JPH08313714A

JPH08313714A - カラーフイルタの製造法

Info

Publication number: JPH08313714A
Application number: JP11886195A
Authority: JP
Inventors: Yasuki Mori; 靖樹森
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Showa Denko Materials Co Ltd
Priority date: 1995-05-18
Filing date: 1995-05-18
Publication date: 1996-11-29

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は、前記の欠点を無くし、ガラス板等
の透明基板上に作業性が良く、しかも高精度で多色の微
細パターンを形成することができるカラーフイルタの製
造法を提供するものである。【構成】透明基板上に、ベースフイルムと一色に着色
された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、
（１）着色された感光性樹脂層が前記基板に面するよう
に貼り合わせる工程、（２）パターン状に露光する工程
及び（３）現像工程を少なくとも含む工程を繰り返して
多色パターンを形成させるカラーフイルタの製造法にお
いて、二色目以降の着色された感光性樹脂層が前記基板
に面するように、画素間に空間を形成して貼り合わせる
工程を行い、前記（１）と（３）の工程の間に、加熱に
よる二色目以降の感光性樹脂層のベースフイルムから画
素間空間への移行工程を含み、（１）の貼り合わせる工
程が静電気力により貼り合わせを行う工程であることを
特徴とするカラーフイルタの製造法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カラーフイルタの製造
法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフイルタは、ガラスなどの光学的
に透明基板の表面に２種以上の色相を異にする極めて微
細なストライプ状又モザイク状のパターンを一定の間隔
を開けて、平行又は交差して並べた物である。これらの
パターンは色相を所定の順序に所定の間隔をおいて整然
と配置し、しかも厚さムラの少ない均一な層とする必要
があり、種々のカラーフイルタの製造法が提案されてい
る。スクリーン印刷法、またフォトリソグラフィ技術を
用いる方法、染色する方法がある。

【０００３】ベースフイルム及び感光性樹脂層から成る
感光性フイルムを使用した多色の微細なストライプ状又
はモザイク状のパターンを簡単に高精度で形成できるカ
ラーフイルタの製造法が知られている。

【０００４】感光性フイルムを用いて、カラーフイルタ
を作成する方法としては、一色に着色された感光性樹脂
層をベースフイルムに塗布乾燥した感光性フイルムの感
光性樹脂層を透明な基板の上に転写して、所定のパター
ンのマスクを介して露光、現像してパターンを形成する
方法（特開昭６１−９９１０２号公報、特開平３−１６
０４５４号公報、特開平３−１１１８０２号公報、特開
平２−１５１８０５号公報、特開平４−２１２１６１号
公報、特開平４−３０１６０２号公報、特開平５−２１
０７号公報）等が知られている。

【０００５】感光性フイルムの追従性に関しては、良好
なパターンを得るため、追従性を向上させることが行わ
れてきた。基板に段差があってもその基板を正確に微細
加工できることを特徴とする三層レジスト法がベル研究
所の研究者によって開発されている（例えば J.Vac.Sc
i.Technol.,16巻1620頁 1968年発行）。露光工程の後加
熱することが一般に行われていて、アフタベークといわ
れている。例えば、顔料分散フォトポリマーを用いたカ
ラーフイルタ（J.Photopolym.Sci.Technol.,Vol.2,No.
2,1989年 244頁〜248頁）では、光開始剤のラジカルに
より誘起したモノマーラジカルの発生とその重合連鎖反
応を促進し、スピンナーを用いて感光性レジスト層を塗
布するが、溶剤除去のためプリベーク（例えば、８５℃
で５分間）を行うことも一般的である。フイルム法では
フイルム形成時に溶剤除去を行うので、一般にはこのよ
うなプリベークは行わない。また、現像前で、露光後に
感光性レジスト層を５０〜１５０℃、３０秒〜６０秒の
条件で加熱して、ＵＶ光が十分に当たらない下層部分の
反応を促進させること（特開平３−１９６５９６号公
報）も行われている。

