JPH08236636A - 集積回路に接続するための構造 - Google Patents

集積回路に接続するための構造

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JPH08236636A
JPH08236636A JP7264254A JP26425495A JPH08236636A JP H08236636 A JPH08236636 A JP H08236636A JP 7264254 A JP7264254 A JP 7264254A JP 26425495 A JP26425495 A JP 26425495A JP H08236636 A JPH08236636 A JP H08236636A
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  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 接続セルを用いて集積回路に接続するための
方法および構造を提供する。 【解決の手段】 接続セルは、集積回路内に形成した複
数の端子12、16、18を含む。接続セルは、少なく
とも1つの端子に接続された少なくとも1つの金属層2
0をさらに含む。第1の領域54は、接続セルを含むほ
ぼ最小限の領域である。第2の領域50は、集積回路の
複数の部分のそれぞれの少なくとも一部を含むほぼ最小
限の領域である。これらの部分は、端子のそれぞれに接
続可能であると同時に、端子に対する配置の柔軟性を有
する。これらの部分のこの配置の柔軟性は、第1の領域
内の第2の領域の配置の柔軟性とほぼ同等である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的には集積回
路に関し、より具体的には集積回路に接続するための方
法および構造に関する。
【0002】
【従来の技術】通常、集積回路は、その集積回路の論理
部である入出力レシーバおよびドライバ(「IOR
D」)を介して他の回路とのインタフェースが取られて
いる。IORDは、他の論理部(たとえば、レジスタ、
マルチプレクサ、アレイ)にそれぞれ接続されている。
さらに、IORDは、集積回路の端子パッド(「端
子」)にそれぞれ接続されている。これらの端子パッド
は、集積回路が密閉されているパッケージに接続されて
いる。より具体的には、端子パッドは、パッケージに接
続された最上部レベルの金属層を含む。
【0003】一般に、集積回路とパッケージの設計は大
体平行して行われる。より具体的には、集積回路とパッ
ケージとのインタフェースの定義後であって、しかもい
ずれかの設計が完了する前に設計が行われている。集積
回路とパッケージとの接続は、いずれかの設計が完了す
る前に仕上げられる。
【0004】集積回路内の論理部にそれぞれ接続された
IORDの位置に大幅な制限が加えられるのを回避する
ため、従来、IORDは集積回路の周辺部に配置されて
いる。したがって、その周辺部の周りにはIORD用の
必要な縁取りが確保される。このため、集積回路とパッ
ケージとの接続はいずれかの設計が完了する前にさらに
容易に仕上げられ、集積回路とパッケージの設計を大体
平行して行えるようになる。
【0005】にもかかわらず、このような従来の技法に
は欠点がある。たとえば、集積回路の周辺部にIORD
を配置することにより、IORDは、集積回路内でそれ
ぞれ接続された論理部からの物理的距離がさらに離れる
場合が多い。さらに、集積回路の周辺部にIORDを配
置するために、より多くのシリコン域を使用する可能性
があり、金属層の使用効率が低下する。また、集積回路
の周辺部にIORDを配置することにより、集積回路の
パフォーマンスが低下する場合もある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】したがって、IORD
が必ずしも集積回路の周辺部に配置されないような、集
積回路に接続するための方法および構造に対する必要性
が発生している。また、従来の技法と比較して、集積回
路内でそれぞれ接続された論理部に物理的により接近し
た位置にIORDが配置されるような、集積回路に接続
するための方法および構造に対する必要性も発生してい
る。さらに、従来の技法と比較して、IORDを集積回
路上に配置するために、使用するシリコン域が少なく、
金属層の使用効率が高い、集積回路に接続するための方
法および構造に対する必要性も発生している。しかも、
従来の技法と比較して、集積回路のパフォーマンスが改
善されるような、集積回路に接続するための方法および
構造に対する必要性も発生している。さらに、集積回路
とパッケージとのインタフェースが定義された後でも、
従来の技法と比較して、集積回路の各部がより柔軟に配
置されるような、集積回路に接続するための方法および
構造に対する必要性も発生している。
【0007】
【課題を解決するための手段】集積回路に接続するため
