JPH08226871A - カラーフィルタの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 カラーフィルタ基板の検査ステージへの載置
及び検査ステージからの取り外しを含む搬送工程の自動
化を図り、その結果として効率的に検査を行えるように
する。 【構成】 カラーフィルタ基板を載置する検査ステージ
３０と、この載置された基板を照射する光源部と、基板
からの光を検出する検出手段と、この検出手段からの画
像信号を電気的に処理する検査処理手段とを備えた検査
装置において、前工程からの基板を１枚ずつ搬入するロ
ーダ部Ａと、検査済みの基板を１枚ずつ搬出するアンロ
ーダ部Ｂと、ローダ部Ａから検査ステージ３０へ、検査
ステージ３０からアンローダ部Ｂへと別の基板を同時に
搬送可能な移送部Ｃとからなる搬送系を設け、ローダ部
Ａとアンローダ部Ｂでは基板の両サイドを支えて搬送す
るようにし、移送部Ｃでは基板の縁を保持して搬送す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、主として液晶ディスプ
レイに用いられるカラーフィルタの検査装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】一般に液晶ディスプレイ用のカラーフィ
ルタは、ガラス等の基板上に遮光層とレッド（Ｒ）、グ
リーン（Ｇ）、ブルー（Ｂ）の各色の着色画素とを形成
して作製されるが、不良品を出荷しないようにするた
め、これらのパターンを形成した後でその欠陥検査が行
われている。そして、従来はこの欠陥検査を目視で行っ
ていたが、最近では自動的に行う装置が種々提案されて
いる。その代表的なものとして、カラーフィルタの上面
と下面から光を照射し、上面からの照射光の反射光と下
面からの照射光の透過光との合成された光を１つの光検
出器にて受光し、この合成された光の光量の変化により
欠陥を検出するようにしたものが知られている（特開平
５−１１８９９５号公報参照）。また、カラーフィルタ
のもつ規則的な構造と欠陥位置における光透過率の変化
を利用し、検出手段に入射する透過光の範囲をＲ，Ｇ，
Ｂの周期的繰り返し構造の整数倍に制限することによ
り、処理すべきデータ数を減少させるようにしたものも
知られている（特開平６−５８８３９号公報参照）。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
にカラーフィルタの欠陥検査を行うに際しては、パター
ンを形成したカラーフィルタ基板を検査ステージに載せ
る必要がある。この場合、カラーフィルタ基板を傷つけ
ないようにするため、従来は検査するカラーフィルタ基
板を１枚ずつ検査ステージに載せる工程と検査済みのカ
ラーフィルタ基板を検査ステージから取り外す工程をそ
れぞれ手作業で行っていた。このため欠陥検査を効率的
に行うことができないという問題点があった。そこで、
この搬送工程の自動化が要望されてはいるが、カラーフ
ィルタ基板の表面を傷つけないで自動的に搬送するのは
難しいという事情がある。

【０００４】本発明は、上記の問題点を解決することを
目的としており、カラーフィルタ基板の検査ステージへ
の載置及び検査ステージからの取り出しを含む搬送工程
の自動化を図り、その結果として効率的に検査を行うこ
とのできるカラーフィルタの検査装置を提供することに
ある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は、カラーフィルタ基板を載置する検査ステ
ージと、この載置されたカラーフィルタ基板を照射する
光源部と、カラーフィルタ基板からの光を検出する検出
手段と、検出手段からの画像信号を電気的に処理する検
査処理手段とを備えたカラーフィルタの検査装置におい
て、前工程からのカラーフィルタ基板を１枚ずつ搬入す
るローダ部と、検査済みのカラーフィルタ基板を１枚ず
つ搬出するアンローダ部と、ローダ部から検査ステージ
へ、検査ステージからアンローダ部へと別のカラーフィ
ルタ基板を同時に搬送可能な移送部とからなる搬送系を
設け、ローダ部とアンローダ部ではカラーフィルタ基板
の両サイドを支えて搬送するようにし、移送部ではカラ
ーフィルタ基板の縁を保持して搬送するようにしたこと
を特徴とする。

