JPH08219913A - 流体圧力センサ - Google Patents
流体圧力センサInfo
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- JPH08219913A JPH08219913A JP2279095A JP2279095A JPH08219913A JP H08219913 A JPH08219913 A JP H08219913A JP 2279095 A JP2279095 A JP 2279095A JP 2279095 A JP2279095 A JP 2279095A JP H08219913 A JPH08219913 A JP H08219913A
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- rubber film
- elastic rubber
- fluid pressure
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐環境性、信頼性に優れ、比較的小さな圧力
変化でも検出でき、さらに圧力変化の定量的な把握も可
能な流体圧力センサを提供する。 【構成】 ゴムパッキン２３の貫通孔２４を蓋するよう
に弾性ゴム膜２５を取付け、その内面中央部に反射板２
６を取付ける。管３２内を流体が流れると、その圧力に
よって弾性ゴム膜２５は変形し、それに応じて反射板２
６が変位する。発光素子２７から出射されて反射板２６
によって反射された光を受光素子２８で受光し、例えば
受光光量が最大となったことによって流体圧力が所定値
になったことを検知する。
変化でも検出でき、さらに圧力変化の定量的な把握も可
能な流体圧力センサを提供する。 【構成】 ゴムパッキン２３の貫通孔２４を蓋するよう
に弾性ゴム膜２５を取付け、その内面中央部に反射板２
６を取付ける。管３２内を流体が流れると、その圧力に
よって弾性ゴム膜２５は変形し、それに応じて反射板２
６が変位する。発光素子２７から出射されて反射板２６
によって反射された光を受光素子２８で受光し、例えば
受光光量が最大となったことによって流体圧力が所定値
になったことを検知する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は例えばガス給湯器にお
いて使用されている水圧センサ等の流体圧力センサに関
する。
いて使用されている水圧センサ等の流体圧力センサに関
する。
【０００２】
【従来の技術】ガス給湯器においては一般に水の流れに
よって自動点火する方式が採用されており、このために
水圧センサが用いられている。この水圧センサは給湯器
内に配管されている水道の蛇口が開とされ、水が管内を
流れると、その流れによる水圧を検出するものであり、
所定の圧力が検出されると、その検出に基づき人手を煩
わすことなく、ガスが自動的に点火される。
よって自動点火する方式が採用されており、このために
水圧センサが用いられている。この水圧センサは給湯器
内に配管されている水道の蛇口が開とされ、水が管内を
流れると、その流れによる水圧を検出するものであり、
所定の圧力が検出されると、その検出に基づき人手を煩
わすことなく、ガスが自動的に点火される。
【０００３】図６は、このような用途に使用されている
従来の流体圧力センサの一例を示したものである。流体
の圧力変化に対応してダイアフラム１１が変形し、この
変形動作に追従するプランジャ１２の移動に伴って、可
動接点片１３が弾性変位され、これにより固定接点１
４、可動接点片１３間が接離されてスイッチング操作が
行われる。固定接点１４はフレーム１５に立設された端
子１６と一体形成されており、可動接点片１３はその一
端が端子１７に固定されている。この流体圧力センサで
は流体の圧力が所定の値に達すると、端子１６，１７間
がＯＦＦとされ、一方圧力が低い状態ではＯＮとされ、
これにより流体の圧力変化が検知される。なお、図中１
８はプランジャ１２が取付けられ、ダイアフラム１１の
