JPH08201066A - 振動型ジャイロスコープ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧電材料を用いた振動型ジャイロスコープに
おいて、全体を薄型化し、且つ電極を高精度に形成でき
るようにする。 【構成】 単結晶材料の圧電材料により形成される弾性
体１２の同一面に第一の電極１３ａと第二の電極１３ｂ
が形成され、他方の面に対向電極１４が形成される。電
極１３ａと１３ｂに逆位相の交流電力が与えられると、
弾性体１２はＸ方向へ曲げ振動する。Ｚ軸回りの回転系
内では、コリオリ力により弾性体１２がＹ方向へ振動
し、この振動により誘起された電力が電極１３ａと１３
ｂに現れる。両電極１３ａと１３ｂの検出電力を加算手
段１７で加算することにより、駆動電力が消去され、コ
リオリ力による振動成分のみが取り出される。第一と第
二の電極が同一面に形成されているため、エッチング構
成などにより両電極の相対位置などを高精度に設定でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、所定の方向へ変形振動
する弾性体が回転系内に置かれたときに、コリオリ力に
より生じる前記振動方向と直交する方向の変形振動を検
出して、回転系の角速度を求めることのできる振動型ジ
ャイロスコープに関する。

【０００２】

【従来の技術】回転角速度を検出するジャイロスコープ
は、車載用ナビゲーションシステム、航空機や船舶等の
慣性航法システムや姿勢制御システム、ロボツトや無人
走行車等の姿勢制御システム、さらにはテレビカメラや
ビデオカメラの画面振れ防止装置等に使用される。この
ような種々の分野の使用に適するジャイロスコープとし
ては小型のものが必要になっており、そこで振動型ジャ
イロスコープが着目されている。

【０００３】図７、図８（ａ）は、この種の振動型ジャ
イロスコープの従来例を示し、図８（ｂ）は同図（ａ）
の振動型ジャイロスコープのＺ軸方向矢視図である。図
７に示す振動型ジャイロスコープでは、恒弾性金属（エ
リンバ）により形成された四角柱状の弾性体１の側面
に、駆動用の圧電素子２ａと検出用の圧電素子２ｂが固
着されている。この例では、駆動用の圧電素子２ａによ
り柱状弾性体１にＸ軸方向の曲げ振動を与えながら、柱
状弾性体１をＺ軸回りの回転系内に置くと、柱状弾性体
１に対しＹ軸方向へのコリオリ力が作用し、柱状弾性体
１はＹ軸方向へ振動する。このＹ軸方向の曲げ振動によ
る変形量が圧電素子２ｂにより検出される。

【０００４】また図８（ａ）、（ｂ）に示す例において
は、同様に恒弾性金属（エリンバ）により形成された三
角柱状の弾性体３の各側面に、圧電素子４ａ，４ｂおよ
び４ｃが固着されている。この例においては、圧電素子
４ａと圧電素子４ｂ，４ｃとで弾性体３にＸ軸方向の曲
げ振動を与えながら、弾性体３をＺ軸回りの回転系内に
置くと、弾性体３に対しＹ軸方向へのコリオリ力が作用
し、弾性体３はＹ軸方向へ振動する。このＹ軸方向の曲
げ振動による変形量が圧電素子４ｂおよび４ｃにより検
出される

【０００５】上記に示した四角柱状の弾性体１または三
角柱状の弾性体３の質量をｍ、弾性体１または弾性体３
のＸ軸方向の振動速度をｖ（ベクトル値）、回転系での
Ｚ軸回りの角速度をω0 （ベクトル値）とすると、コリ
オリ力Ｆ（ベクトル値）は、

【０００６】

【数１】Ｆ＝２ｍ（ｖ×ω0 ）（×はベクトル積）

【０００７】と表わされ、コリオリ力Ｆは角速度ω0 に
比例する。よって、弾性体１または弾性体３のＹ軸方向
への変形振動が圧電素子により検出されることにより、
角速度ω0 が求められる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図７または図
８に示す振動型ジャイロスコープは、いずれも柱形状の
弾性体１または３が使用され、柱状の各側面を高精度に
加工する必要がある。すなわち図７に示す弾性体１で
は、断面が正方形となるように、また図８に示す弾性体
３では、断面が正三角形となるように、高精度に加工す
る必要があるが、この加工には高い精度が要求され、量
産性に適さないものとなる。

