JPH08303462A - 割り出し制御装置 - Google Patents
割り出し制御装置Info
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- JPH08303462A JPH08303462A JP11064495A JP11064495A JPH08303462A JP H08303462 A JPH08303462 A JP H08303462A JP 11064495 A JP11064495 A JP 11064495A JP 11064495 A JP11064495 A JP 11064495A JP H08303462 A JPH08303462 A JP H08303462A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転体の高精度な位置決めを可能にすると共
に、位置決め完了時には回転体の剛性を高い状態に維持
できるようにする。 【構成】 流体軸受により支持されている回転体Ｒの回
転角度制御する装置において、スラスト方向の軸受２，
３の流体圧力を制御するサーボバルブ７，９を設け、回
転制御と同時にスラスト軸受２，３の圧力制御を行い回
転体Ｒを一方のスラスト軸受に押し付けた状態で位置決
め終了させる。
に、位置決め完了時には回転体の剛性を高い状態に維持
できるようにする。 【構成】 流体軸受により支持されている回転体Ｒの回
転角度制御する装置において、スラスト方向の軸受２，
３の流体圧力を制御するサーボバルブ７，９を設け、回
転制御と同時にスラスト軸受２，３の圧力制御を行い回
転体Ｒを一方のスラスト軸受に押し付けた状態で位置決
め終了させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は割り出し制御装置、特に
はポリゴンミラー加工機等に用いられる割り出し制御装
置に関するものである。
はポリゴンミラー加工機等に用いられる割り出し制御装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ポリゴンミラー加工機等に用
いられる割り出し制御装置として、回転体を固定体に対
してラジアル方向及びスラスト方向に拘束して支持する
静圧流体軸受と、前記回転体を前記固定体に対して回転
駆動する回転駆動器と、前記回転体の回転角度を検出す
る回転角度検出器と、前記回転角度検出器によって検出
された回転角度を基に前記回転体の前記固定体に対する
回転角度を制御する回転角度制御手段を備えた割り出し
制御装置は知られている。このような従来の割り出し制
御装置では、回転体の位置決めが完了しても、回転体は
流体軸受に支持されたまま常に回転角度制御がかけられ
ていた。
いられる割り出し制御装置として、回転体を固定体に対
してラジアル方向及びスラスト方向に拘束して支持する
静圧流体軸受と、前記回転体を前記固定体に対して回転
駆動する回転駆動器と、前記回転体の回転角度を検出す
る回転角度検出器と、前記回転角度検出器によって検出
された回転角度を基に前記回転体の前記固定体に対する
回転角度を制御する回転角度制御手段を備えた割り出し
制御装置は知られている。このような従来の割り出し制
御装置では、回転体の位置決めが完了しても、回転体は
流体軸受に支持されたまま常に回転角度制御がかけられ
ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとしている課題】ところで、従来の
割り出し制御装置のように、回転体の位置決め完了後に
も固定体に接触させないで回転角度制御をかけている
と、位置決め完了時の回転体の剛性が低くなってしまう
という問題があった。
割り出し制御装置のように、回転体の位置決め完了後に
も固定体に接触させないで回転角度制御をかけている
と、位置決め完了時の回転体の剛性が低くなってしまう
という問題があった。
【０００４】本発明はこのような事情に鑑みなされたも
ので、その目的は回転体の位置決めを高精度に行えると
共に、位置決め完了時には回転体の剛性を高い状態に維
持できる割り出し制御装置を提供することにある。
ので、その目的は回転体の位置決めを高精度に行えると
共に、位置決め完了時には回転体の剛性を高い状態に維
