JPH08256000A - 修正支援方法および装置 - Google Patents
修正支援方法および装置Info
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- JPH08256000A JPH08256000A JP7109169A JP10916995A JPH08256000A JP H08256000 A JPH08256000 A JP H08256000A JP 7109169 A JP7109169 A JP 7109169A JP 10916995 A JP10916995 A JP 10916995A JP H08256000 A JPH08256000 A JP H08256000A
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
- H05K13/0486—Replacement and removal of components
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
- H05K13/081—Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 効率的に修正作業を行うことができる修正支
援方法および装置を提供すること。 【構成】 制御部２３によって、不良情報ファイルを被
修正基板１４の含む検査結果をフロッピーディスク装置
１２またはネットワーク入出力部１８より読み出してメ
モリ１５に記憶し、この不良情報ファイルを同種の不良
コードを有する部品ごとにソートし、当該ソート順に、
不良部品をＸ軸テーブル部３およびＹテーブル部４を動
作させて撮像部１によって撮像し、このカラー画像およ
び不良コードをモニター１０に表示するとともに、この
不良部品の位置を、モニター１０に表示した基板レイア
ウト図に示すことにより指示することによって、同種の
不良コードを有する不良部品ごとに修正作業を行うこと
ができる構成。
援方法および装置を提供すること。 【構成】 制御部２３によって、不良情報ファイルを被
修正基板１４の含む検査結果をフロッピーディスク装置
１２またはネットワーク入出力部１８より読み出してメ
モリ１５に記憶し、この不良情報ファイルを同種の不良
コードを有する部品ごとにソートし、当該ソート順に、
不良部品をＸ軸テーブル部３およびＹテーブル部４を動
作させて撮像部１によって撮像し、このカラー画像およ
び不良コードをモニター１０に表示するとともに、この
不良部品の位置を、モニター１０に表示した基板レイア
ウト図に示すことにより指示することによって、同種の
不良コードを有する不良部品ごとに修正作業を行うこと
ができる構成。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】プリント基板等に実装された複数
個の部品の実装部位の良否を検査することによって得ら
れた良否判定データに基づいて、不良部位の修正を支援
する修正支援方法および装置に関する。
個の部品の実装部位の良否を検査することによって得ら
れた良否判定データに基づいて、不良部位の修正を支援
する修正支援方法および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４０は本発明が実施される部品実装基
板の製造工程を示すものである。図４０において、実装
工程Ａでプリント基板に部品を実装し、はんだ付け工程
Ｂで実装した部品をプリント基板にはんだ付けし、検査
工程Ｃに送られる。
板の製造工程を示すものである。図４０において、実装
工程Ａでプリント基板に部品を実装し、はんだ付け工程
Ｂで実装した部品をプリント基板にはんだ付けし、検査
工程Ｃに送られる。
【０００３】検査工程Ｃでは各部品のプリント基板上の
位置データに基づいて、各部品の実装状態を目視判定に
よる外観検査装置あるいは自動外観検査装置を用いて検
査する。この際外観検査装置は検査結果を示す不良情報
ファイルを各実装基板ごとに作成する。そして実装不良
のある実装基板は不良情報ファイルとともに修正工程Ｄ
に送られる。
位置データに基づいて、各部品の実装状態を目視判定に
よる外観検査装置あるいは自動外観検査装置を用いて検
査する。この際外観検査装置は検査結果を示す不良情報
ファイルを各実装基板ごとに作成する。そして実装不良
のある実装基板は不良情報ファイルとともに修正工程Ｄ
に送られる。
【０００４】修正工程Ｄでは修正支援装置によって上記
の不良情報ファイルに基づいて修正部位が順次指示さ
れ、当該指示に従って手作業により不良部位が修正され
る。
の不良情報ファイルに基づいて修正部位が順次指示さ
れ、当該指示に従って手作業により不良部位が修正され
る。
【０００５】目視判定による外観検査装置はＸ軸テーブ
ル部、Ｙ軸テーブル部、撮像部、投光部、制御処理部に
よって構成される。制御処理部は表示部、入力部、メモ
リ部、フロッピーディスク装置および制御部を有してい
る。
ル部、Ｙ軸テーブル部、撮像部、投光部、制御処理部に
よって構成される。制御処理部は表示部、入力部、メモ
リ部、フロッピーディスク装置および制御部を有してい
る。
【０００６】Ｘ軸テーブル部およびＹ軸テーブル部は被
検査部品を順次撮像部によって撮像するために、制御処
理部からの命令に従って被検査基板をＸ方向およびＹ方
向に移動する。
検査部品を順次撮像部によって撮像するために、制御処
理部からの命令に従って被検査基板をＸ方向およびＹ方
向に移動する。
【０００７】撮像部は被検査部品を順次撮像し、投光部
は制御処理部からの命令に従って撮像される被検査部品
周辺の照度を調節する。撮像部より出力された撮像信号
は制御部を介して表示部に送られ、表示部は被検査部品
の画像を表示する。
は制御処理部からの命令に従って撮像される被検査部品
周辺の照度を調節する。撮像部より出力された撮像信号
は制御部を介して表示部に送られ、表示部は被検査部品
の画像を表示する。
【０００８】入力部からは被検査基板の種類、ＩＤナン
バーおよび各被検査部品の良否判定結果が入力される。
またメモリ部は各被検査部品を走査する順番を示す被検
査部品走査用データファイルを格納している。
バーおよび各被検査部品の良否判定結果が入力される。
またメモリ部は各被検査部品を走査する順番を示す被検
査部品走査用データファイルを格納している。
【０００９】制御部は入力された被検査基板の種類に対
応する被検査部品走査用データファイルをメモリ部から
読み出し、この被検査部品走査用データファイルに従っ
てＸ軸テーブル部、Ｙ軸テーブル部、撮像部および投光
部の動作を制御するとともに、入力部より入力された各
被検査部品の良否判定結果を示す不良情報ファイルおよ
び各被検査部品のレイアウト図中に不良部品を表示した
イメージデータファイルを被検査基板ごとに作成し、こ
の不良情報ファイルおよびイメージデータファイルをフ
ロッピーディスク装置に書き込み、両ファイルの内容を
表示部に表示する。
応する被検査部品走査用データファイルをメモリ部から
読み出し、この被検査部品走査用データファイルに従っ
てＸ軸テーブル部、Ｙ軸テーブル部、撮像部および投光
部の動作を制御するとともに、入力部より入力された各
被検査部品の良否判定結果を示す不良情報ファイルおよ
び各被検査部品のレイアウト図中に不良部品を表示した
イメージデータファイルを被検査基板ごとに作成し、こ
の不良情報ファイルおよびイメージデータファイルをフ
ロッピーディスク装置に書き込み、両ファイルの内容を
表示部に表示する。
【００１０】図４１は目視判定による外観検査のフロー
チャートである。
チャートである。
【００１１】ステップＳＴ５０１で被検査基板の基板名
（基板の種類）がオペレーターによって入力されると、
ステップＳＴ５０２で制御部は入力された基板名に対応
する被検査部品走査用データファイルをメモリ部より読
み出す。
（基板の種類）がオペレーターによって入力されると、
ステップＳＴ５０２で制御部は入力された基板名に対応
する被検査部品走査用データファイルをメモリ部より読
み出す。
【００１２】ステップＳＴ５０３でオペレータが被検査
基板をセットし、ステップＳＴ５０３ａで基板のＩＤナ
ンバーを入力すると、ステップＳＴ５０４で制御部はＸ
軸テーブル部およびＹ軸テーブル部を動作させて、１番
目の被検査部品を撮像し、表示部にこの画像を表示す
る。
基板をセットし、ステップＳＴ５０３ａで基板のＩＤナ
ンバーを入力すると、ステップＳＴ５０４で制御部はＸ
軸テーブル部およびＹ軸テーブル部を動作させて、１番
目の被検査部品を撮像し、表示部にこの画像を表示す
る。
【００１３】ステップＳＴ５０５でオペレーターは表示
部の被検査部品画像を目視して、はんだ不良があれば、
ステップＳＴ５０６で不良コードを入力する。
部の被検査部品画像を目視して、はんだ不良があれば、
ステップＳＴ５０６で不良コードを入力する。
【００１４】ステップＳＴ５０７で全部品の検査が終了
していなければ、ステップＳＴ５０８で次の被検査部品
を画像表示してステップＳＴ５０５に戻り上記の目視検
査を繰り返す。またステップＳＴ５０７で全部品の検査
が終了していれば、ステップＳＴ５０９でこの被検査基
板の不良情報ファイルを作成するとともに、この不良情
報ファイルの内容を表示部に表示し、また同時にイメー
ジデータファイルを作成する。
していなければ、ステップＳＴ５０８で次の被検査部品
を画像表示してステップＳＴ５０５に戻り上記の目視検
査を繰り返す。またステップＳＴ５０７で全部品の検査
が終了していれば、ステップＳＴ５０９でこの被検査基
板の不良情報ファイルを作成するとともに、この不良情
報ファイルの内容を表示部に表示し、また同時にイメー
ジデータファイルを作成する。
【００１５】最後にステップＳＴ５１０で被検査基板を
取り出して検査を完了する。
取り出して検査を完了する。
【００１６】図４２は外観検査装置で作成される不良情
報ファイルのデータ構成を示す説明図である。同図にお
いて、部品番号１０１は外観検査装置での検査順に付さ
れる番号であり、部品名称１０２は外観検査装置におけ
る部品登録名称を示す。また部品種１０３は部品の大き
さ、定格などを示す記号であり、実装座標１０４は基板
上の実装座標を示す。最後に不良コード１０５は外観検
査における不良内容を示すものである。
報ファイルのデータ構成を示す説明図である。同図にお
いて、部品番号１０１は外観検査装置での検査順に付さ
れる番号であり、部品名称１０２は外観検査装置におけ
る部品登録名称を示す。また部品種１０３は部品の大き
さ、定格などを示す記号であり、実装座標１０４は基板
上の実装座標を示す。最後に不良コード１０５は外観検
査における不良内容を示すものである。
【００１７】次に図４３は従来の修正支援装置の構成の
一例を示すブロック図である。図４３において、フロッ
ピーディスク装置１０７には修正される基板の不良情報
ファイルを格納したフロッピーディスクがセットされて
いる。
一例を示すブロック図である。図４３において、フロッ
ピーディスク装置１０７には修正される基板の不良情報
ファイルを格納したフロッピーディスクがセットされて
いる。
【００１８】オペレータによって入力部１０６から修正
される基板のＩＤナンバーが入力されると、制御部１０
８は入力されたＩＤナンバーの不良情報ファイルをフロ
ッピーディスク装置１０７から読み出し、表示部１０９
に１番目の不良部品の部品名称、部品種、ＸおよびＹ実
装座標および不良コードを表示させる。
される基板のＩＤナンバーが入力されると、制御部１０
８は入力されたＩＤナンバーの不良情報ファイルをフロ
ッピーディスク装置１０７から読み出し、表示部１０９
に１番目の不良部品の部品名称、部品種、ＸおよびＹ実
装座標および不良コードを表示させる。
【００１９】オペレータは表示された不良部品を探して
修正を行い、修正が完了したことを入力部１０６より入
力する。制御部はこの修正完了入力を受信すると、不良
情報ファイルの２番目の不良部品の不良内容を表示し、
オペレータはこの不良部品に対して、上記１番目の不良
部品と同様の修正作業を行う。
修正を行い、修正が完了したことを入力部１０６より入
力する。制御部はこの修正完了入力を受信すると、不良
情報ファイルの２番目の不良部品の不良内容を表示し、
オペレータはこの不良部品に対して、上記１番目の不良
部品と同様の修正作業を行う。
【００２０】このように従来の修正支援装置は外観検査
装置での検査結果を画面表示することによって、オペレ
ータに修正箇所および修正方法を指示していくというも
のである。
装置での検査結果を画面表示することによって、オペレ
ータに修正箇所および修正方法を指示していくというも
のである。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の修正支援方法および装置においては、外観検査装置に
よる検査順序に従って不良部品の表示を行う方式である
ため、種々の不良現象（不良コード）がランダムに表示
されることになり、このためオペレーターは最初の部品
の修理でははんだごてを持ち、次の部品でははんだ吸取
器に持ち換え、さらに次の部品でまたはんだごてに持ち
換えるというような作業を行うことになり、不良部位の
修正作業が効率的でないという問題点があった。
の修正支援方法および装置においては、外観検査装置に
よる検査順序に従って不良部品の表示を行う方式である
ため、種々の不良現象（不良コード）がランダムに表示
されることになり、このためオペレーターは最初の部品
の修理でははんだごてを持ち、次の部品でははんだ吸取
器に持ち換え、さらに次の部品でまたはんだごてに持ち
換えるというような作業を行うことになり、不良部位の
修正作業が効率的でないという問題点があった。
【００２２】加えて修正作業に慣れていないオペレータ
ーにおいては、不良内容の修正作業に適した修正工具の
選択を誤ったり、選択に時間を要するという問題点があ
った。
ーにおいては、不良内容の修正作業に適した修正工具の
選択を誤ったり、選択に時間を要するという問題点があ
った。
【００２３】また修正作業ごとに基板を撮像位置から修
正作業位置に移動させ、表示部に表示された不良部品を
基板上で探すのに手間がかかるという問題点があった。
正作業位置に移動させ、表示部に表示された不良部品を
基板上で探すのに手間がかかるという問題点があった。
【００２４】さらに基板修正に多大な作業時間を有して
しまい、その基板は修正作業を行わず処分した方が経費
面で効率的であったというような問題も起こった。
しまい、その基板は修正作業を行わず処分した方が経費
面で効率的であったというような問題も起こった。
【００２５】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
であり、修正作業を効率的に行うことができる修正支援
方法および装置を提供することを目的とするものであ
る。
であり、修正作業を効率的に行うことができる修正支援
方法および装置を提供することを目的とするものであ
る。
【００２６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の修正支援方法は、検査工程で作成された不良
部位データを記憶手段に記憶させるデータ記憶工程と、
前記不良部位データをデータ整列手段によって同種の不
良内容を有する不良部位データごと、あるいは同種の修
正作業内容を有する不良部位ごとに整列させるデータ整
列工程と、前記データ整列工程による不良部位データ整
列順に、不良部位の基板上の位置を指示手段によって指
示する指示工程とを有するものであり、また本発明の修
正支援装置は、検査装置で作成された不良部位データを
記憶する記憶手段と、前記不良部位データを同種の不良
内容を有する不良部位ごと、あるいは同種の修正作業内
容を有する不良部位ごとに整列させるデータ整列手段
と、前記データ整列手段による不良部位データ整列順に
不良部位の基板上の位置を指示する指示手段とを具備す
るものである。
に本発明の修正支援方法は、検査工程で作成された不良
部位データを記憶手段に記憶させるデータ記憶工程と、
前記不良部位データをデータ整列手段によって同種の不
良内容を有する不良部位データごと、あるいは同種の修
正作業内容を有する不良部位ごとに整列させるデータ整
列工程と、前記データ整列工程による不良部位データ整
列順に、不良部位の基板上の位置を指示手段によって指
示する指示工程とを有するものであり、また本発明の修
正支援装置は、検査装置で作成された不良部位データを
記憶する記憶手段と、前記不良部位データを同種の不良
内容を有する不良部位ごと、あるいは同種の修正作業内
容を有する不良部位ごとに整列させるデータ整列手段
と、前記データ整列手段による不良部位データ整列順に
不良部位の基板上の位置を指示する指示手段とを具備す
るものである。
【００２７】本発明の請求項４の修正支援方法は、前記
指示工程を、前記データ整列工程による不良部位データ
整列順に、不良部位の基板上の位置を指示する指示位置
