JPH08310863A - 誘電体磁器の製造方法及び積層型誘電体部品の製造方法 - Google Patents
誘電体磁器の製造方法及び積層型誘電体部品の製造方法Info
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- JPH08310863A JPH08310863A JP7114247A JP11424795A JPH08310863A JP H08310863 A JPH08310863 A JP H08310863A JP 7114247 A JP7114247 A JP 7114247A JP 11424795 A JP11424795 A JP 11424795A JP H08310863 A JPH08310863 A JP H08310863A
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 比誘電率と無負荷Ｑ値が共に高く、共振周波
数の温度係数が小さく、その上緻密に低温焼成可能なマ
イクロ波領域で使用される誘電体磁器と積層型誘電体部
品とを提供することを目的とする。 【構成】 Ｂｉ2Ｏ3、ＣａＮａ2Ｏ6、ＣａＣＯ3、Ｎｂ2
Ｏ5、ＣｕＯを混合し、誘電体シートを成形し、次に誘
電体シートと内部導体層２，３，４とを交互に積層体を
形成し、焼成後、外部電極５を形成した。
数の温度係数が小さく、その上緻密に低温焼成可能なマ
イクロ波領域で使用される誘電体磁器と積層型誘電体部
品とを提供することを目的とする。 【構成】 Ｂｉ2Ｏ3、ＣａＮａ2Ｏ6、ＣａＣＯ3、Ｎｂ2
Ｏ5、ＣｕＯを混合し、誘電体シートを成形し、次に誘
電体シートと内部導体層２，３，４とを交互に積層体を
形成し、焼成後、外部電極５を形成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はマイクロ波やミリ波等の
高周波領域で使用される誘電体磁器の製造方法及び積層
型誘電体部品の製造方法に関するものである。
高周波領域で使用される誘電体磁器の製造方法及び積層
型誘電体部品の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、自動車電話、携帯電話、衛星放送
等、マイクロ波領域の電磁波を利用する通信の増加に伴
い、機器や機器を構成する例えばフィルタ素子や共振器
等の誘電体部品の小型化が求められている。このような
誘電体部品を小型化するには、比誘電率が高く、マイク
ロ波領域で低損失であること、すなわち無負荷Ｑ値が高
いこと、及び共振周波数の温度変化が小さいこと、すな
わち誘電率の温度変化が小さいことが重要となる。
等、マイクロ波領域の電磁波を利用する通信の増加に伴
い、機器や機器を構成する例えばフィルタ素子や共振器
等の誘電体部品の小型化が求められている。このような
誘電体部品を小型化するには、比誘電率が高く、マイク
ロ波領域で低損失であること、すなわち無負荷Ｑ値が高
いこと、及び共振周波数の温度変化が小さいこと、すな
わち誘電率の温度変化が小さいことが重要となる。
【０００３】一方、導体と誘電体磁器組成物を積層構造
にすることによって、共振器等の部品を小型化、高機能
化しようとする試みが行われている。しかし、マイクロ
波のような高周波領域で使用する場合、高い導電率を持
つ導体が必要で、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇあるいはそれらの合
金を使用する必要がある。しかも、積層構造にする場合
には、誘電体材料と導体の金属とを同時に焼成する必要
があるため、導体金属が融解せず、かつ酸化しない焼成
条件、すなわち１０５０℃以下の低温で緻密に焼結する
誘電体磁器組成物が必要となる。
にすることによって、共振器等の部品を小型化、高機能
化しようとする試みが行われている。しかし、マイクロ
波のような高周波領域で使用する場合、高い導電率を持
つ導体が必要で、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇあるいはそれらの合
金を使用する必要がある。しかも、積層構造にする場合
には、誘電体材料と導体の金属とを同時に焼成する必要
