JPH08264873A - 発光強度制御装置、光ビーム照射装置、及び光ビーム記録走査装置 - Google Patents
発光強度制御装置、光ビーム照射装置、及び光ビーム記録走査装置Info
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- JPH08264873A JPH08264873A JP7278675A JP27867595A JPH08264873A JP H08264873 A JPH08264873 A JP H08264873A JP 7278675 A JP7278675 A JP 7278675A JP 27867595 A JP27867595 A JP 27867595A JP H08264873 A JPH08264873 A JP H08264873A
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Abstract
強度の制御に要する時間を短縮することにより、光ビー
ムの数を増やしたことによる高速化の効果をより大きく
発揮されることができる発光強度制御装置、光ビーム照
射装置及び光ビーム記録走査装置を提供することを目的
とする。 【構成】 複数の発光素子を有し複数本の光ビームを発
生する光源から同時に出力される複数本の光ビームの光
量の総和を検出する総光量検出手段と、前記光源の発光
素子毎の発光強度のばらつきを予め調整する光強度バラ
ンス手段と、前記光強度バランス手段で発光強度のばら
つきを調整された前記光源の複数の発光素子を同時に点
灯し、点灯した前記光源の発光素子の発光量の総和を前
記総光量検出手段により検出し、前記総光量検出手段の
検出値に基づいて前記光源の発光素子の発光量の総和を
調整する制御手段と、を備えるように構成した。
Description
はLEDアレー等の光ビームを発生する光源を用いて画
像の記録を行なう光ビーム記録走査装置、及びこれに使
用される光ビーム照射装置において、特に光源から出力
される複数本の光ビームの発光強度を、短時間で制御す
ることができ、しかも構成を簡略化して装置の小型化と
低価格化を可能とし、更には制御精度の良い発光強度制
御装置、光ビーム照射装置及び光ビーム記録走査装置に
関するものである。
られる半導体レーザー走査装置としては、例えば、次に
示すようなものがある。このレーザー画像形成装置に用
いられる半導体レーザー走査装置では、図7に示すよう
に、半導体レーザー光源100がレーザードライバー1
01から出力される画像信号に応じて変調され、当該半
導体レーザー光源100からは、レーザービームLBが
出射される。このレーザービームLBは、第1の光学系
102によって偏向走査装置103に導かれ、当該偏向
走査装置103により主走査方向に沿って一定の走査速
度で偏向走査される。上記偏向走査装置103によって
偏向走査されるレーザービームLBは、f−θレンズ等
からなる第2の光学系104を介して、副走査方向に沿
って所定の回転速度で回転している感光体ドラム105
上にスポット像106として結像され、画像情報に応じ
た静電潜像が感光体ドラム105上に形成される。そし
て、この感光体ドラム105上に形成された静電潜像を
現像することによって画像の形成が行われるようになっ
ている。
では、半導体レーザー光源100として、複数本のレー
ザービームLBを出射できるように構成したものを用
い、より高速な画像形成を可能とする技術が種々提案さ
れている。
できる半導体レーザー光源100の例を示すものであ
る。この半導体レーザー光源100は、一つのチップに
複数個の半導体レーザー素子を一体的に形成した半導体
レーザーアレー110を封入したものである。
は、図示した回転多面鏡のように鏡を回転させるタイプ
の他に、ホログラムデイスクなどの光学回折格子を回転
させるタイプ、非線形光学素子に電界や音波をかけるタ
イプなどが多数考案され、実用化されている。
05に対するスポット像106の主走査方向の同期を取
るために設置されたビームデイテクターであり、スポッ
ト像106が主走査されて感光体ドラム105の画像領
域に至る以前の前走査の段階で、スポット像106を検
出できるようになっている。
装置に光源として用いられる半導体レーザー素子100
は、図9に示すように、発光強度が自己発熱や環境温度
の影響により変動し易いため、そのレーザービームLB
により画像情報を感光体ドラム105上に形成する際
に、レーザービームLBの発光強度を所定の一定値に保
ち、濃度むらのない露光像を形成する必要がある。特
に、複数本のレーザービームLBを用いたレーザー画像
形成装置においては、複数本のレーザービームLBの光
強度を所定の一定値に揃えることが重要である。
度を一定に保つ発光強度の制御に関する技術としては、
例えば、特開昭56−105686号公報、特開昭56
−140477号公報及び特開昭59−19252号公
報等に開示されているように、複数のレーザービームが
入射可能な受光面積を持った光強度検出手段を用い、複
数の半導体レーザー素子から順次発射されたレーザービ
ームを時系列的に検出して、予め設定された基準レベル
と順次比較して、各レーザービームの検出値が基準レベ
ルに等しくなるように各半導体レーザー素子の駆動制御
を行う方法が既に提案されており、大きな成果を上げて
いる。
ロック図である。
は半導体レーザーアレー110を構成する複数の半導体
レーザー素子を示しており、これらの半導体レーザー素
子111、112、113は、それぞれレーザー駆動回
路120、121、122に接続されている。上記各レ
ーザー駆動回路120、121、122は、対応する半
導体レーザー素子111、112、113の変調と制御
を行うものである。上記各レーザー駆動回路111、1
12、113は、順次動作手段138を備えており、こ
の順次動作手段138は、画像データと、動作信号と、
消灯信号を順次切り換える選択手段124を有してい
る。上記選択手段124によって選択された信号は、変
調手段126に入力し、この変調手段1手段によって前
記半導体レーザー素子111が変調されるようになって
いる。また、上記変調手段126には、光強度設定手段
125が接続されておい、この光強度設定手段125に
よって半導体レーザー素子111を変調する際の光強度
を設定するようになっている。
112、113から出射されたレーザービームは、図1
0に示すように、光路中に配設された光強度検出手段1
14によって検出可能となっている。上記光強度検出手
段114によって検出されたレーザービームは、当該光