に不良部位を位置決めし、この不良部位へのスポット光
照射によって不良部位の基板上の位置を指示する指示工
程としたものであり、請求項１５の修正支援装置は、前
記データ整列手段による不良部位データ整列順に、不良
部位の基板上の位置を指示する指示位置に、不良部位を
位置決めする位置決め手段を加え、前記指示手段を、前
記指示位置に位置決めされた不良部位をスポット光によ
って指示する指示手段としたものである。
指示工程を、前記データ整列工程による不良部位データ
整列順に、不良部位の基板上の位置を指示する指示位置
に不良部位を位置決めし、この不良部位へのスポット光
照射によって不良部位の基板上の位置を指示する指示工
程としたものであり、請求項１５の修正支援装置は、前
記データ整列手段による不良部位データ整列順に、不良
部位の基板上の位置を指示する指示位置に、不良部位を
位置決めする位置決め手段を加え、前記指示手段を、前
記指示位置に位置決めされた不良部位をスポット光によ
って指示する指示手段としたものである。
【００２８】また本発明の請求項５の修正支援方法は、
前記指示工程を、前記データ整列工程による不良部位デ
ータ整列順に、不良部位の基板上の位置を指示するとと
もに、修正作業内容および使用工具を指示する指示工程
としたものであり、請求項１６の修正支援装置は、前記
指示手段を、前記データ整列手段による不良部位データ
整列順に、不良部位の基板上の位置を指示するととも
に、修正作業内容および使用工具を指示する指示手段と
したものである。
前記指示工程を、前記データ整列工程による不良部位デ
ータ整列順に、不良部位の基板上の位置を指示するとと
もに、修正作業内容および使用工具を指示する指示工程
としたものであり、請求項１６の修正支援装置は、前記
指示手段を、前記データ整列手段による不良部位データ
整列順に、不良部位の基板上の位置を指示するととも
に、修正作業内容および使用工具を指示する指示手段と
したものである。
【００２９】さらに本発明の請求項１１の修正支援方法
は、複数の基板の不良部位データから各基板ごとに総修
正時間を算出し、この総修正時間が少ない順に基板名を
表示するとともに、この総修正時間が予め設定された上
限値を越える基板については警告を発する判定工程を、
前記記憶工程の次に加えたものであり、請求項２３の修
正支援装置は、複数の基板の不良部位データから各基板
ごとに総修正時間を算出し、この総修正時間が少ない順
に基板名を表示するとともに、この総修正時間が予め設
定された上限値を越える基板については警告を発する判
定手段を加えたものである。
は、複数の基板の不良部位データから各基板ごとに総修
正時間を算出し、この総修正時間が少ない順に基板名を
表示するとともに、この総修正時間が予め設定された上
限値を越える基板については警告を発する判定工程を、
前記記憶工程の次に加えたものであり、請求項２３の修
正支援装置は、複数の基板の不良部位データから各基板
ごとに総修正時間を算出し、この総修正時間が少ない順
に基板名を表示するとともに、この総修正時間が予め設
定された上限値を越える基板については警告を発する判
定手段を加えたものである。
【００３０】
【作用】従って本発明の修正支援方法および装置によれ
ば、不良部位データを記憶し、記憶した不良部位データ
を同種の不良内容を有する不良部位ごと、あるいは同種
の修正作業内容を有する不良部位ごとに整列させ、この
データ不良部位データ整列順に不良部位の基板上の位置
を指示することによって、修正作業を効率的に行うこと
ができる。
ば、不良部位データを記憶し、記憶した不良部位データ
を同種の不良内容を有する不良部位ごと、あるいは同種
の修正作業内容を有する不良部位ごとに整列させ、この
データ不良部位データ整列順に不良部位の基板上の位置
を指示することによって、修正作業を効率的に行うこと
ができる。
【００３１】上記に加え、本発明の請求項４の修正支援
方法および請求項１５の修正支援装置によれば、基板上
の修正作業を行う不良部位をスポット光で指示すること
によって、修正作業を効率的に行うことができる。
方法および請求項１５の修正支援装置によれば、基板上
の修正作業を行う不良部位をスポット光で指示すること
によって、修正作業を効率的に行うことができる。
【００３２】また上記に加え、本発明の請求項５の修正
支援方法および請求項１６の修正支援装置によれば、修
正作業内容および使用工具を指示することによって、修
正作業を効率的に行うことができる。
支援方法および請求項１６の修正支援装置によれば、修
正作業内容および使用工具を指示することによって、修
正作業を効率的に行うことができる。
【００３３】さらに上記に加え、本発明の請求項１１の
修正支援方法および請求項２３の修正支援装置によれ
ば、複数の基板の不良部位データから各基板ごとに総修
正時間を算出し、この総修正時間が少ない順に基板名を
表示するとともに、この総修正時間が予め設定された上
限値を越える基板については警告を発して、修正に時間
のかかる基板を修正作業から除外することによって、経
費面で効率的な修正作業を行うことができる。
修正支援方法および請求項２３の修正支援装置によれ
ば、複数の基板の不良部位データから各基板ごとに総修
正時間を算出し、この総修正時間が少ない順に基板名を
表示するとともに、この総修正時間が予め設定された上
限値を越える基板については警告を発して、修正に時間
のかかる基板を修正作業から除外することによって、経
費面で効率的な修正作業を行うことができる。
【００３４】
【実施例】図１は本発明の第一実施例の外観図である。
図１において、１は撮像部、２は撮像部１による撮像時
に撮像部位に光を照射する投光部、３はＸ軸テーブル
部、４はＹ軸テーブル部、５は基板ステージ、６はバー
コードリーダ、７はキーボード、８はマウス、９は操作
キーボード、１０はモニター、１１はコントローラ、１
２はフロッピーディスク装置、１３はＬＡＮケーブルで
ある。
図１において、１は撮像部、２は撮像部１による撮像時
に撮像部位に光を照射する投光部、３はＸ軸テーブル
部、４はＹ軸テーブル部、５は基板ステージ、６はバー
コードリーダ、７はキーボード、８はマウス、９は操作
キーボード、１０はモニター、１１はコントローラ、１
２はフロッピーディスク装置、１３はＬＡＮケーブルで
ある。
【００３５】撮像部１はカラーテレビカメラであり、投
光部２と一体化されて、Ｘ軸テーブル部３に取り付けら
れている。
光部２と一体化されて、Ｘ軸テーブル部３に取り付けら
れている。
【００３６】Ｘ軸テーブル部３は、長手状の固定フレー
ム内に、モータ（図示せず）と、移動フレーム（図示せ
ず）とが収容された構成のものであり、この移動フレー
ムには、一体化された撮像部１および投光部２が取り付
けており、前記モータを正逆駆動させることにより、撮
像部１および投光部２は移動フレームと一体にＸ方向へ
往復直線移動する。
ム内に、モータ（図示せず）と、移動フレーム（図示せ
ず）とが収容された構成のものであり、この移動フレー
ムには、一体化された撮像部１および投光部２が取り付
けており、前記モータを正逆駆動させることにより、撮
像部１および投光部２は移動フレームと一体にＸ方向へ
往復直線移動する。
【００３７】基板ステージ５は前後に対向する基板支持
壁５ａおよび５ｂを備え、被修正基板１４を図示の如く
支持する構成となっており、Ｙ軸テーブル部４に取り付
けられている。
壁５ａおよび５ｂを備え、被修正基板１４を図示の如く
支持する構成となっており、Ｙ軸テーブル部４に取り付
けられている。
【００３８】Ｙ軸テーブル部４は、Ｘ軸テーブル部３と
直交させて長手状の固定フレームを配備し、この固定フ
レーム内にモータ（図示せず）と、移動フレーム（図示
せず）とが収容された構成のものであり、この移動フレ
ームには、基板ステージ５がが取り付けており、前記モ
ータを正逆駆動させることにより、基板ステージ５は移
動フレームと一体にＹ方向へ往復直線移動する。
直交させて長手状の固定フレームを配備し、この固定フ
レーム内にモータ（図示せず）と、移動フレーム（図示
せず）とが収容された構成のものであり、この移動フレ
ームには、基板ステージ５がが取り付けており、前記モ
ータを正逆駆動させることにより、基板ステージ５は移
動フレームと一体にＹ方向へ往復直線移動する。
【００３９】図２は本発明の第一実施例の全体構成図で
ある。図２によれば本発明は、撮像部１、投光部２、Ｘ
軸テーブル部３、Ｙ軸テーブル部４、基板ステージ５お
よび制御処理部２７によって構成される。
ある。図２によれば本発明は、撮像部１、投光部２、Ｘ
軸テーブル部３、Ｙ軸テーブル部４、基板ステージ５お
よび制御処理部２７によって構成される。
【００４０】投光部２は、赤色、緑色、青色の各色彩光
をそれぞれ発する３個の円環状光源２４、２５、２６か
ら成る三色光源によって構成される。
をそれぞれ発する３個の円環状光源２４、２５、２６か
ら成る三色光源によって構成される。
【００４１】図３は投光部２の三色光源の構成および原
理を示す説明図である。図３において上記の円環状光源
２４、２５、２６はその中心が撮像部１の撮像中心軸ｅ
と一致するように同心円上に設置され、かつ円環半径を
違え、高さを違えることによって、撮像中心軸ｅに対す
る光入射角が、異なる角度θ1 、θ2 、θ3 となるよう
に設置されている。
理を示す説明図である。図３において上記の円環状光源
２４、２５、２６はその中心が撮像部１の撮像中心軸ｅ
と一致するように同心円上に設置され、かつ円環半径を
違え、高さを違えることによって、撮像中心軸ｅに対す
る光入射角が、異なる角度θ1 、θ2 、θ3 となるよう
に設置されている。
【００４２】上記の構成を有する投光部２によって基板
１４に実装された部品Ｅのはんだ部Ｆを照射する。はん
だ部Ｆを反射平面であるとすると、はんだ部Ｆのある傾
斜角を持つ部分によって反射された入射角θ1 で入射し
た光が撮像中心軸ｅ方向に反射する反射平面の傾斜角λ
1 と、入射角θ2 で入射した光が撮像中心軸ｅ方向に反
射する反射平面の傾斜角λ2 とは異なる。同様に入射角
θ3 で入射した光が撮像中心軸ｅ方向に反射する反射平
面の傾斜角λ3 もλ1 およびλ2 と異なる。はんだ部Ｆ
は通常曲面形状を有するので、はんだ部Ｆの近似的に傾
斜角がλ1 であると考えられる部分では入射角θ1 で入
射した光が撮像中心軸ｅ方向に反射され、傾斜角がλ2
であると考えられる部分では入射角θ2 で入射した光が
撮像中心軸ｅ方向に反射される。
１４に実装された部品Ｅのはんだ部Ｆを照射する。はん
だ部Ｆを反射平面であるとすると、はんだ部Ｆのある傾
斜角を持つ部分によって反射された入射角θ1 で入射し
た光が撮像中心軸ｅ方向に反射する反射平面の傾斜角λ
1 と、入射角θ2 で入射した光が撮像中心軸ｅ方向に反
射する反射平面の傾斜角λ2 とは異なる。同様に入射角
θ3 で入射した光が撮像中心軸ｅ方向に反射する反射平
面の傾斜角λ3 もλ1 およびλ2 と異なる。はんだ部Ｆ
は通常曲面形状を有するので、はんだ部Ｆの近似的に傾
斜角がλ1 であると考えられる部分では入射角θ1 で入
射した光が撮像中心軸ｅ方向に反射され、傾斜角がλ2
であると考えられる部分では入射角θ2 で入射した光が
撮像中心軸ｅ方向に反射される。
【００４３】従って撮像部１によって撮像され、モニタ
ー１０に表示されたはんだ部Ｆは、ある部分では赤色に
彩色され、傾斜角が異なる他の部分では緑色に彩色さ
れ、また他の部分では青色に彩色されることとなり、オ
ペレータはこの彩色された画面によってはんだ部Ｆの形
状を判別することができる。
ー１０に表示されたはんだ部Ｆは、ある部分では赤色に
彩色され、傾斜角が異なる他の部分では緑色に彩色さ
れ、また他の部分では青色に彩色されることとなり、オ
ペレータはこの彩色された画面によってはんだ部Ｆの形
状を判別することができる。
【００４４】例えば、円環状光源２４を赤色光、円環状
光源２５を緑色光、円環状光源２６を青色光とすると、
カラー画像においてははんだ部Ｆの傾斜がなだらかな部
分は赤色に彩色され、傾斜が急な部分は青色に彩色さ
れ、これらの中間の傾斜を持つ部分は緑色に彩色され
る。
光源２５を緑色光、円環状光源２６を青色光とすると、
カラー画像においてははんだ部Ｆの傾斜がなだらかな部
分は赤色に彩色され、傾斜が急な部分は青色に彩色さ
れ、これらの中間の傾斜を持つ部分は緑色に彩色され
る。
【００４５】図２に戻って、制御処理部２７は、撮像・
投光コントローラ１６、ＸＹテーブルコントローラ１
７、モニター１０、メモリ１５、フロッピーディスク装
置１２、入力部２２、バーコードリーダ６、ネットワー
ク入出力部１８、および制御部２３によって構成されて
いる。このうち撮像・投光コントローラ１６、ＸＹテー
ブルコントローラ１７、メモリ１５、フロッピーディス
ク装置１２、ネットワーク入出力部１８、および制御部
２３は図１に示すコントローラ１１の内部に格納されて
いる。また入力部２２は、キーボード７、マウス８およ
び操作キーボード９を有している。
投光コントローラ１６、ＸＹテーブルコントローラ１
７、モニター１０、メモリ１５、フロッピーディスク装
置１２、入力部２２、バーコードリーダ６、ネットワー
ク入出力部１８、および制御部２３によって構成されて
いる。このうち撮像・投光コントローラ１６、ＸＹテー
ブルコントローラ１７、メモリ１５、フロッピーディス
ク装置１２、ネットワーク入出力部１８、および制御部
２３は図１に示すコントローラ１１の内部に格納されて
いる。また入力部２２は、キーボード７、マウス８およ
び操作キーボード９を有している。
【００４６】撮像・投光コントローラ１６は、制御部２
３からの命令に従って、撮像部１の撮像動作、および投
光部２の光源２４、２５、２６の発光動作を制御し、撮
像部１より出力される被修正部品の撮像信号をカラー画
像信号に変換して制御部２３に送る。
３からの命令に従って、撮像部１の撮像動作、および投
光部２の光源２４、２５、２６の発光動作を制御し、撮
像部１より出力される被修正部品の撮像信号をカラー画
像信号に変換して制御部２３に送る。
【００４７】ＸＹテーブルコントローラ１７は制御部２
３からの命令に従って、Ｘ軸テーブル部３およびＹ軸テ
ーブル部４の動作を制御する。
３からの命令に従って、Ｘ軸テーブル部３およびＹ軸テ
ーブル部４の動作を制御する。
【００４８】モニター１０は制御部２３より与えられ
た、撮像部１による被修正部品のカラー画像、被修正基
板のレイアウト図、各種データなどを表示する。
た、撮像部１による被修正部品のカラー画像、被修正基
板のレイアウト図、各種データなどを表示する。
【００４９】メモリ１５は、本発明を動作させるための
修正支援プログラムを格納しており、制御部２３より送
られる不良情報ファイルおよびイメージデータファイ
ル、各種のデータなどを記憶するものである。
修正支援プログラムを格納しており、制御部２３より送
られる不良情報ファイルおよびイメージデータファイ
ル、各種のデータなどを記憶するものである。
【００５０】入力部２２のキーボード７、マウス８およ
び操作キーボード９はオペレータが必要に応じて使い分
けて、各種のデータを入力するためのものである。操作
キーボード９は特に必要なキー（例えば不良コードを入
力するキーなど）をキーボード７と独立して設けたもの
である。またバーコードリーダ６は被修正基板のＩＤナ
ンバーを、基板に付されたバーコードによって入力する
ためのものであり、このＩＤナンバーはキーボード７を
用いて入力してもよい。
び操作キーボード９はオペレータが必要に応じて使い分
けて、各種のデータを入力するためのものである。操作
キーボード９は特に必要なキー（例えば不良コードを入
力するキーなど）をキーボード７と独立して設けたもの
である。またバーコードリーダ６は被修正基板のＩＤナ
ンバーを、基板に付されたバーコードによって入力する
ためのものであり、このＩＤナンバーはキーボード７を
用いて入力してもよい。
【００５１】フロッピーディスク装置１２は制御部２３
からの命令に応じて、外観検査装置によって作成された
不良情報ファイルやイメージデータファイルなどをフロ
ッピーディスクから読み出し、また制御部２３で作成さ
れた不良情報ファイルなどをフロッピーディスクに書き
込むものである。
からの命令に応じて、外観検査装置によって作成された
不良情報ファイルやイメージデータファイルなどをフロ
ッピーディスクから読み出し、また制御部２３で作成さ
れた不良情報ファイルなどをフロッピーディスクに書き
込むものである。
【００５２】ネットワーク入出力部１８はＬＡＮケーブ
ル１３に接続されており、制御部２３からの命令に応じ
て、外観検査装置によって作成された不良情報ファイル
やイメージデータファイルなどをＬＡＮケーブル１３を
介してネットワークから取得し、また制御部２３で作成
された不良情報ファイルなどをＬＡＮケーブル１３を介
してネットワークへ送出するものである。
ル１３に接続されており、制御部２３からの命令に応じ
て、外観検査装置によって作成された不良情報ファイル
やイメージデータファイルなどをＬＡＮケーブル１３を
