JPH08304787A - プラズマ表示装置のバリアリブの修復方法およびバリアリブ形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プラズマ表示装置の製造過程において、バリ
アリブに生じた欠損を修復するこができるバリアリブの
修復方法を提供する。 【構成】 スクリーン４０は、メッシュ２５と画線部４
４を規定する乳剤部４３とで構成され、乳剤部４３の高
さＨは３０〜１００μｍと比較的高くなっている。スク
リーン印刷において、印刷面と反対側からペースト２６
がメッシュ２５の開口部を介して印刷面側に押し出さ
れ、バリアリブ１０ｂを構成する前回印刷された層の表
面に積層される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プラズマ表示装置を製
造する際にバリアリブに生じた欠損を修復するバリアリ
ブの修復方法およびバリアリブ形成方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電気光学セルとして液晶セルを用
いたマトリクスタイプの電気光学装置、例えば液晶表示
装置を高解像度化、高コントラスト化するための手段と
しては、各画素毎に薄膜トランジスタなどのスイッチン
グ素子を設け、これを線順次で駆動するアクティブマト
リクスアドレス方式が一般に知られている。

【０００３】しかしながら、この場合、薄膜トランジス
タの様な半導体素子を基板上に多数設ける必要があり、
特に大面積化した時に製造歩留りが悪くなるという短所
がある。このため、最近、薄膜トランジスタなどがから
なるスイッチング素子に代えてプラズマ放電に基づくス
イッチを利用して電気光学セルを駆動するプラズマスイ
ッチを利用する方式が提唱されている。

【０００４】このプラズマアドレス表示装置は、ガラス
基板の上に複数のストライプ状のバリアリブが例えば４
００μｍ程度の間隔で相互に平行なパターンで形成して
あり、バリアリブ相互間に設けられたプラズマ室内に放
電を発生させて誘電体シートを略アノード電位とし、誘
電体シートとデータ電極との間の電位差によって液晶層
を駆動する。

【０００５】このようなプラズマアドレス表示装置のバ
リアリブは、例えば、スクリーン印刷を複数回行って複
数の層を積層してガラス基板に形成される。図５は、ス
クリーン印刷によってガラス基板にバリアリブを形成す
る工程を説明するための側面図である。図５に示すよう
に、スクリーン２０は、光硬化性の材料を用いた乳材部
２３が形成してある非画線部と、前記非画線部によって
規定され、印刷面側にメッシュ２５が露出している画線
部２４とからなる。乳剤部３は、厚みｈが１０〜２０μ
ｍであり、画線部２４の幅ｗは６０〜２００μｍであ
る。メッシュ２５としては、目の粗さが例えば＃２５
０、＃３２５あるいは＃４００程度のステンレス製のも
のを用いている。ここで、＃は、メッシュを構成する線
状部材に沿った方向の長さ１インチ当たりの開口数を示
す。

【０００６】スクリーン印刷においては、印刷面と反対
側に塗布されたペースト２６が当該反対側から印刷面側
に向かって押圧され、メッシュ２５の開口部を介して、
ペースト２６が印刷面側に押し出される。当該押し出さ
れたペーストは、前回印刷された層の表面に積層（印
刷）する。そして、スクリーン印刷を複数回行うことに
よって、画線部２４に応じたストライプ状のパターン
で、バリアリブ１０ｂが形成される。尚、一回のスクリ
ーン印刷によって形成されるペースト２６の層厚は、例
えば、１０〜２０μｍ程度であり、バリアリブ１０ｂの
層厚は例えば１００〜３００μｍ程度である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、スクリーン
印刷によってガラス基板にバリアリブ１０ｂを積層印刷
する過程において、スクリーン２０の画線部２４に露出
したメッシュ２５の開口部にゴミなどが詰まる目詰まり
が生じ、ペースト２６が前回印刷された層の表面に向か
って押し出されないことがある。スクリーン印刷におい
て、このような目詰まりが生じると、目詰まりが生じた
開口部の位置に対応するバリアリブ１０ｂの箇所にペー
スト２６が積層されず、図５，図６に示すようにバリア
リブ１０ｂに欠損部１１が生じることがある。