強度検出手段114によって電気信号に変換され、この
電気信号は、増幅器115によって増幅された後、A/
Dコンバータ116によってデジタル信号に変換され
る。このA/Dコンバータ116によってデジタル信号
に変換された受光出力信号は、比較手段117によって
基準信号発生手段131から出力される基準信号と比較
される。上記比較手段117による比較結果は、スイッ
チ手段132によって切換られ、D/Aコンバータ11
8、134、135のいずれかに入力される。そして、
上記比較手段117による比較結果は、D/Aコンバー
タ118、134、135のうちのいずれかに選択的に
入力され、これらのD/Aコンバータ118、134、
135によって比較結果に応じたアナログ信号に変換さ
れる。上記D/Aコンバータ118、134、135か
ら出力されたアナログ信号は、ローパスフィルタ11
9、136、137を介して前記のレーザー駆動回路1
20、121、122の光強度設定手段125に入力さ
れ、この光強度設定手段125では、ローパスフィルタ
119、136、137を介して入力されるアナログ信
号に応じて、半導体レーザー素子111、112、11
3から出射するレーザービームの光強度を調節するもの
である。なお、上記各レーザー駆動回路120、12
1、122の選択手段124及びD/Aコンバータ11
8、134、135には、スイッチ手段133を介して
タイミング信号140が入力されるようになっている。
イミング信号140はスイッチ手段133によりレーザ
ー駆動回路120に配信され、半導体レーザー素子11
1に関して発光強度を制御するように指示する。同時
に、スイッチ手段133は、レーザー駆動回路121、
122には半導体レーザー素子112、113を消灯す
るように指示を出す。上記レーザー駆動回路120は、
タイミング信号140の指示により内蔵の順次動作手段
138を働かせ、動作信号を変調手段126に送り、対
応する半導体レーザー素子111のみを動作させる。
れたレーザービームは、その光路中にある光強度検出手
段1114に入射し、光強度の大小が電流値の大小に変
換される。更に、電流値の大小は、増幅器115により
適切に増幅された後、電圧の大小に変換され、A/Dコ
ンバータ116によりデジタル値に変換されて、光強度
総和の検出出力として比較手段117に到達する。
生手段131から出力される基準信号の大小を比較し、
D/Aコンバータ118に対し、検出出力>基準信号の
場合は、発光強度を下げるように、検出出力<基準信号
の場合は、発光強度を上げるように、検出出力=基準信
号の場合は、発光強度をそのまま保持するように、指示
を出す。このとき、スイッチ手段132は、比較手段1
17の出力をD/Aコンバータ118のみに伝達するよ
うに設定されている。上記D/Aコンバータ118は、
内蔵の設定値増減手段により、発光強度を下げるように
指示を受けた場合は、自らの設定値を減少させ、発光強
度を上げるように指示を受けた場合は、自らの設定値を
増加させ、発光強度をそのまま保持するように指示を受
けた場合は、自らの設定値を保持する。上記D/Aコン
バータ118は、タイミング信号140が入力されてい
る時だけ、比較手段117の指示を受けて設定値を増加
または減少または保持し、この設定値に応じてアナログ
値をローパスフィルタ119に出力するが、タイミング
信号140が終了すると、比較手段117の指示は受け
付けず、現在の設定値の保持と設定値に応じたアナログ
出力を続ける。
パスフィルタ119によりノイズ成分の取り除かれたD
/Aコンバータ118の出力に応じた定電流を変調手段
126に供給する。
定手段125より供給される電流を順次動作手段123
からの信号に応じて変調し、半導体レーザー素子111
に供給し駆動する。
に関する発光強度制御であるが、タイミング140は、
レーザー駆動回路121及び122を順次動作させて、
半導体レーザー112、113においても同様に発光強
度の制御を行うようになっている。
来技術の場合には、次のような問題点を有している。す
なわち、上記従来技術においては、半導体レーザー光源
100から出射されるレーザービームの数が多い場合に
は、半導体レーザー素子111、112、113毎に個
別に発光強度の制御動作を行わなければならず、半導体
レーザーの発光強度の制御に要する時間が長くなると共
に、構成が複雑となり大型化及びコストアップを招くと
いう2つの問題点があった。
レーザー素子の光強度検出、基準レベルとの比較、その
比較結果による光強度の制御という手順を、レーザービ
ームの数だけ繰り返す必要があるためである。レーザー
ビームの数を増やす主な目的は、前述したように、半導
体レーザー走査装置の高速化であるが、その制御に多く
の時間を費やすことは高速化を阻む原因となる。
ミング信号や比較手段からの比較結果を切り換える複数
のスイッチ手段や、発光強度を設定するD/Aコンバー
タやローパスフィルタ等の設定手段が、レーザービーム
の数だけ必要となるためである。昨今、半導体レーザー
走査装置への要求としては、高速化ばかりではなく小型
化と低価格化があり、高速化のためにレーザービームの
数を増やすと、装置の大型化及び高価格化を招くという
問題点があった。
複数のレーザービームの総光量の制御精度が悪いという
点がある。すなわち、上記従来技術の場合には、半導体
レーザー素子の発光強度を制御する際に、D/Aコンバ
ータを使用している。このD/Aコンバータの分解能は
無限小ではなく、例えば、図18に示すように目標とす
る発光量10mWに対して0.5%程度(0.05m
W)毎に量子化された不連続の値となっている。そのた
め、発光強度の制御をレーザービームの数だけ繰り返し
て制御が終了した後であっても、最大でD/Aコンバー
タの分解能に相当する量の誤差がそれぞれのレーザービ
ームに残る可能性がある。これらの各レーザービームに
発生する誤差が、プラス側とマイナス側とでほぼ同等で
ある場合には、互いに相殺されるため特に問題はない。
しかし、最悪の場合には、各レーザービームに発生する
D/Aコンバータの分解能に起因する誤差が、プラス側
又はマイナス側のどちらか一方に偏り、誤差が積算され
ることもある。このとき、レーザービームの総光量の誤
差は、最悪で、 総光量の誤差=D/Aコンバータの分解能×レーザービ
ームの数 となる。そして、D/Aコンバータの分解能が低い場合
やレーザービームの数が多い場合には、総光量の誤差が
莫大になり、レーザービームの総光量が大きく変動する
こととなる。例えば、D/Aコンバータの分解能を0.