の方法および構造において、接続セルは、集積回路内に
形成した複数の端子を含む。接続セルは、少なくとも1
つの端子に接続された少なくとも1つの金属層をさらに
含む。第1の領域は、接続セルを含むほぼ最小限の領域
である。第2の領域は、集積回路の複数の部分のそれぞ
れの少なくとも一部を含むほぼ最小限の領域である。こ
れらの部分は、端子のそれぞれに接続可能であると同時
に、端子に対する配置の柔軟性を有する。これらの部分
のこの配置の柔軟性は、第1の領域内の第2の領域の配
置の柔軟性とほぼ同等である。
【0008】本発明の技術的利点の1つは、IORDが
必ずしも集積回路の周辺部に配置されない点である。
【0009】本発明の他の技術的利点は、従来の技法と
比較して、集積回路内でそれぞれ接続された論理部に物
理的により接近した位置にIORDが配置される点であ
る。
【0010】本発明の他の技術的利点は、従来の技法と
比較して、IORDを集積回路上に配置するために、使
用するシリコン域が少なく、金属層の使用効率が高い点
である。
【0011】本発明の他の技術的利点は、従来の技法と
比較して、集積回路のパフォーマンスが改善される点で
ある。
【0012】本発明の他の技術的利点は、集積回路とパ
ッケージとのインタフェースが定義された後でも、従来
の技法と比較して、集積回路の各部がより柔軟に配置さ
れる点である。
【0013】本発明の実施例とその利点については、以
下の説明および添付図面を参照することにより、十分理
解されるはずである。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明の実施例とその利点につい
ては、添付図面の図1〜8を参照することにより、十分
理解される。添付図面の同様の部分および対応する部分
については、同様の番号を使用する。
【0015】図1は、実施例による端子パッド・グルー
プ(全体を10で示す)を示す図である。端子パッド・
グループ10は、専用接地端子パッド12a〜eと、専
用Vdd端子パッド14a〜dと、専用信号端子パッド
16a〜pとを含む。端子パッド12a〜e、14a〜
d、16a〜pは集積回路(図1には図示せず)内に位
置する。端子パッド16a〜pのそれぞれは、集積回路
のそれぞれの入出力(「I/O」)レシーバ/ドライバ
(「IORD」)回路に接続されている。他に示されて
いない限り、図1〜8に示し、本明細書で説明するすべ
ての接続部は電気接続部である。
【0016】実施例の重要な態様では、端子パッド12
a〜e、14a〜d、16a〜pの配置は、反復可能な
9x3(mxn)のアレイである。破線の枠18aおよ
び18bで示す領域は、集積回路Vddのプレース・ホ
ルダとして機能する。この実施例では、以下の要素を考
慮して反復可能端子パッド配置が設計されている。すな
わち、(a)集積回路のIORDグループの境界ボック
ス・サイズ、(b)集積回路のIORDグループが配置
されているウィンドウのサイズおよび形式係数、(c)
集積回路のフロア・プランと機能データ・フロー、
(d)集積回路の端子パッドの水平および垂直ステップ
・サイズと設計規則要件である。
【0017】図2は、実施例による主要接続セル(全体
を19で示す)を示す図である。図2には、端子パッド
・グループ10の指定の端子パッドに接続された最上部
レベルの金属層が示されている。より具体的には、図2
は、端子パッド12a〜e、14a〜d、16a〜pの
指定の端子パッドに接続された金属層20a〜mを形成
するようにパターン形成した最上部レベルの金属層を示
している。金属層20a〜mは、図2にほぼ示すよう
に、端子パッド・グループ10と相対的に配置、配向、
成形される。金属層20a〜mと端子パッド12a〜
e、14a〜d、16a〜pとが相俟って実施例による
主要接続セル19を形成する。
【0018】図2に示すように、金属層20aは端子パ
ッド16aに接続され、金属層20bは端子パッド12
aに接続され、金属層20cは端子パッド16cに接続
されている。また、Vdd端子パッド14aおよび14
bは金属層20dを介して互いに接続されている。同様
に、Vdd端子パッド14cおよび14dは金属層20
iを介して互いに接続されている。
【0019】接地端子パッド12b、12c、12dは
金属層20gを介して互いに接続されている。さらに、
金属層20eは端子パッド16fに接続され、金属層2
0fは端子パッド16hに接続され、金属層20hは端
子パッド16iに接続されている。また、金属層20j
は端子パッド16lに接続され、金属層20kは端子パ
ッド16nに接続され、金属層20lは端子パッド16
oに接続されている。金属層20mは端子パッド12e
に接続されている。
【0020】図3〜5は、図2の最上部レベルの金属層
(および主要接続セル19)の変更例を示す図である。
代替実施例では、図2の標準的な主要接続セル19は、
図3〜5および図7に示し以下に詳述する変更例の全部
または一部を取り入れるように、永続的に設計変更され
ている。