介してネットワークから取得し、また制御部２３で作成
された不良情報ファイルなどをＬＡＮケーブル１３を介
してネットワークへ送出するものである。
【００５３】上記のフロッピーディスク装置１２とネッ
トワーク入出力部１８は、外観検査装置とのシステム構
成形態によって使い分けられる。図４、図５は外観検査
装置とのシステム構成を示す説明図である。図４はフロ
ッピディスクを媒介としたシステムであり、図５はＬＡ
Ｎを媒介としたシステムである。
トワーク入出力部１８は、外観検査装置とのシステム構
成形態によって使い分けられる。図４、図５は外観検査
装置とのシステム構成を示す説明図である。図４はフロ
ッピディスクを媒介としたシステムであり、図５はＬＡ
Ｎを媒介としたシステムである。
【００５４】図４において、外観検査装置３０によって
作成された不良情報ファイルおよびイメージデータファ
イルは、ＲＳ−２３２Ｃのような伝送路３２を経てデー
タ収集端末機３３へ送信される。データ収集端末機３３
は、収集した不良情報ファイルおよびイメージデータフ
ァイルをフロッピーディスク３４に格納し、このフロッ
ピーディスク３４を介して不良情報ファイルおよびイメ
ージデータファイルは修正支援装置３１へ供給される。
作成された不良情報ファイルおよびイメージデータファ
イルは、ＲＳ−２３２Ｃのような伝送路３２を経てデー
タ収集端末機３３へ送信される。データ収集端末機３３
は、収集した不良情報ファイルおよびイメージデータフ
ァイルをフロッピーディスク３４に格納し、このフロッ
ピーディスク３４を介して不良情報ファイルおよびイメ
ージデータファイルは修正支援装置３１へ供給される。
【００５５】図５においては、ＬＡＮケーブル３６を介
してデータ収集端末機３３で収集された不良情報ファイ
ルおよびイメージデータファイルは、さらにデータ収集
端末機３３からＬＡＮケーブル３６を介してハードディ
スクのようなサーバ３５に伝送され、貯えられるもの
で、修正支援装置３１は、このサーバ３５から必要な不
良情報ファイルおよびイメージデータファイルを読み出
すことができる。
してデータ収集端末機３３で収集された不良情報ファイ
ルおよびイメージデータファイルは、さらにデータ収集
端末機３３からＬＡＮケーブル３６を介してハードディ
スクのようなサーバ３５に伝送され、貯えられるもの
で、修正支援装置３１は、このサーバ３５から必要な不
良情報ファイルおよびイメージデータファイルを読み出
すことができる。
【００５６】再び図２に戻り、制御部２３はマイクロプ
ロセッサを有し、メモリ１５より読み出した修正支援プ
ログラムに従って、制御処理部２７を構成する各部の統
括制御、不良部品情報の作成、各種の演算、不良情報フ
ァイルおよびイメージデータファイルの編集作成などを
行うものである。
ロセッサを有し、メモリ１５より読み出した修正支援プ
ログラムに従って、制御処理部２７を構成する各部の統
括制御、不良部品情報の作成、各種の演算、不良情報フ
ァイルおよびイメージデータファイルの編集作成などを
行うものである。
【００５７】次に図６は本発明の第一実施例による修正
支援手順を示すフローチャートである。図７は図６のス
テップＳＴ２およびステップＳＴ７のサブルーチンであ
り、ソート条件設定手順を示すフローチャートである。
図８は図６のステップＳＴ３のサブルーチンであり、検
査結果の読み出し手順を示すフローチャートである。図
９は図６のステップＳＴ１０のサブルーチンであり、修
正作業手順を示すフローチャートである。
支援手順を示すフローチャートである。図７は図６のス
テップＳＴ２およびステップＳＴ７のサブルーチンであ
り、ソート条件設定手順を示すフローチャートである。
図８は図６のステップＳＴ３のサブルーチンであり、検
査結果の読み出し手順を示すフローチャートである。図
９は図６のステップＳＴ１０のサブルーチンであり、修
正作業手順を示すフローチャートである。
【００５８】図６のステップＳＴ１で不良情報ファイル
の不良部品データを不良コードによってソートするか否
かを入力する。図１０に示すソート設定画面がモニター
１０に表示されるので、オペレーターは図１に示すマウ
ス８で入力欄２９をクリックしてソートするか否かを設
定する。図１０において、入力欄２９の「する」をクリ
ックすると「しない」に切り替わる。設定が終わったら
「確認」をクリックする。
の不良部品データを不良コードによってソートするか否
かを入力する。図１０に示すソート設定画面がモニター
１０に表示されるので、オペレーターは図１に示すマウ
ス８で入力欄２９をクリックしてソートするか否かを設
定する。図１０において、入力欄２９の「する」をクリ
ックすると「しない」に切り替わる。設定が終わったら
「確認」をクリックする。
【００５９】ステップＳＴ１でソートをしないと入力さ
れた場合はステップＳＴ３に進み、ソートをすると入力
された場合は、ステップＳＴ２に進む。
れた場合はステップＳＴ３に進み、ソートをすると入力
された場合は、ステップＳＴ２に進む。
【００６０】ステップＳＴ２ではソート条件の設定を行
う。すなわち図７のステップＳＴ１６で、外観検査装置
において付される不良コード（以下外観検査不良コード
と称する）は多種にわたるため、この外観検査不良コー
ドを分類して新たに修正支援装置独自の不良コードの設
定を行う。図１１は不良コード設定におけるモニター表
示画面である。
う。すなわち図７のステップＳＴ１６で、外観検査装置
において付される不良コード（以下外観検査不良コード
と称する）は多種にわたるため、この外観検査不良コー
ドを分類して新たに修正支援装置独自の不良コードの設
定を行う。図１１は不良コード設定におけるモニター表
示画面である。
【００６１】図７のステップＳＴ１７で外観検査不良コ
ードを、ステップＳＴ１６で設定した不良コードに変換
するための設定を行う。図１２は不良コード変換設定に
おけるモニター表示画面である。同図において、３７は
外観検査不良コードを示し、３８は修正支援装置におけ
る不良コードを示す。例えば外観検査不良コード「０１
フィレット少」は修正支援装置においては不良コード
「２．ハンダナシ」に変換されることを示している。
ードを、ステップＳＴ１６で設定した不良コードに変換
するための設定を行う。図１２は不良コード変換設定に
おけるモニター表示画面である。同図において、３７は
外観検査不良コードを示し、３８は修正支援装置におけ
る不良コードを示す。例えば外観検査不良コード「０１
フィレット少」は修正支援装置においては不良コード
「２．ハンダナシ」に変換されることを示している。
【００６２】図７のステップＳＴ１８で不良コードのソ
ート順序を設定して、図６のステップＳＴ３に進む。図
１３は不良コードのソート順序設定におけるモニター表
示画面である。同図において、不良部品データはその不
良コードが「２．ハンダナシ」のものが最初にソートさ
れ、続いて「３．ブリッジ」のものがソートされること
を示している。また同一不良コードの不良部品データに
ついてはその部品番号が小さい順、すなわち外観検査装
置における検査順にソートされる。
ート順序を設定して、図６のステップＳＴ３に進む。図
１３は不良コードのソート順序設定におけるモニター表
示画面である。同図において、不良部品データはその不
良コードが「２．ハンダナシ」のものが最初にソートさ
れ、続いて「３．ブリッジ」のものがソートされること
を示している。また同一不良コードの不良部品データに
ついてはその部品番号が小さい順、すなわち外観検査装
置における検査順にソートされる。
【００６３】次に図６のステップＳＴ３で外観検査装置
における検査結果を示す不良情報ファイルおよびイメー
ジデータファイルを読み出す。すなわち図８のステップ
ＳＴ１９で被修正基板のＩＤナンバーを、図１に示すバ
ーコードリーダ６またはキーボード７を用いてオペレー
タが入力すると、ステップＳＴ２０で制御部２３は、入
力されたＩＤナンバーを有する基板の不良情報ファイル
およびイメージデータファイルをフロッピーディスクあ
るいはＬＡＮのサーバから読み出す。
における検査結果を示す不良情報ファイルおよびイメー
ジデータファイルを読み出す。すなわち図８のステップ
ＳＴ１９で被修正基板のＩＤナンバーを、図１に示すバ
ーコードリーダ６またはキーボード７を用いてオペレー
タが入力すると、ステップＳＴ２０で制御部２３は、入
力されたＩＤナンバーを有する基板の不良情報ファイル
およびイメージデータファイルをフロッピーディスクあ
るいはＬＡＮのサーバから読み出す。
【００６４】次に図６に戻り、ステップＳＴ４で制御部
２３はステップＳＴ２におけるソート条件設定に従っ
て、不良情報ファイルの不良部品データのソートを実行
し、ステップＳＴ５に進む。ただし、ステップＳＴ１に
おいて、ソートを行わないと入力され、ステップＳＴ２
のソート条件の設定が行われなかった場合は、不良部品
データのソートを実行しない。
２３はステップＳＴ２におけるソート条件設定に従っ
て、不良情報ファイルの不良部品データのソートを実行
し、ステップＳＴ５に進む。ただし、ステップＳＴ１に
おいて、ソートを行わないと入力され、ステップＳＴ２
のソート条件の設定が行われなかった場合は、不良部品
データのソートを実行しない。
【００６５】ステップＳＴ５でオペレータは被修正基板
を基板ステージ５にセットする。
を基板ステージ５にセットする。
【００６６】次にステップＳＴ６でソート条件の変更を
行わない場合は、オペレータは「ＮＯ」を入力し、ステ
ップＳＴ９に進む。尚ここでソート条件の変更を行うた
めに、オペレータが「ＹＥＳ」を入力した場合のステッ
プＳＴ７、ＳＴ８の処理については後述する。
行わない場合は、オペレータは「ＮＯ」を入力し、ステ
ップＳＴ９に進む。尚ここでソート条件の変更を行うた
めに、オペレータが「ＹＥＳ」を入力した場合のステッ
プＳＴ７、ＳＴ８の処理については後述する。
【００６７】ステップＳＴ９で制御部２３は、Ｘ軸テー
ブル部３およびＹ軸テーブル部４を動作させて、撮像部
１の直下の撮像位置にソートした不良情報ファイルの一
番目の不良部品を移動させ、撮像部１で撮像したこの不
良部品のカラー画像、この不良部品の不良コード、およ
びイメージデータファイルから作成した基板上の部品レ
イアウト図からなる不良部品情報をモニター１０に表示
させる。
ブル部３およびＹ軸テーブル部４を動作させて、撮像部
１の直下の撮像位置にソートした不良情報ファイルの一
番目の不良部品を移動させ、撮像部１で撮像したこの不
良部品のカラー画像、この不良部品の不良コード、およ
びイメージデータファイルから作成した基板上の部品レ
イアウト図からなる不良部品情報をモニター１０に表示
させる。
【００６８】図１４はイメージデータファイルより作成
した部品レイアウト図である。同図において、破線およ
び実線で示される領域は実装された部品を示し、そのう
ち実線で示される領域が外観検査装置において不良と判
定された部品を示す。またＩＣ部品については、検査時
にいくつかの領域に分けて検査されるため、この分割さ
れた領域が破線および実線で示されている。
した部品レイアウト図である。同図において、破線およ
び実線で示される領域は実装された部品を示し、そのう
ち実線で示される領域が外観検査装置において不良と判
定された部品を示す。またＩＣ部品については、検査時
にいくつかの領域に分けて検査されるため、この分割さ
れた領域が破線および実線で示されている。
【００６９】図１５は不良部品情報のモニター表示画面
である。同図において、３９は撮像部１によって撮像さ
れた不良部品のカラー画像が表示されるカメラ画面であ
り、４０はカメラ画面に表示されている不良部品が基板
上のどのあたりに位置するのかを、図１４に示す部品レ
イアウト図を用いて表示するレイアウト画面であり、カ
メラ画面に表示されている部品は他の不良部品と区別し
て（例えば色を付けたり、矢印で示したりする）表示さ
れる。また４１はカメラ画面に表示されている不良部品
の部品名称を示し、４２はこの不良部品の不良コードに
対応する不良名称を示すものである。最後に４３はコマ
ンドメニューであり、図６のステップＳＴ１０の修正作
業において、マウス８でクリックすることにより起動さ
せることができる。
である。同図において、３９は撮像部１によって撮像さ
れた不良部品のカラー画像が表示されるカメラ画面であ
り、４０はカメラ画面に表示されている不良部品が基板
上のどのあたりに位置するのかを、図１４に示す部品レ
イアウト図を用いて表示するレイアウト画面であり、カ
メラ画面に表示されている部品は他の不良部品と区別し
て（例えば色を付けたり、矢印で示したりする）表示さ
れる。また４１はカメラ画面に表示されている不良部品
の部品名称を示し、４２はこの不良部品の不良コードに
対応する不良名称を示すものである。最後に４３はコマ
ンドメニューであり、図６のステップＳＴ１０の修正作
業において、マウス８でクリックすることにより起動さ
せることができる。
【００７０】図６に戻り、ステップ１０でオペレータ
は、不良部品情報表示画面を見ながら修正作業を行う。
すなわち図９のステップＳＴ２１でオペレータは、モニ
ター１０のカメラ画面を見て不良状態を確認し、ステッ
プＳＴ２２でモニター１０に表示されている不良コード
が正しいと判断すればステップＳＴ２４に進み、不良コ
ードが間違っていたり、不良部位が存在しないと判断す
ればステップＳＴ２３で不良コードの変更または取り消
しを行い、ステップＳＴ２４に進む。
は、不良部品情報表示画面を見ながら修正作業を行う。
すなわち図９のステップＳＴ２１でオペレータは、モニ
ター１０のカメラ画面を見て不良状態を確認し、ステッ
プＳＴ２２でモニター１０に表示されている不良コード
が正しいと判断すればステップＳＴ２４に進み、不良コ
ードが間違っていたり、不良部位が存在しないと判断す
ればステップＳＴ２３で不良コードの変更または取り消
しを行い、ステップＳＴ２４に進む。
【００７１】次にステップＳＴ２４でオペレータはこの
部品を修正するか否かを入力し、修正しない場合はステ
ップＳＴ３４に進み、修正する場合はステップＳＴ２５
に進む。
部品を修正するか否かを入力し、修正しない場合はステ
ップＳＴ３４に進み、修正する場合はステップＳＴ２５
に進む。
【００７２】ステップＳＴ２５でオペレータは修正位置
（搬入出位置）への基板の移動命令を入力すると、ステ
ップＳＴ２６で制御部２３はモニター１０のカメラ画面
をフリーズ表示にして、ステップＳＴ２７で基板を修正
位置に移動させる。
（搬入出位置）への基板の移動命令を入力すると、ステ
ップＳＴ２６で制御部２３はモニター１０のカメラ画面
をフリーズ表示にして、ステップＳＴ２７で基板を修正
位置に移動させる。
【００７３】ステップＳＴ２８でオペレータはモニター
１０に表示されたレイアウト図を参照して、この不良部
品を探して修正した後、ステップＳＴ２９で撮像位置へ
の移動命令を入力すると、ステップＳＴ３０で制御部２
３は基板を撮像位置に移動させて再びこの部品を撮像
し、ステップＳＴ３１でカメラ画面をスルー表示にして
この部品のカラー画像を表示させる。
１０に表示されたレイアウト図を参照して、この不良部
品を探して修正した後、ステップＳＴ２９で撮像位置へ
の移動命令を入力すると、ステップＳＴ３０で制御部２
３は基板を撮像位置に移動させて再びこの部品を撮像
し、ステップＳＴ３１でカメラ画面をスルー表示にして
この部品のカラー画像を表示させる。
【００７４】ステップＳＴ３２でオペレータはカメラ画
面で修正部位を目視確認し、ステップＳＴ３３で再修正
が必要か否かを入力する。「ＹＥＳ」の場合はステップ
ＳＴ２５〜ＳＴ３２を再度繰り返し、「ＮＯ」の場合は
ステップＳＴ３４に進む。
面で修正部位を目視確認し、ステップＳＴ３３で再修正
が必要か否かを入力する。「ＹＥＳ」の場合はステップ
ＳＴ２５〜ＳＴ３２を再度繰り返し、「ＮＯ」の場合は
ステップＳＴ３４に進む。
【００７５】ステップＳＴ３４でオペレータはこの部品
すなわち不良情報ファイルの一番目の不良部品の修正作
業が完了したことを入力して、図６のステップＳＴ１１
に進む。
すなわち不良情報ファイルの一番目の不良部品の修正作
業が完了したことを入力して、図６のステップＳＴ１１
に進む。
【００７６】ステップＳＴ１１で他に不良部品がある場
合には、ステップＳＴ６に戻り、もしもソート条件すな
わち不良コードの設定やソート順序を変更したい場合に
は「ＹＥＳ」を入力し、ステップＳＴ７で新たにソート
条件を設定し、ステップＳＴ８で新たなソート条件に従
って不良部品データのソートを行った後、ステップＳＴ
９に進む。またソート条件を変更する必要がないときは
ステップＳＴ９に進む。尚、ステップＳＴ７の内容はス
テップＳＴ２と、またステップＳＴ８の内容はステップ
ＳＴ３とそれぞれ同じである。ただしステップＳＴ８に
おけるソート実行時は既に修正作業が完了した部品は除
かれる。
合には、ステップＳＴ６に戻り、もしもソート条件すな
わち不良コードの設定やソート順序を変更したい場合に
は「ＹＥＳ」を入力し、ステップＳＴ７で新たにソート
