JPH0825198A - 磁気ヘッドにおけるギャップ対向面の鏡面研磨方法及び平面研削盤 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ドレス材をワーク貼り付け面盤に貼り付け、
ワークの研磨に伴って砥石をドレッシングし、この砥石
の目づまりを防止する。従って、ワークである、トラッ
ク幅規制用の溝にガラスがモールドされたコアブロック
にチッピング、カケ、むしれ等を生ぜず、短時間で研磨
ができる。ドレス材はワークと同程度に摩滅するので、
新たなワークを研磨する際にドレス材をも交換すること
により、研磨作業と同時に砥石がドレッシングされる。
ドレス材はワックスによって前記面盤に貼り付けられる
ので、交換が容易である。 【構成】 ワーク１５を平面研削盤１０を用いて研磨す
る。前記研削盤のワーク貼り付け面盤１４に、砥石１３
の研磨による摩滅速度が前記ワーク１５と同程度であっ
て、かつ前記ワーク１５と同程度の、前記面盤１４から
の高さを有するドレス材１６をワックスにより固定して
ワーク１５を研磨する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は磁気ヘッドにおけるギ
ャップ対向面の鏡面研磨方法及びこの方法に直接用いる
平面研削盤に関するものであり、特にＶＴＲ（ビデオテ
ープレコーダー）用の磁気ヘッドにおけるギャップ対向
面の鏡面研磨に好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ＶＴＲ用の磁気ヘッドの製造に
際しては、次のような工程を含むのが普通である。図２
はこの工程を説明するためのものであり、（ａ）に示す
ように、コアブロック１にはＶ字状のトラック幅規制用
の溝２を設けて、この溝２にガラス３を流し込んで固化
（ガラスモールド）させる。このように構成されたコア
ブロック４と、このブロック４と略同様に構成されたコ
アブロック５とを、図示していないガラスよりなるギャ
ップ材を介して図２（ｂ）のように突合せ、この状態で
加熱してガラス３及び前記ギャップ材となるガラスによ
り前記コアブロック４，５を互いに溶着して固定する。
尚、図ではコアブロック４のみに巻線窓６となる溝７を
設けている。

【０００３】前記の溶着により固定されて形成されたブ
ロック８は、磁気テープ当接面となる面９を仕上げ加工
した後、２点鎖線で示すようにスライスする。そして、
前記巻線窓６に巻線を施すことにより複数個の磁気ヘッ
ドが得られる。ところで、前記コアブロック４と５を突
き合わせる際の突合せ面となるギャップ対向面１０は、
ラッピングマシーンにより、荒取り、中仕上げ、最終仕
上げ、の３工程を経て鏡面研磨される。しかし、ラッピ
ングマシーンの研磨レートは遅いため、作業時間が長
く、コスト・アップ要因の一つとなっている。

【０００４】研磨時間の短縮のためには、研磨レートの
速い横型平面研削盤を用いることも考えられるが、次の
ような問題がある。即ち、横型平面研削盤を使用して磁
気ヘッドにおけるギャップ対向面を研磨すると、この研
削盤の砥石のメッシュが粗い場合には、チッピング、カ
ケ、むしれ等が発生しやすい。これらのチッピング等を
避けるために、前記砥石としてメッシュの細かいものを
用いると、この砥石の目づまりが著しく、この砥石を頻
繁にドレッシングしなければならない。従って、前記ギ
ャップ対向面の研磨に要する作業時間の合計が充分には
短縮されない。このため、従来の磁気ヘッドにおけるギ
ャップ対向面の鏡面研磨では、前記チッピング、カケ、
むしれ等が発生しても、次の研磨工程である中仕上げで
前記チッピング等が除去され得る荒取りでは、横型平面
研削盤を用いることはあっても、中仕上げ以降の工程で
横型平面研削盤を用いることはなかった。ちなみに、ガ
ラスモールドしたコアブロックの研磨では、ガラスが砥
石に埋め込まれやすく、この状態ではチッピング、カ
ケ、むしれ等が多発する。