【０００６】従来のカラーフイルタの製造法、例えば、
染色法、顔料分散液状レジスト法、印刷法、ロールコー
タ法、顔料分散フイルムレジスト法などでは、二色目以
降の層を形成する際に、既に形成された着色層上の二色
目以降の着色層と前記基板上に直接接触する着色層との
間に段差が生ずる。この段差は、最大で１．０μｍを超
える。そのために、この上に直接ＩＴＯをスパッタリン
グするとＩＴＯの断線や液晶を挾む電極間の距離が不均
一になり、良好なカラーデスプレイが得られない。その
ために一般には、保護膜またはオーバコート膜と称する
２〜５μｍの膜を形成し表面を均一化することが行われ
ている。フイルム法では、この段差は既に形成された着
色層の厚さ（１〜５μｍ）によって決まる。この段差が
あるために新着色層が下地（透明ガラス）に接触せず、
また不十分な接着圧力の為、接着力が不十分となり、着
色層が下地に密着せず、ベースフイルムを剥離すると、
ベースフイルムとともに剥離されて、下地に着色層が付
着しない部分が生ずる。またそのまま、露光現像する
と、着色像が存在しない部分を露光する等の不都合が生
じ、所望のカラーフイルタが得られない欠点がある。

【０００７】また、二色目以降の画素上では、一色目の
画素上に乗っていた着色感光性樹脂層の一部が流れ込ん
できて、二色目では、一色目の画素に近い端が持ち上が
り、画素表面が斜めになり、その断面はいわゆるＪ状、
ｎ状になる。三色目の画素は両隣の画素からの着色感光
性樹脂層の流れ込みがあるため画素の両端が持ち上が
り、いわゆるＭ状の断面となる。図２にＪ状、ｎ状およ
びＭ状の画素の断面の模式図を示す。Ｊ状やＭ状の持ち
上がりがあると、三色の画素の表面の不均一を招き、所
望の平坦性が得られず、持ち上がった端が対極と接触し
て、画像不良を生じ、さらには色ムラを発生させるなど
の欠点があった。基板を加熱後、前記の感光性フイルム
の保護フイルムを剥がしながら、着色感光性樹脂層を基
板と接着させて加圧ロールを通して貼り合わせるだけで
は、フイルム追随性は改善できない。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記した従
来の技術の問題点を解消し、ガラス板等の透明基板上に
作業性が良く、しかも高精度で多色の微細パターンを形
成することができるカラーフイルタの製造法を提供する
ものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上
に、ベースフイルムと一色に着色された感光性樹脂層と
からなる感光性フイルムを、（１）着色された感光性樹
脂層が前記基板に面するように貼り合わせる工程、
（２）パターン状に露光する工程及び（３）現像工程を
少なくとも含む工程を繰り返して多色パターンを形成さ
せるカラーフイルタの製造法において、二色目以降の着
色された感光性樹脂層が前記基板に面するように、画素
間に空間を形成して貼り合わせる工程を行い、前記
（１）と（３）の工程の間に、加熱による二色目以降の
感光性樹脂層のベースフイルムから画素間空間への移行
工程を含み、（１）の貼り合わせる工程が静電気力によ
り貼り合わせを行う工程であることを特徴とするカラー
フイルタの製造法に関する。

【００１０】前記（１）の貼り合わせる工程（静電気力
により貼り合わせを行う工程）及び前記（１）と（３）
の工程の間で、二色目以降の感光性樹脂層をベースフイ
ルムから基板表面上の空間に移行させる移行工程の態様
についてさらに詳細に図１を用いて説明する。図１は本
発明の製造法を示す感光性フイルム及びフイルタの断面
図であって、ベースフイルム１がＰＥＴ（ポリエチレン
テレフタレートフイルム）で、着色感光性樹脂層は赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）の順に形成していく場合を例にとって
説明する。図１（ａ）はベースフイルム１（ＰＥＴポ
リエチレンテレフタレートフイルム）と着色感光性樹脂
層（緑）２からなる感光性フイルムの着色感光性樹脂層
と前置画素（赤）３が整然と配列されている透明基板４
が面している状態を示す。図１（ｂ）は感光性フイルム
の着色感光性樹脂層とすくなくとも一色の前置画素が整
然と配列されている基板との画素間に空間を形成した貼
り合わせを示している。この時、着色感光性樹脂層は前
置画素及び基板に追随している必要はなく、完全に平坦
なままで、前置の画素表面に接触していることが好まし
い。

