JPH08247769A - 振動ジャイロ - Google Patents

振動ジャイロ

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Publication number
JPH08247769A
JPH08247769A JP7077435A JP7743595A JPH08247769A JP H08247769 A JPH08247769 A JP H08247769A JP 7077435 A JP7077435 A JP 7077435A JP 7743595 A JP7743595 A JP 7743595A JP H08247769 A JPH08247769 A JP H08247769A
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JP
Japan
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vibrating
vibration
piezoelectric element
gyro
line
Prior art date
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Pending
Application number
JP7077435A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsumi Fujimoto
本 克 己 藤
Takeshi Nakamura
村 武 中
Akira Kumada
万 田 明 久
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH08247769A publication Critical patent/JPH08247769A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 高感度な振動ジャイロを得る。また、簡単に
製造できる振動ジャイロを得る。 【構成】 振動ジャイロ10は、L字状の断面を有する
柱状の保持部12と、その長手方向の対向する端部側の
振動板14,16を含む。振動板14,16を互いに直
交するように配置し、その上に圧電素子18,20を形
成する。振動板14,16の間に、ワイヤーなどの振動
線22を取り付ける。保持部12は、板状に形成しても
よい。この場合、保持部12および振動板14,16と
なる部分を有する原板を形成し、その原板を折り曲げる
ことにより、保持部12と振動板14,16とを一体的
に形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロに関し、
特にたとえば、振動体の振動を利用して回転角速度を検
出するための振動ジャイロに関する。
【0002】
【従来の技術】図10は従来の振動ジャイロの一例を示
す斜視図である。振動ジャイロ1は、たとえば4角柱状
の振動体2を含む。この振動体2は、たとえばエリンバ
などの恒弾性金属材料などで形成される。振動体2の一
方の対向面には、振動体2を屈曲振動させるための駆動
用圧電素子3が形成される。また、振動体2の他方の対
向面には、回転角速度に対応した信号を得るための検出
用圧電素子4が形成される。
【0003】この振動ジャイロ1では、駆動用圧電素子
3に駆動信号が与えられ、振動体2が駆動用圧電素子3
形成面に直交する方向に屈曲振動する。このとき、振動
体2の振動方向は、検出用圧電素子4の面に平行する方
向であるため、検出用圧電素子4からは信号が出力され
ない。このような振動状態で、振動体2の軸を中心とし
て回転すると、コリオリ力によって振動体2の振動方向
が変わる。そのため、検出用圧電素子4が屈曲し、検出
用圧電素子4から信号が出力される。コリオリ力は振動
体2の無回転時の振動方向と直交する方向に働くため、
コリオリ力は検出用圧電素子4の面に直交する向きに加
わる。そのため、検出用圧電素子4の屈曲量はコリオリ
力に対応した値となり、検出用圧電素子4からコリオリ
力に対応した出力信号が得られる。したがって、検出用
圧電素子4の出力信号を測定することにより、振動ジャ
イロ1に加わった回転角速度を検出することができる。
このような振動ジャイロとしては、振動体が音叉型や正
3角柱状など、種々の形状のものがある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の振動ジャイロには、柱状の振動体が用いられ
ているため、大きい屈曲振動を得ることが困難である。
そのため、検出用圧電素子から大きい出力信号を得るこ
とが難しく、高感度の振動ジャイロを得ることが困難で
あった。また、振動体を角柱状や音叉型などに成形した
のち、圧電素子を貼着しなければならず、製造が面倒で
あった。
【0005】それゆえに、この発明の主たる目的は、高
感度な振動ジャイロを提供することである。さらに、こ
の発明の他の目的は、簡単に製造することができる振動
ジャイロを提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明は、互いの面が
交差するようにして離れた位置に配置される2つの振動
板と、それぞれの振動板の少なくとも一面に形成される