【０００６】そして、前記移送部において、２つのコロ
を回動自在に支持する保持部材を保持機構に使用し、カ
ラーフィルタ基板の４隅をそれぞれ前記保持部材で挟持
することによりカラーフィルタ基板を保持するようにし
たものである。

【０００７】

【作用】ローダ部とアンローダ部ではカラーフィルタ基
板の両サイドを支えて搬送するので基板面に傷が付かな
い。また、移送部ではカラーフィルタ基板の縁を保持し
た状態でカラーフィルタ基板をローダ部から検査ステー
ジへ、また検査ステージからアンローダ部に搬送するの
で基板面に傷が付かない。

【０００８】

【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の実施例に
ついて説明する。

【０００９】図１は本発明に係る検査装置の各構成部分
を示すブロック図であり、ＣＰＵを中心にした制御演算
部が各部の動作を取りまとめている。

【００１０】搬送系は、ローダ部と、移送部と、アンロ
ーダ部とからなる。そして、ローダ部は前工程からのカ
ラーフィルタ基板を検査装置内に搬入し、移送部は基板
をローダ部から検査ステージへ、また検査ステージから
アンローダ部へと搬送し、アンローダ部は検査済みの基
板を検査装置から搬出する。

【００１１】検査部は、カラーフィルタ基板を載置する
検査ステージと、この載置された基板を下方から照射す
る光源部と、基板を透過した光を検出する検出手段とか
らなる。検出手段は、レンズ系を備えた検出部と回転ミ
ラーとを備え、カラーフィルタ基板を透過した光は回転
ミラーを介して検出部に入力する。なお、検出部にはフ
ォトダイオードやフォトマルチプライア等が用いられ
る。そして、回転ミラーを回転駆動させることで、検出
部からの検出点がカラーフィルタ基板上を走査する。ま
た、検出部を１次元的に移動可能としておき、隣のライ
ンを走査する時に検出部を１ライン分だけ移動させるよ
うにしてもよい。

【００１２】検査処理部は、検出手段からの画像信号を
電気的に処理する。まず、パターン部の前の特定のパタ
ーン（クロムのべたパターンからなるエッジ部）を認識
する。わざわざ形成するのは手間であるが、一定の間隔
のバーコードや三角マーク等の特定マークを設けてもよ
い。これによって次にパターン部がくることを認識し、
検査処理をスタートしてパターン部の画像信号を入力す
る。そして、Ｒ，Ｇ，Ｂごとに分類した各信号が、それ
ぞれＲ，Ｇ，Ｂの所定レベルの信号でなければこの数を
カウントする。

【００１３】判定部は、このカウント数を基にして良否
の判定を行う。すなわち、カウント数が所定数を越えた
場合に不良と判定する。

【００１４】設定入力部は、カラーフィルタの３色であ
るＲ，Ｇ，Ｂにそれぞれ対応した検査判定の許容値を設
定する設定入力手段を有する。すなわち、オペレータ
が、検査するカラーフィルタのＲ，Ｇ，Ｂの基本配置を
指定し、次いで各色別の基準値と基準値のバラツキとを
設定し、さらに良否判定を行うための信号レベルの許容
値の上限と下限とを設定する。これに基づき、制御演算
部にて基準値に対する上限値と下限値とが演算されて設
定される。

【００１５】基板コード読取り部では、カラーフィルタ
基板上に形成されたバーコード等のコードナンバーを読
み取り、当該基板の固有ナンバーとして認識する。

【００１６】品質情報記憶部は、基板コード読取り部に
より認識した基板の固有ナンバーに対応して判定結果を
記録し、必要に応じて後工程へ送信する。

【００１７】画像表示部は、設定入力時の画像表示と、
検査時の画像表示とを行う。また、品質情報記録部に記
録した数値データの表示も行う。さらに、ローダ部に基
板がない場合、ローダ部から基板を排出したのにローダ
部の基板の基板がまだ検知され続けている場合、検査ス
テージから基板をアンローダ部に排出したのに基板が検
知できない場合等の異常発生時の警告表示も行うことが
できる。

