JPH08255715A - 積層チップインダクタ及びその製造方法 - Google Patents

積層チップインダクタ及びその製造方法

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JPH08255715A
JPH08255715A JP5934795A JP5934795A JPH08255715A JP H08255715 A JPH08255715 A JP H08255715A JP 5934795 A JP5934795 A JP 5934795A JP 5934795 A JP5934795 A JP 5934795A JP H08255715 A JPH08255715 A JP H08255715A
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JP
Japan
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conductive pattern
inductor
capacitor
magnetic
electrically connected
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Pending
Application number
JP5934795A
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English (en)
Inventor
Hisashi Katsurada
寿 桂田
Hiroyuki Takeuchi
宏幸 竹内
Motoi Nishii
基 西井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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  • Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】外部電極に導通されるキャパシタ用導電パター
ンを設け、磁性体シートを介してインダクタ用導電パタ
ーンに対向してキャパシタを構成することにより、高周
波領域における誘導リアクタンス成分を低周波側で減衰
させ、リンギングが少なく、かつ共振周波数において所
望のインピーダンスを得ることができる積層チップイン
ダクタを提供する。 【構成】線状のインダクタ用導電パターンが形成された
磁性体シートが複数枚積層された積層体の内部にインダ
クタンス成分が構成されるとともに、キャパシタ用導電
パターンが構成されており、キャパシタ用導電パターン
は、磁性体シートを介して他のインダクタ用導電パター
ンと略重なるように、磁性体シートの端部から他方に向
かって形成されており、積層体の両端部に形成された外
部電極に、インダクタンス成分の両端部がそれぞれ電気
的に接続されるとともに、キャパシタ用導電パターンの
端部が電気的に接続されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、キャパシタ用導電パタ
ーンを備えた積層チップインダクタ及びその製造方法に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の積層チップインダクタについて、
図6〜図8を参照して詳細に説明する。積層チップイン
ダクタは、磁性体シート1〜7が上から順に積層された
インダクタ素子8に、外部電極9a,9bがその両端部
に形成されたものである。
【0003】磁性体シート1〜7は、セラミック原料と
して、例えばNi,Zn,Cu系フェライトを主成分と
する酸化物磁性体粉とバインダーを混合して得られるセ
ラミックスラリーをフィルムの表面に均一に塗布、乾燥
後、フィルムから剥離して、所定の形状に切断すること
により得られる。このうち、磁性体シート1,7は、導
電パターンが形成されていないダミーのシートである。
磁性体シート2〜5には、所定の位置に貫通孔2h,3
h,4h,5hをそれぞれ設けるとともに一面にスクリ
ーン印刷等でインダクタ用導電パターン12,13,1
4,15がそれぞれ形成される。磁性体シート6には、
インダクタ用導電パターン16が形成される。
【0004】次に、磁性体シート2〜6に形成されるイ
ンダクタ用導電パターン12〜16について説明する。