【0021】図3では、Vdd拡張金属層30は金属層
20iに接続されている。Vdd拡張金属層30は、図
3にほぼ示すように、端子パッド・グループ10と相対
的に配置、配向、成形される。図3の変更済み接続セル
は、集積回路の専用電源バスをVdd端子パッド14c
および14dに接続するのに適している。
【0022】明確にするため、図3には、Vdd拡張金
属層30と金属層20iとの実際の接続は示していな
い。しかし、図3の例では、Vdd拡張金属層30が金
属層20iと一体に形成されるように最上部レベルの金
属層(図2に関連して上述する)にパターン形成されて
いる。
【0023】同様に、明確にするため、図4〜5には、
拡張金属層と他の金属層との実際の接続は示していな
い。図4〜5には、拡張金属層と特定の金属層との接続
について論じるが、拡張金属層が特定の金属層と一体に
形成されるように最上部レベルの金属層(図2に関連し
て上述する)にパターン形成されている。また、すべて
の拡張金属層は、図4〜5にほぼ示すように、端子パッ
ド・グループ10と相対的に配置、配向、成形される。
【0024】図4を参照すると、内部接地拡張金属層3
2は金属層20gに接続されている。また、図4では、
外部接地拡張金属層34aおよび34bは金属層20b
および20mにそれぞれ接続されている。拡張金属層3
2または拡張金属層34a〜bのいずれかにより、図4
の変更済み接続セルは、集積回路の専用接地供給バスを
接地端子パッド12a〜eに接続するのに適している。
【0025】図5を参照すると、上部信号拡張金属層3
6a、36b、36cは金属層20a、20c、20e
にそれぞれ接続されている。また、上部信号拡張金属層
36d、36e、36fは金属層20h、20j、20
lにそれぞれ接続されている。さらに、中間信号拡張金
属層38a〜hは、図5にほぼ示すように、信号端子パ
ッド16b、16d、16e、16g、16j、16
k、16m、16p上にそれぞれ配置されている。しか
も、下部信号拡張金属層40aおよび40bは金属層2
0fおよび20kにそれぞれ接続されている。拡張金属
層36a〜f、拡張金属層38a〜h、または拡張金属
層40a〜bのいずれかにより、図5の変更済み接続セ
ルは、IORD信号を信号端子パッド16a〜pに接続
するのに適している。
【0026】実施例のIORDは、集積回路内でそれぞ
れ接続された論理部に物理的により接近した位置に配置
されている。したがって、多くの場合、IORDは集積
回路の中心に物理的に接近した位置に配置される。この
ため、実施例による集積回路は、従来の技法と比較し
て、シリコン域が少なく、より効率よく金属層を使用し
て実施することができる。また、集積回路内でそれぞれ
接続された論理部に物理的に接近した位置にIORDを
配置することにより、集積回路のパフォーマンスを改善
することもできる。
【0027】実施例では、集積回路とパッケージの設計
が大体平行して行われる。より具体的には、集積回路と
パッケージとのインタフェースの定義後であって、しか
もいずれかの設計が完了する前に設計が行われている。
集積回路とパッケージとの接続は、いずれかの設計が完
了する前に仕上げられる。
【0028】実施例では、集積回路とパッケージの設計
が完了する前に端子パッド12a〜e、14a〜d、1
6a〜pの位置が定義可能であることは有利である。さ
らに、実施例の重要な態様では、一部のIORDが集積
回路の中心に物理的に接近して配置可能であっても、
(集積回路内で)このようなIORDがそれぞれ接続さ
れた論理部の位置は、集積回路の設計中に大幅な制約を
受けない。より具体的には、実施例では、IORDをそ
れぞれの端子パッドに接続するために決定的な接続技法
を使用している。重要なことに、この決定的な接続技法
により、端子パッド12a〜e、14a〜d、16a〜
pの位置が定義された後でも、集積回路内のIORDと
周囲の構成要素とを定義し配置するための柔軟性を提供
するという目標が達成される。
【0029】図6は、実施例による境界ボックス50を
示す図である。境界ボックス50は、A、B、C、D、
E、F、G、H、I、J、K、L、M、N、O、Pとい
う16個の領域を含むIORDグループ52の水平およ
び垂直配置境界を明確に示すものである。より具体的に
は、境界ボックス50は、領域A〜Pのそれぞれの少な
くとも一部を含むように定義された、実質的に最小の領
域である。IORD領域A〜Pのそれぞれは、集積回路
内のそれぞれのIORDを含む。
【0030】ウィンドウ54は、端子パッド・グループ
10と金属層20a〜m(図2)とを組み合わせるため
の水平および垂直配置境界を明確に示すものである。よ
り具体的には、ウィンドウ54は、図2の主要接続セル
19全体を完全に含むように定義された、実質的に最小
の領域である。境界ボックス50はウィンドウ54より
小さいため、IORDグループ52はウィンドウ54内
のどこにでも配置可能である。
【0031】実施例の境界ボックス50は、2267.
