JPH0822723B2 - 空気滅菌用低温プラズマ発生装置 - Google Patents
空気滅菌用低温プラズマ発生装置Info
- Publication number
- JPH0822723B2 JPH0822723B2 JP63014144A JP1414488A JPH0822723B2 JP H0822723 B2 JPH0822723 B2 JP H0822723B2 JP 63014144 A JP63014144 A JP 63014144A JP 1414488 A JP1414488 A JP 1414488A JP H0822723 B2 JPH0822723 B2 JP H0822723B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- voltage
- electrodes
- electrode
- temperature plasma
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Disinfection, Sterilisation Or Deodorisation Of Air (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はオゾンによる空気滅菌法に用いる低温プラズ
マ発生装置に関する。より詳しく述べると、本発明は殺
菌ガスであるオゾンを分解するための低温プラズマ発生
用放電装置である。
マ発生装置に関する。より詳しく述べると、本発明は殺
菌ガスであるオゾンを分解するための低温プラズマ発生
用放電装置である。
従来の技術 病院の待合室あるいは手術室などの医療施設では感染
予防対策として無菌空気調和装置が設置されている。食
品産業の分野で無菌環境が必要となり、特に無菌パック
・ロングライフ食品の製造工場においてはバイオクリー
ンルームが積極的に取り入れられつつある。
予防対策として無菌空気調和装置が設置されている。食
品産業の分野で無菌環境が必要となり、特に無菌パック
・ロングライフ食品の製造工場においてはバイオクリー
ンルームが積極的に取り入れられつつある。
本出願人は、従来のフィルター方式による無菌化方法
の欠点を克服した新規な空気殺菌方法を特開昭62−5755
7号にて開示した。この方法は、微生物を含むガスにオ
ゾンを添加し、得られるオゾン含有ガスを放電帯域に導
入してプラズマ状態とし、そして、得られる処理ガスを
常温で触媒反応帯域に通してオゾンと微生物をほとんど
含まないガスを得ることを特徴とするものである。
の欠点を克服した新規な空気殺菌方法を特開昭62−5755
7号にて開示した。この方法は、微生物を含むガスにオ
ゾンを添加し、得られるオゾン含有ガスを放電帯域に導
入してプラズマ状態とし、そして、得られる処理ガスを
常温で触媒反応帯域に通してオゾンと微生物をほとんど
含まないガスを得ることを特徴とするものである。
オゾンが殺菌作用を示すことは従来から知られてい
る。しかしながら、オゾンの分解速度および殺菌速度が
遅いため、オゾンによる空気滅菌は行なわれていなかっ
た。一方、前記した先願発明はオゾンの分解と殺菌を同
時にかつ速やかに行うものである。すなわち、オゾンを
添加した被処理空気を放電処理して活性酸素等の低温プ
ラズマを生成させる。この低温プラズマが被処理空気中
の微生物を死滅させる。後段の触媒反応帯域ではわずか
に残存する未分解のオゾンを分解してオゾン臭のない無
菌空気とする。
る。しかしながら、オゾンの分解速度および殺菌速度が
遅いため、オゾンによる空気滅菌は行なわれていなかっ
た。一方、前記した先願発明はオゾンの分解と殺菌を同
時にかつ速やかに行うものである。すなわち、オゾンを
添加した被処理空気を放電処理して活性酸素等の低温プ
ラズマを生成させる。この低温プラズマが被処理空気中
の微生物を死滅させる。後段の触媒反応帯域ではわずか
に残存する未分解のオゾンを分解してオゾン臭のない無
菌空気とする。
ところで、気体の放電はそれ自体非常に不安定な現象
である。このため必ずしも全ての電極対では放電が生じ
ない不均一放電を起す場合がある。このような不均一放
電により処理空気中にオゾンあるいは微生物が残留する
と、この空気が供給されるクリーンルームが汚染されて
製品や作業員に重大な障害を与える。先願発明において
は印加電極間に中間電極を設けて不均一放電を回避して
いる。さらに、本願出願人は、放電ギャップを流れる気
