JPH08278985A - コンパクション装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＩＣの製造コストや開発期間を削減できるコ
ンパクション装置を得ることを目的とする。 【構成】 複数のレイヤを固定レイヤと可動レイヤとに
区別する区別手段と、固定レイヤのレイアウトの座標位
置を固定させ、可動レイヤのみのレイアウトの座標位置
を移動させる座標移動手段とを備えたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、集積回路（以下、Ｉ
Ｃと称す）の設計に使用されるコンパクション装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣの設計において、本来の機能を失わ
ずに、レイアウトの無効スペースの除去、配置関係の最
適化などによる全体の面積の縮小を行う装置としてコン
パクション装置と呼ばれるものがある。図２０は、従来
のコンパクション装置の構成を示すブロック図である。
１はレイアウトデータ読み込み部であり、レイアウトデ
ータ（レイアウトされるシンボルの座標や種類など）が
格納されているファイルから、レイアウトデータを読み
込むものである。シンボルとは、複数のマスクにより構
成されたトランジスタやコンタクトホールなどを指す。
２は寸法ルール読み込み部であり、シンボル間の許容最
小間隔などの寸法ルールが格納されているファイルか
ら、その寸法ルールを読み込むためのものである。３は
コンパクション設定条件読み込み部であり、例えばレイ
アウトの縮小方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向）など、コンパ
クションのための条件を読み込むためのものである。７
はその寸法ルールに則ってレイアウトを詰め込むコンパ
クション部であり、コンパクション部７は、さらに、制
約グラフ生成部４、最長経路抽出部５、節点座標決定部
６を備えている。制約グラフ生成部４は、完成したレイ
アウト図のＸ軸方向あるいはＹ軸方向から見て、シンボ
ルの原点や配線の中央線のＸ座標（または、Ｙ座標）が
同じで、電気的に接続されているものどうしを１つのグ
ループにまとめて、１つの節点に対応させ、隣り合った
グループに対応する節点間に枝を設け、グループ間の許
容最小間隔を長さとして与えることによりグラフを生成
するものである。許容最小間隔は、寸法ルールに含まれ
ている。最長経路抽出部５は、制約グラフ生成部４で生
成された制約グラフに基づいて、どの経路が最長となる
のかを寸法ルールにより求めるものである。節点座標決
定部６は、最長経路上の可動節点および最長経路以外の
可動節点の座標を求めるものである。８は制御部であ
り、コンパクション装置の各部の制御を行うものであ
る。９は出力部であり、節点座標決定部６で決定した可
動接点座標とそれ以外の節点座標（固定節点）とから求
められたレイアウト図を出力するものである。

【０００３】図２１は、従来のコンパクション装置の動
作フローを示すフローチャートである。以下、図２０及
び図２１を用いてコンパクション装置の動作を説明す
る。まず、ステップＦ１で、ファイルからレイアウトデ
ータ読み込み部１にレイアウトデータが読み込まれる。
次に、ステップＦ２で、ファイルから寸法ルールの読み
込み部２に寸法ルールが読み込まれる。次に、ステップ
Ｆ３で、ファイルからコンパクション設定条件読み込み
部３にコンパクション設定条件が読み込まれる。次に、
ステップＦ４からＦ８で、コンパクション動作が行なわ
れる。まず、ステップＦ４で、制約グラフ生成部４によ
り、制約グラフが生成される。次に、ステップＦ５で、
最長経路抽出部５により、先の制約グラフにおける最長
経路が抽出される。制約グラフ及び最長経路に関して
は、後に例示する。次に、ステップＦ６で、節点座標決
定部６により、最長経路上の各節点の座標が決定され
る。次に、ステップＦ７で、節点座標決定部６により、
最長経路以外の節点の座標が決定される。ステップＦ８
で、先に読み込まれたコンパクション設定条件が完了し
たか否かが制御部８で判断され、未完了となれば、再度
ステップ４へ戻り、再度コンパクションが実行される。
また、コンパクションが完了と判断されれば、ステップ
Ｆ９へ進み、出力部９から、コンパクション結果のレイ
アウトデータが出力されて終了する。出力部９は、コン
パクション部７によって得られた制約グラフの座標に基
づいて、レイアウトデータ読み込み部１で読み込まれた
レイアウトデータを最適な位置に配置させ出力させる。

