JPH08298292A - Semiconductor integrated circuit - Google Patents

Semiconductor integrated circuit

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JPH08298292A
JPH08298292A JP8153965A JP15396596A JPH08298292A JP H08298292 A JPH08298292 A JP H08298292A JP 8153965 A JP8153965 A JP 8153965A JP 15396596 A JP15396596 A JP 15396596A JP H08298292 A JPH08298292 A JP H08298292A
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circuit
diffusion
input
area
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JP8153965A
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Japanese (ja)
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Kiyoshi Men
清志 面
Kazuhiro Otani
一弘 大谷
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electronics Corp
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  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE: To provide a semiconductor integrated circuit capable of reducing a chip area of an internal circuit forming region and preventing a latch-up phenomenon in the internal circuit forming region. CONSTITUTION: A flow of substrate current to the internal circuit from an diffusion element connected to an input terminal or output terminal can be interrupted by forming a diffusion element to be connected to an output terminal or an input terminal at the side (region 2) coming into contact with a region 1 where an input terminal or output terminal is formed, and also forming diffusion elements except the diffusion element formed in the region 2 at the side (region 3) coming into contact with the internal circuit forming region 4 among the diffusion elements constituting the input circuit or output circuit.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体集積回路に係
り、詳しくは、CMOS集積回路の内部回路形成領域に
おけるラッチアップ現象防止に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor integrated circuit, and more particularly to prevention of a latch-up phenomenon in an internal circuit formation region of a CMOS integrated circuit.

【0002】[0002]

【従来の技術】ラッチアップ現象発生の要因は、外部よ
り入力端子または出力端子を通し電荷が流入した場合
に、電荷が入力端子または出力端子に隣接した拡散領域
より基板に流れ込み、基板電流となり寄生トランジスタ
を動作させるためである。
2. Description of the Related Art The cause of latch-up phenomenon is that when electric charge flows from the outside through an input terminal or an output terminal, the electric charge flows into the substrate from a diffusion region adjacent to the input terminal or the output terminal and becomes a substrate current, which is parasitic. This is for operating the transistor.

【0003】以下、従来の半導体集積回路について図面
を参照しながら説明する。図4は従来の半導体集積回路
の配置例を示すものである。
A conventional semiconductor integrated circuit will be described below with reference to the drawings. FIG. 4 shows an arrangement example of a conventional semiconductor integrated circuit.

【0004】図4において、5は入力端子または出力端
子形成領域、6は入力回路または出力回路の形成領域、
7は内部回路形成領域を示す。従来の半導体集積回路で
は、ラッチアップ現象防止対策を入力回路または出力回
路の形成領域6及び内部回路形成領域7にそれぞれ設け
ていた。
In FIG. 4, 5 is an input terminal or output terminal forming region, 6 is an input circuit or output circuit forming region,
Reference numeral 7 indicates an internal circuit formation region. In the conventional semiconductor integrated circuit, the latch-up phenomenon prevention measures are provided in the input circuit or output circuit formation region 6 and the internal circuit formation region 7, respectively.