変形に伴って変形する弾性体である。
従来の流体圧力センサの一例を示したものである。流体
の圧力変化に対応してダイアフラム１１が変形し、この
変形動作に追従するプランジャ１２の移動に伴って、可
動接点片１３が弾性変位され、これにより固定接点１
４、可動接点片１３間が接離されてスイッチング操作が
行われる。固定接点１４はフレーム１５に立設された端
子１６と一体形成されており、可動接点片１３はその一
端が端子１７に固定されている。この流体圧力センサで
は流体の圧力が所定の値に達すると、端子１６，１７間
がＯＦＦとされ、一方圧力が低い状態ではＯＮとされ、
これにより流体の圧力変化が検知される。なお、図中１
８はプランジャ１２が取付けられ、ダイアフラム１１の
変形に伴って変形する弾性体である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の流体圧
力センサでは機械的接点構造を用いているため、例えば
接点に腐食が発生すると、流体の圧力変化に応じたスイ
ッチング操作が適正に行われず、検出不能となる恐れが
あり、耐環境性において問題があった。また、比較的小
さな圧力変化を検出する場合には、可動接点片１３の弾
性偏倚力を小さくしなければならず、この場合接点圧が
小さくなるため、この点においてもスイッチング操作が
適正に行われなくなる可能性があった。
力センサでは機械的接点構造を用いているため、例えば
接点に腐食が発生すると、流体の圧力変化に応じたスイ
ッチング操作が適正に行われず、検出不能となる恐れが
あり、耐環境性において問題があった。また、比較的小
さな圧力変化を検出する場合には、可動接点片１３の弾
性偏倚力を小さくしなければならず、この場合接点圧が
小さくなるため、この点においてもスイッチング操作が
適正に行われなくなる可能性があった。
【０００５】さらに、流体圧力が所定値以上になったか
否かを検知するものであって、流体圧力の変化状態を定
量的に把握することはできないものであった。この発明
の目的は上記のような問題点に鑑み、耐環境性、信頼性
に優れ、比較的小さな圧力変化でも検出でき、さらに簡
易な構造で圧力変化の定量的な把握を可能とした流体圧
力センサを提供することにある。
否かを検知するものであって、流体圧力の変化状態を定
量的に把握することはできないものであった。この発明
の目的は上記のような問題点に鑑み、耐環境性、信頼性
に優れ、比較的小さな圧力変化でも検出でき、さらに簡
易な構造で圧力変化の定量的な把握を可能とした流体圧
力センサを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、流体
圧力を受けて変形する弾性ゴム膜と、この弾性ゴム膜の
変形を光学的に検出する検出手段とを具備するものであ
る。請求項２の発明では、請求項１の発明において、検
出手段が発光素子と、弾性ゴム膜に取付けられて弾性ゴ
ム膜の変形に応じて変位し、発光素子からの光を反射す
る反射板と、その反射板からの反射光を受光して反射板
の変位を検出する受光素子とにより構成される。
圧力を受けて変形する弾性ゴム膜と、この弾性ゴム膜の
変形を光学的に検出する検出手段とを具備するものであ
る。請求項２の発明では、請求項１の発明において、検
出手段が発光素子と、弾性ゴム膜に取付けられて弾性ゴ
ム膜の変形に応じて変位し、発光素子からの光を反射す
る反射板と、その反射板からの反射光を受光して反射板
の変位を検出する受光素子とにより構成される。
【０００７】請求項３の発明では請求項１の発明におい
て、検出手段が互いに対向配置された発光素子及び受光
素子と、弾性ゴム膜に突設され、その弾性ゴム膜の変形
に応じて変位し、発光素子から受光素子に入射する光量
を変化させる遮蔽板とにより構成される。請求項４の発
明では請求項１の発明において、検出手段が弾性ゴム膜
に突設され、その弾性ゴム膜の変形に応じて変位する突
出部と、その突出部と転接し、その突出部の変位に応じ
て回転するローラ軸と、そのローラ軸に軸支され、放射