【００１１】本発明において、貼り合わせは、静電気力
により行われる。静電気の印加の方法は公知であって、
一般のコロナ発生装置が利用できる。コロナ発生器はコ
ロトロン、スコロトロン等が優れていて、均一に荷電印
加ができ、それによる静電気力は均一で、空気抱込み、
シワ等の発生もなく前置画素に着色感光性樹脂層を均一
に密着させることができする。また、高電圧を印加でき
る帯電用ロールの使用も可能である。静電気の帯電極性
はＤＣで正負いずれでもよく、ＡＣコロナでもよい。コ
ロナ発生器は上記の帯電器に限らず、針状でもよく、板
状ロール状も優れた静電気印加方式である。帯電器と帯
電される材質の間隔で、印加電圧には最適値がある。印
加電圧は可変できるが、３０００Ｖ以上であればコロナ
が発生するので、３０００Ｖ以上が望ましいが、これ以
下でも貼り合わせは十分に行い得る。

【００１２】非接触の静電気印加による静電気貼り合わ
せの方法は、従来のゴムロールの方法に比べて、前置画
素と着色感光性樹脂層の接触を回避するのが容易であ
り、例えば従来のゴムロールのゴム圧力はゴミ塵埃の存
在のために圧力が不均一になり、一部の前置画素と着色
感光性樹脂層の接触が出来やすいので、その圧力制御は
細心の注意が要求されるが、高電圧印加はゴミ塵埃の存
在による電場の集中による圧力不均衡は比較的小さく制
御が容易である特長がある。

【００１３】図１（ｂ）は、感光性フイルムを、前置画
素のある透明基板に乗せてから、帯電器６により静電荷
７をベースフイルム１に印加して貼り合わせる様子を示
している。ここで、空間と表示してある部分は緑着色感
光性樹脂層も赤着色感光性樹脂層も存在していない空間
の部分であって、真空中でラミネートした場合は真空の
部分、窒素気流中でラミネートしたときは窒素が充満し
た部分、空気中でラミネートしたときは空気が充満した
部分になる。

【００１４】本発明における図１においては、図１
（ｂ）のあとに露光工程が入る。引き続いて、ベースフ
イルムの剥離の工程があり、次いで移行工程となる。移
行工程は、上記の（１）〜（３）の工程の（２）〜
（３）の間に入り、着色感光性樹脂層（緑）と空間を置
換せしめる工程である。着色感光性樹脂層（緑）の空間
部分への移行は加熱によって行う。（ｂ）の状態で貼り
合わせ直後は着色感光性樹脂層（緑）２はベースフイル
ムに密着しているが、ベースフイルムを剥離しないで、
またはベースフイルムを剥離して、加熱により、基板表
面上の空間内に移行を始め、基板上に広がって移行を終
了し、基板に強固に密着する。移行工程が終了すると緑
の着色感光性樹脂層は基板表面上の空間に移行を完了
し、その表面上に空間が出現し、着色感光性樹脂層と空
間が入れ替わる。

【００１５】図１（ｄ）は移行工程が終了した状態を示
す。緑の着色感光性樹脂が基板表面上の空間に移行を終
了したときは着色感光性樹脂層はその表面張力によって
均一化しているので、表面の平坦性は優れたものであ
り、現像後の画素は一色目とほとんど同一の断面形状を
持つ。以上に一色目が赤、二色目が緑の場合を例として
説明したが、色の順序はこれに限定されない。着色感光
性樹脂層（緑）２の空間部分への移行は加熱によって行
う。加熱は可能で室温以上で、着色感光性樹脂層が熱硬
化反応を開始する温度以下で行う。低温では長時間、高
温では短時間で移行は完了し、移行した着色感光性樹脂
層表面は高度の平坦性を有する。本発明の移行工程は上
記の（２）〜（３）の間で実施される。移行工程は、
（２）の露光工程の後で行うことが好ましい。

