JP3360483B2 - プラズマ表示装置のバリアリブ形成方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、プラズマ表示装置を製
造する過程においてガラス基板に絶縁性のバリアリブを
形成する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電気光学セルとして液晶セルを用
いたマトリクスタイプの電気光学装置、例えば液晶表示
装置を高解像度化、高コントラスト化するための手段と
しては、各画素毎に薄膜トランジスタなどのスイッチン
グ素子を設け、これを線順次で駆動するアクティブマト
リクスアドレス方式が一般に知られている。

【０００３】しかしながら、この場合、薄膜トランジス
タの様な半導体素子を基板上に多数設ける必要があり、
特に大面積化した時に製造歩留りが悪くなるという短所
がある。このため、最近、薄膜トランジスタなどがから
なるスイッチング素子に代えてプラズマ放電に基づくス
イッチを利用して電気光学セルを駆動するプラズマスイ
ッチを利用する方式が提唱されている。

【０００４】このプラズマアドレス表示装置は、ガラス
基板の上に複数のストライプ状のバリアリブが例えば４
００μｍ程度の間隔で相互に平行なパターンで形成して
あり、バリアリブ相互間に設けられたプラズマ室内に放
電を発生させて誘電体シートを略アノード電位とし、誘
電体シートとデータ電極との間の電位差によって液晶層
を駆動する。

【０００５】このようなプラズマアドレス表示装置のバ
リアリブは、例えば、スクリーン印刷を複数回行って複
数の層を積層してガラス基板に形成される。スクリーン
印刷において用いられるスクリーンは、硬化した乳材部
が形成してある非画線部と、前記非画線部によって規定
され、印刷面側にメッシュが露出している画線部とから
なる。スクリーン印刷においては、印刷面と反対側に塗
布されたペーストが当該反対側から印刷面側に向かって
押圧され、メッシュを介して、ペーストが印刷面側に押
し出される。当該押し出されたペーストは、前回印刷さ
れた層の表面に積層（印刷）する。そして、スクリーン
に対するガラス基板の位置を固定した状態で、印刷を複
数回行うことによって、画線部に応じたストライプ状の
パターンで、バリアリブが形成される。このとき、一回
のスクリーン印刷によって形成されるペーストの層厚は
例えば１０〜２０μｍ程度であり、バリアリブ１０ｂの
層厚は例えば１００〜３００μｍ程度である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、スクリーン
印刷によってガラス基板にバリアリブを積層印刷する過
程において、スクリーンの画線部に露出したメッシュの
開口部にゴミなどが詰まる目詰まりが生じ、当該目詰ま
りが生じた開口部を介してペーストが前回印刷された層
の表面に向かって押し出されないことがある。スクリー
ン印刷を複数回行う際に、このような目詰まりが生じる
と、その後、当該目詰まりが生じた開口部に対応する位
置にペーストが積層されず、バリアリブ形成後、図７に
示すようにバリアリブ１０ｂに欠損部１１が生じること
がある。

【０００７】このようにバリアリブ１０ｂに欠損部１１
が生じると、欠損部１１を介してバリアリブ１０ｂの両
側に位置するプラズマ室８ｂ，８ｃ相互間が連結される
ことから、例えば、プラズマ室８ｂ，８ｃのうち一方に
おいて生じた放電状態が他方に伝達される放電漏れが生
じ、当該他方のプラズマ室に対応する液晶層に書き込ま
れていた正常なデータが書き換えられてしまうことがあ
る。

【０００８】ところで、メッシュの開口部に目詰まりが
生じたら、メッシュを洗浄するなどして、当該目詰まり
を除去することは可能であるが、当該目詰まりが生じた
開口部を目視で発見することは容易ではなく、このよう
な開口部の目詰まりの除去ができない場合もある。

【０００９】尚、従来から、スクリーン印刷を行って形
成されたバリアリブの表面に転写された、スクリーンの
メッシュのパターンに応じた格子状の模様の跡を消す目
的で、基板をスクリーンのメッシュのピッチの半分程
度、すなわち数十μｍ程度でスクーリーンに対して移動
させることは行われていた。しかしながら、バリアリブ
の欠損部は、約０．１ｍｍ程度の長さにわたって生じる
ことが多いため、この手法では、放電漏れの原因となる
欠損部の発生を防止することはできない。

