JPH08213708A - 半導体レーザ装置 - Google Patents

半導体レーザ装置

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JPH08213708A
JPH08213708A JP1528395A JP1528395A JPH08213708A JP H08213708 A JPH08213708 A JP H08213708A JP 1528395 A JP1528395 A JP 1528395A JP 1528395 A JP1528395 A JP 1528395A JP H08213708 A JPH08213708 A JP H08213708A
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semiconductor laser
laser device
stem
semiconductor
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JP1528395A
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Masaru Ogawa
勝 小川
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Sharp Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】プラス電源の共用を可能として、マイナス電源
の設置を不要とした半導体レーザ装置を提供する。 【構成】半導体チップ部品14をパッケージとなるステ
ム1上に実装した半導体レーザ装置であって、ステム1
を、アース電位に保たれる第1の導電部材11と、半導
体チップ部品14を実装するための平坦領域122を有
するプラス電位に保たれる第2の導電部材12と、これ
ら第1の導電部材11及び第2の導電部材12を絶縁状
態で接合する絶縁部材13とで形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体チップ部品をパ
ッケージとなるステム上に実装した半導体レーザ装置に
関し、例えば光ディスク装置の光ピックアップにおける
光源として、またその読み取り装置として利用される。
【0002】
【従来の技術】一般に半導体レーザ装置は、レーザチッ
プや光出力検出用フォトダイオード(以下、モニタ用D
Pという)、光ディスクからの変調光を受ける信号検出
用フォトダイオード(以下、信号検出用DPという)等
の半導体チップ部品を、パッケージとなるステム上に実
装する形態の構造となっている。
【0003】そして、このような構造の半導体レーザ装
置を機器に組み込んで実際に駆動する場合には、パッケ
ージの最外形部分となるステムを機器のGND(通常
は、機器の筐体部分に接続して、アース電位として用い
られる)に接地し、半導体レーザ装置のレーザ駆動電流
注入用リードピンから駆動電流を注入して、半導体レー
ザ装置を駆動する。
【0004】図14は、このような半導体レーザ装置の
従来の構造の一例を示している。
【0005】すなわち、ステム91の中央部に形成され
た突起部92の平坦面921に、レーザチップ93がダ
イボンディングされている。そして、ダイボンディング
する場合に、レーザチップ93がステム91の平坦面9
21と接する面は、レーザチップ93の放熱の関係か
ら、半導体基板面931側ではなく、この半導体基板面
931上に形成された各層(活性層、電流ブロッキング
層、バリア層等の、レーザチップを製造する過程で形成
される層)の最上層の面932の側となる(図15参
照)。
【0006】ところで、AlGaInP系のレーザチッ
プ(例えば、発振波長635nm帯域、685nm帯域
等のレーザチップ)は、n型半導体(例えば、n−Ga
As)基板上に、Al、Ga、In、Pの元素を用いた
各層を形成して製造する。各層の具体的構成について
は、図15中に直接記入している。
【0007】この場合、電流注入方向は、図15中に矢
符95により示す方向となる。そのため、ダイボンディ
ングは、n型基板上に形成した各層側932を、ステム
91の平坦面921と接する方向で行うことになる。な
お、絶縁部材96により絶縁された状態でステム91に
