JPH08285807A - 接触燃焼式ガスセンサ回路 - Google Patents
接触燃焼式ガスセンサ回路Info
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- JPH08285807A JPH08285807A JP9060795A JP9060795A JPH08285807A JP H08285807 A JPH08285807 A JP H08285807A JP 9060795 A JP9060795 A JP 9060795A JP 9060795 A JP9060795 A JP 9060795A JP H08285807 A JPH08285807 A JP H08285807A
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- Japan
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- platinum wire
- gas sensor
- type gas
- constant current
- bridge
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 接触燃焼式ガスセンサ回路の計測精度を向上
させるとともに、センサ素子の清掃を容易にする。 【構成】 接触燃焼式ガスセンサ素子Ｆ１、白金線Ｆ２
および抵抗Ｒａ，Ｒｂを各辺とするプリッジを組み、こ
れに定電流回路１から定電流を流し、信号Ｓによってこ
の定電流をオン，オフさせることにより、ガス濃度と比
例関係にあるブリッジ出力Ｖａが得られるようにし、精
度の向上を図る。同時に、比較的長いオン電流期間を利
用して、センサ素子Ｆ１の自己清掃を可能とする。
させるとともに、センサ素子の清掃を容易にする。 【構成】 接触燃焼式ガスセンサ素子Ｆ１、白金線Ｆ２
および抵抗Ｒａ，Ｒｂを各辺とするプリッジを組み、こ
れに定電流回路１から定電流を流し、信号Ｓによってこ
の定電流をオン，オフさせることにより、ガス濃度と比
例関係にあるブリッジ出力Ｖａが得られるようにし、精
度の向上を図る。同時に、比較的長いオン電流期間を利
用して、センサ素子Ｆ１の自己清掃を可能とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、防災や保安，プロセ
ス制御または環境計測などに利用される接触燃焼式ガス
センサ回路、特に高感度な計測を可能とする接触燃焼式
ガスセンサ回路に関する。
ス制御または環境計測などに利用される接触燃焼式ガス
センサ回路、特に高感度な計測を可能とする接触燃焼式
ガスセンサ回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来の接触燃焼式ガスセンサ回路
の原理回路図を示す。同図において、Ｆ１０は接触燃焼
式ガスセンサ（以下、単にセンサともいう）素子とその
抵抗値を示し、Ｆ２０はガスがない状態でＦ１０と同じ
抵抗値をもつ白金線とその抵抗値を示す。Ｒ１０，Ｒ２
０は抵抗器の抵抗値でここでは同一とする。これらによ
り、いわゆるホイートストンブリッジが形成され、定電
圧Ｅによって駆動される。このホイートストンブリッジ
の出力Ｖ０は、アンプＡによって増幅され、ガス濃度と
して出力される。なお、信号Ｓ１は定電圧源Ｅをオン，
オフさせるためのパルス信号であり、定電圧源Ｅのオン
時にガス濃度を計測するようにしている。
の原理回路図を示す。同図において、Ｆ１０は接触燃焼
式ガスセンサ（以下、単にセンサともいう）素子とその
抵抗値を示し、Ｆ２０はガスがない状態でＦ１０と同じ
抵抗値をもつ白金線とその抵抗値を示す。Ｒ１０，Ｒ２
０は抵抗器の抵抗値でここでは同一とする。これらによ
り、いわゆるホイートストンブリッジが形成され、定電
圧Ｅによって駆動される。このホイートストンブリッジ