1ミクロンx199.8ミクロンのサイズを有する。比
較すると、ウィンドウ54は、2277.5ミクロンx
500.0ミクロンのサイズを有する。したがって、実
施例のIORDグループ52は、10.4ミクロン分の
水平配置の柔軟性(矢印60aおよび60bの方向)
と、300.2ミクロン分の垂直配置の柔軟性(矢印6
2aおよび62bの方向)とを有する。端子パッド・グ
ループ10の場合、水平配置は、領域A〜P内のIOR
Dと端子パッド・サイズとの非スケーラビリティおよび
周期性に応じて変動可能である。集積回路のフロア・プ
ラン構成要素とIORDの実施、設計、配置により、矢
印62aおよび62bが示す垂直方向の配置の柔軟性が
最も大きくなる。
【0032】好ましい実施例の決定的な接続技法によ
り、領域A〜P内の16個のIORDのそれぞれは、ウ
ィンドウ54内のIORDグループ52内の実際の水平
および垂直配置位置とは無関係に、金属層(適当な拡張
金属層を含む)を介して端子パッド16a〜pのそれぞ
れに接続可能である。より具体的には、領域A〜P内の
IORDが関連の端子パッド16a〜pに接続されるよ
うに図2の主要接続セル19を変更するためのアルゴリ
ズムによって、ウィンドウ54内のIORDグループ5
2の位置に応じて、拡張金属層(図3〜5に関連して上
述する)が形成される。
【0033】領域A〜P内のIORDは関連の端子パッ
ド16a〜pに接続可能であるが、端子パッド16a〜
pに対する配置(または位置)の柔軟性を持っている。
領域A〜P(および領域A〜P内のIORD)のこのよ
うな配置の柔軟性は、ウィンドウ54内の境界ボックス
50の配置の柔軟性とほぼ同等である。さらに、領域A
〜P(および領域A〜P内のIORDのそれぞれ)は、
互いに無関係にこのような配置の柔軟性を持っている。
【0034】したがって、信号端子パッド16aは領域
B内のIORD回路に接続され、信号端子パッド16b
は領域A内のIORD回路に接続される。同様に、信号
端子パッド16cは領域D内のIORD回路に接続さ
れ、信号端子パッド16dは領域C内のIORD回路に
接続される。また、信号端子パッド16eは領域E内の
IORD回路に接続される。
【0035】さらに、信号端子パッド16fは領域F内
のIORD回路に接続され、信号端子パッド16gは領
域G内のIORD回路に接続される。さらに、信号端子
パッド16hは領域H内のIORD回路に接続され、信
号端子パッド16iは領域J内のIORD回路に接続さ
れる。また、信号端子パッド16jは領域I内のIOR
D回路に接続され、信号端子パッド16kは領域K内の
IORD回路に接続される。
【0036】同様に、信号端子パッド16lは領域N内
のIORD回路に接続される。信号端子パッド16mは
領域M内のIORD回路に接続され、信号端子パッド1
6nは領域L内のIORD回路に接続される。最後に、
信号端子パッド16oは領域P内のIORD回路に接続
され、信号端子パッド16pは領域O内のIORD回路
に接続される。
【0037】端子パッド16a〜pのそれぞれは、集積
回路が密閉されているパッケージ(図2には図示せず)
のそれぞれのピン・コネクタにさらに接続される。集積
回路はこのようなピン・コネクタを介して他の回路との
インタフェースが取られる。したがって、集積回路の領
域A〜P内の16個のIORDは、金属層20a〜m
(および適当な拡張金属層)を介し、さらに端子パッド
16a〜pを介してパッケージの16個のピン・コネク
タに結合される。
【0038】図7は、実施例によるほぼ同一の複数の端
子パッド・グループ10、70、72、74、76内の
集積回路の各部の配置の柔軟性を示す図である。図7に
示すように、境界ボックス50はウィンドウ54の上部
に向かって配置されている。
【0039】したがって、領域HおよびL内のIORD
が端子パッド16hおよび16nにそれぞれ接続される
ように図2の主要接続セル19を変更するため、下部信