05mWとし、光ビームの照射を行なう光源として、半
導体レーザーを多数直線状に配列した半導体レーザーア
レイ等を使用した場合に、レーザービームの数が100
0本とすると、レーザービームの総光量の誤差は、50
mWにも達する。また、レーザービームの総光量の誤差
が過大になると、例えばイエロー、マゼンタ、シアン、
黒等の4色の画像を重ね合わせてカラー画像の記録を行
なうカラーの光ビーム記録走査装置の場合には、イエロ
ーやマゼンタ等に相当する各レーザービームを順次露光
する際に、各色間でレーザービームの総光量が大きく異
なり、色間のバランスが悪くなって赤みを帯びた画像や
青みを帯びた画像等が現れて、画質の劣化が顕著に現れ
るという問題点があった。
コンバータの分解能を引き上げることも考えられるが、
この場合には、装置の高価格化を招くという新たな問題
点が生じる。
点を解決するためになされたもので、その目的とすると
ころは、レーザービームの数を増やした場合に、半導体
レーザー素子の発光強度の制御に要する時間を短縮する
ことにより、レーザービームの数を増やしたことによる
高速化の効果をより大きく発揮させることができる発光
強度制御装置、光ビーム照射装置及び光ビーム記録走査
装置を提供することにある。
やした場合でも、複雑な構成をとることなく、従って構
成が簡単で済み、半導体レーザー走査装置の小型化と低
価格化を可能とした発光強度制御装置、光ビーム照射装
置及び光ビーム記録走査装置を提供することにある。
数を増やした場合でも、D/Aコンバータの分解能を引
き上げることによる装置の高価格化を招くことなく、総
光量の制御を精度良く実施できる発光強度制御装置、光
ビーム照射装置及び光ビーム記録走査装置を提供するこ
とにある。
求項第1項に記載された発明は、複数の発光素子を有し
複数本の光ビームを発生する光源から同時に出力される
複数本の光ビームの光量の総和を検出する総光量検出手
段と、 前記光源の発光素子毎の発光強度のばらつきを
予め調整する光強度バランス手段と、前記光強度バラン
ス手段で発光強度のばらつきを調整された前記光源の複
数の発光素子を同時に点灯し、点灯した前記光源の発光
素子の発光量の総和を前記総光量検出手段により検出
し、前記総光量検出手段の検出値に基づいて前記光源の
発光素子の発光量の総和を調整する制御手段と、を備え
るように構成されている。
た発明は、複数の発光素子を有し複数本の光ビームを発
生する光源と、前記光源から同時に出力される複数本の
光ビームの光量の総和を検出する総光量検出手段と、前
記光源の発光素子毎の発光強度のばらつきを予め調整す
る光強度バランス手段と、前記光強度バランス手段で発
光強度のばらつきを調整された前記光源の複数の発光素
子を同時に点灯し、点灯した前記光源の発光素子の発光
量の総和を前記総光量検出手段により検出し、前記総光
量検出手段の検出値に基づいて前記光源の発光素子の発
光量の総和を調整する制御手段と、を備えるように構成
されている。
れた発明は、請求項2記載の光ビーム照射装置におい
て、前記制御手段は、前記総光量検出手段により検出さ
れた総光量の検出値と基準値とを比較する比較手段と、
前記比較手段の比較結果に基づいて前記光源の発光素子
の光強度を設定する光強度設定手段と、を有するように
構成されている。
された発明は、請求項3記載の光ビーム照射装置におい
て、前記光強度バランス手段は、前記比較手段の比較結
果に対する前記光強度設定手段の出力特性を各発光素子
毎に変更するよう構成されている。
た発明は、請求項3記載の光ビーム照射装置において、
前記光強度設定手段は、各発光素子の光強度を独立して
設定するように構成されている。
れた発明は、請求項2記載の光ビーム照射装置におい
て、前記総光量検出手段は、前記光源のすべての発光素
子の光ビームの総発光量を同時に検出するように構成さ
れている。
された発明は、請求項2記載の光ビーム照射装置におい
て、前記光源の複数の発光素子は複数の発光素子からな
る複数のグループにグループ化され、前記総光量検出手
段はグループ毎の発光素子の総光量を検出し、前記制御
手段は前記総光量検出手段の検出した前記グループの発
光素子の総光量の検出値に基づいて前記グループに含ま
れる発光素子の発光量の総和を調整するように構成され
ている。
た発明は、請求項7記載の光ビーム照射装置において、
前記総光量検出手段は前記光源の複数の発光素子からな
る各グループに対応して複数備えられるように構成され
ている。
た発明は、請求項7記載の光ビーム照射装置において、
前記光源はイメージバーであるように構成されている。
された発明は、複数の発光素子を有し複数本の光ビーム
を発生する光源と、前記光源からの光ビームが照射され
る感光媒体と、前記光源から同時に出力される複数本の
光ビームの光量の総和を検出する総光量検出手段と、前
記光源の各発光素子の発光強度のばらつきを調整する光
強度バランス手段と、前記光強度バランス手段で発光強
度のばらつきを調整された前記光源の各発光素子を同時
に点灯し、前記光源の各発光素子の発光量の総和を前記
総光量検出手段により検出し、前記総光量検出手段の検
出値に基づいて前記光源の各発光素子発の発光量の総和
を調整する制御手段と、前記制御手段により各発光素子
の発光量の総和が調整された強度で前記光源により前記
感光媒体を露光させる走査手段と、を備えるように構成
されている。
ず、動作手段により光源の全てまたは一部の発光素子を
同時に動作させる。次に、同時に動作されている複数の
発光素子から出射される各光ビームの光強度の総和を検
出手段によって同時に検出し、比較手段に光強度の総和
に応じた検出出力を出力する。次いで、比較手段は、検
出手段からの検出出力と基準信号とを比較し、その結果
を設定手段に出力する。最後に比較手段からの比較結果
出力に従い設定手段は、レーザー光源の光出力部の発光
強度を増減させ、発光強度を制御する。
発光強度を制御することができ、高速化が可能となる。
また、構成を簡略化できるので、装置の小型化と低価格
化が可能となる。更に、総発光強度を制御するのでD/
Aコンバータの分解能を引き上げることなく、総発光強
度の変動を押さえることができる。
適用したマルチビームレーザー画像形成装置の一実施例
を示すものである。
であり、この半導体レーザー光源1は、レーザードライ
バー19によりデータ信号に応じて変調された複数本の
レーザービームLBを出射するものである。上記データ
信号には、画像読み取り装置により読み取られた画像デ
ータ、コンピュータグラフィックスの画像データ、文字