の出力Ｖ０は、アンプＡによって増幅され、ガス濃度と
して出力される。なお、信号Ｓ１は定電圧源Ｅをオン，
オフさせるためのパルス信号であり、定電圧源Ｅのオン
時にガス濃度を計測するようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な回路では、ブリッジの出力Ｖ０は次の（１）式で与え
られる。 Ｖ０＝Ｅ×｛Ｒ１０／（Ｒ１０＋Ｒ２０）−Ｆ２０／（Ｆ１０＋Ｆ２０）｝ …（１） この（１）式からも明らかなように、図３に示す回路で
は、下記，のような問題を有している。
な回路では、ブリッジの出力Ｖ０は次の（１）式で与え
られる。 Ｖ０＝Ｅ×｛Ｒ１０／（Ｒ１０＋Ｒ２０）−Ｆ２０／（Ｆ１０＋Ｆ２０）｝ …（１） この（１）式からも明らかなように、図３に示す回路で
は、下記，のような問題を有している。
【０００４】ガス濃度と出力Ｖ０との直線性が悪い。
これは、式（１）式において、接触燃焼式ガスセンサの
抵抗値Ｆ１０の白金抵抗値の変化をΔＦ１０とすると、
このΔＦ１０は次式（２）の如き関係にある。 ΔＦ１０＝Ｋ×Ｃ×Ｑ …（２） Ｋ：接触燃焼式ガスセンサの熱容量（Ω／ジュール） Ｃ：接触燃焼式ガスセンサに対するガス濃度（ｐｐｍ） Ｑ：接触燃焼式ガスセンサのガスに対する燃焼熱比（ジ
ュール／ｐｐｍ）
これは、式（１）式において、接触燃焼式ガスセンサの
抵抗値Ｆ１０の白金抵抗値の変化をΔＦ１０とすると、
このΔＦ１０は次式（２）の如き関係にある。 ΔＦ１０＝Ｋ×Ｃ×Ｑ …（２） Ｋ：接触燃焼式ガスセンサの熱容量（Ω／ジュール） Ｃ：接触燃焼式ガスセンサに対するガス濃度（ｐｐｍ） Ｑ：接触燃焼式ガスセンサのガスに対する燃焼熱比（ジ
ュール／ｐｐｍ）
【０００５】（２）式を（１）式に代入すると、次の
（３）式となり、 Ｖ０＝Ｅ×｛Ｒ１０／（Ｒ１０＋Ｒ２０）−Ｆ２０／（Ｆ１０＋Ｆ２０＋ＫＣ Ｑ）｝ …（３） 式（３）を整理すると、次式のようになる。 Ｖ０＝ＡＥ−（Ｅ×Ｆ２０）／（Ｆ１０＋Ｆ２０＋ＫＣＱ） …（４） ただし、Ａ＝Ｒ１０／（Ｒ１０＋Ｒ２０）
（３）式となり、 Ｖ０＝Ｅ×｛Ｒ１０／（Ｒ１０＋Ｒ２０）−Ｆ２０／（Ｆ１０＋Ｆ２０＋ＫＣ Ｑ）｝ …（３） 式（３）を整理すると、次式のようになる。 Ｖ０＝ＡＥ−（Ｅ×Ｆ２０）／（Ｆ１０＋Ｆ２０＋ＫＣＱ） …（４） ただし、Ａ＝Ｒ１０／（Ｒ１０＋Ｒ２０）
【０００６】したがって、（４）式に示すとおりガス濃
度Ｃは、出力Ｖ０に対して分母側にある、つまり比例関
係にはないことから、出力Ｖ０はガス濃度に対して直線
性が悪いことが分かる。その結果、ガス濃度に応じて段
階的に警報を出すような場合に、その警報設定値の設定
が困難になる等の問題を生じる。
度Ｃは、出力Ｖ０に対して分母側にある、つまり比例関
係にはないことから、出力Ｖ０はガス濃度に対して直線
性が悪いことが分かる。その結果、ガス濃度に応じて段
階的に警報を出すような場合に、その警報設定値の設定
が困難になる等の問題を生じる。
【０００７】接触燃焼式ガスセンサでは触媒上に付着
したゴミ等を清掃し、ガスとの接触面を常に一定に保つ
ための清掃（クリーニング）処理が必要となる。このた
め、図３の如き回路ではセンサ素子を過電圧により一定
時間ドライブし、自己発熱でその表面のゴミなどを清掃
するようにしており、このため電源電圧を大きくしなけ
ればならず大型かつ高価になる、という問題が生じる。
したがって、この発明の課題は接触燃焼式ガスセンサ回
路において、ガス濃度に比例する出力を得られるように
するとともに、電源装置を大型化し高価にすることなく
清掃を行ない得るようにすることにある。
したゴミ等を清掃し、ガスとの接触面を常に一定に保つ
ための清掃（クリーニング）処理が必要となる。このた
め、図３の如き回路ではセンサ素子を過電圧により一定
時間ドライブし、自己発熱でその表面のゴミなどを清掃
するようにしており、このため電源電圧を大きくしなけ
ればならず大型かつ高価になる、という問題が生じる。