【００１６】図１（ｅ）は着色感光性樹脂層（緑）２の
露光後に現像した後のカラーフイルタの画素の断面の形
状を示す。ベースフイルムの剥離は、露光工程後現像工
程前又は露光工程前に行われる。

【００１７】一色に着色された感光性樹脂層は、エチレ
ン性不飽和化合物（ａ）、カルボキシル基含有フイルム
性付与ポリマー（ｂ）、光重合開始剤（ｃ）及び顔料又
は染料（ｄ）を含有するのが好ましく、層の厚さは０．
５〜１５μｍであることが好ましい。

【００１８】エチレン性不飽和化合物（ａ）としては、
例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を
付加して得られる化合物（トリメチロールプロパンジア
クリレート、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、テトラメチロールメタントリアクリレート、ジペン
タエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリス
リトールヘキサアクリレート等）とこれらの対応するメ
タアクリレート、グリシジル基含有化合物にα，β−不
飽和カルボン酸を付加して得られる化合物、多価カルボ
ン酸（無水フタル酸等）と水酸基及びエチレン性不飽和
基を有する化合物（２−ヒドロキシエチルアクリレート
等）との反応物なども用いられる。これらの化合物は２
種以上を組み合わせて用いられる。（ａ）成分の配合量
は（ａ）成分と（ｂ）成分の総量を１００重量部として
好ましくは９０〜５０重量部とされる。

【００１９】カルボキシル基含有フイルム性付与ポリマ
ー（ｂ）としては、例えば、アクリル酸アルキルエステ
ル又はメタクリル酸アルキルエステルとアクリル酸又は
メタクリル酸との共重合体、アクリル酸アルキルエステ
ル又はメタクリル酸アルキルエステルとアクリル酸又は
メタクリル酸とこれらと共重合し得るビニルモノマーと
の共重合体等が挙げられる。アクリル酸アルキルエステ
ルとしては、例えば、アクリル酸メチル、アクリル酸エ
チル、アクリル酸ブチル、アクリル酸２−エチルヘキシ
ル等が挙げられ、メタクリル酸エステルとしては、メタ
クリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ブ
チル、メタクリル酸２−エチルヘキシル等が挙げられ
る。（ｂ）成分の使用によって、塗膜性や硬化物の膜特
性が向上し、その配合量は、（ａ）成分と（ｂ）成分の
総量を１００重量部として好ましくは１０〜５０重量部
である。この配合量が１０重量部未満では、エチレン性
不飽和化合物が多くなるため光感度が低下し、５０重量
部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向がある。また、
（ｂ）成分の重量平均分子量（例えば、ＧＰＣ測定し、
ポリスチレン換算したもの）は、前記塗膜性や膜強度の
点から１０，０００以上が好ましい。

【００２０】光重合開始剤（ｃ）としては、例えば、ベ
ンゾフェノン、Ｎ，Ｎ′−テトラメチル−４，４′−ジ
アミノベンゾフェノン（ミヒラーのケトン）、Ｎ，Ｎ′
−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェノン、
４−メトキシ−４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、
４，４′−ジエチルアミノベンゾフェノン、２−エチル
アントラキノン、フェナントレンキノン等の芳香族ケト
ン等が用いられる。（ｃ）成分の配合量は（ａ）成分と
（ｂ）成分の総量１００重量部に対して好ましくは０．
１〜１０重量部である。この配合量が０．１重量部未満
では光感度が不十分となり、１０重量部を超えると露光
の際に組成物の表面での光吸収が増大し、内部の光硬化
が不十分となる傾向がある。

