JP3080630B2 - 半導体振動センサー - Google Patents

半導体振動センサー

Info

Publication number
JP3080630B2
JP3080630B2 JP02013098A JP1309890A JP3080630B2 JP 3080630 B2 JP3080630 B2 JP 3080630B2 JP 02013098 A JP02013098 A JP 02013098A JP 1309890 A JP1309890 A JP 1309890A JP 3080630 B2 JP3080630 B2 JP 3080630B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
vibration
semiconductor
vibration sensor
receiving element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP02013098A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH03216694A (ja
Inventor
嘉博 原田
和則 柚原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP02013098A priority Critical patent/JP3080630B2/ja
Publication of JPH03216694A publication Critical patent/JPH03216694A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3080630B2 publication Critical patent/JP3080630B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は機械的な振動を検知する振動センサーに関
し、特に光半導体素子によって振動を検知し、電気信号
として出力する振動センサーに関する。
〔従来の技術〕
従来の振動センサーは、流動体や他の物体の重心の移
動によって機械的に振動を伝達していた。このため、電
気信号への変換がむずかしくマイクロコンピュータ等へ
の接続が困難であった。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来の振動センサーは、重心の移動等によっ
て検知した振動を機械的な接続によって伝達する構造と
なっているので、センサーが大型になり、信号伝達距離
を伸ばすことが出来ず、また、電気信号への変換が困難
であり、マイクロコンピュータ等による制御系への接続
が出来ないという欠点がある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の半導体振動センサーは、発光素子、受光素
子、反射物、可動球体およびこれを収納する光透過性容
器を具備し、反射物により反射された光が照射される範
囲内に複数の前記受光素子が配置されていることを特徴
とする。
半導体発光素子から反射物に向う光とこの光が反射物
により反射され半導体受光素子に向う光とを同時に遮断
できるような光不透過性の可動球体を光軸上に設けるこ
とにより、無振動時には可動球体が光を遮断する結果、
半導体受光素子には、光電流は流れないが振動時では今
まで光を遮断していた球体が動き、半導体受光素子に光
が入射され光電流が流れてしまう。この光電流によって
振動を検知する。さらに、反射物により反射された光が
照射される範囲内に複数の受光素子を配置することによ
り、それぞれの受光素子に流れる電流の変化によって、
振動を検知するだけでなく傾きの方向を検知する。
〔実施例〕
第１図は本発明の参考例の断面図であり、第２図は光
透過性容器の上部より見た図である。振動がないときは
発光素子５、受光素子６の光軸上に遮光性の球体３があ
るため、発光素子５から出た光８は球体３に遮られ受光
素子６に入射しないので受光素子６には光電流は流れな
い。振動を与えると、これまで光軸を遮光していた球体
３が動き、反射板２で反射した光が受光素子に入射さ
れ、受光素子に光電流が流れるので振動が感知できる。
この球体を収納する光透過性容器１の底面を受光素子６
の光軸の中心になるように光透過性容器に傾斜をつけ、
この傾斜の角度あるいは球体３の大きさを変えることに
より、検知する振動の強さを変えることが出来る。
第３図，第４図に本発明の実施例を示す。参考例の光
透過性容器１の底面部に設置していた１個の受光素子６
の廻りに、複数の受光素子６を設置したものが本発明の
実施例である。この他は先の実施例１と同じである。こ
の実施例では受光素子６が複数個あるためにそれぞれの
受光素子６に流れる電流の変化によって本体の振動だけ
でなく、傾きの方向を検知できるという利点がある。ま
た受光素子の数を増やすことにより傾きを検知する精度
を上げることができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、反射型インタラプタに
おいて、発光素子と受光素子の光軸上に遮光性の球体を
可動しやすいように設置することにより、電気的に振動
を検知することが出来るという効果がある。さらに、反
射物により反射された光が照射される範囲内に複数の受
光素子を配置することにより、それぞれの受光素子に流
れる電流の変化によって、振動を検知するだけでなく傾
きの方向を検知することが出来るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図，第２図は、本発明の半導体振動センサーの参考
例を示す。第１図は半導体振動センサーの断面図を示
し、第２図は光透過性容器の上部より見た図を示す。 第３図，第４図は半導体振動センサーの実施例を示す。
第３図は本発明の半導体振動センサーの実施例の断面図
を示し、第４図は光透過性容器の上部より見た図を示
す。 １……光透過性容器、２……反射板、３……球体、５…
…発光素子、６……受光素子、８……光。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−117926（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−17628（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01H 1/00

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】発光素子、受光素子、および反射物から構
    成される光反射型振動センサーにおいて、半導体発光素
    子から出射し反射物により反射された後に半導体受光素
    子に向う光を遮断できる大きさの球体と、これを収納す
    る光透過性容器とを具備し、前記反射物により反射され
    た光が照射される範囲内に複数の前記受光素子が配置さ
    れていることを特徴とする半導体振動センサー。
JP02013098A 1990-01-22 1990-01-22 半導体振動センサー Expired - Fee Related JP3080630B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP02013098A JP3080630B2 (ja) 1990-01-22 1990-01-22 半導体振動センサー

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP02013098A JP3080630B2 (ja) 1990-01-22 1990-01-22 半導体振動センサー

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03216694A JPH03216694A (ja) 1991-09-24
JP3080630B2 true JP3080630B2 (ja) 2000-08-28

Family

ID=11823677

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP02013098A Expired - Fee Related JP3080630B2 (ja) 1990-01-22 1990-01-22 半導体振動センサー

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3080630B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5166793B2 (ja) * 2007-07-31 2013-03-21 ローム株式会社 振動センサ

Also Published As

Publication number Publication date
JPH03216694A (ja) 1991-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2688361B2 (ja) 光電センサ
EP2196793B1 (en) Optical sensor device
EP0069782A1 (en) Optical system for intruder detecting device
US4912316A (en) Detecting apparatus with resinous body
JP3080630B2 (ja) 半導体振動センサー
CA2071618A1 (en) Wide-angle radiant energy detector
US4644164A (en) Compact passive infrared intrusion sensor
US11268833B2 (en) Reflection type sensor and optical encoder having the same
JPS6085311A (ja) 傾斜検知スイツチ
JP2992260B2 (ja) 光電式キー操作アレイ
JPH04204332A (ja) 半導体振動センサ
JP2588667Y2 (ja) 反射型フォトセンサ
JP3401137B2 (ja) 傾き検知装置
JPS63293426A (ja) 焦電形赤外線検出装置
JPS5941138B2 (ja) 光散乱式煙感知器
JPH04103665U (ja) 光学センサー
JPH09105607A (ja) 移動距離測定装置
JPH10185557A (ja) 傾斜センサ
JP3222212B2 (ja) リモコン用受光部内蔵カメラ
JPH04160696A (ja) 光電式煙感知器
RU2000526C1 (ru) Двухкоординатный датчик системы слежени гелиоустановки
JPS6369029A (ja) チルトセンサ
JPS58725A (ja) 光検出装置
JPH0821765A (ja) 日射センサ
US20110073748A1 (en) Light sensing device for solar tracking system

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees