JPH08253880A - 鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液 - Google Patents

鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液

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JPH08253880A JP8344495A JP8344495A JPH08253880A JP H08253880 A JPH08253880 A JP H08253880A JP 8344495 A JP8344495 A JP 8344495A JP 8344495 A JP8344495 A JP 8344495A JP H08253880 A JPH08253880 A JP H08253880A
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新平 橋本
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英子 大橋
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 浴組成の管理が容易で、しかも有効成分の補
充を行わなくても処理能力の大きい鉄−ニッケル合金の
化学的溶解処理液を提供する。また、処理後の鉄−ニッ
ケル合金表面にムラや孔食が発生せず良好な仕上がりが
得られる鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液を提供す
る。 【構成】 過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、及び
硫酸を含有する酸性溶液と、安定剤と、場合により脂肪
族アミンとを含有する鉄−ニッケル合金の化学的溶解処
理液である。安定剤は、スルファル酸及び/又はスルフ
ァニルアミド、あるいはサリチル酸、安息香酸、ベンズ
アルデヒド、及びベンゼンスルホン酸からなる群から選
ばれた少なくとも1種である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、浴組成の管理が容易で
高品質の仕上がりが得られる鉄−ニッケル合金の化学的
溶解処理液に関する。
【0002】
【従来の技術】鉄−ニッケル合金は集積回路等の電子部
品の材料として利用されているが、素材から製品への加
工の段階において、プレスや切断などによりバリやスケ
ール等が発生する。これらは、その後のメッキ工程等に
悪影響を与えるため、一般的には化学的な手段で溶解処
理される。鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液とし
て、氷酢酸−硝酸−塩酸浴、硝酸−フッ酸浴などが用い
られてきたが、これらの溶解処理液は、処理時に有毒な
NOX ガス、塩化水素ガス、フッ化水素ガス等を発生す
るため、環境面及び安全衛生面において好ましくなく、
過酸化水素を酸化剤として用いる溶解処理液に代替され
てきている。
【0003】過酸化水素を用いる溶解処理液としては、
過酸化水素−塩酸(特開昭54−100940号公
報)、過酸化水素−フッ酸−硝酸(特開昭51−918
39号公報)、過酸化水素−シュウ酸−硫酸、過酸化水
素−フッ化水素アンモニウム(特公昭59−2748号
公報)、過酸化水素−フッ化水素アンモニウム−硫酸な
どが知られているが、現在、最も広く使用されているも
のは、過酸化水素、フッ化水素アンモニウム及び硫酸を
基本成分とするものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この溶
解処理液は、鉄−ニッケル合金に対して同一浴で長時間
使用すると、溶解金属濃度が増加するにつれて、(1)
鉄−ニッケル合金の溶解速度が極端に低下する、(2)
過酸化水素の安定性が著しく低下する等の欠点があるた
め、鉄−ニッケル合金溶解処理能力(以下、「処理能
力」という。)の小さいものである(図1及び図2参
照)。これらの欠点を補うために、有効成分の補充を頻
繁に行って、浴の組成があまり変動しないように管理す
る方法が提案されているが、補充による浴組成の管理は
大変面倒であり、また処理装置も大掛かりになる。その
ため、浴組成の管理が不要で、しかも処理能力の大きい
溶解処理液が求められている。
【0005】本発明の目的の一つは、浴組成の管理が容
易で、しかも有効成分の補充を行わなくても処理能力の
大きい鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液を提供する
ことにあり、もう一つの目的は、処理後の鉄−ニッケル
合金表面にムラや孔食が発生せず良好な仕上がりが得ら
れる鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液を提供するこ
とにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、過酸化水
素、フッ化水素アンモニウム、及び硫酸を基本成分とす