体の流速を一定値以上とすることにより均一かつ安定し
た放電を可能にする方法並びに装置を提案している（特
開昭62−98586号）。
である。このため必ずしも全ての電極対では放電が生じ
ない不均一放電を起す場合がある。このような不均一放
電により処理空気中にオゾンあるいは微生物が残留する
と、この空気が供給されるクリーンルームが汚染されて
製品や作業員に重大な障害を与える。先願発明において
は印加電極間に中間電極を設けて不均一放電を回避して
いる。さらに、本願出願人は、放電ギャップを流れる気
体の流速を一定値以上とすることにより均一かつ安定し
た放電を可能にする方法並びに装置を提案している（特
開昭62−98586号）。
発明が解決しようとする課題 前述の通り、中間電極の設置あるいは送風量の制御に
より均一かつ安定な放電を行うことができる。しかしな
がら、この種の殺菌装置においてはより一層の厳しい安
全性の要求が高まっており、そのためにはより信頼性の
高い均一かつ安定した放電が望まれている。
より均一かつ安定な放電を行うことができる。しかしな
がら、この種の殺菌装置においてはより一層の厳しい安
全性の要求が高まっており、そのためにはより信頼性の
高い均一かつ安定した放電が望まれている。
課題を解決するための手段 本発明は先願発明にて使用する放電装置の改良に係
り、風速の制約を受けることなくより安定かつ均一な放
電を可能にする放電装置を提供するものである。
り、風速の制約を受けることなくより安定かつ均一な放
電を可能にする放電装置を提供するものである。
すなわち本発明は高圧電源と、相対向する少なくとも
一対の印加電極と、前記した一対の印加電極の放電部を
結ぶ線上に位置しかつこれら印加電極から所定の間隔を
もって配置した中間電極とからなり、前記高圧電源と前
記した一対の印加電極の少なくとも一方の電極とはバラ
ンス用コンデンサーを介して接続されていることを特徴
とする、空気滅菌用低温プラズマ発生装置である。
一対の印加電極と、前記した一対の印加電極の放電部を
結ぶ線上に位置しかつこれら印加電極から所定の間隔を
もって配置した中間電極とからなり、前記高圧電源と前
記した一対の印加電極の少なくとも一方の電極とはバラ
ンス用コンデンサーを介して接続されていることを特徴
とする、空気滅菌用低温プラズマ発生装置である。
作用 以下、添付図面を参照しつつ本発明に係る装置の構成
および作用を説明する。
および作用を説明する。
第１図は本発明の装置の好ましい実施例を示す回路図
である。本例では交流電圧を電極に印加しているが、直
流電圧を適用することもできる。
である。本例では交流電圧を電極に印加しているが、直
流電圧を適用することもできる。
交流100〜200Vの電圧を可変抵抗器Ｒに印加し、これ
より所定の交流電圧を取り出して昇圧器Ｔの一次側に供
給する。一次回路には図のようにリアクタンスＬが直列
に接続されている。このリアクタンスＬは一次側交流電
圧の波形に含まれているノイズを除去するとともに、電
圧波形を平滑にする。V1は一次側電圧を指示する電圧計
である。
より所定の交流電圧を取り出して昇圧器Ｔの一次側に供
給する。一次回路には図のようにリアクタンスＬが直列
に接続されている。このリアクタンスＬは一次側交流電
圧の波形に含まれているノイズを除去するとともに、電
圧波形を平滑にする。V1は一次側電圧を指示する電圧計
である。
昇圧器Ｔの二次側の両端子は、中間電極２を介在して
相対向する印加電極１、１′にバランス用コンデンサー
C2を経て接続されている。本例では５対の印加電極1,
1′を設け、各印加電極１にはバランス用コンデンサーC
2が接続されている。各々のバランス用コンデンサーC2
の容量は同一であっても異なっていてもよいが、同一形
状および構造の電極を用いる場合は、同一容量とするの
が好ましい。
相対向する印加電極１、１′にバランス用コンデンサー
C2を経て接続されている。本例では５対の印加電極1,
1′を設け、各印加電極１にはバランス用コンデンサーC
2が接続されている。各々のバランス用コンデンサーC2
の容量は同一であっても異なっていてもよいが、同一形
状および構造の電極を用いる場合は、同一容量とするの
が好ましい。
昇圧器Ｔの二次側の両端子にはプラズマ電流供給用コ
ンデンサーC1も接続されており、このコンデンサーC1へ
の電荷の蓄積と放出を繰り返しながら持続的な放電が起
り、低温プラズマが形成される。
ンデンサーC1も接続されており、このコンデンサーC1へ
