JPH082572Y2 - 流量計 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この考案は、気体などの流量を流
量検出素子を用いて検出する流量計に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】図４は従来の流量計を示す分解側面断面
図であり、図において、１１は半導体構造の流量検出素
子をセラミックなどの基板に取り付けたセンサユニッ
ト、１２はセンサユニット１１を取り付ける流量検出孔
としての流量検出部１３を持った流体管路、１４はガス
ケット、１５はこのガスケット１４を介してセンサユニ
ット１１を流量検出部１３に取り付けるためのブラケッ
ト、１６はブラケット１５を流体管路１２上のねじ孔１
７にねじ止めするねじである。

【０００３】かかる従来の流量計では、センサユニット
１１の基板が流量検出部１３に設置され、さらに、ガス
ケット１４およびブラケット１５が流体管路１２上に設
置され、これらがねじ１６のねじ孔１７へのねじ込みに
より、流体管路１２上に結着され、これにより、センサ
ユニット１１が流体管路１２およびブラケット１５に対
し気密的に取り付けられる。

【０００４】また、図５は従来の他の流量計を示す。こ
れの基本構成および組付手順は図４と略同一であるが、
センサユニット１１が予めブラケット１５の取付孔１９
周縁部に接着剤で取り付けられている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】従来の流量計は以上の
ように構成されているので、センサユニット１１の流量
検出部１２への取り付けの際に、作業ミスによって、そ
のセンサユニット１１のセラミックの基板を破損した
り、上記センサユニット１１の基板に対するガスケット
１４のシール性の劣化を招いたりするなどの課題があっ
た。また、上記接着剤塗布の不均一や二液性接着剤の混
合比率の不均一，硬化時間の不均一などにより上記シー
ル性の管理が難しく、このシール性の劣化による流量検
出データの信頼性劣化を招くなどの課題があった。

【０００６】この考案は上記のような従来の課題に着目
してなされたものであり、組立時における流量検出素子
の取り付けのための基板の破損を防止でき、しかもこの
基板のブラケットに対する十分なシール性を永久的に確
実に維持できる流量計を得ることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この考案にかかる流量計
は、流量検出素子を片面に固設し、他面から該流量検出
素子から得られた流量信号を取り出す電極を導出する金
属製基板と、該金属製基板を、金属接合により気密的に
取り付けた金属製ブラケットとを備え、流体管路に対
し、上記流量検出素子を流路に臨ませるように支持する
流量検出部を設け、さらに上記金属製ブラケットを取り
付けたものである。

【０００８】

【作用】この考案における金属製基板は、流量検出素子
を備えており、この金属性基板が金属製ブラケットに対
し溶接などにより金属接合されているため、流体管路に
対する取付時にも上記金属製基板の破損を防止でき、金
属製基板と上記金属製ブラケットとのシール性を永久的
に保持できるようにする。

【０００９】

【実施例】以下、この考案の一実施例を図について説明
する。図１において、１１Ａはセンサユニットで、これ
が図２に示すように、金属性基板１と、この金属性基板
１の片面（下面）中央に取り付けられた流量検出素子２
と、この流量検出素子２の電極３と、この電極３を金属
製基板１に封着する封着ガラス４とからなる。５は流体
管路１２に形成された流体の流路で、図３に示すよう
に、この流路５に上記流量検出部１３が連通するように
設けられている。１４ａは上記金属製ブラケット１５
と、流体管路１２の平面部のシール性を確保するために
設けられたガスケット１４の中央部に形成された、上記
金属製基板１より大径の貫通孔、１５ａは金属製ブラケ
ット１５の中央部に形成された貫通孔で、これが上記電
極３のいずれにも接触しないサイズとなっている。ま
た、この金属製ブラケット１５下面の貫通孔１５ａ付近
には、上記金属製基板１が図２に示すように当接され、
かつこれらがその当接部Ｐで電気抵抗溶接，半田接合，
共晶接合あるいは電子ビーム溶接などにより気密的に金
属接合されている。

【００１０】次に、この流量計の組付け手順について述
べる。まず、上記のように、流量検出素子２を取り付け
た金属製基板１を、電極３が貫通孔１５ａに接触しない
ように、金属製ブラケット１５の下面に当接し、この当
接部Ｐの全体を上記電気抵抗溶接などにより金属結合す
る。次に、この金属製ブラケット１５をガスケット１４
を介して流体管路１２の上面に当接し、流量検出素子２
を流量検出部１３内に嵌め込む。そして、最後にねじ１
６を金属製ブラケット１５，ガスケット１４の取付孔を
通して、流体管路１２上面のねじ孔１７にねじ込んで、
これらを一体化する。これにより、流量検出素子２は流
路５に臨み、その流路５に流れる気体の流量（または流
速）を検出する。また、このとき上記金属結合により、
金属製基板１と金属製ブラケット１５とのシール性は完
全となり、この状態が永久的に維持される。また、金属
性ブラケット１５外への流路からの流体の洩れがガスケ
ット１４によって阻止され、外形寸法精度の向上とも相
まって、流量センシング精度も向上することとなる。ま
た、金属性基板１５は従来のセラミック板よりも十分に
強度が高いため、これが流量計組立時に、他物や流体管
路１２に接触しても、破損するなどの事故を回避でき
る。

【００１１】

【考案の効果】以上のように、この考案によれば流量検
出素子を片面に固設し、他面から該流量検出素子から得
られた流量信号を取り出す電極を導出する金属製基板
と、該金属製基板を、金属接合により気密的に取り付け
た金属製ブラケットとを備え、流体管路に対し、上記流
量検出素子を流路に臨ませるように支持する流量検出部
を設け、さらに上記金属製ブラケットを取り付けるよう
に構成したので、流量検出素子を取り付けている上記金
属製板の破損や損傷がなくなり、しかもこの金属製基板
と金属製ブラケットとのシール性が長年に亘って十分に
維持することができ、流体の流量センシング精度の向上
を図れるものが得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例による流量計を示す分解斜
視図である。

【図２】図１の流量計の正面を示す分解側面断面図であ
る。

【図３】図１における金属製基板と、金属製ブラケット
との結合構造を示す断面図である。

【図４】従来の流量計を示す分解側面断面図である。

【図５】流量計の他の従来例を示す分解側面断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 金属製基板 ２ 流量検出素子 ５ 流路 １２ 流体管路 １３ 流体検出部（流量検出孔） １５ 金属製ブラケット

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 流量検出素子を片面に固設し、他面から
   該流量検出素子から得られた流量信号を取り出す電極を
   導出する金属製基板と、該金属製基板を金属接合により
   気密的に取り付けた金属製ブラケットと、上記流量検出
   素子を流路を臨ませるように支持する流量検出部を有
   し、かつ上記金属製ブラケットを取り付ける流体管路と
   を備えた流量計。