状にスリットが形成されたスリット円板と、そのスリッ
ト円板の一部を挟んで互いに対向配置された発光素子及
び受光素子とにより構成される。
て、検出手段が互いに対向配置された発光素子及び受光
素子と、弾性ゴム膜に突設され、その弾性ゴム膜の変形
に応じて変位し、発光素子から受光素子に入射する光量
を変化させる遮蔽板とにより構成される。請求項４の発
明では請求項１の発明において、検出手段が弾性ゴム膜
に突設され、その弾性ゴム膜の変形に応じて変位する突
出部と、その突出部と転接し、その突出部の変位に応じ
て回転するローラ軸と、そのローラ軸に軸支され、放射
状にスリットが形成されたスリット円板と、そのスリッ
ト円板の一部を挟んで互いに対向配置された発光素子及
び受光素子とにより構成される。
【０００８】請求項５の発明では請求項２，３及び４の
発明において、一面に開口が形成された箱状ケースと、
そのケースの上記一面に配され、上記開口内に位置する
貫通孔が形成された板状ゴムパッキンとが設けられ、弾
性ゴム膜がゴムパッキンの内面に上記貫通孔を蓋して取
付けられ、検出手段がケース内に収容される。請求項６
の発明では請求項２，３及び４の発明において、一面に
開口が形成された箱状ケースと、そのケースの上記一面
に上記開口を囲んで配された枠状ゴムパッキンとが設け
られ、弾性ゴム膜がケースの内面に上記開口を蓋して取
付けられ、検出手段がケース内に収容される。
発明において、一面に開口が形成された箱状ケースと、
そのケースの上記一面に配され、上記開口内に位置する
貫通孔が形成された板状ゴムパッキンとが設けられ、弾
性ゴム膜がゴムパッキンの内面に上記貫通孔を蓋して取
付けられ、検出手段がケース内に収容される。請求項６
の発明では請求項２，３及び４の発明において、一面に
開口が形成された箱状ケースと、そのケースの上記一面
に上記開口を囲んで配された枠状ゴムパッキンとが設け
られ、弾性ゴム膜がケースの内面に上記開口を蓋して取
付けられ、検出手段がケース内に収容される。
【０００９】請求項７の発明では請求項２，３及び４の
発明において、弾性ゴム膜が、一面に開口が形成された
箱状ケースの外面にその開口を蓋して取付けられ、検出
手段がケース内に収容される。
発明において、弾性ゴム膜が、一面に開口が形成された
箱状ケースの外面にその開口を蓋して取付けられ、検出
手段がケース内に収容される。
【００１０】
【実施例】図１Ａは、請求項２の発明の一実施例が管に
取付けられた状態を示したものである。箱状のケース２
１はその一面に開口２２が形成されており、板状のゴム
パッキン２３がその一面に例えば接着されて取付けられ
ている。ゴムパッキン２３には開口２２内に位置する貫
通孔２４が形成されており、その貫通孔２４を蓋するよ
うに柔軟性のある弾性ゴム膜２５がゴムパッキン２３の
内面側に接着されて取付けられている。なお、この例で
はケース２１は円筒形とされ、また貫通孔２４及び弾性
ゴム膜２５はそれぞれ円形とされている。
取付けられた状態を示したものである。箱状のケース２
１はその一面に開口２２が形成されており、板状のゴム
パッキン２３がその一面に例えば接着されて取付けられ
ている。ゴムパッキン２３には開口２２内に位置する貫
通孔２４が形成されており、その貫通孔２４を蓋するよ
うに柔軟性のある弾性ゴム膜２５がゴムパッキン２３の
内面側に接着されて取付けられている。なお、この例で
はケース２１は円筒形とされ、また貫通孔２４及び弾性
ゴム膜２５はそれぞれ円形とされている。
【００１１】弾性ゴム膜２５の内面側中央部には反射板
２６が、弾性ゴム膜２５の変形を規制しないよう、その
中央部のみが接着されて取付けられている。反射板２６
はアルミニウム板やステンレス板などで形成される。ケ
ース２１内には平行光線を反射板２６に入射させる発光
素子２７と、反射板２６からの反射光を受光する受光素
子２８とが収容されている。発光素子２７としては例え
ば発光ダイオード、受光素子２８としては例えばフォト
ダイオードが使用される。なお、図中２９はそれら発光