の電荷の蓄積と放出を繰り返しながら持続的な放電が起
り、低温プラズマが形成される。
次に、本発明の低温プラズマ発生装置の放電部で用い
る放電装置の好ましい構成を第２図に示す。
る放電装置の好ましい構成を第２図に示す。
この放電装置は、電圧が印加されかつ相対向するよう
に配置された印加電極１、１′と、前記両印加電極１、
１′の放電部を結ぶ線上に位置しかつこれら電極の間に
これら電極から間隔をもって配置された中間電極２から
なる。電極支持枠４には左側および右側にそれぞれ印加
電極１、１′が５本ずつ並列に配置されている。同一水
平面上に位置する印加電極１、１′はその尖端部が対向
するように配置され、これら尖端部を結ぶ線上には中間
電極２を設置するとともに、印加電極１、１′と中間電
極２並びに各中間電極２は所定の間隔をおいて隔てられ
ている。
に配置された印加電極１、１′と、前記両印加電極１、
１′の放電部を結ぶ線上に位置しかつこれら電極の間に
これら電極から間隔をもって配置された中間電極２から
なる。電極支持枠４には左側および右側にそれぞれ印加
電極１、１′が５本ずつ並列に配置されている。同一水
平面上に位置する印加電極１、１′はその尖端部が対向
するように配置され、これら尖端部を結ぶ線上には中間
電極２を設置するとともに、印加電極１、１′と中間電
極２並びに各中間電極２は所定の間隔をおいて隔てられ
ている。
印加電極１、１′は好ましくは針状電極であるが、そ
の他平板電極、棒状電極をも用いることができる。針状
電極では尖端部を、平板電極では端部を、棒状電極では
長さ方向を互いに対向して配置する。印加電極１、１′
の材料は鉄，アルミニウム，タングステンなど従来周知
の導電性材料を用いることができる。
の他平板電極、棒状電極をも用いることができる。針状
電極では尖端部を、平板電極では端部を、棒状電極では
長さ方向を互いに対向して配置する。印加電極１、１′
の材料は鉄，アルミニウム，タングステンなど従来周知
の導電性材料を用いることができる。
中間電極２も前記と同様に種々の形状，材料を用いる
ことができるが、好ましくは針状電極である。この中間
電極により各放電ギャップにおいて均等に放電させるこ
とができる。ここで放電ギャップ長とは、左側の印加電
極１′の尖端から右側の印加電極１の尖端までの長さか
ら中間電極２の長さを引いた値である。すなわち、放電
ギャップ長ｌは、 ｌ＝l1＋l2＋l3 （式中、l1,l2,l3はそれぞれ図に示す通り電極間の距離
を示す）である。従来の装置においては両印加電極間の
長さがｌに相当するが、本発明に係る装置においてはｌ
を中間電極２を介在させて分割する。図においてはｌを
三分されている。一般的に言えば同一水平洗浄に位置す
る中間電極の数をｎとすれば、ｌはｎ＋１に分割され
る。l1,l2,l3は等距離であっても異なっていてもよい。
しかしながらl1＝l2＝l3のときに最も安定しかつ均一な
放電が形成される。中間電極２の長さは適宜選択でき
る。中間電極２は支持枠４に左右に移動可能な状態にし
て、l1,l2,l3の微調整を行うようにできるのが好まし
い。
ことができるが、好ましくは針状電極である。この中間
電極により各放電ギャップにおいて均等に放電させるこ
とができる。ここで放電ギャップ長とは、左側の印加電
極１′の尖端から右側の印加電極１の尖端までの長さか
ら中間電極２の長さを引いた値である。すなわち、放電
ギャップ長ｌは、 ｌ＝l1＋l2＋l3 （式中、l1,l2,l3はそれぞれ図に示す通り電極間の距離
を示す）である。従来の装置においては両印加電極間の
長さがｌに相当するが、本発明に係る装置においてはｌ
を中間電極２を介在させて分割する。図においてはｌを
三分されている。一般的に言えば同一水平洗浄に位置す
る中間電極の数をｎとすれば、ｌはｎ＋１に分割され
る。l1,l2,l3は等距離であっても異なっていてもよい。
しかしながらl1＝l2＝l3のときに最も安定しかつ均一な
放電が形成される。中間電極２の長さは適宜選択でき
る。中間電極２は支持枠４に左右に移動可能な状態にし
て、l1,l2,l3の微調整を行うようにできるのが好まし
い。
次に、本発明の作用について第１図を参照しつつ説明
する。
する。
昇圧器Ｔの一次側に一次電圧（低電圧）を供給する
と、昇圧器Ｔの二次側に二次電圧（高電圧）が発生す
る。プラズマ電流供給用コンデンサーC1には二次電圧が
印加されて電荷が蓄積する。バランス用コンデンサーC2