情報などの多くの種類がある。上記半導体レーザー光源
18は、図3に示すように、一つのチップに複数の半導
体レーザー素子を図面に垂直な方向に沿って形成した半
導体レーザーアレー29をパッケージ32内に封入した
ものであり、この半導体レーザーアレー29は、複数本
のレーザービームLBをウインドウ33から前方に出射
するとともに、わずかながらバックビームBBを後方に
出射するようになっている。光強度検出手段30は、こ
のバックビームBBを捕らえて、半導体レーザーアレー
29の発光強度を検出するためのもので、複数の半導体
レーザー素子から後方に出射される全てのバックビーム
BBを一度に検出できるように配置されている。なお、
上記半導体レーザー光源18として、このような光強度
検出手段30を内蔵するものを採用すれば、後述するよ
うに、図2のハーフミラー25及び光強度検出手段26
は、必要がないことはいうまでもない。
る複数本のレーザービームLBは、図2に示すように、
第1の光学系28によりハーフミラー25を通して回転
多面鏡からなる偏向走査装置20に導かれ、当該偏向走
査装置20により主走査方向に沿って一定の走査速度で
偏向走査される。上記第1の光学系28は、通常、レー
ザービームLBを概略平行光とするためのコリメータレ
ンズと、ビーム径を揃えるためのアパーチャと、偏向走
査装置4の反射面上で副走査方向に概略結像させるため
のシリンダーレンズとから構成されるが、目的に応じて
上記の1つまたは2つでも構成することが可能である。
LBの一部を光強度検出手段26に導くためのものであ
り、光強度検出手段26は、半導体レーザー光源1から
の複数本のレーザービームLBの複数の光路上に設けら
れ、全てのレーザービームを一度に検出できるように配
置されている。
示した回転多面鏡のように多面鏡を回転させるタイプの
他に、ホログラムデイスクなどの光学回折格子を回転さ
せるタイプ、非線形光学素子に電界や音波をかけるタイ
プなどのものを使用しても勿論よい。
れたレーザービームLBは、f−θレンズ等からなる第
2の光学系21を介して、副走査方向に沿って所定の回
転速度で回転している被走査体としての感光体ドラム2
3上にスポット像27として結像され、画像情報に応じ
た静電潜像が感光体ドラム23上に形成される。そし
て、この感光体ドラム23上に形成された静電潜像を現
像することによって画像の形成が行われる。
27が感光体ドラム23上にて等速に走査されるように
f−θ特性を持っており、しかも偏向走査装置20の反
射面と被走査体としての感光体ドラム23の表面が副走
査方向に概略共役関係となるように設計されている。こ
の第2の光学系21としては、複数のレンズを組み合わ
せて構成したもの、複数の組み合わせレンズとシリンド
リカルミラーにより構成したもの、単レンズで構成した
ものなど、種々のものを用いることができる。
より物理的、化学的な特性が変化し、情報が記録できる
ものが用いられ、例えば、光導電性を利用した電子写真
の感光体、銀塩写真フィルムなどが挙げられる。
上に走査露光されるスポット像27の走査開始タイミン
グを決定し、スポット像27の主走査方向の同期を取る
ために設置されたビームデイテクターであり、スポット
像27が主走査されて感光体ドラム23の画像領域に至
る以前の前走査の段階で、ミラー24を介してスポット
像27を検出できるようになっている。
画像形成装置に適用される発光強度制御装置の場合に
は、複数の発光素子を有し複数本のレーザー光を発生す
るレーザー光源と、該レーザー光源から出力される複数
本のレーザー光の光強度を検出する1つの検出手段と、
該検出手段からの検出出力を基準信号と比較する比較手
段と、該比較手段からの出力に従いレーザー光源の光出
力部の発光強度を設定する設定手段とを有する半導体レ
ーザー走査装置において、該レーザー光源の各発光素子
の発光強度をバランスさせる光強度バランス手段と、該
レーザー光源の各発光素子を同時に動作させる動作手段
を有し、該動作手段により同時に動作させる複数の発光
素子からの各レーザー光の光強度の総和を該1つの検出
手段により同時に検出し、該検出手段の検出出力に基づ
いて複数の発光素子の総発光強度を制御するように構成
されている。
一実施例を示すものである。
ーアレー29を構成する複数の半導体レーザー素子を示
しており、これらの半導体レーザー素子1、2、3から
出射されたレーザービームLBは、その光路中にある光
強度検出手段4によって発光強度が検出される。上記光
強度検出手段4は、図2に示す光強度検出手段26、又
は図3に示す光強度検出手段30のいずれかであり、こ
の光強度検出手段4は、光電気変換素子により構成さ
れ、通常はフォトダイオードが用いられる。
射されたレーザービームLBを検出した光強度検出手段
4は、その光強度の総和の大小に応じた検出出力を出力
する。この光強度検出手段4の検出出力は、増幅器5を
通してA/Dコンバータ6によりデジタル値に変換さ
れ、比較手段7によって基準信号発生手段31からの基
準信号と大小を比較され、その結果は、D/Aコンバー
タ8に向けて出力される。D/Aコンバータ8は、図示
しない設定値増減手段を内蔵しており、基準信号より光
強度検出手段4の出力が大きい場合は自らの設定値を減
少させ、基準信号より光強度検出手段4の出力が小さい
場合は自らの設定値を増加させる。
出力をA/Dコンバータ6の入力レンジに入るように調
整する役割のほかに、光強度検出手段4からの電流値の
大小として出力される検出出力を電圧値に変換する役割
を持っている。それは、A/Dコンバータ6は、電圧入
力のものが一般的であるからであり、通常、トランジス
タやOPアンプによって構成される。
タル値を保持できるものならなんでも良く、RAM、R
OM、DIPスイッチなどで実現できる。RAMの場合
は保持する値とアドレス値を、ROMの場合はアドレス
値のみをCPUなどのコントローラを用いて設定および
選択する必要があるが、複数の設定値を持ち、場面毎に
切り替える等の高度な使い方が可能である。
バータ8の出力に含まれるノイズ成分を取り除き、レー
ザー駆動回路10、11、12に内蔵される光強度設定
手段15に出力し、光強度設定手段15は、ローパスフ
ィルタ9よりの信号に応じた一定の電流を変調手段16
に供給する。
ーザー光源の各発光素子の発光特性に応じて予め各発光
素子の発光強度をバランスさせる光強度バランス手段を
備えるように構成されている。
度設定手段15に対し、出力電流値を微調整できるよう
に接続されている。上記半導体レーザー光源18の各半
導体レーザー素子1、2、3は、図4に示すように微妙