【００１０】上述した問題と同様な問題は、マトリクス
状のプラズマ室を規定するバリアリブを有するプラズマ
ディスプレイ（ＰＤＰ）においても生じている。

【００１１】本発明は、上述した従来技術の問題点に鑑
みてなされ、バリアリブを形成する際に、放電漏れの原
因となる欠損部の発生を防止することができるバリアリ
ブ形成方法を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上述した従来技術の問題
点を解決し、上述した目的を達成するために、本発明の
バリアリブ形成方法は、対象面に対してマスク手段を用
いて印刷を所定の回数行って、バリアリブを構成するス
トライプ状の第１の層を形成し、前記第１の層を形成
後、前記ストライプ方向に０．５ｍｍ以上、前記対象面
と前記マスク手段とを相対的に移動し、前記移動後に、
前記対象面に対してマスク手段を用いて印刷を所定の回
数行って、バリアリブを構成する第２の層を形成する。

【００１３】また、本発明のバリアリブ形成方法は、好
ましくは、前記マスク手段を用いて前記第２の層を形成
する際の前記所定の回数は、前記第１の層に生じた欠損
部の深さを埋めることができるように設定される。

【００１４】また、本発明のバリアリブ形成方法は、好
ましくは、前記対象面には前記ストライプ方向に沿って
位置する複数の第１のアライメントマークが形成してあ
り、前記マスク手段には第２のアライメントマークが形
成してあり、前記第１のアライメントマークと前記第２
のアライメントマークとを用いて位置合わせを行って、
前記対象面と前記マスク手段とを相対的に移動する。

【００１５】さらに、本発明のバリアリブ形成方法は、
好ましくは、前記プラズマ表示装置はプラズマアドレス
表示装置であり、前記対象面はプラズマアドレス表示装
置の基板表面であり、前記第１のアライメントマーク
は、前記基板表面のフリットシールが形成される部分の
外側の領域に形成してある。

【００１６】

【作用】本発明のバリアリブ形成方法では、対象面に対
してマスク手段を用いて印刷を所定の回数行って、バリ
アリブを構成するストライプ状の第１の層を形成し、前
記第１の層を形成後、前記ストライプ方向に０．５ｍｍ
以上、前記対象面と前記マスク手段とを相対的に移動す
る。この移動によって、マスク手段のある開口部に目詰
まりが生じていた場合に、前記目詰まりが生じた開口部
が、前記対象面の異なる位置に移動する。

【００１７】このとき、マスク手段の開口部のうち目詰
まりが生じている開口部の数は通常非常に少ないことか
ら、第１の層を形成したときに前記目詰まりが生じた開
口部が位置したことで所定の印刷が行われなかった対象
面の位置には、前記マスク手段の目詰まりが生じていな
い開口部が極めて高い確率で位置する。また、前記第１
の層の層厚は比較的薄いことから、前記目詰まりによっ
て生じる欠損部の深さも比較的浅い。

【００１８】そして、前記移動後に、前記対象面に対し
てマスク手段を用いて印刷を所定の回数行って、バリア
リブを構成する第２の層を形成する。このとき、前記第
１の層に生じた欠損部の深さが比較的浅いことから、前
記第２の層を形成するペーストが、前回の印刷において
生じた前記第１の層の欠損部の底部に流れ込み、前記欠
損部が埋められる。

【００１９】

【実施例】以下、本発明の実施例に係わるバリアリブ形
成方法について説明する。第１実施例 先ず、製造過程において、本実施例に係わるバリアリブ
形成方法の対象となるプラズマアドレス表示装置につい
て説明する。図３は、本実施例に係わるプラズマアドレ
ス表示装置２１の部分断面構成図である。図３に示すよ
うに、プラズマアドレス表示装置２１は、液晶セル１
と、プラズマセル２と、それらの間に介在する誘電体シ
ート３とを積層したフラットパネル構造をしている。液
晶セル１は、図３中紙面垂直方向に所定の間隔で設けら
れ左右方向に延びた複数のデータ電極（行電極）５と、
誘電体シート３とデータ電極５との間に介在し、液晶が
充填された液晶層６とを有する。液晶層６は、例えば捩
じれネマティック（ＴＮ：Twisted Nematic ）配列セル
を用いて構成されている。

