JPH08257854A - 移動テーブルおよびその保持器 - Google Patents
移動テーブルおよびその保持器Info
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- JPH08257854A JPH08257854A JP9170395A JP9170395A JPH08257854A JP H08257854 A JPH08257854 A JP H08257854A JP 9170395 A JP9170395 A JP 9170395A JP 9170395 A JP9170395 A JP 9170395A JP H08257854 A JPH08257854 A JP H08257854A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 負荷容量の増大と、保持器のポケット孔の加
工の容易化、および組立時のボールの挿入，回収の迅速
化を図る。ＸＹテーブルやＸＹθテーブルに応用され
る。 【構成】 移動テーブル１は、ボール３を介して固定盤
２上に可動盤５を移動自在に設置したものとする。前記
ボール３を保持する保持器４を、平板状の保持器本体４
ａに複数のボール３が一緒に入るポケット７を設けたも
のとする。
工の容易化、および組立時のボールの挿入，回収の迅速
化を図る。ＸＹテーブルやＸＹθテーブルに応用され
る。 【構成】 移動テーブル１は、ボール３を介して固定盤
２上に可動盤５を移動自在に設置したものとする。前記
ボール３を保持する保持器４を、平板状の保持器本体４
ａに複数のボール３が一緒に入るポケット７を設けたも
のとする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、液晶ガラス基板の貼
合せ装置、導通チェック装置等の上方からの大負荷の支
持を要求される装置、あるいは中央貫通孔形状を要求さ
れる装置に応用可能な移動テーブルおよびその保持器に
関する。
合せ装置、導通チェック装置等の上方からの大負荷の支
持を要求される装置、あるいは中央貫通孔形状を要求さ
れる装置に応用可能な移動テーブルおよびその保持器に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＸＹテーブルやＸＹθテーブル等
の移動テーブルにおいて、固定基盤上にボールを介して
可動基盤を移動自在に設置したものがある。この種の移
動テーブルでは、ボールの保持に図７に示す保持器が一
般に用いられている。この保持器７１は、平板状の保持
器本体に、ボール７２の径に対して若干大きめの寸法の
孔７３を明け、ボール７２を１個ずつ分離して保持する
構成とされている。
の移動テーブルにおいて、固定基盤上にボールを介して
可動基盤を移動自在に設置したものがある。この種の移
動テーブルでは、ボールの保持に図７に示す保持器が一
般に用いられている。この保持器７１は、平板状の保持
器本体に、ボール７２の径に対して若干大きめの寸法の
孔７３を明け、ボール７２を１個ずつ分離して保持する
構成とされている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】近年、負荷容量の増大
の要求が強くなる傾向にあり、これに伴い、保持器７１
の孔７３の加工数を増やさざるを得なかった。可動盤の
上面高さの制限、負荷容量の確保を前提とする際、この
種の従来の保持器７１であると、ボール７２の挿入個数
に限界があり、また薄板の軽合金に１０００を超える孔
の加工は、作業性および加工精度を考慮すると、製作は
非常に難しく、必然的に高価な部品となっていた。孔加
工の数が増えると、加工時に発生する反りの問題も生じ
る。また、組立作業においても、保持器７１の着脱時の
ボールの挿入や回収作業に時間を要していた。
の要求が強くなる傾向にあり、これに伴い、保持器７１
の孔７３の加工数を増やさざるを得なかった。可動盤の
上面高さの制限、負荷容量の確保を前提とする際、この
種の従来の保持器７１であると、ボール７２の挿入個数
に限界があり、また薄板の軽合金に１０００を超える孔
の加工は、作業性および加工精度を考慮すると、製作は
非常に難しく、必然的に高価な部品となっていた。孔加
工の数が増えると、加工時に発生する反りの問題も生じ
る。また、組立作業においても、保持器７１の着脱時の
ボールの挿入や回収作業に時間を要していた。
【０００４】この発明の目的は、負荷容量の増大が図
れ、保持器のポケット孔の加工も容易で、孔加工時に発
生する反りが減少でき、また組立時のボールの挿入，回
収が短時間で行える移動テーブルおよびその保持器を提
供することである。
れ、保持器のポケット孔の加工も容易で、孔加工時に発