インダクタ用導電パターン12は、磁性体シート2の一
面に縁部電極12aおよび縁部電極12aから伸びて略
逆L字状に形成される内部電極12bから構成される。
インダクタ用導電パターン13〜15は、磁性体シート
3〜5の一面の内方に、略逆L字状に形成される。イン
ダクタ用導電パターン16は、磁性体シート6の一面に
縁部電極16aおよび縁部電極16aから伸びて略I字
状に形成される内部電極16bから構成される。
【0005】上述した磁性体シート1〜7が順に積層さ
れ、一体化され、焼成されることによってインダクタ素
子8が得られる。この際、インダクタ用導電パターン1
2〜16は貫通孔2h〜5hを介してそれぞれ導通(図
6に導通箇所を破線で記す)される結果、このインダク
タ素子8では略2.5ターンのコイルからなるインダク
タンス成分が構成される。次に、インダクタ素子8の両
端部に外部電極9a,9bが形成され、外部電極9a,
9bに縁部電極12aおよび縁部電極16aがそれぞれ
電気的に接続されて、積層チップインダクタが構成され
る。
【0006】かかる構成の積層チップインダクタは、イ
ンダクタンス成分が有する固有の、誘導リアクタンス成
分,抵抗成分および分布容量である第1の静電容量成
分、の合成からなるインピーダンスを有し、このインピ
ーダンスの周波数特性によって所望のノイズが除去でき
る。
【0007】図8に積層チップインダクタの周波数特性
を示す。Wが、積層チップインダクタのインピーダンス
を示し、XL が誘導リアクタンス,Rが抵抗を示す。積
層チップインダクタの共振点f0 (共振周波数)におい
て、そのインピーダンスが最大となり、最大値は抵抗R
と同一になる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、かかる
構成の積層チップインダクタにおいて、誘導リアクタン
ス成分XL が高周波領域まで伸び過ぎると信号にリンギ
ング(波形歪み)が発生するという問題点を有してい
た。この問題点の解決には誘導リアクタンス成分X L
より低周波側で減衰させればよく、その方策としてイン
ダクタンスを大きくする方法が知られており、磁性体シ
ート1〜7の透磁率を高くするか、またはコイルのター
ン数を増加させればよい。しかし、透磁率のみを高くし
て対応する場合、インダクタンスの増加とともに低周波
側での抵抗成分Rが増大し、それによって信号のなまり
が発生する可能性があった。また、磁性体シート1〜7
の透磁率を一定にして、コイルのターン数を増加させて
対応する場合、インダクタ用導電パターンが形成された
磁性体シートの積層数を増加させる必要があり、それに
ともなってインダクタ用導電パターン間に生じる分布容
量即ち第1の静電容量値が増加する。つまり、第1の静
電容量値が大きくなるため、積層チップインダクタの誘
導リアクタンスが低周波側で減衰し、共振点f0 が低周
波側にシフトし、その結果、抵抗成分Rが高周波側で低
下し、所望のインピーダンスが得られないという別の問
題点を有していた。
【0009】さらに、インダクタ素子8を構成するセラ
ミックの焼結粒径及びセラミックの内部応力によりコイ
ルのインダクタンスおよび抵抗成分Rが大きくばらつ
き、その結果として共振点f0 におけるインピーダンス
が大きくばらつくという別の問題点も有していた。
【0010】本発明の目的は、上述の問題点を解消すべ
くなされたもので、積層チップインダクタの外部電極に
導通されるキャパシタ用導電パターンを設け、磁性体シ
ートを介してインダクタ用導電パターンに対向してキャ
パシタンス成分を構成することにより、高周波領域にお
ける誘導リアクタンス成分XL を低周波側で減衰させる
ことによって、リンギングを少なくし、かつ共振周波数
において所望のインピーダンスを得ることができる積層
チップインダクタを提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の積層チップインダクタにおいては、線状の
インダクタ用導電パターンが形成された磁性体シートが
複数枚積層された積層体の内部に、前記インダクタ用導
電パターンが前記磁性体シートを介して順次電気的に接
続されてインダクタンス成分が構成されるとともに、該
インダクタンス成分の一部とキャパシタンス成分が電気
的に並列接続されるようにキャパシタ用導電パターンが
構成されており、該キャパシタ用導電パターンは、前記