圧電素子と、2つの振動板間に直線状に張り渡される振
動線とを含む、振動ジャイロである。この振動ジャイロ
では、たとえば2つの振動板は互いに直交するように配
置され、振動線は2つの振動板の端部に取り付けられ
る。また、平板状の一方の振動板の少なくとも一面に圧
電素子が形成され、折り曲げられた他方の振動板のそれ
ぞれの平面部の少なくとも一面に圧電素子が形成され、
一方の振動板の一方面と他方の振動板の折り曲げ部との
間に振動線が配置されてもよい。この振動ジャイロにお
いては、2つの振動板および2つの振動板を保持するた
めの保持部が、1枚の原板を折り曲げることによって一
体的に形成することができる。
【0007】
【作用】一方の振動板に取り付けられた圧電素子に駆動
信号を与えることによって、振動線が振動する。そし
て、他方の振動板に取り付けられた圧電素子から、振動
線の振動方向の変化に対応した信号が出力される。この
とき、2つの振動板が直交するように配置されていれ
ば、無回転時においては、一方の振動板上の圧電素子に
よって駆動される振動線の振動方向は、他方の振動板上
の圧電素子面に対して平行となる。そのため、他方の振
動板上の圧電素子からは、信号が出力されない。振動ジ
ャイロに回転角速度が加わって、コリオリ力により振動
線の振動方向が変わると、他方の振動板上の圧電素子の
面に直交する方向にコリオリ力に対応した力が働く。そ
のため、この圧電素子から、コリオリ力に対応した信号
が出力される。
【0008】他方の振動板を折り曲げた形状に形成すれ
ば、その2つの平面部に形成された圧電素子の両方か
ら、振動線の振動に応じた信号が出力される。折り曲げ
られた他方の振動板の平面部を、無回転時における振動
線の振動方向に対して対称となるように配置しておけ
ば、その上に形成された圧電素子からは同じ出力信号が
出力される。回転角速度が加わって振動線の振動方向が
変わると、他方の振動板に形成された複数の圧電素子に
伝わる振動に差が生じ、異なる信号が出力される。さら
に、振動板およびその保持部を板材を折り曲げて一体的
に形成する場合、大きい板材から所定の形状の原板を打
ち抜き、それを折り曲げることによって、振動板および
保持部が形成される。
【0009】
【発明の効果】この発明によれば、振動体として振動線
が用いられているため、柱状の振動体を用いた従来の振
動ジャイロに比べて振動しやすく、大きい振動を得るこ
とができる。そのため、検出用として用いられる圧電素
子から、大きい出力信号を得ることができる。したがっ
て、この振動ジャイロを用いれば、高感度で回転角速度
を検出することができる。さらに、2つの振動板を直交
するように配置すれば、無回転時の出力信号を0にする
ことができるとともに、回転時にはコリオリ力に対応し
た出力信号を得ることができ、容易に回転角速度を検出
することができる。
【0010】また、他方の振動板を折り曲げた形状にす
れば、その平面部に形成された圧電素子の無回転時にお
ける出力信号が同じになるように、2つの振動板を配置
することができる。したがって、検出用として用いられ
る圧電素子の出力信号の差をとれば、無回転時の信号を
0にすることができる。また、この場合、他方の振動板
に形成された圧電素子は、無回転時における振動線の振
動方向に対して対称となるように配置されているため、
回転角速度が加わって振動線の振動方向が変わると、互
いに逆極性の信号が出力される。したがって、それらの
出力信号の差をとれば、コリオリ力に対応した大きい出
力を得ることができる。そのため、より高感度な振動ジ
ャイロを得ることができる。さらに、振動板およびその
保持部を一体的に形成する場合、大きい板材を打ち抜い
て、同じ形状の原板を得ることができる。その原板を折
り曲げることにより、同じ形状の振動板および保持部を
得ることができ、振動ジャイロの製造が簡単である。
【0011】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【0012】
【実施例】図1はこの発明の一実施例を示す斜視図であ
る。振動ジャイロ10は、保持部12を含む。保持部1
2は、たとえばL字状の断面を有する柱状に形成され
る。保持部12の長手方向の対向する端部側に、第1の
振動板14および第2の振動板16が形成される。第1
の振動板14は、保持部12のL字状部分の一方の端面
から水平方向に延びるように形成される。また、第2の
振動板16は、保持部12のL字状部分の他方の端面か
ら垂直方向に延びるように形成される。したがって、第
1の振動板14と第2の振動板16とは、互いに直交す
るように配置される。
【0013】第1の振動板14の一方面上には、第1の
圧電素子18が形成される。第1の圧電素子18は、た
とえば圧電セラミックなどで形成された圧電層の両面に
電極を形成したものである。そして、第1の圧電素子1
8の一方の電極が、第1の振動板14に接着される。ま
た、第2の振動板16上には、第2の圧電素子20が形
成される。第2の圧電素子20も、第1の圧電素子18
と同様に、圧電層の両面に電極が形成されたものであ
る。そして、第2の圧電素子20の一方の電極が、第2
の振動板16に接着される。なお、この実施例では、振
動板14,16の一方面にのみ圧電素子18,20を形
成してユニモルフ型としているが、振動板14,16の