接続されたリードピン97と、レーザチップ93とは、
例えばAu線96によりワイヤボンディングによって接
続されている。
【0008】そのため、半導体レーザ装置として駆動す
る場合には、図15中の矢符95により示す方向に駆動
電流を注入する必要があることから、ステム91の電流
注入用のリードピン98をGNDに接続し、リードピン
97をマイナス側にバイアスして駆動するマイナス電源
回路を構成しなければならない。
【0009】図16は、このような半導体レーザ装置の
駆動回路の一例であって、APC回路例を示している。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ステム
に実装されるその他の回路は、プラス電源駆動方式とな
っている。そのため、半導体レーザ装置のみがマイナス
電源駆動方式であると、機器のプラス電源を共用するこ
とができないため、新たにマイナス電源を設置する必要
があり、システム設計が複雑になるといった問題があっ
た。
【0011】本発明はこのような問題点を解決すべく創
案されたもので、その目的は、プラス電源の共用を可能
として、マイナス電源の設置を不要とした半導体レーザ
装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項1記載の半導体レーザ装置は、半導
体チップ部品のパッケージとなるステムを、アース電位
に保たれる第1の導電部材と、前記半導体チップ部品を
実装するための平坦領域を有するプラス電位に保たれる
第2の導電部材と、これら第1の導電部材及び第2の導
電部材を絶縁状態で接合する絶縁部材とで形成する。
【0013】また、本発明の請求項2記載の半導体レー
ザ装置は、レーザチップのパッケージとなるステムを、
アース電位に保たれる第1の導電部材と、前記レーザチ
ップを実装するための平坦領域を有するプラス電位に保
たれる第2の導電部材と、これら第1の導電部材及び第
2の導電部材を絶縁状態で接合する気密封止用ガラス部
材と、前記第2の導電部材に実装された前記レーザチッ
プを密封するとともに、レーザビームを外部に放射する
ための透過用ガラス窓を有する保護キャップとで形成す
る。
【0014】また、本発明の請求項3記載の半導体レー
ザ装置は、請求項2記載の半導体レーザ装置において、
ステムの平坦領域に光ディスクからの変調光を受ける信
号検出用フォトダイオードを実装するとともに、保護キ
ャップ上にトラッキング用副ビーム生成のための回折格
子及び前記光ディスクからの反射による変調光を前記信
号検出用フォトダイオードに回折するための回折格子を
有するホログラム素子を備えた構成とする。
【0015】
【作用】請求項1記載の半導体レーザ装置の作用につい
て述べる。
【0016】第1の導電部材をリング状に形成し、第2
の導電部材を棒状又は板状に形成して、第1の導電部材
の中に第2の導電部材を遊嵌する。そして、第1の導電
部材と第2の導電部材との隙間に、絶縁部材を嵌め込む
ようにして、第1の導電部材と第2の導電部材とを電気
的に絶縁して固定している。
【0017】ここで、第1の導電部材及び第2の導電部
材は、金属で形成されるか、又は樹脂の表面に金属製の
メッキを施して形成される。また、絶縁部材は、樹脂、
セラミック、誘電体材料、ガラス等の不導体で形成され
る。
【0018】そして、半導体チップ部品である例えばレ
ーザチップのn型基板上に形成した最上層の面を、第2
の導電部材の平坦領域と接する方向でダイボンディング
し、レーザチップのn型基板側から、第1の導電部材の
表面にワイヤーボンディングする。
【0019】そのため、AlGaInP系のレーザチッ
プに必要な電流注入方向を考慮すれば、第1の導電部材
をアース電位(GND)とし、第2の導電部材をプラス
電位にバイアスして電流を注入することが可能となる。
【0020】ここで、第1の導電部材は、半導体レーザ
装置をシステム等の機器に装着する場合、半導体レーザ
装置と、機器の半導体レーザ装置取り付け部分(GND
電位となっている)とを直接接触させて固定することに
なるが、上述の如く第1の導電部材はGND電位、第2
の導電部材はプラス電位にバイアスして駆動することが
可能であるので、半導体レーザ装置をプラス電源駆動方
式として用いることができることから、機器のプラス電
源の共用が可能となるものである。