条件を設定し、ステップＳＴ８で新たなソート条件に従
って不良部品データのソートを行った後、ステップＳＴ
９に進む。またソート条件を変更する必要がないときは
ステップＳＴ９に進む。尚、ステップＳＴ７の内容はス
テップＳＴ２と、またステップＳＴ８の内容はステップ
ＳＴ３とそれぞれ同じである。ただしステップＳＴ８に
おけるソート実行時は既に修正作業が完了した部品は除
かれる。
【００７７】そしてステップＳＴ９、ＳＴ１０で次の不
良部品すなわちステップＳＴ２でソートした不良情報フ
ァイルの二番目の不良部品、あるいはステップＳＴ８で
ソートした不良情報ファイルの一番目の不良部品に、最
初の不良部品と同様の処理を行う。
良部品すなわちステップＳＴ２でソートした不良情報フ
ァイルの二番目の不良部品、あるいはステップＳＴ８で
ソートした不良情報ファイルの一番目の不良部品に、最
初の不良部品と同様の処理を行う。
【００７８】ステップＳＴ６〜ＳＴ１０の処理を繰り返
し、ステップＳＴ１１で全ての不良部品の修正が完了し
たら、ステップＳＴ１２で制御部２３はフロッピーディ
スクあるいはＬＡＮのサーバに編集作成した不良情報フ
ァイルおよびイメージデータファイルを外観検査装置に
おけるものと別に書き込む。ここで編集作成したファイ
ルとは、不良部品データがソートされ、修正支援装置に
おける不良コードおよび修正作業済みであるかどうかの
フラグが付加され、さらに外観検査装置で誤判定された
不良コードが修正された不良情報ファイル、およびこの
不良情報ファイルの内容に従って修正されたイメージデ
ータファイルを示す。
し、ステップＳＴ１１で全ての不良部品の修正が完了し
たら、ステップＳＴ１２で制御部２３はフロッピーディ
スクあるいはＬＡＮのサーバに編集作成した不良情報フ
ァイルおよびイメージデータファイルを外観検査装置に
おけるものと別に書き込む。ここで編集作成したファイ
ルとは、不良部品データがソートされ、修正支援装置に
おける不良コードおよび修正作業済みであるかどうかの
フラグが付加され、さらに外観検査装置で誤判定された
不良コードが修正された不良情報ファイル、およびこの
不良情報ファイルの内容に従って修正されたイメージデ
ータファイルを示す。
【００７９】図１６は不良情報ファイルのデータ構成を
示す説明図であり、（ａ）は不良コードによるソート実
行前の不良情報ファイルすなわち外観検査装置における
不良情報ファイルのデータ構成を示す説明図、（ｂ）は
不良コードによるソート実行後の不良情報ファイルのデ
ータ構成を示す説明図、（ｃ）は修正作業実行中の不良
情報ファイルのデータ構成を示す説明図である。同図
（ｃ）の修正作業欄に示す「＊」は修正作業済みである
ことを示し、「−」は未修正であることを示す。
示す説明図であり、（ａ）は不良コードによるソート実
行前の不良情報ファイルすなわち外観検査装置における
不良情報ファイルのデータ構成を示す説明図、（ｂ）は
不良コードによるソート実行後の不良情報ファイルのデ
ータ構成を示す説明図、（ｃ）は修正作業実行中の不良
情報ファイルのデータ構成を示す説明図である。同図
（ｃ）の修正作業欄に示す「＊」は修正作業済みである
ことを示し、「−」は未修正であることを示す。
【００８０】次に図６のステップＳＴ１３でオペレータ
は基板を搬入出位置に移動させる命令を入力して搬入出
位置に移動させ、この基板を基板ステージ５から取り外
し、ステップＳＴ１４で次の基板の修正を行うか否かを
入力する。「ＹＥＳ」が入力された場合はステップＳＴ
３に戻り前の基板と同様の処理を行う。
は基板を搬入出位置に移動させる命令を入力して搬入出
位置に移動させ、この基板を基板ステージ５から取り外
し、ステップＳＴ１４で次の基板の修正を行うか否かを
入力する。「ＹＥＳ」が入力された場合はステップＳＴ
３に戻り前の基板と同様の処理を行う。
【００８１】このように上記の第一実施例によれば、不
良部品データを不良コードによってソートし、このソー
ト順に従って、不良部品の修正指示をオペレーターに与
えることによって、同種の不良部品が連続して指示され
るため、オペレーターは修正工具をいちいち持ち変える
必要がなく、修正作業を効率的に行うことができる。
良部品データを不良コードによってソートし、このソー
ト順に従って、不良部品の修正指示をオペレーターに与
えることによって、同種の不良部品が連続して指示され
るため、オペレーターは修正工具をいちいち持ち変える
必要がなく、修正作業を効率的に行うことができる。
【００８２】次に図１７は本発明の第二実施例の外観図
である。図１７において、光指示器２８以外のものにつ
いては第一実施例と同様であるので、同一符号を付すと
ともにその説明を省略する。
である。図１７において、光指示器２８以外のものにつ
いては第一実施例と同様であるので、同一符号を付すと
ともにその説明を省略する。
【００８３】また本発明の第二実施例の全体構成図は図
２に示す第一実施例の全体構成図に光指示器２８を付加
し、撮像・投光コントローラ１６を撮像・投光コントロ
ーラ４７とし、メモリ１５をメモリ４８とし、また制御
部２３を制御部４９とし、従って制御処理部２７を制御
処理部５０としたものである。
２に示す第一実施例の全体構成図に光指示器２８を付加
し、撮像・投光コントローラ１６を撮像・投光コントロ
ーラ４７とし、メモリ１５をメモリ４８とし、また制御
部２３を制御部４９とし、従って制御処理部２７を制御
処理部５０としたものである。
【００８４】撮像・投光コントローラ４７は、制御部４
９からの命令に従って、撮像部１の撮像動作、投光部２
の発光動作、および光指示器２８の点灯、消灯動作を制
御し、撮像部１より出力される被修正部品の撮像信号を
カラー画像信号に変換して制御部４９に送る。
９からの命令に従って、撮像部１の撮像動作、投光部２
の発光動作、および光指示器２８の点灯、消灯動作を制
御し、撮像部１より出力される被修正部品の撮像信号を
カラー画像信号に変換して制御部４９に送る。
【００８５】メモリ４８は、本発明を動作させるための
修正支援プログラムを格納しており、制御部４９から送
られる不良情報ファイルおよびイメージデータファイ
ル、各種のデータなどを記憶するものである。
修正支援プログラムを格納しており、制御部４９から送
られる不良情報ファイルおよびイメージデータファイ
ル、各種のデータなどを記憶するものである。
【００８６】制御部４９はマイクロプロセッサを有し、
メモリ４８より読み出した修正支援プログラムに従っ
て、制御処理部５０を構成する各部の統括制御、不良部
品情報の作成、各種の演算、不良情報ファイルおよびイ
メージデータファイルの編集作成などを行うものであ
る。
メモリ４８より読み出した修正支援プログラムに従っ
て、制御処理部５０を構成する各部の統括制御、不良部
品情報の作成、各種の演算、不良情報ファイルおよびイ
メージデータファイルの編集作成などを行うものであ
る。
【００８７】図１８は本発明の第二実施例のＸ軸ステー
ジ部３およびＹ軸ステージ部４の動作を示す上面図であ
り、基板ステージ５に被修正基板がセットされた状態の
ものである。（ａ）は基板１４の搬入出、および部品Ｅ
の不良部位（図中×印で示す）の修正を行う搬入出位置
（修正位置）、（ｂ）は不良部位を撮像する撮像位置、
（ｃ）は不良部位をスポット光によって指示する光指示
位置をそれぞれ示している。また図１９は本発明の第二
実施例の側面図であり、図２０は光指示器２８の構成を
示す断面図である。
ジ部３およびＹ軸ステージ部４の動作を示す上面図であ
り、基板ステージ５に被修正基板がセットされた状態の
ものである。（ａ）は基板１４の搬入出、および部品Ｅ
の不良部位（図中×印で示す）の修正を行う搬入出位置
（修正位置）、（ｂ）は不良部位を撮像する撮像位置、
（ｃ）は不良部位をスポット光によって指示する光指示
位置をそれぞれ示している。また図１９は本発明の第二
実施例の側面図であり、図２０は光指示器２８の構成を
示す断面図である。
【００８８】光指示器２８は図２０に示すように、ＬＥ
Ｄのような光源４４、および集光レンズ４５を有し、光
源より放射された光束を集光レンズによって集光するこ
とによって、基板面４６にスポット光を照射する構造で
あり、基板を図１８（ｃ）に示す光指示位置に移動した
ときに、撮像・投光コントローラ４７によって光源をＯ
Ｎさせることにより、スポット光で不良部位を指示する
ものである。
Ｄのような光源４４、および集光レンズ４５を有し、光
源より放射された光束を集光レンズによって集光するこ
とによって、基板面４６にスポット光を照射する構造で
あり、基板を図１８（ｃ）に示す光指示位置に移動した
ときに、撮像・投光コントローラ４７によって光源をＯ
Ｎさせることにより、スポット光で不良部位を指示する
ものである。
【００８９】尚、本第二実施例においては、光指示器２
８は図１７および図１９に示すように投光部２の側面に
取り付けられ、スポット光を基板に対して垂直に入射さ
せているが、光指示器２８の取り付け位置および図１８
（ｃ）に示す光指示位置は、スポット光で基板上の不良
部位を指示しているときに、オペレータが指示された不
良部位の修正を行える位置であればよく、オペレータが
指示された不良部位の修正を行いやすい位置が望まし
い。
８は図１７および図１９に示すように投光部２の側面に
取り付けられ、スポット光を基板に対して垂直に入射さ
せているが、光指示器２８の取り付け位置および図１８
（ｃ）に示す光指示位置は、スポット光で基板上の不良
部位を指示しているときに、オペレータが指示された不
良部位の修正を行える位置であればよく、オペレータが
指示された不良部位の修正を行いやすい位置が望まし
い。
【００９０】次に図２１は本発明の第二実施例による修
正支援手順を示すフローチャートである。図２２は図２
１のステップＳＴ３７およびステップＳＴ４２のサブル
ーチンであり、ソート条件設定手順を示すフローチャー
トである。図２３は図２１のステップＳＴ３８のサブル
ーチンであり、検査結果の読み出し手順を示すフローチ
ャートである。図２４は図２１のステップＳＴ４５のサ
ブルーチンであり、修正作業手順を示すフローチャート
である。また図２５は図２４のステップＳＴ５９のサブ
ルーチンであり、不良部位の修正処理手順を示すフロー
チャートである。
正支援手順を示すフローチャートである。図２２は図２
１のステップＳＴ３７およびステップＳＴ４２のサブル
ーチンであり、ソート条件設定手順を示すフローチャー
トである。図２３は図２１のステップＳＴ３８のサブル
ーチンであり、検査結果の読み出し手順を示すフローチ
ャートである。図２４は図２１のステップＳＴ４５のサ
ブルーチンであり、修正作業手順を示すフローチャート
である。また図２５は図２４のステップＳＴ５９のサブ
ルーチンであり、不良部位の修正処理手順を示すフロー
チャートである。
【００９１】図２１のステップＳＴ３６で不良情報ファ
イルの不良部品データを不良コードによってソートする
か否かを入力する（図１０参照）。
イルの不良部品データを不良コードによってソートする
か否かを入力する（図１０参照）。
【００９２】ステップＳＴ３６でソートを行わないと入
力された場合はステップＳＴ３８に進み、ソートを行う
と入力された場合は、ステップＳＴ３７に進む。
力された場合はステップＳＴ３８に進み、ソートを行う
と入力された場合は、ステップＳＴ３７に進む。
【００９３】ステップＳＴ３７ではソート条件の設定を
行う。すなわち図２２のステップＳＴ５０で、外観検査
不良コードは多種にわたるため、これを分類して修正支
援装置独自の不良コードの設定を行う（図１１参照）。
行う。すなわち図２２のステップＳＴ５０で、外観検査
不良コードは多種にわたるため、これを分類して修正支
援装置独自の不良コードの設定を行う（図１１参照）。
【００９４】次にステップＳＴ５１で、外観検査装置に
おける不良コードを、ステップＳＴ５０で設定した修正
支援装置の不良コードに変換するための設定を行う（図
１２参照）。
おける不良コードを、ステップＳＴ５０で設定した修正
支援装置の不良コードに変換するための設定を行う（図
１２参照）。
【００９５】次にステップＳＴ５２で不良コードのソー
ト順序を設定して（図１３参照）、図２１のステップＳ
Ｔ３８に進む。
ト順序を設定して（図１３参照）、図２１のステップＳ
Ｔ３８に進む。
【００９６】図２１のステップＳＴ３８で外観検査装置
における検査結果を示す、不良情報ファイルおよびイメ
ージデータファイルを読み出す。すなわち図２３のステ
ップＳＴ５３で被修正基板のＩＤナンバーをバーコード
リーダ６またはキーボード７を用いてオペレータが入力
すると、ステップＳＴ５４で制御部４９は入力されたＩ
Ｄナンバーを有する基板の不良情報ファイルおよびイメ
ージデータファイルをフロッピーディスクあるいはＬＡ
Ｎのサーバから読み出す。
における検査結果を示す、不良情報ファイルおよびイメ
ージデータファイルを読み出す。すなわち図２３のステ
ップＳＴ５３で被修正基板のＩＤナンバーをバーコード
リーダ６またはキーボード７を用いてオペレータが入力
すると、ステップＳＴ５４で制御部４９は入力されたＩ
Ｄナンバーを有する基板の不良情報ファイルおよびイメ
ージデータファイルをフロッピーディスクあるいはＬＡ
Ｎのサーバから読み出す。
【００９７】次に図２１に戻り、ステップＳＴ３９で制
御部４９は、ステップＳＴ３７におけるソート条件設定
に従って、不良情報ファイルの不良部品データのソート
を実行し、ステップＳＴ４０に進む。ただし、ステップ
ＳＴ３６において、ソートを行わないと入力され、ステ
ップＳＴ３７のソート条件の設定が行われなかった場合
は、不良部品データのソートを実行しない。
御部４９は、ステップＳＴ３７におけるソート条件設定
に従って、不良情報ファイルの不良部品データのソート
を実行し、ステップＳＴ４０に進む。ただし、ステップ
ＳＴ３６において、ソートを行わないと入力され、ステ
ップＳＴ３７のソート条件の設定が行われなかった場合
は、不良部品データのソートを実行しない。
【００９８】ステップＳＴ４０でオペレータは被修正基
板を基板ステージ５にセットする。
板を基板ステージ５にセットする。
【００９９】次にステップＳＴ４１でソート条件の変更
を行わない場合は、オペレータは「ＮＯ」を入力し、ス
テップＳＴ４４に進む。
を行わない場合は、オペレータは「ＮＯ」を入力し、ス
テップＳＴ４４に進む。
【０１００】また、もしもステップＳＴ４１でソート条
件すなわち不良コードの設定やソート順序を変更したい
場合には、オペレータは「ＹＥＳ」を入力し、ステップ
ＳＴ４２で新たにソート条件を設定し、ステップＳＴ４
３で新たなソート条件に従って不良部品データのソート
を行った後、ステップＳＴ４４に進む。尚、ステップＳ
Ｔ４２の内容はステップＳＴ３７と、またステップＳＴ
４３の内容はステップＳＴ３８とそれぞれ同じである。
ただし、後述するステップＳＴ４６から分岐して、ステ
ップＳＴ４１、ＳＴ４２を介してステップＳＴ４３の処
理を行う場合は、既に修正作業が完了した部品を除いて
ソートを実行する。
件すなわち不良コードの設定やソート順序を変更したい
場合には、オペレータは「ＹＥＳ」を入力し、ステップ
ＳＴ４２で新たにソート条件を設定し、ステップＳＴ４
３で新たなソート条件に従って不良部品データのソート
を行った後、ステップＳＴ４４に進む。尚、ステップＳ
Ｔ４２の内容はステップＳＴ３７と、またステップＳＴ
４３の内容はステップＳＴ３８とそれぞれ同じである。
ただし、後述するステップＳＴ４６から分岐して、ステ
ップＳＴ４１、ＳＴ４２を介してステップＳＴ４３の処
理を行う場合は、既に修正作業が完了した部品を除いて
ソートを実行する。
【０１０１】ステップＳＴ４４で制御部４９は、Ｘ軸テ
ーブル部３およびＹ軸テーブル部４を動作させて、撮像
位置（撮像部１の直下）にソートした不良情報ファイル
の一番目の不良部品を移動させ、撮像部１で撮像した、
この不良部品のカラー画像、、この不良部品の不良コー
ド、およびイメージデータファイルから作成した基板上
の部品レイアウト図からなる不良部品情報（図１５参
照）をモニター１０に表示させる。
ーブル部３およびＹ軸テーブル部４を動作させて、撮像
位置（撮像部１の直下）にソートした不良情報ファイル
の一番目の不良部品を移動させ、撮像部１で撮像した、
この不良部品のカラー画像、、この不良部品の不良コー
ド、およびイメージデータファイルから作成した基板上
の部品レイアウト図からなる不良部品情報（図１５参
照）をモニター１０に表示させる。
【０１０２】ステップＳＴ４５でオペレータは不良部品
情報の表示画面を見ながら、修正作業を行う。すなわち
図２４に示すサブルーチンにおいて、ステップＳＴ５５
でオペレータはモニター１０のカメラ画面を見て不良状
態を確認し、ステップＳＴ５６でモニター１０に表示さ
れている不良コードが正しいと判断すればステップＳＴ
５８に進み、不良コードが間違っていたり、不良部位が
存在しないと判断すればステップＳＴ５７で不良コード
の変更または取り消しを行い、ステップＳＴ５８に進
む。
情報の表示画面を見ながら、修正作業を行う。すなわち
