JPH08307089A - ワーク有無確認機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、真空中においてワークの有無を的
確に確認でき加工治具の損傷を防止することができると
ともに、簡略で安価に構成でき、省スペースをも図るこ
とができるワーク有無確認機構を提供する。 【構成】 真空容器７内に配置される加工治具１上のワ
ーク６の有無を確認するワーク有無確認機構であり、加
工治具１のワーク載置面１ａに一対の接触子３ａ、３ｂ
を臨ませこの一対の接触子３ａ、３ｂに対する導電性を
有するワーク６の接触による導通を利用してワーク６の
有無を確認する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ワーク有無確認機構に
関し、特に真空中におけるワークの有無を確認すること
ができるワーク有無確認機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体チップ等のワークを基板等
に取り付ける場合には、空気中でワークを加工治具上に
載置し、この加工治具を真空容器内に搬送して溶接加工
装置（電子ビーム溶接装置）によりワークと基板等との
溶接加工を行うが、この場合、真空容器内における加工
治具上のワークの有無を市販の光電センサーや近接セン
サー等を用いたワーク有無確認機構により確認するよう
にしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
市販の光電センサーを用いたワーク有無確認機構の場
合、加工するワークが例えばフィルタガラスチップ等の
透明度の高いものであれば、光電センサーにおける受光
素子の光の受光状態がワークが存在する場合でも殆ど変
化せず、この結果、透明度の高いワークの存在を確認す
ることができないという問題があった。

【０００４】また、従来の市販の近接センサーを用いた
ワーク有無確認機構の場合には、この近接センサーが溶
接加工装置の溶接加工位置の近くに配置されるので、近
接センサーが加工するワークのみならず溶接加工装置自
体にも反応してしまいワークの存在を正確に確認するこ
とができないという問題があった。即ち、近接センサー
を用いたワーク有無確認機構は溶接加工装置の溶接加工
位置に近い使用環境に不向きである。

【０００５】さらに、従来のワーク有無確認機構の場
合、市販の光電センサーや近接センサーを用いるので、
これらの設置スペースが必要になるとともに、製造コス
トが高くなってしまうという問題がある。

【０００６】このため、従来においても、上述したワー
ク有無確認機構の問題点に鑑み、真空容器への搬入前に
加工治具上のワークの有無の確認を行うようにしている
が、これでは、真空容器への搬入中にワークが加工治具
より落下したような場合、実際の加工時においてワーク
の有無の確認を行う手段が無いため、ワークが無い状態
で溶接加工が行われてしまい加工治具を破損する事態が
生じるという問題があった。

【０００７】そこで、本発明は、真空中においてワーク
の有無を的確に確認でき加工治具の損傷を防止すること
ができるとともに、簡略で安価に構成でき、省スペース
をも図ることができるワーク有無確認機構を提供するこ
とを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明に係
るワーク有無確認機構は、真空容器内に配置される加工
治具上のワークの有無を確認するワーク有無確認機構に
おいて、前記加工治具のワーク載置面に一対の接触子を
臨ませ導電性を有するワークの接触による前記一対の接
触子の導通を利用してワークの有無を確認するワーク有
無確認手段を設けたことを特徴とするものである。

【０００９】請求項２記載の発明に係るワーク有無確認
機構は、真空容器内に配置される加工治具のワーク載置
面に露出させた一対の接触子と、一対の接触子に接続し
た電源及び検出器とを備え、前記一対の接触子に対する
導電性ワークの接触により形成される閉回路を流れる電
流を前記検出器で検出して導電性ワークの存在を確認す
ることを特徴とするものである。

【００１０】

【作用】請求項１記載の発明に係るワーク有無確認機構
によれば、真空容器内の導電性を有するワークの有無
を、ワーク有無確認手段における加工治具のワーク載置
面に臨ませた一対の接触子の導通の有無により確認する
ことができ、ワークが無い状態での加工を回避して加工
治具の損傷を防止することができる。また、一対の接触
子の導通の有無を利用する構成であるため、従来例のよ
うな光電センサーや近接センサーを用いる必要がなく、
簡略で安価に構成でき、しかも、省スペースをも図るこ
とができる。

