子
を用いた共振子やフィルタ等が広く用いられている。こ
の種の圧電素子を用いた圧電共振部品では、エネルギー
閉じ込め型の圧電振動部が部品内に密封されている。

【０００３】従来の圧電共振部品の一例を図７（ａ）及
び（ｂ）を参照して説明する。圧電共振部品５１では、
圧電素子５２の上下にケース基板５３，５４が貼り合わ
されている。圧電素子５２は、圧電基板５５を用いて構
成されている。圧電基板５５の上面中央には、振動電極
５６が、下面中央には振動電極５７が形成されている。
振動電極５６，５７は圧電基板５５を介して表裏対向さ
れており、エネルギー閉じ込め型の圧電振動部を構成し
ている。

【０００４】振動電極５６には、引出電極５８ａ，５８
ｂが接続されている。引出電極５８ａ，５８ｂの他端
は、端子電極５９に接続されている。端子電極５９は、
振動電極５６を外部と電気的に接続するために設けられ
ており、圧電共振部品５１の外側面に露出するように形
成されている。

【０００５】他方、他面側の振動電極５７にも、同様に
引出電極（図示されず）が接続されており、該引出電極
が端子電極６０に電気的に接続されている。ケース基板
５３，５４には、内面側に凹部５３ａ，５４ａがそれぞ
れ形成されている。凹部５３ａ，５４ａは、エネルギー
閉じ込め型圧電振動部の振動を妨げないための空洞６
１，６１を構成するために設けられている。

【０００６】また、ケース基板５３，５４は、接着剤層
６２，６３を介して圧電素子５２に貼り合わされてい
る。接着剤層６２，６３により、空洞６１の周囲におい
て、圧電素子５２とケース基板５３，５４とが貼り合わ
されている。すなわち、図７（ａ）の円Ａで囲まれてい
る部分が空洞６１に相当する部分であり、この円Ａの外
側のすべての領域において接着剤が塗布されて、接着剤
層６２，６３が構成されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来の圧電共振部品５
１では、特性の安定化及び耐湿性の向上等を図るため
に、空洞６１の周囲の領域のすべてにおいて、圧電素子
５２が接着剤層６２，６３を介してケース基板５３，５
４に貼り合わされていた。

【０００８】他方、圧電共振部品５１は、他のチップ型
電子部品と同様に、リフロー半田付け法によりプリント
回路基板などに実装される。この場合、溶融半田の熱に
より、空洞６１内の空気が膨張し、ケース基板５３，５
４が圧電素子５２から剥離することがあった。すなわ
ち、従来の圧電共振部品５１では、ケース基板５３，５
４の圧電素子５２に対する接着強度が必ずしも十分では
なかった。

【０００９】本発明の目的は、上述した従来技術の欠点
を解消し、圧電素子とケース基板との接着強度に優れて
おり、リフロー半田付け時などに熱が加えられて空洞内
の空気が膨張としたとしてもケース基板の圧電素子から
の剥離が生じ難い、信頼性に優れた圧電共振部品を提供
することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明に係る圧電共振部
品は、圧電基板と、該圧電基板を介して表裏対向するよ
うに圧電基板の両主面に形成された第１，第２の振動電
極と、前記第１，第２の振動電極に電気的に接続された
第１，第２の引出電極と、前記第１，第２の引出電極に
電気的に接続されており、外周縁の一部が圧電基板の外
周縁に至るように延ばされている第１，第２の端子電極
とを備える圧電素子と、前記圧電素子を挟持するよう
に、かつ圧電素子の振動部の振動を妨げないための空洞
を形成するように圧電基板に積層された第１，第２のケ
ース基板と、前記第１，第２のケース基板を圧電基板に
接着している接着剤層とを備え、該接着剤層が前記空洞
の周囲において圧電基板をケース基板に接着しており、
前記空洞に端子電極が露出しないように、該端子電極の
空洞側の端縁に凹部が形成されていることを特徴とす
る。

【００１１】本発明においては、好ましくは、前記端子
電極に貫通孔が形成されており、該貫通孔において圧電
基板とケース基板とが接着剤層を介して接着されてい
る。また、本発明に係る圧電共振部品では、前記端子電
極の外周縁の一部と圧電基板の端縁との間に接着代に
て、圧電基板とケース基板とが従来よりも良好な状態で
接着されている。