があるため、導体金属が融解せず、かつ酸化しない焼成
条件、すなわち１０５０℃以下の低温で緻密に焼結する
誘電体磁器組成物が必要となる。
【０００４】このような条件を満足する誘電体材料とし
て、ＢｉＯ3/2−ＣａＯ−ＮｂＯ5/2系が特開平５−２２
５８２６号公報に開示されている。この誘電体材料は比
誘電率と無負荷Ｑ値が共に高く、共振周波数の温度係数
が小さく、その上低温焼結が可能な誘電体磁器組成物と
して提供されたものである。
て、ＢｉＯ3/2−ＣａＯ−ＮｂＯ5/2系が特開平５−２２
５８２６号公報に開示されている。この誘電体材料は比
誘電率と無負荷Ｑ値が共に高く、共振周波数の温度係数
が小さく、その上低温焼結が可能な誘電体磁器組成物と
して提供されたものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこの従来
の誘電体磁器組成物は、出発原料として酸化ビスマス、
炭酸カルシウム及び酸化ニオブを用いて製造しており、
出発原料のうち炭酸カルシウムの分解が速やかに進ま
ず、焼成時に残留した炭酸カルシウムが誘電体磁器の合
成あるいは焼結を阻害するため、誘電体磁器の焼結密度
が十分高くならないという問題点を有していた。
の誘電体磁器組成物は、出発原料として酸化ビスマス、
炭酸カルシウム及び酸化ニオブを用いて製造しており、
出発原料のうち炭酸カルシウムの分解が速やかに進ま
ず、焼成時に残留した炭酸カルシウムが誘電体磁器の合
成あるいは焼結を阻害するため、誘電体磁器の焼結密度
が十分高くならないという問題点を有していた。
【０００６】本発明はこのような問題点を解決するもの
で、比誘電率と無負荷Ｑ値が共に高く共振周波数の温度
係数が小さく緻密に低温焼結できる誘電体磁器を提供す
ることを目的とするものである。
で、比誘電率と無負荷Ｑ値が共に高く共振周波数の温度
係数が小さく緻密に低温焼結できる誘電体磁器を提供す
ることを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の誘電体磁器の製造方法は、少なくともビスマ
ス化合物とカルシウム化合物とニオブ化合物とを混合し
て成形し、その後焼成する誘電体磁器の製造方法におい
て、前記カルシウム化合物として少なくともニオブ酸カ
ルシウムを有するものである。
に本発明の誘電体磁器の製造方法は、少なくともビスマ
ス化合物とカルシウム化合物とニオブ化合物とを混合し
て成形し、その後焼成する誘電体磁器の製造方法におい
て、前記カルシウム化合物として少なくともニオブ酸カ
ルシウムを有するものである。
【０００８】
【作用】このような構成によって、誘電体磁器の合成や
焼結を阻害する出発原料中の炭酸成分を減らすことがで
きるので、比誘電率と無負荷Ｑ値が共に高く、共振周波
数の温度係数が小さく、その上緻密に低温焼結する誘電
体磁器が安定に得られることとなる。さらに、この誘電
体磁器の製造方法を用いることにより、小型で高性能な
積層型誘電体部品が提供できることとなる。
焼結を阻害する出発原料中の炭酸成分を減らすことがで
きるので、比誘電率と無負荷Ｑ値が共に高く、共振周波
数の温度係数が小さく、その上緻密に低温焼結する誘電
体磁器が安定に得られることとなる。さらに、この誘電
体磁器の製造方法を用いることにより、小型で高性能な
積層型誘電体部品が提供できることとなる。
【０００９】
（実施例１）以下、本発明の第１の実施例について詳細
に説明する。
に説明する。
【００１０】出発原料として高純度のＢｉ2Ｏ3、ＣａＮ
ｂ2Ｏ6、ＣａＣＯ3、Ｎｂ2Ｏ5及び添加物としてＣｕＯ
を用い、（表１）に示した組成になるように秤量した。
ｂ2Ｏ6、ＣａＣＯ3、Ｎｂ2Ｏ5及び添加物としてＣｕＯ
を用い、（表１）に示した組成になるように秤量した。
【００１１】
【表１】
【００１２】また出発原料にＣａＮｂ2Ｏ6を加えずに、
Ｂｉ2Ｏ3、ＣａＣＯ3、Ｎｂ2Ｏ5及びＣｕＯを用いたも
のを比較例として同様に秤量した。
Ｂｉ2Ｏ3、ＣａＣＯ3、Ｎｂ2Ｏ5及びＣｕＯを用いたも
のを比較例として同様に秤量した。
【００１３】次にこれらの粉末をポリエチレン製のボー
ルミルに入れ、安定化ジルコニア製の玉石及び純水を加