【００２０】プラズマセル２は、ガラス基板７、プラズ
マ室８ａ〜８ｃ、カソード電極９Ｋａ、アノード電極９
Ａａ，９Ａｂおよびバリアリブ１０ａ，１０ｂを有す
る。ガラス基板７の図３中上には、紙面垂直方向に延び
たストライプ状のパターンでカソード電極９Ｋおよびア
ノード電極９Ａが形成してある。また、ガラス基板７の
上には、ストライプ状のパターンで、誘電体シート３の
下面に達するバリアリブ１０ａ，１０ｂが形成してあ
る。バリアリブ１０ａ，１０ｂは絶縁体を用いて形成し
てある。カソード電極９Ｋおよびアノード電極９Ａは、
プラズマ室８ａ〜８ｃ内に露出している。

【００２１】誘電体シート３、ガラス基板７およびバリ
アリブ１０ａ，１０ｂによって個々に密閉されたプラズ
マ室８ｂには、イオン化可能なガスが封入してある。こ
のガスとしては、例えばヘリウム、ネオン、アルゴンあ
るいはこれらの混合ガスなどが使用される。

【００２２】以上の構成において、例えば、図３に示す
プラズマ室８ｂに対応するカソード電極９Ｋおよびアノ
ード電極９Ａに所定の電圧が印加されると、カソード電
極９Ｋおよびアノード電極９Ａがそれぞれカソードおよ
びアノードとして作用し、プラズマ室８ｂの部分のガス
が選択的にイオン化されてプラズマ直流（ＤＣ）放電が
発生し、その内部は略アノード電位に維持される。この
状態で、データ電極５にデータ電圧が印加されると、プ
ラズマ室８ｂに対応する画素の液晶層６に誘電体シート
３を介してデータ電圧が書き込まれる。プラズマ放電が
終了すると、プラズマ室８ｂは浮遊電位となり、対応す
る画素の液晶層６に書き込まれた電圧は、次の書き込み
期間（例えば１フレーム後）まで保持される。このと
き、プラズマ室８ｂはサンプリングスイッチとして機能
し、各画素の液晶層６はサンプリングキャパシタとして
機能している。

【００２３】各画素の液晶層６に対してデータ電極５か
ら書き込まれたデータ電圧によって液晶が動作すること
から画素単位で表示が行われる。従って、プラズマ放電
を発生させて列方向に並ぶ複数の画素の液晶層６にデー
タ電圧を書き込む一対のプラズマ室を行方向に順次走査
していくことで、二次元画像の表示を行うことができ
る。

【００２４】次に、本実施例に係わるバリアリブ形成方
法を用いて、図３に示すプラズマアドレス表示装置２１
のバリアリブ１０ａ，１０ｂを形成する場合について説
明する。図１（Ａ）はスクリーン２０を用いてガラス基
板７にバリアリブ１０ｂを形成していく過程を説明して
いくための部分断面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）に示す
断面線Ａ−Ａにおける部分断面図である。本実施例に係
わるバリアリブ形成方法では、図１に示すように、スク
リーン２０の乳剤部２３が形成されていない画線部２４
に露出したメッシュ２５を介して、バリアリブ形成用の
ペースト３６を複数回積層することで、ガラス基板７の
上に複数のバリアリブ１０ｂ等を相互に平行になるよう
にストライプ状に形成する。このようにバリアリブを形
成する過程において、メッシュ２５の一部の開口部２２
に目詰まりが生じ、当該開口部２２をペースト３６が透
過できなくなることがある。メッシュ２５は、例えば、
一片が例えば４０〜１００μｍ程度の略正方形の開口部
を形成するように、直径約２０〜３０μｍの線状部材を
格子状に配設して構成される。乳剤部２３は光硬化性の
レジストを硬化させたものである。ペースト３６として
は鉛ガラス粉末とセルロース系の樹脂を有機溶剤に分散
させたものなどを用いている。

【００２５】本実施例のバリアリブ形成方法では、ガラ
ス基板７を第１の位置において固定した状態でスクリー
ン２０によるスクリーン印刷を例えば３回行い、ペース
ト３６によるストライプ状の層を３層形成する。スクリ
ーン印刷においては、印刷面と反対側に塗布されたペー
スト３６が当該反対側から印刷面側に向かって押圧さ
れ、メッシュ２５の開口部を介して、ペースト３６が印
刷面側に押し出される。当該押し出されたペースト３６
は、前回印刷された層の表面に積層（印刷）する。この
とき、一回のスクリーン印刷によって形成されるペース
ト３６の層厚は、例えば、１０〜３０μｍ程度である。