【００１２】本願の第２の発明に係る圧電共振部品は、
圧電基板と、圧電基板を介して表裏対向するように圧電
基板の両面に形成された第１，第２の振動電極と、第
１，第２の振動電極に電気的に接続された第１，第２の
引出電極と、前記引出電極に接続されており、外周縁の
一部が圧電基板の端縁に至るように形成されている第
１，第２の端子電極とを有する圧電素子と、前記圧電素
子を挟持するように、かつ圧電基板の振動部の振動を妨
げたいための空洞を形成するようにして圧電基板に積層
されている第１，第２のケース基板と、前記圧電基板に
第１，第２のケース基板を接着している接着剤層とを備
え、前記空洞の周りにおいて圧電基板と第１，第２のケ
ース基板とが接着剤層を介して接着されており、前記圧
電基板の両主面において、前記空洞を中心として第１，
第２の端子電極と対称となる位置にダミー電極が形成さ
れていることを特徴とする。

【００１３】また、第１，第２の発明に係る圧電共振部
品では、好ましくは、前記第１，第２のケース基板の内
面に前記空洞を形成するための凹部が形成されている。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
の具体的な実施例を挙げることにより本発明を明らかに
する。

【００１５】図１（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第１の
実施例に係る圧電共振部品を示す断面図及び圧電素子の
平面図である。圧電共振部品１は、板状の圧電素子２
と、圧電素子２を挟持するように圧電素子に貼り合わさ
れた第１，第２のケース基板３，４とを有する。

【００１６】圧電素子２は、板状の圧電基板５を用いて
構成されている。圧電基板５は、チタン酸ジルコン酸鉛
系セラミックスのような圧電セラミックスあるいはＬｉ
ＴａＯ₃ や水晶などの圧電単結晶を用いて構成すること
ができる。本実施例では、圧電基板５は、圧電セラミッ
クスにより構成されており、厚み方向に分極処理されて
いる。

【００１７】圧電基板５の上面中央には、第１の振動電
極６が形成されている。また、圧電基板５の他面中央に
は、第２の振動電極７が形成されている。振動電極６，
７は、圧電基板５を介して表裏対向されている。

【００１８】また、振動電極６に電気的に接続されるよ
うに、細い線状の引出電極８ａ，８ｂが振動電極６に電
気的に接続されている。引出電極８ａ，８ｂの他端は、
端子電極９に電気的に接続されている。

【００１９】なお、特に図示はしないが、下面側におい
ても、振動電極７に一対の引出電極が同様に接続されて
おり、該一対の引出電極が端子電極１０に電気的に接続
されている。

【００２０】端子電極９は、圧電基板５の上面におい
て、端縁５ａと、側縁５ｂ，５ｃとに至るように形成さ
れている。端子電極９は、外部と電気的に接続するため
に設けられており、従って圧電共振部品１の外側面に露
出するように形成されている。端子電極１０について
も、端子電極９と同様に構成されている。もっとも、端
子電極１０は、圧電振動部を中心として端子電極９とは
反対側の圧電基板５の端縁５ｄ側に形成されている。

【００２１】上記振動電極６，７及び引出電極８ａ，８
ｂ及び端子電極９，１０は、圧電基板５の両面にＡｌ、
Ｃｕ、Ａｇなどの金属膜を形成し、パターニングするこ
とにより形成することができる。

【００２２】圧電素子２は、上記圧電基板５を用い、振
動電極６，７が上記のように形成されいてるので、振動
電極６，７間に交流電圧を印加することにより、エネル
ギー閉じ込め型の厚み縦振動モードを利用した圧電共振
子として動作させることができる。

【００２３】第１，第２のケース材３，４は、アルミナ
などの絶縁性セラミックスや合成樹脂などの適宜の剛性
絶縁材料により構成することができる。第１，第２のケ
ース材３，４の内面、すなわち圧電振動部側の面には、
凹部３ａ，４ａがそれぞれ形成されいてる。凹部３ａ，
４ａは、圧電振動部の上下に空洞１１，１１を形成する
ために設けられている。空洞１１は、圧電振動部の振動
を妨げないために設けられている。

【００２４】他方、第１，第２のケース材３，４は、接
着剤層１２，１３を介して圧電素子２に貼り合わされい
る。ここで、接着剤層１２，１３は、図１（ｂ）の一点
鎖線で示す円Ｂの外側に配置されている。一点鎖線で示
す円Ｂの内側部分が上記空洞１１に相当し、従って空洞
１１の外側において圧電素子２にケース基板３，４が接
着剤層１２，１３により貼り合わされている。

