JPH08307089A - ワーク有無確認機構 - Google Patents

ワーク有無確認機構

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JPH08307089A
JPH08307089A JP13613195A JP13613195A JPH08307089A JP H08307089 A JPH08307089 A JP H08307089A JP 13613195 A JP13613195 A JP 13613195A JP 13613195 A JP13613195 A JP 13613195A JP H08307089 A JPH08307089 A JP H08307089A
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JP
Japan
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work
absence
pair
processing jig
confirming
Prior art date
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Pending
Application number
JP13613195A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuhide Hosono
和秀 細野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPH08307089A publication Critical patent/JPH08307089A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、真空中においてワークの有無を的
確に確認でき加工治具の損傷を防止することができると
ともに、簡略で安価に構成でき、省スペースをも図るこ
とができるワーク有無確認機構を提供する。 【構成】 真空容器7内に配置される加工治具1上のワ
ーク6の有無を確認するワーク有無確認機構であり、加
工治具1のワーク載置面1aに一対の接触子3a、3b
を臨ませこの一対の接触子3a、3bに対する導電性を
有するワーク6の接触による導通を利用してワーク6の
有無を確認する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ワーク有無確認機構に
関し、特に真空中におけるワークの有無を確認すること
ができるワーク有無確認機構に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体チップ等のワークを基板等
に取り付ける場合には、空気中でワークを加工治具上に
載置し、この加工治具を真空容器内に搬送して溶接加工
装置(電子ビーム溶接装置)によりワークと基板等との
溶接加工を行うが、この場合、真空容器内における加工
治具上のワークの有無を市販の光電センサーや近接セン
サー等を用いたワーク有無確認機構により確認するよう
にしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
市販の光電センサーを用いたワーク有無確認機構の場
合、加工するワークが例えばフィルタガラスチップ等の
透明度の高いものであれば、光電センサーにおける受光
素子の光の受光状態がワークが存在する場合でも殆ど変
化せず、この結果、透明度の高いワークの存在を確認す
ることができないという問題があった。
【0004】また、従来の市販の近接センサーを用いた
ワーク有無確認機構の場合には、この近接センサーが溶
接加工装置の溶接加工位置の近くに配置されるので、近
接センサーが加工するワークのみならず溶接加工装置自
体にも反応してしまいワークの存在を正確に確認するこ
とができないという問題があった。即ち、近接センサー
を用いたワーク有無確認機構は溶接加工装置の溶接加工
位置に近い使用環境に不向きである。
【0005】さらに、従来のワーク有無確認機構の場
合、市販の光電センサーや近接センサーを用いるので、
これらの設置スペースが必要になるとともに、製造コス
トが高くなってしまうという問題がある。
【0006】このため、従来においても、上述したワー
ク有無確認機構の問題点に鑑み、真空容器への搬入前に
加工治具上のワークの有無の確認を行うようにしている
が、これでは、真空容器への搬入中にワークが加工治具
より落下したような場合、実際の加工時においてワーク
の有無の確認を行う手段が無いため、ワークが無い状態
で溶接加工が行われてしまい加工治具を破損する事態が
生じるという問題があった。
【0007】そこで、本発明は、真空中においてワーク
の有無を的確に確認でき加工治具の損傷を防止すること
ができるとともに、簡略で安価に構成でき、省スペース
をも図ることができるワーク有無確認機構を提供するこ
とを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明に係
るワーク有無確認機構は、真空容器内に配置される加工
治具上のワークの有無を確認するワーク有無確認機構に
おいて、前記加工治具のワーク載置面に一対の接触子を
臨ませ導電性を有するワークの接触による前記一対の接
触子の導通を利用してワークの有無を確認するワーク有
無確認手段を設けたことを特徴とするものである。
【0009】請求項2記載の発明に係るワーク有無確認
機構は、真空容器内に配置される加工治具のワーク載置
面に露出させた一対の接触子と、一対の接触子に接続し
た電源及び検出器とを備え、前記一対の接触子に対する
導電性ワークの接触により形成される閉回路を流れる電
流を前記検出器で検出して導電性ワークの存在を確認す
ることを特徴とするものである。
【0010】
【作用】請求項1記載の発明に係るワーク有無確認機構
によれば、真空容器内の導電性を有するワークの有無
を、ワーク有無確認手段における加工治具のワーク載置
面に臨ませた一対の接触子の導通の有無により確認する
ことができ、ワークが無い状態での加工を回避して加工
治具の損傷を防止することができる。また、一対の接触
子の導通の有無を利用する構成であるため、従来例のよ
うな光電センサーや近接センサーを用いる必要がなく、
簡略で安価に構成でき、しかも、省スペースをも図るこ
とができる。
【0011】請求項2記載の発明に係るワーク有無確認
機構によれば、真空容器内に配置される加工治具のワー
ク載置面に露出させた一対の接触子に導電性を有するワ
ークが接触すると、その導電性によりワーク、一対の接
触子、電源及び検出器を経る閉回路が形成され電流が流
れる。この電流を前記検出器で検出することで、真空容
器内におけるワークの存在を確認することができ、ワー
クが無い状態での加工を回避して加工治具の損傷を防止
することができる。また、一対の接触子、電源及び検出
器を用いた構成であるため、従来例のような光電センサ
ーや近接センサーを用いる必要がなく、簡略で安価に構
成でき、しかも、省スペースをも図ることができる。
【0012】
【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
【0013】図1に示す本実施例のワーク有無確認機構
は、例えば電子ビーム溶接装置(図示せず)における真
空容器7内に配置される加工治具1のワーク載置面1a
に検出端を露出させた一対の導体からなる接触子3a、
3bと、電源4と、電流を検出する電流計を用いた検出
器5とからなるワーク有無確認手段を備えている。一方
の接触子3aは、接続ケーブル8aにより直接電源4の
一方の出力端子に接続され、他方の接触子3bは、接続
ケーブル8b、検出器5を介して電源4の他方の出力端
子に接続されている。
【0014】前記一対の接触子3a、3bは、各々加工
治具1の底部に装着した筒状の絶縁体2a、2bを貫通
して、各々の検出端をワーク載置面1aに露出する状態
に臨ませるとともに、電源4に対する接続端を加工治具
1の底部下方に突出し、各接続端に接続ケーブル8a、
8bを接続するようになっている。
【0015】次に、上記構成のワーク有無確認機構の作
用を説明する。
【0016】図2に示すように前記加工治具1のワーク
載置面1aに、少なくとも外周下面が導電性を有する半
導体チップ等のワーク6が載置され、ワーク6の一面が
一対の接触子3a、3bに接触すると、ワーク6、一対
の接触子3a、3b、電源4及び検出器5を経る閉回路
が形成され電流が流れる。この電流を前記検出器5で検
出することで、真空容器7内におけるワーク6の存在を
確認することができる。
【0017】以上説明したように本実施例によれば、真
空容器7内における加工すべき又は加工中におけるワー
ク6の有無を、一対の接触子3a、3b、電源4及び検
出器5を用いた簡略な構成のワーク有無確認手段により
的確に確認でき、ワーク6が無い状態での電子ビーム溶
接装置による溶接加工が回避され加工治具1の損傷を防
止することができる。また、従来例のような光電センサ
ーや近接センサーを用いる必要がなく、省スペース化を
図れるとともに簡略で安価に製造することができる。
【0018】
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、一対の接
触子の導通を利用してワークの有無を確認することが可
能で、ワークが無い状態での加工を回避して加工治具の
損傷を防止することができ、しかも、省スペース化をも
図ることができるワーク有無確認機構を提供することが
できる。
【0019】請求項2記載の発明によれば、一対の接触
子、電源及び検出器を用いた簡略な構成でワークの有無
を的確に確認でき、加工治具の損傷を防止できるととも
に簡略で安価に構成でき、しかも、省スペース化をも図
ることができるワーク有無確認機構を提供することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のワーク有無確認機構の実施例を示す構
成図である。
【図2】本発明のワーク有無確認機構の実施例における
ワークの検出状態を示す構成図である。
【符号の説明】
1 治具 2a 絶縁体 2b 絶縁体 3a 接触子 3b 接触子 4 電源 5 検出器 6 ワーク 7 真空容器

