JP3360483B2 - プラズマ表示装置のバリアリブ形成方法 - Google Patents
プラズマ表示装置のバリアリブ形成方法Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プラズマ表示装置を製
造する過程においてガラス基板に絶縁性のバリアリブを
形成する方法に関する。
造する過程においてガラス基板に絶縁性のバリアリブを
形成する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、電気光学セルとして液晶セルを用
いたマトリクスタイプの電気光学装置、例えば液晶表示
装置を高解像度化、高コントラスト化するための手段と
しては、各画素毎に薄膜トランジスタなどのスイッチン
グ素子を設け、これを線順次で駆動するアクティブマト
リクスアドレス方式が一般に知られている。
いたマトリクスタイプの電気光学装置、例えば液晶表示
装置を高解像度化、高コントラスト化するための手段と
しては、各画素毎に薄膜トランジスタなどのスイッチン
グ素子を設け、これを線順次で駆動するアクティブマト
リクスアドレス方式が一般に知られている。
【0003】しかしながら、この場合、薄膜トランジス
タの様な半導体素子を基板上に多数設ける必要があり、
特に大面積化した時に製造歩留りが悪くなるという短所
がある。このため、最近、薄膜トランジスタなどがから
なるスイッチング素子に代えてプラズマ放電に基づくス
イッチを利用して電気光学セルを駆動するプラズマスイ
ッチを利用する方式が提唱されている。
タの様な半導体素子を基板上に多数設ける必要があり、
特に大面積化した時に製造歩留りが悪くなるという短所
がある。このため、最近、薄膜トランジスタなどがから
なるスイッチング素子に代えてプラズマ放電に基づくス
イッチを利用して電気光学セルを駆動するプラズマスイ
ッチを利用する方式が提唱されている。
【0004】このプラズマアドレス表示装置は、ガラス
基板の上に複数のストライプ状のバリアリブが例えば4
00μm程度の間隔で相互に平行なパターンで形成して
あり、バリアリブ相互間に設けられたプラズマ室内に放
電を発生させて誘電体シートを略アノード電位とし、誘
電体シートとデータ電極との間の電位差によって液晶層
を駆動する。
基板の上に複数のストライプ状のバリアリブが例えば4
00μm程度の間隔で相互に平行なパターンで形成して
あり、バリアリブ相互間に設けられたプラズマ室内に放
電を発生させて誘電体シートを略アノード電位とし、誘
電体シートとデータ電極との間の電位差によって液晶層
を駆動する。
【0005】このようなプラズマアドレス表示装置のバ
リアリブは、例えば、スクリーン印刷を複数回行って複
数の層を積層してガラス基板に形成される。スクリーン
印刷において用いられるスクリーンは、硬化した乳材部
が形成してある非画線部と、前記非画線部によって規定
され、印刷面側にメッシュが露出している画線部とから
なる。スクリーン印刷においては、印刷面と反対側に塗
布されたペーストが当該反対側から印刷面側に向かって
押圧され、メッシュを介して、ペーストが印刷面側に押
し出される。当該押し出されたペーストは、前回印刷さ
れた層の表面に積層(印刷)する。そして、スクリーン
に対するガラス基板の位置を固定した状態で、印刷を複
数回行うことによって、画線部に応じたストライプ状の
パターンで、バリアリブが形成される。このとき、一回
のスクリーン印刷によって形成されるペーストの層厚は
例えば10〜20μm程度であり、バリアリブ10bの
層厚は例えば100〜300μm程度である。
リアリブは、例えば、スクリーン印刷を複数回行って複
数の層を積層してガラス基板に形成される。スクリーン
印刷において用いられるスクリーンは、硬化した乳材部
が形成してある非画線部と、前記非画線部によって規定
され、印刷面側にメッシュが露出している画線部とから
なる。スクリーン印刷においては、印刷面と反対側に塗
布されたペーストが当該反対側から印刷面側に向かって
押圧され、メッシュを介して、ペーストが印刷面側に押
し出される。当該押し出されたペーストは、前回印刷さ
れた層の表面に積層(印刷)する。そして、スクリーン
に対するガラス基板の位置を固定した状態で、印刷を複
数回行うことによって、画線部に応じたストライプ状の
パターンで、バリアリブが形成される。このとき、一回
のスクリーン印刷によって形成されるペーストの層厚は
例えば10〜20μm程度であり、バリアリブ10bの
層厚は例えば100〜300μm程度である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、スクリーン
印刷によってガラス基板にバリアリブを積層印刷する過
程において、スクリーンの画線部に露出したメッシュの
開口部にゴミなどが詰まる目詰まりが生じ、当該目詰ま
りが生じた開口部を介してペーストが前回印刷された層
の表面に向かって押し出されないことがある。スクリー
ン印刷を複数回行う際に、このような目詰まりが生じる
と、その後、当該目詰まりが生じた開口部に対応する位
置にペーストが積層されず、バリアリブ形成後、図7に
示すようにバリアリブ10bに欠損部11が生じること
がある。
印刷によってガラス基板にバリアリブを積層印刷する過
程において、スクリーンの画線部に露出したメッシュの
開口部にゴミなどが詰まる目詰まりが生じ、当該目詰ま
りが生じた開口部を介してペーストが前回印刷された層
の表面に向かって押し出されないことがある。スクリー
ン印刷を複数回行う際に、このような目詰まりが生じる
と、その後、当該目詰まりが生じた開口部に対応する位
置にペーストが積層されず、バリアリブ形成後、図7に
示すようにバリアリブ10bに欠損部11が生じること
がある。
【0007】このようにバリアリブ10bに欠損部11
が生じると、欠損部11を介してバリアリブ10bの両
側に位置するプラズマ室8b,8c相互間が連結される