【００２５】本実施例の特徴は、端子電極９の圧電振動
部側に凹部９ａが形成されており、それによって端子電
極９の空洞側の端縁と、一点鎖線Ｂで示されている空洞
１１の外縁との間において圧電基板５とケース基板３と
が接着剤層１２により直接接着されていることにある。

【００２６】図７に示した従来の圧電共振部品５１で
は、端子電極５９が、一点鎖線Ａで示す空洞の外縁に接
している。従って、リフロー半田付け時に加えられた熱
により空洞６１内の空気が膨張した場合、端子電極５９
が一点鎖線Ａと接している部分においては、接着剤層６
２は圧電基板５５ではなく端子電極５９とケース基板５
３との間に存在している。従って、接着強度が低く、端
子電極５９が円Ａと接している部分において接着剥がれ
が生じがちであった。

【００２７】これに対して、本実施例の圧電共振部品１
では、端子電極９に凹部９ａが形成されており、円Ｂで
示す空洞１１の外縁の外側の領域において、圧電基板５
とケース材１１とが接着剤層１２を介して直接接着され
ている。電極材料に比べて、圧電基板５は、接着剤層１
２に対する接着強度に優れている。従って、リフロー半
田付け時などにおいて熱が加わり、空洞１１内の空気が
膨張したとしても、ケース基板３と圧電素子２との間の
接着剥がれが生じ難い。

【００２８】なお、特に図示はしないが、下面の端子電
極１０においても、端子電極９と同様に空洞側の端縁に
凹部が形成されている。従って、圧電素子２の下面側に
おいても、圧電素子２とケース基板４との接着強度が高
められるため、同様に熱が加わった際の空洞１１内の空
気の膨張に起因する接着剥がれを確実に防止することが
できる。

【００２９】なお、凹部９ａは、円Ｂで示されている空
洞１１の外縁よりも外側に、確実に接着代を形成するた
めに設けられているものであるため、この作用を果たす
限り凹部９ａの形状は適宜変形し得る。すなわち、凹部
９ａの端縁は曲線状であってもよく、また凹部９ａは複
数設けられていてもよい。

【００３０】図２は、第２の実施例に係る圧電共振部品
において用いられる圧電素子を示す平面図である。な
お、第２の実施例及び後述する第３〜第５の実施例に係
る圧電共振部品では、圧電素子の構造を主として説明す
るが、圧電素子の上下に積層される第１，第２のケース
基板については第１の実施例と同様に構成されている。

【００３１】図２に示すように、第２の実施例の圧電共
振部品では、圧電素子２において、端子電極９に凹部９
ａが形成されている。加えて、端子電極９に、貫通孔９
ｂが形成されている。従って、貫通孔９ｂにおいても、
接着剤層１２（図１参照）により、圧電素子２の圧電基
板５と、ケース基板３（図１参照）とが強固に接合され
る。すなわち、第２の実施例に係る圧電共振部品では、
端子電極９が凹部９ａを有するだけでなく、貫通孔９ｂ
を有することによっても、圧電素子２とケース基板３と
の接着剤層１２による接着強度が高められる。

【００３２】なお、特に図示はしないが、圧電素子２の
下面側の端子電極においても、同様に凹部及び貫通孔が
設けられている。従って、第２の実施例に係る圧電共振
部品では、リフロー半田付け時などの熱が加わる工程に
おいて空洞内の空気が膨張したとしても、圧電素子とケ
ース基板との間の接着剥がれをより一層効果的に防止す
ることができる。

【００３３】図３に示す第３の実施例で用いられる圧電
素子２では、端子電極９に凹部９ａが形成されており、
かつ端子電極９は、圧電基板５の端縁５ａには至らない
ように形成されている。言い換えれば、端縁５ａと端子
電極９との間に圧電基板５の幅方向両端に至る接着代５
ｅが形成されている。従って、圧電素子２を接着剤層１
２（図１参照）を介して第１のケース基板に接着した場
合、凹部９ａを有するだけでなく、接着代５ｅを有する
ことによっても、圧電素子２とケース基板３との接着強
度が高められる。