【００１８】図２は本発明に係る検査装置の外観を示す
正面図、図３は同じく側面図である。

【００１９】図２の正面図で見て、カラーフィルタ基板
は左側の搬入口１よりローダ部Ａに搬入される。そし
て、搬入された基板は移送部（後述）によりローダ部Ａ
から検査部（後述）の検査ステージに搬送され、検査を
終えた基板は移送部により検査部の検査ステージからア
ンローダ部Ｂに搬送された後、右側の搬出口２から搬出
される。この検査装置にはその筐体上部にカラーフィル
タ基板の欠陥検査を行うための各種機構が内蔵されてお
り、画像表示部のディスプレイ３、設定入力部の操作キ
ー４が前面に配置されている。また、筐体下部にはカラ
ーフィルタ基板の搬送を行うための搬送系が内蔵されて
いる。そして、人が簡単に手を挿入できないように全体
が金属板で覆われているが、基板の搬送状態や検査部の
様子が肉眼で確認できるように、前面と側面の一部が透
明板５，６になっている。

【００２０】図４は搬送系を示す平面図であり、図５は
同じく正面図である。図に示されるように、搬送系は、
ローダ部Ａとアンローダ部Ｂ、そしてこれらの間に設け
られた移送部Ｃからなる。

【００２１】ローダ部Ａは、前工程から搬送されるカラ
ーフィルタ基板の下側を汚さないように当該基板の両サ
イドを支えて搬送する。本実施例では、３個の溝付きコ
ロを平行に並べて、これらをベルト状のＯリングで連結
した搬送部材７を並べて使用しており、Ｏリングを回転
させて基板を検査装置内へ搬入する。そして、所定の位
置に基板がくると基板検知センサにより基板到着の認識
をする。

【００２２】移送部Ｃは、カラーフィルタ基板を保持す
る保持機構（後述）と、基板を保持してローダ部Ａから
検査部の検査ステージ３０へ、さらに検査済みの基板を
保持して検査ステージ３０からアンローダ部Ｂへと搬送
する移動機構（後述）とから構成されている。

【００２３】アンローダ部Ｂは、ローダ部Ａと同様のＯ
リングを用いた搬送部材７によりカラーフィルタ基板の
下側を汚さないように当該基板の両サイドを支えて搬送
する。そして、検査ステージ３０から基板が来たことを
基板検知センサにより認識した後、Ｏリングを回転させ
て基板を検査装置の外へ搬出する。

【００２４】移送部Ｃの保持機構は、支持部材１１によ
り一定の間隔で保持された一対の上支持棒１２と下支持
棒１３を２組備えている。この上支持棒１２と下支持棒
１３の間にはそれぞれその両端付近にカラーフィルタ基
板を保持する保持部材１４が２組ずつ設けられている。
すなわち、保持部材１４は左右にそれぞれ４組ずつ合計
８組が設けられている。そして、ギアサイドのメカボッ
クス１５からの押出し棒１６で１組の上支持棒１２と下
支持棒が１３が押し出され、引込み棒１７で残り１組の
上支持棒１２と下支持棒１３が引き込まれるようになっ
ている。

【００２５】移送部Ｃの移動機構は、メカボックス１５
をレール１８に沿って移動させるとともに、レール１８
をメカボックス１５ごと、すなわち移送部Ｃ全体を上下
に移動させるように構成されている。そして、メカボッ
クス１５内には、前記の押出し棒１６と引込み棒１７の
駆動部と、メカボックス１５をレール１８に沿ってスラ
イドさせる駆動部とが内蔵されている。

【００２６】図６は移送部Ｃの保持機構における保持部
材１４の一つを示す正面図であり、同図に示されるよう
に、保持部材１４は２つのコロ２１とこれらを両端で回
動可能に支持する上下の板材２２とからなる。そして、
上下の板材２２はそれぞれ上支持棒１２と下支持棒１３
との間でその回転軸２２ａにより回動可能に支持されて
いる。さらに上下の回転軸２２ａにはそれぞれバネ２３
が設けられており、保持部材１４が基板ＣＦを保持せず
力が加わっていない時には、板材２２が上支持棒１２及
び下支持棒１３と平行になるように構成されている。

【００２７】図７は保持機構の動作を説明するための平
面図である。前記したように、保持部材１４を支持する
上支持棒１２と下支持棒１３は２組あり、１組はギアサ
イドからカラーフィルタ基板ＣＦを挟み込むように押し
出され、もう１組はマンサイドから基板ＣＦを挟み込む
ように引き込まれる。この時、図７（ａ）に示すように
４組の保持部材１４は基板ＣＦの４隅を保持するように
接近する。そして内側のコロ２１が基板ＣＦの上下の縁
に接触すると、板材２２はその回転軸２２ａを中心に回
転をはじめ、さらに回転すると、図７（ｂ）に示すよう
に保持部材１４の外側のコロ２１が基板ＣＦの左右の縁
に接触する。このようにして、カラーフィルタ基板ＣＦ
の４隅を保持部材１４の８個のコロ２１が保持すること
により基板ＣＦは安定して保持される。

【００２８】移送部Ｃにおけるカラーフィルタ基板の搬
送動作は次のようである。

【００２９】まず、前工程からのカラーフィルタ基板が
ローダ部Ａに、検査済みのカラーフィルタ基板が検査ス
テージ３０にそれぞれにある。これらを搬送するに際
し、移送部Ｃは平面的には図４及び図５に示す位置で、
上方位置から下方位置に移動する。次いで、上支持棒１
２と下支持棒１３の１組が押し出され、もう１組が引き
込まれることにより、左側の４組の保持部材１４がロー
ダ部Ａ上の基板を挟み込むと同時に、右側の４組の保持
部材１４が検査ステージ上の基板を保持する。このよう
に２つの基板を保持した状態で移送部Ｃ全体が上方位置
に移動した後、メカボックス１５がレール１８上を進行
方向にスライド移動する。このスライド移動により、ロ
ーダ部Ａからの基板は検査ステージ３０の上方へ搬送さ
れ、検査ステージ３０からの基板はアンローダ部Ｂの上
方へと搬送される。次いで、レール１８がメカボックス
１５ごと、すなわち移送部Ｃ全体が下方位置に移動した
後、上支持棒１２と下支持棒１３のそれぞれの組が基板
を離すように広がる。この動作により２つの基板はそれ
ぞれ検査ステージ３０とアンローダ部Ｂに置かれる。そ
の後、移送部Ｃ全体が上方位置に移動し、さらにメカボ
ックス１５が進行方向と逆方向にスライド移動して、次
の基板を搬送すべく図４及び図５に示す位置に戻る。

【００３０】図８は検査対象となるカラーフィルタ基板
の１例を示す平面図である。

【００３１】同図のカラーフィルタ基板ＣＦは、上面か
ら見て３５０×３００ｍｍのサイズで、厚みが０．７ｍ
ｍであって、材質はガラスである。当該基板ＣＦ上の中
央に遮光層とＲ，Ｇ，Ｂの各色とで構成されたパターン
部ＰＳを中央に設けて１面付けとしてある。このパター
ン部ＰＳは、はじめにブラックマトリクス（ＢＭ）と呼
ばれる遮光層のパターンの形成工程を行う。この時パタ
ーン部ＰＳの周囲には遮光層の太い枠からなるエッジ部
ＢＥが形成される。そして、Ｒ色のパターンの形成工
程、Ｇ色のパターンの形成工程、Ｂ色のパターンの形成
工程の順番で着色パターンが形成されていく。各色のパ
ターンの中心は１００μｍ間隔である。そして、前記パ
ターン部ＰＳの両脇には遮光層と同じ材質により形成さ
れたアライメントマークを配置してアライメントマーク
領域ＡＥを設けてある。なお、パターン部ＰＳに形成さ
れる各色のパターン配置には、図９〜図１２に示される
タイプのものがある。