【００２６】その後、ガラス基板７を図１（Ｂ），図２
に示すように、ストライプ方向に約０．５ｍｍ以上移動
（シフト）させ、移動後の第２の位置において、スクリ
ーン２０によるスクリーン印刷を３回行い、ペースト３
６によるストライプ状の層を３層形成する。以後、ガラ
ス基板７を第１の位置および第２の位置に交互に移動し
て、それぞれの位置において３回づつスクリーン印刷を
行い、バリアリブ１０ｂ等を形成する。ここで、バリア
リブ１０ｂ等の層厚は例えば１００〜３００μｍ程度で
ある。

【００２７】本実施例のバリアリブ形成方法では、ガラ
ス基板７を第１の位置に固定した状態で３回のみ印刷を
行い、その後ガラス基板７をストライプ方向に移動させ
ることから、メッシュ２５の開口部２２に目詰まりが生
じた場合でも、当該第１の位置における開口部２２の位
置に発生する欠損部１１ａの深さは３０〜６０μｍ程度
である。また、ガラス基板７を第２の位置に移動させた
後には、メッシュ２５の目詰まりが生じた開口部２２は
第１の位置における場合とは別の位置に移動する。この
場合、ガラス基板７が第２の位置にあるときに、ガラス
基板７が第１の位置にあったときの開口部２２の位置
に、目詰まりが生じた別の開口部が位置する可能性は極
めて低い。

【００２８】すなわち、ガラス基板７を第２の位置に置
いて印刷を行うときには、前回ガラス基板７を第１の位
置において印刷を行ったときに生じた欠損部１１ａの位
置には、極めて高い確率で、目詰まりが生じていない正
常な開口部が位置し、ペースト３６によって欠損部１１
ａが埋められる。このとき、欠損部１１ａの深さは３０
〜６０μｍと浅いことから、メッシュ２５の開口部を透
過したペースト３６は、前回のスクリーン印刷において
生じた欠損部１１ａの底部に到達し、前回の印刷におい
て生じた欠損部１１ａが正確に埋められる。

【００２９】すなわち、本実施例に係わるバリアリブ形
成方法によれば、ペースト３６の層を３層形成する毎
に、ガラス基板７を第１の位置と第２の位置とで交互に
移動させることから、ガラス基板を最初から最後まで固
定をした状態で印刷を行ってバリアリブを形成する場合
に比べて、欠損部の深さの増大を抑制できる。このよう
にして製造されたバリアリブは、スクリーン印刷の過程
においてメッシュ２５の開口部に目詰まりが生じた場合
であっても、放電漏れの原因となるほど深い欠損部が生
じることはない。

【００３０】上述したように、本実施例のバリアリブ形
成方法によれば、バリアリブを形成した際に、バリアリ
ブに放電漏の原因となる欠損部が発生することを効果的
に抑制できる。

【００３１】第２実施例 本実施例のバリアリブ形成方法は、基本的には前述した
ものと同じであるが、図１，図２に示すガラス基板７を
ストライプ方向に移動する際の位置合わせ手法を具体的
に示す。図４はバリアリブを形成するガラス基板７の表
面に形成されたアライメントマークを説明するための
図、図５はスクリーン２０に形成されたアライメントマ
ークを説明するための図である。図４に示すように、ガ
ラス基板７の表面の図中右端部付近に第１のアライメン
トマーク３８ａと第２のアライメントマーク３９ａとが
ストライプ方向（図中左右方向）に延びる直線上に間隔
Ｌで印刷してある。また、ガラス基板７の表面の図中左
端部付近に第１のアライメントマーク３８ｂと第２のア
ライメントマーク３９ｂとがストライプ方向に延びる直
線上に間隔Ｌで印刷してある。ここで、間隔Ｌは、例え
ば約０．５ｍｍ以上である。第１のアライメントマーク
３８ａ，３８ｂおよび第２のアライメントマーク３９
ａ，３９ｂは、例えば、プラズマ電極をスクリーン印刷
にてガラス基板７に印刷する際に同時に印刷される。
尚、第１のアライメントマーク３８ａ，３８ｂおよび第
２のアライメントマーク３９ａ，３９ｂは、例えば、ガ
ラス基板７の表面のうちフリットシールが形成される領
域の外側に形成される。