図２４に示すサブルーチンにおいて、ステップＳＴ５５
でオペレータはモニター１０のカメラ画面を見て不良状
態を確認し、ステップＳＴ５６でモニター１０に表示さ
れている不良コードが正しいと判断すればステップＳＴ
５８に進み、不良コードが間違っていたり、不良部位が
存在しないと判断すればステップＳＴ５７で不良コード
の変更または取り消しを行い、ステップＳＴ５８に進
む。
【０１０３】次にステップＳＴ５８でオペレータはこの
部品を修正するか否かを入力し、修正しない場合はステ
ップＳＴ６０に進み、修正する場合はステップＳＴ５９
に進む。
部品を修正するか否かを入力し、修正しない場合はステ
ップＳＴ６０に進み、修正する場合はステップＳＴ５９
に進む。
【０１０４】ステップＳＴ５９でオペレータは不良部位
の修正作業を行う。すなわち図２５のステップＳＴ６２
で制御部４９はモニター１０のカメラ画面をフリーズ表
示にする。
の修正作業を行う。すなわち図２５のステップＳＴ６２
で制御部４９はモニター１０のカメラ画面をフリーズ表
示にする。
【０１０５】次にステップＳＴ６３で制御部４９は、Ｘ
Ｙテーブルコントローラ１７を制御して、Ｘ軸テーブル
部３およびＹテーブル部４によって、カメラ画面に表示
された、これから修正を行う不良部品の不良部位を光指
示位置に移動させ、ステップＳＴ６４で撮像・投光コン
トローラ４７を制御して光指示器２８をＯＮさせること
により、この不良部位をスポット光で指示する。
Ｙテーブルコントローラ１７を制御して、Ｘ軸テーブル
部３およびＹテーブル部４によって、カメラ画面に表示
された、これから修正を行う不良部品の不良部位を光指
示位置に移動させ、ステップＳＴ６４で撮像・投光コン
トローラ４７を制御して光指示器２８をＯＮさせること
により、この不良部位をスポット光で指示する。
【０１０６】ステップＳＴ６５でオペレータは光指示さ
れた不良部位を確認し、この場で修正できるようであれ
ば修正作業を行う。撮像位置においては、図１９に示す
ように、投光部２が基板面に接近しているため、修正作
業を行うことができないが、光指示位置においては投光
部２に邪魔されずに修正作業を行うことが可能である。
れた不良部位を確認し、この場で修正できるようであれ
ば修正作業を行う。撮像位置においては、図１９に示す
ように、投光部２が基板面に接近しているため、修正作
業を行うことができないが、光指示位置においては投光
部２に邪魔されずに修正作業を行うことが可能である。
【０１０７】ステップＳＴ６５の光指示位置における修
正作業を行った場合は、ステップＳＴ６６でオペレータ
は撮像位置への移動命令を入力し、ステップＳＴ６７で
制御部４９は光指示器２８をＯＦＦし、ステップＳＴ７
１に進む。
正作業を行った場合は、ステップＳＴ６６でオペレータ
は撮像位置への移動命令を入力し、ステップＳＴ６７で
制御部４９は光指示器２８をＯＦＦし、ステップＳＴ７
１に進む。
【０１０８】またステップＳＴ６５の光指示位置におけ
る修正作業を行わなかった場合は、ステップＳＴ６６で
オペレータは、修正位置（基板搬入出位置）への移動命
令を入力し、ステップＳＴ６８で制御部４９は光指示器
２８をＯＦＦし、ステップＳＴ６９で修正位置に基板を
移動させる。
る修正作業を行わなかった場合は、ステップＳＴ６６で
オペレータは、修正位置（基板搬入出位置）への移動命
令を入力し、ステップＳＴ６８で制御部４９は光指示器
２８をＯＦＦし、ステップＳＴ６９で修正位置に基板を
移動させる。
【０１０９】ステップＳＴ７０でオペレータは、不良部
位の修正作業を行い、ステップＳＴ７０ａで撮像位置へ
の移動命令を入力して、ステップＳＴ７１に進む。
位の修正作業を行い、ステップＳＴ７０ａで撮像位置へ
の移動命令を入力して、ステップＳＴ７１に進む。
【０１１０】ステップＳＴ７１で制御部４９は、基板を
撮像位置に移動させて再びこの部品を撮像し、ステップ
ＳＴ７２でカメラ画面をスルー表示にしてこの部品のカ
ラー画像を表示させて、図２４のステップＳＴ６０に進
む。
撮像位置に移動させて再びこの部品を撮像し、ステップ
ＳＴ７２でカメラ画面をスルー表示にしてこの部品のカ
ラー画像を表示させて、図２４のステップＳＴ６０に進
む。
【０１１１】ステップＳＴ６０でオペレータはカメラ画
面で修正部位を目視確認し、再修正が必要か否かを入力
する。「ＹＥＳ」の場合はステップＳＴ５９を再度繰り
返し、「ＮＯ」の場合はステップＳＴ６１に進む。
面で修正部位を目視確認し、再修正が必要か否かを入力
する。「ＹＥＳ」の場合はステップＳＴ５９を再度繰り
返し、「ＮＯ」の場合はステップＳＴ６１に進む。
【０１１２】ステップＳＴ６１でオペレータはこの部品
すなわち不良情報ファイルの一番目の不良部品の修正作
業が完了したことを入力して、図２１のステップＳＴ４
６に進む。
すなわち不良情報ファイルの一番目の不良部品の修正作
業が完了したことを入力して、図２１のステップＳＴ４
６に進む。
【０１１３】ステップＳＴ４６で他に不良部品がある場
合には、ステップＳＴ４１に戻り、最初の不良部品と同
様にして、ステップＳＴ４１〜ＳＴ４５の処理によって
不良部位の修正を行う。このようにして、全ての不良部
品についてステップＳＴ４１〜ＳＴ４５の処理を繰り返
す。
合には、ステップＳＴ４１に戻り、最初の不良部品と同
様にして、ステップＳＴ４１〜ＳＴ４５の処理によって
不良部位の修正を行う。このようにして、全ての不良部
品についてステップＳＴ４１〜ＳＴ４５の処理を繰り返
す。
【０１１４】そしてステップＳＴ４６で、全ての不良部
品の修正が完了したら、ステップＳＴ４７で制御部４９
はフロッピーディスクあるいはＬＡＮのサーバに、編集
作成した不良情報ファイルおよびイメージデータファイ
ルを外観検査装置におけるものと別に書き込む。ここで
編集作成したファイルとは、不良部品データがソートさ
れ、修正支援装置における不良コードおよび修正作業済
みであるかどうかのフラグが付加され、さらに外観検査
装置で誤判定された不良コードが修正された不良情報フ
ァイル、およびこの不良情報ファイルの内容に従って修
正されたイメージデータファイルを示す。
品の修正が完了したら、ステップＳＴ４７で制御部４９
はフロッピーディスクあるいはＬＡＮのサーバに、編集
作成した不良情報ファイルおよびイメージデータファイ
ルを外観検査装置におけるものと別に書き込む。ここで
編集作成したファイルとは、不良部品データがソートさ
れ、修正支援装置における不良コードおよび修正作業済
みであるかどうかのフラグが付加され、さらに外観検査
装置で誤判定された不良コードが修正された不良情報フ
ァイル、およびこの不良情報ファイルの内容に従って修
正されたイメージデータファイルを示す。
【０１１５】次にステップＳＴ４８でオペレータは基板
を搬入出位置に移動させる命令を入力して搬入出位置に
移動させ、この基板を基板ステージ５から取り外し、ス
テップＳＴ４９で次の基板の修正を行うか否かを入力す
る。「ＹＥＳ」が入力された場合はステップＳＴ３８に
戻り前の基板と同様の処理を行う。
を搬入出位置に移動させる命令を入力して搬入出位置に
移動させ、この基板を基板ステージ５から取り外し、ス
テップＳＴ４９で次の基板の修正を行うか否かを入力す
る。「ＹＥＳ」が入力された場合はステップＳＴ３８に
戻り前の基板と同様の処理を行う。
【０１１６】このように上記の第二実施例によれば、不
良部品データを不良コードによってソートし、このソー
ト順に従って、不良部品の修正指示をオペレーターに与
えることによって、同種の不良部品が連続して指示され
るため、オペレーターは修正工具をいちいち持ち変える
必要がなく、さらに実装基板上の修正作業を行う不良部
位を光指示器２８によってスポット光で指示することに
よって、オペレーターは実装基板上で不良部位を探す必
要がないため、修正作業を効率的に行うことができる。
良部品データを不良コードによってソートし、このソー
ト順に従って、不良部品の修正指示をオペレーターに与
えることによって、同種の不良部品が連続して指示され
るため、オペレーターは修正工具をいちいち持ち変える
必要がなく、さらに実装基板上の修正作業を行う不良部
位を光指示器２８によってスポット光で指示することに
よって、オペレーターは実装基板上で不良部位を探す必
要がないため、修正作業を効率的に行うことができる。
【０１１７】次に本発明の第三実施例について説明す
る。本発明の第三実施例の外観図は図１に示す第一実施
例のものと同じであるので、その説明を略す。
る。本発明の第三実施例の外観図は図１に示す第一実施
例のものと同じであるので、その説明を略す。
【０１１８】図２６は本発明の第三実施例の全体構成図
である。図２６によれば本発明は、撮像部１、投光部
２、Ｘ軸テーブル部３、Ｙ軸テーブル部４、基板ステー
ジ５および制御処理部５３によって構成される。
である。図２６によれば本発明は、撮像部１、投光部
２、Ｘ軸テーブル部３、Ｙ軸テーブル部４、基板ステー
ジ５および制御処理部５３によって構成される。
【０１１９】投光部２は、赤色、緑色、青色の各色彩光
をそれぞれ発する３個の円環状光源２４、２５、２６か
ら成る三色光源によって構成される。
をそれぞれ発する３個の円環状光源２４、２５、２６か
ら成る三色光源によって構成される。
【０１２０】制御処理部５３は、撮像・投光コントロー
ラ１６、ＸＹテーブルコントローラ１７、モニター１
０、メモリ５２、フロッピーディスク装置１２、入力部
２２、バーコードリーダ６、ネットワーク入出力部１
８、および制御部５１によって構成されている。
ラ１６、ＸＹテーブルコントローラ１７、モニター１
０、メモリ５２、フロッピーディスク装置１２、入力部
２２、バーコードリーダ６、ネットワーク入出力部１
８、および制御部５１によって構成されている。
【０１２１】撮像・投光コントローラ１６は、制御部５
１からの命令に従って、撮像部１の撮像動作および投光
部２の光源２４、２５、２６の発光動作を制御し、撮像
部１の撮像素子より出力される被修正部品の撮像信号を
カラー画像信号に変換して制御部５１に送る。
１からの命令に従って、撮像部１の撮像動作および投光
部２の光源２４、２５、２６の発光動作を制御し、撮像
部１の撮像素子より出力される被修正部品の撮像信号を
カラー画像信号に変換して制御部５１に送る。
【０１２２】ＸＹテーブルコントローラ１７は制御部５
１からの命令に従って、Ｘ軸テーブル部３およびＹ軸テ
ーブル部４の動作を制御する。
１からの命令に従って、Ｘ軸テーブル部３およびＹ軸テ
ーブル部４の動作を制御する。
【０１２３】モニター１０は制御部５１より与えられ
た、撮像部１による被修正部品のカラー画像、被修正基
板のレイアウト図、各種データなどを表示する。
た、撮像部１による被修正部品のカラー画像、被修正基
板のレイアウト図、各種データなどを表示する。
【０１２４】メモリ５２は、本発明を動作させるための
プログラムを格納しており、制御部５１より送られる不
良情報ファイルなどの各種のデータを記憶するものであ
る。
プログラムを格納しており、制御部５１より送られる不
良情報ファイルなどの各種のデータを記憶するものであ
る。
【０１２５】入力部２２は、図１に示すキーボード７、
マウス８および操作キーボード９を有しており、オペレ
ータはこれらを必要に応じて使い分けて、各種のデータ
を入力する。
マウス８および操作キーボード９を有しており、オペレ
ータはこれらを必要に応じて使い分けて、各種のデータ
を入力する。
【０１２６】フロッピーディスク装置１２は制御部５１
からの命令に応じて、外観検査装置によって作成された
不良情報ファイルやイメージデータファイルなどをフロ
ッピーディスクから読み出し、また制御部５１で作成さ
れた不良情報ファイルなどをフロッピーディスクに書き
込むものである。
からの命令に応じて、外観検査装置によって作成された
不良情報ファイルやイメージデータファイルなどをフロ
ッピーディスクから読み出し、また制御部５１で作成さ
れた不良情報ファイルなどをフロッピーディスクに書き
込むものである。
【０１２７】ネットワーク入出力部１８は、図１に示す
ＬＡＮケーブル１３に接続されており、制御部５１から
の命令に応じて、外観検査装置によって作成された不良
情報ファイルやイメージデータファイルなどをＬＡＮケ
ーブル１３を介してネットワークから取得し、また制御
部５１で作成された不良情報ファイルなどをＬＡＮケー
ブル１３を介してネットワークへ送出するものである。
ＬＡＮケーブル１３に接続されており、制御部５１から
の命令に応じて、外観検査装置によって作成された不良
情報ファイルやイメージデータファイルなどをＬＡＮケ
ーブル１３を介してネットワークから取得し、また制御
部５１で作成された不良情報ファイルなどをＬＡＮケー
ブル１３を介してネットワークへ送出するものである。
【０１２８】上記のフロッピーディスク装置１２とネッ
トワーク入出力部１８は、外観検査装置とのシステム構
成形態によって使い分けられる。
トワーク入出力部１８は、外観検査装置とのシステム構
成形態によって使い分けられる。
【０１２９】制御部５１はマイクロプロセッサを有し、
メモリ５２より読み出したプログラムに従って、制御処
理部５３を構成する各部の統括制御、不良部品情報の作
成、各種の演算、不良情報ファイルの読み出しおよび編
集作成などを行うものである。
メモリ５２より読み出したプログラムに従って、制御処
理部５３を構成する各部の統括制御、不良部品情報の作
成、各種の演算、不良情報ファイルの読み出しおよび編
集作成などを行うものである。
【０１３０】次に図２７は本発明の第三実施例による修
正支援手順を示すフローチャートである。図２８は図２
７のステップＳＴ８１およびステップＳＴ８６のサブル
ーチンであり、条件設定手順を示すフローチャートであ
る。図２９は図２７のステップＳＴ８２のサブルーチン
であり、検査結果の読み出し手順を示すフローチャート
である。図３０は図２７のステップＳＴ８９のサブルー
チンであり、修正作業手順を示すフローチャートであ
る。
正支援手順を示すフローチャートである。図２８は図２
７のステップＳＴ８１およびステップＳＴ８６のサブル
ーチンであり、条件設定手順を示すフローチャートであ
る。図２９は図２７のステップＳＴ８２のサブルーチン
であり、検査結果の読み出し手順を示すフローチャート
である。図３０は図２７のステップＳＴ８９のサブルー
チンであり、修正作業手順を示すフローチャートであ
る。
【０１３１】図２７のステップＳＴ８１で各種条件の設
定を行う。すなわち図２８に示すサブルーチンにおい
て、ステップＳＴ１００で外観検査装置において付され
る不良コード（以下外観検査不良コードと称する）に対
して、修正作業内容および修正作業に使用する工具を登
録する。図３１は作業内容および使用工具の登録画面を
示すものである。図３１において、まず部品種選択画面
５５が表示されるので、オペレータ−は図１に示すキー
ボード７で矢印５６を移動させ、マウス８で「確認」を
クリックして部品種を選択する。部品種として「Ｒ１６
０８」が選択されたとすると、次に「Ｒ１６０８」の作
業・工具設定画面５７が表示されるので、オペレータ−
は各外観検査不良コードに対して、作業内容および使用
工具を登録する。尚、作業・工具設定画面５７におい
て、作業内容および使用工具欄に「−−−」と表示され
ている外観検査不良コードは、その部品種では設定され
ていないものである。また、使用工具は複数登録でき
る。
定を行う。すなわち図２８に示すサブルーチンにおい
て、ステップＳＴ１００で外観検査装置において付され
る不良コード（以下外観検査不良コードと称する）に対
して、修正作業内容および修正作業に使用する工具を登
録する。図３１は作業内容および使用工具の登録画面を
示すものである。図３１において、まず部品種選択画面
５５が表示されるので、オペレータ−は図１に示すキー
ボード７で矢印５６を移動させ、マウス８で「確認」を
クリックして部品種を選択する。部品種として「Ｒ１６
０８」が選択されたとすると、次に「Ｒ１６０８」の作
業・工具設定画面５７が表示されるので、オペレータ−
は各外観検査不良コードに対して、作業内容および使用
工具を登録する。尚、作業・工具設定画面５７におい
て、作業内容および使用工具欄に「−−−」と表示され
ている外観検査不良コードは、その部品種では設定され
ていないものである。また、使用工具は複数登録でき
る。
【０１３２】図２７に戻り、ステップＳＴ１０１で外観
検査不良コードは多種にわたるため、これを分類して修
正支援装置独自の不良コードの設定を行い（図１１参
照）、各外観検査不良コードに対して、設定した不良コ
ードを登録する（図１２参照）。
検査不良コードは多種にわたるため、これを分類して修
正支援装置独自の不良コードの設定を行い（図１１参
照）、各外観検査不良コードに対して、設定した不良コ
ードを登録する（図１２参照）。
【０１３３】ステップＳＴ１０２で不良情報ファイルの
不良部品データのソート方法を設定する。すなわち不良
コードによってソートするか、あるいは修正作業内容に
よってソートするかを入力する。図３２に示す画面が、