【０００８】このようにバリアリブ１０ｂに欠損部１１
が生じると、欠損部１１を介してバリアリブ１０ｂの両
側に位置するプラズマ室８ｂ，８ｃ相互間が連結される
ことから、例えば、プラズマ室８ｂ，８ｃのうち一方に
おいて生じた放電状態が他方に伝達される放電漏れが生
じ、当該他方のプラズマ室に対応する液晶層に書き込ま
れていた正常なデータが書き換えられてしまうことがあ
る。

【０００９】上述した問題と同様な問題は、マトリクス
状のプラズマ室を規定するバリアリブを有するプラズマ
ディスプレイ（ＰＤＰ）においても生じている。

【００１０】本発明は、上述した従来技術の問題点に鑑
みてなされ、プラズマ表示装置の製造過程において、バ
リアリブに生じた欠損を修復することができるバリアリ
ブの修復方法およびバリアリブ形成方法を提供すること
を目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上述した従来技術の問題
点を解決し、上述した目的を達成するために、本発明の
バリアリブの修復方法は、マスク用部材の厚みが３０〜
１００μｍのスクリーンを用いて修正用のペーストを欠
損部を有するバリアリブの表面に印刷する。

【００１２】また、本発明のバリアリブの修復方法は、
マスク用部材の画線部に露出したメッシュの目の粗さが
＃８０〜２００のスクリーンを用いて修正用のペースト
を欠損部を有するバリアリブの表面に印刷する。

【００１３】また、本発明のバリアリブの修復方法は、
好ましくは、前記修正用のペーストは、前記バリアリブ
を形成する際に用いるペーストの粘度に比べて低い粘度
を有する。

【００１４】また、本発明のバリアリブ形成方法は、マ
スク用部材の厚みが１０〜２０μｍのバリアリブ形成用
スクリーンによるスクリーン印刷を行ってバリアリブを
形成し、マスク用部材の厚みが３０〜１００μｍの修正
用スクリーンを用いて修正用のペーストを前記バリアリ
ブの表面に印刷する。

【００１５】また、本発明のバリアリブ形成方法は、マ
スク用部材の画線部に露出したメッシュの目の粗さが＃
２５０以上のバリアリブ形成用スクリーンによるスクリ
ーン印刷を行ってバリアリブを形成し、マスク用部材の
画線部に露出したメッシュの目の粗さが＃８０〜２００
の修正用スクリーンを用いて修正用のペーストを前記バ
リアリブの表面に印刷する。

【００１６】さらに、本発明のバリアリブ形成方法は、
好ましくは、前記修正用のペーストは、前記バリアリブ
を形成する際に用いるペーストの粘度に比べて低い粘度
を有する。

【００１７】

【作用】本発明の第１の観点のバリアリブの修復方法お
よびバリアリブ形成方法では、例えば、マスク用部材の
厚みが１０〜２０μｍのバリアリブ形成用スクリーンに
よるスクリーン印刷を行ってバリアリブを形成した後、
マスク用部材の厚みが３０〜１００μｍのスクリーンを
用いて修正用のペーストを欠損部を有するバリアリブの
表面に印刷する。このとき、マスク用部材の厚みが３０
〜１００μｍと厚く、マスク用部材と欠損部の底部との
距離は、マスク用部材の厚みが１０〜２０μｍのバリア
リブ形成用のスクリーンに比べて短くなる。その結果、
マスク用部材を透過した修正用のペーストは欠損部の底
部にまで流れ込み、欠損部が埋められる。