え５〜２０時間湿式混合した。得られた混合粉をアルミ
ナ製の容器に入れ７００〜８５０℃で１〜３時間仮焼し
た。仮焼粉を前記ボールミルに入れ安定化ジルコニア製
の玉石及び純水を加え、５〜２０時間湿式で粉砕し原料
粉体とした。
ルミルに入れ、安定化ジルコニア製の玉石及び純水を加
え５〜２０時間湿式混合した。得られた混合粉をアルミ
ナ製の容器に入れ７００〜８５０℃で１〜３時間仮焼し
た。仮焼粉を前記ボールミルに入れ安定化ジルコニア製
の玉石及び純水を加え、５〜２０時間湿式で粉砕し原料
粉体とした。
【００１４】この原料粉体にバインダとしてポリビニル
アルコールの５％水溶液を５〜１０ｗｔ％加えて造粒
し、３０メッシュのふるいを通して整粒した後、１００
ＭＰａで直径１３mm、厚み５〜７mmの円柱状に成形し
た。得られた成形体をマグネシア製の容器に入れ、６０
０〜６５０℃で１〜３時間加熱してバインダを焼却した
後、８５０〜１０５０℃で１〜４時間焼成して焼結体を
得た。
アルコールの５％水溶液を５〜１０ｗｔ％加えて造粒
し、３０メッシュのふるいを通して整粒した後、１００
ＭＰａで直径１３mm、厚み５〜７mmの円柱状に成形し
た。得られた成形体をマグネシア製の容器に入れ、６０
０〜６５０℃で１〜３時間加熱してバインダを焼却した
後、８５０〜１０５０℃で１〜４時間焼成して焼結体を
得た。
【００１５】得られた焼結体の密度はアルキメデス法に
よって測定した。そして、得られた焼結体のうち密度が
最高になる温度で焼成した焼結体について両面を研磨
し、マイクロ波での誘電特性を測定した。測定は誘電体
共振法によって行い、比誘電率（以下εrと記す）、無
負荷Ｑ値（以下Ｑ値と記す）、共振周波数の温度係数
（以下τfと記す）を算出した。εr及びＱ値の測定にお
いて、共振周波数は３〜５ＧHzであった。τfは−２５
〜８５℃の範囲で測定した。測定試料は各々１０個作製
して特性評価した。結果を（表１）に示す。
よって測定した。そして、得られた焼結体のうち密度が
最高になる温度で焼成した焼結体について両面を研磨
し、マイクロ波での誘電特性を測定した。測定は誘電体
共振法によって行い、比誘電率（以下εrと記す）、無
負荷Ｑ値（以下Ｑ値と記す）、共振周波数の温度係数
（以下τfと記す）を算出した。εr及びＱ値の測定にお
いて、共振周波数は３〜５ＧHzであった。τfは−２５
〜８５℃の範囲で測定した。測定試料は各々１０個作製
して特性評価した。結果を（表１）に示す。
【００１６】（表１）において、＊印を付したものは出
発原料としてＣａＣＯ3のみを用いたもので本発明の請
求の範囲外の比較例である。
発原料としてＣａＣＯ3のみを用いたもので本発明の請
求の範囲外の比較例である。
【００１７】この（表１）から明らかなように、同一組
成で比較したとき、本発明によれば、焼結密度は６．９
５ｇ／cm3以上に高くなり、εrも高くなっている。Ｑ値
はあまり変化がなく安定した特性の焼結体が得られてい
る。
成で比較したとき、本発明によれば、焼結密度は６．９
５ｇ／cm3以上に高くなり、εrも高くなっている。Ｑ値
はあまり変化がなく安定した特性の焼結体が得られてい
る。
【００１８】このようにＣａＣＯ3のみを出発原料とし
て用いて製造するよりも、一部にＣａＮｂ2Ｏ6を用いる
方がより焼結密度は高くなり、εrもさらに高くなる。
これは出発原料中に含まれる炭酸成分を少なくすること
により、誘電体磁器の焼結を阻害する効果を減少させ、
十分な焼結密度を達成することができ、均質な焼結体が
得られ、εrも向上するものと思われる。
て用いて製造するよりも、一部にＣａＮｂ2Ｏ6を用いる
方がより焼結密度は高くなり、εrもさらに高くなる。
これは出発原料中に含まれる炭酸成分を少なくすること
により、誘電体磁器の焼結を阻害する効果を減少させ、
十分な焼結密度を達成することができ、均質な焼結体が
得られ、εrも向上するものと思われる。
【００１９】なお、Ｃｕを添加することにより、本発明
の効果を損ねることなくさらに焼成温度を低下させるこ
とができた。
の効果を損ねることなくさらに焼成温度を低下させるこ
とができた。
【００２０】以上のことから明らかなように、本実施例
による誘電体磁器の製造方法によれば、含有されるカル