ことから、例えば、プラズマ室8b,8cのうち一方に
おいて生じた放電状態が他方に伝達される放電漏れが生
じ、当該他方のプラズマ室に対応する液晶層に書き込ま
れていた正常なデータが書き換えられてしまうことがあ
る。
が生じると、欠損部11を介してバリアリブ10bの両
側に位置するプラズマ室8b,8c相互間が連結される
ことから、例えば、プラズマ室8b,8cのうち一方に
おいて生じた放電状態が他方に伝達される放電漏れが生
じ、当該他方のプラズマ室に対応する液晶層に書き込ま
れていた正常なデータが書き換えられてしまうことがあ
る。
【0008】ところで、メッシュの開口部に目詰まりが
生じたら、メッシュを洗浄するなどして、当該目詰まり
を除去することは可能であるが、当該目詰まりが生じた
開口部を目視で発見することは容易ではなく、このよう
な開口部の目詰まりの除去ができない場合もある。
生じたら、メッシュを洗浄するなどして、当該目詰まり
を除去することは可能であるが、当該目詰まりが生じた
開口部を目視で発見することは容易ではなく、このよう
な開口部の目詰まりの除去ができない場合もある。
【0009】尚、従来から、スクリーン印刷を行って形
成されたバリアリブの表面に転写された、スクリーンの
メッシュのパターンに応じた格子状の模様の跡を消す目
的で、基板をスクリーンのメッシュのピッチの半分程
度、すなわち数十μm程度でスクーリーンに対して移動
させることは行われていた。しかしながら、バリアリブ
の欠損部は、約0.1mm程度の長さにわたって生じる
ことが多いため、この手法では、放電漏れの原因となる
欠損部の発生を防止することはできない。
成されたバリアリブの表面に転写された、スクリーンの
メッシュのパターンに応じた格子状の模様の跡を消す目
的で、基板をスクリーンのメッシュのピッチの半分程
度、すなわち数十μm程度でスクーリーンに対して移動
させることは行われていた。しかしながら、バリアリブ
の欠損部は、約0.1mm程度の長さにわたって生じる
ことが多いため、この手法では、放電漏れの原因となる
欠損部の発生を防止することはできない。
【0010】上述した問題と同様な問題は、マトリクス
状のプラズマ室を規定するバリアリブを有するプラズマ
ディスプレイ(PDP)においても生じている。
状のプラズマ室を規定するバリアリブを有するプラズマ
ディスプレイ(PDP)においても生じている。
【0011】本発明は、上述した従来技術の問題点に鑑
みてなされ、バリアリブを形成する際に、放電漏れの原
因となる欠損部の発生を防止することができるバリアリ
ブ形成方法を提供することを目的とする。
みてなされ、バリアリブを形成する際に、放電漏れの原
因となる欠損部の発生を防止することができるバリアリ
ブ形成方法を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上述した従来技術の問題
点を解決し、上述した目的を達成するために、本発明の
バリアリブ形成方法は、対象面に対してマスク手段を用
いて印刷を所定の回数行って、バリアリブを構成するス
トライプ状の第1の層を形成し、前記第1の層を形成
後、前記ストライプ方向に0.5mm以上、前記対象面
と前記マスク手段とを相対的に移動し、前記移動後に、
前記対象面に対してマスク手段を用いて印刷を所定の回
数行って、バリアリブを構成する第2の層を形成する。
点を解決し、上述した目的を達成するために、本発明の
バリアリブ形成方法は、対象面に対してマスク手段を用
いて印刷を所定の回数行って、バリアリブを構成するス
トライプ状の第1の層を形成し、前記第1の層を形成
後、前記ストライプ方向に0.5mm以上、前記対象面
と前記マスク手段とを相対的に移動し、前記移動後に、
前記対象面に対してマスク手段を用いて印刷を所定の回
数行って、バリアリブを構成する第2の層を形成する。
【0013】また、本発明のバリアリブ形成方法は、好
ましくは、前記マスク手段を用いて前記第2の層を形成
する際の前記所定の回数は、前記第1の層に生じた欠損
部の深さを埋めることができるように設定される。
ましくは、前記マスク手段を用いて前記第2の層を形成
する際の前記所定の回数は、前記第1の層に生じた欠損
部の深さを埋めることができるように設定される。
【0014】また、本発明のバリアリブ形成方法は、好
ましくは、前記対象面には前記ストライプ方向に沿って
位置する複数の第1のアライメントマークが形成してあ
り、前記マスク手段には第2のアライメントマークが形
成してあり、前記第1のアライメントマークと前記第2
のアライメントマークとを用いて位置合わせを行って、
前記対象面と前記マスク手段とを相対的に移動する。
ましくは、前記対象面には前記ストライプ方向に沿って
位置する複数の第1のアライメントマークが形成してあ
り、前記マスク手段には第2のアライメントマークが形
成してあり、前記第1のアライメントマークと前記第2
のアライメントマークとを用いて位置合わせを行って、
前記対象面と前記マスク手段とを相対的に移動する。
【0015】さらに、本発明のバリアリブ形成方法は、
好ましくは、前記プラズマ表示装置はプラズマアドレス
表示装置であり、前記対象面はプラズマアドレス表示装
置の基板表面であり、前記第1のアライメントマーク
は、前記基板表面のフリットシールが形成される部分の
外側の領域に形成してある。
好ましくは、前記プラズマ表示装置はプラズマアドレス
表示装置であり、前記対象面はプラズマアドレス表示装
置の基板表面であり、前記第1のアライメントマーク
は、前記基板表面のフリットシールが形成される部分の
外側の領域に形成してある。
【0016】
【作用】本発明のバリアリブ形成方法では、対象面に対
してマスク手段を用いて印刷を所定の回数行って、バリ
アリブを構成するストライプ状の第1の層を形成し、前
記第1の層を形成後、前記ストライプ方向に0.5mm
以上、前記対象面と前記マスク手段とを相対的に移動す
る。この移動によって、マスク手段のある開口部に目詰