【００１８】また、本発明の第２の観点のバリアリブの
修復方法およびバリアリブ形成方法では、マスク用部材
の画線部に露出したメッシュの目の粗さが＃２５０以上
のバリアリブ形成用スクリーンによるスクリーン印刷を
行ってバリアリブを形成した後、マスク用部材の画線部
に露出したメッシュの目の粗さが＃８０〜２００のスク
リーンを用いて修正用のペーストを欠損部を有するバリ
アリブの表面に印刷する。このとき、マスク用部材の目
の粗さが＃８０〜２００と粗いことから、マスク用部材
の目を介して比較的多くのペーストが印刷面側に押し出
され、欠損部の底部にまでペーストが流れ込み、欠損部
が埋められる。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の実施例に係わるバリアリブの
修復方法およびバリアリブ形成方法について説明する。第１実施例 先ず、製造過程において、本実施例に係わるバリアリブ
の修復方法等が用いられるプラズマアドレス表示装置に
ついて説明する。図２は、本実施例に係わるプラズマア
ドレス表示装置２１の部分断面構成図である。図２に示
すように、プラズマアドレス表示装置２１は、液晶セル
１と、プラズマセル２と、それらの間に介在する誘電体
シート３とを積層したフラットパネル構造をしている。
液晶セル１は、図２中紙面垂直方向に所定の間隔で設け
られ左右方向に延びた複数のデータ電極（行電極）５
と、誘電体シート３とデータ電極５との間に介在し、液
晶が充填された液晶層６とを有する。液晶層６は、例え
ば捩じれネマティック（ＴＮ：Twisted Nematic ）配列
セルを用いて構成されている。

【００２０】プラズマセル２は、ガラス基板７、プラズ
マ室８ａ〜８ｃ、カソード電極９Ｋａ、アノード電極９
Ａａ，９Ａｂおよびバリアリブ１０ａ，１０ｂを有す
る。ガラス基板７の図２中上には、紙面垂直方向に延び
たストライプ状のパターンでカソード電極９Ｋおよびア
ノード電極９Ａが形成してある。アノード電極９Ｋ，９
Ａ上には、ストライプ状のパターンで、誘電体シート３
の下面に達するバリアリブ１０ａ，１０ｂが形成してあ
る。バリアリブ１０ａ，１０ｂは絶縁体を用いて形成し
てある。カソード電極９Ｋおよびアノード電極９Ａは、
プラズマ室８ａ〜８ｃ内に露出している。

【００２１】誘電体シート３、ガラス基板７、カソード
電極９Ｋ、アノード電極９Ａおよびバリアリブ１０ａ，
１０ｂによって個々に密閉されたプラズマ室８ｂには、
イオン化可能なガスが封入してある。このガスとして
は、例えばヘリウム、ネオン、アルゴンあるいはこれら
の混合ガスなどが使用される。

【００２２】以上の構成において、例えば、図２に示す
プラズマ室８ｂに対応するカソード電極９Ｋおよびアノ
ード電極９Ａに所定の電圧が印加されると、カソード電
極９Ｋおよびアノード電極９Ａがそれぞれカソードおよ
びアノードとして作用し、プラズマ室８ｂの部分のガス
が選択的にイオン化されてプラズマ直流（ＤＣ）放電が
発生し、その内部は略アノード電位に維持される。この
状態で、データ電極５にデータ電圧が印加されると、プ
ラズマ室８ｂに対応する画素の液晶層６に誘電体シート
３を介してデータ電圧が書き込まれる。プラズマ放電が
終了すると、プラズマ室８ｂは浮遊電位となり、対応す
る画素の液晶層６に書き込まれた電圧は、次の書き込み
期間（例えば１フレーム後）まで保持される。このと
き、プラズマ室８ｂはサンプリングスイッチとして機能
し、各画素の液晶層６はサンプリングキャパシタとして
機能している。

【００２３】各画素の液晶層６に対してデータ電極５か
ら書き込まれたデータ電圧によって液晶が動作すること
から画素単位で表示が行われる。従って、プラズマ放電
を発生させて列方向に並ぶ複数の画素の液晶層６にデー
タ電圧を書き込む一対のプラズマ室を行方向に順次走査
していくことで、二次元画像の表示を行うことができ
る。

