JPH08292087A - レーザー利用測定器の反射戻り光低下装置 - Google Patents
レーザー利用測定器の反射戻り光低下装置Info
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- JPH08292087A JPH08292087A JP12090895A JP12090895A JPH08292087A JP H08292087 A JPH08292087 A JP H08292087A JP 12090895 A JP12090895 A JP 12090895A JP 12090895 A JP12090895 A JP 12090895A JP H08292087 A JPH08292087 A JP H08292087A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 28
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 2
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
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- LAJZODKXOMJMPK-UHFFFAOYSA-N tellurium dioxide Chemical compound O=[Te]=O LAJZODKXOMJMPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001364 causal effect Effects 0.000 description 1
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定対象等からの反射光がレーザー光源に戻
ることにより生じるモードフリップ現象を防止する。 【構成】 異方ブラッグ回折を利用した音響光学素子を
用いてレーザー光源への反射戻り光を低減し、また測定
対象への照射レーザー光自体を制限し反射戻り光の絶対
量を小さくすることができる。
ることにより生じるモードフリップ現象を防止する。 【構成】 異方ブラッグ回折を利用した音響光学素子を
用いてレーザー光源への反射戻り光を低減し、また測定
対象への照射レーザー光自体を制限し反射戻り光の絶対
量を小さくすることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザー光を測定対
象に照射した際該測定対象の性質または状態に応じて上
記レーザー光に変化が生じるものに関するもので、該レ
ーザー光の変化分を取り出すことにより測定対象の性質
または状態を測定するようにしたレーザー利用測定器に
関する。
象に照射した際該測定対象の性質または状態に応じて上
記レーザー光に変化が生じるものに関するもので、該レ
ーザー光の変化分を取り出すことにより測定対象の性質
または状態を測定するようにしたレーザー利用測定器に
関する。
【０００２】
【従来の技術】このような、レーザー利用測定器の一つ
として、従来、図６に示すような測定対象の振動速度を
測定するレーザードップラ振動計があった。このレーザ
ードップラ振動計では、レーザー光源１０から出射され
るレーザー光はレンズ２０を通り、光分岐装置として作
用するビームスプリッタ２１により参照レーザー光と照
射レーザー光とに分岐される。参照レーザー光はＡＯＭ
駆動発振器６４により駆動される周波数シフタとして作
用する音響光学素子（ＡＯＭ）４０によりその周波数が
シフト調整される。一方、照射レーザー光はミラー２
２、２３、ビームスプリッタ２４、λ／４波長板２５を
介して測定対象３０に照射される。そして、測定対象３
０からの反射レーザー光はλ／４波長板２５、ビームス
プリッタ２４によりその経路を変えられミラー２６を介
して光干渉作用を有するビームスプリッタ２７に導入さ
れる。なお、測定対象に照射されたレーザー光の反射レ
ーザー光には、測定対象が振動していた場合、ドップラ
効果による周波数変動が現れる。さて、ビームスプリッ
タ２７では、これらの参照レーザー光及び反射レーザー
光が互いに重ね干渉させられて、光電気変換器であるＯ
／Ｅ変換器４１に入力される。Ｏ／Ｅ変換器４１では、
これら両レーザー光の重なり部分についての電気信号で
あるビート信号が得られる。このビート信号は、次い