【００３２】図１３は設定入力部で行うＲ，Ｇ，Ｂ別の
検査許容値の設定手順を示すフロー図である。

【００３３】（１）スタートすると、まず許容値設定画
面が表示される。具体的には「Ｒ，Ｇ，Ｂの検査許容値
を設定して下さい。」とのコメントが表示される。 （２）設定開始キーを押すと、検査するカラーフィルタ
のＲ，Ｇ，Ｂのパターン配置を指定するパターン指定画
面が表示される。具体的には、「Ｒ，Ｇ，Ｂの繰り返し
パターンは、Ａ：１次元的ですか？ Ｂ：２次元的です
か？」とのコメントが表示される。 （３）図９、図１０、図１１のようにＲ，Ｇ，Ｂの繰り
返しの配列が１次元的である場合は操作キーにより
「Ａ」を入力し、図１２のように２次元的である場合は
「Ｂ」を入力する。 （４）「Ａ」を入力すると１列に３マスの表示がされ、
「Ｂ」を入力すると２マスの２列で４マスの表示がされ
るので、操作キーにより各マス内にＲ，Ｇ，Ｂを入力し
てパターン配置を指定する。 （５）パターン配置を指定すると、Ｒ，Ｇ，Ｂ，ＢＭ
（ブラックマトリクス）の基準値、許容値の上限及び下
限を設定するために、図１４の設定表が空欄の状態で表
示され、合わせて「Ｒ，Ｇ，Ｂ，ＢＭの基準値と基準値
のバラツキ、許容値の上限及び下限を設定して下さ
い。」と表示される。 （６）操作キーによりこの設定表の各マス内に数値デー
タを入力する。 （７）このデータに基づき上限値と下限値（スライスレ
ベル）が演算制御部で演算され、前記設定表の上限値と
下限値のマス内に表示される。このようにしてＲ，Ｇ，
Ｂ別の検査許容値の設定が行われる。

【００３４】図１５は検査部の基本構成を示す平面図、
図１６は図１５のＸ−Ｘ断面図である。

【００３５】図において３０は検査ステージであり、こ
こではテーブル３１上の保持具３２がカラーフィルタ基
板ＣＦの４辺を保持するようになっている。このように
基板ＣＦを４辺を保持した方が比較的安定して固定でき
る。テーブル３１内には光源３３とその上に拡散板３４
とが配置されており、カラーフィルタ基板ＣＦを下方か
ら均一に照射する。光源３３に３波長光源を用いると、
Ｒ，Ｇ，Ｂそれぞれの発色がよくなる。

【００３６】３５は検出部であり、レール３６上を１次
元的に移動することができる。もっともラインセンサを
直列、千鳥等に配列して検出部を移動しないようにして
もよい。検出部３５の内部にはフォトダイオードが配置
され、その先端にはレンズ系３７がはめ込まれており、
顕微鏡のようにカラーフィルタの微細パターンを検出部
３５内のフォトダイオードで検出できる。検出部３５か
らの検出点は、レンズ系３７と、モーター３８により３
０００回転／分の速度で回転駆動される回転ミラー３９
とを介して、検査ステージ３０に保持されているカラー
フィルタ基板ＣＦの上を走査できる。

【００３７】カラーフィルタ基板ＣＦからの透過光は回
転ミラー３９を介して検出部３５に入射する。ここで、
３００×３００ｍｍサイズのカラーフィルタ基板ＣＦを
対象に検査し、２０μｍ□の不良を検出しようとする
と、この基板ＣＦの全面をすべて走査するには１５００
０ライン必要であるが、検査は１秒間に２００ラインで
きるために７５秒で１枚の基板ＣＦを検査できる。