まりが生じていた場合に、前記目詰まりが生じた開口部
が、前記対象面の異なる位置に移動する。
してマスク手段を用いて印刷を所定の回数行って、バリ
アリブを構成するストライプ状の第1の層を形成し、前
記第1の層を形成後、前記ストライプ方向に0.5mm
以上、前記対象面と前記マスク手段とを相対的に移動す
る。この移動によって、マスク手段のある開口部に目詰
まりが生じていた場合に、前記目詰まりが生じた開口部
が、前記対象面の異なる位置に移動する。
【0017】このとき、マスク手段の開口部のうち目詰
まりが生じている開口部の数は通常非常に少ないことか
ら、第1の層を形成したときに前記目詰まりが生じた開
口部が位置したことで所定の印刷が行われなかった対象
面の位置には、前記マスク手段の目詰まりが生じていな
い開口部が極めて高い確率で位置する。また、前記第1
の層の層厚は比較的薄いことから、前記目詰まりによっ
て生じる欠損部の深さも比較的浅い。
まりが生じている開口部の数は通常非常に少ないことか
ら、第1の層を形成したときに前記目詰まりが生じた開
口部が位置したことで所定の印刷が行われなかった対象
面の位置には、前記マスク手段の目詰まりが生じていな
い開口部が極めて高い確率で位置する。また、前記第1
の層の層厚は比較的薄いことから、前記目詰まりによっ
て生じる欠損部の深さも比較的浅い。
【0018】そして、前記移動後に、前記対象面に対し
てマスク手段を用いて印刷を所定の回数行って、バリア
リブを構成する第2の層を形成する。このとき、前記第
1の層に生じた欠損部の深さが比較的浅いことから、前
記第2の層を形成するペーストが、前回の印刷において
生じた前記第1の層の欠損部の底部に流れ込み、前記欠
損部が埋められる。
てマスク手段を用いて印刷を所定の回数行って、バリア
リブを構成する第2の層を形成する。このとき、前記第
1の層に生じた欠損部の深さが比較的浅いことから、前
記第2の層を形成するペーストが、前回の印刷において
生じた前記第1の層の欠損部の底部に流れ込み、前記欠
損部が埋められる。
【0019】
【実施例】以下、本発明の実施例に係わるバリアリブ形
成方法について説明する。第1実施例 先ず、製造過程において、本実施例に係わるバリアリブ
形成方法の対象となるプラズマアドレス表示装置につい
て説明する。図3は、本実施例に係わるプラズマアドレ
ス表示装置21の部分断面構成図である。図3に示すよ
うに、プラズマアドレス表示装置21は、液晶セル1
と、プラズマセル2と、それらの間に介在する誘電体シ
ート3とを積層したフラットパネル構造をしている。液
晶セル1は、図3中紙面垂直方向に所定の間隔で設けら
れ左右方向に延びた複数のデータ電極(行電極)5と、
誘電体シート3とデータ電極5との間に介在し、液晶が
充填された液晶層6とを有する。液晶層6は、例えば捩
じれネマティック(TN:Twisted Nematic )配列セル
を用いて構成されている。
成方法について説明する。第1実施例 先ず、製造過程において、本実施例に係わるバリアリブ
形成方法の対象となるプラズマアドレス表示装置につい
て説明する。図3は、本実施例に係わるプラズマアドレ
ス表示装置21の部分断面構成図である。図3に示すよ
うに、プラズマアドレス表示装置21は、液晶セル1
と、プラズマセル2と、それらの間に介在する誘電体シ
ート3とを積層したフラットパネル構造をしている。液
晶セル1は、図3中紙面垂直方向に所定の間隔で設けら
れ左右方向に延びた複数のデータ電極(行電極)5と、
誘電体シート3とデータ電極5との間に介在し、液晶が
充填された液晶層6とを有する。液晶層6は、例えば捩
じれネマティック(TN:Twisted Nematic )配列セル
を用いて構成されている。
【0020】プラズマセル2は、ガラス基板7、プラズ
マ室8a〜8c、カソード電極9Ka、アノード電極9
Aa,9Abおよびバリアリブ10a,10bを有す
る。ガラス基板7の図3中上には、紙面垂直方向に延び
たストライプ状のパターンでカソード電極9Kおよびア
ノード電極9Aが形成してある。また、ガラス基板7の
上には、ストライプ状のパターンで、誘電体シート3の
下面に達するバリアリブ10a,10bが形成してあ
る。バリアリブ10a,10bは絶縁体を用いて形成し
てある。カソード電極9Kおよびアノード電極9Aは、
プラズマ室8a〜8c内に露出している。
マ室8a〜8c、カソード電極9Ka、アノード電極9
Aa,9Abおよびバリアリブ10a,10bを有す
る。ガラス基板7の図3中上には、紙面垂直方向に延び
たストライプ状のパターンでカソード電極9Kおよびア
ノード電極9Aが形成してある。また、ガラス基板7の
上には、ストライプ状のパターンで、誘電体シート3の
下面に達するバリアリブ10a,10bが形成してあ
る。バリアリブ10a,10bは絶縁体を用いて形成し
てある。カソード電極9Kおよびアノード電極9Aは、
プラズマ室8a〜8c内に露出している。
【0021】誘電体シート3、ガラス基板7およびバリ
アリブ10a,10bによって個々に密閉されたプラズ
マ室8bには、イオン化可能なガスが封入してある。こ
のガスとしては、例えばヘリウム、ネオン、アルゴンあ
るいはこれらの混合ガスなどが使用される。
アリブ10a,10bによって個々に密閉されたプラズ
マ室8bには、イオン化可能なガスが封入してある。こ
のガスとしては、例えばヘリウム、ネオン、アルゴンあ
るいはこれらの混合ガスなどが使用される。
【0022】以上の構成において、例えば、図3に示す
プラズマ室8bに対応するカソード電極9Kおよびアノ
ード電極9Aに所定の電圧が印加されると、カソード電
極9Kおよびアノード電極9Aがそれぞれカソードおよ
びアノードとして作用し、プラズマ室8bの部分のガス
が選択的にイオン化されてプラズマ直流(DC)放電が
発生し、その内部は略アノード電位に維持される。この
状態で、データ電極5にデータ電圧が印加されると、プ
ラズマ室8bに対応する画素の液晶層6に誘電体シート