にも電荷が蓄積するとともに、対向する印加電極間に二
次電圧が発生する。この電圧が放電電圧に達すると印加
電極間で放電が生じ、リアクタンスＬ並びに昇圧器Ｔの
電磁エネルギー、およびプラズマ電流供給用コンデンサ
ーC1の電荷が瞬時に放出され、活性酸素等の低温プラズ
マが放電ギャップにて発生する。各印加電極１にはバラ
ンス用コンデンサーC2が接続されておりここにも電荷が
蓄積されているため、全ての放電ギャップで放電を生じ
させることができる。本発明の特長を明確にするため、
バランス用コンデンサーC2を備えた印加電極対とバラン
ス用コンデンサーC2のない印加電極対とを仮定する。前
者の電極対にて放電が起った瞬間には後者の電極対では
放電が起らなかった場合（例えば気流の影響あるいは放
電ギャップ長のわずかのずれなどによる）、放電により
電圧は急激に低下するので後者の電極対ではもはや放電
は起らないであろう。これに対し、バランス用コンデン
サーC2がない印加電極対で最初に放電が起り電圧が急激
に低下しても、バランス用コンデンサーC2には電荷が蓄
積されているため、このコンデンサーを備えた電極対は
必ず放電が生じるであろう。かかる作用により均一な放
電を確保できるのである。また、バランス用コンデンサ
ーC2の存在により放電電流の経時変化が比較的緩やかと
なり安定な放電を形成できる。
と、昇圧器Ｔの二次側に二次電圧（高電圧）が発生す
る。プラズマ電流供給用コンデンサーC1には二次電圧が
印加されて電荷が蓄積する。バランス用コンデンサーC2
にも電荷が蓄積するとともに、対向する印加電極間に二
次電圧が発生する。この電圧が放電電圧に達すると印加
電極間で放電が生じ、リアクタンスＬ並びに昇圧器Ｔの
電磁エネルギー、およびプラズマ電流供給用コンデンサ
ーC1の電荷が瞬時に放出され、活性酸素等の低温プラズ
マが放電ギャップにて発生する。各印加電極１にはバラ
ンス用コンデンサーC2が接続されておりここにも電荷が
蓄積されているため、全ての放電ギャップで放電を生じ
させることができる。本発明の特長を明確にするため、
バランス用コンデンサーC2を備えた印加電極対とバラン
ス用コンデンサーC2のない印加電極対とを仮定する。前
者の電極対にて放電が起った瞬間には後者の電極対では
放電が起らなかった場合（例えば気流の影響あるいは放
電ギャップ長のわずかのずれなどによる）、放電により
電圧は急激に低下するので後者の電極対ではもはや放電
は起らないであろう。これに対し、バランス用コンデン
サーC2がない印加電極対で最初に放電が起り電圧が急激
に低下しても、バランス用コンデンサーC2には電荷が蓄
積されているため、このコンデンサーを備えた電極対は
必ず放電が生じるであろう。かかる作用により均一な放
電を確保できるのである。また、バランス用コンデンサ
ーC2の存在により放電電流の経時変化が比較的緩やかと
なり安定な放電を形成できる。
上記した１サイクルの放電が完了すると同時にプラズ
マ電流供給用コンデンサーC1に電荷が連続的に蓄積され
て２サイクル目の放電が行われる。これを繰り返すこと
により低温プラズマが連続的に発生する。
マ電流供給用コンデンサーC1に電荷が連続的に蓄積され
て２サイクル目の放電が行われる。これを繰り返すこと
により低温プラズマが連続的に発生する。
毎秒当りの放電回数はリアクタンスＬの容量、プラズ
マ電流供給用コンデンサーC1の容量により可変できる。
マ電流供給用コンデンサーC1の容量により可変できる。
第３図は一次側電圧の波形図である。
第４図は二次側電圧の波形図である。本図において各
斜線は放電が生じるまでの電圧上昇を示している。放電
により電圧は急激に低下し（この部分は図示していな
い）、次の放電が生じるまで電圧は斜線に沿って上昇す
る。一次側電圧が低下し（第３図で示す山形波形の裾の
部分）二次側電圧が放電電圧以下になると、もはや放電
は起らず、二次側電圧波形は第４図の山形の曲線を描
く。
斜線は放電が生じるまでの電圧上昇を示している。放電
により電圧は急激に低下し（この部分は図示していな
い）、次の放電が生じるまで電圧は斜線に沿って上昇す
る。一次側電圧が低下し（第３図で示す山形波形の裾の
部分）二次側電圧が放電電圧以下になると、もはや放電
は起らず、二次側電圧波形は第４図の山形の曲線を描
く。
第５図は本発明の装置において１回の放電が完了する
までの二次側電圧Vgの経時変化を示すグラフであり、第
６図はこのときの放電電流Igの経時変化を示すグラフで
ある。