シウムの出発原料のすべて、または一部に、あらかじめ
合成されたニオブ酸カルシウムを用いることにより、誘
電体磁器の合成や焼結を阻害する出発原料中の炭酸成分
を減らすことができるので、比誘電率と無負荷Ｑ値が共
に高く、共振周波数の温度係数が小さく、その上緻密に
低温焼結する誘電体磁器が安定に得られることとなるも
のである。
による誘電体磁器の製造方法によれば、含有されるカル
シウムの出発原料のすべて、または一部に、あらかじめ
合成されたニオブ酸カルシウムを用いることにより、誘
電体磁器の合成や焼結を阻害する出発原料中の炭酸成分
を減らすことができるので、比誘電率と無負荷Ｑ値が共
に高く、共振周波数の温度係数が小さく、その上緻密に
低温焼結する誘電体磁器が安定に得られることとなるも
のである。
【００２１】（実施例２）以下、本発明の第２の実施例
について図面を参照しながら詳細に説明する。
について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２２】図１は本実施例の積層型誘電体共振器の正
面断面図、図２は本実施例の積層型誘電体共振器の側面
断面図、図３は本実施例の積層型誘電体共振器の斜視図
である。図中の１は誘電体層、２，３，４は内部導体
層、５は外部電極である。
面断面図、図２は本実施例の積層型誘電体共振器の側面
断面図、図３は本実施例の積層型誘電体共振器の斜視図
である。図中の１は誘電体層、２，３，４は内部導体
層、５は外部電極である。
【００２３】出発原料として高純度のＢｉ2Ｏ3、ＣａＮ
ｂ2Ｏ6、ＣａＣＯ3、Ｎｂ2Ｏ5及びＣｕＯを用い、（表
１）中の試料番号１１及び１３に示した組成になるよう
に秤量した。原料粉体の作製は実施例１と同様の方法に
より行った。得られた原料粉体に、有機バインダ、溶剤
及び可塑剤を加えて混合し、ドクターブレード法により
誘電体シートに成形した。導体電極としては、（表２）
に示した金属を選びビヒクルと混練してペースト化し
た。
ｂ2Ｏ6、ＣａＣＯ3、Ｎｂ2Ｏ5及びＣｕＯを用い、（表
１）中の試料番号１１及び１３に示した組成になるよう
に秤量した。原料粉体の作製は実施例１と同様の方法に
より行った。得られた原料粉体に、有機バインダ、溶剤
及び可塑剤を加えて混合し、ドクターブレード法により
誘電体シートに成形した。導体電極としては、（表２）
に示した金属を選びビヒクルと混練してペースト化し
た。
【００２４】
【表２】
【００２５】ただし、導体電極としてＣｕを用いる場合
はＣｕＯペーストを用いた。図４は本実施例における積
層型誘電体部品の分解平面図である。まず、成形した誘
電体シート複数枚からなる誘電体層１の上に、内部導体
層２をスクリーン印刷した。その上に誘電体層１を設
け、その上に内部導体層３をスクリーン印刷した。スト
リップラインとなる内部導体層３の長さは１３mmとし
た。さらにその上に誘電体層１を設け、内部導体層４を
スクリーン印刷した。最後に、誘電体層１を設け、プレ
スで圧着し空気中で熱処理してバインダを焼却した。そ
の後、ＣｕＯペーストを用いた場合は、水素中で熱処理
して導体電極をＣｕに還元した後、導体電極が酸化しな
いように窒素中で、その他の導体電極の場合は空気中
で、それぞれ９００℃で焼成した。最後に、外部電極５
としてＣｕ電極を窒素雰囲気中で焼き付けて積層型誘電
体共振器を得た。焼成後のストリップラインとなる内部
導体層３の長さは１１．４から１１．５mmであった。測
定試料は各々１０個作製して特性評価した。結果を（表
２）に示す。
はＣｕＯペーストを用いた。図４は本実施例における積
層型誘電体部品の分解平面図である。まず、成形した誘
電体シート複数枚からなる誘電体層１の上に、内部導体
層２をスクリーン印刷した。その上に誘電体層１を設
け、その上に内部導体層３をスクリーン印刷した。スト
リップラインとなる内部導体層３の長さは１３mmとし
た。さらにその上に誘電体層１を設け、内部導体層４を
スクリーン印刷した。最後に、誘電体層１を設け、プレ
スで圧着し空気中で熱処理してバインダを焼却した。そ
の後、ＣｕＯペーストを用いた場合は、水素中で熱処理
して導体電極をＣｕに還元した後、導体電極が酸化しな