持できる割り出し制御装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に本発明は、回転体を固定体に対してラジアル方向及び
スラスト方向に拘束して支持する静圧流体軸受と、前記
回転体を前記固定体に対して回転駆動する回転駆動器
と、前記回転体の回転角度を検出する回転角度検出器
と、前記回転角度検出器によって検出された回転角度に
基づいて前記回転体の前記固定体に対する回転角度を制
御する回転角度制御手段を備えた割り出し制御装置にお
いて、前記静圧流体軸受のスラスト方向の一対の軸受部
のそれぞれに個別の流体供給回路を設け、前記流体供給
回路の少なくとも一方には流体の圧力を検出する圧力検
出器と、スラスト軸受部の流体の圧力を調整するための
圧力調整器と、前記圧力検出器からの検出圧力信号を基
に前記スラスト軸受部の圧力を制御する圧力制御手段を
設け、前記回転角度制御手段には位置決め判定器と、前
記回転体が前記固定体に接触しているかどうかの判定を
する接触判定器と、前記位置決め判定器と前記接触判定
器の判定結果に基づいて前記回転体への駆動トルクを強
制的にオフする駆動トルクオフ手段と、前記位置決め判
定器と前記接触判定器の判定結果に基づいて前記回転体
を支持する前記スラスト軸受部の制御圧力の設定値を与
える目標圧力設定器を設け、前記回転体が回転中には前
記回転体が前記固定体に接触しないように前記スラスト
軸受の流体圧力を制御し、前記回転体の回転角度が許容
範囲に位置決めされたときには前記スラスト軸受部の一
方の圧力をゼロにして前記回転体を前記固定体に接触さ
せると共に、前記回転体への駆動トルクをゼロにするこ
とを特徴としている。
に本発明は、回転体を固定体に対してラジアル方向及び
スラスト方向に拘束して支持する静圧流体軸受と、前記
回転体を前記固定体に対して回転駆動する回転駆動器
と、前記回転体の回転角度を検出する回転角度検出器
と、前記回転角度検出器によって検出された回転角度に
基づいて前記回転体の前記固定体に対する回転角度を制
御する回転角度制御手段を備えた割り出し制御装置にお
いて、前記静圧流体軸受のスラスト方向の一対の軸受部
のそれぞれに個別の流体供給回路を設け、前記流体供給
回路の少なくとも一方には流体の圧力を検出する圧力検
出器と、スラスト軸受部の流体の圧力を調整するための
圧力調整器と、前記圧力検出器からの検出圧力信号を基
に前記スラスト軸受部の圧力を制御する圧力制御手段を
設け、前記回転角度制御手段には位置決め判定器と、前
記回転体が前記固定体に接触しているかどうかの判定を
する接触判定器と、前記位置決め判定器と前記接触判定
器の判定結果に基づいて前記回転体への駆動トルクを強
制的にオフする駆動トルクオフ手段と、前記位置決め判
定器と前記接触判定器の判定結果に基づいて前記回転体
を支持する前記スラスト軸受部の制御圧力の設定値を与
える目標圧力設定器を設け、前記回転体が回転中には前
記回転体が前記固定体に接触しないように前記スラスト
軸受の流体圧力を制御し、前記回転体の回転角度が許容
範囲に位置決めされたときには前記スラスト軸受部の一
方の圧力をゼロにして前記回転体を前記固定体に接触さ
せると共に、前記回転体への駆動トルクをゼロにするこ
とを特徴としている。
【０００６】ここで前記回転体の回転角度が許容範囲に
位置決めされたときには前記スラスト軸受部の他方の圧
力を前記回転体の回転中よりも高い圧力にするとより好
ましい。そして、前記回転駆動器はモータであり、前記
接触判定器は前記モータへの電流もしくは電流指令信号
を用いて判定を行うものであっても良い。
位置決めされたときには前記スラスト軸受部の他方の圧
力を前記回転体の回転中よりも高い圧力にするとより好
ましい。そして、前記回転駆動器はモータであり、前記
接触判定器は前記モータへの電流もしくは電流指令信号
を用いて判定を行うものであっても良い。
【０００７】また、前記接触判定器は前記スラスト軸受
部へ供給される流体の圧力もしくは流量を検出する検出
器を有するものであったり、前記回転体のスラスト方向
の変位を検出する変位センサを有するものであったり、
前記固定体に電気的に絶縁された状態で取付けられると
共に前記回転体に接触する導体と、前記導体と前記固定
体との間の電気抵抗を測定する測定手段を有するもので
あっても良い。
部へ供給される流体の圧力もしくは流量を検出する検出