で、復調器５０の周波数電圧変換部（Ｆ／Ｖ変換部）に
入力され電圧信号に変換される。この電圧信号は測定対
象３０の振動状態を表すものである。
として、従来、図６に示すような測定対象の振動速度を
測定するレーザードップラ振動計があった。このレーザ
ードップラ振動計では、レーザー光源１０から出射され
るレーザー光はレンズ２０を通り、光分岐装置として作
用するビームスプリッタ２１により参照レーザー光と照
射レーザー光とに分岐される。参照レーザー光はＡＯＭ
駆動発振器６４により駆動される周波数シフタとして作
用する音響光学素子（ＡＯＭ）４０によりその周波数が
シフト調整される。一方、照射レーザー光はミラー２
２、２３、ビームスプリッタ２４、λ／４波長板２５を
介して測定対象３０に照射される。そして、測定対象３
０からの反射レーザー光はλ／４波長板２５、ビームス
プリッタ２４によりその経路を変えられミラー２６を介
して光干渉作用を有するビームスプリッタ２７に導入さ
れる。なお、測定対象に照射されたレーザー光の反射レ
ーザー光には、測定対象が振動していた場合、ドップラ
効果による周波数変動が現れる。さて、ビームスプリッ
タ２７では、これらの参照レーザー光及び反射レーザー
光が互いに重ね干渉させられて、光電気変換器であるＯ
／Ｅ変換器４１に入力される。Ｏ／Ｅ変換器４１では、
これら両レーザー光の重なり部分についての電気信号で
あるビート信号が得られる。このビート信号は、次い
で、復調器５０の周波数電圧変換部（Ｆ／Ｖ変換部）に
入力され電圧信号に変換される。この電圧信号は測定対
象３０の振動状態を表すものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
レーザー利用測定器を利用する場合、測定対象等が高反
射体であったとすると、強い反射レーザー光が照射経路
を逆にたどりレーザー光源１０に戻るいわゆる戻り光と
呼ばれるものが生じる場合があった。このような反射戻
り光が相当程度生じていた場合、いわゆるモードフリッ
プ現象が生じてしまい、レーザー光源１０から出射され
るレーザー光が一定のものとならず多モード発振（異な
る多数の周波数のレーザー光の混在したものとなる）状
態となる。このようなモードフリップ現象が生じた場合
には、基になる出射レーザー光がバタつくため、測定そ
のものが無意味となる欠点があった。このような欠点を
解決するため、従来においてはおおむね２つの方法を採
用していた。第１の方法は、測定対象へレーザー光を照
射する照射経路を構成する各光学素子（各ビームスプリ
ッタ、λ／４波長板２５など）の光学特性を厳密に管理
し、不要な反射戻り光が生じないようにする方法であ
る。また、第２の方法は、レーザー光源と測定対象との
間に順方向にはレーザー光を通すが逆方向には通さない
光アイソレータを挿入する方法である。第１の方法は、
各光学素子の厳格な管理を必要とし測定器のコストの上
昇を招く。また、第２の方法にあっても光アイソレータ
自身が高価であり同じくコストの上昇を招くという欠点
を有していた。この発明は、この点を改善するためにな
されたもので構成が簡単でかつ安価なレーザー利用測定
器を提供するものである。
レーザー利用測定器を利用する場合、測定対象等が高反
射体であったとすると、強い反射レーザー光が照射経路
を逆にたどりレーザー光源１０に戻るいわゆる戻り光と
呼ばれるものが生じる場合があった。このような反射戻
り光が相当程度生じていた場合、いわゆるモードフリッ
プ現象が生じてしまい、レーザー光源１０から出射され
るレーザー光が一定のものとならず多モード発振（異な
る多数の周波数のレーザー光の混在したものとなる）状
態となる。このようなモードフリップ現象が生じた場合
には、基になる出射レーザー光がバタつくため、測定そ
のものが無意味となる欠点があった。このような欠点を
解決するため、従来においてはおおむね２つの方法を採
用していた。第１の方法は、測定対象へレーザー光を照
射する照射経路を構成する各光学素子（各ビームスプリ
ッタ、λ／４波長板２５など）の光学特性を厳密に管理
し、不要な反射戻り光が生じないようにする方法であ
る。また、第２の方法は、レーザー光源と測定対象との
間に順方向にはレーザー光を通すが逆方向には通さない
光アイソレータを挿入する方法である。第１の方法は、
各光学素子の厳格な管理を必要とし測定器のコストの上
昇を招く。また、第２の方法にあっても光アイソレータ