磁性体シートに形成された前記インダクタ用導電パター
ンとは絶縁されるとともに、前記磁性体シートを介して
他のインダクタ用導電パターンと略重なるように、前記
磁性体シートの端部から他方に向かって形成されてお
り、前記積層体の両端部に形成された外部電極に、前記
インダクタンス成分の両端部がそれぞれ電気的に接続さ
れるとともに、前記キャパシタ用導電パターンの端部が
電気的に接続されていることを特徴とする。
【0012】また、前記キャパシタ用導電パターンが前
記インダクタ用導電パターンと略同形状であることを特
徴とする。
【0013】上記目的を達成するために、本発明の積層
チップインダクタの製造方法においては、磁性体シート
を準備し、該磁性体シートの所定の位置に貫通孔を形成
し、前記磁性体シートの一面に線状のインダクタ用導電
パターンを形成するとともに、該インダクタ用導電パタ
ーンとは絶縁され、前記磁性体シートの端部から他方に
向かってキャパシタ用導電パターンを形成し、前記磁性
体シートを複数枚積層することにより、インダクタンス
成分を構成するように前記インダクタ用導電パターンは
磁性体シートに形成した前記貫通孔を介して順次電気的
に接続し、前記キャパシタ用導電パターンはキャパシタ
ンス成分を構成するように前記磁性体シートを介して他
のインダクタ用導電パターンと略重なるように積層体と
し、該積層体を焼結して得られる積層焼結体の両端部に
外部電極を形成して、前記インダクタンス成分の両端部
を外部電極にそれぞれ電気的に接続するとともに、前記
キャパシタ用導電パターンの端部を外部電極に電気的に
接続することを特徴とする。
【0014】また、前記キャパシタ用導電パターンが前
記インダクタ用導電パターンと略同形状であることを特
徴とする。
【0015】
【作用】本発明では、上述のように構成することによ
り、キャパシタ用導電パターンが磁性体シートを介して
インダクタ用導電パターンに対向してキャパシタンス成
分が構成され、このキャパシタンス成分を所定の静電容
量値に設定することによって誘導リアクタンス成分XL
の減衰周波数を規制することができる。
【0016】
【実施例】本発明による第1実施例について、図1〜図
4にもとづいて詳細に説明する。積層チップインダクタ
は、磁性体シート21〜27が上から順に積層されたイ
ンダクタ素子28に、外部電極29a,29bがその両
端部に形成されたものである。
【0017】磁性体シート21〜27は、セラミック原
料として、例えばNi,Zn,Cu系フェライトを主成
分とする酸化物磁性体粉とバインダーを混合して得られ
るセラミックスラリーをフィルムの表面に均一に塗布、
乾燥後、フィルムから剥離して、所定の形状に切断する
ことにより得られる。このうち、磁性体シート21,2
7は、導電パターンが形成されていないダミーのシート
である。磁性体シート22には、所定の位置に貫通孔2
2hを設けるとともに、一面にスクリーン印刷等でイン
ダクタ用導電パターン32が形成される。磁性体シート
23〜26には、所定の位置に貫通孔23h,24h,
25hをそれぞれ設けるとともに、一面にスクリーン印
刷等でインダクタ用導電パターン33,34,35,3
6がそれぞれ形成されるとともに、キャパシタ用導電パ
ターン43,44,45,46がそれぞれ形成される。
【0018】次に、磁性体シート23〜26に形成され
るキャパシタ用導電パターン43〜46について説明す
る。キャパシタ用導電パターン43は、磁性体シート2
3の一面に一方の外部電極29aに導通される縁部電極
43aおよび縁部電極43aから伸びて略I字状に形成
される内部電極43bから構成される。この際、インダ
クタ用導電パターン33とキャパシタ用導電パターン4
3とは、点対称の略同形状であるとともに、互いに絶縁
されている。そして、このキャパシタ用導電パターン4
3は、その内部電極43bが、磁性体シート22,23
を介して、インダクタ用導電パターン32,34に対向
してキャパシタンス成分を構成する。このキャパシタ用
導電パターン43と同様に、キャパシタ用導電パターン
44〜46は、それぞれ磁性体シート24〜26の一面
に形成され、それぞれキャパシタンス成分を構成する。
但し、縁部電極44a〜46aについては、図1の向側
と手前側とに交互に形成される。
【0019】なお、インダクタ用導電パターン32〜3
6は従来例で説明したインダクタ用導電パターン12〜