器を有するものであったり、前記回転体のスラスト方向
の変位を検出する変位センサを有するものであったり、
前記固定体に電気的に絶縁された状態で取付けられると
共に前記回転体に接触する導体と、前記導体と前記固定
体との間の電気抵抗を測定する測定手段を有するもので
あっても良い。
【０００８】
【作用】本発明は、回転体の位置決め後に回転体と固定
体を接触（接地）させることで位置決め状態での剛性を
向上を図っている。また、回転体の位置決め後にスラス
ト軸受部の一方の圧力をゼロにして回転体を固定体に接
触させる際には、スラスト軸受部の他方の圧力を回転体
の回転中よりも高い圧力にすることで、回転体と固定体
の接地時間の短縮化を計っている。ただ単に一方のスラ
スト軸受部の流体を遮断しただけでは、流体を遮断して
から接地するまでに時間がかかる。更に対向するスラス
ト軸受部の隙間が広がり、押し付け力が少なくなるため
剛性の向上の効果が減少される。
体を接触（接地）させることで位置決め状態での剛性を
向上を図っている。また、回転体の位置決め後にスラス
ト軸受部の一方の圧力をゼロにして回転体を固定体に接
触させる際には、スラスト軸受部の他方の圧力を回転体
の回転中よりも高い圧力にすることで、回転体と固定体
の接地時間の短縮化を計っている。ただ単に一方のスラ
スト軸受部の流体を遮断しただけでは、流体を遮断して
から接地するまでに時間がかかる。更に対向するスラス
ト軸受部の隙間が広がり、押し付け力が少なくなるため
剛性の向上の効果が減少される。
【０００９】そして接地後に回転駆動器をオフすること
で接地面に力を加えないようにして接地面の耐久性の向
上を図っている。接地した後も回転駆動器がオンされて
いると接地面に力が加わり接地面の耐久性は悪化する。
で接地面に力を加えないようにして接地面の耐久性の向
上を図っている。接地した後も回転駆動器がオンされて
いると接地面に力が加わり接地面の耐久性は悪化する。
【００１０】
【実施例】次に本発明の一実施例を図１及び図２を使っ
て以下説明する。図１は本発明の一実施例に係わる割り
出し制御装置の機械的な構成を示し、図２はその制御部
分の構成を示す。
て以下説明する。図１は本発明の一実施例に係わる割り
出し制御装置の機械的な構成を示し、図２はその制御部
分の構成を示す。
【００１１】図１において、Ｒは回転体、Ｓは固定体、
２，３は回転体Ｒを固定体Ｓに対してスラスト方向に拘
束するための一対のスラスト軸受、４は回転体１を固定
体Ｓに対してラジアル方向に支持するラジアル軸受、５
は回転体Ｒに駆動トルクを与えるための回転駆動器とな
るモータ、６は回転体の回転角度を検出する回転角度検
出器となるロータリエンコーダ、７はスラスト軸受２に
供給する流体の圧力を調整する圧力調整器となるサーボ
バルブ、８はスラスト軸受２の圧力を検出する圧力検出
器となる圧力センサ、９はスラスト軸受３に供給する流
体の圧力を調整する圧力調整器となるサーボバルブ、１
０はスラスト軸受３の圧力を検出するための圧力検出器
となる圧力センサ、１１は回転体Ｒの回転角度及びスラ
スト軸受２，３の圧力を制御する制御装置である。
２，３は回転体Ｒを固定体Ｓに対してスラスト方向に拘
束するための一対のスラスト軸受、４は回転体１を固定
体Ｓに対してラジアル方向に支持するラジアル軸受、５
は回転体Ｒに駆動トルクを与えるための回転駆動器とな
るモータ、６は回転体の回転角度を検出する回転角度検
出器となるロータリエンコーダ、７はスラスト軸受２に
供給する流体の圧力を調整する圧力調整器となるサーボ
バルブ、８はスラスト軸受２の圧力を検出する圧力検出
器となる圧力センサ、９はスラスト軸受３に供給する流
体の圧力を調整する圧力調整器となるサーボバルブ、１
０はスラスト軸受３の圧力を検出するための圧力検出器
となる圧力センサ、１１は回転体Ｒの回転角度及びスラ
スト軸受２，３の圧力を制御する制御装置である。
【００１２】図２において、２１は割り出しの角度を決
めるための目標回転角度設定器、２２は回転体Ｒの目標
回転角度信号、２３は目標回転角度とエンコーダ６によ
って得られた回転体Ｒの実際の回転角度から角度誤差を
求める減算器、２４は回転体Ｒを位置決めするための回
転角度制御手段となるフィードバック制御系を安定させ
るためのＰＩＤ調整器に代表される補償器、２５は回転