自身が高価であり同じくコストの上昇を招くという欠点
を有していた。この発明は、この点を改善するためにな
されたもので構成が簡単でかつ安価なレーザー利用測定
器を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このため、第１発明で
は、レーザー光の測定対象からの反射レーザー光がレー
ザー光源に戻る反射戻り光を低減するため、周波数シフ
タとして動作する音響光学素子を異方ブラッグ回折を利
用したものとし、上記レーザー光源からのレーザー光を
該異方ブラッグ回折利用音響光学素子を介して測定対象
に照射するようにし、また、第２発明では、レーザー光
の測定対象からの反射レーザー光がレーザー光源に戻る
反射戻り光を低減するため、周波数シフタとして動作す
る音響光学素子の駆動電力を低下させて測定対象に照射
される照射レーザー光の強さを制限するようにしたもの
である。
は、レーザー光の測定対象からの反射レーザー光がレー
ザー光源に戻る反射戻り光を低減するため、周波数シフ
タとして動作する音響光学素子を異方ブラッグ回折を利
用したものとし、上記レーザー光源からのレーザー光を
該異方ブラッグ回折利用音響光学素子を介して測定対象
に照射するようにし、また、第２発明では、レーザー光
の測定対象からの反射レーザー光がレーザー光源に戻る
反射戻り光を低減するため、周波数シフタとして動作す
る音響光学素子の駆動電力を低下させて測定対象に照射
される照射レーザー光の強さを制限するようにしたもの
である。
【０００５】
【作用】第１発明の異方ブラッグ回折を利用した音響光
学素子は、入射レーザー光の周波数を所定量シフトする
（ずらす）作用と、入射レーザー光をいくつかのレーザ
ー光に分岐するとともに各分岐レーザー光に方向性を与
え各分岐レーザー光に戻り光があった場合でもレーザー
光源にはもどさない作用を有している。また、第２発明
の周波数シフタとして動作する音響光学素子は、図４及
び図５に示すように、その駆動電力に応じて回折効率が
変化し、入射レーザー光の回折光として出力されるレー
ザー光の強さを増減調整できる。従って、この音響光学
素子を通ったレーザー光に戻り光があった場合でも、測
定対象に照射されるレーザー光の強さを適当な段階にま
で低下させることができるので、レーザー光源へ戻る戻
り光の量を小さくすることができる。
学素子は、入射レーザー光の周波数を所定量シフトする
（ずらす）作用と、入射レーザー光をいくつかのレーザ
ー光に分岐するとともに各分岐レーザー光に方向性を与
え各分岐レーザー光に戻り光があった場合でもレーザー
光源にはもどさない作用を有している。また、第２発明
の周波数シフタとして動作する音響光学素子は、図４及
び図５に示すように、その駆動電力に応じて回折効率が
変化し、入射レーザー光の回折光として出力されるレー
ザー光の強さを増減調整できる。従って、この音響光学
素子を通ったレーザー光に戻り光があった場合でも、測
定対象に照射されるレーザー光の強さを適当な段階にま
で低下させることができるので、レーザー光源へ戻る戻
り光の量を小さくすることができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明を、反射型のレーザー利用測定
器に採用した実施例装置について図面を参照して説明す
る。図において、図１、図２は異方ブラッグ回折を利用
した音響光学素子を用いた第１実施例装置を、図３〜図
５は音響光学素子による照射レーザー光の制限を行う第
２実施例装置をそれぞれ示す説明図である。
器に採用した実施例装置について図面を参照して説明す
る。図において、図１、図２は異方ブラッグ回折を利用
した音響光学素子を用いた第１実施例装置を、図３〜図
５は音響光学素子による照射レーザー光の制限を行う第
２実施例装置をそれぞれ示す説明図である。
【０００７】まず、図１、図２に基づき本発明の第１実
施例を説明する。図１において、先に説明した従来装置
と同一または相当する部分には同一の符号を付してい
る。２８、２９はミラー、３０は高反射体からなる測定
対象、４５は異方ブラッグ回折を利用した音響光学素子
（ＡＯＭ）である。
施例を説明する。図１において、先に説明した従来装置
と同一または相当する部分には同一の符号を付してい
る。２８、２９はミラー、３０は高反射体からなる測定
対象、４５は異方ブラッグ回折を利用した音響光学素子
（ＡＯＭ）である。
【０００８】異方ブラッグ回折を利用した音響光学素子
４５は、図２に示すように、２酸化テルル（ＴｅＯ２）
からなる音響光学媒体４５１を有している。このような
ＡＯＭ４５にレーザー光が入射光４５２として入射され
たとすると、音響光学媒体４５１の作用により複数の回
折光が出射される。この第１実施例装置では、水平に偏
光されている０（ゼロ）次回折光４５３と垂直偏光され
た一次回折光４５４を用いている。
４５は、図２に示すように、２酸化テルル（ＴｅＯ２）
からなる音響光学媒体４５１を有している。このような
ＡＯＭ４５にレーザー光が入射光４５２として入射され
たとすると、音響光学媒体４５１の作用により複数の回
折光が出射される。この第１実施例装置では、水平に偏
光されている０（ゼロ）次回折光４５３と垂直偏光され
た一次回折光４５４を用いている。
【０００９】図１を参照する。図１の装置は、水平偏光
に関わる０次回折光４５３を参照光として、垂直偏光さ
れた１次回折光４５４を測定対象への照射光として用い
ている。レーザー光源１０から発射されるレーザー光は
水平偏光されている。この水平偏光されたレーザー光が
異方ブラッグ回折利用ＡＯＭ４５に導入されると、図２
に示すように、そのまま直進する０次回折光４５３と垂
直偏光された１次回折光４５４が発生する。前者の０次
回折光４５３は、図１に示すように、参照光として使用
するためミラー２８によってビームスプリッタ２７に向
けられる。また、後者の１次回折光は、ミラー２９、２
３、ビームスプリッタ２４及びλ／４波長板２５を介し
て測定対象３０に照射させられる。この照射光は、λ／
４波長板２５までは垂直偏光された状態にある。そし
て、λ／４波長板２５を通過することによりπ／４（９
０度）偏光される。そして、測定対象３０からの反射光
は同じくλ／４波長板２５を通過してπ／４（９０度）
偏光される。したがって、図１に示すように、垂直偏光
状態にある照射光が測定対象３０に当り測定対象３０の
状態または性質情報を含んだ反射光となる前後にλ／４
波長板２５を通すことにより水平偏光状態に変換するこ
とができる。
に関わる０次回折光４５３を参照光として、垂直偏光さ
れた１次回折光４５４を測定対象への照射光として用い
ている。レーザー光源１０から発射されるレーザー光は
水平偏光されている。この水平偏光されたレーザー光が
異方ブラッグ回折利用ＡＯＭ４５に導入されると、図２
に示すように、そのまま直進する０次回折光４５３と垂
直偏光された１次回折光４５４が発生する。前者の０次
回折光４５３は、図１に示すように、参照光として使用
するためミラー２８によってビームスプリッタ２７に向
けられる。また、後者の１次回折光は、ミラー２９、２
３、ビームスプリッタ２４及びλ／４波長板２５を介し
て測定対象３０に照射させられる。この照射光は、λ／
４波長板２５までは垂直偏光された状態にある。そし
て、λ／４波長板２５を通過することによりπ／４（９
０度）偏光される。そして、測定対象３０からの反射光
は同じくλ／４波長板２５を通過してπ／４（９０度）
偏光される。したがって、図１に示すように、垂直偏光
状態にある照射光が測定対象３０に当り測定対象３０の
状態または性質情報を含んだ反射光となる前後にλ／４
波長板２５を通すことにより水平偏光状態に変換するこ
とができる。
【００１０】さて、λ／４波長板２５を通って水平偏光
状態にされた反射光は、ビームスプリッタ２４及びミラ
ー２６を介してビームスプリッタ２７に導入される。ビ
ームスプリッタ２７では、ミラー２８からの参照レーザ
ー光とミラー２６からの反射レーザー光とが互いに重ね
干渉させられてＯ／Ｅ変換器４１に入力される。このＯ
／Ｅ変換器２７以降の構成及び動作は従来と同様であ
る。
状態にされた反射光は、ビームスプリッタ２４及びミラ
ー２６を介してビームスプリッタ２７に導入される。ビ
ームスプリッタ２７では、ミラー２８からの参照レーザ
ー光とミラー２６からの反射レーザー光とが互いに重ね
干渉させられてＯ／Ｅ変換器４１に入力される。このＯ
／Ｅ変換器２７以降の構成及び動作は従来と同様であ
る。
【００１１】このように異方ブラッグ回折を利用した音
響光学素子４５から生じる１次回折光４５４を照射光と
して利用することにより、図２に示すように、測定対象
３０からの反射戻り光がレーザー光源１０に顕著に戻る
ことはない。また、この音響光学素子４５が発生する１
次回折光が垂直偏光状態であったとしてもλ／４波長板
２５により水平偏光状態とすることができ参照光と状態
を同じとすることができる。