【０００４】図２２は、コンパクションの対象となるレ
イアウトをシンボリックに表現した一例である。図２３
は、図２２のレイアウト図から求められた制約グラフの
一例である。図２２において、１０はトランジスタセ
ル、１１、１２はコンタクトセル、１３はメタル配線、
１４は拡散配線、１５はポリシリコン配線、１６はウエ
ルを表している。コンパクションは、例えば、Ｘ座標に
対する制約グラフを用いたＸ方向のコンパクションおよ
びＹ座標に対する制約グラフを用いたＹ方向のコンパク
ションを順次繰り返すことにより行なわれる。『Ｌ』は
ウエル１６の左側、『Ｒ』はウエル１６の右側をそれぞ
れ表している。図２２において、１〜７の数字は各シン
ボルの節点を表している。図２３において、１〜７の数
字は、図２２に記載された１〜７の節点の数字にそれぞ
れ対応する。矢印は２つの節点間の最小の許容間隔を表
す有効枝である。太線の矢印が、最長経路の例である。
各節点は、上述したように、１つのグループごとにまと
められて求められたものである。そして、制約グラフの
左端Ｌから右端Ｒの各経路の中から、寸法ルールに基づ
いて、太線で示した最長経路が求められる。次に、最長
経路上の各節点の座標が求められる。例えば、Ｘ方向に
ついて考えると、寸法ルールにより、左端Ｌと節点１と
は許容最小間隔が５μｍ必要な場合、座標（５、０）、
節点１と節点２とは許容最小間隔が３μｍ必要な場合、
左端Ｌからの距離を考えて座標（８、０）というように
求めらていく。同様にＹ方向についても行われる。次
に、最長経路上の節点を求めた後、最長経路以外の節点
の座標が求められる。このようにして、コンパクション
後のレイアウトデータの座標が求められる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
コンパクション装置は構成されていたので、コンパクシ
ョンを行う上で、開発費用や開発期間が大幅にかかって
しまうという問題点があった。具体的には、第１に、コ
ンパクションされたレイアウトに基づいて、各工程毎の
ＩＣ製造用のマスクが製造された後、設計ミスなどによ
り、一部の工程用のレイアウトデータ、例えば、メタル
配線のみの配置の変更や追加などの修正が生じた場合、
修正後のレイアウトに対して、再度コンパクションを実
行すると、レイアウト内の他の工程用のマスクの座標位
置まで動いてしまい、必要以上のマスク、即ち、上記の
例ではメタル配線用のマスク以外のマスクまで再度製造
する必要が生じるので、ＩＣの開発費用や開発期間が大
幅にかかってしまう。第２に、寸法ルールの記載に用い
る最小の格子間隔（グリッド）で、レイアウト結果が出
力されるため、そのレイアウト結果に対し修正を施そう
とする場合、グリッドが狭すぎるために作業効率が悪く
なり、開発期間が大幅にかかってしまう。特定の工程用
マスク、例えば不純物注入用のマスク等は、加工精度が
比較的低くても問題無く、粗いグリッドでレイアウトさ
れていると安価なマスクを使用できるが、最小のグリッ
ドでレイアウトされていると、高価なマスクを用いる必
要が生じ、マスクの製造コスト（開発費用）が増大す
る。一方、レイアウト結果が粗いグリッドに乗るよう
に、最小の格子間隔を大きくすると、寸法ルールが大き
めに定義され、その結果、レイアウト面積が増加して、
ＩＣの単価が増大する。第３に、コンパクション後に空
き領域等があり、不必要に抵抗成分の増加や動作速度の
遅いレイアウトが出力されないように、トランジスタの
ソースドレインコンタクトの数を追加したり、コンタク
ト面積を増加させるようなことは、コンパクション装置
で行うことができず、コンパクション後に、人手により
コンタクトをレイアウト上に挿入していたので、手間を
要し、ＩＣの開発期間が大幅にかかってしまう。