に異なっている。これは、各素子の特性の相違及びレー
ザー駆動回路10、11、12の特性の相違によっても
たらされる。ここで、一例を上げれば、図4においてD
/Aコンバータ8の設定値が100の場合、そのときの
素子1、2、3の発光量は、グラフより6.0mW、
5.4mW、4.6mWとなる。そこで、光強度バラン
ス調整手段17を調整し、例えばレーザー素子1を基準
に、他の素子の特性を素子1の特性に概略重なるように
すれば、各半導体レーザー素子1、2、3に対して同一
の制御を施した場合でも、素子1、2、3の発光量は、
グラフより6.0mWと揃えることができる。このよう
にして、D/Aコンバータ8とローパスフィルター9が
1つであっても、常に各半導体レーザー素子1、2、3
の発光強度が等しくなるように制御可能となっている。
段14を用い、タイミング信号に従いデータ信号と発光
信号とを切り替えるように構成されている。
定手段15、変調手段16、光強度バランス調整手段1
7、同時動作手段13の具体的な回路構成の一例を示す
回路図である。この例では、光強度バランス調整手段1
7が、可変抵抗VRの抵抗値を半導体レーザー素子1、
2、3の発光特性に応じて調整することにより、光強度
のバランスを調整するようになっている。また、光強度
設定手段15は、加算回路15aを備えており、この加
算回路15aによってローパスフィルタ9から出力され
る電圧に、光強度バランス調整手段17によって設定さ
れた電圧値を加算するようになっている。
強度設定手段15、変調手段16、光強度バランス調整
手段17、同時動作手段13の具体的な回路構成の他の
一例を示す回路図である。この例では、光強度バランス
調整手段17は光強度設定手段15に内蔵されており、
可変抵抗VRの抵抗値を調整することにより、光強度設
定手段15が変調手段16に供給する定電流値を増減さ
せるように作用する。
光強度制御装置では、次のようにして半導体レーザー光
源から出射されるレーザービームの発光強度を制御する
ようになっている。図1において、先ずタイミング信号
により発光強度制御を開始するように指示を受ける。
テクター22が出力する主走査方向の同時信号を参照
し、スポット像27が被走査体23の記録領域外にある
タイミングで出力される。この目的は、スポット像27
が被走査体23の記録領域にある時に同時動作手段が働
き、記録すべきデータではないものを誤って記録するの
を防止するためである。この目的をより確実に達成する
ため、一連の情報記録ジョブが終了し、次の情報記録ジ
ョブが開始されるまでの間でのみタイミング信号が発生
可能となるように設定するのが望ましい。
信号の指示により内蔵の同時動作手段を働かせ、動作信
号を変調手段16に送ることにより、対応する半導体レ
ーザー素子1を動作させる。この手順は、半導体レーザ
ー素子2及び3に対応するレーザー駆動回路11、12
においても同様に行われており、半導体レーザー素子
2、3は同時に動作を開始する。
時に出射されたレーザービームLBは、図1に示すよう
に、その光路中にある光強度検出手段4に同時に入射
し、光強度の大小が電流値の大小に変換される。更に、
電流値の大小は、増幅器5により適切に増幅された後、
電圧の大小に変換され、A/Dコンバータ6によりデジ
タル値に変換されて、光強度総和の検出出力として、比
較手段に到達する。
を比較し、D/Aコンバータ8に対し、検出出力>基準
信号の場合は発光強度を下げるように、検出出力<基準
信号の場合は発光強度を上げるように、検出出力=基準
信号の場合は発光強度をそのまま保持するように、指示
を出す。D/Aコンバータは、内蔵の設定値増減手段に
より、発光強度を下げるように指示を受けた場合は自ら
の設定値を減少させ、発光強度を上げるように指示を受
けた場合は自らの設定値を増加させ、発光強度をそのま
ま保持するように指示を受けた場合は自らの設定値を保
持する。D/Aコンバータ8は、タイミング信号が入力
されている時だけ、比較手段7の指示を受けた設定値を
増加または減少または保持し、この設定値に応じてアナ
ログ値をローパスフィルタ9に出力するが、タイミング
信号が終了すると、比較手段7の指示は受け付けず、現
在の設定値の保持と設置値に応じたアナログ出力を続け
る。
ルタ9によりノイズ成分の取り除かれたD/Aコンバー
タ8の出力と、光強度バランス調整手段17からの出力
に応じた定電流を変調手段16に供給する。
ーザー駆動回路10に同時にアナログ出力を行うが、一
般に半導体レーザー素子1、2、3の発光強度は、図4
に示すように等しくならない。これは、半導体レーザー
素子1、2、3の発光効率が微妙に異なることや、レー
ザー駆動回路10、11、12の特性が微妙に異なるこ
とに起因する。
を取り除くために付加されたもので、半導体レーザー走
査装置の組立時や半導体レーザー光源を交換した時など
に、サービスマン等により調整される。
手段15から供給される電流を同時動作手段よりの信号
に応じて変調し、半導体レーザー素子1、2、3に供給
し駆動する。
2及び半導体レーザー素子2、3においても同様、しか
も同時に実施され、タイミング信号の終了と共に発光強
度制御を終了する。通常のマシーン稼働時には、発光強
度制御開始前の半導体レーザー素子1、2、3の出力は
目標光強度に比較的近いので、タイミング信号が一度入
力されれば半導体レーザー光源1、2、3の発光強度は
所定の値に収まる。半導体レーザー素子1、2、3の出
力が目標光強度とかけ離れている場合(電源投入時や長
時間マシーンを放置いたときなど)は、タイミング信号
が複数回入力された後に半導体レーザー光源の発光強度
を所定の値に収めることができる。
る。
で光ビームを偏向させて主走査方向に走査する、いわゆ
る光ビーム偏向方式による場合について説明したが、以
下の実施例は記録幅方向に複数の発光素子を配置したイ
メージバーを用い、記録長さ方向に沿ってイメージバー
の光ビームを照射する複数の発光素子を切り換えること
によって、記録媒体上の露光位置を走査させることで像
を形成する所謂イメージバー方式の光ビーム記録走査装
置に関するものである。
度制御装置を適用したマルチビーム画像形成装置の第2
の実施例を示すもので、図11は正面図、図12は上面
図、図13は側面図である。
レーザーアレー光源を示すものであり、この半導体レー
ザーアレー光源40は、例えば、特開昭64ー4266
7号公報等に開示されているように、多数の半導体レー
ザー素子を画像の記録密度に応じて、感光体ドラム41
の記録領域と同じ幅全域に渡り直線状に配列することに