体Ｒへの駆動トルクをオフする機能を兼ね備えた駆動ト
ルクオフ手段となる可変増幅器、２６は回転体Ｒを回転
させるモータ５を駆動するモータ駆動装置である。
めるための目標回転角度設定器、２２は回転体Ｒの目標
回転角度信号、２３は目標回転角度とエンコーダ６によ
って得られた回転体Ｒの実際の回転角度から角度誤差を
求める減算器、２４は回転体Ｒを位置決めするための回
転角度制御手段となるフィードバック制御系を安定させ
るためのＰＩＤ調整器に代表される補償器、２５は回転
体Ｒへの駆動トルクをオフする機能を兼ね備えた駆動ト
ルクオフ手段となる可変増幅器、２６は回転体Ｒを回転
させるモータ５を駆動するモータ駆動装置である。
【００１３】静圧流体軸受２，３（図１参照）に支持さ
れた回転体Ｒはモータ５により回転される。３０はエン
コーダ６の出力信号をカウントするパルスカウンタで、
回転体Ｒの回転角度はエンコーダ６の出力信号をパルス
カウンタ３０がカウントすることで検出され、パルスカ
ウンタ３０から角度信号として生成するされる。
れた回転体Ｒはモータ５により回転される。３０はエン
コーダ６の出力信号をカウントするパルスカウンタで、
回転体Ｒの回転角度はエンコーダ６の出力信号をパルス
カウンタ３０がカウントすることで検出され、パルスカ
ウンタ３０から角度信号として生成するされる。
【００１４】３１は回転体Ｒの角度信号、３２は減算器
２３からの角度誤差信号を基に回転角度の位置決めが終
了したかどうかを判定する位置決め判定器、３３はＰＩ
Ｄ調整器２４から可変増幅器２５へ送られるモータ電流
の指令値から回転体Ｒの接触状態を判定する接触判定器
である。３４は位置決め判定器３２と接触判定器３３の
各判定信号から可変増幅器２５のゲインを変更するゲイ
ン調整器、３５は位置決め判定器３２と接触判定器３３
の各判定信号から回転体Ｒを支持するスラスト軸受２，
３の流体圧力を設定する目標圧力設定器である。
２３からの角度誤差信号を基に回転角度の位置決めが終
了したかどうかを判定する位置決め判定器、３３はＰＩ
Ｄ調整器２４から可変増幅器２５へ送られるモータ電流
の指令値から回転体Ｒの接触状態を判定する接触判定器
である。３４は位置決め判定器３２と接触判定器３３の
各判定信号から可変増幅器２５のゲインを変更するゲイ
ン調整器、３５は位置決め判定器３２と接触判定器３３
の各判定信号から回転体Ｒを支持するスラスト軸受２，
３の流体圧力を設定する目標圧力設定器である。
【００１５】３６はスラスト軸受２の流体圧力の設定
値、３７は圧力誤差を求めるための減算器、３８は流体
供給回路となる圧力制御系の安定性と応答性を調整する
ためのＰＩＤ調整器、３９は軸受２の流体圧力を調整す
るサーボバルブ７を駆動するためのサーボバルブ駆動装
置である。圧力センサ８（図１参照）からの検出圧力信
号４２は減算器３７にフィーバックされ、目標圧力設定
器３５からの目標圧力を示す信号３６との間で減算され
る。
値、３７は圧力誤差を求めるための減算器、３８は流体
供給回路となる圧力制御系の安定性と応答性を調整する
ためのＰＩＤ調整器、３９は軸受２の流体圧力を調整す
るサーボバルブ７を駆動するためのサーボバルブ駆動装
置である。圧力センサ８（図１参照）からの検出圧力信
号４２は減算器３７にフィーバックされ、目標圧力設定
器３５からの目標圧力を示す信号３６との間で減算され
る。
【００１６】同様に、４７はスラスト軸受３の流体圧力
の設定値、４６は圧力誤差を求めるための減算器、４５
は流体供給回路となる圧力制御系の安定性と応答性を調
整するためのＰＩＤ調整器、４８は軸受３の流体圧力を
調整するサーボバルブ９を駆動するためのサーボバルブ
駆動装置である。圧力センサ１０（図１参照）からの検
出圧力信号４９は減算器４６にフィーバックされ、目標
圧力設定器３５からの目標圧力を示す信号４７との間で
減算される。
の設定値、４６は圧力誤差を求めるための減算器、４５
は流体供給回路となる圧力制御系の安定性と応答性を調
整するためのＰＩＤ調整器、４８は軸受３の流体圧力を
調整するサーボバルブ９を駆動するためのサーボバルブ
駆動装置である。圧力センサ１０（図１参照）からの検
出圧力信号４９は減算器４６にフィーバックされ、目標
圧力設定器３５からの目標圧力を示す信号４７との間で
減算される。
【００１７】次にこの実施例の動作を説明する。先ず回