【００３２】また、図５に示すように、スクリーン２０
には、ストライプ方向に延びる複数の画線部２４が相互
に平行なストライプ状のパターンで形成してあり、両側
端部付近にはストライプ方向に延びる直線上にアライメ
ントマーク４０ａ，４０ｂが形成してあり、この部分を
ペーストは通過できる。尚、アライメントマーク４０
ａ，４０ｂの図５中垂直方向および第１のアライメント
マーク３８ａ，３８ｂおよび第２のアライメントマーク
３９ａ，３９ｂの図４中垂直方向の位置は、ガラス基板
７の表面の所定の位置に画線部２４に応じたバリアリブ
が形成されるように予め設定してある。

【００３３】図６は、図１，図２に示すスクリーン２０
を移動する際の位置合わせの方法を示すフローチャート
である。 ステップＳ１：アライメントマークが印刷されていない
ガラス基板を本実施例に係わるバリアリブ形成（印刷）
装置の図示しないステージにセットし、図５に示すスク
リーン２０を用いて印刷を行う。この印刷によって、ス
テージにセットされたガラス基板の表面には、図５に示
すスクリーン２０のアライメントマーク４０ａ，４０ｂ
および画線部２４に応じたパターンが印刷される。

【００３４】ステップＳ２：バリアリブ形成装置は、ス
テップＳ２においてガラス基板に印刷されたアライメン
トマーク４０ａ，４０ｂのパターンを検出し、アライメ
ントマーク４０ａ，４０ｂの印刷位置を図示しない内部
メモリに記憶する。

【００３５】ステップＳ３：バリアリブを形成する図４
に示すガラス基板７をバリアリブ形成装置のステージに
セットし、図４に示すガラス基板７の表面に印刷された
第１のアライメントマーク３８ａ，３８ｂおよび第２の
アライメントマーク３９ａ，３９ｂの位置を検出する。
そして、バリアリブ形成装置は、当該検出結果とステッ
プＳ２において内部メモリに記憶されたスクリーン２０
のアライメントマーク４０ａ，４０ｂの印刷位置とに基
づいて、アライメントマーク４０ａ，４０ｂの印刷位置
がガラス基板７の第１のアライメントマーク３８ａ，３
８ｂの位置となるようにステージを移動し、ガラス基板
７を第１の位置に置く。

【００３６】ステップＳ４：スクリーン２０によるスク
リーン印刷を３回行い、図５に示す画線部２４のパター
ンに応じたストライプ状のパターンでバリアリブを構成
するペースト３６の層を形成する。

【００３７】ステップＳ５：バリアリブ形成装置は、ス
テップＳ３における検出結果とステップＳ２において内
部メモリに記憶されたスクリーン２０のアライメントマ
ーク４０ａ，４０ｂの印刷位置とに基づいて、アライメ
ントマーク４０ａ，４０ｂの印刷位置がガラス基板７の
第２のアライメントマーク３９ａ，３９ｂの位置となる
ようにステージを移動し、ガラス基板７を第２の位置に
置く。

【００３８】ステップＳ６：スクリーン２０によるスク
リーン印刷を３回行い、図５に示す画線部２４のパター
ンに応じたストライプ状のパターンでバリアリブを構成
するペースト３６の層をステップＳ４において形成した
層に積層して形成する。

【００３９】ステップＳ７：バリアリブ形成装置は、所
定の印刷回数を終了したか否かを判断し、終了したと判
断した場合には処理を終了し、そうでない場合にはステ
ップＳ３の処理を再び実行する。

【００４０】本実施例に係わるバリアリブ形成方法によ
れば、スクリーン印刷を３回行う毎に、ガラス基板７を
スクリーン２０に対してストライプ方向に正確に移動す
ることができる。また、本実施例のバリアリブ形成方法
を適用して製造されたプラズマ表示装置において、プラ
ズマ放電漏れが生じることを効果的に抑制できる。

【００４１】本発明は上述した実施例には限定されな
い。例えば、上述した実施例では、ストライプ状のパタ
ーンのバリアリブを形成する場合について説明したが、
プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）におけるマトリクス状
のパターンのバリアリブを形成する場合についても同様
に適用できる。

【００４２】また、上述した実施例では、ガラス基板７
を第１の位置と第２の位置とを移動させる場合について
例示したが、ガラス基板７をストライプ方向における３
箇所以上の位置において相互に移動させるようにしても
よい。この場合には、上述した第２実施例において、ガ
ラス基板７を移動させる箇所に応じた数のアライメント
マークをガラス基板７に印刷すればよい。