【００２４】次に、本実施例に係わるバリアリブの修復
方法およびバリアリブ形成方法について説明する。図１
（Ａ）は、スクリーン２０およびガラス基板７に形成さ
れたバリアリブ１０ｂの欠損部１１が生じた部分付近の
断面図である。図１（Ｂ）は、図１（Ａ）に示す断面線
Ａ−Ａにおける部分断面図である。本実施例では、図５
に示すように、ガラス基板７の上に、スクリーン２０の
画線部２４に露出したメッシュ２５の開口部を介して、
バリアリブ形成用のペースト２６を複数回積層すること
で、複数のバリアリブ１０ａ，１０ｂ等を相互に平行に
なるようにストライプ状に形成する。このようにバリア
リブを形成したときに、前述したように、図６に示すよ
うな欠損部１１がバリアリブに生じることがある。メッ
シュ２５は、例えば略正方形の開口部を形成するよう
に、直径約２０〜３０μｍの線状部材を格子状に配設し
て構成している。ペースト２６としては、鉛ガラス粉末
をセルロース系樹脂を有機溶剤に分散したものなどを用
いている。

【００２５】本実施例のバリアリブの修復方法等では、
バリアリブ１０ａ等を形成した後に、バリアリブ１０ａ
等を形成したときに用いたスクリーン２０を用いてスク
リーン印刷を行って欠損部１１を修復する。尚、本実施
例において、スクリーン２０の画線部２４の幅ｗは、バ
リアリブ１０ｂの幅Ｗより５０μｍ以上広いことが望ま
しい。これは、スクリーン２０の製造上の精度が約±２
５μｍであることから、乳剤部２３とバリアリブ１０ｂ
とが接触することを回避するためである。また、スクリ
ーン２０の製造過程で焼き付けおよび現像を行ってスト
ライプ状のパターンを形成する際の精度上の理由から画
線部２４の幅ｗは厚みｈより大きいことが望ましい。

【００２６】このとき、修復用のペースト３６として、
バリアリブ１０ａ，１０ｂを形成する際に用いられる図
５に示すペースト２６に比べて低粘度のペーストを用い
る。ここで、バリアリブ１０ａ，１０ｂを形成用のペー
スト２６の粘度は、ブロックフィールド粘度計を用いて
１０ｒｐｍで測定した場合に、１００〜４００Ｐａ・ｓ
である。また、修復用のペースト３６の粘度は３０〜１
００Ｐａ・ｓである。

【００２７】本実施例のバリアリブの修復方法等におい
て、印刷面とは反対側に塗布されたペースト３６が当該
反対側から印刷面側に向かって押圧され、メッシュ２５
を介して、ペースト３６が印刷面側に押し出される。当
該押し出されたペースト３６は、乳剤部２３の壁面に沿
って画線部２４に応じたストライプ状のパターンで、バ
リアリブ１０ａ，１０ｂ等の表面に積層される。このと
き、修正用のペーストとして低粘度のペースト３６を用
いたことで、図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、印刷面
側に押し出されたペースト３６は、バリアリブ１０ｂの
欠損部１１の底部に到達し、欠損部１１がペースト３６
によって埋められる。

【００２８】第２実施例 図３は、スクリーン４０およびガラス基板７に形成され
たバリアリブ１０ｂの欠損部１１が生じた部分付近の断
面図である。本実施例のバリアリブの修復方法およびバ
リアリブ形成方法では、第１実施例における場合と同様
に、スクリーン印刷を行って形成された図３，図６に示
すバリアリブ１０ｂに生じた深さ約３０〜５０μｍ程度
の欠損部１１を修復する。