3を介してデータ電圧が書き込まれる。プラズマ放電が
終了すると、プラズマ室8bは浮遊電位となり、対応す
る画素の液晶層6に書き込まれた電圧は、次の書き込み
期間(例えば1フレーム後)まで保持される。このと
き、プラズマ室8bはサンプリングスイッチとして機能
し、各画素の液晶層6はサンプリングキャパシタとして
機能している。
プラズマ室8bに対応するカソード電極9Kおよびアノ
ード電極9Aに所定の電圧が印加されると、カソード電
極9Kおよびアノード電極9Aがそれぞれカソードおよ
びアノードとして作用し、プラズマ室8bの部分のガス
が選択的にイオン化されてプラズマ直流(DC)放電が
発生し、その内部は略アノード電位に維持される。この
状態で、データ電極5にデータ電圧が印加されると、プ
ラズマ室8bに対応する画素の液晶層6に誘電体シート
3を介してデータ電圧が書き込まれる。プラズマ放電が
終了すると、プラズマ室8bは浮遊電位となり、対応す
る画素の液晶層6に書き込まれた電圧は、次の書き込み
期間(例えば1フレーム後)まで保持される。このと
き、プラズマ室8bはサンプリングスイッチとして機能
し、各画素の液晶層6はサンプリングキャパシタとして
機能している。
【0023】各画素の液晶層6に対してデータ電極5か
ら書き込まれたデータ電圧によって液晶が動作すること
から画素単位で表示が行われる。従って、プラズマ放電
を発生させて列方向に並ぶ複数の画素の液晶層6にデー
タ電圧を書き込む一対のプラズマ室を行方向に順次走査
していくことで、二次元画像の表示を行うことができ
る。
ら書き込まれたデータ電圧によって液晶が動作すること
から画素単位で表示が行われる。従って、プラズマ放電
を発生させて列方向に並ぶ複数の画素の液晶層6にデー
タ電圧を書き込む一対のプラズマ室を行方向に順次走査
していくことで、二次元画像の表示を行うことができ
る。
【0024】次に、本実施例に係わるバリアリブ形成方
法を用いて、図3に示すプラズマアドレス表示装置21
のバリアリブ10a,10bを形成する場合について説
明する。図1(A)はスクリーン20を用いてガラス基
板7にバリアリブ10bを形成していく過程を説明して
いくための部分断面図、図1(B)は図1(A)に示す
断面線A−Aにおける部分断面図である。本実施例に係
わるバリアリブ形成方法では、図1に示すように、スク
リーン20の乳剤部23が形成されていない画線部24
に露出したメッシュ25を介して、バリアリブ形成用の
ペースト36を複数回積層することで、ガラス基板7の
上に複数のバリアリブ10b等を相互に平行になるよう
にストライプ状に形成する。このようにバリアリブを形
成する過程において、メッシュ25の一部の開口部22
に目詰まりが生じ、当該開口部22をペースト36が透
過できなくなることがある。メッシュ25は、例えば、
一片が例えば40〜100μm程度の略正方形の開口部
を形成するように、直径約20〜30μmの線状部材を
格子状に配設して構成される。乳剤部23は光硬化性の
レジストを硬化させたものである。ペースト36として
は鉛ガラス粉末とセルロース系の樹脂を有機溶剤に分散
させたものなどを用いている。
法を用いて、図3に示すプラズマアドレス表示装置21
のバリアリブ10a,10bを形成する場合について説
明する。図1(A)はスクリーン20を用いてガラス基
板7にバリアリブ10bを形成していく過程を説明して
いくための部分断面図、図1(B)は図1(A)に示す
断面線A−Aにおける部分断面図である。本実施例に係
わるバリアリブ形成方法では、図1に示すように、スク
リーン20の乳剤部23が形成されていない画線部24
に露出したメッシュ25を介して、バリアリブ形成用の
ペースト36を複数回積層することで、ガラス基板7の
上に複数のバリアリブ10b等を相互に平行になるよう
にストライプ状に形成する。このようにバリアリブを形
成する過程において、メッシュ25の一部の開口部22
に目詰まりが生じ、当該開口部22をペースト36が透
過できなくなることがある。メッシュ25は、例えば、
一片が例えば40〜100μm程度の略正方形の開口部
を形成するように、直径約20〜30μmの線状部材を
格子状に配設して構成される。乳剤部23は光硬化性の
レジストを硬化させたものである。ペースト36として
は鉛ガラス粉末とセルロース系の樹脂を有機溶剤に分散
させたものなどを用いている。
【0025】本実施例のバリアリブ形成方法では、ガラ
ス基板7を第1の位置において固定した状態でスクリー
ン20によるスクリーン印刷を例えば3回行い、ペース
ト36によるストライプ状の層を3層形成する。スクリ
ーン印刷においては、印刷面と反対側に塗布されたペー
スト36が当該反対側から印刷面側に向かって押圧さ
れ、メッシュ25の開口部を介して、ペースト36が印
刷面側に押し出される。当該押し出されたペースト36
は、前回印刷された層の表面に積層(印刷)する。この
とき、一回のスクリーン印刷によって形成されるペース
ト36の層厚は、例えば、10〜30μm程度である。
ス基板7を第1の位置において固定した状態でスクリー
ン20によるスクリーン印刷を例えば3回行い、ペース
ト36によるストライプ状の層を3層形成する。スクリ
ーン印刷においては、印刷面と反対側に塗布されたペー
スト36が当該反対側から印刷面側に向かって押圧さ
れ、メッシュ25の開口部を介して、ペースト36が印
刷面側に押し出される。当該押し出されたペースト36
は、前回印刷された層の表面に積層(印刷)する。この
とき、一回のスクリーン印刷によって形成されるペース
ト36の層厚は、例えば、10〜30μm程度である。
【0026】その後、ガラス基板7を図1(B),図2
に示すように、ストライプ方向に約0.5mm以上移動
(シフト)させ、移動後の第2の位置において、スクリ
ーン20によるスクリーン印刷を3回行い、ペースト3
6によるストライプ状の層を3層形成する。以後、ガラ
ス基板7を第1の位置および第2の位置に交互に移動し