【０００６】この発明は、上記の問題点を解決するため
になされたものであり、ＩＣの製造コストや開発期間を
削減できるコンパクション装置を得ることを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明に係わるコンパ
クション装置は、複数のレイヤを固定レイヤと可動レイ
ヤとに区別する区別手段と、固定レイヤのレイアウトの
座標位置を固定させ、可動レイヤのみのレイアウトの座
標位置を移動させる座標移動手段とを備えたものであ
る。また、少なくとも寸法ルールに基づいて制約グラフ
を生成する手段を有し、座標移動手段は、制約グラフで
得られた節点について、複数のレイヤのそれぞれの固定
および可動を示す情報から、固定すべき固定節点、固定
節点以外の節点を可動接点としてそれぞれ抽出し、寸法
ルールに基づいた可動接点の座標およびレイアウトデー
タに基づいた固定節点の座標を生成するようにしたもの
である。また、第１の格子間隔を有する第１のグリッド
に乗っているコンパクションで得られたレイヤに対し、
第１の格子間隔よりも大きい第２の格子間隔を有する第
２のグリッド上にレイヤを寸法ルールを満たしながら配
置されるように、レイヤを移動させるレイヤ移動手段を
備えたものである。また、レイヤの頂点が、第２のグリ
ッドに乗っているか否かを検知する検知手段を有し、検
知手段により、レイヤが第２のグリッドに乗っていない
ことが検知されると、レイヤ移動手段は、第１のグリッ
ドの隣の第２のグリッドにレイヤを移動させるようにし
たものである。また、コンパクション手段により得られ
たレイアウトデータのトランジスタについて、トランジ
スタのソース／ドレイン領域のコンタクトホールのホー
ル数の増加またはホール面積の拡大を行うためにソース
／ドレイン領域の空きスペースを分析し、分析結果に基
づき、トランジスタのソースドレインコンタクトホール
数または面積を拡大する手段を備えたものである。ま
た、トランジスタのソース／ドレイン領域にコンタクト
ホールを追加した後、コンパクション手段によるコンパ
クション処理を行なうように制御する制御手段を有する
ものである。

【０００８】

【作用】上記のように構成されたコンパクション装置
は、固定するレイヤと変動可能なレイヤが指定され、設
定された固定すべきレイヤに対しては、座標位置は変化
させず、変動可能なレイヤのみを動かしてコンパクショ
ンされる。また、図形の頂点を第１のグリッドに乗せて
コンパクションされたレイヤの中で、指定されたレイヤ
に対し、第１のグリッドより粗い第２のグリッド上に乗
せてレイアウトが出力される。また、レイアウトを分析
し、トランジスタのソースドレイン領域に対し、余裕の
ある箇所にコンタクトホールを追加したり、コンタクト
ホールの面積を拡大される。

【０００９】

【実施例】

実施例１．図１は、この発明の一実施例のコンパクショ
ン装置の構成を示した図である。１〜３、４〜５、８〜
９は、それぞれ従来装置と同一あるいは相当する部分で
ある。１７は固定レイヤ／可動レイヤ読み込み部であ
り、ＩＣの設計に使用される複数のレイヤの内、どのレ
イヤがコンパクション可能かが設定されたファイルか
ら、その設定情報を各レイヤ毎に読み込むものである。
例えば、アルミ配線用のレイヤやコンタクト用のレイヤ
など、複数のレイヤの中から、ＩＣの設計状態に応じ
て、予め設計者がアルミ配線用のレイヤは固定しておか
なければならないということを判断し、各レイヤ毎に、
固定／移動可能の設定情報をファイルに登録しておく。
レイヤとは、ＩＣを製造するために使用されるコンタク
ト用マスクやアルミ配線用マスクなどのマスクのことで
ある。１８は寸法ルールに則ってレイアウトを詰め込む
コンパクション部である。固定接点決定部１９は、固定
レイヤ／可動レイヤ読み込み部１７からのデータに基づ
き、制約グラフ生成部４で得られた制約グラフの中か
ら、固定すべきレイヤが含まれている節点を決定するも
のである。最長経路抽出部５は、各節点間において、レ
イアウト図のＸ軸方向で考えると、レイアウト図の左端
（Ｌで表現）から右端（Ｒで表現）に到達するの各節点
の接続で最長な距離を抽出するものである。固定節点座
標抽出部２０は、固定接点決定部１９で決定した制約グ
ラフの固定すべき節点の座標をレイアウトデータ読み込
み部１で読み込まれたレイアウトデータから抽出するも
のである。節点座標決定部２１は、最長経路上の変動可
能な節点のレイアウト上の座標を制約グラフ上の許容最
小間隔から決定し、次いで最長経路以外の変動可能な節
点のレイアウト上の座標を既に決定済みの節点座標から
順次決定する。出力部９は、節点座標決定部２３からの
変動可能な節点の座標に基づいたレイアウト図を出力す
る。