転体Ｒを回転するに当たって、それぞれのスラスト軸受
け２，３の流体圧力は所定の圧力に設定されている。こ
の状態では回転体Ｒは完全に固定体Ｓから流体膜によっ
て浮いている。
転体Ｒを回転するに当たって、それぞれのスラスト軸受
け２，３の流体圧力は所定の圧力に設定されている。こ
の状態では回転体Ｒは完全に固定体Ｓから流体膜によっ
て浮いている。
【００１８】この状態で回転体Ｒを固定体Ｓに対して任
意の角度に位置決めするために、目標回転角度設定器２
１によって目標の角度位置信号が与えられる。この目標
角度信号２２と、エンコーダ６とパルスカウンタ３０に
よって検出された回転角度信号３１から角度誤差が減算
器２３で計算される。この角度誤差信号はＰＩＤ調整器
２４及び可変増幅器２５を介してモータ駆動装置２６に
加わる。そして、モータ駆動装置２６は角度誤差が生じ
ている場合にはそれを補正するように静圧流体軸受２，
３によって非接触支持されている回転体Ｒを回転させ、
回転角度信号３１が目標角度信号２２に一致するように
する。このループにおいてＰＩＤ調整器２４はフィード
バック系において回転体Ｒの発振防止や応答性の調整等
を行うために使われる。
意の角度に位置決めするために、目標回転角度設定器２
１によって目標の角度位置信号が与えられる。この目標
角度信号２２と、エンコーダ６とパルスカウンタ３０に
よって検出された回転角度信号３１から角度誤差が減算
器２３で計算される。この角度誤差信号はＰＩＤ調整器
２４及び可変増幅器２５を介してモータ駆動装置２６に
加わる。そして、モータ駆動装置２６は角度誤差が生じ
ている場合にはそれを補正するように静圧流体軸受２，
３によって非接触支持されている回転体Ｒを回転させ、
回転角度信号３１が目標角度信号２２に一致するように
する。このループにおいてＰＩＤ調整器２４はフィード
バック系において回転体Ｒの発振防止や応答性の調整等
を行うために使われる。
【００１９】この回転角度位置決め動作中、位置決め判
定器３２はモータ６の回転角度誤差信号を検出して回転
体Ｒの位置決め状態をみている。また接触判定器３３は
モータ６への電流指令値を検出して回転体Ｒと固定体Ｓ
の接触状態をみている。これは回転Ｒ体と固定体Ｓが接
触するとモータ６の負荷が変動し、非接触状態に比べて
電流が増加することを利用している。
定器３２はモータ６の回転角度誤差信号を検出して回転
体Ｒの位置決め状態をみている。また接触判定器３３は
モータ６への電流指令値を検出して回転体Ｒと固定体Ｓ
の接触状態をみている。これは回転Ｒ体と固定体Ｓが接
触するとモータ６の負荷が変動し、非接触状態に比べて
電流が増加することを利用している。
【００２０】この２つの判定結果を基に目標圧力設定器
３５は個々のスラスト軸受２，３の目標流体圧力を変更
していく。回転開始時には個々の圧力を同じ値に設定し
ておき、回転途中で位置決め判定器３２で検出している
角度誤差信号が第１段階の許容範囲に入った段階で一方
の圧力を下げて行き、最終目標回転角度に達したら設定
圧力をゼロにし、回転体Ｒを固定体Ｓに接地させる。ま
たこの時に他方の圧力を上げていくようにしても良い。
３５は個々のスラスト軸受２，３の目標流体圧力を変更
していく。回転開始時には個々の圧力を同じ値に設定し
ておき、回転途中で位置決め判定器３２で検出している
角度誤差信号が第１段階の許容範囲に入った段階で一方
の圧力を下げて行き、最終目標回転角度に達したら設定
圧力をゼロにし、回転体Ｒを固定体Ｓに接地させる。ま
たこの時に他方の圧力を上げていくようにしても良い。
【００２１】この後、その接地動作を接地判定器３３に
よって検出し、回転体Ｒと固定体Ｓが接地したと判定
し、かつ位置決め判定器３２による判定結果が最終許容
範囲であるとき、目標圧力設定器３５はスラスト軸受
２，３の他方の設定圧力を大きくし、回転体Ｒの押し付
け力を増加させる。この接地動作時における流体圧力制
御と同時に回転角度制御系においてもゲイン調整器３４
によって可変増幅器２５をゼロにしモータ電流指令をゼ
ロにして、回転体Ｒに対する駆動トルクを強制的にゼロ
にして回転体Ｒの位置決め動作を終了する。
よって検出し、回転体Ｒと固定体Ｓが接地したと判定
し、かつ位置決め判定器３２による判定結果が最終許容
範囲であるとき、目標圧力設定器３５はスラスト軸受