【０００９】また、柱状の弾性体１または３を有する振
動型ジャイロスコープは立体的な構造で比較的大型のも
のになり、回路基板上などでの実装スペースが広く必要
になる。

【００１０】さらに、図７に示すものでは、四角柱形状
の弾性体１の各側面に圧電素子２ａ，２ｂを固着するこ
とになるが、各側面での圧電素子の固着位置を高精度に
揃える必要がある。同様に図８に示すものにおいても、
三角柱の弾性体の３つの側面に圧電素子４ａ，４ｂ，４
ｃを高精度に位置決めして固着する必要がある。このよ
うに立体的な各側面にそれぞれ圧電素子を高精度に位置
決めして固着するのは、高精度な製造工程が必要にな
る。

【００１１】また、図８（ａ）に示す三角柱形状の弾性
体３を用いた振動型ジャイロスコープでは、同図（ｂ）
に示すように圧電素子４ａが振動方向のＹ軸に対して正
三角形の底辺に置かれ、他の２つの圧電素子４ｂおよび
４ｃは互いに平行とならず、正三角形の斜辺分の傾きを
以って配置されることになる。よって弾性体３をＸ方向
へ振動させるときに、圧電素子４ｂ，４ｃの圧電力がＸ
方向に対してベクトルの分力として作用し、またコリオ
リ力によるＹ方向への振動を検出する際も、圧電素子４
ｃと４ｂが弾性体３のＹ方向の変形を分力として検出す
るものとなる。したがって、弾性体１の振動駆動効率が
悪く、またコリオリ力による振動の検出効率も悪くな
る。

【００１２】また圧電素子が立体的な各側面に設けられ
るので、例えばスパッタリングや蒸着などの薄膜形成技
術により、圧電素子およびその電極を形成することがで
きず、量産性の向上や製造コストを下げることに限界が
ある。

【００１３】本発明は上記従来の課題を解決するもので
あり、全体の構造を平面的に構成して薄型化を可能と
し、また複数の電極を同一面に高精度に配置できるよう
にし、さらに電極の形成に薄膜形成技術を利用すること
を可能としたことを目的としている。

【００１４】また、本発明は同一平面に形成した電極に
より弾性体を振動させ、コリオリ力による振動成分を前
記の同じ電極から検出できるようにすることを目的とし
ている。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明による振動型ジャ
イロスコープは、圧電材料または圧電材料と他の弾性材
料とで構成された平板状の弾性体と、前記圧電材料に接
する対向電極と、前記圧電材料の同一平面上に取り付け
られて前記対向電極に対向する第一と第二の電極と、第
一と第二の電極へ駆動電力を与えて前記弾性体を変形振
動させる駆動電力部と、前記第一と第二の電極のそれぞ
れから取り出した検出電力を加算しまたは差を求める手
段を有して、回転系内におかれたときにコリオリ力によ
り生じる振動成分を検出する検出部を有することを特徴
とするものである。

【００１６】この場合に、第一の電極に対する圧電材料
の誘電分極方向と第二の電極に対する圧電材料の誘電分
極方向が同じであり、第一の電極と第二の電極に対して
駆動電力部から互いに逆位相の電力が与えられる場合
に、検出部は第一の電極と第二の電極から取り出された
検出電力を加算する手段を有して、コリオリ力による振
動成分を検出する検出部を有するものとなる。

【００１７】また、第一の電極に対する圧電材料の誘電
分極方向と第二の電極に対する圧電材料の誘電分極方向
が相異し、第一の電極と第二の電極に対して駆動電力部
から同位相の電力が与えられる場合に、検出部は第一の
電極と第二の電極から取り出された検出電力を差を求め
る手段を有して、コリオリ力による振動成分を検出する
検出部を有することになる。

【００１８】さらに、圧電材料または圧電材料と他の弾
性材料とで構成された平板状の振動体の一部を三枚に分
離し、それぞれの振動体に上記の第一と第二の電極およ
び対向電極が設けられていることを特徴とするものであ
る。