る溶解処理液において、ある特定の化合物を添加するこ
とによって、処理能力及び過酸化水素の安定性が改善さ
れると共に鉄−ニッケル合金表面でのムラや孔食の発生
が防止されて、前記目的が達成されることを見出し、本
発明を完成するに至った。
【0007】即ち、本発明は、過酸化水素、フッ化水素
アンモニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液と、スルフ
ァニル酸及び/又はスルファニルアミドからなる安定剤
とを含有することを特徴とする鉄−ニッケル合金の化学
的溶解処理液である。
【0008】本発明は、過酸化水素、フッ化水素アンモ
ニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液と、スルファニル
酸及び/又はスルファニルアミドからなる安定剤と、脂
肪族アミンとを含有することを特徴とする鉄−ニッケル
合金の化学的溶解処理液である。
【0009】本発明は、過酸化水素、フッ化水素アンモ
ニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液と、サリチル酸、
安息香酸、ベンズアルデヒド、及びベンゼンスルホン酸
からなる群から選ばれた少なくとも1種の安定剤と、脂
肪族アミンとを含有することを特徴とする鉄−ニッケル
合金の化学的溶解処理液である。
【0010】本発明は、前記それぞれの鉄−ニッケル合
金の化学的溶解処理液であって、更に脂肪族アルコール
及び/又は硫酸アンモニウムを含有する溶解処理液であ
る。
【0011】本発明の溶解処理液の適用対象は、鉄−ニ
ッケル合金であり、特に、42アロイ(鉄58%、ニッ
ケル42%)である。
【0012】本発明における酸性溶液は過酸化水素、フ
ッ化水素アンモニウム、及び硫酸を含有するものであ
り、過酸化水素は50〜150g/l(グラム/リット
ル)、フッ化水素アンモニウムは30〜60g/l、硫
酸は0.5〜10g/lの範囲が処理能力の点から好ま
しい。
【0013】安定剤は、スルファニル酸及び/又はスル
ファニルアミドであるか、あるいはサリチル酸、安息香
酸、ベンズアルデヒド、及びベンゼンスルフォン酸から
なる群から選ばれた少なくとも1種であり、後者の場合
には、孔食の発生を防止するため、脂肪族アミンを必ず
併用する必要があり、前者の場合にも同様に、脂肪族ア
ミンを併用するのが好ましい。過酸化水素の分解を有効
に防止するためには、安定剤はそれぞれ1〜10g/l
使用するのが好ましい。脂肪族アミンは孔食の発生を防
止し表面状態の仕上りを改善しうるので併用するのが好
ましく、例としては、アルキル基の炭素数が1〜15の
モノ、ジ又はトリアルキルアミンを挙げることができ、
特に、ジエチルアミン、n−ブチルアミン、トリ−n−
ブチルアミン、ジイソプロピルアミンなどが好適であ
る。その添加量は、1〜20g/lが好ましい。
【0014】更に、脂肪族アルコール及び/又は硫酸ア
ンモニウム、特に脂肪族アルコール及び硫酸アンモニウ
ムを添加すると、より均一で良好な表面状態が得られる
ので好ましい。脂肪族アルコールとしては、エタノー
ル、プロパノール、エチレングリコール、ジエチレング
リコール、トリエチレングリコール等であり、その添加
量は、0.2〜10g/lが好ましい。硫酸アンモニウ
ムの添加量は、1〜10g/lが好ましい。
【0015】本発明において、その処理温度は好ましく
は10〜60℃、特に好ましくは20〜50℃であり、
処理時間は好ましくは10秒〜10分、特に好ましくは
20秒〜5分である。
【0016】
【発明の効果】本発明において、スルファニル酸及び/
又はスルファニルアミド、あるいはサリチル酸、安息香
酸、ベンズアルデヒド、及びベンゼンスルホン酸は、主
に過酸化水素の安定剤として作用し、脂肪族アミンは、
表面状態の仕上りの良し悪し、主に、孔食の発生防止剤
として作用する。過酸化水素、フッ化水素アンモニウ
ム、及び硫酸を含有する酸性溶液に、スルファニル酸及
び/又はスルファニルアミド、あるいはサリチル酸、ベ
ンズアルデヒド、及びベンゼンスルホン酸の中の少なく
とも1種の化合物と脂肪族アミンとを併用すると、溶解
金属濃度の低い初期の段階においては、鉄−ニッケル合
金の溶解速度が抑制され、また溶解金属濃度が高くなっ
た時点においては、逆に溶解速度の低下が抑制され、処
理期間中の溶解速度の変動が小さく、最初から最後まで
平均して均一な処理が行える。
【0017】すなわち、本発明の溶解処理液は、浴組成
の管理が容易であり、有効成分の補充を行わなくても、
処理能力が大きく、しかも、処理後の鉄−ニッケル合金
表面にムラや孔食が発生せず良好な仕上がりを得ること
ができる。また、溶解速度の変動が小さく、且つ過酸化
水素の安定性も良いので、常に均一な処理が行える。更
に、使用途中の液を翌日に持越して使用しても良好な仕
上りの鉄−ニッケル合金表面を得ることができる。更に
また、鉄−ニッケル合金の溶解時においてもミストの発
生がほとんど無く、作業環境も良好である。
【0018】
【実施例】以下に、実施例をもって本発明を説明する。 実施例1〜8、及び比較例1〜2 過酸化水素85g/l、フッ化水素アンモニウム42.