【0005】この従来のラッチアップ現象防止対策を以
下、説明する。入力回路または出力回路の形成領域6及
び内部回路形成領域7のそれぞれの領域では、電界効果
型PチャンネルMOSトランジスタ(以下、Pチャンネ
ルMOSFETと表す)と電界効果型NチャンネルMO
Sトランジスタ(以下、NチャンネルMOSFETと表
す)とを分離形成し、その間に基板と同一導電形の拡散
領域を形成し、基板電流を拡散領域に吸収さすことによ
って、PチャンネルMOSFETとNチャンネルMOS
FETとの間の電気的経路をしゃ断し、寄生トランジス
タを動作させないようにしてラッチアップ対策をしてい
た。
The conventional measures for preventing the latch-up phenomenon will be described below. In each of the formation region 6 of the input circuit or the output circuit and the formation region 7 of the internal circuit, a field effect type P channel MOS transistor (hereinafter referred to as P channel MOSFET) and a field effect type N channel MO are formed.
An S-transistor (hereinafter referred to as an N-channel MOSFET) is formed separately, and a diffusion region having the same conductivity type as the substrate is formed between the S-transistor and the substrate current to be absorbed in the diffusion region.
The electrical path to the FET is cut off, and the parasitic transistor is prevented from operating to take a latch-up countermeasure.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
半導体集積回路では、ラッチアップ対策のために、入力
回路または出力回路形成領域だけではなく内部回路形成
領域でもPチャンネルMOSFETとNチャンネルMO
SFETとを分離形成していたため、半導体基板(チッ
プ)面積を減少させることが難しいという問題があっ
た。また、基板電流を拡散領域に吸収さすことでラッチ
アップ対策をしていたが、従来のラッチアップ対策で
は、充分には基板電流を吸収することはできないという
問題があった。
However, in the conventional semiconductor integrated circuit, as a countermeasure against latch-up, the P-channel MOSFET and the N-channel MO are formed not only in the input circuit or output circuit formation region but also in the internal circuit formation region.
Since the SFET and the SFET are separately formed, it is difficult to reduce the semiconductor substrate (chip) area. Further, although the substrate current is absorbed in the diffusion region to prevent the latch-up, there has been a problem that the conventional latch-up measure cannot sufficiently absorb the substrate current.

【0007】本発明は上記課題を解決するもので、内部
回路形成領域でのラッチアップ現象を防止することがで
き、内部回路形成領域のチップ面積を減少させる半導体
集積回路を提供することを目的とする。
The present invention solves the above problems, and an object of the present invention is to provide a semiconductor integrated circuit which can prevent the latch-up phenomenon in the internal circuit formation region and reduce the chip area of the internal circuit formation region. To do.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、ラッチアップ
現象の原因となる寄生トランジスタの形成に着目し、半
導体基板に入力端子または出力端子が形成される領域
(第1の領域)と内部回路が形成される領域(第3の領
域)との間の入力回路または出力回路が形成される領域
(第2の領域)において、入力回路または出力回路を構
成する拡散素子のうち入力端子または出力端子に接続す
る拡散素子全てを入力端子または出力端子が形成される
領域と接する側の領域(第4の領域)に形成し、入力回
路または出力回路を構成する拡散素子のうち入力端子ま
たは出力端子に接続する拡散素子を除く全ての拡散素子
を内部回路が形成される領域と接する側の領域(第5の
領域)に配置することを特徴とするものである。本発明
では、寄生トランジスタの原因となる拡散素子が内部回
路に接する領域に形成されないので、入力端子または出
力端子に接続した拡散素子から内部回路への基板電流が
流れ込むのをしゃ断することができるものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention focuses on the formation of a parasitic transistor that causes a latch-up phenomenon, and a region (first region) where an input terminal or an output terminal is formed on a semiconductor substrate and an internal circuit. In an area (second area) in which an input circuit or an output circuit is formed between the area in which an input circuit or an output circuit is formed (third area), an input terminal or an output terminal among diffusion elements forming the input circuit or the output circuit All the diffusion elements connected to the input terminal or the output terminal are formed in the area on the side in contact with the area where the input terminal or the output terminal is formed (the fourth area). All the diffusion elements except the connected diffusion element are arranged in a region (fifth region) on the side in contact with a region where an internal circuit is formed. In the present invention, since the diffusion element causing the parasitic transistor is not formed in the region in contact with the internal circuit, it is possible to block the substrate current from flowing into the internal circuit from the diffusion element connected to the input terminal or the output terminal. Is.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に基づいて説
明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention will be described below with reference to the drawings.