【0021】請求項2記載の半導体レーザ装置の作用に
ついて述べる。
【0022】第1の導電部材をリング状に形成し、第2
の導電部材を棒状又は板状に形成して、第1の導電部材
の中に第2の導電部材を遊嵌する。そして、第1の導電
部材と第2の導電部材との隙間に、気密封止用ガラス部
材を嵌め込むようにして、第1の導電部材と第2の導電
部材とを電気的に絶縁し、かつ密封して固定している。
ここで、第1の導電部材及び第2の導電部材は、金属
で形成されるか、又は樹脂の表面に金属製のメッキを施
して形成される。
【0023】そして、半導体チップ部品である例えばレ
ーザチップのn型基板上に形成した最上層の面を、第2
の導電部材の平坦領域と接する方向でダイボンディング
する。
【0024】また、第2の導電部材に実装されたレーザ
チップを密封するために、第1の導電部材に保護キャッ
プを装着する。また、この保護キャップには、レーザビ
ームを外部に放射するための透過用ガラス窓が形成され
ている。
【0025】このようにして、保護キャップ内の気密性
を保ことにより、レーザチップが外部環境から永久に保
護されることになる。
【0026】また、AlGaInP系のレーザチップに
必要な電流注入方向を考慮すれば、第1の導電部材をア
ース電位(GND)とし、第2の導電部材をプラス側に
バイアスして電流を注入することが可能となる。つま
り、半導体レーザ装置をプラス電源駆動方式として用い
ることができ、プラス電源の共用が可能となる。
【0027】請求項3記載の半導体レーザ装置の作用に
ついて述べる。
【0028】請求項2記載の半導体レーザ装置におい
て、ステムの平坦領域に光ディスクからの変調光を受け
る信号検出用フォトダイオードを実装するとともに、保
護キャップ上にトラッキング用副ビーム生成のための回
折格子及び光ディスクからの反射による変調光を前記信
号検出用フォトダイオードに回折するための回折格子を
有するホログラム素子を備える。
【0029】これにより、トラッキング用副ビームの生
成が可能であって、ディスクからの反射による変調光を
信号検出用フォトダイオードで受けることにより、ディ
スクに記録された情報を光学的に検出できる半導体レー
ザ装置とすることができる。
【0030】また、AlGaInP系のレーザチップに
必要な電流注入方向を考慮すれば、第1の導電部材をア
ース電位(GND)とし、第2の導電部材をプラス側に
バイアスして電流を注入することが可能となる。つま
り、半導体レーザ装置をプラス電源駆動方式として用い
ることができ、プラス電源の共用が可能となる。
【0031】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
【0032】図1乃至図5は請求項1記載の発明の実施
例を示し、図1及び図2はステムの構造を示す斜視図及
び縦断面図、図3はステムにレーザチップを実装した構
造を示す斜視図、図4はレーザチップの拡大図、図5は
ステムの構造の他の実施例を示す斜視図である。
【0033】図1及び図2において、本実施例のステム
1は、リング状に形成された第1の導電部材11に、棒
状又は板状に形成された第2の導電部材12を遊嵌した
状態とし、これら第1の導電部材11と第2の導電部材
12との隙間に、ドーナツ形状の絶縁部材13を嵌め込
むようにして、第1の導電部材11と第2の導電部材1
2とを、電気的に絶縁した状態で一体的に固定した構造
となっている。
【0034】第1の導電部材11及び第2の導電部材1
2は、金属で形成されるか、又は樹脂の表面に金属製の
メッキを施して形成される。また、絶縁部材13は、樹
脂、セラミック、誘電体材料、ガラス等の不導体で形成
される。
【0035】樹脂、誘電体材料、ガラス等の絶縁部材1
3は、高温状態にして液体化させ、これを第1の導電部
材11と第2の導電部材12との隙間に流し込み、その
後冷却して固定する。また、セラミックの絶縁部材13
の場合には、粉状にした材料を第1の導電部材11と第
2の導電部材12との隙間に流し込み、その後焼結して
固化する。
【0036】また、第1の導電部材11にはGND用の
リードピン111が、第2の導電部材12にはプラス端
子用のリードピン121が、それぞれ溶接等の方法で接
続固定されている。
【0037】そして、半導体チップ部品である例えばA