【０００５】一方、砥石のドレッシングに要する作業時
間を短縮するためのものとして、研磨治具に被研磨品と
してのオーディオ用の消去ヘッド及びドレッシング工具
を挿入・固定し、これらの被研磨品及びドレッシング工
具を、回転している研磨砥石の外周面に押し当てるよう
にした研磨装置が知られている（特開昭62-162472号公
報参照）。しかし、この研磨装置では、前記消去ヘッド
をＲ加工するものであって、この研磨装置により、磁気
ヘッドにおけるギャップ対向面を鏡面研磨することはで
きない。また、この研磨装置は、砥粒固着後のドレッシ
ング工具の全高が被研磨品の研磨加工後の完成寸法と合
致するようにし、被研磨品の研磨加工の後にドレッシン
グ工具によってドレッシングされるので、研磨加工とは
別にドレッシングのみの時間をも必要とし、研磨及びド
レッシングに要する時間を充分に短縮することはできな
い。ちなみに、このものでは、前記ドレッシング工具が
ストッパーとしても作用するので、被研磨品を研磨し過
ぎるということはなくなるが、ドレス材がダイヤモンド
であるため、ドレッシング時の砥石の摩耗量が大きくな
る。

【０００６】また、上記研磨装置とは別に、被加工物を
平面研磨するものとして、被加工物である半導体ウェー
ハを保持する貫通孔が穿設された搬送板と、この搬送板
の両面側に配設され、研磨布が固着された一対の定盤と
を備え、この搬送板には前記研磨布をドレッシングする
砥粒層を接着し、研磨加工と同時にドレッシングを行な
う研磨装置も知られている（特開昭61-90868号公報参
照）。このものでは、研磨及びドレッシングに要する時
間を充分に短縮することができる。しかし、この研磨装
置では、前記砥粒層の厚さは、搬送板の厚さと上下両層
の砥粒層の厚さとの和が、ウェーハの厚さとほぽ等しく
なるように設定されているので、前記砥粒層は研磨布に
よって前記ウェーハと同程度摩滅するものでなければな
らない。このため、ウェーハの加工が終わって、次のウ
ェーハを加工しようとするときには、砥粒層をも交換す
る必要がある。ところが、ドレス材としての砥粒層は搬
送板に接着されているので、容易に交換することができ
ず、この交換に手間取り、結果として研磨処理時間が長
くなる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
磁気ヘッドにおけるギャップ対向面の鏡面研磨方法で
は、研磨処理時間が長くなり、このため研磨コストとし
ても充分に満足し得るものではなかった。この発明は上
記した課題に鑑み、研磨処理時間を充分に短くすること
ができる磁気ヘッドにおけるギャップ対向面の鏡面研磨
方法及びこの方法に用いる平面研削盤を提供することを
目的とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決し、前
記目的を達成するためのこの発明の磁気ヘッドにおける
ギャップ対向面の鏡面研磨方法は、磁気ヘッドの製造工
程におけるギャップ対向面の鏡面研磨方法であって、鏡
面研磨に要する荒取り、中仕上げ及び最終仕上げ工程の
うち、荒取り及び中仕上げには、互いに平行な、異なる
軸を中心としてそれぞれ回転する砥石とワーク貼り付け
面盤とを備え、この面盤にワークを固定した状態で前記
面盤と前記砥石とを回転させて前記ワークを研磨する平
面研削盤を用い、トラック幅規制用の溝にガラスがモー
ルドされたコアブロックを前記ワークとして、このコア
ブロックのギャップ対向面を鏡面研磨する方法におい
て、前記工程のうち、少なくとも中仕上げに相当する工
程では、前記ワーク貼り付け面盤に、前記砥石の研磨に
よる摩滅速度が前記ワークと同程度であって、かつ前記
ワークが固定された面からの高さが前記ワークと同程度
になるドレス材をワックスにより固定して、前記ワーク
を研磨することを特徴とするものである。

【０００９】また、この方法に用いる平面研削盤は、互
いに平行な、異なる軸を中心としてそれぞれ回転する砥
石とワーク貼り付け面盤とを備え、この面盤にワークを
固定した状態で前記面盤と前記砥石とを回転させて前記
ワークを研磨する平面研削盤において、前記ワーク貼り
付け面盤には、前記ワークを固定する面側に配設され
た、ドレス材を貼り付ける面を有するステージと、この
ステージの前記ワークを固定する面からの高さを可変す
る手段とを設けたことを特徴とするものである。

【００１０】

【作用】上記のように、ドレス材をワーク貼り付け面盤
に貼り付けたので、ワークを研磨するのに伴って砥石が
ドレッシングされ、この砥石の目づまりが防止される。
従って、ワークであるコアブロックにチッピング、カ
ケ、むしれ等の生ずることもなく、短時間で磁気ヘッド
におけるギャップ対向面の鏡面研磨ができる。前記ドレ
ス材はワークと同程度に摩滅するので、新たなワークを
研磨する際にドレス材をも交換することにより、上記し
たように研磨作業と同時に砥石がドレッシングされる。
このドレス材はワックスによって前記面盤に貼り付ける
ので、容易に交換することができる。また、上記のよう
に、ステージにドレス材を貼り付け、このステージの高
さを可変することにより、ドレス材を前記ワークの研磨
ごとに新たなものと取り替えなくてもよくなる。