【００１０】次に、この実施例のコンパクション動作に
ついて説明する。ここでは、コンパクション動作が完了
したレイアウトについて、設計者により、レイアウトに
おいて、配線ミスが発見され、その修正が行われ、修正
後のレイアウトに対して、再度コンパクション動作を行
う場合について説明する。図２は、図１で示されたコン
パクション装置の動作を示すフローチャート図である。
図３は、図１で示されたコンパクション装置により生成
されたコンパクション後のレイアウト図である。図３で
示されている構成要素は、従来装置の説明で述べたもの
と同一のものである。更に、図３で示されたレイアウト
図をポリゴンレイアウト図に変換したものを図４に示
す。ポリゴンレイアウトとは、実際にマスクとして使用
されるレイアウト図のことである。この図では、複数の
マスクが重なったものを示した。設計者により、修正さ
れたレイアウト図を図５に示す。図３と図５では、節点
８で示されたメタル配線（点線で示された部分）が追加
されている。各読み込み部には、図示しない各ファイル
から該当するデータが、制御部８の制御により読み込ま
れる。

【００１１】まず、ステップＦ１で、レイアウトデータ
読み込み部１により、図５で示されたレイアウトデータ
が読み込まれる。次いで、ステップＦ２で、寸法ルール
読み込み部２により寸法ルールが読み込まれる。次に、
ステップＦ３で、コンパクション条件読み込み部３によ
り、コンパクション動作のための設定条件が読み込まれ
る。ステップＦ４で、固定レイヤ／可動レイヤ読み込み
部２１により、コンパクション時に、複数のレイヤの
内、固定するレイヤと移動可能なレイヤとを区別するた
めのデータが読み込まれる。このデータは上述したよう
に、予め設計者により、ファイルに設定されている。例
えば、コンタクト用およびアルミ配線用のレイヤは可動
レイヤ、トランジスタを構成するフィールド用のレイヤ
は固定など、ＩＣの設計状態に応じて設定されている。
そして、ステップＦ５で、制約グラフ生成部４により、
寸法ルールの許容最小間隔に基づき、図６で示したよう
な制約グラフが作成される。１〜８の数字は、図５の各
節点の番号に対応する。ステップＦ６で、固定節点決定
部１９により、固定レイヤ／可動レイヤの読み込み部１
７で読み込まれたデータに基づいて、節点１〜８の中か
ら、コンパクション時に固定すべき節点が決定される。
この固定節点は、節点より示されているレイヤに固定レ
イヤが含まれている場合は、固定節点となる。例えば、
節点１の場合、コンタクト用のレイヤが可動レイヤであ
り、トランジスタのフィールドが固定レイヤの場合、節
点１は固定節点となる。次に、ステップＦ７で、最長経
路抽出部５により、制約グラフにおける最長経路が抽出
される。図６の太線で示されたものが最長経路である。
次に、ステップＦ８で、固定節点座標抽出部２０によ
り、レイアウトデータ読み込み部１に読み込まれたレイ
アウトデータに基づいて、固定すべき節点の座標が抽出
される。次に、ステップＦ９で、節点座標決定部２１に
より、制約グラフの最長経路上の変動可能な節点（可動
接点）の座標が、寸法ルールの許容最小間隔に基づき求
められる。次に、ステップＦ１０で、節点座標決定部２
１により、最長経路以外の変動可能な節点の座標が、寸
法ルールの許容最小間隔に基づいて求められる。次に、
ステップＦ１１で、制御部８により、先に読み込まれた
コンパクション設定条件が完了したか否かを判断し、未
完了となれば、再度ステップＦ５へ戻り、再度コンパク
ション動作が実行される。また、コンパクション動作が
完了と判断されれば、ステップＦ１２へ進み、出力部９
から、コンパクション動作により求められた固定節点お
よび可動接点の各座標に基づいたレイアウト図が出力さ
れる。図５に示されているシンボルの内、可動接点であ
る７および８が、図７に示されているように、許容最小
間隔に基づき、最適な位置にコンパクションされてい
る。図８は、図７のレイアウト図をポリゴンレイアウト
図に変換した結果を示した図である。なお、各部は、制
御部８により制御がなされている。