したがって、この発明の課題は接触燃焼式ガスセンサ回
路において、ガス濃度に比例する出力を得られるように
するとともに、電源装置を大型化し高価にすることなく
清掃を行ない得るようにすることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るため、この発明では、接触燃焼式ガスセンサ素子とし
ての触媒を塗布された第１の白金線の一側に、その抵抗
値がこの接触燃焼式ガスセンサ素子のガス非接触時に示
す抵抗値とほぼ同じ値を持ち触媒を塗布されない第２の
白金線を接続し、この第２の白金線の一側には第１の抵
抗を接続し、この第１の抵抗の一側には第２の抵抗を接
続し、第１，第２抵抗の抵抗値はほぼ同じ値とし、前記
第２抵抗の一側には前記第１の白金線の他側を接続し、
この第１の白金線の他側と前記第２の白金線の一側との
間に定電流源を接続し、前記第１の白金線の一側と第１
の抵抗の一側との間の出力を監視するとともに、前記定
電流源をパルス信号にてオン，オフ駆動し、そのオン時
間を長くして接触燃焼式ガスセンサ素子の清掃を行なう
ことを特徴としている。
るため、この発明では、接触燃焼式ガスセンサ素子とし
ての触媒を塗布された第１の白金線の一側に、その抵抗
値がこの接触燃焼式ガスセンサ素子のガス非接触時に示
す抵抗値とほぼ同じ値を持ち触媒を塗布されない第２の
白金線を接続し、この第２の白金線の一側には第１の抵
抗を接続し、この第１の抵抗の一側には第２の抵抗を接
続し、第１，第２抵抗の抵抗値はほぼ同じ値とし、前記
第２抵抗の一側には前記第１の白金線の他側を接続し、
この第１の白金線の他側と前記第２の白金線の一側との
間に定電流源を接続し、前記第１の白金線の一側と第１
の抵抗の一側との間の出力を監視するとともに、前記定
電流源をパルス信号にてオン，オフ駆動し、そのオン時
間を長くして接触燃焼式ガスセンサ素子の清掃を行なう
ことを特徴としている。
【０００９】
【作用】接触燃焼式ガスセンサをホイートストンブリッ
ジに組み込み、これを定電流回路によりパルス駆動する
ことにより、ブリッジ出力Ｖａから、これと比例関係に
あるガス濃度Ｃを得られるようにし、測定精度を向上さ
せる。また、センサの清掃を定電流回路のオン時間を比
較的長くして行なうことにより、電源容量を特に大きく
することなく低コストに実行し得るようにする。
ジに組み込み、これを定電流回路によりパルス駆動する
ことにより、ブリッジ出力Ｖａから、これと比例関係に
あるガス濃度Ｃを得られるようにし、測定精度を向上さ
せる。また、センサの清掃を定電流回路のオン時間を比
較的長くして行なうことにより、電源容量を特に大きく
することなく低コストに実行し得るようにする。
【００１０】
【実施例】図１はこの発明の原理構成例を示す回路図で
ある。同図からも明らかなように、ここではホイートス
トンブリッジを、ガスが非接触時には抵抗値Ｆ１を示す
センサ（触媒を塗布された白金線）と、抵抗値Ｆ１と同
じ抵抗値Ｆ２を持つ白金線Ｆ２と、抵抗Ｒａと、抵抗Ｒ
ｂとから構成し、電流Ｉを供給する定電流回路１によっ
てオン，オフ駆動するようにした点が特徴である。な
お、定電流回路１には電源Ｅより電源が供給される。ま
た、抵抗Ｒａ，抵抗Ｒｂの各抵抗値をほぼ等しくするも
のとする。
ある。同図からも明らかなように、ここではホイートス
トンブリッジを、ガスが非接触時には抵抗値Ｆ１を示す
センサ（触媒を塗布された白金線）と、抵抗値Ｆ１と同
じ抵抗値Ｆ２を持つ白金線Ｆ２と、抵抗Ｒａと、抵抗Ｒ
ｂとから構成し、電流Ｉを供給する定電流回路１によっ
てオン，オフ駆動するようにした点が特徴である。な
お、定電流回路１には電源Ｅより電源が供給される。ま
た、抵抗Ｒａ，抵抗Ｒｂの各抵抗値をほぼ等しくするも
のとする。
【００１１】図１におけるブリッジ出力Ｖａは、次の
（５）式で示される。 Ｖａ＝Ｉ｛（Ｒａ×Ｆ１−Ｒｂ×Ｆ２）／（Ｒａ＋Ｒｂ＋Ｆ１＋Ｆ２）｝ …（５） ここで、抵抗値Ｆ１の白金線の抵抗値変化をΔＦ１とす