【0010】図1は本発明の実施の形態を示す配置図で
あり、1は入力端子または出力端子形成領域、2は入力
回路または出力回路を形成する拡散素子のうち入力端子
または出力端子に接続する拡散素子を形成する領域、3
は分離領域で、入力回路または出力回路を形成する拡散
素子のうち入力端子または出力端子に接続する拡散素子
を除く全ての拡散素子が形成される。4は内部回路形成
領域を示す。
FIG. 1 is a layout view showing an embodiment of the present invention, in which 1 is an input terminal or output terminal forming region, and 2 is an input circuit or a diffusion element forming an output circuit, which is connected to an input terminal or an output terminal. Regions for forming diffusion elements, 3
In the isolation region, all of the diffusion elements forming the input circuit or the output circuit except the diffusion element connected to the input terminal or the output terminal are formed. Reference numeral 4 indicates an internal circuit formation region.

【0011】以下、入力端子または出力端子に接続する
拡散素子を形成する領域2または分離領域3に形成され
る入力回路または出力回路の一例を、図2及び図3を参
照しながら説明する。
An example of the input circuit or the output circuit formed in the region 2 or the isolation region 3 forming the diffusion element connected to the input terminal or the output terminal will be described below with reference to FIGS. 2 and 3.

【0012】図2は入力回路をCMOSインバータで構
成した例を示す図である。8は入力端子、14は内部回
路と接続する信号線である。PチャンネルMOSFET
12およびNチャンネルMOSFET13でCMOSイ
ンバータを構成しており、PチャンネルMOSFET1
2のソースは電源に、NチャンネルMOSFET13の
ソースは接地されている。そして、PチャンネルMOS
FET12およびNチャンネルMOSFET13のドレ
インは内部回路と接続する信号線14と接続されてい
る。また、PチャンネルMOSFET12およびNチャ
ンネルMOSFET13のゲートは入力端子8に接続さ
れている。PチャンネルMOSFET12のソースと入
力端子8の間にはダイオード9が形成され、Nチャンネ
ルMOSFET13のソースと入力端子8の間には、ダ
イオード10が形成される。さらに、PチャンネルMO
SFET12及びNチャンネルMOSFET13のゲー
トと入力端子8の間には、拡散抵抗11が形成される。
FIG. 2 is a diagram showing an example in which the input circuit is composed of a CMOS inverter. Reference numeral 8 is an input terminal, and 14 is a signal line connected to an internal circuit. P-channel MOSFET
12 and N-channel MOSFET 13 constitute a CMOS inverter, and P-channel MOSFET 1
The source of 2 is connected to the power source, and the source of the N-channel MOSFET 13 is grounded. And P channel MOS
The drains of the FET 12 and the N-channel MOSFET 13 are connected to the signal line 14 connecting to the internal circuit. Moreover, the gates of the P-channel MOSFET 12 and the N-channel MOSFET 13 are connected to the input terminal 8. A diode 9 is formed between the source of the P-channel MOSFET 12 and the input terminal 8, and a diode 10 is formed between the source of the N-channel MOSFET 13 and the input terminal 8. Furthermore, P channel MO
A diffusion resistor 11 is formed between the gates of the SFET 12 and the N-channel MOSFET 13 and the input terminal 8.