生する反りが減少でき、また組立時のボールの挿入，回
収が短時間で行える移動テーブルおよびその保持器を提
供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明の移動テーブル
は、ボールを介して固定盤上に可動盤を移動自在に設置
した移動テーブルであって、前記ボールを保持する保持
器を、平板状の保持器本体に複数のボールが一緒に入る
ポケットを設けたものとする。この発明の保持器は、上
記構成の移動テーブルに用いられるものであって、平板
状の保持器本体に複数のボールが一緒に入るポケットを
有するものである。
は、ボールを介して固定盤上に可動盤を移動自在に設置
した移動テーブルであって、前記ボールを保持する保持
器を、平板状の保持器本体に複数のボールが一緒に入る
ポケットを設けたものとする。この発明の保持器は、上
記構成の移動テーブルに用いられるものであって、平板
状の保持器本体に複数のボールが一緒に入るポケットを
有するものである。
【０００６】
【作用】この構成によると、保持器の一つのポケットに
複数個のボールが入るため、負荷を受けるボール数が増
やせて負荷容量が増大し、また固定盤や可動盤のボール
転走面の加工精度のばらつきが吸収され、負荷分布の均
一性が得られる。また、ポケットの加工数が少なくて済
み、そのため加工に伴う反り等も発生し難く、精度の良
い保持器が得られる。複数のボールが同じポケットに入
ることから、組立作業時の保持器の着脱に伴うボールの
挿入や回収作業も簡略化される。
複数個のボールが入るため、負荷を受けるボール数が増
やせて負荷容量が増大し、また固定盤や可動盤のボール
転走面の加工精度のばらつきが吸収され、負荷分布の均
一性が得られる。また、ポケットの加工数が少なくて済
み、そのため加工に伴う反り等も発生し難く、精度の良
い保持器が得られる。複数のボールが同じポケットに入
ることから、組立作業時の保持器の着脱に伴うボールの
挿入や回収作業も簡略化される。
【０００７】
【実施例】この発明の一実施例を図１および図２に基づ
いて説明する。この実施例は、直交する２方向の移動と
回動とを可能とした移動テーブル、いわゆるＸＹθテー
ブルに応用した例である。固定盤２の上面に、多数のボ
ール３を回動自在に組み込んだ保持器４が載置され、そ
のボール３の上に可動盤５が支持されている。ボール３
は鋼球等からなる。この支持状態では、固定盤２の上を
自由に転がるボール３の案内により可動盤５は全方向に
移動可能になる。固定盤２の上面の４隅には、ボール３
の転がりと共に移動する保持器４の動きの範囲を規制す
るストッパピン６が設けられている。
いて説明する。この実施例は、直交する２方向の移動と
回動とを可能とした移動テーブル、いわゆるＸＹθテー
ブルに応用した例である。固定盤２の上面に、多数のボ
ール３を回動自在に組み込んだ保持器４が載置され、そ
のボール３の上に可動盤５が支持されている。ボール３
は鋼球等からなる。この支持状態では、固定盤２の上を
自由に転がるボール３の案内により可動盤５は全方向に
移動可能になる。固定盤２の上面の４隅には、ボール３
の転がりと共に移動する保持器４の動きの範囲を規制す
るストッパピン６が設けられている。
【０００８】保持器４は、図２に示すように円板状の保
持器本体４ａに、各々複数のボール３が一緒に入る円形
のポケット７を複数形成したものである。ポケット７
は、中央に１個設けると共に、周囲に円周方向に等間隔
に並べて複数個設けてある。保持器本体４ａは、フッ素
を含浸させたアルミニウム板や、その他の軽合金等の薄
い金属板、または樹脂板などの軽い材料のものであり、
金属板製とする場合は、各ポケット７はフライス盤等で
孔加工される。各ポケット７は、ボール３を数個ないし
十数個、あるいはそれ以上挿入可能な大きさとしてあ
る。なお、ボール３は、図３に示すように固体潤滑剤８
と共にポケット７内に入れ、個々のボール３が固体潤滑
剤８で保持されるようにしても良い。
持器本体４ａに、各々複数のボール３が一緒に入る円形
のポケット７を複数形成したものである。ポケット７
は、中央に１個設けると共に、周囲に円周方向に等間隔
に並べて複数個設けてある。保持器本体４ａは、フッ素
を含浸させたアルミニウム板や、その他の軽合金等の薄
い金属板、または樹脂板などの軽い材料のものであり、
金属板製とする場合は、各ポケット７はフライス盤等で
孔加工される。各ポケット７は、ボール３を数個ないし
十数個、あるいはそれ以上挿入可能な大きさとしてあ
る。なお、ボール３は、図３に示すように固体潤滑剤８
と共にポケット７内に入れ、個々のボール３が固体潤滑
剤８で保持されるようにしても良い。
【０００９】図１に示すように、固定盤２の側辺２ａに
