JPH04120329U - 流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 組立時における流量検出素子の取付用基板の
破損を防止し、かつこの基板のブラケットに対するシー
ル性を確実にする。 【構成】 流量検出素子２を片面に固設し、他面から該
流量検出素子２から得られた流量信号を取り出す電極を
導出する金属製基板１と、該金属製基板１を金属接合に
より気密的に取り付けた金属製ブラケット１５とを備
え、流体管路１２に対し、上記流量検出素子２を流路５
に臨ませるように支持する流量検出部１３を設け、さら
に上記金属製ブラケット１５を取り付けたものである。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、気体などの流量を流量検出素子を用いて検出する流量計に関する ものである。

【０００２】

【従来の技術】

図４は従来の流量計を示す分解側面断面図であり、図において、１１は半導体 構造の流量検出素子をセラミックなどの基板に取り付けたセンサユニット、１２ はセンサユニット１１を取り付ける流量検出孔としての流量検出部１３を持った 流体管路、１４はガスケット、１５はこのガスケット１４を介してセンサユニッ ト１１を流量検出部１３に取り付けるためのブラケット、１６はブラケット１５ を流体管路１２上のねじ孔１７にねじ止めするねじである。

【０００３】 かかる従来の流量計では、センサユニット１１の基板が流量検出部１３に設置 され、さらに、ガスケット１４およびブラケット１５が流体管路１２上に設置さ れ、これらがねじ１６のねじ孔１７へのねじ込みにより、流体管路１２上に結着 され、これにより、センサユニット１１が流体管路１２およびブラケット１５に 対し気密的に取り付けられる。

【０００４】 また、図５は従来の他の流量計を示す。これの基本構成および組付手順は図４ と略同一であるが、センサユニット１１が予めブラケット１５の取付孔１９周縁 部に接着剤で取り付けられている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

従来の流量計は以上のように構成されているので、センサユニット１１の流量 検出部１２への取り付けの際に、作業ミスによって、そのセンサユニット１１の セラミックの基板を破損したり、上記センサユニット１１の基板に対するガスケ ット１４のシール性の劣化を招いたりするなどの課題があった。また、上記接着 剤塗布の不均一や二液性接着剤の混合比率の不均一，硬化時間の不均一などによ り上記シール性の管理が難しく、このシール性の劣化による流量検出データの信 頼性劣化を招くなどの課題があった。

【０００６】 この考案は上記のような従来の課題に着目してなされたものであり、組立時に おける流量検出素子の取り付けのための基板の破損を防止でき、しかもこの基板 のブラケットに対する十分なシール性を永久的に確実に維持できる流量計を得る ことを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

この考案にかかる流量計は、流量検出素子を片面に固設し、他面から該流量検 出素子から得られた流量信号を取り出す電極を導出する金属製基板と、該金属製 基板を、金属接合により気密的に取り付けた金属製ブラケットとを備え、流体管 路に対し、上記流量検出素子を流路に臨ませるように支持する流量検出部を設け 、さらに上記金属製ブラケットを取り付けたものである。

【０００８】

【作用】

この考案における金属製基板は、流量検出素子を備えており、この金属性基板 が金属製ブラケットに対し溶接などにより金属接合されているため、流体管路に 対する取付時にも上記金属製基板の破損を防止でき、金属製基板と上記金属製ブ ラケットとのシール性を永久的に保持できるようにする。

【０００９】

【実施例】

以下、この考案の一実施例を図について説明する。図１において、１１Ａはセ ンサユニットで、これが図２に示すように、金属性基板１と、この金属性基板１ の片面（下面）中央に取り付けられた流量検出素子２と、この流量検出素子２の 電極３と、この電極３を金属製基板１に封着する封着ガラス４とからなる。５は 流体管路１２に形成された流体の流路で、図３に示すように、この流路５に上記 流量検出部１３が連通するように設けられている。１４ａは上記金属製ブラケッ ト１５と、流体管路１２の平面部のシール性を確保するために設けられたガスケ ット１４の中央部に形成された、上記金属製基板１より大径の貫通孔、１５ａは 金属製ブラケット１５の中央部に形成された貫通孔で、これが上記電極３のいず れにも接触しないサイズとなっている。また、この金属製ブラケット１５下面の 貫通孔１５ａ付近には、上記金属製基板１が図２に示すように当接され、かつこ れらがその当接部Ｐで電気抵抗溶接，半田接合，共晶接合あるいは電子ビーム溶 接などにより気密的に金属接合されている。

【００１０】 次に、この流量計の組付け手順について述べる。まず、上記のように、流量検 出素子２を取り付けた金属製基板１を、電極３が貫通孔１５ａに接触しないよう に、金属製ブラケット１５の下面に当接し、この当接部Ｐの全体を上記電気抵抗 溶接などにより金属結合する。次に、この金属製ブラケット１５をガスケット１ ４を介して流体管路１２の上面に当接し、流量検出素子２を流量検出部１３内に 嵌め込む。そして、最後にねじ１６を金属製ブラケット１５，ガスケット１４の 取付孔を通して、流体管路１２上面のねじ孔１７にねじ込んで、これらを一体化 する。これにより、流量検出素子２は流路５に臨み、その流路５に流れる気体の 流量（または流速）を検出する。また、このとき上記金属結合により、金属製基 板１と金属製ブラケット１５とのシール性は完全となり、この状態が永久的に維 持される。また、金属性ブラケット１５外への流路からの流体の洩れがガスケッ ト１４によって阻止され、外形寸法精度の向上とも相まって、流量センシング精 度も向上することとなる。また、金属性基板１５は従来のセラミック板よりも十 分に強度が高いため、これが流量計組立時に、他物や流体管路１２に接触しても 、破損するなどの事故を回避できる。

【００１１】

【考案の効果】

以上のように、この考案によれば流量検出素子を片面に固設し、他面から該流 量検出素子から得られた流量信号を取り出す電極を導出する金属製基板と、該金 属製基板を、金属接合により気密的に取り付けた金属製ブラケットとを備え、流 体管路に対し、上記流量検出素子を流路に臨ませるように支持する流量検出部を 設け、さらに上記金属製ブラケットを取り付けるように構成したので、流量検出 素子を取り付けている上記金属製板の破損や損傷がなくなり、しかもこの金属製 基板と金属製ブラケットとのシール性が長年に亘って十分に維持することができ 、流体の流量センシング精度の向上を図れるものが得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例による流量計を示す分解斜
視図である。

【図２】図１の流量計の正面を示す分解側面断面図であ
る。

【図３】図１における金属製基板と、金属製ブラケット
との結合構造を示す断面図である。

【図４】従来の流量計を示す分解側面断面図である。

【図５】流量計の他の従来例を示す分解側面断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 金属製基板 ２ 流量検出素子 ５ 流路 １２ 流体管路 １３ 流体検出部（流量検出孔） １５ 金属製ブラケット

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 流量検出素子を片面に固設し、他面から
   該流量検出素子から得られた流量信号を取り出す電極を
   導出する金属製基板と、該金属製基板を金属接合により
   気密的に取り付けた金属製ブラケットと、上記流量検出
   素子を流路を臨ませるように支持する流量検出部を有
   し、かつ上記金属製ブラケットを取り付ける流体管路と
   を備えた流量計。