lGaInP系のレーザチップ14が、そのn型基板1
41上に形成した最上層の面(Au電極)142を、第
2の導電部材12に形成された平坦領域122と接する
方向でダイボンディングされている。また、レーザチッ
プ14の他方の面(n型基板面)143にはAl,Au
等の材料で電極145が形成されており、この電極14
5と第1導電部材11とがAu線15で接続されている
(図3参照)。なお、レーザチップ14の各層の具体的
構成については、図4中に直接記入している。
【0038】上記構成の半導体レーザ装置において、リ
ードピン111はGNDにバイアスし、リードピン12
1はプラス側にバイアスして電流を注入することによ
り、半導体レーザ装置は駆動される。
【0039】つまり、図4に示すAlGaInP系のレ
ーザチップ14に必要な電流注入方向(図中に矢符で示
す)を考慮すれば、第1の導電部材11をGNDにバイ
アスし、第2の導電部材12をプラス側にバイアスして
機器に装着できるので、半導体レーザ装置をプラス電源
駆動方式として用いることができることから、機器のプ
ラス電源の共用が可能となるものである。
【0040】また、必要に応じて、第1の導電部材11
には、図5に示すような1本又は複数本のリードピン1
12,113を設けることができる。これらのリードピ
ン112,113は、第2の導電部材12と同様に、樹
脂、セラミック、誘電体材料、ガラス等の絶縁部材13
で、第1の導電部材11と接触しないように一体的に固
定した構造となっている。また、これらのリードピン1
12,113は、例えばモニタ用PDや信号検出用PD
等の半導体チップ部品を半導体レーザ装置内に実装する
場合に、その入出力端子として用いることができる。
【0041】なお、本実施例の半導体レーザ装置の最も
簡単な駆動回路例を図6に示す。
【0042】このような構成の半導体レーザ装置は、気
密性を重視しない用途、例えば実験室における用途等に
多く用いられる。
【0043】図7乃至図9は請求項2記載の発明の実施
例を示し、図7及び図8はレーザチップを実装したステ
ムの構造を示す斜視図及び縦断面図、図9はレーザチッ
プの拡大図である。
【0044】図7及び図8において、本実施例のステム
2は、リング状に形成された第1の導電部材21に、棒
状又は板状に形成された第2の導電部材22を遊嵌した
状態とし、これら第1の導電部材21と第2の導電部材
22との隙間に、ドーナツ形状の気密封止用ガラス部材
23を嵌め込むようにして、第1の導電部材21と第2
の導電部材22とを、電気的に絶縁した状態で一体的に
固定した構造となっている。
【0045】第1の導電部材21及び第2の導電部材2
2は、金属で形成されるか、又は樹脂の表面に金属製の
メッキを施して形成される。また、気密封止用ガラス部
材23としては、通称ハーメチックシール用ガラスが用
いられる。
【0046】気密封止用ガラス部材23は、高温状態に
して液体化させ、これを第1の導電部材21と第2の導
電部材22との隙間に流し込み、その後冷却して固定す
る。
【0047】また、第1の導電部材21にはGND用の
リードピン211が、第2の導電部材22にはプラス端
子用のリードピン221が、それぞれ溶接等の方法で接
続固定されている。
【0048】そして、半導体チップ部品である例えばA
lGaInP系のレーザチップ24が、そのn型基板2
41上に形成した最上層の面(Au電極)242を、第
2の導電部材22に形成された平坦領域222と接する
方向でダイボンディングされている。また、レーザチッ
プ24の他方の面(n型基板面)243にはAl,Au
等の材料で電極245が形成されており、この電極24
5と第1導電部材21とがAu線25で接続されてい
る。なお、レーザチップ24の各層の具体的構成につい
ては、図9中に直接記入している。
【0049】また、第2の導電部材22に実装されたレ
ーザチップ24を密封するために、第1の導電部材21
に円筒形状の保護キャップ26が装着されており、この
保護キャップ26には、レーザビームを外部に放射する
ための透過用ガラス窓27が形成されている。そして、
透過用ガラス窓27の周縁部は、封止用ガラス28によ
って保護キャップ26に密着されている。
【0050】このように形成された保護キャップ26の
内部にN2 等の準不活性ガスを充填し、第1の導電部材