より構成されている。なお、この半導体レーザーアレー
光源40の代わりにLEDアレー光源等を使用しても良
い。この半導体レーザーアレー光源40は、図示しない
ドライバーによりデータ信号に応じて変調された200
0本乃至40000本のレーザービームLBを出射する
ことにより、感光体ドラム41上に画像露光を行なうも
のである。レーザービームLBの数は、画像形成装置に
要求される解像度によって決まる。また、上記データ信
号としては、図示しない画像読み取り装置により読み取
られた画像データ、コンピュータグラフィックスの画像
データ、文字情報などの多くの種類のものが挙げられ
る。以降の説明では、40を半導体レーザーアレー光源
として扱うが、全ての説明がLEDアレー光源に対して
も適用可能である。
射される複数本のレーザービームLBは、図11乃至図
12に示すように、ハーフミラー42を通してセルフォ
ックレンズ(登録商標)等のマイクロレンズアレー43
に導かれ、当該マイクロレンズアレー43により感光体
ドラム41上に結像される。こうして画像情報に応じた
静電潜像が感光体ドラム41上に形成され、この感光体
ドラム41上に形成された静電潜像を現像することによ
って画像の形成が行われる。
LBの一部を光強度検出手段44に導くためのものであ
り、ハーフミラー42と光強度検出手段44の間には、
光強度検出手段44が全てのレーザービームLBを一度
に検出できるように、全てのレーザービームLBを一箇
所に集光する集光レンズ45が設けられている。
は、通常、光により物理的、化学的な特性が変化し、情
報が記録できるものが用いられ、例えば、光導電性を利
用した電子写真の感光体、銀塩写真フィルムなどが挙げ
られる。
画像形成装置に適用される発光強度制御装置の場合に
は、複数の発光素子を有し複数本の光ビームを発生する
光源と、該光源の全ての発光素子を同時に動作させる動
作手段を有し、検出手段の検出出力に基づいて全ての発
光素子の総発光量を制御するように構成されている点に
特徴がある。
図1に示した第1の実施例の発光強度制御装置と同じで
あり、その動作も全く等しい。図1において、チャンネ
ル数nは、半導体レーザーアレー光源40の発光素子の
数、即ち2000乃至40000となり、非常に大きな
並列回路となるが、従来例と比べるとD/Aコンバータ
及びローパスフィルタがn−1個も少なくて済む分、優
位性がある。なお、具体的な回路構成についても図5及
び図6に示した通りである。
比較的少ない第1の実施例のみならず、レーザービーム
の数が非常に多い第2の実施例においても全く同じ技術
が適用できる点である。
る。
度制御装置を適用したマルチビーム画像形成装置の第3
の実施例を示すもので、図14は正面図、図15は上面
図、図16は側面図である。
レーザーアレー光源またはLEDアレー光源であり、感
光体ドラム41の記録領域と同じ幅全域に渡り、発光素
子が並んでいる。この半導体レーザーアレー光源又はL
EDアレー光源40は、図示しないドライバーによりデ
ータ信号に応じて変調された2000本乃至40000
本の光ビームを出射するものである。以降の説明では、
簡略化のため、40を半導体レーザーアレー光源として
扱うが、全ての説明がLEDアレー光源に対しても適用
可能である。
射される複数本のレーザービームLBは、図14及び図
15に示すように、ハーフミラー42を通してマイクロ
レンズアレー43に導かれ、当該マイクロレンズアレー
43により感光体ドラム41上に結像される。こうし
て、画像情報に応じた静電潜像が感光体ドラム41上に
形成され、そして、この感光体ドラム41上に形成され
た静電潜像を現像することによって画像の形成が行われ
る。
LBの一部を複数の光強度検出手段441 、442 、…
44m に導くためのものであり、ハーフミラー42と光
強度検出手段441 、442 、…44m の間には、光強
度検出手段441 、442 、…44m が数多くあるレー
ザービームLBのうちの幾つかを一度に検出できるよう
集光レンズアレー45が設けてある。こうした場合に
は、第2の実施例で感光体ドラム41の記録領域の幅が
非常に広くても、1つの光強度検出手段44で全てのレ
ーザービームLBを一括受光して受光するのではなく、
複数の光強度検出手段441 、442 、…44m で分割
して検出するように構成されているので、多数のレーザ
ービームLBの光強度を確実に検出することができる。
画像形成装置に適用される発光強度制御装置の場合に
は、光源から出力される複数本の光ビームの光強度を検
出する該光ビームの数より少ない検出手段と、光源の一
部の各発光素子を同時に動作させる動作手段を有し、該
動作手段により同時に動作させる複数の発光素子からの
光ビームの光強度の総和を該検出手段により同時に検出
し、該検出手段の検出出力に基づいて同時に動作させた
全ての発光素子の総発光強度を制御するように構成され
ている点に特徴がある。
442 、…44m の数をm個とすると、半導体レーザー
アレー光源40から出射されるレーザービームLBをm
個の構成単位1乃至mに分け、それぞれの構成単位LB
1 、LB2 、…LBm に1個の光強度検出手段441 、
442 、…44m を割り当てる。発光強度制御装置は、
図1に示した第1の実施例の発光強度制御装置と同じも
ので良く、その動作も同等である。ただし、チャンネル
数nはこの場合、チャンネル数n=半導体レーザー光源
の発光素子数÷mとなる。こうした発光強度制御装置を
m個用意し、それぞれの構成単位毎に1個ずつ割当て、
結果として多量の発光素子を制御することができる。
する。
た第4の実施例のマルチビーム画像形成装置の構成は第
2の実施例と同じ図11乃至図13であり、図11は正
面図、図12は上面図、図13は側面図である。
レーザーアレー光源またはLEDアレー光源であり、感
光体ドラム41の記録領域と同じ幅全域に渡り、発光素
子が並んでいる。半導体レーザーアレー光源またはLE
Dアレー光源40は、図示しないドライバーによりデー
タ信号に応じて変調された2000本乃至40000本
の光ビームを出射するものである。以降の説明では、簡
略化のため、40を半導体レーザーアレー光源として扱
うが、全ての説明がLEDアレー光源に対しても適用可
能である。
光強度制御装置の場合には、光源から出力される複数本
の光ビームの光強度を検出する1つの検出手段と、光源
の1部の各発光素子を同時に動作させる動作手段を有
し、該動作手段により同時に動作させる複数の発光素子
からの光ビームの光強度の総和を該検出手段により同時
に検出し、該検出手段の検出出力に基づいて同時動作さ
せた全ての総発光強度を制御することを特徴とするよう
に構成されている点に特徴がある。
の一実施例を示すものである。
体レーザーアレー光源を構成する複数の半導体レーザー
素子を示しており、これらの半導体レーザー素子51、
52、53から出射されたレーザービームLBは、その
光路中にある光強度検出手段54によって発光強度が検
出される。上記光強度検出手段54は、光電気変換素子
により構成され、通常はフォトダイオードが用いられ
る。
から出射されたレーザービームLBを検出した光強度検
出手段54は、その光強度の総和の大小に応じた検出出
力を出力する。この光強度検出手段54の検出出力は、
増幅器55を通してA/Dコンバータ56によりデジタ
ル値に変換され、比較手段57によって基準信号発生手
段58からの基準信号と大小を比較され、その結果は、
発光強度制御装置の構成単位1乃至m毎に1つ内蔵され
たD/Aコンバータ58に向けて出力される。
至mに内蔵のD/Aコンバータ58が受け取り、D/A
コンバータ58は、図示しない設定値増減手段を内蔵し
ており、基準信号より光強度検出手段54の出力が大き
い場合は自らの設定値を減少させ、基準信号より光強度
検出手段55の出力が小さい場合は自らの設定値を増加
させる。
ンバータ58の出力に含まれるノイズ成分を取り除き、
レーザー駆動回路60、61、62に内蔵される光強度
設定手段に出力する。
前記第1乃至第3の実施例と同様に、光強度設定手段、
変調手段、光強度バランス手段、同時動作手段が内蔵さ
れ、1つの構成単位には1つのD/Aコンバータ58、
1つのローパスフィルタ59、n個のレーザー駆動回路
60乃至62、n個の発光素子が含まれる。そうして、
この実施例に係る発光強度制御装置全体では、上記のご
とく構成される構成単位をm個持っており、このm個の
構成単位全体で半導体レーザーアレー光源40の発光素
子m×n個の発光強度制御を行うように構成されてい
る。
光強度制御装置では、次のようにして、半導体レーザー
アレー光源から出射されるレーザービームの発光強度を
制御するようになっている。図17において、先ずタイ
ミング信号1により構成単位1における発光強度制御を
開始するように指示を受ける。
信号の指示により内蔵の同時動作手段を働かせ、動作信
号を変調手段に送ることにより、対応する半導体レーザ
ー素子51を動作させる。この手順は、半導体レーザー
素子52及び53に対応するレーザー駆動回路61及び
62においても同様に行われており、半導体レーザー素
子51乃至53は同時に動作を開始する。
同時に出射されたレーザービームLBは、図17に示す
ように、その行路中にある光強度検出手段54に同時に
入射し、光強度大小が電流値の大小に変換される。更
に、電流値の大小は、増幅器55により適切に増幅され
た後、電圧の大小に変換され、A/Dコンバータ56に
よりデジタル値に変換されて、同時に動作された光強度
総和の検出出力として、比較手段57に到達する。
小を比較し、構成単位1乃至mに内蔵のD/Aコンバー
タ58に対し、検出出力>基準信号の場合は発光強度を
下げるように、検出出力<基準信号の場合は発光強度を
上げるように、検出出力=基準信号の場合は発光強度を
そのまま保持するように、指示を出す。
減手段により、発光強度を下げるように指示を受けた場
合は自らの設定値を増減させ、発光強度を上げるように
指示を受けた場合は自らの設定値を増加させ、発光強度
をそのまま保持するように指示を受けた場合は自らの設
定値を保持する。各構成単位のD/Aコンバータ58
は、タイミング信号が入力されている時だけ、比較手段
57の指示を受け、設定値を増加または減少または保持
し、この設定値に応じてアナログ値をローパスフィルタ
59に出力するが、タイミング信号が終了すると、比較
手段57の指示は受け付けず、現在の設定値の保持と設
定値に応じたアナログ出力を続けるよう構成されてい
る。構成単位1に関する発光強度制御を行っているとき
は、構成単位1のタイミング信号のみが有効となってお
り、結果として構成単位1のD/Aコンバータ58だけ
がその設定値を増加または減少または保持することにな
る。
スフィルタ59によりノイズ成分の取り除かれたD/A
コンバータ58の出力と、光強度バランス調整手段から
の出力に応じた定電流を変調手段に供給し、変調手段
は、この定電流を同時動作手段よりの信号に応じて変調
し、半導体レーザー素子51乃至53に供給し駆動す
る。
順を以て、構成単位1に関する発光強度制御を終了す
る。構成単位2乃至mについては、順次、同様の手順で
発光強度制御を実施する。
等の数が数100から数10000と多い場合にも適用
することが可能である。ところで、これらの多数の半導
体レザー素子等の光源に対しては、光強度バンラス手段
の調整が半導体レーザー装置の組み立て時や、半導体レ
ーザー光源を交換した時などにサービスマン等により実
施されるため、一端多数の半導体レーザー素子等の光強
度をバランスさせた場合でも、経時変換や環境温度の変
化などにより半導体レーザー素子の特性が変化すると、
光強度バランスが崩れる虞れがある。
つ半導体レーザー光源を多数(18個)用意し、温度1
5℃にて2つのレーザービームの光強度バンラスを調整
した後、 (1)温度を60℃まで上昇させたとき (2)1320時間連続点灯した後の温度15℃のとき (3)1320時間連続点灯した後で、しかも温度を6
0℃まで上昇させたとき の3つの条件で光強度バランス(一方のレーザービーム
強度を100として、当初100%であった他方のレー
ザービーム強度が何%程度増加するか)を確認する実験
を行なった。
1.1% (2)18個の平均が−0.5%、18個の標準偏差が
1.5% (3)18個の平均が−0.2%、18個の標準偏差が
1.8% であった。
自体も+0.6%からー0.5%と小さいが、この発明
は、複数の半導体レーザー光源の総光量を検出して、こ
れに基づいて各半導体レーザー光源の発光強度を制御す
るため、自動的に複数の半導体レーザー光源の総光量の
変動、すなわち平均値のばらつきを補正することができ
るため、18個の平均値の大小は、それほど問題となら
ない。これに対して、18個の標準偏差は、経時変換や
環境温度の変化などにより半導体レーザー素子の特性が
変化した場合に、光強度バランスの崩れを表すため、重
要である。しかし、上記の結果から明らかなように、1
8個の標準偏差は、1.1%から1.8%と小さいた
め、経時変換や環境温度の変化などによる半導体レーザ