いように窒素中で、その他の導体電極の場合は空気中
で、それぞれ９００℃で焼成した。最後に、外部電極５
としてＣｕ電極を窒素雰囲気中で焼き付けて積層型誘電
体共振器を得た。焼成後のストリップラインとなる内部
導体層３の長さは１１．４から１１．５mmであった。測
定試料は各々１０個作製して特性評価した。結果を（表
２）に示す。
【００２６】（表２）において、＊印を付したものは出
発原料としてＣａＣＯ3のみを用いたもので本発明の請
求の範囲外の比較例である。
発原料としてＣａＣＯ3のみを用いたもので本発明の請
求の範囲外の比較例である。
【００２７】この（表２）から明らかなように、本実施
例により、共振周波数がいずれも８５０ＭHz前後、Ｑ値
は２００以上と高くしかもばらつきが小さい優れた積層
型誘電体共振器が得られる。従来の低温焼成基板材料の
比誘電率は８程度であるため、本実施例の共振器と同一
の構造で同一の共振周波数を得るためには３１．５mmの
ストリップライン長が必要となる。しかし本発明の誘電
体磁器組成物の比誘電率は約６０と高いため、ストリッ
プライン長は１１．５mmと短くすることができ、８５０
ＭHzの誘電体共振器としては非常に小型で優れた特性の
ものが安定して得られる。
例により、共振周波数がいずれも８５０ＭHz前後、Ｑ値
は２００以上と高くしかもばらつきが小さい優れた積層
型誘電体共振器が得られる。従来の低温焼成基板材料の
比誘電率は８程度であるため、本実施例の共振器と同一
の構造で同一の共振周波数を得るためには３１．５mmの
ストリップライン長が必要となる。しかし本発明の誘電
体磁器組成物の比誘電率は約６０と高いため、ストリッ
プライン長は１１．５mmと短くすることができ、８５０
ＭHzの誘電体共振器としては非常に小型で優れた特性の
ものが安定して得られる。
【００２８】なお、ストリップラインを曲線状や、積層
状にすることでより小型の共振器を得ることも可能であ
る。また、これらとキャパシタとを組み合わせることに
よりバンドパスフィルタ等を構成することも可能であ
る。
状にすることでより小型の共振器を得ることも可能であ
る。また、これらとキャパシタとを組み合わせることに
よりバンドパスフィルタ等を構成することも可能であ
る。
【００２９】また、カルシウム化合物としてＣａＣＯ3
の代わりに少しでもＣａＮｂ2Ｏ6を用いることにより効
果があるが、カルシウム化合物のうち１０ｍｏｌ％以上
をＣａＮｂ2Ｏ6とすることにより、より顕著な効果が見
られる。
の代わりに少しでもＣａＮｂ2Ｏ6を用いることにより効
果があるが、カルシウム化合物のうち１０ｍｏｌ％以上
をＣａＮｂ2Ｏ6とすることにより、より顕著な効果が見
られる。
【００３０】もちろんカルシウム化合物としてＣａＮｂ
2Ｏ6のみを用いたとしても同様である。
2Ｏ6のみを用いたとしても同様である。
【００３１】また、ビスマス、カルシウム、ニオブは、
ｘＢｉＯ3/2−ｙＣａＯ−ｚＮｂＯ5 /2と表した時、ｘ＋
ｙ＋ｚ＝１で、ｘは０．４３〜０．５５、ｙは０．１７
〜０．２２、ｚは０．２８〜０．３７の割合になること
が好ましい。
ｘＢｉＯ3/2−ｙＣａＯ−ｚＮｂＯ5 /2と表した時、ｘ＋
ｙ＋ｚ＝１で、ｘは０．４３〜０．５５、ｙは０．１７
〜０．２２、ｚは０．２８〜０．３７の割合になること
が好ましい。
【００３２】さらに本実施例においてはＣａＮｂ2Ｏ6以
外の原料として、Ｂｉ2Ｏ3、ＣａＣＯ3、Ｎｂ2Ｏ5、Ｃ
ｕＯを用いたが、この原料に限らず、酸化物、水酸化
物、硝酸塩、炭酸塩などを用いても構わない。
外の原料として、Ｂｉ2Ｏ3、ＣａＣＯ3、Ｎｂ2Ｏ5、Ｃ
ｕＯを用いたが、この原料に限らず、酸化物、水酸化
物、硝酸塩、炭酸塩などを用いても構わない。
【００３３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、酸化ビス
マス、酸化カルシウム及び酸化ニオブを主成分として含
有する誘電体磁器の製造において、含有されるカルシウ
ムの出発原料のすべて、または一部を、あらかじめ合成
されたニオブ酸カルシウムとすることにより、誘電体磁
器の合成や焼結を阻害する出発原料中の炭酸成分を減ら
すことができるので、比誘電率と無負荷Ｑ値が共に高