素子２７、受光素子２８が搭載された配線基板を示す。
２６が、弾性ゴム膜２５の変形を規制しないよう、その
中央部のみが接着されて取付けられている。反射板２６
はアルミニウム板やステンレス板などで形成される。ケ
ース２１内には平行光線を反射板２６に入射させる発光
素子２７と、反射板２６からの反射光を受光する受光素
子２８とが収容されている。発光素子２７としては例え
ば発光ダイオード、受光素子２８としては例えばフォト
ダイオードが使用される。なお、図中２９はそれら発光
素子２７、受光素子２８が搭載された配線基板を示す。
【００１２】上記のように構成された流体圧力センサ３
１の管３２への取付けは、管３２の、貫通孔２４と対向
する部分に穴３３をあけ、ケース２１の周囲に突設され
た取付部（図示せず）を管３２に例えばねじ止め固定す
ることによって行われる。図１Ａは管３２内の流体（例
えば水など）が静止状態にある場合を示し、これに対し
図１Ｂは流体が流れている状態を示したものである。弾
性ゴム膜２５は流体圧力を受けて図に示すように変形
し、その変形により反射板２６が変位する。
１の管３２への取付けは、管３２の、貫通孔２４と対向
する部分に穴３３をあけ、ケース２１の周囲に突設され
た取付部（図示せず）を管３２に例えばねじ止め固定す
ることによって行われる。図１Ａは管３２内の流体（例
えば水など）が静止状態にある場合を示し、これに対し
図１Ｂは流体が流れている状態を示したものである。弾
性ゴム膜２５は流体圧力を受けて図に示すように変形
し、その変形により反射板２６が変位する。
【００１３】図１Ｃは弾性ゴム膜２５の変形状態に応じ
た反射板２６の位置と光線との関係を示したものであ
る。発光素子２７から出射される平行光線の光軸は反射
板２６の反射面の垂線に対し、傾いており、流体静止状
態で反射板２６が位置Ｐ0 にある時は、反射光Ｒ0 は受
光素子２８に入射しない。反射板２６が位置Ｐ1 まで変
位すると、反射光Ｒ1 は受光素子２８に入射し始め、反
射板２６が位置Ｐ2 に到達すると、受光素子２８はその
全面で反射光Ｒ2 を受光する。従って、流体が流れ、所
定の流体圧力になったことを、例えば受光素子２８の検
出出力が最大となったことによって検出することがで
き、さらに検出出力の変化より、流体圧力の変化をも検
出することができる。
た反射板２６の位置と光線との関係を示したものであ
る。発光素子２７から出射される平行光線の光軸は反射
板２６の反射面の垂線に対し、傾いており、流体静止状
態で反射板２６が位置Ｐ0 にある時は、反射光Ｒ0 は受
光素子２８に入射しない。反射板２６が位置Ｐ1 まで変
位すると、反射光Ｒ1 は受光素子２８に入射し始め、反
射板２６が位置Ｐ2 に到達すると、受光素子２８はその
全面で反射光Ｒ2 を受光する。従って、流体が流れ、所
定の流体圧力になったことを、例えば受光素子２８の検
出出力が最大となったことによって検出することがで
き、さらに検出出力の変化より、流体圧力の変化をも検
出することができる。
【００１４】図２Ａは請求項３の発明の実施例が管３２
に取付けられた状態を示したものである。なお、図１Ａ
と対応する部分には同一符号を付し、その説明を省略す
る。この例では、弾性ゴム膜２５の内面側中央部に遮蔽
板３４が、その板面が弾性ゴム膜２５の内面とほぼ垂直
とされて突設される。ケース２１内には遮蔽板３４の一
面側に発光素子２７が配設され、これと対向して遮蔽板
３４の他面側に受光素子２８が配設される。
に取付けられた状態を示したものである。なお、図１Ａ
と対応する部分には同一符号を付し、その説明を省略す
る。この例では、弾性ゴム膜２５の内面側中央部に遮蔽
板３４が、その板面が弾性ゴム膜２５の内面とほぼ垂直
とされて突設される。ケース２１内には遮蔽板３４の一
面側に発光素子２７が配設され、これと対向して遮蔽板
３４の他面側に受光素子２８が配設される。
【００１５】図２Ｂは管３２内を流体が流れ、弾性ゴム
膜２５が変形した状態を示したものであり、図に示すよ
うに弾性ゴム膜２５の変形により遮蔽板３４は変位し、