【００２９】本実施例のバリアリブの修復方法等におい
て用いられるスクリーン４０の乳剤部４３は、図１に示
すスクリーン２０と比べて、画線部４４の幅ｗは同じで
あるが、乳剤部４３の高さ（厚み）Ｈが大きい。乳剤部
４３の高さＨは、３０〜１００μｍである。また、メッ
シュとしては、前述した図１に示す第１実施例のバリア
リブの修復方法等と同じメッシュ２５を用いている。ま
た、修復用のペーストとしては、前述した図５に示す従
来のバリアリブの修復方法等において用いられるペース
ト２６を用いている。本実施例に係わるスクリーン印刷
において、印刷面とは反対側に塗布されたペースト２６
が当該反対側から印刷面側に向かって押圧され、メッシ
ュ２５を介して、ペースト３６が印刷面側に押し出され
る。このとき、乳剤部４３の高さＨが大きなことから、
乳剤部４３の壁面の下部と欠損部１１の底部とが近接し
ており、当該押し出されたペースト２６は、乳剤部４０
の壁面に沿って画線部４４に応じたパターンでバリアリ
ブ１０ｂの欠損部１１の底部まで到達し、欠損部１１が
ペースト２６によって埋められる。

【００３０】第３実施例 図４（Ａ）は、スクリーン５０およびガラス基板７に形
成されたバリアリブ１０ｂの欠損部１１が生じた部分付
近の断面図である。図４（Ｂ）は、図４（Ａ）に示す断
面線Ｂ−Ｂにおける部分断面図である。本実施例のバリ
アリブの修復方法およびバリアリブ形成方法では、第１
実施例における場合と同様に、スクリーン印刷を行って
形成された図３，図６に示すバリアリブ１０ｂに生じた
深さ約３０〜５０μｍ程度の欠損部１１を修復する。

【００３１】本実施例のバリアリブの修復方法等におい
て用いられるスクリーン５０の乳剤部として前述した図
５に示すスクリーン２０の乳剤部２３を用いる。すなわ
ち、乳剤部２３は高さｈが１０〜２０μｍであり、画線
部２４の幅ｗが６０〜２００μｍである。また、スクリ
ーン５０のメッシュとしては、前述した図１，図５に示
すスクリーン２０のメッシュ２５に比べて、目の粗いメ
ッシュ３５を用いている。メッシュ３５の目の粗さは、
例えば＃８０〜＃２００である。また、修復用のペース
トとしては、前述した図５に示す従来のバリアリブの修
復方法等において用いられるペースト２６を用いてい
る。

【００３２】本実施例に係わるスクリーン印刷におい
て、印刷面とは反対側に塗布されたペースト２６が当該
反対側から印刷面側に向かって押圧され、メッシュ３５
を介して、ペースト３６が印刷面側に押し出される。こ
のとき、メッシュ３５の目が粗いことから、メッシュ３
５の吐出量が多くなる。そのため、比較的多くの量のペ
ースト２６がメッシュ３５を介して印刷面側に押し出さ
れ、ペースト２６がバリアリブ１０ｂの欠損部１１の底
部まで到達し、欠損部１１がペースト２６によって埋め
られる。尚、本実施例において、スクリーン５０は、必
ずしもバリアリブと一致するストライプ状のパターンで
ある必要はなく、画線部２４が、バリアリブの存在する
ストライプ状の領域を含む幅の広い領域のパターンのを
有していたり、あるいは全面に対してベタの印刷を行う
パターンを有していてもよい。

【００３３】上述したように、本実施例に係わるバリア
リブの修復方法およびバリアリブ形成方法によれば、プ
ラズマ表示装置のバリアリブに生じた欠損部を修復する
ことができる。そのため、本実施例のバリアリブの修復
方法等を用いれば、製造されたプラズマ表示装置におい
て、プラズマ放電漏れが生じることを効果的に抑制でき
る。