【0013】図3は出力回路をCMOSインバータで構
成した例を示す図である。15は出力端子、21は内部
回路と接続する信号線である。PチャンネルMOSFE
T19およびNチャンネルMOSFET20でCMOS
インバータを構成しており、PチャンネルMOSFET
19のソースは電源に、NチャンネルMOSFET20
のソースは接地されている。そして、PチャンネルMO
SFET19およびNチャンネルMOSFET20のゲ
ートは、信号線21に接続されている。また、Pチャン
ネルMOSFET19およびNチャンネルMOSFET
20のドレインは出力端子15に接続されている。Pチ
ャンネルMOSFET19のソースと出力端子15の間
には、ダイオード16が形成され、NチャンネルMOS
FET20のソースと出力端子15の間には、ダイオー
ド17が形成される。さらに、PチャンネルMOSFE
T19及びNチャンネルMOSFET20のドレインと
出力端子15の間には、拡散抵抗18が形成される。
FIG. 3 is a diagram showing an example in which the output circuit is composed of a CMOS inverter. Reference numeral 15 is an output terminal, and 21 is a signal line connected to an internal circuit. P channel MOSFE
CMOS with T19 and N-channel MOSFET 20
Inverter, P-channel MOSFET
The source of 19 is the power supply and the N-channel MOSFET 20
The source of is grounded. And P channel MO
The gates of the SFET 19 and the N-channel MOSFET 20 are connected to the signal line 21. In addition, P-channel MOSFET 19 and N-channel MOSFET
The drain of 20 is connected to the output terminal 15. A diode 16 is formed between the source of the P-channel MOSFET 19 and the output terminal 15, and the diode 16 is formed.
A diode 17 is formed between the source of the FET 20 and the output terminal 15. In addition, P channel MOSFE
A diffusion resistor 18 is formed between the drain of the T19 and the N-channel MOSFET 20 and the output terminal 15.

【0014】なお、図2及び図3では入力端子及び出力
端子を別々に構成しているが、入力端子と出力端子を共
通とし、入出力端子や、入力回路または出力回路を構成
しても何ら問題はない。
Although the input terminal and the output terminal are separately configured in FIGS. 2 and 3, the input terminal and the output terminal may be commonly used to configure the input / output terminal and the input circuit or the output circuit. No problem.

【0015】次に、図2及び図3を参照に説明した入力
回路及び出力回路の例を用いて、図1に示した入力端子
または出力端子に接続する拡散素子を形成する領域2及
び分離領域3の配置について、詳細に説明する。
Next, using the example of the input circuit and the output circuit described with reference to FIGS. 2 and 3, the region 2 and the isolation region for forming the diffusion element connected to the input terminal or the output terminal shown in FIG. 1 are formed. The arrangement of No. 3 will be described in detail.

【0016】上記して説明したように、2は入力回路ま
たは出力回路を形成する拡散素子のうち入力端子または
出力端子に接続する拡散素子を形成する領域であり、図
2に示す入力回路を構成する拡散素子では、ダイオード
9及び10、拡散抵抗11がつくり込まれる。そして、
分離領域3には、入力端子8に直接、拡散領域が接続さ
れない拡散素子であるPチャンネルMOSFET12及
びNチャンネルMOSFET13をつくり込む。
As described above, reference numeral 2 denotes a region for forming the diffusion element connected to the input terminal or the output terminal among the diffusion elements forming the input circuit or the output circuit, which constitutes the input circuit shown in FIG. In the diffusion element, the diodes 9 and 10 and the diffusion resistance 11 are incorporated. And
In the isolation region 3, a P-channel MOSFET 12 and an N-channel MOSFET 13 which are diffusion elements whose diffusion region is not directly connected to the input terminal 8 are formed.

【0017】また、図3に示す出力回路を構成する拡散
素子では、ダイオード16、17および拡散抵抗18、
ならびに、PチャンネルMOSFET19のドレイン
部、NチャンネルMOSFET20のドレイン部が出力
端子15と拡散領域が接続する拡散素子に該当し、これ
らの各拡散素子を入力端子または出力端子に接続する拡
散素子を形成する領域2につくり込む。
Further, in the diffusion element constituting the output circuit shown in FIG. 3, the diodes 16, 17 and the diffusion resistance 18,
In addition, the drain portion of the P-channel MOSFET 19 and the drain portion of the N-channel MOSFET 20 correspond to the diffusion element in which the output terminal 15 and the diffusion region are connected, and form a diffusion element that connects each of these diffusion elements to the input terminal or the output terminal. Build in Area 2.