【００４３】また、上述した実施例では、ガラス基板７
を第２の位置に固定した状態でスクリーン印刷を３回行
う場合について例示したが、当該固定した状態でスクリ
ーン印刷を行う回数は、前回のスクリーン印刷において
生じた欠損部の深さが次のスクリーン印刷において埋め
ることができる程度のものであれば、特に限定されな
い。尚、この回数は、例えば１〜５回の間のいずれかの
回数に設定することが望ましい。

【００４４】また、上述した実施例では、ガラス基板７
をストライプ方向に移動させる場合について例示した
が、ガラス基板７を固定した状態にしておき、スクリー
ン２０をストライプ方向に移動させるようにしても同じ
効果が得られる。

【００４５】さらに、上述した第２実施例においては、
図６に示すステップＳ１，２において、試し刷りを行っ
てアライメントマーク４０ａ，４０ｂの印刷位置を記憶
する場合について例示したが、例えば、ＣＣＤカメラを
用いて正面側から撮像を行い、アライメントマーク４０
ａ，４０ｂと第１のアライメントマーク３８ａ，３８ｂ
あるいは第２のアライメントマーク３９ａ，３９ｂとが
一致するように、自動的にあるいは手動で、ガラス基板
７がセットされたステージを移動するようにしてもよ
い。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のバリアリ
ブ形成方法によれば、放電漏れの原因となる欠損部の無
いバリアリブを形成することができる。そのため、本発
明のバリアリブ形成方法を適用して製造されたプラズマ
表示装置において、プラズマ放電漏れが生じることを効
果的に抑制できる。また、本発明のバリアリブ形成方法
によれば、基板およびスクリーンの相対的な移動を正確
に行うことができ、バリアリブを正確なパターンで形成
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係わるスクリーンおよび
ガラス基板に形成されたバリアリブの欠損部が生じた部
分付近の断面図である。

【図２】図１に示すスクリーンの平面図である。

【図３】第１実施例に係わるプラズマアドレス表示装置
の部分断面構成図である。

【図４】本発明の第２実施例において、バリアリブを形
成するガラス基板の表面に形成されたアライメントマー
クを説明するための図である。

【図５】本発明の第２実施例におけるスクリーンに形成
されたアライメントマークを説明するための図である。

【図６】本発明の第２実施例において、図１，図２に示
すスクリーンを移動する際の位置合わせの方法を示すフ
ローチャートである。

【図７】バリアリブに生じた欠損部を説明するための概
略斜視図である。

【符号の説明】

７… ガラス基板 ８ａ，８ｂ，８ｃ… プラズマ室 １０ａ，１０ｂ… バリアリブ ２０… スクリーン ２１… プラズマアドレス表示装置 ２３… 乳剤部 ２４… 画線部 ２５… メッシュ ３６… ペースト ３８ａ，３８ｂ… 第１のアライメントマーク ３９ａ，３９ｂ… 第２のアライメントマーク ４０ａ，４０ｂ… アライメントマーク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−234515（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−150103（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−102518（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−109023（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02F 1/1333 H01J 9/00 - 9/52

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】プラズマ表示装置のプラズマ室を仕切るバ
   リアリブを形成するバリアリブ形成方法であって、 対象面に対してマスク手段を用いて印刷を所定の回数行
   って、バリアリブを構成するストライプ状の第１の層を
   形成し、 前記第１の層を形成後、前記ストライプ方向に０．５ｍ
   ｍ以上、前記対象面と前記マスク手段とを相対的に移動
   し、 前記移動後に、前記対象面に対してマスク手段を用いて
   印刷を所定の回数行って、バリアリブを構成する第２の
   層を形成するバリアリブ形成方法。
2. 【請求項２】前記マスク手段を用いて前記第２の層を形
   成する際の前記所定の回数は、前記第１の層に生じた欠
   損部の深さを埋めることができるように設定される請求
   項１に記載のバリアリブ形成方法。
3. 【請求項３】前記対象面には前記ストライプ方向に沿っ
   て位置する複数の第１のアライメントマークが形成して
   あり、 前記マスク手段には第２のアライメントマークが形成し
   てあり、 前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメン
   トマークとを用いて位置合わせを行って、前記対象面と
   前記マスク手段とを相対的に移動する請求項１または２
   に記載のバリアリブ形成方法。
4. 【請求項４】前記プラズマ表示装置はプラズマアドレス
   表示装置であり、 前記対象面はプラズマアドレス表示装置の基板表面であ
   り、 前記第１のアライメントマークは、前記基板表面のフリ
   ットシールが形成される部分の外側の領域に形成してあ
   る請求項３に記載のバリアリブ形成方法。