この遮蔽板３４の変位によって発光素子２７から受光素
子２８に入射する光量が変化する。つまり、この例では
流体静止時には発光素子２７からの出射光は遮蔽板３４
にさえぎられることなく、受光素子２８に入射し、流体
が流れ、弾性ゴム膜２５が変形すると遮蔽板３４が光を
さえぎるようになるものであり、所定の流体圧力になっ
たことを、受光素子２８の検出出力が例えば０になった
こと（遮蔽板３４が光を完全にさえぎった状態）によっ
て検出することができる。遮蔽板３４は弾性ゴム膜２５
と一体に形成してもよい。
膜２５が変形した状態を示したものであり、図に示すよ
うに弾性ゴム膜２５の変形により遮蔽板３４は変位し、
この遮蔽板３４の変位によって発光素子２７から受光素
子２８に入射する光量が変化する。つまり、この例では
流体静止時には発光素子２７からの出射光は遮蔽板３４
にさえぎられることなく、受光素子２８に入射し、流体
が流れ、弾性ゴム膜２５が変形すると遮蔽板３４が光を
さえぎるようになるものであり、所定の流体圧力になっ
たことを、受光素子２８の検出出力が例えば０になった
こと（遮蔽板３４が光を完全にさえぎった状態）によっ
て検出することができる。遮蔽板３４は弾性ゴム膜２５
と一体に形成してもよい。
【００１６】図３は請求項４の発明の実施例が管３２に
取付けられた状態を示したものである。この例では弾性
ゴム膜２５の内面側中央部に、弾性ゴム膜２５の変形に
応じて変位する突出部３５が例えば一体形成されて突設
され、この突出部３５の一側面と転接するローラ軸３６
がケース２１内に配設される。ローラ軸３６の一端には
放射状にスリットが形成されたスリット円板３７が軸支
され、このスリット円板３７の周縁側の一部を挟んで発
光素子２７及び受光素子２８が互いに対向配置される。
なお、図中、３８，３９はケース２１に設けられた、ロ
ーラ軸３６を支持する支持部である。
取付けられた状態を示したものである。この例では弾性
ゴム膜２５の内面側中央部に、弾性ゴム膜２５の変形に
応じて変位する突出部３５が例えば一体形成されて突設
され、この突出部３５の一側面と転接するローラ軸３６
がケース２１内に配設される。ローラ軸３６の一端には
放射状にスリットが形成されたスリット円板３７が軸支
され、このスリット円板３７の周縁側の一部を挟んで発
光素子２７及び受光素子２８が互いに対向配置される。
なお、図中、３８，３９はケース２１に設けられた、ロ
ーラ軸３６を支持する支持部である。
【００１７】この例では管３２内を流体が流れ、弾性ゴ
ム膜２５が変形して突出部３５が変位すると、その変位
量に応じてローラ軸３６が回転してスリット円板３７が
図中、矢印で示すように回転し、これにより発光素子２
７から受光素子２８に入射する光量がパルス状に変化す
る。従って、このパルスによって流体が流れたことを検
出でき、パルス数を読み取ることによって弾性ゴム膜２
５の変形量を定量的に検出でき、即ち流体圧力を定量的
に測定することができる。
ム膜２５が変形して突出部３５が変位すると、その変位
量に応じてローラ軸３６が回転してスリット円板３７が
図中、矢印で示すように回転し、これにより発光素子２
７から受光素子２８に入射する光量がパルス状に変化す
る。従って、このパルスによって流体が流れたことを検
出でき、パルス数を読み取ることによって弾性ゴム膜２
５の変形量を定量的に検出でき、即ち流体圧力を定量的
に測定することができる。
【００１８】上述した実施例は、いずれも弾性ゴム膜２
５がゴムパッキン２３に取付けられたものであるが、ケ
ース２１自体に弾性ゴム膜２５を取付けてもよい。図４
はこの構成の一例を示したものである。この例ではケー
ス２１の一面に開口２２を囲んで枠状のゴムパッキン４
１が配設される。ケース２１の開口２２は円形とされ、
この開口２２を蓋するように弾性ゴム膜２５がケース２
１の内面に接着されて取付けられる。なお、発光素子２
７、受光素子２８及び反射板２６よりなる弾性ゴム膜２
５の変形検出手段は図１Ａと同様であるのでその説明を
省略する。
５がゴムパッキン２３に取付けられたものであるが、ケ