【００３８】本実施例では、検査装置の筐体の関係で回
転ミラー３９を図１６のようにカラーフィルタ基板ＣＦ
の斜め上方に配置している。しかし、検査精度を上げる
ためには、図１６で見てカラーフィルタ基板ＣＦを底辺
とする二等辺三角形の頂点の位置に回転ミラー３９を配
置し、かつ回転ミラー３９とカラーフィルタ基板ＣＦと
の距離をできる限り離して配置するのがよい。

【００３９】また本実施例では、基板コード読取り部と
して図示の如くＣＣＤカメラ４０とミラー４１を配置し
ており、カラーフィルタ基板ＣＦの隅に設けてあるバー
コードをミラー４１を介してＣＣＤカメラ４０で読み取
るようにしている。なお、ＣＣＤカメラ４０ではエリア
センサを用いているので、２次元的に表現される「田」
の字型コードにも対応できる。

【００４０】図１７は検査装置によるカラーフィルタ基
板の欠陥検査動作を示すフロー図である。

【００４１】検査を開始するに先立って、前記したよう
に設定入力部によりＲ，Ｇ，Ｂ別の検査許容値を設定し
ておく。そして、操作キーにより検査スタートの指示を
入力する。これにより回転ミラー３９が駆動を開始し、
検査ステージ３０のテーブル３１内のバックライト３３
が点灯する。続いて、検出部３５がレール３６上を移動
し、カラーフィルタ基板の縁が検出できる初期位置に合
わせられる。

【００４２】次いで、基板検知センサにてローダ部Ａに
基板があることを確認した後、当該基板を移送部Ｃによ
りローダ部Ａから検査ステージ３０へ搬送して保持具３
２上に載置する。もし、既に検査ステージ３０の保持具
３２上に基板が保持されていれば、この動作と同時に、
検査ステージ３０上の基板は検査ステージ３０からアン
ローダ部Ｂへ搬送される。ここで、アンローダ部Ｂに基
板が載置されたことを確認する。そして、空になったロ
ーダ部Ａには次の基板が前工程から搬入され、アンロー
ダ部Ｂに載置された基板は後工程に搬出される。

【００４３】一方、検査ステージ３０に載置された基板
のバーコードを基板コード読取り部にて読み取り、当該
基板の固有ナンバとして認識する。次いで、回転ミラー
３９の回動により検出部３５からの検出点が基板上を走
査して画像検査が行われる。この時、１ライン分の走査
が終わったら、検出部３５を移動させて隣のラインを走
査する。その時に検査許容値を越える信号があれば、検
査処理部にてその数をカウントする。このようにして基
板１枚分の検査が終わるまで繰り返し、終わった時点で
検出部３５が元の初期位置に戻る。

【００４４】基板全体の画像検査が終わった後、判定部
にてカウンタより基板１枚分のカウント数を読み出して
良否判定を行う。カウンタが０であれば良品とし、１以
上であれば不良品とする。ここで不良品の判定基準とな
るカウント数は必要に応じて１のみならず２でも３でも
任意に設定できる。次いで、既に読み取った基板の固有
ナンバーに対応させてこの判定結果を品質情報記憶部に
記憶する。この後、アンローダ部Ｂに基板がないことを
確認する。そして、ローダ部Ａに基板があることを確認
して同じ動作を繰り返す。

【００４５】図１８は検査処理部のブロック図である。
ここでは繰り返しパターンが１次元的なカラーフィルタ
を検査対象にして説明する。また、図１９はこの時の信
号例である。

【００４６】検出部が出力するカラーフィルタのパター
ン等の信号ａ（図９）は、第１のアナログスイッチとス
タート検出部とに送信される。この時点で第１のアナロ
グスイッチはＯＦＦ状態であり、信号ａは第２のアナロ
グスイッチへは送信されていない。スタート検出部は次
の２つの条件が揃った状態になった時点で第１のアナロ
グスイッチをＯＮにする。第１の条件は「走査ラインの
替えがあったこと」であり、第２の条件は「一定時間ハ
イレベルにあった信号ａが一定時間ローレベルになった
こと」である。