【００１９】また、前記三枚に分離した振動体におい
て、駆動電力部からの駆動電力により中央の振動体と両
端の振動体とで逆位相の振動が与えられることを特徴と
するものである。

【００２０】また、上記において用いる圧電材料は、全
ての部分での誘電分極方向が同じである圧電単結晶材料
により形成することが可能である。

【００２１】

【作用】上記手段では、弾性体が圧電セラミックや単結
晶材料などの圧電材料で構成され、またはこの圧電材料
と恒弾性体（エリンバ）などの他の弾性材料とが積層さ
れたものとして構成される。第一と第二の電極は、前記
圧電材料の同一の平面に形成され、この第一と第二の電
極に対向する対向電極は、第一と第二の電極と逆の平面
または第一および第二の電極と同じ平面に形成される。
第一と第二の電極が同じ平面に形成されるため、互いの
位置を高精度に決めることが容易であり、また薄膜形成
技術により両電極を形成することも可能である。

【００２２】圧電材料の誘電分極方向が、第一の電極と
第二の電極とに対して同じ向きである場合には、第一と
第二の電極に逆位相の電圧を与えることにより、弾性体
は電極が形成されている面の方向へ曲げ変形振動する。
圧電材料の誘電分極方向が、第一の電極と第二の電極と
で異なる方向である場合には、第一と第二の電極に同じ
位相の電力を与えることにより、弾性体は電極が形成さ
れた面の方向へ曲げ変形振動する。

【００２３】同じ平面に形成された第一と第二の電極に
対して誘電分極方向が同じとなる圧電材料は、水晶やＬ
ｉＮｂＯ3などの単結晶材料により形成できる。また第
一と第二の電極に対して異なる分極方向となる圧電材料
は、ＰＺＴ系などの圧電セラミック材料などにより形成
できる。この場合、例えば圧電材料をシリコンオイル中
にて高電圧を掛けることにより比較的簡単に且つ自由に
誘電分極方向を設定することが可能である。

【００２４】上記のようにして電極が形成された面の方
向へ振動している弾性体が回転系内に置かれると、コリ
オリ力が、電極が形成された面と直交する方向へ作用
し、弾性体が同方向へ振動する。このとき第一の電極と
第二の電極からの検出電力から、コリオリ力による振動
成分が検出され、角速度が求められる。

【００２５】第一と第二の電極に対して圧電材料の誘電
分極が同じ方向である場合には、検出部において第一の
電極と第二の電極との検出出力の和が求められる。この
和を求めることにより、駆動電力部から各電極に与えら
れる駆動電力が消去され、コリオリ力の振動により誘起
された電力のみが検出される。第一と第二の電極に対し
て圧電材料の誘電分極方向が相違する場合には、検出部
において第一と第二電極からの出力の差が求められる。
これにより駆動電力部から各電極に与えられる駆動電力
が消去され、コリオリ力の振動により誘起された電極の
みが検出される。

【００２６】また、弾性体が平板状の場合、１枚の弾性
体に溝を形成して複数の板状の振動体を形成し、コリオ
リ力により複数の振動体を異なる位相で曲げ振動させる
ことが可能である。例えば１枚の板状の弾性体に３個の
振動体が形成されている場合には、両側の振動体と中央
の振動体とを互いに逆の位相にて振動させることができ
る。この振動モードでは弾性体の内部の振動による応力
のバランスがとれ、安定した振動を得ることができる。
また中央の振動体をトリミングして長さを変えることに
より固有振動数の設定調整が可能である。また、３個の
振動体が分離形成された弾性体の場合には、弾性体の基
部を剛体支持しても、各振動体の安定した振動が得られ
る。