16と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【0020】インダクタ素子28は、上述した磁性体シ
ート21〜27が順に積層され、一体化され、焼成され
ることによって得られる。この際、インダクタ用導電パ
ターン32〜35の一端とインダクタ用導電パターン3
3〜36の他端とが貫通孔22h〜25hを介してそれ
ぞれ導通(図1に導通箇所を破線で記す)される結果、
このインダクタ素子28では略2.5ターンのコイルか
らなるインダクタンス成分が構成される。そして、この
巻回するインダクタ用導電パターン32〜36に、磁性
体シート22〜25を介してキャパシタ用導電パターン
43〜46が対向して、キャパシタンス成分が構成され
る。
【0021】次に、インダクタ素子28の両端部に外部
電極29a,29bが設けられ、外部電極29a,29
bに、縁部電極32a,縁部電極36aがそれぞれ電気
的に接続されるとともに、縁部電極43a〜46aがそ
れぞれ交互に電気的に接続されて積層チップインダクタ
が構成される。
【0022】したがって、本発明による積層チップイン
ダクタの製造方法では、例えば、インダクタ用導電パタ
ーン33およびキャパシタ用導電パターン43を、一枚
の印刷用スクリーンに形成しておくことにより、両導電
パターン33および43を同時に印刷形成することがで
きる。同様に、両導電パターン34および44,両導電
パターン35および45、並びに、両導電パターン36
および46をそれぞれ同時に印刷形成することができ
る。
【0023】更には、大きな一枚の印刷用スクリーンに
複数の両導電パターン33および43を形成しておき、
大きな磁性体シートの上に両導電パターン33および4
3を同時に複数印刷形成することができる。同様に、大
きな磁性体シートにそれぞれの両導電パターン34およ
び44,両導電パターン35および45、並びに、両導
電パターン36および46をそれぞれ同時に複数印刷形
成することができる。そして、大きな各磁性体シートを
図1に示すように積層して、磁性体シート21〜27に
相当する所定の形状に切断して、図1に示す積層体とす
ればよい。
【0024】かかる構成の積層チップインダクタの模式
的な等価回路は、図3(a)に示すように、インダクタ
ンス成分Lの一部と並列に接続される複数のキャパシタ
ンス成分(C1 〜C4 )から構成される。また、積層チ
ップインダクタの共振点における等価回路は、図3
(b)に示すように、インダクタンスLと並列に接続さ
れる第2の静電容量(キャパシタンス成分(C1
4 )と分布容量との合成)Cおよび抵抗Rから構成さ
れる。
【0025】この積層チップインダクタは、インダクタ
ンス成分が有する固有の、誘導リアクタンス成分,抵抗
成分、および、分布容量にキャパシタンス成分を加えた
第2の静電容量成分、の合成からなるインピーダンスを
有し、このインピーダンスの周波数特性によって所望の
ノイズが除去できる。
【0026】図4に、第1実施例の積層チップインダク
タの誘導リアクタンスXL ,抵抗R、および、インピー
ダンスの周波数特性W1を実線で示す。なお、同図に、
図8に示した従来例のインピーダンスの周波数特性Wを
破線で示す。第1実施例と従来例の積層チップインダク
タは、インダクタンスが同一であり、第1実施例の第2
の静電容量値が従来例の第1の静電容量値より大きいも
のである。
【0027】図4からわかるように、第1実施例の積層
チップインダクタの誘導リアクタンスXL が従来例より
低周波側で減衰する。つまり、第1実施例の第2の静電
容量値が従来例の第1の静電容量値より大きいことによ
り、第1実施例の積層チップインダクタの共振点f0
従来例より低周波側になるとともに、共振点f0 におけ
るインピーダンスも小さくなる。また、第1実施例の積
層チップインダクタの誘導リアクタンスXL の減衰周波
数Sおよび誘導リアクタンスXL と抵抗Rとのクロスポ
イントP、つまり、誘導リアクタンスXL と抵抗Rの値
が同じになる周波数も従来例より低周波側になる。
【0028】次に、本発明による第2実施例について、
図5にもとづいて詳細に説明する。但し、前述の第1実
施例と同一部分については、同一の符号を付し、詳細な
説明を省略するとともに、図1を援用して説明する。
【0029】第2実施例の積層チップインダクタは、第
1実施例と比較して、コイルのターン数を増加させてイ
ンダクタンスを大きくするとともに、第2の静電容量値