号拡張金属層40aおよび40bが形成される。また、
領域A、C、E、G、I、K、M、O内のIORDが端
子パッド16b、16d、16e、16g、16j、1
6k、16m、16pにそれぞれ接続されるように図2
の主要接続セル19を変更するため、中間信号拡張金属
層38a〜hも形成される。さらに、この例では、集積
回路の専用接地供給バスが接地端子パッド12a〜eに
接続されるように、図7に示すように接地拡張金属層3
2および34a〜bが形成される。
【0040】端子パッド・グループ70を参照すると、
そのIORDグループはそのグループのウィンドウの上
部中間部分に向かって配置される。比較すると、端子パ
ッド・グループ72のIORDグループはそのウィンド
ウの中間部分に向かって配置される。さらに、端子パッ
ド・グループ74のIORDグループはそのウィンドウ
の下部中間部分に向かって配置される。また、端子パッ
ド・グループ76のIORDグループはそのウィンドウ
の下部部分に向かって配置される。
【0041】したがって、各IORDグループは、それ
ぞれのウィンドウ内の他のIORDグループのそれぞれ
の位置とは無関係に、そのウィンドウ内に配置可能であ
る。同様に、図7には図示されていないが、領域A〜P
(および領域A〜P内のIORDのそれぞれ)は、互い
に無関係にこのような配置(または位置)の柔軟性を有
する。たとえば、端子パッド・グループ10の領域A
は、同時に端子パッド・グループ10の領域Bがそのグ
ループのウィンドウ54の下部部分に向かって配置され
ていても、そのグループのウィンドウ54の上部部分に
向かって配置することができる。この能力は図2〜6か
ら明らかである。したがって、実施例では、ウィンドウ
54内の領域A〜Pの矢印62a〜bの方向に置かれた
それぞれの位置(または配置)は完全に互いに無関係に
なる。
【0042】図7に示すように、IORD信号が信号端
子パッドに接続されるように図2の主要接続セル19を
変更するために、各IORDグループごとに信号拡張金
属層が適切に形成される。さらに、集積回路の専用接地
供給バスが接地端子パッドに接続されるように、図7に
示すように接地拡張金属層が適切に形成される。同様
に、集積回路の専用電源バスがVdd端子パッドに接続
されるように、図7に示すようにVdd拡張金属層が適
切に形成される。この例の拡張金属層は、図7にほぼ示
すように、端子パッド・グループと相対的に配置、配
向、成形される。
【0043】図8は、実施例による集積回路(全体を8
0で示す)内の複数の端子パッド・グループからなるア
レイを示す図である。図8の例では、4x9(mxn)
のアレイ内で端子パッド・グループが複製される。この
アレイは8つの空のスロットを含むが、これは主に
(a)集積回路80内の機能ユニットのフロア・プラン
の実施、(b)集積回路80内の大型アレイの位置、お
よび(c)集積回路80内の端子パッドの実数による。
【0044】たとえば、図8は、図7の端子パッド・グ
ループ10、70、72、74、76を含む集積回路8
0を示している。集積回路80は、追加の実線の枠によ
って図8に示されている他の端子パッド・グループをさ
らに含むので、この例の集積回路80は合計28個の端
子パッド・グループを含む。
【0045】この一連の端子パッド・グループは集積回
路80の端子パッドを区分するように機能する。各端子
パッド・グループ内では、実施例の決定的な接続技法に
対応するために接地、Vdd、信号の各端子パッドが配
置されている。したがって、実施例の決定的な接続技法
は集積回路80のすべての端子パッド・グループに適用
可能である。
【0046】実施例の技法は、前述したように集積回路
80が単一の最上部レベルの金属層を含む場合に特に有
利である。これは、実施例の技法が(単一の最上部レベ
ルの金属層にパターン形成することによって形成した)
金属層の規則正しいルーティングをサポートしているか
らである。このため、このようなルーティングは複雑さ