両面に圧電素子を形成してバイモルフ型としてもよい。
さらに、第1の振動板14の端面と第2の振動板16の
端面との間に、ワイヤーなどの振動線22が張り渡され
る。
【0014】この振動ジャイロ10では、第1の圧電素
子18に駆動信号が印加される。この駆動信号によっ
て、第1の振動板14は、その面に直交する方向に振動
する。そのため、図2に示すように、振動線22は第1
の振動板14の面に直交する方向に屈曲振動する。この
振動線22の屈曲振動が、第2の振動板16に伝わる。
第1の振動板14と第2の振動板16とは、互いに直交
するように配置されているため、無回転時においては、
振動線22の振動方向は第2の振動板16の面に対して
平行となる。そのため、第2の圧電素子20は屈曲せ
ず、その出力信号は0となる。
【0015】振動線22が振動している状態で、振動線
22を中心として回転すると、図3に示すように、無回
転時の振動方向に直交する方向にコリオリ力が働く。し
たがって、無回転時における振動線22の振動方向とコ
リオリ力との合成力が働く方向に、振動線22が振動す
る。このように、回転角速度が加わることによって、振
動線22の振動方向が変わり、その振動が第2の振動板
16に伝わって、第2の圧電素子20が屈曲する。第2
の圧電素子20の屈曲は、その面に直交する力、すなわ
ちコリオリ力成分に対応するため、第2の圧電素子20
からの出力信号はコリオリ力に対応した値となる。した
がって、第2の圧電素子20の出力信号を測定すること
により、振動ジャイロ10に加わった回転角速度を検出
することができる。
【0016】この振動ジャイロ10では、振動体として
ワイヤーなどの振動線22が用いられているため、従来
の柱状の振動体を用いた振動ジャイロに比べて振動しや
すく、大きい振動を得ることができる。そのため、第2
の圧電素子20の屈曲も大きくなり、大きい出力信号を
得ることができる。したがって、この振動ジャイロ10
は、従来の振動ジャイロに比べて、高感度で回転角速度
を検出することができる。
【0017】また、図4に示すように、保持部12を板
材で形成してもよい。この振動ジャイロ10では、原板
を階段状に折り曲げることによって、保持部12が形成
されている。この振動ジャイロ10を製造するには、図
5に示すように、たとえば大きい板材を打ち抜くことに
よって、保持部12および振動板14,16となる原板
24が得られる。この板24は、保持部12となる長方
形部分24aと、振動板14,16となる2つの片部分
24bとを含む。これらの片部分24bは、長方形部分
24aの対角部分近傍に形成される。片部分24bに
は、圧電素子18,20が接着され、さらに2つの片部
分間に張り渡されるようにして、振動線22が取り付け
られる。そして、図5の一点鎖線で示す部分において、
長方形部分24aを階段状に折り曲げることにより、図
4に示す振動ジャイロ10が形成される。このとき、2
つの片部分24bの長さL1,L2を異なるようにして
おけば、保持部12を介した共振を防ぐことができ、良
好な特性を得ることができる。
【0018】このような振動ジャイロ10では、たとえ
ば大きい金属板を打ち抜くことにより、同じ形状の原板
24を形成することができる。したがって、柱状の振動
体を有する従来の振動ジャイロに比べて、ばらつきの少
ない振動ジャイロを簡単に得ることができる。
【0019】また、図6に示すように、検出用として用
いられる圧電素子を2つにすることができる。この振動
ジャイロ10では、第1の振動板14が斜めに取り付け
られる。また、第2の振動板16は、直交するように折
り曲げられる。そして、第1の振動板14と第2の振動
板16の2つの平面部とは、互いに45°の角度を有す
るように配置される。第1の振動板14上には第1の圧
電素子18が取り付けられる。さらに、第2の振動板1
6の2つの平面部には、それぞれ第2の圧電素子20
a,20bが取り付けられる。したがって、第1の圧電
素子18と第2の圧電素子20a,20bとは、互いに
45°の角度を有して配置される。
【0020】この振動ジャイロ10では、第1の圧電素
子18形成面に直交する方向に、振動線22が屈曲振動
する。第1の圧電素子18と第2の圧電素子20a,2
0bとは45°の角度をもって配置されているため、第
2の圧電素子20a,20bは、振動線22の振動方向
に対して対称となるように配置されている。そのため、
振動線22の振動による第2の圧電素子20a,20b
の屈曲状態は同じになり、同じ信号が出力される。した
がって、差動回路などで2つの第2の圧電素子20a,
20bの出力信号の差をとれば、差動回路の出力は0に
なる。
【0021】振動線22を中心として回転すると、コリ
オリ力によって、振動線22の振動方向が変わる。その
ため、第2の圧電素子20a,20bの屈曲状態が変わ
り、異なる信号が出力される。このとき、2つの第2の
圧電素子20a,20bは、無回転時の振動線22の振
動方向に対して対称に配置されているため、第2の圧電
素子20a,20bからは、コリオリ力に対応して逆極
性の信号が出力される。したがって、第2の圧電素子2
0a,20bの出力信号の差をとれば、差動回路から大
きい出力を得ることができる。そのため、小さい回転角
速度に対して大きい出力信号を得ることができ、さらに