て、それぞれの位置において3回づつスクリーン印刷を
行い、バリアリブ10b等を形成する。ここで、バリア
リブ10b等の層厚は例えば100〜300μm程度で
ある。
に示すように、ストライプ方向に約0.5mm以上移動
(シフト)させ、移動後の第2の位置において、スクリ
ーン20によるスクリーン印刷を3回行い、ペースト3
6によるストライプ状の層を3層形成する。以後、ガラ
ス基板7を第1の位置および第2の位置に交互に移動し
て、それぞれの位置において3回づつスクリーン印刷を
行い、バリアリブ10b等を形成する。ここで、バリア
リブ10b等の層厚は例えば100〜300μm程度で
ある。
【0027】本実施例のバリアリブ形成方法では、ガラ
ス基板7を第1の位置に固定した状態で3回のみ印刷を
行い、その後ガラス基板7をストライプ方向に移動させ
ることから、メッシュ25の開口部22に目詰まりが生
じた場合でも、当該第1の位置における開口部22の位
置に発生する欠損部11aの深さは30〜60μm程度
である。また、ガラス基板7を第2の位置に移動させた
後には、メッシュ25の目詰まりが生じた開口部22は
第1の位置における場合とは別の位置に移動する。この
場合、ガラス基板7が第2の位置にあるときに、ガラス
基板7が第1の位置にあったときの開口部22の位置
に、目詰まりが生じた別の開口部が位置する可能性は極
めて低い。
ス基板7を第1の位置に固定した状態で3回のみ印刷を
行い、その後ガラス基板7をストライプ方向に移動させ
ることから、メッシュ25の開口部22に目詰まりが生
じた場合でも、当該第1の位置における開口部22の位
置に発生する欠損部11aの深さは30〜60μm程度
である。また、ガラス基板7を第2の位置に移動させた
後には、メッシュ25の目詰まりが生じた開口部22は
第1の位置における場合とは別の位置に移動する。この
場合、ガラス基板7が第2の位置にあるときに、ガラス
基板7が第1の位置にあったときの開口部22の位置
に、目詰まりが生じた別の開口部が位置する可能性は極
めて低い。
【0028】すなわち、ガラス基板7を第2の位置に置
いて印刷を行うときには、前回ガラス基板7を第1の位
置において印刷を行ったときに生じた欠損部11aの位
置には、極めて高い確率で、目詰まりが生じていない正
常な開口部が位置し、ペースト36によって欠損部11
aが埋められる。このとき、欠損部11aの深さは30
〜60μmと浅いことから、メッシュ25の開口部を透
過したペースト36は、前回のスクリーン印刷において
生じた欠損部11aの底部に到達し、前回の印刷におい
て生じた欠損部11aが正確に埋められる。
いて印刷を行うときには、前回ガラス基板7を第1の位
置において印刷を行ったときに生じた欠損部11aの位
置には、極めて高い確率で、目詰まりが生じていない正
常な開口部が位置し、ペースト36によって欠損部11
aが埋められる。このとき、欠損部11aの深さは30
〜60μmと浅いことから、メッシュ25の開口部を透
過したペースト36は、前回のスクリーン印刷において
生じた欠損部11aの底部に到達し、前回の印刷におい
て生じた欠損部11aが正確に埋められる。
【0029】すなわち、本実施例に係わるバリアリブ形
成方法によれば、ペースト36の層を3層形成する毎
に、ガラス基板7を第1の位置と第2の位置とで交互に
移動させることから、ガラス基板を最初から最後まで固
定をした状態で印刷を行ってバリアリブを形成する場合
に比べて、欠損部の深さの増大を抑制できる。このよう
にして製造されたバリアリブは、スクリーン印刷の過程
においてメッシュ25の開口部に目詰まりが生じた場合
であっても、放電漏れの原因となるほど深い欠損部が生
じることはない。
成方法によれば、ペースト36の層を3層形成する毎
に、ガラス基板7を第1の位置と第2の位置とで交互に
移動させることから、ガラス基板を最初から最後まで固
定をした状態で印刷を行ってバリアリブを形成する場合
に比べて、欠損部の深さの増大を抑制できる。このよう
にして製造されたバリアリブは、スクリーン印刷の過程
においてメッシュ25の開口部に目詰まりが生じた場合
であっても、放電漏れの原因となるほど深い欠損部が生
じることはない。
【0030】上述したように、本実施例のバリアリブ形
成方法によれば、バリアリブを形成した際に、バリアリ
ブに放電漏の原因となる欠損部が発生することを効果的
に抑制できる。
成方法によれば、バリアリブを形成した際に、バリアリ
ブに放電漏の原因となる欠損部が発生することを効果的
に抑制できる。
【0031】第2実施例 本実施例のバリアリブ形成方法は、基本的には前述した
ものと同じであるが、図1,図2に示すガラス基板7を
ストライプ方向に移動する際の位置合わせ手法を具体的
に示す。図4はバリアリブを形成するガラス基板7の表
面に形成されたアライメントマークを説明するための
図、図5はスクリーン20に形成されたアライメントマ
ークを説明するための図である。図4に示すように、ガ
ラス基板7の表面の図中右端部付近に第1のアライメン
トマーク38aと第2のアライメントマーク39aとが
ストライプ方向(図中左右方向)に延びる直線上に間隔
Lで印刷してある。また、ガラス基板7の表面の図中左
端部付近に第1のアライメントマーク38bと第2のア
ライメントマーク39bとがストライプ方向に延びる直
線上に間隔Lで印刷してある。ここで、間隔Lは、例え
ば約0.5mm以上である。第1のアライメントマーク
38a,38bおよび第2のアライメントマーク39
a,39bは、例えば、プラズマ電極をスクリーン印刷
にてガラス基板7に印刷する際に同時に印刷される。
尚、第1のアライメントマーク38a,38bおよび第
2のアライメントマーク39a,39bは、例えば、ガ
ラス基板7の表面のうちフリットシールが形成される領
域の外側に形成される。
ものと同じであるが、図1,図2に示すガラス基板7を
ストライプ方向に移動する際の位置合わせ手法を具体的
に示す。図4はバリアリブを形成するガラス基板7の表