【００１２】以上のように構成されたコンパクション装
置においては、設計変更などにより、特定のレイヤの修
正を行うような場合、その特定のレイヤを可動レイヤし
ておくことで、可動レイヤのみについてコンパクション
動作が実行されるので、従来のように全てのレイヤのマ
スクを最初から製造する必要がなくなり、開発費用の削
減になる。

【００１３】実施例２．以下、この発明の第２の実施例
について説明する。図９は、この発明の第２の実施例の
コンパクション装置の構成を示したブロック図である。
１〜９は従来装置と同一あるいは相当する部分である。
図９に示された各ブロックは、制御部８により制御がな
されている。２２はレイアウトの出力グリッド読み込み
部であり、各レイヤにおけるグリッドの情報が読み込ま
れる。例えば、０．５μｍが寸法ルールの最小単位であ
る場合に、一方のレイヤは、最小単位である０．５μｍ
のグリッドに乗せて出力部９より出力され、他方のレイ
ヤは、最小単位よりも粗いグリッドの１μｍに乗せて出
力部９より出力されるというように、各レイヤのグリッ
ドの情報をファイルから読み込む。ここで述べているレ
イヤは、マスクと同等の意味である。２３はレイアウト
内座標のシフト部であり、レイアウト内のシンボルが有
する各図形の頂点の座標を寸法ルールの最小単位のグリ
ッドより大きい、粗いグリッドに乗るように、シンボル
座標、即ちセルの原点や配線の中心線の座標をシフトす
るための座標のシフト部である。グリッドとは、レイア
ウトされるシンボルおよびポリゴン変換された多角形図
形の頂点が、ＣＡＤ上で配置できる座標の最小単位であ
る。上述の最小単位、粗いグリッドのそれぞれの値は、
設計者により、ファイルに予め設定されており、コンパ
クション装置は、このファイルからグリッドの値を読み
込む。

【００１４】次に、図９に示されたコンパクション装置
の動作について説明する。図１０は、図９に示されたコ
ンパクション装置の動作を示したフローチャート図であ
る。図において、ステップＦ１〜Ｆ３、Ｆ５〜９および
Ｆ１１は、それぞれ図２で示したものと同一の動作であ
るので説明は省略する。ステップＦ４で、出力グリッド
読み込み部２２により、ファイルからレイアウト出力用
の粗いグリッドの値が読み込まれる。この場合、粗いグ
リッドとは１μｍであり、所定のレイヤが、この粗いグ
リッドに乗せて出力部９より出力されても加工精度上問
題の無い値である。ステップＦ５からステップＦ９で、
コンパクションの処理を行なった後、ステップＦ１０で
所望のレイヤの全図形が粗いグリッドに乗るように、シ
ンボルの座標がシフトされ、次のステップＦ１１で、出
力部９からコンパクションおよびシフトされた結果が出
力されて終了する。

【００１５】ステップＦ１０の各節点座標のシフト動作
は、例えば、粗いグリッドに乗せたいレイヤに対し、各
シンボルの有する図形の頂点のＸ座標を小さいものから
順次、出力用グリッド読み込み部２２で得られた出力用
のグリッドに乗っているかをチェックし、乗っていなけ
れば、その座標とその座標よりも大きい隣の出力用のグ
リッドとのＸ方向の差分を、その図形を有する節点のＸ
座標及び、そのＸ座標より大きい、全ての節点のＸ座標
に加算することによりシフト操作をする。以下、次のレ
イヤのチェックへ移り、同様の操作を行なう。また、Ｘ
座標が完了すれば、Ｙ座標に関して、同様の操作により
シフトを行なう。