ース２１自体に弾性ゴム膜２５を取付けてもよい。図４
はこの構成の一例を示したものである。この例ではケー
ス２１の一面に開口２２を囲んで枠状のゴムパッキン４
１が配設される。ケース２１の開口２２は円形とされ、
この開口２２を蓋するように弾性ゴム膜２５がケース２
１の内面に接着されて取付けられる。なお、発光素子２
７、受光素子２８及び反射板２６よりなる弾性ゴム膜２
５の変形検出手段は図１Ａと同様であるのでその説明を
省略する。
【００１９】この例では流体圧力センサ３１の管３２へ
の取付けにおけるゴムパッキン４１の変形の影響を弾性
ゴム膜２５が受けないので、流体圧力の変化をより正確
に検出することができる。弾性ゴム膜２５の変形検出手
段は図２あるいは図３に示したものを用いてもよい。図
５は弾性ゴム膜２５をゴムパッキンとして兼用した例を
示したものである。この例では弾性ゴム膜２５がケース
２１の開口２２を蓋するように、ケース２１の外面側に
取付けられる。流体圧力センサ３１の管３２への取付け
においては、弾性ゴム膜２５の、ケース２１と管３２と
によって挟持される部分、即ち周縁部がパッキンとして
作用する。この例ではゴムパッキンを使用しない分、部
品点数を削減でき、よって安価に構成することができ
る。なお、弾性ゴム膜２５の変形検出手段は図示した構
成に限らず、図２あるいは図３に示したものを用いても
よい。
の取付けにおけるゴムパッキン４１の変形の影響を弾性
ゴム膜２５が受けないので、流体圧力の変化をより正確
に検出することができる。弾性ゴム膜２５の変形検出手
段は図２あるいは図３に示したものを用いてもよい。図
５は弾性ゴム膜２５をゴムパッキンとして兼用した例を
示したものである。この例では弾性ゴム膜２５がケース
２１の開口２２を蓋するように、ケース２１の外面側に
取付けられる。流体圧力センサ３１の管３２への取付け
においては、弾性ゴム膜２５の、ケース２１と管３２と
によって挟持される部分、即ち周縁部がパッキンとして
作用する。この例ではゴムパッキンを使用しない分、部
品点数を削減でき、よって安価に構成することができ
る。なお、弾性ゴム膜２５の変形検出手段は図示した構
成に限らず、図２あるいは図３に示したものを用いても
よい。
【００２０】
【発明の効果】以上述べたように、この発明は柔軟性の
ある弾性ゴム膜２５が管３２内の流体の流れによる圧力
を受けて変形し、その変形を光学的に検出することによ
って、管３２内の流体の流れを検出するものであり、従
来の機械的接点構造と異なり、非接触方式の検出機構を
採用しているため、耐環境性に優れ、高い信頼性を実現
できる。また、例えば弾性ゴム膜２５の厚さを適当に選
択することによって、比較的小さな圧力変化でも検出可
能とすることができる。
ある弾性ゴム膜２５が管３２内の流体の流れによる圧力
を受けて変形し、その変形を光学的に検出することによ
って、管３２内の流体の流れを検出するものであり、従
来の機械的接点構造と異なり、非接触方式の検出機構を
採用しているため、耐環境性に優れ、高い信頼性を実現
できる。また、例えば弾性ゴム膜２５の厚さを適当に選
択することによって、比較的小さな圧力変化でも検出可
能とすることができる。
【００２１】しかも、請求項２及び３の発明では簡易な
構造で、流体圧力の変化状態を定量的に把握することが
でき、請求項４の発明では流体圧力の正確な測定が可能
となる。また、請求項５の発明ではユニット化され、管
３２に良好に取付けることができ、請求項６の発明では
弾性ゴム膜２５がゴムパッキン４１の変形の影響を受け
ないため、より正確な検出が可能となり、請求項７の発
明によればゴムパッキンが不要なため、部品点数を削減
でき、安価に構成することができる。
構造で、流体圧力の変化状態を定量的に把握することが
でき、請求項４の発明では流体圧力の正確な測定が可能
となる。また、請求項５の発明ではユニット化され、管
３２に良好に取付けることができ、請求項６の発明では
弾性ゴム膜２５がゴムパッキン４１の変形の影響を受け