２，３の他方の設定圧力を大きくし、回転体Ｒの押し付
け力を増加させる。この接地動作時における流体圧力制
御と同時に回転角度制御系においてもゲイン調整器３４
によって可変増幅器２５をゼロにしモータ電流指令をゼ
ロにして、回転体Ｒに対する駆動トルクを強制的にゼロ
にして回転体Ｒの位置決め動作を終了する。
【００２２】なお、接触判定器３３はスラスト軸受部
２，３へ供給される流体の圧力もしくは流量を検出する
検出器であったり、回転体Ｒのスラスト方向の変位を検
出する変位センサであったり、固定体Ｓに電気的に絶縁
された状態で取付けられると共に回転体Ｒに接触する導
体と、この導体と固定体Ｓとの間の電気抵抗を測定する
測定手段からなるものであっても良い。
２，３へ供給される流体の圧力もしくは流量を検出する
検出器であったり、回転体Ｒのスラスト方向の変位を検
出する変位センサであったり、固定体Ｓに電気的に絶縁
された状態で取付けられると共に回転体Ｒに接触する導
体と、この導体と固定体Ｓとの間の電気抵抗を測定する
測定手段からなるものであっても良い。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、位
置決め後の回転体の剛性の向上させる共に接地状態での
モータによる余分な力を完全に除去できるので、回転体
の位置決めを高精度に行えると共に位置決め完了時に回
転体の剛性を高い状態に維持できる。また、位置決め完
了後に流体を遮断する場合と比較しても回転体の接地時
間の短縮化が図れる。
置決め後の回転体の剛性の向上させる共に接地状態での
モータによる余分な力を完全に除去できるので、回転体
の位置決めを高精度に行えると共に位置決め完了時に回
転体の剛性を高い状態に維持できる。また、位置決め完
了後に流体を遮断する場合と比較しても回転体の接地時
間の短縮化が図れる。
【図１】本発明の割り出し制御装置の一実施例を示す
図。
図。
【図２】本実施例の制御系を示す図。
Ｒ 回転体 Ｓ 固定体 ２，３ スラスト軸受 ５ モータ ６ エンコーダ ７，９ サーボバルブ ８，１０ 圧力センサ ２１ 目標角度設定器 ２３ 減算器 ２４ ＰＩＤ調整器 ２５ 可変増幅器 ２６ モータ駆動装置 ３０ パルスカウンタ ３２ 位置決め判定器 ３３ 接触判定器 ３４ ゲイン調整器 ３５ 目標圧力設定器 ３７，４６ 減算器 ３８，４５ ＰＩＤ調整器 ３９，４８ サーボバルブ駆動装置
Claims (6)
- 【請求項１】 回転体を固定体に対してラジアル方向及
びスラスト方向に拘束して支持する静圧流体軸受と、前
記回転体を前記固定体に対して回転駆動する回転駆動器
と、前記回転体の回転角度を検出する回転角度検出器
と、前記回転角度検出器によって検出された回転角度に
基づいて前記回転体の前記固定体に対する回転角度を制
御する回転角度制御手段を備えた割り出し制御装置にお
いて、前記静圧流体軸受のスラスト方向の一対の軸受部
のそれぞれに個別の流体供給回路を設け、前記流体供給
回路の少なくとも一方には流体の圧力を検出する圧力検
出器と、スラスト軸受部の流体の圧力を調整するための
圧力調整器と、前記圧力検出器からの検出圧力信号を基
に前記スラスト軸受部の圧力を制御する圧力制御手段を
設け、前記回転角度制御手段には位置決め判定器と、前
記回転体が前記固定体に接触しているかどうかの判定を
する接触判定器と、前記位置決め判定器と前記接触判定
器の判定結果に基づいて前記回転体への駆動トルクを強
制的にオフする駆動トルクオフ手段と、前記位置決め判
定器と前記接触判定器の判定結果に基づいて前記回転体
を支持する前記スラスト軸受部の制御圧力の設定値を与
える目標圧力設定器を設け、前記回転体が回転中には前
記回転体が前記固定体に接触しないように前記スラスト
軸受の流体圧力を制御し、前記回転体の回転角度が許容
範囲に位置決めされたときには前記スラスト軸受部の一
方の圧力をゼロにして前記回転体を前記固定体に接触さ
せると共に、前記回転体への駆動トルクをゼロにするこ
とを特徴とする割り出し制御装置。 - 【請求項２】 前記回転体の回転角度が許容範囲に位置
決めされたときには前記一対のスラスト軸受の他方のス
ラスト軸受部の圧力を前記回転体の回転中よりも高い圧
力にすることを特徴とする請求項１の割り出し制御装
置。 - 【請求項３】 前記回転駆動器はモータであり、前記接