【００１６】図１１は、０．５μｍの細かいグリッドに
基づいてコンパクションされたレイアウト図である。各
レイヤの相互の許容最小間隔は、説明の簡単化のため
０．５μｍとした。図１１においては、斜線部のレイヤ
が、粗いグリッドに乗せても問題のないレイヤである。
図１２、図１３は、図１１のレイアウト図が、レイアウ
ト内座標のシフト部２３によってＸ座標に対するシフト
処理された結果を示す。（１）の斜線部のレイヤが、現
状の座標に基づいて、０．５μｍ右にシフトする必要が
あることが検知され、図１２に示したように、（１）の
レイヤから右側のレイヤが、すべて右側に０．５μｍ分
シフトされる。そして、図１３に示したように、更に、
斜線部のレイヤで、粗いグリッドに乗っていないレイヤ
を検知し（この場合、（３）のレイヤである）、そのレ
イヤより右側のレイヤをすべて０．５μｍ分右にシフト
される。斜線部のレイヤすべてが、粗いグリッドに乗る
まで、レイアウト内座標のシフト部２３にてシフト処理
が実行される。例えば、（１）の斜線部があるレイヤの
配線である場合、粗いグリッドに乗っているか否かの判
断は、その配線の中心線が節点座標になっているため、
その節点座標値に配線幅の半分の値を加減算した値が、
粗いグリッドの数値の倍数か否かを判定することにより
容易に検知することができる。また、（１）の斜線部が
ウエルの場合は、各辺毎が節点になっているため、節点
の座標値自身が粗いグリッドの数値の倍数か否かで判定
される。なお、レイアウトの座標のシフトは、節点の単
位で行われているが、このレイアウトはシンボルで表現
されたものであるため、電気的に接続されているシンボ
ルや配線は、その原点や中心線が同一座標で相互接続さ
れているため、その座標が前後左右にシフトされても、
電気的な接続関係は保持され、何の問題も発生しない。
また、この実施例では、節点単位でシフトする例を述べ
たが、シンボルをポリゴンに変換した後、各頂点毎に同
様のシフト動作をさせても良い。その場合でも、常にあ
る座標に対し、それより大きい座標値すべてを全レイヤ
にわたって同時にシフトするため、図形相互の電気的接
続関係は、シフト前のものが保持され問題無い。

【００１７】以上のように、コンパクション装置を構成
することで、粗いグリッドに乗せてレイアウトしても良
いレイヤに対して、シフト動作により粗いグリッドにシ
フトさせることで、粗いグリッドの乗ったレイヤに修正
を施す場合、細かいグリッドでの修正ではなく、格子間
隔の広いグリッド上での修正が可能となり、作業効率が
良くなり、開発期間を短縮させることができる。また、
そのマスクは、低コストで製造でき、ＩＣのコストを低
減させることができる。

【００１８】実施例３．以下、この発明の第３の実施例
について説明する。図１４は、この発明の第３の実施例
のコンパクション装置を示した図である。図において、
１〜９は従来装置と同一あるいは相当する部分である。
２４はトランジスタセルやソースドレインコンタクトセ
ルを選択するシンボル情報抽出部、２５はソース/ドレ
インコンタクト可能領域見積り部、２６はソース/ドレ
インコンタクト拡大処理部である。

【００１９】次に、この実施例を、図１５のフローチャ
ートを用いて説明する。ステップＦ１〜Ｆ８により、コ
ンパクション処理が施された後の動作を説明する。ステ
ップＦ９で、制御部８が処理の終わっていないトランジ
スタを１つ決定し、シンボル選択部２４により、そのト
ランジスタとそれに接続される全てのソース/ドレイン
コンタクトセルおよびそのソース／ドレインコンタクト
と許容最小間隔を満たす必要のあるアルミ配線が全て選
択される。処理の終わっていないとは、レイアウト図に
おいて、まだ、ソース／ドレインコンタクトセルに関す
るこの実施例の処理が終了していないトランジスタを指
す。未処理か否かは、制御部８にて判断される。次に、
ステップＦ１０で、ソース/ドレインコンタクト可能領
域見積り部２５により、トランジスタに対し配置可能な
最大ソース/ドレインコンタクト可能領域が見積もられ
る。例えば、図１６は、シンボル情報抽出部２４により
抽出されたトランジスタのレイアウトを示した図であ
る。このトランジスタの拡散領域から、ゲートを構成す
るポリシリコンや図面の上部に配置されているアルミ配
線のコンタクトセルに対する許容最小間隔を除くことに
より、図１７に示すように、最大ソース／ドレインコン
タクト領域が求められる。矢印は、寸法ルールから得ら
れた許容最小間隔である。斜線の部分が、拡散領域内
で、許容最小間隔を除いた最大ソース／ドレインコンタ
クト領域である。