が下がり、より扱いやすいものになる。
【0047】したがって、金属層がより効率よく使用さ
れる。実施例の技法では、IORDグループ52の領域
A〜P(図6)を介して水平および垂直に追加の信号
(IORDの信号とは無関係)を経路指定することがで
きる。追加の信号を経路指定できるこの能力は、特定レ
ベルの金属層(複数も可)に制限されない。
【0048】まとめとして、本発明の構成に関して以下
の事項を開示する。
【0049】(1)集積回路に接続するための構造にお
いて、集積回路内に形成された複数の端子と、前記端子
の少なくとも1つに接続された少なくとも1つの金属層
とを含む、接続セルと、前記端子のそれぞれに接続可能
でありかつ配置の柔軟性を有する、集積回路の複数の部
分とを含むことを特徴とする構造。 (2)前記部分が集積回路のレシーバ部分、ドライバ部
分またはレシーバ部分とドライバ部分の両方を含むこと
を特徴とする、上記(1)に記載の構造。 (3)前記端子がmxn個の端子のアレイであり、mと
nが整数であることを特徴とする、上記(1)に記載の
構造。 (4)前記部分が前記端子に対して2次元の横方向の配
置の柔軟性を有することを特徴とする、上記(1)に記
載の構造。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例による端子パッド・グループを示す図で
ある。
【図2】実施例による主要接続セルを示す図である。
【図3】図2の最上部レベルの金属層の変更例を示す図
である。
【図4】図2の最上部レベルの金属層の変更例を示す図
である。
【図5】図2の最上部レベルの金属層の変更例を示す図
である。
【図6】実施例による端子パッド・グループ境界ボック
スを示す図である。
【図7】実施例によるほぼ同一の複数の端子パッド・グ
ループ内の集積回路の各部の配置の柔軟性を示す図であ
る。
【図8】実施例による集積回路内の複数の端子パッド・
グループからなるアレイを示す図である。
【符号の説明】
10 端子パッド・グループ 12a〜e 専用接地端子パッド 14a〜d 専用Vdd端子パッド 16a〜p 専用信号端子パッド 18a 集積回路Vddのプレース・ホルダ 18b 集積回路Vddのプレース・ホルダ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 594083818 モトローラ・インコーポレイテッド アメリカ合衆国60196、イリノイ州シャー ムバーク、イースト・アルゴンクイン・ロ ード1303、サ−ド・フロワー (72)発明者 デーヴィッド・レイ・ビアデン アメリカ合衆国78739 テキサス州オース チン ディーダム・レーン 6203 (72)発明者 マーク・デーヴィッド・ボリジャー アメリカ合衆国78681 テキサス州ラウン ド・ロック リバーローン・ドライブ 705

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】集積回路に接続するための構造において、 集積回路内に形成された複数の端子と、前記端子の少な
    くとも1つに接続された少なくとも1つの金属層とを含
    む、接続セルと、 前記端子のそれぞれに接続可能でありかつ配置の柔軟性
    を有する、集積回路の複数の部分とを含むことを特徴と
    する構造。
  2. 【請求項2】前記部分が集積回路のレシーバ部分、ドラ
    イバ部分またはレシーバ部分とドライバ部分の両方を含
    むことを特徴とする、請求項1に記載の構造。
  3. 【請求項3】前記端子がmxn個の端子のアレイであ
    り、mとnが整数であることを特徴とする、請求項1に
    記載の構造。
  4. 【請求項4】前記部分が前記端子に対して2次元の横方
    向の配置の柔軟性を有することを特徴とする、請求項1
    に記載の構造。
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