【００２７】

【実施例】以下、本発明について図面を参照して説明す
る。図１（ａ）は、本発明の第一実施例の振動型ジャイ
ロスコープを示す斜視図、同図（ｂ）は、その回路構成
図、図２（ａ）は、本発明の第二実施例の振動型ジャイ
ロスコープを示す斜視図、同図（ｂ）は、その回路構成
図、図３（ａ）は、本発明の第三実施例の振動型ジャイ
ロスコープを示す斜視図、同図（ｂ）は、その回路構成
図、図４（ａ）は、本発明の第四実施例の振動型ジャイ
ロスコープを示す斜視図、同図（ｂ）は、その回路構成
図、図５（ａ）は、本発明の第五実施例の振動型ジャイ
ロスコープを示す斜視図、同図（ｂ）は、その回路構成
図、図６（ａ）は、本発明の第六実施例の振動型ジャイ
ロスコープを示す斜視図、同図（ｂ）は、その回路構成
図である。

【００２８】（第一実施例）図１（ａ）に示す第一実施
例の振動型ジャイロスコープ１１では、板状の弾性体１
２が、圧電材料により形成されている。この実施例で
は、弾性体１２を構成する圧電材料の圧電分極方向を白
抜きの矢印で示している。各部分での誘電分極方向は同
じ−Ｙ方向であるため、この弾性体１２は、水晶やＬｉ
ＮｂＯ3などの単結晶材料により形成することが可能で
ある。あるいはＰＺＴ系などの圧電セラミック材料を用
い、板厚方向への誘電分極方向が全ての位置において同
じとなるように設定してもよい。

【００２９】弾性体１２を構成する圧電材料の一方の面
には、Ｚ方向に延びる第一の電極１３ａと第二の電極１
３ｂが形成されており、逆側の面には対向電極１４がほ
ぼ全面に形成されている。電極１３ａ，１３ｂおよび電
極１４は、銅などの導電性材料により形成されている。
例えば弾性体１２を構成する圧電材料の表裏両面に銅の
薄膜をスパッタリングや蒸着などの手段で全面に形成し
ておく。一方の面の銅の薄膜をエッチングすることによ
り第一と第二の電極１３ａと１３ｂを形成することがで
き、他方の面は全面に銅の薄膜を残して、これを対向電
極１４とすることができる。薄膜形成工程およびエッチ
ング工程を用いて、第一と第二の電極１３ａと１３ｂを
形成すれば、弾性体１２に対する両電極１３ａと１３ｂ
の相対位置や、それぞれの電極１３ａと１３ｂの面積な
どを高精度に形成できる。

【００３０】駆動電源部は、交流電源１５と位相反転回
路１６などにより構成される。交流電源１５からは、弾
性体１２のＸ方向への共振点または反共振点にほぼ等し
くなる周波数の電力が発せられる。第一の電極１３ａに
対しては、交流電源１５からの駆動電力が端子Ａ１を介
して与えられ、第二の電極１３ｂに対しては、交流電源
１５からの駆動電力が位相反転回路１６により反転さ
れ、端子Ｂ１を介して与えられる。すなわちこの駆動電
源部では、第一の電極１３ａと第二の電極１３ｂに対し
て逆位相の駆動電力が与えられる。また対向電極１４は
接地され、または所定の電位に設定される。

【００３１】検出部では、第一の電極１３ａの電力が端
子Ｃ１から、第二の電極１３ｂの電力が端子Ｄ１から検
出される。この実施例では、検出部において、加算手段
１７により両電極１３ａと１３ｂの電力の和が求められ
る。なお、上記位相反転回路１６には、ＯＰアンプを用
いて構成される反転増幅回路等を用いても良い。

【００３２】交流電源１５からの駆動電力の周波数をｆ
とすると、角周波数ωはω＝２πｆである。端子Ａ１を
介して第一の電極１３ａには数２の駆動電圧Ｖaが与え
られる。なお、以下では、圧電材料が定電流により駆動
され、また振動成分が電圧として検出される場合を例と
して説明する。圧電材料が定電圧により駆動され、また
振動成分が電流として検出される場合もあるが、この場
合の電流は電圧と位相が相違するだけであり、以下の数
式における関係は同じである。

【００３３】

【数２】Ｖa ＝ν0 ｓｉｎωｔ

【００３４】第二の電極１３ｂには、交流電源１５で発
生した電圧が位相反転回路１６により位相反転され（位
相を１８０度ずらして）与えられる。よって第一の電極
１３ａに数２の電圧が与えられるとき、第二の電極１３
ｂに与えられる電圧Ｖbは、