【００２１】前記顔料又は染料（ｄ）としては、一般に
知られている着色剤が使用でき、感光性樹脂層、特にエ
チレン性不飽和化合物またはカルボキシル基含有フイル
ム性付与ポリマーに対する相溶性、目標とする色相、光
透過性等を考慮して選択される。カラーフイルタに使用
できる顔料は各種の化合物が使用でき、例えば、硫酸バ
リウム、酸化亜鉛、硫酸鉛、酸化チタン、ベンガラ、カ
ーボンブラック、グラファイト、酸化クロムなどの無機
顔料、下記の有機顔料（カラーインデックス番号）など
がある。

【００２２】黄色顔料：C.I.ピグメントイエロー２０、
２４、８３、８６、９３、１０９、１１０、１１７、１
２５、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５
３、１５４、１６６、１６８オレンジ顔料：C.I.ピグメントオレンジ３６、４３、５
１、５５、５９、６１赤色顔料：C.I.ピグメントレッド９、９７、１２２、１
２３、１４９、１６８、１７７、１８０、０９２、２１
５、２１６、２１７、２２０、２２３、２２４、２２
６、２２７、２２８、２４０、４８：１バイオレット顔料：C.I.ピグメントバイオレット１９、
２３、２９、３０、３７、４０、５０青色顔料：C.I.ピグメントブルー１５、１５：６、２
２、６０、６４緑色顔料：C.I.ピグメントグリーン７、３６黒色顔料：C.I.ピグメントブラック７

【００２３】（ｄ）成分の配合量は、（ａ）成分と
（ｂ）成分の総量１００重量部に対して好ましくは１〜
５０重量部である。この配合量が１重量部未満では着色
が不十分であり、５０重量部を超えると光透過率が低下
する傾向がある。前記着色感光性樹脂層には、加熱硬化
性を高めるためにカルボキシル基含有フイルム性付与ポ
リマーのカルボキシル基と熱反応するメラミン樹脂及び
／又はエポキシ樹脂を、（ａ）成分と（ｂ）成分の総量
１００重量部に対して１〜２０重量部添加することが好
ましい。これらを添加して１３０〜２００℃で３０〜６
０分加熱することによって着色層の架橋密度が向上し、
耐熱性が著しく向上する。

【００２４】

【実施例】

実施例１（１）着色感光性樹脂層用塗工液表１の材料を均一に溶解した溶液２００重量部に表２の
いずれかの顔料ペースト１３５重量部、メラミン樹脂５
重量部及びシランカップリング剤５重量部をそれぞれ添
加し、溶解分散して着色感光性樹脂層用塗工液を得た。

【００２５】

【表１】

【００２６】

【表２】

【００２７】メラミン樹脂サイメル３００（ヘキサメトキシメチルメラミンの商品
名、三井東圧化学(株)製）シランカップリング剤ＫＢＭ５０３（信越化学工業(株)製）塗工液の調整塗工液はそれぞれの材料を超音波で２．５時間分散して
調整した。

【００２８】（２）感光性フイルムの製造得られた塗工液を、厚さ２３μｍのポリエチレンテレフ
タレートフイルム（テイジン社製テトロンフイルムＳ２
３）上に均一な厚さにキスタッチリバース方式の塗工機
を用いて塗布し、１００℃の乾燥機で２分間乾燥した。
保護フイルムとして厚さ３０μｍのポリエチレンフイル
ムを貼り合わせて感光性フイルムを得た。乾燥後の感光
性樹脂層の厚さは、赤、青及び緑２．０μｍであった。

【００２９】（３）カラーフイルタの製造（ａ）基板加熱工程カラーフイルタ用の下地基板を８０℃で１０分間加熱し
た。（ｂ）貼り合わせ工程前記感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着
色感光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に
コロトロンタイプの帯電器を使用し、下記条件で静電気
力により貼り合わせた。印加電圧６０００Ｖ帯電器送り速度２．５ｍ／分（ｃ）露光工程所定のパターン（通常のストライプ状のパターンで、７
０μｍ（白）／２３０μｍ（黒）で長さ１５０mmのスト
ライプ状）のネガマスクを通して露光機ＨＭＷ−２０１
Ｂ（３kW、超高圧水銀灯、(株)オーク製作所製）で露光
した（５０mJ/cm²）。