【００１１】請求項２記載の発明に係るワーク有無確認
機構によれば、真空容器内に配置される加工治具のワー
ク載置面に露出させた一対の接触子に導電性を有するワ
ークが接触すると、その導電性によりワーク、一対の接
触子、電源及び検出器を経る閉回路が形成され電流が流
れる。この電流を前記検出器で検出することで、真空容
器内におけるワークの存在を確認することができ、ワー
クが無い状態での加工を回避して加工治具の損傷を防止
することができる。また、一対の接触子、電源及び検出
器を用いた構成であるため、従来例のような光電センサ
ーや近接センサーを用いる必要がなく、簡略で安価に構
成でき、しかも、省スペースをも図ることができる。

【００１２】

【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００１３】図１に示す本実施例のワーク有無確認機構
は、例えば電子ビーム溶接装置（図示せず）における真
空容器７内に配置される加工治具１のワーク載置面１ａ
に検出端を露出させた一対の導体からなる接触子３ａ、
３ｂと、電源４と、電流を検出する電流計を用いた検出
器５とからなるワーク有無確認手段を備えている。一方
の接触子３ａは、接続ケーブル８ａにより直接電源４の
一方の出力端子に接続され、他方の接触子３ｂは、接続
ケーブル８ｂ、検出器５を介して電源４の他方の出力端
子に接続されている。

【００１４】前記一対の接触子３ａ、３ｂは、各々加工
治具１の底部に装着した筒状の絶縁体２ａ、２ｂを貫通
して、各々の検出端をワーク載置面１ａに露出する状態
に臨ませるとともに、電源４に対する接続端を加工治具
１の底部下方に突出し、各接続端に接続ケーブル８ａ、
８ｂを接続するようになっている。

【００１５】次に、上記構成のワーク有無確認機構の作
用を説明する。

【００１６】図２に示すように前記加工治具１のワーク
載置面１ａに、少なくとも外周下面が導電性を有する半
導体チップ等のワーク６が載置され、ワーク６の一面が
一対の接触子３ａ、３ｂに接触すると、ワーク６、一対
の接触子３ａ、３ｂ、電源４及び検出器５を経る閉回路
が形成され電流が流れる。この電流を前記検出器５で検
出することで、真空容器７内におけるワーク６の存在を
確認することができる。

【００１７】以上説明したように本実施例によれば、真
空容器７内における加工すべき又は加工中におけるワー
ク６の有無を、一対の接触子３ａ、３ｂ、電源４及び検
出器５を用いた簡略な構成のワーク有無確認手段により
的確に確認でき、ワーク６が無い状態での電子ビーム溶
接装置による溶接加工が回避され加工治具１の損傷を防
止することができる。また、従来例のような光電センサ
ーや近接センサーを用いる必要がなく、省スペース化を
図れるとともに簡略で安価に製造することができる。

【００１８】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、一対の接
触子の導通を利用してワークの有無を確認することが可
能で、ワークが無い状態での加工を回避して加工治具の
損傷を防止することができ、しかも、省スペース化をも
図ることができるワーク有無確認機構を提供することが
できる。

【００１９】請求項２記載の発明によれば、一対の接触
子、電源及び検出器を用いた簡略な構成でワークの有無
を的確に確認でき、加工治具の損傷を防止できるととも
に簡略で安価に構成でき、しかも、省スペース化をも図
ることができるワーク有無確認機構を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のワーク有無確認機構の実施例を示す構
成図である。

【図２】本発明のワーク有無確認機構の実施例における
ワークの検出状態を示す構成図である。

【符号の説明】

１ 治具 ２ａ 絶縁体 ２ｂ 絶縁体 ３ａ 接触子 ３ｂ 接触子 ４ 電源 ５ 検出器 ６ ワーク ７ 真空容器

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器内に配置される加工治具上のワ
   ークの有無を確認するワーク有無確認機構において、 前記加工治具のワーク載置面に一対の接触子を臨ませ導
   電性を有するワークの接触による前記一対の接触子の導
   通を利用してワークの有無を確認するワーク有無確認手
   段を設けたことを特徴とするワーク有無確認機構。
2. 【請求項２】 真空容器内に配置される加工治具のワー
   ク載置面に露出させた一対の接触子と、一対の接触子に
   接続した電源及び検出器とを備え、 前記一対の接触子に対する導電性を有するワークの接触
   により形成される閉回路を流れる電流を前記検出器で検
   出して加工治具上のワークの存在を確認することを特徴
   とするワーク有無確認機構。