ると、これは、上記（２）式と同様に、 ΔＦ１＝Ｋ×Ｃ×Ｑ …（６） なる関係にあるので、（６）式を（５）式に代入する
と、 Ｖａ＝Ｉ［｛（Ｒａ×（Ｆ１＋ＫＣＱ）−Ｒｂ×Ｆ２｝／（Ｒａ＋Ｒｂ＋Ｆ１ ＋ＫＣＱ＋Ｆ２）］ …（７） となる。
（５）式で示される。 Ｖａ＝Ｉ｛（Ｒａ×Ｆ１−Ｒｂ×Ｆ２）／（Ｒａ＋Ｒｂ＋Ｆ１＋Ｆ２）｝ …（５） ここで、抵抗値Ｆ１の白金線の抵抗値変化をΔＦ１とす
ると、これは、上記（２）式と同様に、 ΔＦ１＝Ｋ×Ｃ×Ｑ …（６） なる関係にあるので、（６）式を（５）式に代入する
と、 Ｖａ＝Ｉ［｛（Ｒａ×（Ｆ１＋ＫＣＱ）−Ｒｂ×Ｆ２｝／（Ｒａ＋Ｒｂ＋Ｆ１ ＋ＫＣＱ＋Ｆ２）］ …（７） となる。
【００１２】（７）式において、（Ｒａ＋Ｒｂ）≫（Ｆ
１＋ＫＣＱ＋Ｆ２）が成立するようＲａ，Ｒｂを選ぶも
のとすれば、Ｖａは次式で近似される。 Ｖａ＝Ｉ×（Ｒａ×ＫＣＱ＋Ｒａ×Ｆ１−Ｒｂ×Ｆ２）／（Ｒａ＋Ｒｂ） …（８） この（８）式から、ガス濃度Ｃはブリッジ出力Ｖａと比
例関係にあり、両者間に直線性を持たせることができ、
精度を向上させることが可能となる。
１＋ＫＣＱ＋Ｆ２）が成立するようＲａ，Ｒｂを選ぶも
のとすれば、Ｖａは次式で近似される。 Ｖａ＝Ｉ×（Ｒａ×ＫＣＱ＋Ｒａ×Ｆ１−Ｒｂ×Ｆ２）／（Ｒａ＋Ｒｂ） …（８） この（８）式から、ガス濃度Ｃはブリッジ出力Ｖａと比
例関係にあり、両者間に直線性を持たせることができ、
精度を向上させることが可能となる。
【００１３】つまり、接触燃焼式ガスセンサをホイート
ストンブリッジに組み込み、これを定電流回路によって
パルス駆動することにより、ブリッジ出力Ｖａから、こ
れと比例関係にあるガス濃度Ｃを得るようにしたもので
ある。なお、（Ｒａ＋Ｒｂ）≫（Ｆ１＋ＫＣＱ＋Ｆ２）
とすることは、センサを大きな電流にてドライブできる
ことを示しており、これによりセンサへのオン時間周期
を短くすることができ、計測応答を速くすることが可能
となる。
ストンブリッジに組み込み、これを定電流回路によって
パルス駆動することにより、ブリッジ出力Ｖａから、こ
れと比例関係にあるガス濃度Ｃを得るようにしたもので
ある。なお、（Ｒａ＋Ｒｂ）≫（Ｆ１＋ＫＣＱ＋Ｆ２）
とすることは、センサを大きな電流にてドライブできる
ことを示しており、これによりセンサへのオン時間周期
を短くすることができ、計測応答を速くすることが可能
となる。
【００１４】図２は図１の動作を説明するための説明図
である。図１の定電流回路１は、図２（イ）のような信
号Ｓによりオン，オフ制御される。すなわち、測定中に
はセンサとしての白金線Ｆ１が余り発熱しないよう、オ
ン時間幅の狭いパルスによってドライブし、クリーニン
グ時にはセンサとしての白金線Ｆ１が充分発熱するよ
う、オン時間幅の広いパルスによってドライブするよう
にしている。
である。図１の定電流回路１は、図２（イ）のような信
号Ｓによりオン，オフ制御される。すなわち、測定中に
はセンサとしての白金線Ｆ１が余り発熱しないよう、オ
ン時間幅の狭いパルスによってドライブし、クリーニン
グ時にはセンサとしての白金線Ｆ１が充分発熱するよ
う、オン時間幅の広いパルスによってドライブするよう
にしている。
【００１５】図２（ロ）のＦ１温度上昇信号は、各パル
スのオン時間において、センサとしての白金線Ｆ１の温
度上昇例を示す。触媒が塗布されていない白金線Ｆ２に
おいても、ドライブ電流はセンサとしての白金線と同じ
なので、触媒が塗布されていない白金線Ｆ２の温度特性
をセンサとしての白金線Ｆ１と同一としておくことによ
り、図２（ハ）のＦ２温度上昇信号は図２（ロ）のＦ１
温度上昇信号とほぼ同様となる。また、図２（ホ）に示
すブリッジ出力Ｖａは、各白金線Ｆ１，Ｆ２の抵抗値差
と抵抗Ｒａ，Ｒｂの抵抗値差のバランスによってもたら
されるが、ガス濃度０の状態では抵抗値差がないので、
ブリッジ出力Ｖａも０となる。