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 真空容器内に配置される加工治具上のワ
    ークの有無を確認するワーク有無確認機構において、 前記加工治具のワーク載置面に一対の接触子を臨ませ導
    電性を有するワークの接触による前記一対の接触子の導
    通を利用してワークの有無を確認するワーク有無確認手
    段を設けたことを特徴とするワーク有無確認機構。
  2. 【請求項2】 真空容器内に配置される加工治具のワー
    ク載置面に露出させた一対の接触子と、一対の接触子に
    接続した電源及び検出器とを備え、 前記一対の接触子に対する導電性を有するワークの接触
    により形成される閉回路を流れる電流を前記検出器で検
    出して加工治具上のワークの存在を確認することを特徴
    とするワーク有無確認機構。
JP13613195A 1995-05-10 1995-05-10 ワーク有無確認機構 Pending JPH08307089A (ja)

Priority Applications (1)

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JP13613195A JPH08307089A (ja) 1995-05-10 1995-05-10 ワーク有無確認機構

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JPH08307089A true JPH08307089A (ja) 1996-11-22

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ID=15168040

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JP13613195A Pending JPH08307089A (ja) 1995-05-10 1995-05-10 ワーク有無確認機構

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107063151A (zh) * 2017-04-19 2017-08-18 济南浪潮高新科技投资发展有限公司 一种快速检查芯片pin脚标识的方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0537100A (ja) * 1991-07-26 1993-02-12 Cmk Corp プリント配線板とプリント配線板におけるマーキング 印刷の有無確認方法
JP3122598B2 (ja) * 1995-03-30 2001-01-09 住友電装株式会社 アンチロックブレーキシステムにおける油圧ユニット一体型電子制御ユニット

Patent Citations (2)

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