面に形成されたアライメントマークを説明するための
図、図5はスクリーン20に形成されたアライメントマ
ークを説明するための図である。図4に示すように、ガ
ラス基板7の表面の図中右端部付近に第1のアライメン
トマーク38aと第2のアライメントマーク39aとが
ストライプ方向(図中左右方向)に延びる直線上に間隔
Lで印刷してある。また、ガラス基板7の表面の図中左
端部付近に第1のアライメントマーク38bと第2のア
ライメントマーク39bとがストライプ方向に延びる直
線上に間隔Lで印刷してある。ここで、間隔Lは、例え
ば約0.5mm以上である。第1のアライメントマーク
38a,38bおよび第2のアライメントマーク39
a,39bは、例えば、プラズマ電極をスクリーン印刷
にてガラス基板7に印刷する際に同時に印刷される。
尚、第1のアライメントマーク38a,38bおよび第
2のアライメントマーク39a,39bは、例えば、ガ
ラス基板7の表面のうちフリットシールが形成される領
域の外側に形成される。
【0032】また、図5に示すように、スクリーン20
には、ストライプ方向に延びる複数の画線部24が相互
に平行なストライプ状のパターンで形成してあり、両側
端部付近にはストライプ方向に延びる直線上にアライメ
ントマーク40a,40bが形成してあり、この部分を
ペーストは通過できる。尚、アライメントマーク40
a,40bの図5中垂直方向および第1のアライメント
マーク38a,38bおよび第2のアライメントマーク
39a,39bの図4中垂直方向の位置は、ガラス基板
7の表面の所定の位置に画線部24に応じたバリアリブ
が形成されるように予め設定してある。
には、ストライプ方向に延びる複数の画線部24が相互
に平行なストライプ状のパターンで形成してあり、両側
端部付近にはストライプ方向に延びる直線上にアライメ
ントマーク40a,40bが形成してあり、この部分を
ペーストは通過できる。尚、アライメントマーク40
a,40bの図5中垂直方向および第1のアライメント
マーク38a,38bおよび第2のアライメントマーク
39a,39bの図4中垂直方向の位置は、ガラス基板
7の表面の所定の位置に画線部24に応じたバリアリブ
が形成されるように予め設定してある。
【0033】図6は、図1,図2に示すスクリーン20
を移動する際の位置合わせの方法を示すフローチャート
である。 ステップS1:アライメントマークが印刷されていない
ガラス基板を本実施例に係わるバリアリブ形成(印刷)
装置の図示しないステージにセットし、図5に示すスク
リーン20を用いて印刷を行う。この印刷によって、ス
テージにセットされたガラス基板の表面には、図5に示
すスクリーン20のアライメントマーク40a,40b
および画線部24に応じたパターンが印刷される。
を移動する際の位置合わせの方法を示すフローチャート
である。 ステップS1:アライメントマークが印刷されていない
ガラス基板を本実施例に係わるバリアリブ形成(印刷)
装置の図示しないステージにセットし、図5に示すスク
リーン20を用いて印刷を行う。この印刷によって、ス
テージにセットされたガラス基板の表面には、図5に示
すスクリーン20のアライメントマーク40a,40b
および画線部24に応じたパターンが印刷される。
【0034】ステップS2:バリアリブ形成装置は、ス
テップS2においてガラス基板に印刷されたアライメン
トマーク40a,40bのパターンを検出し、アライメ
ントマーク40a,40bの印刷位置を図示しない内部
メモリに記憶する。
テップS2においてガラス基板に印刷されたアライメン
トマーク40a,40bのパターンを検出し、アライメ
ントマーク40a,40bの印刷位置を図示しない内部
メモリに記憶する。
【0035】ステップS3:バリアリブを形成する図4
に示すガラス基板7をバリアリブ形成装置のステージに
セットし、図4に示すガラス基板7の表面に印刷された
第1のアライメントマーク38a,38bおよび第2の
アライメントマーク39a,39bの位置を検出する。
そして、バリアリブ形成装置は、当該検出結果とステッ
プS2において内部メモリに記憶されたスクリーン20
のアライメントマーク40a,40bの印刷位置とに基
づいて、アライメントマーク40a,40bの印刷位置
がガラス基板7の第1のアライメントマーク38a,3
8bの位置となるようにステージを移動し、ガラス基板
7を第1の位置に置く。
に示すガラス基板7をバリアリブ形成装置のステージに
セットし、図4に示すガラス基板7の表面に印刷された
第1のアライメントマーク38a,38bおよび第2の
アライメントマーク39a,39bの位置を検出する。
そして、バリアリブ形成装置は、当該検出結果とステッ
プS2において内部メモリに記憶されたスクリーン20
のアライメントマーク40a,40bの印刷位置とに基
づいて、アライメントマーク40a,40bの印刷位置
がガラス基板7の第1のアライメントマーク38a,3
8bの位置となるようにステージを移動し、ガラス基板
7を第1の位置に置く。
【0036】ステップS4:スクリーン20によるスク
リーン印刷を3回行い、図5に示す画線部24のパター
ンに応じたストライプ状のパターンでバリアリブを構成
するペースト36の層を形成する。
リーン印刷を3回行い、図5に示す画線部24のパター
ンに応じたストライプ状のパターンでバリアリブを構成
するペースト36の層を形成する。
【0037】ステップS5:バリアリブ形成装置は、ス
テップS3における検出結果とステップS2において内
部メモリに記憶されたスクリーン20のアライメントマ
ーク40a,40bの印刷位置とに基づいて、アライメ
ントマーク40a,40bの印刷位置がガラス基板7の
第2のアライメントマーク39a,39bの位置となる
ようにステージを移動し、ガラス基板7を第2の位置に
置く。
テップS3における検出結果とステップS2において内
部メモリに記憶されたスクリーン20のアライメントマ