【００３４】本発明は上述した実施例には限定されな
い。例えば、上述した実施例では、ストライプ状のパタ
ーンのバリアリブを修復する場合について説明したが、
プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）におけるマトリクス状
のパターンのバリアリブを修復する場合についても同様
に適用できる。

【００３５】また、第２実施例および第３実施例におけ
るバリアリブの修復方法等において、ペーストとして第
１実施例において説明した低粘度のペースト３６を用い
てもよい。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のバリアリ
ブの修復方法およびバリアリブ形成方法によれば、プラ
ズマ表示装置のバリアリブに生じた欠損部を修復するこ
とができる。そのため、本発明のバリアリブの修復方法
およびバリアリブ形成方法を用いれば、製造されたプラ
ズマ表示装置において、プラズマ放電漏れが生じること
を効果的に抑制できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係わるスクリーンおよび
ガラス基板に形成されたバリアリブの欠損部が生じた部
分付近の断面図である。

【図２】第１実施例に係わるプラズマアドレス表示装置
の部分断面構成図である。

【図３】本発明の第２実施例に係わるスクリーンおよび
ガラス基板に形成されたバリアリブの欠損部が生じた部
分付近の断面図である。

【図４】本発明の第３実施例に係わるスクリーンおよび
ガラス基板に形成されたバリアリブの欠損部が生じた部
分付近の断面図である。

【図５】従来のスクリーンおよびガラス基板に形成され
たバリアリブの欠損部が生じた部分付近の断面図であ
る。

【図６】バリアリブに生じた欠損部を説明するための概
略斜視図である。

【符号の説明】

７… ガラス基板 ８ａ，８ｂ，８ｃ… プラズマ室 １０ａ，１０ｂ… バリアリブ ２０… スクリーン ２１… プラズマアドレス表示装置 ２３，４３… 乳剤部 ２４… 画線部 ２５… メッシュ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】プラズマ表示装置を製造する際にバリアリ
   ブに生じた欠損部を修復するバリアリブの修復方法にお
   いて、 マスク用部材の厚みが３０〜１００μｍのスクリーンを
   用いて修正用のペーストを前記欠損部を有するバリアリ
   ブの表面に印刷するバリアリブの修復方法。
2. 【請求項２】プラズマ表示装置を製造する際にバリアリ
   ブに生じた欠損部を修復するバリアリブの修復方法にお
   いて、 マスク用部材の画線部に露出したメッシュの目の粗さが
   ＃８０〜２００のスクリーンを用いて修正用のペースト
   を前記欠損部を有するバリアリブの表面に印刷するバリ
   アリブの修復方法。
3. 【請求項３】前記修正用のペーストは、前記バリアリブ
   を形成する際に用いるペーストの粘度に比べて低い粘度
   を有する請求項１または２に記載のバリアリブの修復方
   法。
4. 【請求項４】プラズマ表示装置のバリアリブを形成する
   バリアリブ形成方法において、 マスク用部材の厚みが１０〜２０μｍのバリアリブ形成
   用スクリーンによるスクリーン印刷を行ってバリアリブ
   を形成し、 マスク用部材の厚みが３０〜１００μｍの修正用スクリ
   ーンを用いて修正用のペーストを前記バリアリブの表面
   に印刷するバリアリブ形成方法。
5. 【請求項５】プラズマ表示装置のバリアリブを形成する
   バリアリブ形成方法において、 マスク用部材の画線部に露出したメッシュの目の粗さが
   ＃２５０以上のバリアリブ形成用スクリーンによるスク
   リーン印刷を行ってバリアリブを形成し、 マスク用部材の画線部に露出したメッシュの目の粗さが
   ＃８０〜２００の修正用スクリーンを用いて修正用のペ
   ーストを前記バリアリブの表面に印刷するバリアリブ形
   成方法。
6. 【請求項６】前記修正用のペーストは、前記バリアリブ
   を形成する際に用いるペーストの粘度に比べて低い粘度
   を有する請求項４または５に記載のバリアリブ形成方
   法。