【００３４】また、圧電素子２の下面側の端子電極１０
（図１参照）においても、同様に凹部と接着代とが設け
られている。従って、第３の実施例に係る圧電共振部品
においても、圧電素子２の圧電基板５とケース基板３，
４とが接着される接着面積が増大されるので、熱が加わ
った際の圧電素子２と第１，第２のケース基板との間の
接着剥がれをより確実に防止することができる。

【００３５】図４に示すように、第４の実施例に係る圧
電共振部品に用いられる圧電素子２では、端子電極９
が、凹部９ａ及び電極欠落部９ｂを有するだけでなく、
端子電極９と圧電基板５の端縁５ａとの間に接着代５ｅ
が形成されている。すなわち、第３の実施例は、第２の
実施例及び第３の実施例に係る圧電共振部品の端子電極
構造を組み合わせた構造に相当する。

【００３６】従って、第４の実施例に係る圧電共振部品
では、凹部９ａが設けられていること、電極欠落部９ｂ
が設けられていること、さらに接着代５ｅが設けられて
いることにより、圧電基板と第１，第２のケース基板と
が直接接着される部分の面積が増大され、それによって
圧電素子と第１，第２のケース基板との間の接着剥がれ
をより効果的に防止することができる。

【００３７】図５及び図６は、第５の実施例に係る圧電
共振部品に用いられる圧電素子の平面図及び圧電基板を
付加して圧電基板下面に形成されている電極構造を示す
模式的平面図である。

【００３８】第５の実施例では、圧電素子３２は、矩形
の圧電基板３５を用いて構成されている。この圧電基板
３５の上面中央に第１の振動電極３６が、下面中央に第
２の振動電極３７が形成されている。振動電極３６，３
７は、圧電基板３５を介して表裏対向されている。ま
た、振動電極３６には、細い線状の引出電極３８ａ，３
８ｂが接続されている。引出電極３８ａ，３８ｂの他端
は、圧電基板３５の端縁３５ａの両側に位置するコーナ
ー部分に形成された端子電極３９ａ，３９ｂにそれぞれ
電気的に接続されている。すなわち、端子電極３９ａ，
３９ｂは、端縁３５ａと側縁３５ｂまたは側縁３５ｃと
が突き合わされた各コーナー部に形成されている。

【００３９】同様に、図６に示すように、圧電基板３５
の下面においても、振動電極３６に、細い線状の引出電
極４０ａ，４０ｂが接続されており、引出電極４０ａ，
４０ｂの他端が端縁３５ｄの両側のコーナー部分に形成
された端子電極４１ａ，４１ｂに電気的に接続されてい
る。なお、圧電基板３５の下面の端縁及び側縁について
も、上面の端縁及び側縁と同じ参照番号を付することと
する。

【００４０】他方、圧電基板３５の上面においては、端
縁３５ａとは反対側の端縁３５ｄの両端のコーナー部分
にダミー電極４２ａ，４２ｂが形成されている。また、
圧電基板３５の下面においても、端縁３５ｄとは反対側
の端縁３５ａの両側のコーナー部分においてダミー電極
４３ａ，４３ｂが形成されている。

【００４１】ダミー電極４２ａ，４２ｂ，４３ａ，４３
ｂは、それぞれ、端子電極３９ａ，３９ｂ，４１ａ，４
１ｂと同じ形状とされており、かつ空洞を中心として対
称に配置されている。

【００４２】本実施例の圧電共振部品では、端子電極３
９ａ，３９ｂ，４１ａ，４１ｂと同じ形状のダミー電極
４２ａ〜４３ｂが上記のように形成されているので、圧
電素子３２に第１，第２のケース基板を接着し圧電共振
部品を得た場合、空洞内の空気の熱膨張に起因する接着
剥がれを効果的に防止することができる。

【００４３】すなわち、圧電基板３５の上面では、端子
電極３９ａ，３９ｂと等しい形状のダミー電極４２ａ，
４２ｂが圧電振動部を中心として、端子電極３９ａ，３
９ｂと対称な位置に配置されている。従って、円Ｂで示
されている空洞の周囲において接着剤により第１のケー
ス基板を圧電素子３２上に接着した場合、空洞の周囲に
おける接着強度のばらつきが緩和される。