【００２０】そして、ステップＦ１１で、ソース/ドレ
インコンタクト拡大処理部２６により、配置されている
ソース/ドレインコンタクトセルの大きさと、先に見積
もった配置可能な領域の大きさとを比較する。比較によ
り、前者の方が後者より小さい場合は、ステップＦ１２
で、配置されているソース/ドレインコンタクトセルを
その可能な最大サイズに拡大したり、追加したりした
後、次へ進む。また、両者のサイズが同じ場合には、ス
テップＦ１２を飛ばし、次へ進む。図１８に示すよう
に、比較に当たっては、コンタクトセルの配置可能な領
域の座標値とコンタクトセルの座標値およびサイズか
ら、上下左右方向に各何個追加可能かが計算される。図
１８の場合には、あと３個のソース／ドレインコンタク
トセルが配置可能である。図１９に、ステップＦ１２の
拡大処理が実行された結果を示す。拡大処理は、ソース
／ドレインコンタクトセルの数を示したレイアウトデー
タの制御変数を書き換えたり、ソース／ドレインコンタ
クトセルを追加配置して、相互をアルミ配線で結線する
ようにする。

【００２１】次に、ステップＦ１３で、制御部８によ
り、全てのトランジスタ及びソース/ドレインコンタク
トセルをチェック処理したか否を判断し、未処理のもの
が残っている場合には、ステップＦ９へ戻り、以下同じ
ステップを繰り返す。また、全て処理済みの場合には、
ステップＦ１４へ進み、出力部９からコンパクション結
果のレイアウトデータが出力されて終了する。また、こ
の実施例では、ソース/ドレインコンタクトセルのサイ
ズを変更したり、追加したりした後、そのまま出力させ
たが、制御部８により、その後再度コンパクションを行
ない、その結果を出力するようにしてもよい。

【００２２】以上のようにコンパクション装置を構成す
ることで、配置済みのソース／ドレインコンタクトセル
を何個追加できるかが計算され、その計算結果に基づ
き、ソース／ドレインコンタクトセルの拡大処理が行わ
れるため、コンパクション後の空き領域に、人手を介さ
ずに、ソース／ドレインコンタクトを容易に配置するこ
とができるので、開発期間の縮小を図ることができる。

【００２３】

【発明の効果】以上のようにこの発明は、以上説明した
ように構成されているので、修正したマスクのみのコン
パクションが可能となるので、ＩＣの開発費用や開発期
間が大幅に削減できる。また、加工精度が比較的低くて
も問題のないマスクに対して、粗いグリッド上に乗るよ
うに配置することにより、グリッドが広くなり、マスク
の修正が容易になるので、ＩＣの開発費用および開発期
間が大幅に削減できる。また、トランジスタのソース／
ドレイン領域に人手を介さずにコンタクトホールを追加
できるので、ＩＣの開発費用および開発期間が大幅に削
減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の第１の実施例のコンパクション装
置の構成を示すブロック図である。