までの二次側電圧Vgの経時変化を示すグラフであり、第
６図はこのときの放電電流Igの経時変化を示すグラフで
ある。
第５図における電圧Vgの立上り部分が第４図の斜線に
相当する。第６図において、放電電流Igの降下は比較的
緩やかとなっている。これは前述の通りバランス用コン
デンサーC2によるものと思われる。
相当する。第６図において、放電電流Igの降下は比較的
緩やかとなっている。これは前述の通りバランス用コン
デンサーC2によるものと思われる。
実 施 例 第７図に示す実験装置を用いて無風状態でプラズマを
発生させた。第８図は第７図の右側に示されている放電
装置の電極配列状態を示す斜視図である。本装置の基本
的構成は第１図に示すものと同様である。放電ギャップ
（l1＝l2＝l3＝4mm）を３箇所直列に設けて一組の放電
部分とし、これを10組並列に配置した。電極にはタング
ステン線を用い、装置本体にはポリカーボネート板を用
いた。印加電圧は一次側交流100V（60Hz）、二次側20kV
であった。すべての放電ギャップにおいて均一かつ安定
した放電が形成されるのを確認した。
発生させた。第８図は第７図の右側に示されている放電
装置の電極配列状態を示す斜視図である。本装置の基本
的構成は第１図に示すものと同様である。放電ギャップ
（l1＝l2＝l3＝4mm）を３箇所直列に設けて一組の放電
部分とし、これを10組並列に配置した。電極にはタング
ステン線を用い、装置本体にはポリカーボネート板を用
いた。印加電圧は一次側交流100V（60Hz）、二次側20kV
であった。すべての放電ギャップにおいて均一かつ安定
した放電が形成されるのを確認した。
発明の効果 本発明によれば、風速の制約を受けることなく均一か
つ安定した放電を形成することができる。放電はそれ自
体不安定な現象であるため、放電ギャップを流れる気流
の状態、放電ギャップ長のわずかのずれあるいは電極の
形状およびその表面状態等の多くの因子により影響を受
ける。本発明の装置はこれら因子による影響を吸収して
不均一あるいは不安定な放電を回避することができる。
つ安定した放電を形成することができる。放電はそれ自
体不安定な現象であるため、放電ギャップを流れる気流
の状態、放電ギャップ長のわずかのずれあるいは電極の
形状およびその表面状態等の多くの因子により影響を受
ける。本発明の装置はこれら因子による影響を吸収して
不均一あるいは不安定な放電を回避することができる。
本発明に係る装置の用途である空気殺菌においては、
前述した利点は非常に重要である。すなわち、本発明の
装置にて処理した空気にオゾンや微生物が残存するおそ
れがないため、殺菌装置の信頼性が高まる。また、放電
が持続的に行われるため殺菌効果も向上する。加えて本
発明の装置は構造が簡単であるため、従来装置を一部変
更するだけで本発明の装置とすることが可能である。
前述した利点は非常に重要である。すなわち、本発明の
装置にて処理した空気にオゾンや微生物が残存するおそ
れがないため、殺菌装置の信頼性が高まる。また、放電
が持続的に行われるため殺菌効果も向上する。加えて本
発明の装置は構造が簡単であるため、従来装置を一部変
更するだけで本発明の装置とすることが可能である。
第１図は本発明の装置の好ましい実施例を示す回路図で
ある。 第２図は本発明の装置の放電部の好ましい実施例を示す
構成図である。 第３図は一次側電圧の波形図である。 第４図は二次側電圧の波形図である。 第５図は本発明の装置における二次側電圧の経時変化を
示すグラフであり、第６図は放電電流の経時変化を示す
グラフである。 第７図および第８図は実施例で用いた装置の斜視図であ
る。 Ｒ……可変抵抗器、Ｌ……リアクタンス Ｔ……昇圧器、V1,Vg……電圧計 Ig……電流 C1……プラズマ電流供給用コンデンサー C2……バランス用コンデンサー 1,1′……印加電極、２……中間電極 ４……電極支持枠
ある。 第２図は本発明の装置の放電部の好ましい実施例を示す
構成図である。 第３図は一次側電圧の波形図である。 第４図は二次側電圧の波形図である。 第５図は本発明の装置における二次側電圧の経時変化を
示すグラフであり、第６図は放電電流の経時変化を示す
グラフである。 第７図および第８図は実施例で用いた装置の斜視図であ
る。 Ｒ……可変抵抗器、Ｌ……リアクタンス Ｔ……昇圧器、V1,Vg……電圧計 Ig……電流 C1……プラズマ電流供給用コンデンサー C2……バランス用コンデンサー 1,1′……印加電極、２……中間電極 ４……電極支持枠