スのオン時間において、センサとしての白金線Ｆ１の温
度上昇例を示す。触媒が塗布されていない白金線Ｆ２に
おいても、ドライブ電流はセンサとしての白金線と同じ
なので、触媒が塗布されていない白金線Ｆ２の温度特性
をセンサとしての白金線Ｆ１と同一としておくことによ
り、図２（ハ）のＦ２温度上昇信号は図２（ロ）のＦ１
温度上昇信号とほぼ同様となる。また、図２（ホ）に示
すブリッジ出力Ｖａは、各白金線Ｆ１，Ｆ２の抵抗値差
と抵抗Ｒａ，Ｒｂの抵抗値差のバランスによってもたら
されるが、ガス濃度０の状態では抵抗値差がないので、
ブリッジ出力Ｖａも０となる。
【００１６】ここで、ガス濃度が例えば図２（ニ）のよ
うに変化すると、センサとしての白金線Ｆ１は触媒の発
熱によって図２（ロ）の期間Ａで示すように温められ、
その抵抗値が白金の温度係数によって上昇する。一方、
触媒が塗布されていない白金線はＦ２、白金自身の温度
上昇による上昇分しかないので、ブリッジのバランスが
くずれ、その出力Ｖａにはガス濃度変化による出力が、
図２（ホ）のように現れることになる。
うに変化すると、センサとしての白金線Ｆ１は触媒の発
熱によって図２（ロ）の期間Ａで示すように温められ、
その抵抗値が白金の温度係数によって上昇する。一方、
触媒が塗布されていない白金線はＦ２、白金自身の温度
上昇による上昇分しかないので、ブリッジのバランスが
くずれ、その出力Ｖａにはガス濃度変化による出力が、
図２（ホ）のように現れることになる。
【００１７】また、図２の符号Ｂはクリーニング期間を
示しており、この期間は信号Ｓのオン期間が測定中のそ
れとは長くなっていることが分かる。このとき、ドライ
ブ電流による白金自身の自己発熱は、図２（ロ），
（ハ）に示すようにセンサＦ１，触媒を塗布しない白金
線Ｆ２ともに同じなので、ブリッジは平衡が保たれ、出
力Ｖａは０となる。
示しており、この期間は信号Ｓのオン期間が測定中のそ
れとは長くなっていることが分かる。このとき、ドライ
ブ電流による白金自身の自己発熱は、図２（ロ），
（ハ）に示すようにセンサＦ１，触媒を塗布しない白金
線Ｆ２ともに同じなので、ブリッジは平衡が保たれ、出
力Ｖａは０となる。
【００１８】
【発明の効果】この発明によれば、接触燃焼式ガスセン
サをホイートストンブリッジに組み込み、これを定電流
回路によりパルス駆動するようにしたので、ブリッジ出
力Ｖａから、これと比例関係にあるガス濃度Ｃを得るこ
とで、測定精度を向上させることができる。また、ブリ
ッジのオン，オフ駆動電流周期を短くすることで、計測
応答を速めることが可能となる。さらに、センサの清掃
を定電流回路のオン時間を長くして実行するようにした
ので、電源容量を特に大きくすることなく低コストに実
行し得る利点が得られる。
サをホイートストンブリッジに組み込み、これを定電流
回路によりパルス駆動するようにしたので、ブリッジ出
力Ｖａから、これと比例関係にあるガス濃度Ｃを得るこ
とで、測定精度を向上させることができる。また、ブリ
ッジのオン，オフ駆動電流周期を短くすることで、計測
応答を速めることが可能となる。さらに、センサの清掃
を定電流回路のオン時間を長くして実行するようにした
ので、電源容量を特に大きくすることなく低コストに実
行し得る利点が得られる。
【図１】この発明の実施例を示す回路図である。
【図２】図１の動作を説明するための各部波形図であ
る。
る。
【図３】従来例を示す原理構成図である。
１…定電流回路、２，Ａ…アンプ、Ｅ…電源、Ｆ１，Ｆ
１０…センサ（白金線）、Ｆ２，Ｆ２０…白金線、Ｒ
ａ，Ｒｂ，Ｒ１０，Ｒ２０…抵抗。
１０…センサ（白金線）、Ｆ２，Ｆ２０…白金線、Ｒ
ａ，Ｒｂ，Ｒ１０，Ｒ２０…抵抗。
Claims (1)
- 【請求項１】 接触燃焼式ガスセンサ素子としての触媒
を塗布された第１の白金線の一側に、その抵抗値がこの
接触燃焼式ガスセンサ素子のガス非接触時に示す抵抗値
とほぼ同じ値を持ち触媒を塗布されない第２の白金線を