ーク40a,40bの印刷位置とに基づいて、アライメ
ントマーク40a,40bの印刷位置がガラス基板7の
第2のアライメントマーク39a,39bの位置となる
ようにステージを移動し、ガラス基板7を第2の位置に
置く。
【0038】ステップS6:スクリーン20によるスク
リーン印刷を3回行い、図5に示す画線部24のパター
ンに応じたストライプ状のパターンでバリアリブを構成
するペースト36の層をステップS4において形成した
層に積層して形成する。
リーン印刷を3回行い、図5に示す画線部24のパター
ンに応じたストライプ状のパターンでバリアリブを構成
するペースト36の層をステップS4において形成した
層に積層して形成する。
【0039】ステップS7:バリアリブ形成装置は、所
定の印刷回数を終了したか否かを判断し、終了したと判
断した場合には処理を終了し、そうでない場合にはステ
ップS3の処理を再び実行する。
定の印刷回数を終了したか否かを判断し、終了したと判
断した場合には処理を終了し、そうでない場合にはステ
ップS3の処理を再び実行する。
【0040】本実施例に係わるバリアリブ形成方法によ
れば、スクリーン印刷を3回行う毎に、ガラス基板7を
スクリーン20に対してストライプ方向に正確に移動す
ることができる。また、本実施例のバリアリブ形成方法
を適用して製造されたプラズマ表示装置において、プラ
ズマ放電漏れが生じることを効果的に抑制できる。
れば、スクリーン印刷を3回行う毎に、ガラス基板7を
スクリーン20に対してストライプ方向に正確に移動す
ることができる。また、本実施例のバリアリブ形成方法
を適用して製造されたプラズマ表示装置において、プラ
ズマ放電漏れが生じることを効果的に抑制できる。
【0041】本発明は上述した実施例には限定されな
い。例えば、上述した実施例では、ストライプ状のパタ
ーンのバリアリブを形成する場合について説明したが、
プラズマディスプレイ(PDP)におけるマトリクス状
のパターンのバリアリブを形成する場合についても同様
に適用できる。
い。例えば、上述した実施例では、ストライプ状のパタ
ーンのバリアリブを形成する場合について説明したが、
プラズマディスプレイ(PDP)におけるマトリクス状
のパターンのバリアリブを形成する場合についても同様
に適用できる。
【0042】また、上述した実施例では、ガラス基板7
を第1の位置と第2の位置とを移動させる場合について
例示したが、ガラス基板7をストライプ方向における3
箇所以上の位置において相互に移動させるようにしても
よい。この場合には、上述した第2実施例において、ガ
ラス基板7を移動させる箇所に応じた数のアライメント
マークをガラス基板7に印刷すればよい。
を第1の位置と第2の位置とを移動させる場合について
例示したが、ガラス基板7をストライプ方向における3
箇所以上の位置において相互に移動させるようにしても
よい。この場合には、上述した第2実施例において、ガ
ラス基板7を移動させる箇所に応じた数のアライメント
マークをガラス基板7に印刷すればよい。
【0043】また、上述した実施例では、ガラス基板7
を第2の位置に固定した状態でスクリーン印刷を3回行
う場合について例示したが、当該固定した状態でスクリ
ーン印刷を行う回数は、前回のスクリーン印刷において
生じた欠損部の深さが次のスクリーン印刷において埋め
ることができる程度のものであれば、特に限定されな
い。尚、この回数は、例えば1〜5回の間のいずれかの
回数に設定することが望ましい。
を第2の位置に固定した状態でスクリーン印刷を3回行
う場合について例示したが、当該固定した状態でスクリ
ーン印刷を行う回数は、前回のスクリーン印刷において
生じた欠損部の深さが次のスクリーン印刷において埋め
ることができる程度のものであれば、特に限定されな
い。尚、この回数は、例えば1〜5回の間のいずれかの
回数に設定することが望ましい。
【0044】また、上述した実施例では、ガラス基板7
をストライプ方向に移動させる場合について例示した
が、ガラス基板7を固定した状態にしておき、スクリー
ン20をストライプ方向に移動させるようにしても同じ
効果が得られる。
をストライプ方向に移動させる場合について例示した
が、ガラス基板7を固定した状態にしておき、スクリー
ン20をストライプ方向に移動させるようにしても同じ
効果が得られる。
【0045】さらに、上述した第2実施例においては、
図6に示すステップS1,2において、試し刷りを行っ
てアライメントマーク40a,40bの印刷位置を記憶
する場合について例示したが、例えば、CCDカメラを
用いて正面側から撮像を行い、アライメントマーク40
a,40bと第1のアライメントマーク38a,38b
あるいは第2のアライメントマーク39a,39bとが
一致するように、自動的にあるいは手動で、ガラス基板
7がセットされたステージを移動するようにしてもよ
い。
図6に示すステップS1,2において、試し刷りを行っ
てアライメントマーク40a,40bの印刷位置を記憶
する場合について例示したが、例えば、CCDカメラを
用いて正面側から撮像を行い、アライメントマーク40
a,40bと第1のアライメントマーク38a,38b
あるいは第2のアライメントマーク39a,39bとが
一致するように、自動的にあるいは手動で、ガラス基板
7がセットされたステージを移動するようにしてもよ
い。
【0046】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のバリアリ
ブ形成方法によれば、放電漏れの原因となる欠損部の無
いバリアリブを形成することができる。そのため、本発
明のバリアリブ形成方法を適用して製造されたプラズマ
表示装置において、プラズマ放電漏れが生じることを効
果的に抑制できる。また、本発明のバリアリブ形成方法
によれば、基板およびスクリーンの相対的な移動を正確
に行うことができ、バリアリブを正確なパターンで形成
することができる。
ブ形成方法によれば、放電漏れの原因となる欠損部の無