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 角屋 正人 東京都新宿区四谷２丁目４番地 新菱冷熱 工業株式会社内 (72)発明者 村松 和見 愛知県海部郡甚目寺町大字甚目寺字流80番 地 タカオカ化成工業株式会社内 (72)発明者 山田 和夫 愛知県海部郡甚目寺町大字甚目寺字流80番 地 タカオカ化成工業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】高圧電源と、相対向する少なくとも一対の
印加電極と、前記した一対の印加電極の放電部を結ぶ線
上に位置しかつこれら印加電極から所定の間隔をもって
配置した中間電極とからなり、前記高圧電源と前記した
一対の印加電極の少なくとも一方の電極とはバランス用
コンデンサーを介して接続されていることを特徴とす
る、空気滅菌用低温プラズマ発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63014144A JPH0822723B2 (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | 空気滅菌用低温プラズマ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63014144A JPH0822723B2 (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | 空気滅菌用低温プラズマ発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01192703A JPH01192703A (ja) | 1989-08-02 |
| JPH0822723B2 true JPH0822723B2 (ja) | 1996-03-06 |
Family
ID=11852955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63014144A Expired - Lifetime JPH0822723B2 (ja) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | 空気滅菌用低温プラズマ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0822723B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19826418C2 (de) * | 1998-06-16 | 2003-07-31 | Horst Schmidt-Boecking | Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasma sowie ein Herstellungsverfahren für die Vorrichtung sowie Verwendung der Vorrichtung |
| US20020139659A1 (en) * | 2001-04-03 | 2002-10-03 | Skion Corporation | Method and apparatus for sterilization of fluids using a continuous capillary discharge atmospheric pressure plasma shower |
| JP4380973B2 (ja) * | 2002-08-29 | 2009-12-09 | シャープ株式会社 | ウイルスの感染率を低下させる方法、病原性細菌および／または芽胞形成菌を殺菌する方法およびそれらの方法を実行する装置 |
| JP5531240B2 (ja) * | 2005-09-20 | 2014-06-25 | イマジニアリング株式会社 | 点火装置、内燃機関、点火プラグ、及びプラズマ装置 |
-
1988
- 1988-01-25 JP JP63014144A patent/JPH0822723B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01192703A (ja) | 1989-08-02 |
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