21と保護キャップ26とを溶接することにより、保護
キャップ26内部の気密性が保たれることになる。その
ため、保護キャップ26内に実装されるレーザチップ2
4が、外部環境から永久に保護されることになる。
【0051】上記構成の半導体レーザ装置において、リ
ードピン211はGNDにバイアスし、リードピン22
1はプラス側にバイアスして電流を注入することによ
り、半導体レーザ装置は駆動される。
【0052】つまり、図9に示すAlGaInP系のレ
ーザチップ24に必要な電流注入方向(図中に矢符で示
す)を考慮すれば、第1の導電部材21をGNDにバイ
アスし、第2の導電部材22をプラス側にバイアスして
機器に装着できるので、半導体レーザ装置をプラス電源
駆動方式として用いることができることから、機器のプ
ラス電源の共用が可能となるものである。
【0053】なお、本実施例の半導体レーザ装置の最も
簡単な駆動回路例を図10に示す。
【0054】このような構成の半導体レーザ装置は、装
置内部の気密を重視する用途、例えば市販される光学式
情報記録/再生装置等に多く用いられる。
【0055】また、図11は、図7に示した半導体レー
ザ装置の内部に、光出力検出用フォトダイオード(モニ
タ用PD)36を新たに実装したものである。すなわ
ち、第2導電部材22に形成された平坦領域222とは
別の平坦領域223にモニタ用PD36を実装したもの
である。これにより、図示しない光出力の自動制御回路
(APC回路)によってモニタ用PD36の駆動が可能
となるものである。
【0056】つまり、第1の導電部材21をGNDにバ
イアスし、第2の導電部材22をプラス側にバイアスし
て機器に装着できるので、半導体レーザ装置をプラス電
源駆動方式として用いることができることから、機器の
プラス電源の共用が可能となるものである。
【0057】なお、本実施例の半導体レーザ装置の駆動
回路例を図12に示す。
【0058】また、図13は請求項3記載の発明の実施
例を示し、レーザチップ等を実装したステムの構造を示
す斜視図である。
【0059】同図において、本実施例のステム4は、リ
ング状に形成された第1の導電部材41に、棒状又は板
状に形成された第2の導電部材42を遊嵌した状態と
し、これら第1の導電部材41と第2の導電部材42と
の隙間に、ドーナツ形状の気密封止用ガラス部材43を
嵌め込むようにして、第1の導電部材41と第2の導電
部材42とを、電気的に絶縁した状態で一体的に固定し
た構造となっている。
【0060】第1の導電部材41及び第2の導電部材4
2は、金属で形成されるか、又は樹脂の表面に金属製の
メッキを施して形成される。また、気密封止用ガラス部
材43としては、通称ハーメチックシール用ガラスが用
いられる。
【0061】気密封止用ガラス部材43は、高温状態に
して液体化させ、これを第1の導電部材41と第2の導
電部材42との隙間に流し込み、その後冷却して固定す
る。
【0062】また、第1の導電部材41にはGND用の
リードピン411が、第2の導電部材42にはプラス端
子用のリードピン(図示省略)が、それぞれ溶接等の方
法で接続固定されている。
【0063】そして、半導体チップ部品である例えばA
lGaInP系のレーザチップ44が、そのn型基板上
に形成した最上層の面(Au電極)442を、第2の導
電部材42に形成された垂直方向の平坦領域422と接
する方向でダイボンディングされている。また、レーザ
チップ44の他方の面(n型基板面)にはAl,Au等
の材料で電極445が形成されており、この電極445
と第1導電部材41とがAu線45で接続されている。
【0064】また、第2の導電部材42に形成された水
平方向の平坦領域423に、モニタ用PD49が実装さ
れ、別の水平方向の平坦領域424に、図示しない光デ
ィスクからの変調光を受ける信号検出用フォトダイオー
ド(信号検出用PD)50が実装されている。
【0065】また、第1の導電部材41には、複数本の
リードピン412,413・・・が設けられており、こ
れらのリードピン412,413・・・は、第2の導電
部材42と同様に、気密封止用ガラス部材43で、第1
の導電部材41と接触しないように一体的に固定された
構造となっている。そして、リードピン412はモニタ
用PD49にワイヤボンディングされており、他のリー
ドピン413,414・・・は、信号検出用PD50に