図１に示すモニター１０に表示されるので、オペレータ
ーは図１に示すマウス８で入力欄５８をクリックして、
ソート方法を設定をする。図３２において、入力欄５８
の「する」をクリックすると「しない」に切り替わる。
また不良コードソートの項目と作業内容ソートの項目の
設定入力は連動しており、例えば作業内容ソートの項目
の「する」をクリックすると、作業内容ソート項目は
「しない」に替わり、不良コードソートの項目は「す
る」に替わる。全ての設定が終わったら「確認」をクリ
ックする。
不良部品データのソート方法を設定する。すなわち不良
コードによってソートするか、あるいは修正作業内容に
よってソートするかを入力する。図３２に示す画面が、
図１に示すモニター１０に表示されるので、オペレータ
ーは図１に示すマウス８で入力欄５８をクリックして、
ソート方法を設定をする。図３２において、入力欄５８
の「する」をクリックすると「しない」に切り替わる。
また不良コードソートの項目と作業内容ソートの項目の
設定入力は連動しており、例えば作業内容ソートの項目
の「する」をクリックすると、作業内容ソート項目は
「しない」に替わり、不良コードソートの項目は「す
る」に替わる。全ての設定が終わったら「確認」をクリ
ックする。
【０１３４】ステップＳＴ１０２で作業内容によるソー
トが選択された場合は、ステップＳＴ１０３で作業内容
によるソート順序を登録して、図２７に戻り、ステップ
ＳＴ８２に進む。図３３は作業内容によるソート順序設
定画面である。同図において、不良部品データはその作
業内容が「ハンダヅケ」のものが最初にソートされ、続
いて「ブリッジカット」のものがソートされることを示
している。また同一作業内容の不良部品データについて
はその部品番号が小さい順、すなわち外観検査装置にお
ける検査順にソートされる。
トが選択された場合は、ステップＳＴ１０３で作業内容
によるソート順序を登録して、図２７に戻り、ステップ
ＳＴ８２に進む。図３３は作業内容によるソート順序設
定画面である。同図において、不良部品データはその作
業内容が「ハンダヅケ」のものが最初にソートされ、続
いて「ブリッジカット」のものがソートされることを示
している。また同一作業内容の不良部品データについて
はその部品番号が小さい順、すなわち外観検査装置にお
ける検査順にソートされる。
【０１３５】ステップＳＴ１０２で不良コードによるソ
ートが選択された場合は、ステップＳＴ１０４でによる
不良コードによるソート順序を登録して（図１３参
照）、図２７に戻り、ステップＳＴ８２に進む。
ートが選択された場合は、ステップＳＴ１０４でによる
不良コードによるソート順序を登録して（図１３参
照）、図２７に戻り、ステップＳＴ８２に進む。
【０１３６】ステップＳＴ８２で外観検査装置における
検査結果を示す、不良情報ファイルおよびイメージデー
タファイルを読み出す。すなわち図２９に示すサブルー
チンにおいて、ステップＳＴ１０５で被修正基板のＩＤ
ナンバーを、図１に示すバーコードリーダ６またはキー
ボード７を用いてオペレータが入力すると、ステップＳ
Ｔ１０６で制御部５１は入力されたＩＤナンバーを有す
る基板の不良情報ファイルおよびイメージデータファイ
ルをフロッピーディスクあるいはＬＡＮのサーバから読
み出して図２７に戻り、ステップＳＴ８３に進む。
検査結果を示す、不良情報ファイルおよびイメージデー
タファイルを読み出す。すなわち図２９に示すサブルー
チンにおいて、ステップＳＴ１０５で被修正基板のＩＤ
ナンバーを、図１に示すバーコードリーダ６またはキー
ボード７を用いてオペレータが入力すると、ステップＳ
Ｔ１０６で制御部５１は入力されたＩＤナンバーを有す
る基板の不良情報ファイルおよびイメージデータファイ
ルをフロッピーディスクあるいはＬＡＮのサーバから読
み出して図２７に戻り、ステップＳＴ８３に進む。
【０１３７】ステップＳＴ８３で制御部５１はステップ
ＳＴ８１における条件設定に従って、不良情報ファイル
の不良部品データのソートを実行し、ステップＳＴ８４
でオペレータは被修正基板を、図１に示す基板ステージ
５にセットする。
ＳＴ８１における条件設定に従って、不良情報ファイル
の不良部品データのソートを実行し、ステップＳＴ８４
でオペレータは被修正基板を、図１に示す基板ステージ
５にセットする。
【０１３８】次にステップＳＴ８５で、ステップＳＴ８
１において設定した条件の変更を行わない場合は、オペ
レータは「ＮＯ」を入力し、ステップＳＴ８８に進む。
またもしも条件の変更を行う場合は、オペレータは「Ｙ
ＥＳ」を入力し、ステップＳＴ８６で新たに条件を設定
し、ステップＳＴ８７で新たな条件に従って不良部品デ
ータのソートを行った後、ステップＳＴ８８に進む。
尚、ステップＳＴ８６の内容はステップＳＴ８１と、ま
たステップＳＴ８７の内容はステップＳＴ８３とそれぞ
れ同じである。ただしステップ後述するステップＳＴ９
０から分岐して、ステップＳＴ８５、ステップＳＴ８６
を介してステップＳＴ８７の処理を行う場合は、既に修
正作業が完了した部品を除いてソートを実行する。
１において設定した条件の変更を行わない場合は、オペ
レータは「ＮＯ」を入力し、ステップＳＴ８８に進む。
またもしも条件の変更を行う場合は、オペレータは「Ｙ
ＥＳ」を入力し、ステップＳＴ８６で新たに条件を設定
し、ステップＳＴ８７で新たな条件に従って不良部品デ
ータのソートを行った後、ステップＳＴ８８に進む。
尚、ステップＳＴ８６の内容はステップＳＴ８１と、ま
たステップＳＴ８７の内容はステップＳＴ８３とそれぞ
れ同じである。ただしステップ後述するステップＳＴ９
０から分岐して、ステップＳＴ８５、ステップＳＴ８６
を介してステップＳＴ８７の処理を行う場合は、既に修
正作業が完了した部品を除いてソートを実行する。
【０１３９】ステップＳＴ８８で制御部５１は、Ｘ軸テ
ーブル部３およびＹ軸テーブル部４を動作させて、図１
８（ｂ）に示す撮像位置（撮像部１の直下）にソートし
た不良情報ファイルの一番目の不良部品を移動させ、撮
像部１で撮像したこの不良部品のカラー画像、不良コー
ド、修正作業内容、使用工具、およびイメージデータフ
ァイルから作成した基板上の部品レイアウト図（図１４
参照）からなる不良部品情報をモニター１０に表示させ
る。
ーブル部３およびＹ軸テーブル部４を動作させて、図１
８（ｂ）に示す撮像位置（撮像部１の直下）にソートし
た不良情報ファイルの一番目の不良部品を移動させ、撮
像部１で撮像したこの不良部品のカラー画像、不良コー
ド、修正作業内容、使用工具、およびイメージデータフ
ァイルから作成した基板上の部品レイアウト図（図１４
参照）からなる不良部品情報をモニター１０に表示させ
る。
【０１４０】図３４は図２７のステップＳＴ８８におけ
る不良部品情報表示画面である。同図において、３９は
撮像部１によって撮像された不良部品のカラー画像が表
示されるカメラ画面であり、４０はカメラ画面に表示さ
れている不良部品が基板上のどのあたりに位置するのか
を、部品レイアウト図を用いて表示するレイアウト画面
であり、カメラ画面に表示されている部品は他の不良部
品と区別して（例えば色を付けたり、矢印で示したりす
る）表示される。また４１はカメラ画面に表示されてい
る不良部品の部品名称を示し、４２はこの不良部品の不
良コードに対応する不良名称を示すものである。さらに
５９はこの不良部品の作業内容を示すものであり、６０
はこの不良部品の修正作業に使用する工具を示す。最後
に４３はコマンドメニューであり、図２７のステップＳ
Ｔ８９における修正作業時に、必要に応じて起動させる
ことができる。
る不良部品情報表示画面である。同図において、３９は
撮像部１によって撮像された不良部品のカラー画像が表
示されるカメラ画面であり、４０はカメラ画面に表示さ
れている不良部品が基板上のどのあたりに位置するのか
を、部品レイアウト図を用いて表示するレイアウト画面
であり、カメラ画面に表示されている部品は他の不良部
品と区別して（例えば色を付けたり、矢印で示したりす
る）表示される。また４１はカメラ画面に表示されてい
る不良部品の部品名称を示し、４２はこの不良部品の不
良コードに対応する不良名称を示すものである。さらに
５９はこの不良部品の作業内容を示すものであり、６０
はこの不良部品の修正作業に使用する工具を示す。最後
に４３はコマンドメニューであり、図２７のステップＳ
Ｔ８９における修正作業時に、必要に応じて起動させる
ことができる。
【０１４１】図２７に戻り、ステップＳＴ８９でオペレ
ータは不良部品情報表示画面を見ながら、修正作業を行
う。すなわち図２９に示すサブルーチンにおいて、ステ
ップＳＴ１１０でオペレータはモニター１０のカメラ画
面を見て不良状態を確認し、ステップＳＴ１１１でモニ
ター１０に表示されている不良部品情報が正しいと判断
すればステップＳＴ１１２に進み、不良部品情報が間違
っていたり、不良部位が存在しないと判断すればステッ
プＳＴ１１３で外観検査不良コード、不良コード、作業
内容、および使用工具の変更または取り消しを行い、ス
テップＳＴ１１３に進む。
ータは不良部品情報表示画面を見ながら、修正作業を行
う。すなわち図２９に示すサブルーチンにおいて、ステ
ップＳＴ１１０でオペレータはモニター１０のカメラ画
面を見て不良状態を確認し、ステップＳＴ１１１でモニ
ター１０に表示されている不良部品情報が正しいと判断
すればステップＳＴ１１２に進み、不良部品情報が間違
っていたり、不良部位が存在しないと判断すればステッ
プＳＴ１１３で外観検査不良コード、不良コード、作業
内容、および使用工具の変更または取り消しを行い、ス
テップＳＴ１１３に進む。
【０１４２】次にステップＳＴ１１３でオペレータはこ
の部品を修正するか否かを入力し、修正しない場合はス
テップＳＴ１２３に進み、修正する場合はステップＳＴ
１１４に進む。
の部品を修正するか否かを入力し、修正しない場合はス
テップＳＴ１２３に進み、修正する場合はステップＳＴ
１１４に進む。
【０１４３】ステップＳＴ１１４でオペレータは図１８
（ａ）に示す修正位置（搬入出位置）への基板の移動命
令を入力すると、ステップＳＴ１１５で制御部５１はモ
ニター１０のカメラ画面をフリーズ表示にして、ステッ
プＳＴ１１６で基板を修正位置に移動させる。
（ａ）に示す修正位置（搬入出位置）への基板の移動命
令を入力すると、ステップＳＴ１１５で制御部５１はモ
ニター１０のカメラ画面をフリーズ表示にして、ステッ
プＳＴ１１６で基板を修正位置に移動させる。
【０１４４】ステップＳＴ１１７でオペレータはモニタ
ー１０に表示されたレイアウト図を参照して、この不良
部品を探して修正した後、ステップＳＴ１１８で、図１
８（ｂ）に示す撮像位置への移動命令を入力すると、ス
テップＳＴ３０で制御部５１は基板を撮像位置に移動さ
せて再びこの部品を撮像し、ステップＳＴ１１９でカメ
ラ画面をスルー表示にしてこの部品のカラー画像を表示
させる。
ー１０に表示されたレイアウト図を参照して、この不良
部品を探して修正した後、ステップＳＴ１１８で、図１
８（ｂ）に示す撮像位置への移動命令を入力すると、ス
テップＳＴ３０で制御部５１は基板を撮像位置に移動さ
せて再びこの部品を撮像し、ステップＳＴ１１９でカメ
ラ画面をスルー表示にしてこの部品のカラー画像を表示
させる。
【０１４５】ステップＳＴ１２１でオペレータはカメラ
画面で修正部位を目視確認し、ステップＳＴ１２２で再
修正が必要か否かを入力する。「ＹＥＳ」の場合はステ
ップＳＴ１１４〜ＳＴ１２１を再度繰り返し、「ＮＯ」
の場合はステップＳＴ１２３に進む。
画面で修正部位を目視確認し、ステップＳＴ１２２で再
修正が必要か否かを入力する。「ＹＥＳ」の場合はステ
ップＳＴ１１４〜ＳＴ１２１を再度繰り返し、「ＮＯ」
の場合はステップＳＴ１２３に進む。
【０１４６】ステップＳＴ１２３でオペレータはこの部
品すなわち不良情報ファイルの一番目の不良部品の修正
作業が完了したことを入力して、図２７のステップＳＴ
９０に進む。
品すなわち不良情報ファイルの一番目の不良部品の修正
作業が完了したことを入力して、図２７のステップＳＴ
９０に進む。
【０１４７】ステップＳＴ９０で他に不良部品がある場
合には、ステップＳＴ８５に戻り、最初の不良部品と同
様にして、ステップＳＴ８５〜ＳＴ８９の処理を繰り返
し、ステップＳＴ９０で全ての不良部品の修正が完了し
たら、ステップＳＴ９１で制御部５１は編集作成した不
良情報ファイルおよびイメージデータファイルを外観検
査装置におけるものと別に、フロッピーディスクあるい
はＬＡＮのサーバに書き込む。ここで編集作成したファ
イルとは、不良部品データがソートされ、修正支援装置
における不良コード、作業内容、使用工具、および修正
作業済みであるかどうかのフラグが付加され、外観検査
において誤判定された不良部品のデータが修正された不
良情報ファイル、およびこの不良情報ファイルの内容に
従って修正されたイメージデータファイルを示す。
合には、ステップＳＴ８５に戻り、最初の不良部品と同
様にして、ステップＳＴ８５〜ＳＴ８９の処理を繰り返
し、ステップＳＴ９０で全ての不良部品の修正が完了し
たら、ステップＳＴ９１で制御部５１は編集作成した不
良情報ファイルおよびイメージデータファイルを外観検
査装置におけるものと別に、フロッピーディスクあるい
はＬＡＮのサーバに書き込む。ここで編集作成したファ
イルとは、不良部品データがソートされ、修正支援装置
における不良コード、作業内容、使用工具、および修正
作業済みであるかどうかのフラグが付加され、外観検査
において誤判定された不良部品のデータが修正された不
良情報ファイル、およびこの不良情報ファイルの内容に
従って修正されたイメージデータファイルを示す。
【０１４８】次にステップＳＴ９２でオペレータは基板
を搬入出位置に移動させる命令を入力して移動させ、こ
の基板を基板ステージ５から取り外し、ステップＳＴ９
３で次の基板の修正を行うか否かを入力する。「ＹＥ
Ｓ」が入力された場合はステップＳＴ８２に戻り前の基
板と同様の処理を行う。
を搬入出位置に移動させる命令を入力して移動させ、こ
の基板を基板ステージ５から取り外し、ステップＳＴ９
３で次の基板の修正を行うか否かを入力する。「ＹＥ
Ｓ」が入力された場合はステップＳＴ８２に戻り前の基
板と同様の処理を行う。
【０１４９】このように上記の第三実施例によれば、不
良部品データを作業内容によってソートし、このソート
順に従って不良部品の修正指示をオペレーターに与える
ことによって、同種の作業内容の不良部品が連続して指
示されるため、オペレータは修正工具をいちいち持ち変
える必要がなく、また修正作業時に作業内容および使用
工具をオペレーターに指示することによって、修正作業
に不慣れなオペレータでも間違った工具を使用したり、
工具の選択に迷うことがなく、修正作業を効率的に行う
ことができる。
良部品データを作業内容によってソートし、このソート
順に従って不良部品の修正指示をオペレーターに与える
ことによって、同種の作業内容の不良部品が連続して指
示されるため、オペレータは修正工具をいちいち持ち変
える必要がなく、また修正作業時に作業内容および使用
工具をオペレーターに指示することによって、修正作業
に不慣れなオペレータでも間違った工具を使用したり、
工具の選択に迷うことがなく、修正作業を効率的に行う
ことができる。
【０１５０】次に本発明の第四実施例について説明す
る。本発明の第四実施例の外観図は図１に示す第一実施
例のものと同じであるので、その説明を略す。
る。本発明の第四実施例の外観図は図１に示す第一実施
例のものと同じであるので、その説明を略す。
【０１５１】また本発明の第四実施例の全体構成図は図
２に示す本発明の第一実施例の全体構成図において、制
御部２３を制御部７１とし、メモリ１５をメモリ７２と
し、従って制御処理部２７を制御処理部７３としたもの
である。すなわち制御部とメモリー以外の構成は本発明
の第一実施例と同様である。
２に示す本発明の第一実施例の全体構成図において、制
御部２３を制御部７１とし、メモリ１５をメモリ７２と
し、従って制御処理部２７を制御処理部７３としたもの
である。すなわち制御部とメモリー以外の構成は本発明
の第一実施例と同様である。
【０１５２】メモリ７２は、本発明を動作させるための
プログラムを格納しており、制御部７１より送られる複
数の基板の不良情報ファイルなどの各種のデータを記憶
するものである。
プログラムを格納しており、制御部７１より送られる複
数の基板の不良情報ファイルなどの各種のデータを記憶
するものである。
【０１５３】制御部７１はマイクロプロセッサを有し、
メモリ７２より読み出したプログラムに従って、制御処
理部７３を構成する各部の統括制御、修正時間情報の作
成、不良部品情報の作成、各種の演算、複数の基板の不
良情報ファイルの読み出しおよび編集作成などを行うも
のである。
メモリ７２より読み出したプログラムに従って、制御処
理部７３を構成する各部の統括制御、修正時間情報の作
成、不良部品情報の作成、各種の演算、複数の基板の不
良情報ファイルの読み出しおよび編集作成などを行うも