響光学素子４５から生じる１次回折光４５４を照射光と
して利用することにより、図２に示すように、測定対象
３０からの反射戻り光がレーザー光源１０に顕著に戻る
ことはない。また、この音響光学素子４５が発生する１
次回折光が垂直偏光状態であったとしてもλ／４波長板
２５により水平偏光状態とすることができ参照光と状態
を同じとすることができる。
【００１２】次に、図３を参照して本発明の第２実施例
装置を説明する。この実施例装置においても先の実施例
装置等と同一または相当する部分には同一の符号を付し
ている。４６は一般的な音響光学素子（ＡＯＭ）、５１
はレベル計、６５は可変ゲイン型増幅器である。
装置を説明する。この実施例装置においても先の実施例
装置等と同一または相当する部分には同一の符号を付し
ている。４６は一般的な音響光学素子（ＡＯＭ）、５１
はレベル計、６５は可変ゲイン型増幅器である。
【００１３】一般的なＡＯＭ４６は、先に図４、図５を
用いて説明したように、その駆動電力を調整することに
より導入されるレーザー光を減光調整して出力すること
ができる。この図３の装置は、このようなＡＯＭ４６を
照射レーザー光の減光手段として用いたものである。こ
の実施例装置では、ＡＯＭ４６を、レーザー光源１０か
らのレーザー光を参照光と照射光とに分岐するビームス
プリッタ２１後段の照射光経路内に設けている。具体的
には、ビームスプリッタ２１とミラー２２の間に挿入し
ている。
用いて説明したように、その駆動電力を調整することに
より導入されるレーザー光を減光調整して出力すること
ができる。この図３の装置は、このようなＡＯＭ４６を
照射レーザー光の減光手段として用いたものである。こ
の実施例装置では、ＡＯＭ４６を、レーザー光源１０か
らのレーザー光を参照光と照射光とに分岐するビームス
プリッタ２１後段の照射光経路内に設けている。具体的
には、ビームスプリッタ２１とミラー２２の間に挿入し
ている。
【００１４】また、この実施例装置においては、Ｏ／Ｅ
変換器４１の出力のレベルを測定するレベル計５１と、
この出力レベルに応じてＡＯＭ４６の駆動電力を調整す
る可変ゲイン型増幅器６５を設けている。測定対象が高
反射体であった場合、反射光強度は相当な大きさとな
る。したがって、この場合の反射戻り光も大きくなる。
そして、それと同時にＯ／Ｅ変換器４１の出力レベルも
測定不能となる程に大きくなる。反射戻り光の大きさと
Ｏ／Ｅ変換器４１の出力レベルには因果関係があり、Ｏ
／Ｅ変換器出力のレベルを測定範囲内の大きさとするよ
うに照射光の大きさを調整減光することで、レーザー光
源１０への反射戻り光もまた非常に小さなものとするこ
とができる。
変換器４１の出力のレベルを測定するレベル計５１と、
この出力レベルに応じてＡＯＭ４６の駆動電力を調整す
る可変ゲイン型増幅器６５を設けている。測定対象が高
反射体であった場合、反射光強度は相当な大きさとな
る。したがって、この場合の反射戻り光も大きくなる。
そして、それと同時にＯ／Ｅ変換器４１の出力レベルも
測定不能となる程に大きくなる。反射戻り光の大きさと
Ｏ／Ｅ変換器４１の出力レベルには因果関係があり、Ｏ
／Ｅ変換器出力のレベルを測定範囲内の大きさとするよ
うに照射光の大きさを調整減光することで、レーザー光
源１０への反射戻り光もまた非常に小さなものとするこ
とができる。
【００１５】Ｏ／Ｅ変換器４１の出力レベルは、ＡＯＭ
４６を駆動する可変ゲイン型増幅器６５にフィードバッ
クされている。Ｏ／Ｅ変換器４１の出力に応じて測定対
象への照射光強度を調整する。
４６を駆動する可変ゲイン型増幅器６５にフィードバッ
クされている。Ｏ／Ｅ変換器４１の出力に応じて測定対
象への照射光強度を調整する。
【００１６】
【発明の効果】以上、レーザー光源への戻り光を極力低
減するようにしたので、レーザー光のモードフリップ現
象をなくすことができ正確な測定を行うことができる。
また、この発明によれば、従来装置のように光アイソレ
ータ等の高価な部品を使用する必要がなく安価に実施で
きる利点がある。
減するようにしたので、レーザー光のモードフリップ現
象をなくすことができ正確な測定を行うことができる。
また、この発明によれば、従来装置のように光アイソレ
ータ等の高価な部品を使用する必要がなく安価に実施で
きる利点がある。
【図１】図１は、本発明の第１実施例装置を示すレーザ
ー利用測定器の構成説明図である。
ー利用測定器の構成説明図である。