【００３５】

【数３】Ｖb ＝−ν0 ｓｉｎωｔ である。

【００３６】対向電極１４に対する第一の電極１３ａと
第二の電極１３ｂの電圧の位相が相違するために、ある
時点で圧電材料の１２ａで示す部分がＹ方向に伸びる
と、そのとき圧電材料の１２ｂで示す部分がＹ方向に収
縮する。この伸びと収縮が、前記周波数ｆにて繰返さ
れ、よって、弾性体１２は電極が形成された面の方向
（Ｘ方向）へ周波数ｆにて曲げ変形振動する。

【００３７】この状態で振動型ジャイロスコープ１１が
Ｚ軸回りの回転系内に置かれると、弾性体１２に対しＹ
軸方向へコリオリ力が作用し、弾性体１２がＹ軸方向へ
曲げ変形振動する。弾性体１２の圧電材料の１２ａの部
分と１２ｂの部分がＹ方向へ曲げ変形振動する際に電極
１３ａと１３ｂに誘起される電圧Ｖ1を数４で表わす。
数４でのν1は、Ｙ方向での振動で誘起される電圧の最
大値を示し、δは電極１３ａと１３ｂに与えられる前記
駆動電圧に対する位相の進み量または遅れ量を示す。

【００３８】

【数４】Ｖ1 ＝ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）

【００３９】第一の電極１３ａと第二の電極１３ｂに
は、駆動電圧Ｖa，Ｖbと、上記電圧Ｖ１が混在すること
になる。すなわち第一の電極１３ａの電圧ＶC1は数５で
表わされ、第二の電極１３ｂの電圧ＶD1は数６で表わさ
れる。

【００４０】

【数５】ＶC1＝ Ｖa ＋Ｖ1 ＝ν0 ｓｉｎωｔ＋ν1 ｓ
ｉｎ（ωｔ＋δ）

【００４１】

【数６】ＶD1＝Ｖb ＋Ｖ1 ＝−ν0 ｓｉｎωｔ＋ν1 ｓ
ｉｎ（ωｔ＋δ）

【００４２】検出部には加算手段１７が設けられ、第一
の電極１３ａの電圧ＶC1と第二の電極１３ｂの電圧ＶD1
との和が求められて検出出力Ｖoutとなる。このＶoutは
数７で示す通りである。

【００４３】

【数７】 Ｖout＝ＶC1＋ＶD1＝｛ν0 ｓｉｎωｔ＋ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝ ＋｛−ν0 ｓｉｎωｔ＋ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝ ＝２ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）＝２Ｖ1

【００４４】この検出出力Ｖoutでは、駆動電力である
ＶaとＶbの成分が消去され、コリオリ力によるＹ方向の
振動で誘導された電圧Ｖ1のみの成分となる。よってこ
の検出出力Ｖoutに基づいて、回転系での角速度ω0を求
めることができる。

【００４５】（第二実施例）図２（ａ）に示す第二実施
例の振動型ジャイロスコープ２１では、弾性体２２が平
板状の圧電材料により形成されているが、この圧電材料
はＰＺＴ系の圧電セラミックなどであり、各部位にて誘
電分極方向を自由に設定できるものとなっている。図１
に示したものと同様に、弾性体２２の圧電材料の一方の
面には第一の電極２３ａと第二の電極２３ｂが形成さ
れ、逆側の面に、第一と第二の電極に対向する対向電極
２４がほぼ全面に形成されている。この実施例でも電極
２３ａ，２３ｂと２４は銅の薄膜などにより形成され、
また第一と第二の電極２３ａ，２３ｂはエッチング工程
により形成される。

【００４６】この実施例では、Ｙ方向に延びる中央断面
Ｏを境として、弾性体２２を構成する圧電材料の一方の
部分２２ａと他方の部分２２ｂとで、誘電分極方向（白
抜きの矢印で示す）が逆向きである。第一の電極２３ａ
に対応する部分２２ａでは誘電分極方向が−Ｙ方向で、
第二の電極２３ｂに対応する部分２２ｂでは、誘電分極
方向が＋Ｙ方向である。