【００４７】第１のアナログスイッチがＯＮにされる
と、信号ａは第１のアナログスイッチを通過して、第２
のアナログスイッチ、波形整形部、基準値比較部へ送信
される。波形整形部は、信号ａの立ち上がりを捉えて、
信号ａの波形をＯｖと５ｖの信号ｂ（図９）に整形す
る。基準値比較部は、予め設定してあるＲ，Ｇ，Ｂの基
準値とそのバラツキとにより信号ａのＲ，Ｇ，Ｂの順番
を明確にし、その順番に従って３進カウンタに初期値を
プリセットする。３進カウンタは、上記プリセットに従
い、波形整形部からの信号ｂをカウントアップして第２
のアナログスイッチの出力を切り換える。第２のアナロ
グスイッチでは、入力した信号ａが３進カウンタで切り
換えられ時分割されてＲ，Ｇ，Ｂ別の信号となる。つま
り信号ｃ、信号ｄ、信号ｅ（図９）になって、第２のア
ナログスイッチの別々の出力端子より減算部へ出力され
る。

【００４８】以上のように波形整形部、３進カウンタ、
基準値比較部、第２のアナログスイッチがＲＧＢ色別信
号抽出部を構成する。

【００４９】減算部は、信号ｃ、信号ｄ、信号ｅからそ
れぞれＲ，Ｇ，Ｂ別の基準値を減算する。その出力は、
色別に信号ｆ、信号ｇ、信号ｈ（図９）となる。

【００５０】上限判定部は、この色別の信号ｆ、信号
ｇ、信号ｈと色別の各上限値とをそれぞれ比較して判定
する。そして、不良が有る場合は、不良エリアの大きさ
に合わせたパルス状の波形とする。この判定結果は、色
別の信号ｉ、信号ｊ、信号ｋ（図９）の出力信号とな
る。この上限値より数値が大きくなる不良は、色が抜け
ているとか、色濃度が薄いという類のものである。

【００５１】下限判定部では、この色別の信号ｆ、信号
ｇ、信号ｈと色別の各下限値とをそれぞれ比較して判定
する。この下限値より数値が小さくなる不良は、カラー
フィルタ上にゴミや異物が付着したとか、ＢＭのはみ出
しが有るとか、色濃度が濃いという類のものである。

【００５２】カウンタ部では、これらの上限判定部及び
下限判定部からの出力信号（信号ｉ、信号ｊ、信号ｋ
等）のパルスを色別にカウントアップする。この時、信
号ｊのようにパルスには不良の大きさに合わせた幅があ
るため、別の細かいパルス発振器によりＡＮＤ回路で出
力されたパルス数をカウントすることによりその不良の
大きさがわかる。基板全面の検査が終わった時にカウン
ト数をみて良否判定ができる。本実施例では１個でもカ
ウントがあれば不良とした。

【００５３】エンド検出部は、検査をスタートした後、
信号ａが一定時間ローレベルであればライン替え信号を
出力する。また、長い時間ローレベルのままであった時
は基板１枚の検査終了と判定する。

【００５４】なお、上記実施例では繰り返しパターンが
１次元的なカラーフィルタの場合について説明したが、
繰り返しパターンが２次元的なカラーフィルタの場合で
は、比較的濃度のレベルが近い（モノクロセンサで検出
した場合）Ｒ，Ｂに同一の許容値の上限と下限を設定
し、３進カウンタを２進カウンタにすることで、ほぼ同
一の検査を行うことができる。この場合、図１８におけ
る一部のブロックを切り換えた使用する方式にするだけ
でよい。