【図２】 この発明の第１の実施例のコンパクション装
置の動作を示したフローチャート図である。

【図３】 図１で示されたコンパクション装置により生
成されたコンパクション後のレイアウト図である。

【図４】 図３で示されたレイアウト図をポリゴンレイ
アウト図に変換した結果を示した図である。

【図５】 図３で示されたレイアウト図の修正後のレイ
アウト図である。

【図６】 図５で示したレイアウト図を制約グラフで表
した制約グラフ図である。

【図７】 コンパクション後のレイアウト図である。

【図８】 図７のレイアウト図をポリゴンレイアウト図
に変換した結果を示した図である。

【図９】 この発明の第２の実施例のコンパクション装
置の構成を示した図である。

【図１０】 この発明の第２の実施例のコンパクション
装置の動作を示したフローチャート図である。

【図１１】 ０．５μｍの細かいグリッドに基づいてコ
ンパクションされたレイアウト図である。

【図１２】 図１１のレイアウト図が、レイアウト内座
標のシフト部２３によってシフト処理された結果を示し
た図である。

【図１３】 図１１のレイアウト図が、レイアウト内座
標のシフト部２３によってシフト処理された結果を示し
た図である。

【図１４】 この発明の第３の実施例のコンパクション
装置を構成を示した図である。

【図１５】 この発明の第３の実施例のコンパクション
装置の動作を示したフローチャート図である。

【図１６】 シンボル情報抽出部２４により抽出された
トランジスタのレイアウトを示したレイアウト図であ
る。

【図１７】 最大ソース／ドレインコンタクト領域を示
した図である。

【図１８】 ソース／ドレインコンタクト可能領域見積
部２５で求められた拡大可能なソース／ドレインコンタ
クトセルを示した図である。

【図１９】 ソース／ドレインコンタクトセルの拡大処
理が実行された結果を示した図である。

【図２０】 従来のコンパクション装置の構成を示した
図である。

【図２１】 従来のコンパクション装置の動作を示した
フローチャート図である。

【図２２】 コンパクションの対象となるレイアウトを
シンボリックに表現した図である。

【図２３】 図２２のレイアウト図から求められた制約
グラフを示した制約グラフ図である。

【符号の説明】

１７：固定レイヤ／可動レイヤ読み込み部；１８：コン
パクション部；１９：固定節点決定部；２０：固定節点
座標抽出部；２１：節点座標決定部；２２：出力グリッ
ド読み込み部；２３：レイアウト内座標のシフト部；２
４：シンボル情報抽出部；２５：ソース／ドレインコン
タクト可能領域見積部；２６：ソース／ドレインコンタ
クト拡大処理部。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のレイヤを含む集積回路のレイアウ
   トデータを読み込むための読み込み手段と、レイアウト
   用の寸法ルールを満たすようにコンパクションを行うコ
   ンパクション手段と、コンパクションされたレイアウト
   データを出力する出力手段を備えたコンパクション装置
   において、 複数の前記レイヤを固定レイヤと可動レイヤとに区別す
   る区別手段と、 前記固定レイヤのレイアウトの座標位置を固定させ、前
   記可動レイヤのみのレイアウトの座標位置を移動させる
   座標移動手段とを備えたことを特徴とするコンパクショ
   ン装置。
2. 【請求項２】 少なくとも前記寸法ルールに基づいて制
   約グラフを生成する手段を有し、前記座標移動手段は、
   前記制約グラフで得られた節点について、複数の前記レ
   イヤのそれぞれの固定および可動を示す情報から、固定
   すべき固定節点、前記固定節点以外の節点を可動接点と
   してそれぞれ抽出し、前記寸法ルールに基づいた前記可
   動接点の座標および前記レイアウトデータに基づいた前
   記固定節点の座標を生成することを特徴とする請求項１
   記載のコンパクション装置。
3. 【請求項３】 複数のレイヤを含む集積回路のレイアウ
   トデータを読み込むための読み込み手段と、レイアウト
   用の寸法ルールを満たすようにコンパクションを行うコ
   ンパクション手段と、コンパクションされたレイアウト
   データを出力する出力手段を備えたコンパクション装置
   において、 第１の格子間隔を有する第１のグリッドに乗っているコ
   ンパクションで得られたレイヤに対し、前記第１の格子
   間隔よりも大きい第２の格子間隔を有する第２のグリッ
   ド上にレイヤを前記寸法ルールを満たしながら配置され
   るように、前記レイヤを移動させるレイヤ移動手段を備
   えたことを特徴とするコンパクション装置。
4. 【請求項４】 前記レイヤの頂点が、前記第２のグリッ
   ドに乗っているか否かを検知する検知手段を有し、前記
   検知手段により、前記レイヤが第２のグリッドに乗って
   いないことが検知されると、前記レイヤ移動手段は、前
   記第１のグリッドの隣の前記第２のグリッドに前記レイ
   ヤを移動させることを特徴とする請求項３記載のコンパ
   クション装置。
5. 【請求項５】 複数のレイヤを含む集積回路のレイアウ
   トデータを読み込むための読み込み手段と、レイアウト
   用の寸法ルールを満たすようにコンパクションを行うコ
   ンパクション手段と、コンパクションされたレイアウト
   データを出力する出力手段を備えたコンパクション装置
   において、 前記コンパクション手段により得られたレイアウトデー
   タのトランジスタについて、前記トランジスタのソース
   ／ドレイン領域のコンタクトホールのホール数の増加ま
   たはホール面積の拡大を行うために前記ソース／ドレイ
   ン領域の空きスペースを分析し、前記分析結果に基づ
   き、前記トランジスタのソースドレインコンタクトホー
   ル数または面積を拡大する手段を備えたことを特徴とす
   るコンパクション装置。
6. 【請求項６】 前記トランジスタのソース／ドレイン領
   域にコンタクトホールを追加した後、前記コンパクショ
   ン手段によるコンパクション処理を行なうように制御す
   る制御手段を有することを特徴とする請求項５記載のコ
   ンパクション装置。