【００４７】駆動電源部では、所定の周波数ｆの交流電
源２５が設けられており、この交流電源２５からの駆動
電力は端子Ａ２とＢ２を介して、第一の電極２３ａと第
二の電極２３ｂに対して同位相にて与えられる。なお対
向電極２４は接地されまたは所定の電位に設定されてい
る。

【００４８】この振動型ジャイロスコープ２１が定電流
駆動されるとすると、第一の電極２３ａと第二の電極２
３ｂに与えられる電圧は共に数２に示すのと同じ（Ｖa
＝ν0 ｓｉｎωｔ）である。第一の電極２３ａが設けら
れている部分と第二の電極２３ｂが設けられている部分
とで、弾性体２２の圧電材料の分極方向が逆である。よ
って弾性体２２は、電極が形成された面方向（Ｘ方向）
へ周波数ｆにて曲げ振動（共振）させられる。

【００４９】この状態で振動型ジャイロスコープ２１が
Ｚ軸回りの回転系内に置かれると、弾性体２２に対しＹ
方向のコリオリ力が作用し、弾性体２２がＹ方向へ曲げ
振動する。このＹ方向の曲げ振動により第一の電極２３
ａに誘起される電圧は｛（ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝で
あるが、第二の電極２３ｂに誘起される電圧は第一の電
極２３ａと逆位相の｛−ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝であ
る。したがって、第１の電極２３ａの電圧ＶC2は数８と
なり、第二の電極２３ｂの電圧ＶD2は数９となる。

【００５０】

【数８】ＶC2＝Ｖa＋Ｖ1 ＝ν0 ｓｉｎωｔ＋ν1 ｓｉ
ｎ（ωｔ＋δ）

【００５１】

【数９】ＶD2＝Ｖa−Ｖ1 ＝ν0 ｓｉｎωｔ−ν1 ｓｉ
ｎ（ωｔ＋δ）

【００５２】端子Ｃ２と端子Ｄ２で検出された値が減算
手段２８によって減算されると、検出出力Ｖoutは数１
０となる。

【００５３】

【数１０】 Ｖout＝ＶC2−ＶD2 ＝｛ν0 ｓｉｎωｔ＋ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝ −｛ν0 ｓｉｎωｔ−ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝ ＝２ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）＝２Ｖ1

【００５４】この実施例でも、検出出力Ｖoutには、駆
動電力の成分が消去され、コリオリ力による変形振動成
分Ｖ1のみを検出できる。

【００５５】（第三実施例）図３（ａ）に示す第三実施
例の振動型ジャイロスコープ３１では、エリンバなどの
恒弾性材料３４の表裏両面に圧電材料３２，３２が積層
されて平板状の弾性体３６が構成されている。恒弾性材
料３４が対向電極（コモン電極）となり接地され、また
は所定の電位に設定されている。圧電材料３２，３２
は、誘電分極方向の設定が自由な圧電セラミック材料に
より形成されている。一方の面の圧電材料３２は、中央
断面Ｏ１を境として、３２ａの部分と３２ｂの部分で誘
電分極方向（矢印で示す）が互いに逆向きであり、同様
に他方の面の圧電材料３２も、中央断面Ｏ２を境とする
３２ｃの部分と３２ｄの部分とで誘電分極方向が逆向き
である。３２ａと３２ｄの部分での誘電分極方向は−Ｙ
方向で、３２ｂの部分と３２ｃの部分での誘電分極方向
は＋Ｙ方向である。

【００５６】圧電材料３２の３２ａの部分と３２ｂの部
分の表面には、第一の電極３３ａと第二の電極３３ｂが
Ｚ方向に延びて形成されている。他方の圧電材料３２の
３２ｃの部分と３２ｄの部分の表面にも、同様に第一の
電極３３ｃと第二の電極３３ｄがＺ方向に延びて形成さ
れている。電極３３ａと３３ｂは同一面に形成され、電
極３３ｃと３３ｄは同一面に形成されているため、この
全ての電極は、銅箔をエッチングするなどの工程で、高
精度に形成することが可能である。