を小さくすることに特徴がある。
【0030】つまり、積層チップインダクタは第1実施
例に用いた例えば磁性体シート23,24を追加積層す
ることによってコイルのターン数を増加させてインダク
タンスを大きくする。具体的には、インダクタ素子(図
示せず)は磁性体シート21,22,23,24,2
3,24,25,26,27が順に積層され、一体化さ
れ、焼成されることによって得られる。このインダクタ
素子に外部電極を形成して積層チップインダクタ(図示
せず)が得られる。この例の積層チップインダクタでは
略3.5ターンのコイルからなるインダクタンス成分が
構成される。なお、この際、第2実施例の第2の静電容
量値を第1実施例の第2の静電容量値より小さくするた
め、所定容量に応じて、磁性体シート23,24,23
〜26に形成されるべきキャパシタ用導電パターン4
3,44,43〜46のいずれかのパターンの削除また
は/およびキャパシタ用導電パターン43,44,43
〜46の面積を削減する。
【0031】かかる構成の積層チップインダクタのイン
ピーダンスの周波数特性W2を図5に実線で示す。な
お、同図に、図4に示した第1実施例のインピーダンス
の周波数特性W1を破線で示す。つまり、第2実施例の
積層チップインダクタは第1実施例よりインダクタンス
が大きく、第2実施例の第2の静電容量値が第1実施例
の第2の静電容量値より所定容量小さいものである。
【0032】図5からわかるように、第2実施例のイン
ピーダンスの周波数特性W2は第1実施例のインピーダ
ンスの周波数特性W1より各周波数におけるインピーダ
ンスが大きい、即ち、Y軸方向のプラス側に略平行移動
したものである。
【0033】つまり、第2実施例の積層チップインダク
タの共振点f0 は第1実施例と略同一であり、第2実施
例の共振点f0 におけるインピーダンスは第1実施例よ
り大きい。したがって、同じ透磁率の磁性体シートを用
いて、例えば、コイルのターン数を増減させてインダク
タンスが異なる種々の積層チップインダクタを構成して
も、その内部に構成されるキャパシタンス成分である第
2の静電容量値を調整することにより、共振点f0 を同
じにすることができる。
【0034】なお、本発明にかかる積層チップインダク
タは上述の実施例に限定されるものでなく、ダミーの磁
性体シート21,27およびインダクタ用導電パターン
が形成された磁性体シート23〜25の積層数は適宜増
減することが可能であることは説明するまでもない。ま
た、コイルの巻回方向およびインダクタ用導電パターン
の形状は略逆L字状に限定されるものでなく、インダク
タ用導電パターンが形成された磁性体シート22〜26
を積層することにより、コイルを構成するものであれば
よい。
【0035】
【発明の効果】以上述べたように、本発明による積層チ
ップインダクタでは、次のような効果がある。 1.キャパシタ用導電パターンを形成して、積層チップ
インダクタの静電容量を増加させることによって、誘導
リアクタンスが減衰する周波数を低周波側に調整でき、
出力信号波形のリンギングを抑えることができる。
【0036】2.セラミックの焼結粒径及びセラミック
の内部応力のばらつきによりインダクタンスおよび抵抗
が大きくばらつくのに対して、セラミックの焼結粒径及
びセラミックの内部応力のばらつきが大きくても、ばら
つきが小さい静電容量でもって積層チップインダクタの
インピーダンス特性を規制するため、共振周波数におけ
るインピーダンスのばらつきを小さくすることができ
る。
【0037】3.キャパシタ用導電パターンをインダク
タを構成するコイルの巻回間に形成してあるため、キャ
パシタ用導電パターンによってコイルに発生する磁束を
遮ることがなく、インダクタンスが低下しない。 4.キャパシタ用導電パターンの形成数および面積の大
きさを変えて、積層チップインダクタの静電容量を所望
の静電容量値に設定できるため、誘導リアクタンスの減
衰周波数を任意に設定することができる。また、同一の
共振周波数を有し、その共振点におけるインピーダンス
を任意に設定することができる。
【0038】5.本発明による積層チップインダクタ
は、一枚の磁性体シートの一面にインダクタ用導電パタ
ーンおよびキャパシタ用導電パターンを形成して構成で
きる。つまり、インダクタ用導電パターンによって構成
されるコイルの間に磁性体シートを介してキャパシタ用
導電パターンが形成されているため、積層チップインダ