く、共振周波数の温度係数が小さく、その上緻密に低温
焼結する誘電体磁器が安定に得られることとなる。
マス、酸化カルシウム及び酸化ニオブを主成分として含
有する誘電体磁器の製造において、含有されるカルシウ
ムの出発原料のすべて、または一部を、あらかじめ合成
されたニオブ酸カルシウムとすることにより、誘電体磁
器の合成や焼結を阻害する出発原料中の炭酸成分を減ら
すことができるので、比誘電率と無負荷Ｑ値が共に高
く、共振周波数の温度係数が小さく、その上緻密に低温
焼結する誘電体磁器が安定に得られることとなる。
【００３４】また、この誘電体磁器の製造方法を用いる
ことにより、高導電率の導体を用いた高周波領域で使用
できる小型で高性能な積層型誘電体部品が安定に提供で
きることとなる。特に、小型の共振器系を構成すること
ができるので、自動車電話、携帯電話等のマイクロ波領
域の電磁波を利用する通信機器の小型化に寄与するとこ
ろが大である。
ことにより、高導電率の導体を用いた高周波領域で使用
できる小型で高性能な積層型誘電体部品が安定に提供で
きることとなる。特に、小型の共振器系を構成すること
ができるので、自動車電話、携帯電話等のマイクロ波領
域の電磁波を利用する通信機器の小型化に寄与するとこ
ろが大である。
【図１】本発明の一実施例における積層型誘電体共振器
の正面断面図
の正面断面図
【図２】本発明の一実施例における積層型誘電体共振器
の側面断面図
の側面断面図
【図３】本発明の一実施例における積層型誘電体共振器
の斜視図
の斜視図
【図４】本発明の一実施例における積層型誘電体共振器
の分解平面図
の分解平面図
１ 誘電体層 ２ 内部導体層 ３ 内部導体層 ４ 内部導体層 ５ 外部電極
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくともビスマス化合物とカルシウム
化合物とニオブ化合物とを混合して成形し、その後焼成
する誘電体磁器の製造方法において、前記カルシウム化
合物として少なくともニオブ酸カルシウムを有する誘電
体磁器の製造方法。 - 【請求項２】 少なくともビスマス化合物とカルシウム
化合物とニオブ化合物とを混合して、シート状に成形
し、次に複数のこのシートと複数の内部導体とを交互に
積層して積層体を形成し、その後焼成して、この積層体
に入出力電極を形成する積層型誘電体部品の製造方法に
おいて、前記カルシウム化合物として少なくともニオブ
酸カルシウムを有する積層型誘電体部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7114247A JPH08310863A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 誘電体磁器の製造方法及び積層型誘電体部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7114247A JPH08310863A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 誘電体磁器の製造方法及び積層型誘電体部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08310863A true JPH08310863A (ja) | 1996-11-26 |
Family
ID=14632986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7114247A Pending JPH08310863A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 誘電体磁器の製造方法及び積層型誘電体部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08310863A (ja) |
-
1995
- 1995-05-12 JP JP7114247A patent/JPH08310863A/ja active Pending
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