ないため、より正確な検出が可能となり、請求項７の発
明によればゴムパッキンが不要なため、部品点数を削減
でき、安価に構成することができる。
【００２２】なお、この発明による流体圧力センサは、
水などの液体のみならず、空気やガス等の気体に対して
も用いることができる。
水などの液体のみならず、空気やガス等の気体に対して
も用いることができる。
【図１】Ａは請求項２の発明の実施例が管（流体静止状
態）に取付けられた状態を示す断面図、Ｂはその管内の
流体が流れている状態を示す断面図、Ｃは弾性ゴム膜の
変形による反射板の変位と光線との関係を示す図。
態）に取付けられた状態を示す断面図、Ｂはその管内の
流体が流れている状態を示す断面図、Ｃは弾性ゴム膜の
変形による反射板の変位と光線との関係を示す図。
【図２】Ａは請求項３の発明の実施例が管（流体静止状
態）に取付けられた状態を示す断面図、Ｂはその管内の
流体が流れている状態を示す断面図。
態）に取付けられた状態を示す断面図、Ｂはその管内の
流体が流れている状態を示す断面図。
【図３】Ａは請求項４の発明の実施例が管（流体静止状
態）に取付けられた状態を示す断面図、Ｂは管を省略し
て示したＡの側断面図。
態）に取付けられた状態を示す断面図、Ｂは管を省略し
て示したＡの側断面図。
【図４】請求項６の発明の一実施例が管（流体静止状
態）に取付けられた状態を示す断面図。
態）に取付けられた状態を示す断面図。
【図５】請求項７の発明の一実施例が管（流体静止状
態）に取付けられた状態を示す断面図。
態）に取付けられた状態を示す断面図。
【図６】従来の流体圧力センサを示す断面図。
２１ ケース ２３ ゴムパッキン ２５ 弾性ゴム膜 ２６ 反射板 ２７ 発光素子 ２８ 受光素子 ３４ 遮蔽板 ３５ 突出部 ３６ ローラ軸 ３７ スリット円板 ４１ ゴムパッキン
Claims (7)
- 【請求項１】 流体圧力を受けて変形する弾性ゴム膜
と、 その弾性ゴム膜の変形を光学的に検出する検出手段とを
具備することを特徴とする流体圧力センサ。 - 【請求項２】 上記検出手段は発光素子と、 上記弾性ゴム膜に取付けられてその弾性ゴム膜の変形に
応じて変位し、上記発光素子からの光を反射する反射板
と、 その反射板からの反射光を受光してその反射板の変位を
検出する受光素子とよりなることを特徴とする請求項１
記載の流体圧力センサ。 - 【請求項３】 上記検出手段は互いに対向配置された発
光素子及び受光素子と、 上記弾性ゴム膜に突設され、その弾性ゴム膜の変形に応
じて変位し、上記発光素子から上記受光素子に入射する
光量を変化させる遮蔽板とよりなることを特徴とする請
求項１記載の流体圧力センサ。 - 【請求項４】 上記検出手段は上記弾性ゴム膜に突設さ
れ、その弾性ゴム膜の変形に応じて変位する突出部と、 その突出部と転接し、その突出部の変位に応じて回転す
るローラ軸と、 そのローラ軸に軸支され、放射状にスリットが形成され
たスリット円板と、 そのスリット円板の一部を挟んで互いに対向配置された
発光素子及び受光素子とよりなることを特徴とする請求
項１記載の流体圧力センサ。 - 【請求項５】 一面に開口が形成された箱状ケースと、 そのケースの上記一面に配され、上記開口内に位置する
貫通孔が形成された板状ゴムパッキンとを備え、 上記弾性ゴム膜が上記ゴムパッキンの内面に上記貫通孔
を蓋して取付けられ、 上記検出手段が上記ケース内に収容されていることを特
徴とする請求項２，３及び４記載の流体圧力センサ。 - 【請求項６】 一面に開口が形成された箱状ケースと、 そのケースの上記一面に上記開口を囲んで配された枠状
ゴムパッキンとを備え、 上記弾性ゴム膜が上記ケースの内面に上記開口を蓋して
取付けられ、 上記検出手段が上記ケース内に収容されていることを特
徴とする請求項２，３及び４記載の流体圧力センサ。 - 【請求項７】 上記弾性ゴム膜が、一面に開口が形成さ
れた箱状ケースの外面にその開口を蓋して取付けられ、 上記検出手段が上記ケース内に収容されていることを特