ー素子の特性の変化は小さく、光強度バランスの崩れる
虞れはないことがわかった。
以上に複雑にすることなく、しかも短時間で半導体レー
ザー光源の発光強度を所定の値に収めることができる。
しかも発光素子の総発光強度を制御する構成であるた
め、D/Aコンバータの分解能を変えずにレーザービー
ムの数を増やしても、従来例のように総発光強度が変動
することはない。
ームLBの数が2本の時などは従来例と比較して、発光
強度の制御に要するトータル時間は大きくは異ならない
が、レーザービームLBの数が4本、8本と増えていく
と、この実施例の発光強度の制御に要するトータル時間
が従来例に比べて大幅に短縮することができ、第2の実
施例のようにレーザービームの数が多くなると、その効
果は顕著となる。
るもので、光ビームの数を増やした場合に、発光素子の
発光強度の制御に要する時間を短縮することにより、光
ビームの数を増やしたことによる高速化の効果をより大
きく発揮させることができる発光強度制御装置、光ビー
ム照射装置及び光ビーム記録走査装置を提供することが
できる。
た場合でも、複雑な構成をとることなく、従って構成が
簡単で済み、光ビーム走査装置の小型化と低価格化を可
能とした発光強度制御装置、光ビーム照射装置及び光ビ
ーム記録走査装置を提供することができる。
した場合でも、D/Aコンバータの分解能を引き上げる
ことによる装置の高価格化を招くことなく、総光量の制
御を精度良く実施できる発光強度制御装置、光ビーム照
射装置及び光ビーム記録走査装置を提供することができ
る。
実施例を示すブロック図である。
用し得るレーザー画像形成装置の一実施例を示す斜視構
成図である。
る。
グラフである。
要部を示す回路図である。
要部を示す回路図である。
レーザー画像形成装置を示す斜視構成図である。
る。
グラフである。
ロック図である。
を適用したレーザー画像形成装置の実施例2を示す正面
図である。
を適用したレーザー画像形成装置の実施例3を示す正面
図である。
の実施例4を示すブロック図である。
D/Aコンバータの動作を示す説明図である。
段、7 比較手段、10、11、12 レーザー駆動回
路、15 光強度設定手段、17 光強度バランス調整
手段。
Claims (10)
- 【請求項1】 複数の発光素子を有し複数本の光ビーム
を発生する光源から同時に出力される複数本の光ビーム
の光量の総和を検出する総光量検出手段と、 前記光源の発光素子毎の発光強度のばらつきを予め調整
する光強度バランス手段と、 前記光強度バランス手段で発光強度のばらつきを調整さ
れた前記光源の複数の発光素子を同時に点灯し、点灯し
た前記光源の発光素子の発光量の総和を前記総光量検出
手段により検出し、前記総光量検出手段の検出値に基づ
いて前記光源の発光素子の発光量の総和を調整する制御
手段と、を備えたことを特徴とする発光強度制御装置。 - 【請求項2】 複数の発光素子を有し複数本の光ビーム
を発生する光源と、 前記光源から同時に出力される複数本の光ビームの光量
の総和を検出する総光量検出手段と、 前記光源の発光素子毎の発光強度のばらつきを予め調整
する光強度バランス手段と、 前記光強度バランス手段で発光強度のばらつきを調整さ
れた前記光源の複数の発光素子を同時に点灯し、点灯し
た前記光源の発光素子の発光量の総和を前記総光量検出
手段により検出し、前記総光量検出手段の検出値に基づ
いて前記光源の発光素子の発光量の総和を調整する制御
手段と、を備えたことを特徴とする光ビーム照射装置。 - 【請求項3】 前記制御手段は、 前記総光量検出手段により検出された総光量の検出値と
基準値とを比較する比較手段と、 前記比較手段の比較結果に基づいて前記光源の発光素子
の光強度を設定する光強度設定手段と、を有する請求項
2記載の光ビーム照射装置。 - 【請求項4】 前記光強度バランス手段は、前記比較手
段の比較結果に対する前記光強度設定手段の出力特性を
各発光素子毎に変更するよう構成された請求項3記載の
光ビーム照射装置。 - 【請求項5】 前記光強度設定手段は、各発光素子の光
強度を独立して設定することを特徴とする請求項3記載
の光ビーム照射装置。 - 【請求項6】 前記総光量検出手段は、前記光源のすべ
ての発光素子の光ビームの総発光量を同時に検出するこ
とを特徴とする請求項2記載の光ビーム照射装置。 - 【請求項7】 前記光源の複数の発光素子は複数の発光
素子からなる複数のグループにグループ化され、前記総
光量検出手段はグループ毎の発光素子の総光量を検出
し、前記制御手段は前記総光量検出手段の検出した前記
グループの発光素子の総光量の検出値に基づいて前記グ
ループに含まれる発光素子の発光量の総和を調整するこ
とを特徴とする請求項2記載の光ビーム照射装置。 - 【請求項8】 前記総光量検出手段は前記光源の複数の
発光素子からなる各グループに対応して複数備えられた
ことを特徴とする請求項7記載の光ビーム照射装置。 - 【請求項9】 前記光源はイメージバーであることを特
徴とする請求項2記載の光ビーム照射装置。 - 【請求項10】 複数の発光素子を有し複数本の光ビー
ムを発生する光源と、 前記光源からの光ビームが照射される感光媒体と、 前記光源から同時に出力される複数本の光ビームの光量
の総和を検出する総光量検出手段と、 前記光源の各発光素子の発光強度のばらつきを調整する
光強度バランス手段と、 前記光強度バランス手段で発光強度のばらつきを調整さ
れた前記光源の各発光素子を同時に点灯し、前記光源の
各発光素子の発光量の総和を前記総光量検出手段により
検出し、前記総光量検出手段の検出値に基づいて前記光
源の各発光素子発の発光量の総和を調整する制御手段
と、 前記制御手段により各発光素子の発光量の総和が調整さ
れた強度で前記光源により前記感光媒体を露光させる走
査手段と、を備えた光ビーム記録走査装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27867595A JP3503301B2 (ja) | 1994-10-27 | 1995-10-26 | 発光強度制御装置、光ビーム照射装置、及び光ビーム記録走査装置 |
US08/638,559 US5726437A (en) | 1994-10-27 | 1996-04-26 | Light intensity control device |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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