【００１１】

【実施例】以下に、この発明の一実施例を図１について
説明する。図１は横型平面研削盤１１の概略を示すもの
である。この横型平面研削盤１１は周知のように、互い
に平行な異なる軸１２，１３を中心としてそれぞれ回転
する砥石１４とワーク貼り付け面盤１５とを備え、この
ワーク貼り付け面盤１５にワーク１６を固定した状態で
この面盤１５と前記砥石１４を回転させ、ワーク１６を
研磨する。図１（ａ）では、砥石１４がワーク１６から
離れている状態が示されているが、研磨作業に際して
は、前記面盤１５を砥石１４に近付けるように移動す
る。これにより、ワーク１６は設定された寸法だけ研磨
される。このワーク１６は、図１（ｂ）のように、前記
面盤１５の外周付近にリング状に多数配列されている
が、図１（ａ）では、図面の無用な煩雑さを避けるため
に、２個のワーク１６のみ図示した。ちなみに、前記砥
石１４の砥石として作用する面は周面に近い部位１７の
みである。

【００１２】この磁気ヘッドの製造工程におけるギャッ
プ対向面の鏡面研磨方法では、この鏡面研磨に要する
荒、中、及び仕上げ工程のうち、荒取り及び中仕上げに
相当する研磨には、上記の横型平面研削盤１１を用い、
前記図２で説明したトラック幅規制用の溝２にガラス３
がモールドされたコアブロック４，５を前記ワーク１６
として、このコアブロック４，５のギャップ対向面１０
を研磨する。そして、この研磨に際しては、前記ワーク
貼り付け面盤１５に、前記砥石１４の研磨による摩滅速
度が前記ワーク１６と同程度であって、かつ前記ワーク
１６と同程度の、前記面盤１５からの高さを有するドレ
ス材１８をワックスにより貼り付けておく。

【００１３】上記のように、ドレス材１８をワーク貼り
付け面盤１５に貼り付けたので、ワーク１６を研磨する
のに伴って砥石１４がドレッシングされ、この砥石１４
の目づまりが防止される。従って、ワーク１６であるコ
アブロック４，５にチッピング、カケ、むしれ等の生ず
ることもなく、従来のように、ラップマシーンを用いて
中仕上げをする場合に比較して鏡面研磨処理に要する時
間が短縮される。上記のようにしてワーク１６を研磨
し、次のワークを研磨する際には、ドレス材１８をも新
規のものと交換する。上記のドレス材１８は、図１に鎖
線１８ａで示す位置に貼り付けることにより、ワーク１
８と砥石１４との接触する時間が増し、少量のドレス材
でより一層のドレス効果が得られる。

【００１４】上記実施例では、面盤１５におけるワーク
１６を貼り付ける面に直接ドレス材１８を貼り付けるよ
うにしたが、このドレス材１８を貼り付ける部位の面を
前記ワーク１６を貼り付ける面よりも高くすることによ
り、ドレス材として比較的高さの低いものを用いること
ができる。また、前記面盤１５には、前記ワーク１６を
貼り付ける面側に、ドレス材１８を貼り付ける面を有す
るステージを配設し、このステージの前記ワークを貼り
付ける面からの高さを可変する手段を設け、このステー
ジの高さを可変することにより、ワーク１６の研磨ごと
にドレス材１８を新たなものと交換せず、同一のドレス
材によってワーク１６の複数回に亘る研磨と同時にドレ
ッシングをすることができるようにすることもできる。

【００１５】図３（ａ）は前記したステージ１９を設け
たワーク貼り付け面盤１５を示すものであり、このステ
ージ１９には図３（ｂ）に示すようにネジ２０が固定さ
れていて、このネジ２０は面盤１５に設けられた雌ネジ
部２１に螺合されている。２２は止めナットを示す。こ
のステージ１９にドレス材１８をワックスにより貼り付
け、この状態で前記ネジ２０を中心としてステージ１９
を回し、ドレス材１８の面盤１５からの高さをこの面盤
１５に固定された前記ワーク１６の高さに合わせる。そ
して、このステージ１９の位置をナット２２によって固
定する。この状態でワーク１６を研磨することにより、
前記図１について説明したのと同様にして前記砥石１４
がドレッシングされる。