クタの大きさ(厚さ)の増加もなくキャパシタンス成分
を構成できる。
【0039】また、本発明による積層チップインダクタ
の製造方法では、次のような効果がある。 6.キャパシタ用導電パターンが形成されない従来の積
層チップインダクタの製造方法と同じ工程で、積層チッ
プインダクタにキャパシタンス成分を形成することがで
きるため、積層チップインダクタにキャパシタ用導電パ
ターンを形成しても製造工数が増加することなく、容易
である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る第1実施例の積層チップインダク
タの分解斜視図である。
【図2】図1の積層チップインダクタの斜視図である。
【図3】(a)第1実施例の積層チップインダクタの等
価回路図である。 (b)第1実施例の積層チップインダクタの共振時にお
ける等価回路図である。
【図4】第1実施例の積層チップインダクタのインピー
ダンス特性を示すグラフである。
【図5】本発明に係る第2実施例の積層チップインダク
タのインピーダンス特性を示すグラフである。
【図6】従来の積層チップインダクタの斜視図である。
【図7】図6の分解斜視図である。
【図8】従来の積層チップインダクタのインピーダンス
特性を示すグラフである。
【符号の説明】
21〜27 磁性体シート 29a,29b 外部電極 32〜36 インダクタ用導電パターン 22h〜25h 貫通孔 43〜46 キャパシタ用導電パターン

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 線状のインダクタ用導電パターンが形成
    された磁性体シートが複数枚積層された積層体の内部
    に、前記インダクタ用導電パターンが前記磁性体シート
    を介して順次電気的に接続されてインダクタンス成分が
    構成されるとともに、該インダクタンス成分の一部とキ
    ャパシタンス成分が電気的に並列接続されるようにキャ
    パシタ用導電パターンが構成されており、 該キャパシタ用導電パターンは、前記磁性体シートに形
    成された前記インダクタ用導電パターンとは絶縁される
    とともに、前記磁性体シートを介して他のインダクタ用
    導電パターンと略重なるように、前記磁性体シートの端
    部から他方に向かって形成されており、 前記積層体の両端部に形成された外部電極に、前記イン
    ダクタンス成分の両端部がそれぞれ電気的に接続される
    とともに、前記キャパシタ用導電パターンの端部が電気
    的に接続されていることを特徴とする積層チップインダ
    クタ。
  2. 【請求項2】 前記キャパシタ用導電パターンが前記磁
    性体シートを介して対向する前記インダクタ用導電パタ
    ーンと略同形状であることを特徴とする請求項1に記載
    の積層チップインダクタ。
  3. 【請求項3】 磁性体シートを準備し、 該磁性体シートの所定の位置に貫通孔を形成し、 前記磁性体シートの一面に線状のインダクタ用導電パタ
    ーンを形成するとともに、該インダクタ用導電パターン
    とは絶縁され、前記磁性体シートの端部から他方に向か
    ってキャパシタ用導電パターンを形成し、 前記磁性体シートを複数枚積層することにより、インダ
    クタンス成分を構成するように前記インダクタ用導電パ
    ターンは磁性体シートに形成した前記貫通孔を介して順
    次電気的に接続し、前記キャパシタ用導電パターンはキ
    ャパシタンス成分を構成するように前記磁性体シートを
    介して他のインダクタ用導電パターンと略重なるように
    積層体とし、 該積層体を焼結して得られる積層焼結体の両端部に外部
    電極を形成して、前記インダクタンス成分の両端部を外
    部電極にそれぞれ電気的に接続するとともに、前記キャ
    パシタ用導電パターンの端部を外部電極に電気的に接続
    することを特徴とする積層チップインダクタの製造方
    法。
  4. 【請求項4】 前記キャパシタ用導電パターンが前記磁
    性体シートを介して対向する前記インダクタ用導電パタ
    ーンと略同形状であることを特徴とする請求項3に記載
    の積層チップインダクタの製造方法。
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