は１個の支持板１０ａが設けられ、それに隣接する側辺
２ｂには所定の間隔をあけて２個の支持板１０ｂ，１０
ｃが固定されている。これら各支持板１０ａ〜１０ｃ
に、それぞれ接続シャフト１１を有するテーブル駆動装
置１２，１３，１４が取付けられている。各テーブル駆
動装置１２，１３，１４はそれぞれボールねじ装置から
なり、内蔵のモータおよびボールねじを介して接続シャ
フト１１を軸方向に進退駆動させる構成となっている。
接続シャフト１１は先端部がピン１５を介してスライダ
１６に回動自在に連結され、スライダ１６は可動盤５の
側辺５ａ，５ｂに設けた水平方向の案内棒１７に移動可
能に嵌合している。このスライダ１６とピン１５によっ
て、各接続シャフト１１は可動盤５の各側辺に対して回
動可能かつスライド可能になっている。
は１個の支持板１０ａが設けられ、それに隣接する側辺
２ｂには所定の間隔をあけて２個の支持板１０ｂ，１０
ｃが固定されている。これら各支持板１０ａ〜１０ｃ
に、それぞれ接続シャフト１１を有するテーブル駆動装
置１２，１３，１４が取付けられている。各テーブル駆
動装置１２，１３，１４はそれぞれボールねじ装置から
なり、内蔵のモータおよびボールねじを介して接続シャ
フト１１を軸方向に進退駆動させる構成となっている。
接続シャフト１１は先端部がピン１５を介してスライダ
１６に回動自在に連結され、スライダ１６は可動盤５の
側辺５ａ，５ｂに設けた水平方向の案内棒１７に移動可
能に嵌合している。このスライダ１６とピン１５によっ
て、各接続シャフト１１は可動盤５の各側辺に対して回
動可能かつスライド可能になっている。
【００１０】可動盤５は、図の右側のテーブル駆動装置
１２のみを伸縮駆動するとＸ方向に移動し、下側２つの
テーブル駆動装置１３，１４を同じ方向に同じ伸縮量だ
け移動させるとＹ方向に移動し、下側２つのテーブル駆
動装置１３，１４を伸縮量を変えて駆動すると回転方向
（θ方向）に移動する。この可動盤５に各種のワークが
載せられ、各種の作業に使用される。
１２のみを伸縮駆動するとＸ方向に移動し、下側２つの
テーブル駆動装置１３，１４を同じ方向に同じ伸縮量だ
け移動させるとＹ方向に移動し、下側２つのテーブル駆
動装置１３，１４を伸縮量を変えて駆動すると回転方向
（θ方向）に移動する。この可動盤５に各種のワークが
載せられ、各種の作業に使用される。
【００１１】この構成の移動テーブル１によると、可動
盤５の負荷荷重は、ボール３を介して固定盤２と可動盤
５の対向する面と面とで受けられる。この場合に、保持
器４の各ポケット７に各々複数個のボール３が入るた
め、負荷を受けるボール数が増やせて負荷容量が増大
し、また固定盤２や可動盤５のボール転走面の加工精度
のばらつきが吸収され、負荷分布の均一性が得られる。
また、ポケット７の加工数が少なくて済み、そのため加
工に伴う反り等も発生し難く、精度の良い保持器４が得
られる。したがって、移動テーブル１の設計段階におけ
る構想，検討，作図等の時間も短縮され、高効率化，迅
速化が図れる。部品検査工程も簡略化される。さらに、
複数のボール３が同じポケット７に入ることから、組立
作業時の保持器４の着脱に伴うボール３の挿入や回収作
業も簡略化される。
盤５の負荷荷重は、ボール３を介して固定盤２と可動盤
５の対向する面と面とで受けられる。この場合に、保持
器４の各ポケット７に各々複数個のボール３が入るた
め、負荷を受けるボール数が増やせて負荷容量が増大
し、また固定盤２や可動盤５のボール転走面の加工精度
のばらつきが吸収され、負荷分布の均一性が得られる。
また、ポケット７の加工数が少なくて済み、そのため加
工に伴う反り等も発生し難く、精度の良い保持器４が得
られる。したがって、移動テーブル１の設計段階におけ
る構想，検討，作図等の時間も短縮され、高効率化，迅
速化が図れる。部品検査工程も簡略化される。さらに、
複数のボール３が同じポケット７に入ることから、組立
作業時の保持器４の着脱に伴うボール３の挿入や回収作
業も簡略化される。
【００１２】図４はこの発明の他の実施例を示す。この
例は、固定盤２および可動盤５に中央貫通孔２０を設
け、これと対応して保持器４にも中央貫通孔２１を設け
たものである。保持器４のポケット７は、円周方向に延
びる長孔とし、短辺幅も複数のボール３が並ぶ寸法とし
てある。中央貫通孔２０，２１は、テープ露光機や液晶
ディスプレイ検査機の作業テーブル等として移動テーブ
ル１を構成する場合等に設けられる。その他の構成は図
１の実施例と同じである。この構成の場合、中央貫通孔
２１があるために保持器４の面積が小さくなるが、各ポ
ケット７に複数のボール３を入れてあるため、十分な負
荷容量が得られる。
例は、固定盤２および可動盤５に中央貫通孔２０を設
け、これと対応して保持器４にも中央貫通孔２１を設け
