JPH08279337A - 露光装置および露光方法 - Google Patents

露光装置および露光方法

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JPH08279337A
JPH08279337A JP8013895A JP8013895A JPH08279337A JP H08279337 A JPH08279337 A JP H08279337A JP 8013895 A JP8013895 A JP 8013895A JP 8013895 A JP8013895 A JP 8013895A JP H08279337 A JPH08279337 A JP H08279337A
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JP
Japan
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shutter
light source
linear light
longitudinal direction
panel
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Pending
Application number
JP8013895A
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English (en)
Inventor
Mitsuru Yamada
充 山田
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
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  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 線状光源をその長手方向に傾斜揺動させなが
ら開口部を有するシャッタを移動させて露光する部分露
光方式において、シャッタの移動速度を蛍光面の中央部
から周辺部に露光領域が移動するにしたがって連続的に
減少させることにより、画面全域にストライプ状蛍光体
層を均一に形成するための露光装置および露光方法を提
供する。 【構成】 少なくとも線状光源7と、前記線状光源7と
パネルとの間に前記線状光源7の長手方向と直交する方
向を長手方向とする開口部を有しかつ前記線状光源7の
長手方向に移動可能に設けられたシャッタ9と、前記線
状光源7を前記シャッタ9の開口部の移動と同期して傾
斜揺動させる機構11とを具備したカラー陰極線管の露
光装置において、前記シャッタの傾斜速度を露光領域に
応じて可変するサーボモータからなる移動速度可変機構
12を具備した露光装置、および前記シャッタの移動速
度をパネルの中央部で最大とし、端部で0となるような
正弦波状に制御して露光する露光方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はカラー陰極線管の蛍光面
形成に用いる露光装置および露光方法に関し、特にスト
ライプ状蛍光体層を有するカラー陰極線管の露光装置お
よび露光方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、シャドウマスク型カラー陰極線
管は、図3に示すように、バルブ1の前面部を構成する
パネル2の内面に、その内側に配設されたシャドウマス
ク3に対向して蛍光面4が形成され、外囲器1の後部内
に配設された電子銃5から放出される電子ビームにより
シャドウマスク3を介して蛍光面4を走査することによ
り、蛍光面上に画像を表示するように構成されている。
このようなカラー陰極線管のうち、シャドウマスクの電
子ビーム通過孔をスロット状とし、かつこの電子ビーム
通過孔を狭幅のブリッジを介して直線状に配列し、この
シャドウマスクに対応して蛍光面を青、赤、緑に発光す
るストライプ状の三色蛍光体層B,R,Gで構成したも
のがある。従来より、このカラー陰極線管の蛍光面は写
真製版法により形成されている。すなわち、パネルの内
面に、蛍光体、ポリビニールアルコールおよび重クロム
酸塩を主成分とする蛍光体スラリを塗布し、乾燥して蛍
光体スラリ層を形成した後、シャドウマスクを装着して
部分露光方式により露光する。
【0003】そして、露光終了後、上記蛍光体スラリ層
を現像し、シャドウマスクの電子ビーム通過孔を介して
焼き付けられたストライプ状蛍光体層を形成する。この
蛍光体層形成法を三色蛍光体層B,R,Gからなる蛍光
面を形成している。図4に、上記三色蛍光体層の形成に