【００３０】（ｄ）剥離工程室温でポリエチレンテレフタレートフイルムを除去し
た。自動剥離装置（自家製試作品、両面テープを貼り合
わせたロールでポリエチレンテレフタレートフイルムを
剥離する装置）で剥離した。（ｅ）移行工程二色目と三色目の画素形成時には、剥離工程の後に行
い、４０℃で３０分間加熱オーブンで加熱して、空間を
介していた着色感光性樹脂層を前置画素（赤）を有する
基板の表面に移行させた。

【００３１】（ｆ）現像工程３０℃で０．０８重量％のＮａ₂ＣＯ₃水溶液で１５秒ス
プレー現像をして未露光部を除去し、現像後水洗し、オ
ーブン加熱乾燥し、着色パターンを形成した。この
（ａ）から（ｆ）の着色パターンの形成工程を、赤、青
及び緑の順に各色の感光性フイルムを用いて繰り返し行
った。二色目の青のラミネートの時にフイルムの送り方
向を前置画素の赤のストライプ状のパターンに直交させ
てフイルムを送った。得られた青フイルム付きの基板の
表面は平坦であり、斜めに透かしても光の散乱はなく平
坦であった。表面の粗さを測定したところフイルム表面
の平坦性は貼り合わせを行う前と同一で、前置画素によ
る変形は認められなかった。三色目の緑についても同様
とし、多色のパターンを形成した。使用したマスクのパ
ターンはストライプが画素ごとに独立した長方形を形成
しストライプの長手方向に隙間を設けたものである。得
られた多色パターンに紫外線照射機（ランプＨ５６００
Ｌ／２、東芝電材社製）を用いて３J/cm²で照射した
後、１５０℃で４５分間加熱してカラーフイルタを得
た。得られたカラーフイルタは赤、青及び緑色のパター
ン（ストライプ状のパターン）が整然と並んでおり、追
随性は良好であった。また、画素の段差はなく、画素の
断面ではＭ状もＪ状も認められなかった。

【００３２】実施例２表１の材料に換えて下記表３の材料とした以外は実施例
１と同様に行った。

【００３３】

【表３】

【００３４】得られた青フイルム付きの基板の表面は平
坦であり、斜めに透かしても光の散乱はなく平坦であっ
た。表面の粗さを測定したところフイルム表面の平坦性
は貼り合わせを行う前と同一で、実施例１と同様に前置
画素による変形は認められなかった。得られたカラーフ
イルタは赤、青及び緑色のパターンが整然と並んでお
り、追随性は良好であった。また画素の段差はなく、画
素の断面ではＭ状もＪ状も認められなかった。

【００３５】実施例３青、緑については（ｂ）の貼り合わせ工程を下記とした
以外は実施例１と同様に行った。本実施例の貼り合わせ工程感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着色感
光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に下記
条件で静電気力によりラミネートした。印加電圧４０００Ｖ帯電器送り速度２．５ｍ／分

【００３６】得られた青フイルム付きの基板の表面及び
緑フイルム付きの基板の表面は平坦であり、斜めに透か
しても光の散乱はなく平坦であった。表面の粗さを測定
したところフイルム表面の平坦性は貼り合わせを行う前
と同一で、実施例１と同様に前置画素による変形は認め
られなかった。得られたカラーフイルタは赤、青及び緑
色のパターン（ストライプ状のパターン）が整然と並
び、追随性は良好であった。また、画素の段差はなく、
画素の断面ではＭ状もＪ状も認められなかった。