【0018】以上のように本発明の実施の形態では、入
力端子または出力端子と接続した拡散素子を内部回路と
分離した位置に配置形成するため、入力端子または出力
端子と内部回路とを接続する寄生トランジスタが形成さ
れない。このため内部回路形成領域4に対してラッチア
ップ現象の原因となる基板電流の電気的経路をしゃ断す
る働きをし、内部回路形成領域4でラッチアップ現象が
起こりにくくなる。しかも、従来のラッチアップ現象対
策のようにPチャンネルMOSFETとNチャンネルM
OSFETを分離形成するのではなく、拡散素子の配置
を限定しているだけなので、チップ面積が増大すること
もない。
As described above, in the embodiment of the present invention, since the diffusion element connected to the input terminal or the output terminal is arranged and formed at a position separated from the internal circuit, the input terminal or the output terminal is connected to the internal circuit. No parasitic transistor is formed. As a result, the internal circuit forming region 4 acts to cut off the electrical path of the substrate current that causes the latch-up phenomenon, and the latch-up phenomenon hardly occurs in the internal circuit forming region 4. Moreover, the P-channel MOSFET and the N-channel M are provided as in the conventional latch-up phenomenon countermeasure
Since the OSFET is not formed separately but only the arrangement of the diffusion elements is limited, the chip area does not increase.

【0019】また、入力回路または出力回路に従来の技
術と同様に、ラッチアップ防止策を設ければ、入力回路
または出力回路の面積は従来通りであるが、内部回路に
ラッチアップ防止策を設けなくてすむので、全体として
のチップ面積を減少させることができる。なお、入力回
路または出力回路にラッチアップ防止策を設ければ、入
力回路または出力回路における基板電流は、ラッチアッ
プ防止策を設けない場合と比較してかなり減少されるの
で、本発明と組み合わせることによって、内部回路形成
領域4のラッチアップ現象対策で、より大きな効果が得
られる。
Further, if the input circuit or the output circuit is provided with the latch-up prevention measure as in the conventional technique, the area of the input circuit or the output circuit is the same as the conventional one, but the internal circuit is provided with the latch-up prevention measure. Since it is unnecessary, the chip area as a whole can be reduced. If the input circuit or the output circuit is provided with a latch-up prevention measure, the substrate current in the input circuit or the output circuit is considerably reduced as compared with the case where the latch-up prevention measure is not provided. As a result, a larger effect can be obtained as a countermeasure against the latch-up phenomenon in the internal circuit formation region 4.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上のように本発明は、内部回路と、入
力端子または出力端子に接続した拡散素子とが直接、接
する構成をとらないので、入力端子または出力端子に接
続した拡散素子から内部回路へ、ラッチアップ現象の原
因となる基板電流の流れ込みをしゃ断することができ内
部回路形成領域ではラッチアップ現象が起こりにくくな
る。
As described above, according to the present invention, since the internal circuit and the diffusion element connected to the input terminal or the output terminal are not in direct contact with each other, the diffusion element connected to the input terminal or the output terminal is internally connected. The inflow of the substrate current, which causes the latch-up phenomenon, can be cut off into the circuit, and the latch-up phenomenon is less likely to occur in the internal circuit formation region.

【0021】さらに、入力回路または出力回路形成領域
にラッチアップ現象対策を行えば、内部回路形成領域に
おけるラッチアップ現象はほとんどなくなり、ラッチア
ップ現象防止策を内部回路形成領域には設けなくてす
み、内部回路の面積を減少させることもできる。
Further, if a countermeasure against the latch-up phenomenon is taken in the input circuit or output circuit forming region, the latch-up phenomenon in the internal circuit forming region is almost eliminated, and the latch-up phenomenon preventing measure need not be provided in the internal circuit forming region. It is also possible to reduce the area of the internal circuit.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態を示す配置図FIG. 1 is a layout drawing showing an embodiment of the present invention.

【図2】入力回路の一例を示す図FIG. 2 is a diagram showing an example of an input circuit.

【図3】出力回路の一例を示す図FIG. 3 is a diagram showing an example of an output circuit.