いバリアリブを形成することができる。そのため、本発
明のバリアリブ形成方法を適用して製造されたプラズマ
表示装置において、プラズマ放電漏れが生じることを効
果的に抑制できる。また、本発明のバリアリブ形成方法
によれば、基板およびスクリーンの相対的な移動を正確
に行うことができ、バリアリブを正確なパターンで形成
することができる。
【図1】本発明の第1実施例に係わるスクリーンおよび
ガラス基板に形成されたバリアリブの欠損部が生じた部
分付近の断面図である。
ガラス基板に形成されたバリアリブの欠損部が生じた部
分付近の断面図である。
【図2】図1に示すスクリーンの平面図である。
【図3】第1実施例に係わるプラズマアドレス表示装置
の部分断面構成図である。
の部分断面構成図である。
【図4】本発明の第2実施例において、バリアリブを形
成するガラス基板の表面に形成されたアライメントマー
クを説明するための図である。
成するガラス基板の表面に形成されたアライメントマー
クを説明するための図である。
【図5】本発明の第2実施例におけるスクリーンに形成
されたアライメントマークを説明するための図である。
されたアライメントマークを説明するための図である。
【図6】本発明の第2実施例において、図1,図2に示
すスクリーンを移動する際の位置合わせの方法を示すフ
ローチャートである。
すスクリーンを移動する際の位置合わせの方法を示すフ
ローチャートである。
【図7】バリアリブに生じた欠損部を説明するための概
略斜視図である。
略斜視図である。
7… ガラス基板 8a,8b,8c… プラズマ室 10a,10b… バリアリブ 20… スクリーン 21… プラズマアドレス表示装置 23… 乳剤部 24… 画線部 25… メッシュ 36… ペースト 38a,38b… 第1のアライメントマーク 39a,39b… 第2のアライメントマーク 40a,40b… アライメントマーク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−234515(JP,A) 特開 平1−150103(JP,A) 特開 平1−102518(JP,A) 特開 昭61−109023(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1333 H01J 9/00 - 9/52
Claims (4)
- 【請求項1】プラズマ表示装置のプラズマ室を仕切るバ
リアリブを形成するバリアリブ形成方法であって、 対象面に対してマスク手段を用いて印刷を所定の回数行
って、バリアリブを構成するストライプ状の第1の層を
形成し、 前記第1の層を形成後、前記ストライプ方向に0.5m
m以上、前記対象面と前記マスク手段とを相対的に移動
し、 前記移動後に、前記対象面に対してマスク手段を用いて
印刷を所定の回数行って、バリアリブを構成する第2の
層を形成するバリアリブ形成方法。 - 【請求項2】前記マスク手段を用いて前記第2の層を形
成する際の前記所定の回数は、前記第1の層に生じた欠
損部の深さを埋めることができるように設定される請求
項1に記載のバリアリブ形成方法。 - 【請求項3】前記対象面には前記ストライプ方向に沿っ
て位置する複数の第1のアライメントマークが形成して
あり、 前記マスク手段には第2のアライメントマークが形成し
てあり、 前記第1のアライメントマークと前記第2のアライメン
トマークとを用いて位置合わせを行って、前記対象面と
前記マスク手段とを相対的に移動する請求項1または2
に記載のバリアリブ形成方法。 - 【請求項4】前記プラズマ表示装置はプラズマアドレス
表示装置であり、 前記対象面はプラズマアドレス表示装置の基板表面であ
り、 前記第1のアライメントマークは、前記基板表面のフリ
ットシールが形成される部分の外側の領域に形成してあ
る請求項3に記載のバリアリブ形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10766695A JP3360483B2 (ja) | 1995-05-01 | 1995-05-01 | プラズマ表示装置のバリアリブ形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10766695A JP3360483B2 (ja) | 1995-05-01 | 1995-05-01 | プラズマ表示装置のバリアリブ形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08304783A JPH08304783A (ja) | 1996-11-22 |
JP3360483B2 true JP3360483B2 (ja) | 2002-12-24 |
Family
ID=14464935
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10766695A Expired - Fee Related JP3360483B2 (ja) | 1995-05-01 | 1995-05-01 | プラズマ表示装置のバリアリブ形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3360483B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4491281B2 (ja) * | 2004-06-01 | 2010-06-30 | 双葉電子工業株式会社 | 蛍光表示管の成層方法 |
-
1995
- 1995-05-01 JP JP10766695A patent/JP3360483B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH08304783A (ja) | 1996-11-22 |
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