たものである。保持器４のポケット７は、円周方向に延
びる長孔とし、短辺幅も複数のボール３が並ぶ寸法とし
てある。中央貫通孔２０，２１は、テープ露光機や液晶
ディスプレイ検査機の作業テーブル等として移動テーブ
ル１を構成する場合等に設けられる。その他の構成は図
１の実施例と同じである。この構成の場合、中央貫通孔
２１があるために保持器４の面積が小さくなるが、各ポ
ケット７に複数のボール３を入れてあるため、十分な負
荷容量が得られる。
【００１３】図５はこの発明のさらに他の実施例を示
す。この例は、可動盤５の回動機能を持たない直交２方
向だけの移動テーブル、すなわちＸＹテーブルに応用し
た例である。テーブル駆動装置１２，１３は、固定盤２
の２辺２ａ，２ｂに各々１台ずつ設けてある。その伸縮
する連結軸１１とスライダ１６とは互いに一体の固定状
態としてある。保持器４は可動盤５よりも若干小さな方
形とし、各ポケット７は六角形状として千鳥状に複数列
に配列してある。各ポケット７にはボール３が数個ない
しそれ以上入れてある。その他の構成は図１の実施例と
同様である。このように保持器４のポケット７を構成し
た場合も、前記各実施例と同様に負荷容量の増大と組み
立て簡易等の各効果が得られる。
す。この例は、可動盤５の回動機能を持たない直交２方
向だけの移動テーブル、すなわちＸＹテーブルに応用し
た例である。テーブル駆動装置１２，１３は、固定盤２
の２辺２ａ，２ｂに各々１台ずつ設けてある。その伸縮
する連結軸１１とスライダ１６とは互いに一体の固定状
態としてある。保持器４は可動盤５よりも若干小さな方
形とし、各ポケット７は六角形状として千鳥状に複数列
に配列してある。各ポケット７にはボール３が数個ない
しそれ以上入れてある。その他の構成は図１の実施例と
同様である。このように保持器４のポケット７を構成し
た場合も、前記各実施例と同様に負荷容量の増大と組み
立て簡易等の各効果が得られる。
【００１４】なお、前記各実施例では、保持器４のポケ
ット７内にボール３を平面的に多数入れたが、図６
（Ａ）や（Ｂ）の例等のように、ポケット内にボールを
一列で入れるようにしても良い。図６（Ａ）の例はポケ
ット７を放射状に形成し、かつ単独でボール３を保持す
るポケット２３をその各放射状ポケット７，７間に配置
してある。図６（Ｂ）の例は、細い円弧状の長孔からな
るポケット７を、複数の同心円上に配列してある。
ット７内にボール３を平面的に多数入れたが、図６
（Ａ）や（Ｂ）の例等のように、ポケット内にボールを
一列で入れるようにしても良い。図６（Ａ）の例はポケ
ット７を放射状に形成し、かつ単独でボール３を保持す
るポケット２３をその各放射状ポケット７，７間に配置
してある。図６（Ｂ）の例は、細い円弧状の長孔からな
るポケット７を、複数の同心円上に配列してある。
【００１５】なお、前記実施例では可動盤５が直交する
２軸方向の移動を行うものとしたが、この発明は可動盤
５が往復直線移動のみする移動テーブル等にも適用する
ことができる。
２軸方向の移動を行うものとしたが、この発明は可動盤
５が往復直線移動のみする移動テーブル等にも適用する
ことができる。
【００１６】
【発明の効果】この発明の移動テーブルは、ボールを介
して固定盤上に可動盤を移動自在に設置した移動テーブ
ルにおいて、前記ボールを保持する保持器を、平板状の
保持器本体に複数のボールが一緒に入るポケットを有す
るものとしたため、負荷容量の増大が図れ、保持器のポ
ケット孔の加工も容易で、孔加工時に発生する反りが減
少でき、また組立時のボールの挿入，回収が短時間で行
える。
して固定盤上に可動盤を移動自在に設置した移動テーブ
ルにおいて、前記ボールを保持する保持器を、平板状の
保持器本体に複数のボールが一緒に入るポケットを有す
るものとしたため、負荷容量の増大が図れ、保持器のポ
ケット孔の加工も容易で、孔加工時に発生する反りが減
少でき、また組立時のボールの挿入，回収が短時間で行
える。
【図１】（Ａ）はこの発明の一実施例にかかる移動テー
ブルの一部切欠平面図、（Ｂ）はその側面図である。
ブルの一部切欠平面図、（Ｂ）はその側面図である。
【図２】同移動テーブルにおける保持器を一部のボール
と共に示す平面図、（Ｂ）は同断面図である。
と共に示す平面図、（Ｂ）は同断面図である。
【図３】この発明の他の実施例にかかる保持器の断面図
である。
である。
【図４】この発明のさらに他の実施例にかかる移動テー
ブルの一部切欠平面図、（Ｂ）はその保持器を一部のボ
ールと共に示す平面図である。
ブルの一部切欠平面図、（Ｂ）はその保持器を一部のボ
ールと共に示す平面図である。
【図５】この発明のさらに他の実施例にかかる移動テー
ブルの一部切欠平面図、（Ｂ）はその保持器を一部のボ