【００１６】尚、ドレス材１８は前記したようにワック
スにより前記ワーク貼り付け面盤１５に直接固定、また
はステージ１９を介して固定するので、このドレス材１
８の交換が容易にできる。また、ドレス材１８はそのメ
ッシュが砥石１４のそれよりも大きいものを使用する
（例えば、砥石メッシュ#2000に対し、ドレス材メッシ
ュ#1000）。ドレス材１８の材質は、ＧＣと略称されて
いる緑色炭化珪素質砥粒またはＷＡと略称されている白
色アルミナ質砥粒などが望ましく、またドレス材１８の
硬さは、トラック加工を施しガラスモールドしたコアブ
ロック４，５の研磨としては、結合度がＮ〜Ｒのものが
望ましい。

【００１７】

【発明の効果】この発明の磁気ヘッドにおけるギャップ
対向面の鏡面研磨方法は、上記したように、荒取り、中
仕上げ、最終仕上げの工程中、荒取りと中仕上げとに相
当する研磨には、平面研削盤を用い、少なくとも中仕上
に相当する研磨では、ワーク貼り付け面盤にドレス材を
貼り付ける。これにより、従来のようにラッピングマシ
ーンを用いて中仕上げをするのに比較して研磨速度が早
くなり、作業時間が大幅に短縮され、かつ目づまりがな
いので、チッピング、カケ、むしれ等の発生もない。そ
して、この発明では、ドレス材をワックスにより面盤に
貼り付けるので、このドレス材の交換が容易である。ち
なみに、横型平面研削盤において、研磨と同時に砥石を
ドレッシングする、電解研磨機能付のものも知られてい
るが、これに用いる電解研磨ユニットは非常に高価であ
る。また、この発明の平面研削盤は、ドレス材を固定す
る面がワークを固定する面に対して高さが可変されるの
で、同一のドレス材を用いて、ワークの複数回に亘る研
磨と同時にドレッシングをすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を説明するための、横型平
面研削盤の概略図であり、（ａ）は一部を断面した正面
図、（ｂ）は前記（ａ）のものの右側面図である。

【図２】一般に知られている磁気ヘッドの製造工程を説
明するための概略斜視図である。

【図３】この発明の他の実施例を説明するための、横型
平面研削盤の要部の概略断面図（ａ）及びこの平面研削
盤に用いる治具の斜視図（ｂ）である。

【符号の説明】

２ 溝 ３ ガラス ４，５ コアブロック １０ ギャップ対向面 １１ 横型平面研削盤 １２，１３ 軸 １４ 砥石 １５ ワーク貼り付け面盤 １６ ワーク １８ ドレス材 １９ ステージ ２０ ネジ ２１ 雌ネジ部 ２２ ナット

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気ヘッドの製造工程におけるギャップ
   対向面の鏡面研磨方法であって、 鏡面研磨に要する荒取り、中仕上げ及び最終仕上げ工程
   のうち、荒取り及び中仕上げには、 互いに平行な、異なる軸を中心としてそれぞれ回転する
   砥石とワーク貼り付け面盤とを備え、この面盤にワーク
   を固定した状態で前記面盤と前記砥石とを回転させて前
   記ワークを研磨する平面研削盤を用い、 トラック幅規制用の溝にガラスがモールドされたコアブ
   ロックを前記ワークとして、このコアブロックのギャッ
   プ対向面を鏡面研磨する方法において、 前記工程のうち、少なくとも中仕上げに相当する工程で
   は、前記ワーク貼り付け面盤に、前記砥石の研磨による
   摩滅速度が前記ワークと同程度であって、かつ前記ワー
   クが固定された面からの高さが前記ワークと同程度にな
   るドレス材をワックスにより固定して、前記ワークを研
   磨することを特徴とする磁気ヘッドにおけるギャップ対
   向面の鏡面研磨方法。
2. 【請求項２】 互いに平行な、異なる軸を中心としてそ
   れぞれ回転する砥石とワーク貼り付け面盤とを備え、こ
   の面盤にワークを固定した状態で前記面盤と前記砥石と
   を回転させて前記ワークを研磨する平面研削盤におい
   て、 前記ワーク貼り付け面盤には、前記ワークを固定する面
   側に配設され、ドレス材を貼り付ける面を有するステー
   ジと、このステージの前記ワークを固定する面からの高
   さを可変する手段とを備えたことを特徴とする平面研削
   盤。