【００４４】ダミー電極４２ａ，４２ｂが形成されてい
ない場合には、空洞の外側の接着部分のうち端子電極３
９ａ，３９ｂが形成されている側の接着強度が、端縁３
５ｄ側における接着強度よりも低くなる。これは、前述
したように、電極材料とケース基板との間の接着強度
が、圧電基板とケース基板との間の接着強度よりも低い
ためである。従って、ダミー電極４２ａ，４２ｂが設け
られていない場合には、空洞内の空気が熱膨張すると、
端子電極３９ａ，３９ｂが形成されている側において接
着剥がれが生じ易い。

【００４５】これに対して、本実施例では、端子電極３
９ａ，３９ｂと空洞を挟んで対称な位置にダミー電極４
２ａ，４２ｂが形成されているので、空洞内の空気が膨
張としたとしても、その力が円Ｂの周囲の接着剤層１２
において均一に受け止められる。従って、部分的な接着
剥がれが生じ難い。

【００４６】なお、圧電基板３５の下面側においても、
同様に、端子電極４１ａ，４１ｂと等しい形状のダミー
電極４３ａ，４３ｂが空洞を挟んで端子電極４１ａ，４
１ｂと対称な位置に形成されているので、同様に空洞内
の空気の熱膨張に起因する接着剥がれを効果的に防止す
ることができる。

【００４７】なお、第５の実施例では、ダミー電極４２
ａ〜４３ｂは端子電極３９ａ，３９ｂ，４１ａ，４１ｂ
と等しい形状としたが、ダミー電極は、端子電極と等し
い形状とすることが好ましいものの、端子電極とほぼ同
等の面積を有する限り、必ずしも端子電極３９ａ，３９
ｂ，４１ａ，４１ｂと等しくする必要はない。

【００４８】また、第１〜第５の実施例に係る圧電共振
部品では、単一の振動電極が圧電基板の両主面に形成さ
れた圧電共振子を示したが、本発明は、圧電共振子だけ
でなく、圧電フィルタなどの他の圧電素子を用いた圧電
共振部品を適用することができる。従って、圧電基板の
両主面に形成される第１，第２の振動電極については、
いずれか一方が、あるいは双方が複数の振動電極に分割
されていてもよい。

【００４９】

【発明の効果】第１の発明に係る圧電共振部品では、空
洞に端子電極が露出しないように、端子電極の空洞側端
縁に凹部が形成されているので、空洞の周囲において圧
電基板と第１，第２のケース基板とが接着層を介して直
接接着されている。電極とケース基板とを接着した場合
に比べて、圧電基板とケース基板とを直接接着した場合
の方が接着力に優れる。従って、第１の発明に係る圧電
共振部品では、空洞の周囲における圧電素子と第１，第
２のケース基板との接着強度を効果的に高めることがで
きる。よって、例えばリフロー半田時などにおいて熱が
加わり、空洞内の空気が膨張したとしても、圧電素子と
ケース基板との間の接着剥がれを確実に抑制することが
できる。

【００５０】第１の発明において、端子電極に貫通孔が
形成されている場合には、貫通孔において圧電基板とケ
ース基板とが接着剤層を介して直接接着されるので、圧
電素子と第１，第２のケース基板との間の接着剥がれを
より一層確実に抑制することができる。

【００５１】さらに、端子電極と外周縁の一部と圧電基
板との端縁との間に接着代が形成されており、該接着代
において圧電基板とケース基板とが直接接着されている
場合においても、該接着代における接着強度向上効果に
より、圧電素子と第１，第２のケース基板との間の接着
剥がれをより一層確実に抑制することができる。

【００５２】第２の発明に係る圧電共振部品では、圧電
基板の両主面において、前記空洞を挟んで第１，第２の
端子電極と対称となる位置にダミー電極が形成されてい
るので、空洞の周囲の接着部分における接着強度のばら
つきが生じ難い。従って、例えばリフロー半田時などに
おいて熱が加わり、空洞内の空気が膨張したとしても、
膨張に起因する力が空洞周囲の接着剤層において均一に
受け止められるので、圧電素子とケース基板との間の接
着剥がれを確実に抑制することができる。

【００５３】第１，第２の発明に係る圧電共振部品にお
いて、上記空洞を形成するために第１，第２のケース基
板に凹部が形成されている場合には、凹部外の部分で圧
電素子と第１，第２のケース基板と接着剤層を介して接
着するだけで確実に上記空洞を形成することができる。