【図4】従来例を示す配置図FIG. 4 is a layout drawing showing a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 入力端子または出力端子形成領域 2 入力端子または出力端子に接続する拡散素子を形成
する領域 3 分離領域 4 内部回路形成領域
1 Input terminal or output terminal formation area 2 Area where diffusion element connected to input terminal or output terminal is formed 3 Separation area 4 Internal circuit formation area

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体基板に入力端子が形成される第1
の領域と、ダイオード、拡散抵抗、及び、CMOSイン
バータで構成される入力回路が形成される第2の領域
と、内部回路が形成される第3の領域とを有し、前記第
2の領域は前記第1の領域と第3の領域との間に配置
し、前記第2の領域は、前記第1の領域と接する第4の
領域と前記第3の領域と接する第5の領域とを有し、前
記入力回路を構成する拡散素子のうち前記入力端子に接
続する拡散素子全てを前記第4の領域に配置し、前記入
出力回路のうち前記第4の領域に配置した拡散素子を除
く全ての拡散素子を第5の領域に配置し、前記CMOS
インバータを構成する電界効果型PチャンネルMOSト
ランジスタと電界効果型NチャンネルMOSトランジス
タのドレイン部及びソース部のうち、各々一方の種類の
電極を、各々他方の種類の電極に比し前記第1の領域側
に配置することを特徴とする半導体集積回路。
1. A first substrate having an input terminal formed on a semiconductor substrate.
Area, a second area in which an input circuit composed of a diode, a diffusion resistor, and a CMOS inverter is formed, and a third area in which an internal circuit is formed, and the second area is The second region has a fourth region in contact with the first region and a fifth region in contact with the third region, the second region being disposed between the first region and the third region. All of the diffusion elements forming the input circuit connected to the input terminal are arranged in the fourth region, and all the diffusion elements arranged in the fourth region of the input / output circuit are excluded. Disposing the diffusion element in the fifth region,
Of the drain portion and the source portion of the field-effect P-channel MOS transistor and the field-effect N-channel MOS transistor that form the inverter, the electrode of one type is compared with the electrode of the other type, and the first region is formed. A semiconductor integrated circuit, which is arranged on the side.
【請求項2】 半導体基板に出力端子が形成される第1
の領域と、ダイオード、拡散抵抗、及び、CMOSイン
バータで構成される出力回路が形成される第2の領域
と、内部回路が形成される第3の領域とを有し、前記第
2の領域は前記第1の領域と第3の領域との間に配置
し、前記第2の領域は、前記第1の領域と接する第4の
領域と前記第3の領域と接する第5の領域とを有し、前
記出力回路を構成する拡散素子のうち前記出力端子に接
続する拡散素子全てを前記第4の領域に配置し、前記入
出力回路のうち前記第4の領域に配置した拡散素子を除
く全ての拡散素子を第5の領域に配置し、前記CMOS
インバータを構成する電界効果型PチャンネルMOSト
ランジスタと電界効果型NチャンネルMOSトランジス
タのドレイン部及びソース部のうち、各々一方の種類の
電極を、各々他方の種類の電極に比し前記第1の領域側
に配置することを特徴とする半導体集積回路。
2. A first substrate having an output terminal formed on a semiconductor substrate.
Area, a second area in which an output circuit composed of a diode, a diffusion resistor, and a CMOS inverter is formed, and a third area in which an internal circuit is formed, and the second area is The second region has a fourth region in contact with the first region and a fifth region in contact with the third region, the second region being disposed between the first region and the third region. All the diffusion elements connected to the output terminal among the diffusion elements forming the output circuit are arranged in the fourth region, and all the diffusion elements arranged in the fourth region of the input / output circuit are excluded. Disposing the diffusion element in the fifth region,
Of the drain portion and the source portion of the field-effect P-channel MOS transistor and the field-effect N-channel MOS transistor that form the inverter, the electrode of one type is compared with the electrode of the other type, and the first region is formed. A semiconductor integrated circuit, which is arranged on the side.
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