触判定器は前記モータへの電流もしくは電流指令信号を
用いて判定を行うことを特徴とする請求項１の割り出し
制御装置。 - 【請求項４】 前記接触判定器は前記スラスト軸受部へ
供給される流体の圧力もしくは流量を検出する検出器を
有することを特徴とする請求項１の割り出し制御装置。 - 【請求項５】 前記接触判定器は前記回転体のスラスト
方向の変位を検出する変位センサを有することを特徴と
する請求項１の割り出し制御装置。 - 【請求項６】 前記接触判定器は前記固定体に電気的に
絶縁された状態で取付けられると共に前記回転体に接触
する導体と、前記導体と前記固定体との間の電気抵抗を
測定する測定手段を有することを特徴とする請求項１の
割り出し制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11064495A JPH08303462A (ja) | 1995-05-09 | 1995-05-09 | 割り出し制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11064495A JPH08303462A (ja) | 1995-05-09 | 1995-05-09 | 割り出し制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08303462A true JPH08303462A (ja) | 1996-11-19 |
Family
ID=14540931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11064495A Withdrawn JPH08303462A (ja) | 1995-05-09 | 1995-05-09 | 割り出し制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08303462A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006062045A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Okuma Corp | 旋回割出装置 |
| JP2006310686A (ja) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Nsk Ltd | 位置決めテーブル装置 |
| JP2008049445A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
| KR100966936B1 (ko) * | 2006-12-26 | 2010-06-30 | 도시바 기카이 가부시키가이샤 | 인덱싱 장치 |
-
1995
- 1995-05-09 JP JP11064495A patent/JPH08303462A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006062045A (ja) * | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Okuma Corp | 旋回割出装置 |
| JP4559161B2 (ja) * | 2004-08-27 | 2010-10-06 | オークマ株式会社 | 旋回割出装置 |
| JP2006310686A (ja) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Nsk Ltd | 位置決めテーブル装置 |
| JP2008049445A (ja) * | 2006-08-25 | 2008-03-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
| KR100966936B1 (ko) * | 2006-12-26 | 2010-06-30 | 도시바 기카이 가부시키가이샤 | 인덱싱 장치 |
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Legal Events
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