JPH064643U - 圧力センサー構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体圧力センサーにおいて、センサーチッ
プの台座と圧力媒体への連通パイプとの接合位置精度の
向上と、パイプ内孔への接合材流入の防止とを図る。 【構成】 ステム５の中央部にパイプ１４をハーメチッ
クシール６する。このパイプ１４の被検出圧力媒体への
連通孔１４ａの上端面内周に堰堤状突縁１４ｂを設け、
上方よりセンサーチップ１のガラス台座２を接合する。
上記ハーメチックシール６に植立された電極端子のポス
ト８とセンサーチップ１とをボンデングワイヤ９にて電
気的に接続する。ステム５にキャン１０を冠着してセン
サーチップ１を密封する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、半導体圧力センサーにおけるセンサーチップ台座と圧力媒体室へ の連通用パイプとの接合構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、圧力センサーには、圧力媒体による受圧面の移動を変位センサーで計測 する方式のものが多く使用され、圧力の伝達には特定の機構部が必要であった。 しかし、近年、半導体技術の進歩に伴って、受圧面にシリコン等の単結晶ダイヤ フラムを用い、この面上に直接拡散層として構成した拡散抵抗が、外部応力によ り変化するピエゾ抵抗効果を利用した方式の半導体圧力センサーが使用されてき ている。

【０００３】 図２はこの種半導体圧力センサーの一構成例を示す断面図である。同図におい て、１は半導体のセンサーチップで、ガラス台座２上に固定されている。そして 、この台座２の下端面はメタライズされてガラスメタライズ部３が形成されてい る。また、４は流体等の圧力媒体に連通するパイプで、ステム５の中心部にハー メチックシール（６）されており、その上端面にて載置されたガラス台座２が耐 腐蝕性半田などの接合材７で接合されている。８はポストで、センサーチップ１ との間をボンデングワイヤ９によって電気的に接続されている。１０はステム５ に冠着されたキャンで、これによりセンサーチップ１は密封室内に収納される。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記構成の圧力センサー装置では、センサーチップ１のガラス 台座２とパイプ４を接合させる場合に、パイプ４へのセンサーチップ１の搭載位 置精度を出すことが困難であり、また、接合材７がパイプ４の内孔４ａ内に流れ 込み、パイプ１の圧力媒体への連通孔４ａを閉塞してしまうおそれがあるといっ た問題点があった。

【０００５】 本考案は、このような従来の技術の有していた問題点を除去するためになされ たもので、パイプのガラス台座との接合面内周に突縁を設けてガラス台座との位 置決めを容易にかつ適確にすると共に、パイプ内孔への接合材の流入を防止可能 な圧力センサー構造を提供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するための本考案の構成を、実施例に対応する図１を用いて説 明すると、本考案は、密封室内に収納されたセンサーチップ１と、このセンサー チップ１の下面とそのガラス台座２の内孔２ａとにより形成された密閉空間１ａ と、この空間１ａと被検出圧力媒体室との間を連通するパイプ１４とからなる圧 力センサーであって、パイプ１４のセンサーチップ１のガラス台座２との接合面 内周に位置決め用堰堤形突縁１４ｂを設けたことを特徴とするものである。

【０００７】

【作用】

上記のように構成したため本考案によれば、ガラス台座２をパイプ１４に搭載 する場合、ガラス台座２の内孔２ａはパイプ１４の堰堤形突縁１４ｂに案内され て正確に位置決めされ、耐腐蝕性半田などの接合材７によって容易にパイプ１４ に固定することができる。また、この際、接合材７は堰堤状突縁１４ｂによって パイプ１４の連通孔１４ａへの流入が防止される。したがって、前記問題点は除 去される。

【０００８】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面を参照して説明する。 図１は本考案の一実施例を示す断面図である。同図において、図２と同一部分 には同一符号を付してあり、１４はパイプで、センサーチップ１のガラス台座２ との接合面の内孔１４ａの周縁には堰堤状の位置決め用突縁１４ｂが設けられて いる。

【０００９】 したがって、図２の従来構成例と同様に、ステム５の中央部にハーメチックシ ール（６）されたパイプ１４にセンサーチップ１が固定されたガラス台座２を載 せれば、ガラス台座２はその内孔２ａが堰堤状の突縁１４ｂに案内されて簡単に 正位置に位置決めされる。そして、ガラス台座２のメタライズ部３とパイプ１４ の接合面間を耐腐蝕性半田によって接合すれば、容易にかつ正確に、センサーチ ップ１をパイプ１４に接合することができる。ステム５のハーメチックシール６ に植設されたポスト８とセンサーチップ１間をボンデングワイヤ９にて接続し、 キャン１０をステム５に冠着すれば、センサーチップ１は密封空間内に収納され る。これにより、圧力センサーが組み立てられ、そのパイプ１４を計測しようと する空気、水等の流体の圧力媒体に接続すれば、高信頼性の圧力センサー構造が 得られる。

【００１０】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、以下に記載されるような効果を奏する。 センサーチップのガラス台座と接合するパイプの内孔周縁に堰堤状の位置決め 用突縁を設けたので、ガラス台座のパイプへの搭載位置精度の向上が図られる。 また、この突縁により、ガラス台座とパイプ間の接合材がパイプの内孔に流入し てこれを閉塞することが防止できる。したがって、高信頼性、高品質の優れた圧 力センサー構造を提供することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す断面図である。

【図２】従来構造の一構成例を示す断面図である。

【符号の説明】 １ センサーチップ ２ ガラス台座 ３ メタライズ部 ４ パイプ ５ ステム ６ ハーメチックシール ７ 接合材 ８ ポスト ９ ボンデングワイヤ １０ キャン １４ パイプ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 密封室内に収納されたセンサーチップ
   と、このセンサーチップの下面とその台座とにより形成
   された密閉空間と、この空間と被検出圧力媒体間を連通
   するパイプとからなる圧力センサーにおいて、前記パイ
   プのセンサーチップ台座との接合面内周に位置決め用突
   縁を設けたことを特徴とする圧力センサー構造。