5g/l、及び硫酸2.5g/lの組成を有する酸性水
溶液に、表1に示す各種の化合物を所定量添加して溶解
処理液を調製した。これらの溶解処理液を用いて、42
アロイ材リードフレーム(厚さ0.3mm)を40℃で
処理し、下記〜の時点における溶解速度、過酸化水
素残存率、及び金属表面状態をそれぞれ測定した。その
結果を表1に示す。また、実施例3と比較例1について
の溶解金属濃度による溶解速度の変化を図1に示し、そ
れらの溶解金属濃度による過酸化水素残存率の変化を図
2に示す。 初浴(金属濃度0g/l) 42アロイ材リードフレームを金属濃度10g/l
まで溶解した時点 42アロイ材リードフレームを金属濃度10g/l
まで溶解し、そのものを50℃で24時間放置した時点 なお、溶解速度は、42アロイ材リードフレームを溶解
処理液に浸漬(微攪拌)させた時の重量減から厚さ減少
速度(μm/分)で求めた。過酸化水素残存率は、42
アロイ材リードフレームを10g/l(図2の場合には
各所定量)溶解した後、その溶解処理液を50℃で24
時間放置し、その放置前後の過酸化水素の濃度から算出
した。また、金属表面状態は、目視によって判定した。 表面状態の判定基準; ○:均一良好で孔食の発生無し △:部分的にムラあり ×:ムラ大又は孔食の発生あり
【0019】
【表1】
【0020】実施例9、及び比較例3 過酸化水素100g/l、フッ化水素アンモニウム50
g/l、及び硫酸2.5g/lの組成を有する酸性水溶
液に、表2に示す各種の化合物を所定量添加して溶解処
理液を調製した。これらの溶解処理液を用いて、42ア
ロイ材リードフレームを30℃で処理し、前記〜の
時点における溶解速度、過酸化水素残存率、及び金属表
面状態を実施例1と同様に測定した。その結果を表2に
示す。
【0021】
【表2】
【図面の簡単な説明】
【図1】溶解金属濃度と溶解速度との関係を示すグラフ
である。
【図2】溶解金属濃度と過酸化水素残存率との関係を示
すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大橋 英子 福島県郡山市谷島町2−54 日本パーオキ サイド株式会社郡山工場内 (72)発明者 加藤 保夫 千葉県松戸市高塚新田512−8

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、
    及び硫酸を含有する酸性溶液と、スルファニル酸及び/
    又はスルファニルアミドからなる安定剤とを含有するこ
    とを特徴とする鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液。
  2. 【請求項2】 過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、
    及び硫酸を含有する酸性溶液と、スルファニル酸及び/
    又はスルファニルアミドからなる安定剤と、脂肪族アミ
    ンとを含有することを特徴とする鉄−ニッケル合金の化
    学的溶解処理液。
  3. 【請求項3】 過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、
    及び硫酸を含有する酸性溶液と、サリチル酸、安息香
    酸、ベンズアルデヒド、及びベンゼンスルホン酸からな
    る群から選ばれた少なくとも1種の安定剤と、脂肪族ア
    ミンとを含有することを特徴とする鉄−ニッケル合金の
    化学的溶解処理液。
  4. 【請求項4】 請求項1〜3のいずれか一項に記載の鉄
    −ニッケル合金の化学的溶解処理液であって、更に脂肪
    族アルコール及び/又は硫酸アンモニウムを含有する前
    記溶解処理液。
JP08344495A 1995-03-16 1995-03-16 過酸化水素、フッ化水素アンモニウム、及び硫酸を含有する酸性溶液の安定剤、及びこれを用いた鉄−ニッケル合金の化学的溶解処理液 Expired - Fee Related JP3291512B2 (ja)

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