のである。
【０１５４】次に図３５は本発明の第四実施例による修
正時間情報提供手順を示すフローチャートである。図３
６は図３５のステップＳＴ１３４のサブルーチンであ
り、検査結果一括読み出し手順を示すフローチャートで
ある。図３７は図３５のステップＳＴ１４０のサブルー
チンであり、修正作業手順を示すフローチャートであ
る。
正時間情報提供手順を示すフローチャートである。図３
６は図３５のステップＳＴ１３４のサブルーチンであ
り、検査結果一括読み出し手順を示すフローチャートで
ある。図３７は図３５のステップＳＴ１４０のサブルー
チンであり、修正作業手順を示すフローチャートであ
る。
【０１５５】図３５のステップＳＴ１３１で外観検査不
良コードを分類して修正支援装置独自の不良コードの設
定を行い（図１１参照）、各外観検査不良コードに対し
て、設定した不良コードを登録する（図１２参照）。
良コードを分類して修正支援装置独自の不良コードの設
定を行い（図１１参照）、各外観検査不良コードに対し
て、設定した不良コードを登録する（図１２参照）。
【０１５６】次にステップＳＴ１３２で、ステップＳＴ
１３１において設定した不良コード別に、修正作業時間
を登録する。この不良コード別修正作業時間とは、その
不良コードを付された不良部品の修正作業に要する時間
である。
１３１において設定した不良コード別に、修正作業時間
を登録する。この不良コード別修正作業時間とは、その
不良コードを付された不良部品の修正作業に要する時間
である。
【０１５７】さらにステップＳＴ１３３で１枚の基板の
全ての不良部品の修正に要する時間を総修正時間とし
て、総修正時間の上限値を設定する。この上限値は経済
面を考慮して決められる。例えば、総修正時間がこの値
を超えると基板を廃棄した方が低コストとなるような値
を設定する。
全ての不良部品の修正に要する時間を総修正時間とし
て、総修正時間の上限値を設定する。この上限値は経済
面を考慮して決められる。例えば、総修正時間がこの値
を超えると基板を廃棄した方が低コストとなるような値
を設定する。
【０１５８】図３８はステップＳＴ１３２における不良
コード別修正作業時間の設定、およびＳＴ１３３におけ
る総修正時間の上限値の設定画面である。
コード別修正作業時間の設定、およびＳＴ１３３におけ
る総修正時間の上限値の設定画面である。
【０１５９】図３５に戻り、ステップＳＴ１３４でこれ
から修正作業を行おうとする全基板の、外観検査におけ
る不良情報ファイルおよびイメージデータファイルを読
み出す。すなわち図３６に示すサブルーチンにおいて、
ステップＳＴ１５１で全被修正基板のＩＤナンバーを、
図１に示すバーコードリーダ６またはキーボード７を用
いてオペレータが入力すると、ステップＳＴ１５２で制
御部７１は入力された全ＩＤナンバーに対応する、不良
情報ファイルおよびイメージデータファイルをフロッピ
ーディスクあるいはＬＡＮのサーバから一括して読み出
し、メモリー７２に格納する。
から修正作業を行おうとする全基板の、外観検査におけ
る不良情報ファイルおよびイメージデータファイルを読
み出す。すなわち図３６に示すサブルーチンにおいて、
ステップＳＴ１５１で全被修正基板のＩＤナンバーを、
図１に示すバーコードリーダ６またはキーボード７を用
いてオペレータが入力すると、ステップＳＴ１５２で制
御部７１は入力された全ＩＤナンバーに対応する、不良
情報ファイルおよびイメージデータファイルをフロッピ
ーディスクあるいはＬＡＮのサーバから一括して読み出
し、メモリー７２に格納する。
【０１６０】図３５に戻り、ステップＳＴ１３５で制御
部７１は各基板の総修正時間を算出する。
部７１は各基板の総修正時間を算出する。
【０１６１】次にステップＳＴ１３６で基板を総修正時
間の短い順、あるいは長い順にソートし、ＳＴ１３７で
総修正時間が上限値を超える基板を抽出する。
間の短い順、あるいは長い順にソートし、ＳＴ１３７で
総修正時間が上限値を超える基板を抽出する。
【０１６２】ＳＴ１３８で総修正時間情報をモニター１
０に表示する。この総修正時間情報は、基板名またはＩ
Ｄナンバーを、総修正時間とともにソート順に表示し、
総修正時間が上限値を超える基板については上限値超過
警告記号を付したものである。図３９は総修正時間情報
の表示画面である。同図において基板は総修正時間の短
い順にソートされている。また７５の「▽」は上限値超
過警告記号である。７６は修正作業済か否かを示すもの
であり、「＊」は後述するステップＳＴ１４１から分岐
してステップＳＴ１３８の処理を行った場合に、既に修
正作業の済んだ基板に付される作業済記号であり、
「−」は未修正であることを示す記号である。
０に表示する。この総修正時間情報は、基板名またはＩ
Ｄナンバーを、総修正時間とともにソート順に表示し、
総修正時間が上限値を超える基板については上限値超過
警告記号を付したものである。図３９は総修正時間情報
の表示画面である。同図において基板は総修正時間の短
い順にソートされている。また７５の「▽」は上限値超
過警告記号である。７６は修正作業済か否かを示すもの
であり、「＊」は後述するステップＳＴ１４１から分岐
してステップＳＴ１３８の処理を行った場合に、既に修
正作業の済んだ基板に付される作業済記号であり、
「−」は未修正であることを示す記号である。
【０１６３】ステップＳＴ１３９で、オペレータは上記
の修正時間情報の表示画面を見て、これから修正作業を
行う基板を選択する。
の修正時間情報の表示画面を見て、これから修正作業を
行う基板を選択する。
【０１６４】ステップＳＴ１４０で、オペレータは選択
した基板の修正作業を行う。すなわち、図３７のステッ
プＳＴ１５３でオペレータは選択した被修正基板のＩＤ
ナンバーを入力する。
した基板の修正作業を行う。すなわち、図３７のステッ
プＳＴ１５３でオペレータは選択した被修正基板のＩＤ
ナンバーを入力する。
【０１６５】ステップＳＴ１５４で制御部７１はこの基
板の総修正時間が上限値以下かどうかをチェックし、も
しもオペレータの誤選択等によって、この基板が上限値
を超えるものだった場合は、ステップＳＴ１５５で上限
値超過のメッセージを表示し、この基板の修正作業を行
わない。
板の総修正時間が上限値以下かどうかをチェックし、も
しもオペレータの誤選択等によって、この基板が上限値
を超えるものだった場合は、ステップＳＴ１５５で上限
値超過のメッセージを表示し、この基板の修正作業を行
わない。
【０１６６】またステップＳＴ１５４で総修正時間が上
限値以下であることが確認された場合は、ステップＳＴ
１５５でオペレータは選択した基板を、図１に示す基板
ステージ５にセットする。
限値以下であることが確認された場合は、ステップＳＴ
１５５でオペレータは選択した基板を、図１に示す基板
ステージ５にセットする。
【０１６７】次にステップＳＴ１５６で不良情報ファイ
ルの不良部品データのソート条件を設定する。最初の基
板の修正作業を行う時は、ソート順序の登録をしなけれ
ばならないので、オペレータは「ＹＥＳ」を入力し、ス
テップＳＴ１５７で、ＳＴ１３１と同様にして不良コー
ドを登録し（図１２参照）、ステップＳＴ１５８で不良
コードによるソート順序を登録する（図１３参照）。ス
テップＳＴ１５９で制御部７１はステップＳＴ１５７お
よびＳＴ１５８における条件設定に従って、不良情報フ
ァイルの不良部品データのソートを実行して、ステップ
ＳＴ１６０に進む。尚、ＳＴ１３１における設定に変更
が無ければ、ステップＳＴ１５７では不良コードの登録
を行う必要はない。
ルの不良部品データのソート条件を設定する。最初の基
板の修正作業を行う時は、ソート順序の登録をしなけれ
ばならないので、オペレータは「ＹＥＳ」を入力し、ス
テップＳＴ１５７で、ＳＴ１３１と同様にして不良コー
ドを登録し（図１２参照）、ステップＳＴ１５８で不良
コードによるソート順序を登録する（図１３参照）。ス
テップＳＴ１５９で制御部７１はステップＳＴ１５７お
よびＳＴ１５８における条件設定に従って、不良情報フ
ァイルの不良部品データのソートを実行して、ステップ
ＳＴ１６０に進む。尚、ＳＴ１３１における設定に変更
が無ければ、ステップＳＴ１５７では不良コードの登録
を行う必要はない。
【０１６８】また既に何枚かの基板の修正作業を終了し
ており、あるいは後述するステップＳＴ１６２から分岐
してきて、ソート条件を変更する必要のないときは、ス
テップＳＴ１５６でオペレータは「ＮＯ」を入力し、ス
テップＳＴ１６０に進む。
ており、あるいは後述するステップＳＴ１６２から分岐
してきて、ソート条件を変更する必要のないときは、ス
テップＳＴ１５６でオペレータは「ＮＯ」を入力し、ス
テップＳＴ１６０に進む。
【０１６９】ステップＳＴ１６０で制御部７１はモニタ
ー１０に不良部品情報（図１５参照）を表示させる。
ー１０に不良部品情報（図１５参照）を表示させる。
【０１７０】ステップＳＴ１６１で、図９に示す第一実
施例の修正作業手順と同様の手順で修正作業を行う。
施例の修正作業手順と同様の手順で修正作業を行う。
【０１７１】そしてステップＳＴ１６２で、他に不良部
品がある場合には、ステップＳＴ１５６に戻り、最初の
不良部品と同様にして、ステップＳＴ１５７〜ＳＴ１６
１の処理を繰り返し、ステップＳＴ１６２で、全ての不
良部品の修正が完了したら、ステップＳＴ１６３で、制
御部７１は編集作成した不良情報ファイルおよびイメー
ジデータファイルを外観検査装置におけるものと別に、
フロッピーディスクあるいはＬＡＮのサーバに書き込
む。ここで編集作成したファイルとは、不良部品データ
がソートされ、修正支援装置における不良コードと修正
作業済みであるかどうかのフラグが付加され、外観検査
において誤判定された不良部品のデータが修正された不
良情報ファイル（図１６（ｃ）参照）、およびこの不良
情報ファイルの内容に従って修正されたイメージデータ
ファイルを示す。
品がある場合には、ステップＳＴ１５６に戻り、最初の
不良部品と同様にして、ステップＳＴ１５７〜ＳＴ１６
１の処理を繰り返し、ステップＳＴ１６２で、全ての不
良部品の修正が完了したら、ステップＳＴ１６３で、制
御部７１は編集作成した不良情報ファイルおよびイメー
ジデータファイルを外観検査装置におけるものと別に、
フロッピーディスクあるいはＬＡＮのサーバに書き込
む。ここで編集作成したファイルとは、不良部品データ
がソートされ、修正支援装置における不良コードと修正
作業済みであるかどうかのフラグが付加され、外観検査
において誤判定された不良部品のデータが修正された不
良情報ファイル（図１６（ｃ）参照）、およびこの不良
情報ファイルの内容に従って修正されたイメージデータ
ファイルを示す。
【０１７２】次にステップＳＴ１６４でオペレータは基
板を搬入出位置に移動させる命令を入力して移動させ、
この基板を基板ステージ５から取り外して、図３５のス
テップＳＴ１４１に進む。
板を搬入出位置に移動させる命令を入力して移動させ、
この基板を基板ステージ５から取り外して、図３５のス
テップＳＴ１４１に進む。
【０１７３】ＳＴ１４１で他の基板の修正を行うか否か
を入力する。「ＹＥＳ」が入力された場合はステップＳ
Ｔ１３８に戻り、オペレータはモニター１０に表示され
た総修正時間情報を見て、総修正時間が上限値以内であ
る未作業の基板の中から１枚を選択し、ステップＳＴ１
４１でこの基板の修正作業を行う。
を入力する。「ＹＥＳ」が入力された場合はステップＳ
Ｔ１３８に戻り、オペレータはモニター１０に表示され
た総修正時間情報を見て、総修正時間が上限値以内であ
る未作業の基板の中から１枚を選択し、ステップＳＴ１
４１でこの基板の修正作業を行う。
【０１７４】尚、不良部品データのソートは不良コード
によって行ったが、第三実施例のように作業内容によっ
て行うようにしてもよい。
によって行ったが、第三実施例のように作業内容によっ
て行うようにしてもよい。
【０１７５】また図３７のステップＳＴ１６１における
修正作業は、第二実施例のように光指示器を用いて行っ
てもよい。
修正作業は、第二実施例のように光指示器を用いて行っ
てもよい。
【０１７６】このように上記の第四実施例によれば、複
数の基板の不良情報ファイルを一括して読み出し、不良
コード別に修正作業時間を設定して、各基板の総修正作
業時間を算出し、この総修正作業時間が短い順、あるい
は長い順に、総修正作業時間とともに基板名を表示し、
この総修正作業時間が予め設定された上限値を超える基
板については、警告を発して修正作業から除外すること
によって、コスト面において効率的な修正作業を行うこ
とができる。
数の基板の不良情報ファイルを一括して読み出し、不良
コード別に修正作業時間を設定して、各基板の総修正作
業時間を算出し、この総修正作業時間が短い順、あるい
は長い順に、総修正作業時間とともに基板名を表示し、
この総修正作業時間が予め設定された上限値を超える基
板については、警告を発して修正作業から除外すること
によって、コスト面において効率的な修正作業を行うこ
とができる。
【０１７７】
【発明の効果】上記実施例より明らかなように本発明の
修正支援方法および装置によれば、不良部位データを不
良コード、あるいは修正作業内容によってソートし、こ
のソート順に従って、不良部品の修正指示をオペレータ
ーに与えることによって、同種の不良部品が連続して指
示されるため、オペレーターは修正工具をいちいち持ち
変える必要がなく、修正作業を効率的に行うことができ
るという優れた効果を有する。
修正支援方法および装置によれば、不良部位データを不
良コード、あるいは修正作業内容によってソートし、こ
のソート順に従って、不良部品の修正指示をオペレータ
ーに与えることによって、同種の不良部品が連続して指
示されるため、オペレーターは修正工具をいちいち持ち
変える必要がなく、修正作業を効率的に行うことができ
るという優れた効果を有する。
【０１７８】上記に加え、請求項４の修正支援方法およ
び請求項１５の修正支援装置によれば、実装基板上の修
正作業を行う不良部位をスポット光で指示することによ
って、オペレーターは実装基板上において、修正作業を
行う不良部位を探す必要がないため、修正作業を効率的
に行うことができるという効果を有する。
び請求項１５の修正支援装置によれば、実装基板上の修
正作業を行う不良部位をスポット光で指示することによ
って、オペレーターは実装基板上において、修正作業を
行う不良部位を探す必要がないため、修正作業を効率的
に行うことができるという効果を有する。
【０１７９】また上記に加え、請求項５の修正支援方法
および請求項１６の修正支援装置によれば、修正作業を
行う不良部位の修正作業内容および使用工具をオペレー
タに指示することによって、修正作業に不慣れなオペレ
ータでも間違った工具を使用したり、工具の選択に迷う
ことがなく、修正作業を効率的に行うことができるとい
う効果を有する。
および請求項１６の修正支援装置によれば、修正作業を
行う不良部位の修正作業内容および使用工具をオペレー
タに指示することによって、修正作業に不慣れなオペレ
ータでも間違った工具を使用したり、工具の選択に迷う
ことがなく、修正作業を効率的に行うことができるとい
う効果を有する。
【０１８０】さらに上記に加え、請求項１１の修正支援
方法および請求項２３の修正支援装置によれば、複数の
基板の不良部位データを一括して読み出し、不良コード
別に修正作業時間を設定して、各基板の総修正作業時間
を算出し、この総修正作業時間順に基板名を表示し、こ
の総修正作業時間が予め設定された上限値を超える基板
については、警告を発して修正作業から除外することに
よって、コスト面において効率的な修正作業を行うこと
ができるという効果を有する。
方法および請求項２３の修正支援装置によれば、複数の
基板の不良部位データを一括して読み出し、不良コード
別に修正作業時間を設定して、各基板の総修正作業時間
を算出し、この総修正作業時間順に基板名を表示し、こ
の総修正作業時間が予め設定された上限値を超える基板
については、警告を発して修正作業から除外することに
よって、コスト面において効率的な修正作業を行うこと
ができるという効果を有する。
【図１】本発明の第一実施例の外観図である。
【図２】本発明の第一実施例の修正支援装置の全体構成
図である。
図である。
【図３】投光部の三色光源の構成および原理を示す説明
図である。
図である。
【図４】本発明と外観検査装置とのシステム構成を示す
説明図である（フロッピーディスクによって検査結果を
供給する場合）。
説明図である（フロッピーディスクによって検査結果を
供給する場合）。
【図５】本発明と外観検査装置とのシステム構成を示す
説明図である（ＬＡＮによって検査結果を伝送する場
合）。
説明図である（ＬＡＮによって検査結果を伝送する場
合）。
【図６】本発明の第一実施例による修正支援手順を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図７】図６に示すフローチャートのサブルーチンであ
り、ソート条件設定手順を示すフローチャートである。