徴とする請求項２，３及び４記載の流体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2279095A JPH08219913A (ja) | 1995-02-10 | 1995-02-10 | 流体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2279095A JPH08219913A (ja) | 1995-02-10 | 1995-02-10 | 流体圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08219913A true JPH08219913A (ja) | 1996-08-30 |
Family
ID=12092482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2279095A Pending JPH08219913A (ja) | 1995-02-10 | 1995-02-10 | 流体圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08219913A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020038475A (ko) * | 2000-11-17 | 2002-05-23 | 이마이 히로시 | 압력 센서 |
| JP2006503600A (ja) * | 2002-03-01 | 2006-02-02 | インシュレット コーポレイション | 投与装置のための流れ状況センサ |
| JP2010185710A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Kenek Co Ltd | 光学式変位計 |
| JP4636691B2 (ja) * | 1998-12-31 | 2011-02-23 | キブロン・インコーポレイテッド・オイ | 小さい力と変位を計測するための計測装置 |
| WO2016080730A1 (ko) * | 2014-11-18 | 2016-05-26 | 한양대학교 산학협력단 | 압력지표계 |
| WO2016098762A1 (ja) * | 2014-12-18 | 2016-06-23 | 株式会社村田製作所 | 距離測定装置 |
-
1995
- 1995-02-10 JP JP2279095A patent/JPH08219913A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4636691B2 (ja) * | 1998-12-31 | 2011-02-23 | キブロン・インコーポレイテッド・オイ | 小さい力と変位を計測するための計測装置 |
| KR20020038475A (ko) * | 2000-11-17 | 2002-05-23 | 이마이 히로시 | 압력 센서 |
| JP2006503600A (ja) * | 2002-03-01 | 2006-02-02 | インシュレット コーポレイション | 投与装置のための流れ状況センサ |
| JP2010185710A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Kenek Co Ltd | 光学式変位計 |
| WO2016080730A1 (ko) * | 2014-11-18 | 2016-05-26 | 한양대학교 산학협력단 | 압력지표계 |
| WO2016098762A1 (ja) * | 2014-12-18 | 2016-06-23 | 株式会社村田製作所 | 距離測定装置 |
| JPWO2016098762A1 (ja) * | 2014-12-18 | 2017-08-31 | 株式会社村田製作所 | 距離測定装置 |
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