高感度な振動ジャイロを得ることができる。
【0022】このような振動ジャイロ10を得るために
は、図7に示すように、2つの開口部26を有する矩形
の原板24が準備される。そして、開口部26の両側
に、それぞれ1つの第1の圧電素子18および2つの第
2の圧電素子20a,20bが取り付けられる。そし
て、この原板24を一点鎖線の部分で折り曲げて振動線
22を取り付けることにより、図6に示す振動ジャイロ
10が得られる。
【0023】また、図8に示すように、保持部12や振
動板14,16とともに、振動線22を一体的に形成し
てもよい。この場合、図9に示すように、矩形のループ
の内部に片部分24bが形成され、片部分24bの間に
振動線22となるべき線状部が形成された原板24が準
備される。そして、この原板24を一点鎖線の部分で折
り曲げることにより、振動線22を有する振動ジャイロ
10が形成される。この振動ジャイロ10では、保持部
12,第1の振動板14,第2の振動板16および振動
線22が一体的に形成されているため、製造が簡単であ
る。
【0024】このように、この振動ジャイロ10では、
細い振動線22を用いているため、大きい振動を得るこ
とができ、高感度な振動ジャイロを得ることができる。
また、板を折り曲げることによって保持部,振動板,振
動線などを一体的に形成することにより、ばらつきの少
ない振動ジャイロを簡単に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例を示す斜視図である。
【図2】図1に示す振動ジャイロの振動線の振動状態を
示す図解図である。
【図3】振動線に加わる力を説明するための図解図であ
る。
【図4】この発明の他の実施例を示す斜視図である。
【図5】図4に示す振動ジャイロを形成するための原板
を示す平面図である。
【図6】この発明のさらに他の実施例を示す斜視図であ
る。
【図7】図6に示す振動ジャイロを形成するための原板
を示す平面図である。
【図8】この発明の別の実施例を示す斜視図である。
【図9】図8に示す振動ジャイロを形成するための原板
を示す平面図である。
【図10】従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図であ
る。
【符号の説明】
10 振動ジャイロ 12 保持部 14 第1の振動板 16 第2の振動板 18 第1の圧電素子 20,20a,20b 第2の圧電素子 22 振動線 24 原板

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 互いの面が交差するようにして離れた位
    置に配置される2つの振動板、 それぞれの前記振動板の少なくとも一面に形成される圧
    電素子、および2つの前記振動板間に直線状に張り渡さ
    れる振動線を含む、振動ジャイロ。
  2. 【請求項2】 2つの前記振動板は互いに直交するよう
    に配置され、前記振動線は2つの前記振動板の端部に取
    り付けられる、請求項1に記載の振動ジャイロ。
  3. 【請求項3】 平板状の一方の前記振動板の少なくとも
    一面に前記圧電素子が形成され、折り曲げられた他方の
    前記振動板のそれぞれの平面部の少なくとも一面に前記
    圧電素子が形成され、一方の前記振動板の一方面と他方
    の前記振動板の折り曲げ部との間に前記振動線が配置さ
    れた、請求項1に記載の振動ジャイロ。
  4. 【請求項4】 2つの前記振動板および2つの前記振動
    板を保持するための保持部が、1枚の原板を折り曲げる
    ことによって一体的に形成される、請求項1ないし請求
    項3のいずれかに記載の振動ジャイロ。
JP7077435A 1995-03-07 1995-03-07 振動ジャイロ Pending JPH08247769A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1999067598A1 (fr) * 1998-06-22 1999-12-29 Kabushiki Kaisha Tokai Rika Denki Seisakusho Capteur de vitesse angulaire de lacet sur deux axes et son procede de fabrication

Cited By (2)

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WO1999067598A1 (fr) * 1998-06-22 1999-12-29 Kabushiki Kaisha Tokai Rika Denki Seisakusho Capteur de vitesse angulaire de lacet sur deux axes et son procede de fabrication
US6539804B1 (en) 1998-06-22 2003-04-01 Kabushiki Kaisha Tokai Rika Denki Seisakusho Two-axis yaw rate sensor

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