り、ソート条件設定手順を示すフローチャートである。
【図８】図６に示すフローチャートのサブルーチンであ
り、検査結果の読み出し手順を示すフローチャートであ
る。
り、検査結果の読み出し手順を示すフローチャートであ
る。
【図９】図６に示すフローチャートのサブルーチンであ
り、修正作業手順を示すフローチャートである。
り、修正作業手順を示すフローチャートである。
【図１０】ソート設定におけるモニター表示画面であ
る。
る。
【図１１】不良コード設定におけるモニター表示画面で
ある。
ある。
【図１２】不良コード変換設定におけるモニター表示画
面である。
面である。
【図１３】不良コードのソート順序設定におけるモニタ
ー表示画面である。
ー表示画面である。
【図１４】イメージデータファイルより作成した部品レ
イアウト図である。
イアウト図である。
【図１５】不良部品情報のモニター表示画面である。
【図１６】不良情報ファイルのデータ構成を示す説明図
である。 （ａ）不良コードによるソート実行前の不良情報ファイ
ルのデータ構成を示す説明図である。 （ｂ）不良コードによるソート実行後の不良情報ファイ
ルのデータ構成を示す説明図である。 （ｃ）修正作業実行中の不良情報ファイルのデータ構成
を示す説明図である。
である。 （ａ）不良コードによるソート実行前の不良情報ファイ
ルのデータ構成を示す説明図である。 （ｂ）不良コードによるソート実行後の不良情報ファイ
ルのデータ構成を示す説明図である。 （ｃ）修正作業実行中の不良情報ファイルのデータ構成
を示す説明図である。
【図１７】本発明の第二実施例の外観図である。
【図１８】本発明の第二実施例の上面図であり、Ｘ軸テ
ーブル部およびＹテーブル部の動作位置を示す説明図で
ある。 （ａ）基板の搬入出および不良部位の修正作業を行う搬
入出位置（修正位置）を示す説明図である。 （ｂ）不良部位を撮像する撮像位置を示す説明図であ
る。 （ｃ）不良部位をスポット光によって指示する光指示位
置を示す説明図である。
ーブル部およびＹテーブル部の動作位置を示す説明図で
ある。 （ａ）基板の搬入出および不良部位の修正作業を行う搬
入出位置（修正位置）を示す説明図である。 （ｂ）不良部位を撮像する撮像位置を示す説明図であ
る。 （ｃ）不良部位をスポット光によって指示する光指示位
置を示す説明図である。
【図１９】本発明の第二実施例の側面図である。
【図２０】光指示器の構造を示す断面図である。
【図２１】本発明の第二実施例による修正支援手順を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図２２】図２１に示すフローチャートのサブルーチン
であり、ソート条件設定手順を示すフローチャートであ
る。
であり、ソート条件設定手順を示すフローチャートであ
る。
【図２３】図２１に示すフローチャートのサブルーチン
であり、検査結果の読み出し手順を示すフローチャート
である。
であり、検査結果の読み出し手順を示すフローチャート
である。
【図２４】図２１に示すフローチャートのサブルーチン
であり、修正作業手順を示すフローチャートである。
であり、修正作業手順を示すフローチャートである。
【図２５】図２４に示すフローチャートのサブルーチン
であり、不良部位の修正処理手順を示すフローチャート
である。
であり、不良部位の修正処理手順を示すフローチャート
である。
【図２６】本発明の第三実施例の修正支援装置の全体構
成図である。
成図である。
【図２７】本発明の第三実施例による修正支援手順を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図２８】図２７に示すフローチャートのサブルーチン
であり、条件設定手順を示すフローチャートである。
であり、条件設定手順を示すフローチャートである。
【図２９】図２７に示すフローチャートのサブルーチン
であり、検査結果の読み出し手順を示すフローチャート
である。
であり、検査結果の読み出し手順を示すフローチャート
である。
【図３０】図２７に示すフローチャートのサブルーチン
であり、修正作業手順を示すフローチャートである。
であり、修正作業手順を示すフローチャートである。
【図３１】作業内容および使用工具の設定におけるモニ
ター表示画面である。
ター表示画面である。
【図３２】ソート方法の設定におけるモニター表示画面
である。
である。
【図３３】作業内容によるソート設定におけるモニター
表示画面である。
表示画面である。
【図３４】本発明の第三実施例における不良部品情報の
モニター表示画面である。
モニター表示画面である。
【図３５】本発明の第四実施例による修正時間情報提供
手順を示すフローチャートである。
手順を示すフローチャートである。
【図３６】図３５に示すフローチャートのサブルーチン
であり、検査結果一括読み出し手順を示すフローチャー
トである。
であり、検査結果一括読み出し手順を示すフローチャー
トである。
【図３７】図３５に示すフローチャートのサブルーチン
であり、修正支援手順を示すフローチャートである。
であり、修正支援手順を示すフローチャートである。
【図３８】不良コード別修正時間の設定におけるモニタ
ー表示画面である。
ー表示画面である。
【図３９】修正時間情報のモニター表示画面である。
【図４０】部品実装基板の製造工程を示すブロック図で
ある。
ある。
【図４１】外観検査装置における検査手順を示すフロー
チャートである。
チャートである。
【図４２】外観検査装置において作成された不良情報フ
ァイルのデータ構成を示す説明図である。
ァイルのデータ構成を示す説明図である。
【図４３】従来の修正支援装置の構成を示すブロック図
である。
である。
１ 撮像部 ２ 投光部 ３ Ｘ軸テーブル部 ４ Ｙ軸テーブル部 ５ 基板ステージ ６ バーコードリーダ ７ キーボード ８ マウス ９ 操作キーボード １０ モニター １１ コントローラ １２ フロッピーディスク装置 １３ ネットワークケーブル １４ 実装基板 １５、４８、５２、７２ メモリ １６、４７ 撮像・投光コントローラ １７ ＸＹテーブルコントローラ １８ ネットワーク入出力部 ２２ 入力部 ２３、４９、５１、７１ 制御部 ２７、５０、５３、７３ 制御処理部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久野 敦司 京都府京都市右京区花園土堂町10番地 オ ムロン株式会社内
Claims (23)
- 【請求項１】 検査工程で発見された部品実装基板の不
良部位の修正作業を支援する修正支援方法であって、 前記検査工程で作成された不良部位データを記憶手段に
記憶させるデータ記憶工程と、 前記不良部位データをデータ整列手段によって同種の不
良内容を有する不良部位データごとに整列させるデータ
整列工程と、 前記データ整列工程による不良部位データ整列順に、不
良部位の基板上の位置を指示手段によって指示する指示
工程とを有することを特徴とする修正支援方法。 - 【請求項２】 検査工程で発見された部品実装基板の不
良部位の修正作業を支援する修正支援方法であって、 前記検査工程で作成された不良部位データを記憶手段に
記憶させるデータ記憶工程と、 前記不良部位データをデータ整列手段によって同種の修
正作業内容を有する不良部位データごとに整列させるデ
ータ整列工程と、 前記データ整列工程による不良部位データ整列順に、不
良部位の基板上の位置を指示手段によって指示する指示
工程とを有することを特徴とする修正支援方法。 - 【請求項３】 前記指示工程は、前記データ整列工程に
よる不良部位データ整列順に、指示手段による画像表示
によって不良部位の基板上の位置を指示する指示工程で
ある請求項１または請求項２記載の修正支援方法。 - 【請求項４】 前記指示工程は、前記データ整列工程に
よる不良部位データ整列順に、不良部位の基板上の位置
を指示する指示位置に不良部位を位置決め手段によって
位置決めし、この不良部位への指示手段によるスポット
光照射によって不良部位の基板上の位置を指示する指示
工程である請求項１または請求項２記載の修正支援方
法。 - 【請求項５】 前記指示工程は、前記データ整列工程に
よる不良部位データ整列順に、指示手段によって、不良
部位の基板上の位置を指示するとともに、修正作業内容
および使用工具を指示する指示工程である請求項１また
は請求項２記載の修正支援方法。 - 【請求項６】 前記指示工程は、前記データ整列工程に
よる不良部位データ整列順に、指示手段による画像表示
によって不良部位の基板上の位置を指示するとともに、
修正作業内容および使用工具を指示手段によって指示す
る指示工程である請求項１または請求項２記載の修正支
援方法。 - 【請求項７】 前記指示工程は、前記データ整列工程に
よる不良部位データ整列順に、不良部位の基板上の位置
を指示する指示位置に不良部位を位置決め手段によって
位置決めし、この不良部位への指示手段によるスポット
光照射によって不良部位の基板上の位置を指示するとと
もに、修正作業内容および使用工具を指示手段によって
指示する指示工程である請求項１または請求項２記載の
修正支援方法。 - 【請求項８】 前記データ整列工程による不良部位デー
タ整列順に、不良部位を撮像位置に位置決め手段によっ
て位置決めし、この不良部位を撮像手段によって撮像し
て画像表示する撮像工程を、前記データ整列工程の次に
加えた請求項１ないし請求項７記載の修正支援方法。 - 【請求項９】 判定手段によって、前記記憶工程におい
て記憶手段に記憶された不良部位データから基板の総修
正時間を算出し、この総修正時間が予め設定された上限
値を越える場合に警告を発する判定工程を、前記記憶工
程の次に加えた請求項１ないし請求項８記載の修正支援
方法。 - 【請求項１０】 前記記憶工程は、複数の基板の不良部
位データを記憶手段に記憶させる記憶工程であり、 判定手段によって、前記複数の基板の不良部位データか
ら各基板ごとに総修正時間を算出し、この総修正時間が
少ない順に基板名を表示する判定工程を、前記記憶工程
の次に加えた請求項１ないし請求項８記載の修正支援方
法。 - 【請求項１１】 前記記憶工程は、複数の基板の不良部
位データを記憶手段に記憶させる記憶工程であり、 判定手段によって、前記複数の基板の不良部位データか
ら各基板ごとに総修正時間を算出し、この総修正時間が
少ない順に基板名を表示するとともに、この総修正時間
が予め設定された上限値を越える基板については警告を
発する判定工程を、前記記憶工程の次に加えた請求項１
ないし請求項８記載の修正支援方法。 - 【請求項１２】 検査装置による検査で発見された部品
実装基板の不良部位の修正作業を支援する修正支援方法
であって、 前記検査装置で作成された不良部位データを記憶する記
憶手段と、 前記不良部位データを同種の不良内容を有する不良部位
データごとに整列させるデータ整列手段と、 前記データ整列手段による不良部位データ整列順に不良
部位の基板上の位置を指示する指示手段とを具備するこ
とを特徴とする修正支援装置。 - 【請求項１３】 検査装置による検査で発見された部品
実装基板の不良部位の修正作業を支援する修正支援方法
であって、 前記検査装置で作成された不良部位データを記憶する記
憶手段と、 前記不良部位データを同種の修正作業内容を有する不良
部位データごとに整列させるデータ整列手段と、 前記データ整列手段による不良部位データ整列順に不良
部位の基板上の位置を指示する指示手段とを具備するこ
とを特徴とする修正支援装置。 - 【請求項１４】 前記指示手段は、前記データ整列手段
による不良部位データ整列順に画像表示によって不良部
位の基板上の位置を指示する指示手段である請求項１
２、または請求項１３記載の修正支援装置。 - 【請求項１５】 前記データ整列手段による不良部位デ
ータ整列順に、不良部位の基板上の位置を指示する指示
位置に、不良部位を位置決めする位置決め手段を加え、 前記指示手段は、前記指示位置に位置決めされた不良部
位をスポット光によって指示する指示手段である請求項
１２または請求項１３記載の修正支援装置。 - 【請求項１６】 前記指示手段は、前記データ整列手段
による不良部位データ整列順に、不良部位の基板上の位
置を指示するとともに、修正作業内容および使用工具を
指示する指示手段である請求項１２または請求項１３記
載の修正支援装置。 - 【請求項１７】 前記指示手段は、前記データ整列手段
による不良部位データ整列順に、画像表示によって不良
部位の基板上の位置を指示するとともに、修正作業内容
および使用工具を指示する指示手段である請求項１２ま
たは請求項１３記載の修正支援装置。 - 【請求項１８】 前記データ整列手段による不良部位デ
ータ整列順に、不良部位の基板上の位置を指示する指示
位置に、不良部位を位置決めする位置決め手段を加え、 前記指示手段は、前記指示位置に位置決めされた不良部
位をスポット光によって指示するとともに、修正作業内
容および使用工具を指示する指示手段である請求項１２
または請求項１３記載の修正支援装置。 - 【請求項１９】 前記データ整列手段による不良部位デ
ータ整列順に不良部位を撮像して画像表示する撮像手段
と、 前記データ整列手段による不良部位データ整列順に不良
部位を前記撮像手段の撮像位置に位置決めする位置決め
手段とを加えた請求項１２ないし１４、または請求項１
６ないし請求項１７記載の修正支援装置。 - 【請求項２０】 前記データ整列手段による不良部位デ
ータ整列順に不良部位を撮像して画像表示する撮像手段
を加え、 前記位置決め手段は、前記データ整列手段による不良部
位データ整列順に、不良部位を前記撮像手段の撮像位置
に位置決めするとともに、不良部位の基板上の位置を指
示する指示位置に、不良部位を位置決めする位置決め手
段である請求項１５または請求項１８記載の修正支援装
置。 - 【請求項２１】 前記記憶手段に格納された不良部位デ
ータから基板の総修正時間を算出し、この総修正時間が
予め設定された上限値を越える場合に警告を発する判定
手段を加えた請求項１２ないし請求項２０記載の修正支
援装置。 - 【請求項２２】 前記記憶手段は、検査装置で作成され
た複数の基板の不良部位データを記憶する記憶手段であ
り、 前記複数の基板の不良部位データから各基板ごとに総修
正時間を算出し、この総修正時間が少ない順に基板名を
表示する判定手段を加えた請求項１２ないし請求項２０
記載の修正支援装置。 - 【請求項２３】 前記記憶手段は、検査装置で作成され
た複数の基板の不良部位データを記憶する記憶手段であ
り、 前記複数の基板の不良部位データから各基板ごとに総修
正時間を算出し、この総修正時間が少ない順に基板名を
表示するとともに、この総修正時間が予め設定された上
限値を越える基板については警告を発する判定手段を加
えた請求項１２ないし請求項２０記載の修正支援装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10916995A JP3273401B2 (ja) | 1995-01-17 | 1995-04-11 | 修正支援方法および装置 |
| TW085100466A TW348367B (en) | 1995-01-17 | 1996-01-16 | Assisting method and an assisting apparatus for performing the correcting operation |
| KR1019960000767A KR100215945B1 (ko) | 1995-01-17 | 1996-01-17 | 수정 지원 방법 및 장치 |
| US08/587,942 US5831854A (en) | 1995-01-17 | 1996-01-17 | Method and device for supporting the repair of defective substrates |
| EP96100611A EP0723390B1 (en) | 1995-01-17 | 1996-01-17 | Method and device to support in the repair of defective substrates |
| DE69624852T DE69624852T2 (de) | 1995-01-17 | 1996-01-17 | Verfahren und Vorrichtung zur Unterstützung der Reparatur von defekten Substraten |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2224795 | 1995-01-17 | ||
| JP7-22247 | 1995-01-17 | ||
| JP10916995A JP3273401B2 (ja) | 1995-01-17 | 1995-04-11 | 修正支援方法および装置 |
Publications (2)
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