ールと共に示す平面図である。
ブルの一部切欠平面図、（Ｂ）はその保持器を一部のボ
ールと共に示す平面図である。
【図６】（Ａ），（Ｂ）は各々この発明のさらに他の実
施例にかかる保持器の平面図である。
施例にかかる保持器の平面図である。
【図７】従来の保持器の断面図および平面図である。
１…移動テーブル、２…固定盤、３…ボール、４…保持
器、５…可動盤、７…ポケット、１２〜１４…テーブル
駆動装置
器、５…可動盤、７…ポケット、１２〜１４…テーブル
駆動装置
Claims (2)
- 【請求項１】 ボールを介して固定盤上に可動盤を移動
自在に設置した移動テーブルにおいて、前記ボールを保
持する保持器を、平板状の保持器本体に複数のボールが
一緒に入るポケットを設けたものとした移動テーブル。 - 【請求項２】 移動テーブルの固定盤と可動盤との間に
介在するボールを保持する保持器であって、平板状の保
持器本体に、複数のボールが一緒に入るポケットを設け
たことを特徴とする保持器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9170395A JPH08257854A (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 移動テーブルおよびその保持器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9170395A JPH08257854A (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 移動テーブルおよびその保持器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08257854A true JPH08257854A (ja) | 1996-10-08 |
Family
ID=14033885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9170395A Pending JPH08257854A (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 移動テーブルおよびその保持器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08257854A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012111290A1 (ja) * | 2011-02-16 | 2012-08-23 | エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社 | 研磨装置 |
| US8523442B2 (en) | 2010-12-03 | 2013-09-03 | Industrial Technology Research Institute | Supporting bearing |
-
1995
- 1995-03-24 JP JP9170395A patent/JPH08257854A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8523442B2 (en) | 2010-12-03 | 2013-09-03 | Industrial Technology Research Institute | Supporting bearing |
| TWI412424B (zh) * | 2010-12-03 | 2013-10-21 | Ind Tech Res Inst | 支撐軸承 |
| WO2012111290A1 (ja) * | 2011-02-16 | 2012-08-23 | エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社 | 研磨装置 |
| JP2012166327A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Ntt Advanced Technology Corp | 研磨装置 |
| CN103391831A (zh) * | 2011-02-16 | 2013-11-13 | Ntt尖端技术株式会社 | 研磨装置 |
| US9211627B2 (en) | 2011-02-16 | 2015-12-15 | Ntt Advanced Technology Corporation | Polishing apparatus |
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