【００５４】もっとも、本発明においては、凹部が形成
されていない平板状のケース基板を用い、接着剤層の厚
みにより上記空洞を形成してもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の第１の実施例に
係る圧電共振部品の断面図及び該圧電共振部品に用いら
れる圧電素子の平面図。

【図２】第２の実施例の圧電共振部品に用いられる圧電
素子を示す平面図。

【図３】第３の実施例の圧電共振部品に用いられる圧電
素子を示す平面図。

【図４】第４の実施例の圧電共振部品に用いられる圧電
素子を示す平面図。

【図５】第５の実施例の圧電共振部品に用いられる圧電
素子を示す平面図。

【図６】図５に示した第５の実施例に係る圧電共振部品
に用いられる圧電素子の下面の電極形状を説明するため
の模式的平面図。

【図７】（ａ）及び（ｂ）は、従来の圧電共振部品の一
例を示す断面図及び該圧電共振部品に用いられている圧
電素子を示す平面図。

【符号の説明】

１…圧電共振部品 ２…圧電素子 ３，４…第１，第２のケース基板 ５…圧電基板 ６，７…第１，第２の振動電極 ８ａ，８ｂ…引出電極 ９，１０…端子電極 １１…空洞 １２，１３…接着剤層 ９ａ…凹部 ９ｂ…貫通孔 ５ｄ…接着代 ３２…圧電素子 ３５…圧電基板 ３６，３７…第１，第２の振動電極 ３８ａ，３８ｂ，４０ａ，４０ｂ…引出電極 ３９ａ，３９ｂ，４１ａ，４１ｂ…端子電極 ４２ａ，４２ｂ，４３ａ，４３ｂ…ダミー電極

フロントページの続き Ｆターム(参考） 5J108 BB01 BB02 BB04 DD01 DD06 DD07 EE03 EE04 EE07 EE17 FF09 FF11 GG03 GG08 GG16 GG18 KK02

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電基板と、該圧電基板を介して表裏対
   向するように圧電基板の両主面に形成された第１，第２
   の振動電極と、前記第１，第２の振動電極に電気的に接
   続された第１，第２の引出電極と、前記第１，第２の引
   出電極に電気的に接続されており、外周縁の一部が圧電
   基板の外周縁に至るように延ばされている第１，第２の
   端子電極とを備える圧電素子と、 前記圧電素子を挟持するように、かつ圧電素子の振動部
   の振動を妨げないための空洞を形成するように圧電基板
   に積層された第１，第２のケース基板と、 前記第１，第２のケース基板を圧電基板に接着している
   接着剤層とを備え、該接着剤層が前記空洞の周囲におい
   て圧電基板をケース基板に接着しており、 前記空洞に端子電極が露出しないように、該端子電極の
   空洞側の端縁に凹部が形成されていることを特徴とす
   る、圧電共振部品。
2. 【請求項２】 前記端子電極に貫通孔が形成されてお
   り、該貫通孔において圧電基板とケース基板とが接着剤
   層を介して接着されている、請求項１に記載の圧電共振
   部品。
3. 【請求項３】 前記端子電極の外周縁の一部と圧電基板
   の端縁との間に接着代が形成されており、該接着代にお
   いて圧電基板とケース基板とが接着されている、請求項
   １または２に記載の圧電共振部品。
4. 【請求項４】 圧電基板と、圧電基板を介して表裏対向
   するように圧電基板の両面に形成された第１，第２の振
   動電極と、第１，第２の振動電極に電気的に接続された
   第１，第２の引出電極と、前記引出電極に接続されてお
   り、外周縁の一部が圧電基板の端縁に至るように形成さ
   れている第１，第２の端子電極とを有する圧電素子と、 前記圧電素子を挟持するように、かつ圧電基板の振動部
   の振動を妨げたいための空洞を形成するようにして圧電
   基板に積層されている第１，第２のケース基板と、 前記圧電基板に第１，第２のケース基板を接着している
   接着剤層とを備え、 前記空洞の周りにおいて圧電基板と第１，第２のケース
   基板とが接着剤層を介して接着されており、 前記圧電基板の両主面において、前記空洞を中心として
   第１，第２の端子電極と対称となる位置にダミー電極が
   形成されていることを特徴とする、圧電共振部品。
5. 【請求項５】 前記第１，第２のケース基板の内面に前
   記空洞を形成するための凹部が形成されている、請求項
   １〜４の何れかに記載の圧電共振部品。