【００３７】実施例４表１の材料に換えて下記の表４の材料とした以外は実施
例１と同様に実施した。

【００３８】

【表４】

【００３９】得られた青フイルム付きの基板の表面およ
び緑フイルム付きの基板の表面は平坦であり、斜めに透
かしても光の散乱はなく平坦であった。表面の粗さを測
定したところフイルム表面の平坦性は貼り合わせを行う
前と同一で、実施例１と同様に前置画素による変形は認
められなかった。得られたカラーフイルタは赤、青およ
び緑色のパターン（ストライプ状のパターン）が整然と
並び、追随性は良好であった。また、画素の段差はな
く、画素の断面ではＭ状もＪ状も認められなかった。

【００４０】比較例１実施例１と同様にして赤、青及び緑の順に各色の感光性
フイルムを用いて繰り返し行ったが、青及び緑について
は（ｂ）の貼り合わせ工程を下記とした。本比較例の貼り合わせ工程感光性フイルムの保護フイルムを剥がしながら、着色感
光性樹脂層を前記カラーフイルタ用の下地基板上に下記
条件でラミネートした。ロール温度１２０℃ ロール圧６．０kgf/cm² 速度１．０ｍ／分

【００４１】得られた青フイルム付きの基板の表面は平
坦でなく、斜めに透かしたところ光の散乱が発生してい
ることが観察出来た。青の画素に相当する部分を拡大す
ると２列の傷が観察出来た。また、画素相当部の中央部
分が前置画素間の基板表面に接触していた。表面の粗さ
を測定したところフイルム表面には前置画素の周期に対
応した０．５〜１．０μｍの山を持つ凹凸が発生してお
り、これは、貼り合わせを行う前のフイルム表面には見
られなかった凹凸であり、前置画素による変形と認めら
れた。画素の表面は青ではその断面はＪ状になり両端の
膜厚の差は０．３μｍあった。緑ではその断面はＭ状と
なり、両端と中央では０．５μｍの膜厚の差が生じてい
た。得られたカラーフイルタは傷があり、現像で拡大し
た白抜けが観察された。

【００４２】比較例２実施例１と同様にして赤、青及び緑の順に各色の感光性
フイルムを用いて繰り返し行ったが、青及び緑について
は（ｂ）の貼り合わせ工程を下記とした。本比較例の貼り合わせ工程前記カラーフイルタ用の感光性フイルムの保護フイルム
を剥がしながら、着色感光性樹脂層を前記カラーフイル
タ用の下地基板上に下記条件でラミネートした。ロール温度１０５℃ ロール圧４．０kgf/cm² 速度１．０ｍ／分

【００４３】得られた青フイルム付きの基板の表面は平
坦でなく、斜めに透かしたところ光の散乱が発生してい
ることが観察出来た。青の画素に相当する部分を拡大す
ると２列の傷が観察出来た。画素相当部の中央部分が前
置画素間の基板表面に接触していた。ピンホールの発生
があり、画素は不良であった。

【００４４】

【発明の効果】本発明の製造法によれば、感光性フイル
ムの追随性、作業性よく基板上に均一な厚さの高精度の
多色の微細パターンの形成された優れた耐熱性を有する
カラーフイルタを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造法を示す略図である。

【図２】従来のカラーフイルタの画素の断面の摸式図で
ある。

【符号の説明】

１ベースフイルム（ＰＥＴ）２着色感光性樹脂層（緑）３前置画素（赤）４透明基板５空間６帯電器７静電荷８第一色目の画素９第二色目の画素１０第三色目の画素

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明基板上に、ベースフイルムと一色に
着色された感光性樹脂層とからなる感光性フイルムを、
（１）着色された感光性樹脂層が前記基板に面するよう
に貼り合わせる工程、（２）パターン状に露光する工程
及び（３）現像工程を少なくとも含む工程を繰り返して
多色パターンを形成させるカラーフイルタの製造法にお
いて、二色目以降の着色された感光性樹脂層が前記基板
に面するように、画素間に空間を形成して貼り合わせる
工程を行い、前記（１）と（３）の工程の間に、加熱に
よる二色目以降の感光性樹脂層のベースフイルムから画
素間空間への移行工程を含み、（１）の貼り合わせる工
程が静電気力により貼り合わせを行う工程であることを
特徴とするカラーフイルタの製造法。