接続し、この第２の白金線の一側には第１の抵抗を接続
し、この第１の抵抗の一側には第２の抵抗を接続し、第
１，第２抵抗の抵抗値はほぼ同じ値とし、前記第２抵抗
の一側には前記第１の白金線の他側を接続し、この第１
の白金線の他側と前記第２の白金線の一側との間に定電
流源を接続し、前記第１の白金線の一側と第１の抵抗の
一側との間の出力を監視するとともに、前記定電流源を
パルス信号にてオン，オフ駆動し、そのオン時間を長く
して接触燃焼式ガスセンサ素子の清掃を行なうことを特
徴とする接触燃焼式ガスセンサ回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9060795A JPH08285807A (ja) | 1995-04-17 | 1995-04-17 | 接触燃焼式ガスセンサ回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9060795A JPH08285807A (ja) | 1995-04-17 | 1995-04-17 | 接触燃焼式ガスセンサ回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08285807A true JPH08285807A (ja) | 1996-11-01 |
Family
ID=14003170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9060795A Pending JPH08285807A (ja) | 1995-04-17 | 1995-04-17 | 接触燃焼式ガスセンサ回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08285807A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001324463A (ja) * | 2000-05-12 | 2001-11-22 | Hioki Ee Corp | ガス濃度検出センサおよびガス濃度測定装置 |
| JP2007198816A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Taizo Ishikawa | 接触燃焼式ガスセンサを用いた検出回路 |
| US8201992B2 (en) * | 2001-07-16 | 2012-06-19 | Sensor Tech, Inc. | Sensor device and method for qualitative and quantitative analysis of gas phase substances |
-
1995
- 1995-04-17 JP JP9060795A patent/JPH08285807A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001324463A (ja) * | 2000-05-12 | 2001-11-22 | Hioki Ee Corp | ガス濃度検出センサおよびガス濃度測定装置 |
| US8201992B2 (en) * | 2001-07-16 | 2012-06-19 | Sensor Tech, Inc. | Sensor device and method for qualitative and quantitative analysis of gas phase substances |
| JP2007198816A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Taizo Ishikawa | 接触燃焼式ガスセンサを用いた検出回路 |
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