それぞれワイヤボンディングされている。
【0066】そして、このように実装されたレーザチッ
プ44、モニタ用PD49、信号検出用PD50を密封
するために、第1の導電部材41に円筒形状の保護キャ
ップ46が装着されており、この保護キャップ46に
は、レーザビームを外部に放射するための透過用ガラス
窓(図示省略)が形成されている。そして、この透過用
ガラス窓の周縁部は、図8に示す構造と同様となってお
り、封止用ガラスによって保護キャップ46に密着され
ている。
【0067】このように形成された保護キャップ46の
内部にN2 等の準不活性ガスを充填し、第1の導電部材
41と保護キャップ46とを溶接することにより、保護
キャップ46内部の気密性が保たれることになる。その
ため、この保護キャップ46内部に実装されるレーザチ
ップ44、モニタ用PD49、信号検出用PD50等
が、外部環境から永久に保護されることになる。
【0068】そして、この保護キャップ46の透過用ガ
ラス窓47上に、トラッキング用副ビーム生成のための
回折格子及び光ディスクからの反射による変調光を信号
検出用PD50に回折するための回折格子を有するホロ
グラム素子51が取り付けられた構造となっている。
【0069】これにより、トラッキング用副ビームの生
成が可能であって、ディスクからの反射による変調光を
信号検出用PD50で受けることにより、ディスクに記
録された情報を光学的に検出できる半導体レーザ装置と
することができる。
【0070】上記構成の半導体レーザ装置において、リ
ードピン411はGNDにバイアスし、その他のリード
ピン421,412,413・・・はプラス側にバイア
スして電流を注入することにより、半導体レーザ装置は
駆動される。
【0071】つまり、第1の導電部材41をGNDにバ
イアスし、第2の導電部材42をプラス側にバイアスし
て機器に装着できるので、半導体レーザ装置をプラス電
源駆動方式として用いることができることから、機器の
プラス電源の共用が可能となるものである。
【0072】なお、図7及び図8に示す保護キャップ2
6、透過用ガラス窓27、封止用ガラス28、図11に
示す保護キャップ26、透過用ガラス窓27、図13に
示す保護キャップ46、ホログラム素子51は、テスム
自体の構造を理解しやすくするために2点鎖線により図
示している。
【0073】
【発明の効果】本発明の請求項1記載の半導体レーザ装
置は、第1の導電部材をリング状に形成し、第2の導電
部材を棒状又は板状に形成して、第1の導電部材の中に
第2の導電部材を遊嵌し、第1の導電部材と第2の導電
部材との隙間に、絶縁部材を嵌め込むようにして、第1
の導電部材と第2の導電部材とを電気的に絶縁して固定
する。そして、半導体チップ部品である例えばレーザチ
ップのn型基板上に形成した最上層の面を、第2の導電
部材の平坦領域と接する方向でダイボンディングし、レ
ーザチップのn型基板側から、第1の導電部材の表面に
ワイヤーボンディングすることにより、第1の導電部材
をアース電位(GND)とし、第2の導電部材をプラス
電位にバイアスして電流を注入することが可能となる。
つまり、半導体レーザ装置をプラス電源駆動方式として
用いることができることから、機器のプラス電源の共用
が可能となるものである。
【0074】本発明の請求項2記載の半導体レーザ装置
は、第1の導電部材をリング状に形成し、第2の導電部
材を棒状又は板状に形成して、第1の導電部材の中に第
2の導電部材を遊嵌し、第1の導電部材と第2の導電部
材との隙間に、気密封止用ガラス部材を嵌め込むように
して、第1の導電部材と第2の導電部材とを電気的に絶
縁し、かつ密封して固定する。そして、半導体チップ部
品である例えばレーザチップのn型基板上に形成した最
上層の面を、第2の導電部材の平坦領域と接する方向で
ダイボンディングするとともに、第2の導電部材に実装
されたレーザチップを密封するために、第1の導電部材
に保護キャップを装着し、この保護キャップに、レーザ
ビームを外部に放射するための透過用ガラス窓を形成し
た構造とする。そのため、保護キャップ内の気密性が保
たれることから、レーザチップが外部環境から永久に保
護される。また、半導体レーザ装置をプラス電源駆動方
式として用いることができるので、半導体レーザ装置が
装着される機器のプラス電源の共用が可能となるもので