【００５５】

【発明の効果】本発明は上述のように構成されているの
で、次に記載の効果を奏する。

【００５６】前工程からのカラーフィルタ基板を１枚ず
つ搬入するローダ部と、検査済みのカラーフィルタ基板
を１枚ずつ搬出するアンローダ部と、ローダ部から検査
ステージへ、検査ステージからアンローダ部へと別のカ
ラーフィルタ基板を同時に搬送可能な移送部とからなる
搬送系を設け、ローダ部とアンローダ部ではカラーフィ
ルタ基板の両サイドを支えて搬送するようにし、移送部
ではカラーフィルタ基板の縁を保持して搬送するように
したことにより、従来は手作業によっていた検査装置に
おけるカラーフィルタ基板の搬送が自動化でき、しかも
基板面を傷つけることなく搬送できることから、欠陥検
査を効率的に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る検査装置の各構成部分を示すブロ
ック図である。

【図２】本発明に係る検査装置の外観を示す正面図であ
る。

【図３】同じく側面図である。

【図４】検査装置内におけるカラーフィルタ基板の搬送
系を示す平面図である。

【図５】同じく正面図である。

【図６】搬送系を構成する移送部の保持機構における保
持部材の一つを示す正面図である。

【図７】保持機構の動作を説明するための図である。

【図８】検査対象となるカラーフィルタ基板の１例を示
す平面図である。

【図９】カラーフィルタのパターン配置図である。

【図１０】同じく別のパターン配置図である。

【図１１】同じく別のパターン配置図である。

【図１２】同じく別のパターン配置図である。

【図１３】Ｒ，Ｇ，Ｂ別の検査許容値の設定手順を示す
フロー図である。

【図１４】検査許容値の設定時に使用する設定表の１例
を示す図である。

【図１５】検査部の基本構成を示す平面図である。

【図１６】図１５のＸ−Ｘ断面図である。

【図１７】カラーフィルタ基板の欠陥検査動作を示すフ
ロー図である。

【図１８】検査処理部のブロック図である。

【図１９】検査処理時の信号例を示すグラフである。

【符号の説明】

ＣＦ…カラーフィルタ基板、ＰＳ…パターン部、ＢＥ…
エッジ部、ＡＥ…アライメントマーク領域 Ａ…ローダ部、Ｂ…アンローダ部、Ｃ…移送部 １…搬入口、２…搬出口、３…ディスプレイ、４…操作
キー、５，６…透明板、７…搬送部材 １１…支持部材、１２…上支持棒、１３…下支持棒、１
４…保持部材、１５…メカボックス、１６…押出し棒、
１７…引込み棒、１８…レール、２１…コロ、２２…板
材、２２ａ…回転軸、２３…バネ ３０…検査ステージ、３１…テーブル、３２…保持具、
３３…光源、３４…拡散板、３５…検出部、３６…レー
ル、３７…レンズ系、３８…モーター、３９…回転ミラ
ー、４０…ＣＣＤカメラ、４１…ミラー

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カラーフィルタ基板を載置する検査ステ
   ージと、この載置されたカラーフィルタ基板を照射する
   光源部と、カラーフィルタ基板からの光を検出する検出
   手段と、検出手段からの画像信号を電気的に処理する検
   査処理手段とを備えたカラーフィルタの検査装置におい
   て、前工程からのカラーフィルタ基板を１枚ずつ搬入す
   るローダ部と、検査済みのカラーフィルタ基板を１枚ず
   つ搬出するアンローダ部と、ローダ部から検査ステージ
   へ、検査ステージからアンローダ部へと別のカラーフィ
   ルタ基板を同時に搬送可能な移送部とからなる搬送系を
   設け、ローダ部とアンローダ部ではカラーフィルタ基板
   の両サイドを支えて搬送するようにし、移送部ではカラ
   ーフィルタ基板の縁を保持して搬送するようにしたこと
   を特徴とするカラーフィルタの検査装置。
2. 【請求項２】 前記移送部において、２つのコロを回動
   自在に支持する保持部材を保持機構に使用し、カラーフ
   ィルタ基板の４隅をそれぞれ前記保持部材で挟持するこ
   とによりカラーフィルタ基板を保持するようにしたこと
   を特徴とする請求項１記載のカラーフィルタの検査装
   置。