【図２】図２は、第１実施例装置において使用する異方
ブラッグ回折を利用した音響光学素子の作用を説明する
模式図である。
ブラッグ回折を利用した音響光学素子の作用を説明する
模式図である。
【図３】図３は、本発明の第２実施例装置を示すレーザ
ー利用測定器の構成説明図である。
ー利用測定器の構成説明図である。
【図４】図４は、第２実施例装置の音響光学素子の回折
効率を示すグラフである。
効率を示すグラフである。
【図５】図５は、第２実施例装置の音響光学素子の作用
を示す模式図である。る。
を示す模式図である。る。
【図６】図６は、従来のレーザー利用測定器の構成説明
図である。
図である。
１０：レーザー光源 ２１、２４、２７：ビームスプリ
ッタ ４５：異方ブラッグ回折利用音響光学素子 ４６：音響光学素子 ４１：Ｏ／Ｅ変換器 ５０：復調回路
ッタ ４５：異方ブラッグ回折利用音響光学素子 ４６：音響光学素子 ４１：Ｏ／Ｅ変換器 ５０：復調回路
Claims (2)
- 【請求項１】測定対象に向けてレーザー光源からレーザ
ー光を照射して該測定対象の性質または状態に基づき該
レーザー光が変化するようになし、該レーザー光を光電
気変換器で電気信号に変換するようにしたレーザー利用
測定器において、 上記レーザー光の測定対象からの反射レーザー光が上記
レーザー光源に戻る反射戻り光を低減するため、周波数
シフタとして動作する音響光学素子を異方ブラッグ回折
を利用したものとし、上記レーザー光源からのレーザー
光を該異方ブラッグ回折利用音響光学素子を介して測定
対象に照射するレーザー光照射手段を設けたことを特徴
とするレーザー利用測定器。 - 【請求項２】測定対象に向けてレーザー光源からレーザ
ー光を照射して該測定対象の性質または状態に基づき該
レーザー光が変化するようになし、該レーザー光を光電
気変換器で電気信号に変換するようにしたレーザー利用
測定器において、 上記レーザー光の測定対象からの反射レーザー光が上記
レーザー光源に戻る反射戻り光を低減するため、周波数
シフタとして動作する音響光学素子の駆動電力を低下さ
せて測定対象に照射される照射レーザー光の強さを制限
する照射レーザー光制限手段を設けたことを特徴とする
レーザー利用測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12090895A JPH08292087A (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | レーザー利用測定器の反射戻り光低下装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12090895A JPH08292087A (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | レーザー利用測定器の反射戻り光低下装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08292087A true JPH08292087A (ja) | 1996-11-05 |
Family
ID=14797982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12090895A Pending JPH08292087A (ja) | 1995-04-21 | 1995-04-21 | レーザー利用測定器の反射戻り光低下装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08292087A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009250983A (ja) * | 2008-04-02 | 2009-10-29 | Polytec Gmbh | 振動計および、物体の光学的測定方法 |
-
1995
- 1995-04-21 JP JP12090895A patent/JPH08292087A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009250983A (ja) * | 2008-04-02 | 2009-10-29 | Polytec Gmbh | 振動計および、物体の光学的測定方法 |
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