ある。
【0075】本発明の請求項3記載の半導体レーザ装置
は、ステムの平坦領域に光ディスクからの変調光を受け
る信号検出用フォトダイオードを実装するとともに、保
護キャップ上にトラッキング用副ビーム生成のための回
折格子及び光ディスクからの反射による変調光を信号検
出用フォトダイオードに回折するための回折格子を有す
るホログラム素子を備えた構造としている。そのため、
トラッキング用副ビームの生成が可能であって、ディス
クからの反射による変調光を信号検出用フォトダイオー
ドで受けることにより、ディスクに記録された情報を光
学的に検出できる半導体レーザ装置とすることができ
る。また、半導体レーザ装置をプラス電源駆動方式とし
て用いることができるので、半導体レーザ装置が装着さ
れる機器のプラス電源の共用が可能となるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体レーザ装置のステムの構造を示
す斜視図である。
【図2】本発明の半導体レーザ装置のステムの構造を示
す縦断面図である。
【図3】ステムにレーザチップを実装した構造を示す斜
視図である。
【図4】レーザチップの拡大図である。
【図5】ステムの構造の他の実施例を示す斜視図であ
る。
【図6】図3に示す半導体レーザ装置の最も簡単な駆動
回路図である。
【図7】レーザチップを実装したステムの構造を示す斜
視図である。
【図8】レーザチップを実装したステムの構造を示す縦
断面図である。
【図9】レーザチップの拡大図である。
【図10】図7に示す半導体レーザ装置の最も簡単な駆
動回路図である。
【図11】レーザチップ等を実装したステムの構造を示
す斜視図である。
【図12】図11に示す半導体レーザ装置の駆動回路図
である。
【図13】レーザチップ等を実装したステムの構造を示
す斜視図である。
【図14】半導体レーザ装置の従来のステムの構造を示
す斜視図である。
【図15】レーザチップの拡大図である。
【図16】図14に示す従来の半導体レーザ装置の駆動
回路図である。
【符号の説明】
1,2,4 ステム 11,21,41 第1の導電部材 12,22,42 第2の導電部材 13 絶縁部材 14,24,44 レーザチップ 23,43 気密封止用ガラス部材 26,46 保護キャップ 27,47 透過用ガラス窓 36,49 モニタ用フォトダイオード 50 信号検出用フォトダイオード 122,222,223,422,423,424 平
坦領域

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体チップ部品をパッケージとなるス
    テム上に実装した半導体レーザ装置において、 前記ステムは、アース電位に保たれる第1の導電部材
    と、前記半導体チップ部品を実装するための平坦領域を
    有するプラス電位に保たれる第2の導電部材と、これら
    第1の導電部材及び第2の導電部材を絶縁状態で接合す
    る絶縁部材とで形成されたことを特徴とする半導体レー
    ザ装置。
  2. 【請求項2】 レーザチップをパッケージとなるステム
    上に実装した半導体レーザ装置において、 前記ステムは、アース電位に保たれる第1の導電部材
    と、前記レーザチップを実装するための平坦領域を有す
    るプラス電位に保たれる第2の導電部材と、これら第1
    の導電部材及び第2の導電部材を絶縁状態で接合する気
    密封止用ガラス部材と、前記第2の導電部材に実装され
    た前記レーザチップを密封するとともに、レーザビーム
    を外部に放射するための透過用ガラス窓を有する保護キ
    ャップとで形成されたことを特徴とする半導体レーザ装
    置。
  3. 【請求項3】 前記平坦領域に光ディスクからの変調光
    を受ける信号検出用フォトダイオードを実装するととも
    に、前記保護キャップ上にトラッキング用副ビーム生成
    のための回折格子及び前記光ディスクからの反射による
    変調光を前記信号検出用フォトダイオードに回折するた
    めの回折格子を有するホログラム素子を備えたことを特
    徴とする請求項2記載の半導体レーザ装置。
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