使用される部分露光方式の露光装置の要部構成を示す。
この方式の露光装置は、特開昭63−133429号公
報に開示されているように、パネル2を位置決め支持す
るテーブル6を有し、かつスロット状電子ビーム通過孔
がブリッジを介して直線状に配列されたシャドウマスク
3を介してストライプ状の三色蛍光体層を形成するため
に、上記テーブル6下に、スロット状電子ビーム通過孔
の直線配列方向を長手方向とする線状光源7が配置され
ている。また、この線状光源7とテーブル6上に位置決
め支持されたパネル2との間に、線状光源7の長手方向
と直交する方向を長手方向とする開口部8を持つシャッ
タ9が配置されている。なお、この露光装置は上記構成
の他に通常の露光装置と同様に線状光源7からの光の軌
道を電子ビームの軌道に近似させる補正レンズ、パネル
2内面に対する光量分布を補正する補正フィルタ等を備
えているが、図面では省略されている。
【0004】部分露光方式による露光は、図5に示すよ
うに、シャッタ9を線状光源7の長手方向に一定の速度
で移動させるとともに、このシャッタ9の移動に同期し
て、線状光源7を一定の傾斜速度で移動させて、パネル
2内面に対して光照射部分を移動させる走査方式で行な
われる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述したシャ
ッタ9を線状光源7の長手方向に移動させながら露光す
る方法では、線状光源7とパネル2内面の蛍光面との距
離が蛍光面の中央部と周辺部で異なるため、中央部で露
光が充分でも周辺部では露光が不充分となりやすく、周
辺部の蛍光体層の欠落(ストライプ落ち)が生じ、均一
な蛍光面が画面全域に亘って形成できにくいという問題
があった。また、周辺部で露光時間が充分取れるように
すると、中央部の露光が過度となりストライプ幅が太く
なったり、露光時間が長くなり作業性が悪くなるという
問題があった。本発明の目的は、上記の問題点を解決す
るために、シャッタを線状光源の長手方向に移動させな
がら露光する部分露光方式において、シャッタの移動速
度を蛍光面の中央部から周辺部に露光領域が移動するに
したがって連続的に減少させることにより、画面全域に
ストライプ状蛍光体層を均一に形成するための露光装置
及び露光方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、線状光源と、
この線状光源とパネルとの間に前記線状光源の長手方向
と直交する方向を長手方向とする開口部を有しかつ前記
線状光源の長手方向に移動可能に設けられたシャッタ
と、前記線状光源を前記シャッタの開口部の移動と同期
して傾斜揺動させる機構とを具備したカラー陰極線管の
露光装置において、前記シャッタの移動速度を露光領域
に応じて可変にする移動速度可変機構を具備する露光装
置を提供する。そして、前記シャッタの移動速度可変機
構の駆動部が回転速度の制御可能なサーボモータから構
成されているのが望ましい。また、線状光源と、前記線
状光源とパネルとの間に前記線状光源の長手方向と直交
する方向を長手方向とする開口部を有するシャッタを配
置し、前記線状光源から放射される光を前記シャッタの
開口部及びシャドウマスクを介して、前記パネル内面の
蛍光面形成部材に照射することにより、前記パネル内面
に前記線状光源の長手方向と同方向に長い複数色の蛍光
体層を形成するに際し、前記シャッタを前記線状光源の
長手方向に移動させるとともに、前記線状光源を前記シ
ャッタの開口部の移動と同期して傾斜揺動させて露光す
る露光方法において、前記シャッタの移動速度をパネル
の中央部で最大とし、端部で0となるような正弦波状に
制御して露光する露光方法を提供する。
【0007】
【作用】通常、線状光源がパネル内面の曲面の中心に配
置されていないため、線状光源とパネル内面との距離が
中央部が最少で周辺部にいくにしたがって遠くなる。そ
こで、上記の構成の装置および方法によれば、シャッタ
の移動速度が露光部分が中央部から周辺部に移動するに
ともない減少させて、露光時間を距離に対応して最適な
値に維持できるため、蛍光面全域で露光量が均一とな
り、ストライプ状蛍光体層を蛍光面全域で均一に形成す
ることができる。
【0008】
【実施例】以下、本発明について、図面を参照して説明
する。従来例と同一部分には同一参照符号を付し説明を
省略する。本発明の露光装置の全体の構成は、従来のそ
れとほぼ同じであり、パネルを位置決めするテーブル
と、このテーブルに位置決め支持されたパネル内面の蛍
光体スラリ層等の蛍光面形成物質層にシャドウマスクを
介して光を照射する線状光源と、この線状光源の長手方
向と直交する方向を長手方向とする開口部を有し、テー
ブルと線状光源との間に配置されたシャッタと、線状光
源からの光の軌道を電子ビームの軌道に近似させる補正
レンズと、パネル内面に対する光量分布を補正する補正
フィルタとを備えている。そして、図1に示すように、
線状光源7は、揺動ロッド10等からなる傾斜揺動機構
11が、チェーン14とプーリ15を用いた伝達機構1
6を介してシャッタ9に連結され、シャッタ9の移動に
同期して、図中矢印で示すように、揺動するようになっ
ている。一方、シャッタ9はボールネジ13を介しサー
ボモータ12の回転軸に連結され、上記サーボモータ1
2の正逆回転駆動により、ガイド17により案内され
て、図中矢印で示すように、線状光源7の長手方向に往
復移動するようになっている。そして、サーボモータ1
2の回転速度は、シャッタ9の移動速度が、図2に示す
ように正弦波状に変化するように制御されている。本発
明の露光方法は、テーブル上にパネルを位置決めして載
置し、露光開始スイッチを投入すると、サーボモータ1
2の正逆回転駆動により、シャッタ9が線状光源7の長
手方向に移動する。それと同時にサーボモータ12の正
逆回転駆動は、伝達機構16を介して上記線状光源7を
揺動させる。
【0009】以上、シャッタの移動機構として、回転速
度の可変制御可能なサーボモータ12と、伝達機構16
と線状光源7の傾斜揺動機構11とからなる機械的な機
構を使用した露光装置について説明したが、本発明はこ
の例に限定されず、例えば、回転速度一定のモータと楕
円カムからなる機構によりシャッタの移動速度を所定の
プログラムに従い可変制御するものでも良い。
【0010】
【発明の効果】本発明の露光装置および露光方法によれ
ば、シャッタの移動速度が、露光部分が中央部から周辺
部に移動するにともない減少させて、露光時間を距離に
対応して最適な値に維持できるため、蛍光面全域で露光
量が均一となり、ストライプ状蛍光体層を周辺部でのス
トライプ落ちのない蛍光面を画面全域で均一に形成した
カラー陰極線管を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例の露光装置のシャッタ移動
機構および光源傾斜機構の構成を示す斜視図
【図2】 本発明の一実施例の露光装置のシャッタ移動
速度の変化を示す図
【図3】 一般的なカラー陰極線管の構成を示す略示断
面図
【図4】 部分露光方式の露光装置の構成を示す略示断
面図
【図5】 従来の露光装置のシャッタ移動速度の変化を
示す図
【符号の説明】
2 パネル 3 シャドウマスク 4 蛍光面 7 線状光源 8 開口部 9 シャッタ 11 傾斜揺動機構 12 サーボモータ(移動速度可変機構) 13 ボールネジ 14 チェーン 15 プーリ 16 伝達機構

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】線状光源と、該線状光源とパネルとの間に
    前記線状光源の長手方向と直交する方向を長手方向とす
    る開口部を有しかつ前記線状光源の長手方向に移動可能
    に設けられたシャッタと、前記線状光源を前記シャッタ
    の開口部の移動と同期して傾斜揺動させる機構とを具備
    した露光装置において、前記シャッタの移動速度を露光
    領域に応じて可変にする移動速度可変機構を具備するこ
    とを特徴とする露光装置。
  2. 【請求項2】前記移動速度可変機構の駆動部が回転速度
    の制御可能なサーボモータから構成されてなることを特
    徴とする請求項1記載の露光装置。
  3. 【請求項3】線状光源と、前記線状光源とパネルとの間
    に前記線状光源の長手方向と直交する方向を長手方向と
    する開口部を有するシャッタを配置し、前記線状光源か
    ら放射される光を前記シャッタの開口部及びシャドウマ
    スクを介して、前記パネル内面の蛍光面形成部材に照射
    することにより、前記パネル内面に前記線状光源の長手
    方向と同方向に長い複数色の蛍光体層を形成するに際
    し、前記シャッタを前記線状光源の長手方向に移動させ
    るとともに、前記線状光源を前記シャッタの開口部の移
    動と同期して傾斜揺動させて露光する露光方法におい
    て、前記シャッタの移動速度をパネルの中央部で最大と
    し、端部で0となるような正弦波状に制御して露光する
    ことを特徴とする露光方法。
JP8013895A 1995-04-05 1995-04-05 露光装置および露光方法 Pending JPH08279337A (ja)

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