【００５７】図３（ｂ）に示すように、駆動電源部には
周波数ｆの駆動電力を出力する交流電源３５が設けら
れ、全ての電極３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄに同位
相の駆動電力が与えられる。また検出部では、加算手段
３７ａ，３７ｂと減算手段（差動回路）３８が設けられ
ている。駆動電源部の交流電源３５から、各電極３３
ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄに同位相の電圧が与えられ
る。この電圧は前記数２で示した（Ｖa ＝ν0 ｓｉｎω
ｔ）である。

【００５８】互いに対向する位置にある組み合せの電極
３３ａと３３ｃに対する圧電材料３２の分極方向は同じ
であり（共に矢印の先端向き）、同じく対向する位置に
ある組み合せの電極３３ｂと３３ｄに対する圧電材料３
２の分極方向は前記と逆（共に矢印の基端向き）であ
る。よって、弾性体３６には電極形成面方向（Ｘ方向）
への曲げ振動が生じる。

【００５９】この弾性体３６がＺ軸回りの回転系内に置
かれると、コリオリ力により弾性体３６にＹ方向への曲
げ振動が生じる。この曲げ振動により、電極３３ａと３
３ｄに誘起される電圧を｛ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝と
すると、電極３３ｂと３３ｃに誘起される電圧は電極３
３ａ，３３ｄと逆位相の−｛ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝
である。よって端子Ａ３，Ｂ３，Ｃ３，Ｄ３から得られ
る電圧ＶA3，ＶB3，ＶC3，ＶD3は、数１１、数１２、数
１３、数１４で示される。

【００６０】

【数１１】ＶA3＝Ｖa ＋Ｖ1 ＝ν0 ｓｉｎωｔ＋ν1 ｓ
ｉｎ（ωｔ＋δ）

【００６１】

【数１２】ＶB3＝Ｖa −Ｖ1 ＝ν0 ｓｉｎωｔ−ν1 ｓ
ｉｎ（ωｔ＋δ）

【００６２】

【数１３】ＶC3＝Ｖa −Ｖ1 ＝ν0 ｓｉｎωｔ−ν1 ｓ
ｉｎ（ωｔ＋δ）

【００６３】

【数１４】ＶD3＝Ｖa ＋Ｖ1 ＝ν0 ｓｉｎωｔ＋ν1 ｓ
ｉｎ（ωｔ＋δ）

【００６４】となる。したがって、端子Ａ３と端子Ｄ３
で検出された電圧の和が加算手段３７ｂにより求められ
ると、その出力ＶF3（端子Ｆ３）は、

【００６５】

【数１５】ＶF3＝ＶA3＋ＶD3＝２ν0 ｓｉｎωｔ＋２ν
1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）

【００６６】となる。同様に端子Ｂ３と端子Ｃ３で検出
された値の和が加算手段３７ａにより求められると、そ
の出力ＶE3（端子Ｅ３）は、

【００６７】

【数１６】ＶE3＝ＶB3＋ＶC3＝２ν0 ｓｉｎωｔ−２ν
1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）

【００６８】となる。よって、端子Ｅ３と端子Ｆ３に得
られる加算出力の差が減算手段（差動回路）３８により
求められると、最終的な検出出力Ｖoutは、数１７とな
る。

【００６９】

【数１７】 Ｖout＝ＶF3−ＶE3 ＝｛２ν0 ｓｉｎωｔ＋２ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝ −｛２ν0 ｓｉｎωｔ−２ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝ ＝４ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）＝４Ｖ1

【００７０】この実施例でも検出出力から駆動電力の成
分が消去され、コリオリ力による振動成分が検出され
る。この実施例では、検出出力が第一実施例と第二実施
例の２倍の強度となり、一層高精度な角速度ω0の検出
が可能になる。また上記第三実施例において、恒弾性材
料の両面に重ねられる圧電材料３２と３２を単結晶材料
により形成することが可能である。この場合圧電材料の
３２ａと３２ｃの部分で誘電分極方向が同じ向きにな
り、圧電材料３２の３２ｂと３２ｄの部分でも誘電分極
方向が同じになる。

【００７１】よって、第一の電極３３ａ，３３ｃに所定
の位相の交流電力を与えたときに、第二の電極３３ｂ，
３３ｄにこれと逆の位相の交流電力を与えれば、弾性体
３６をＸ方向へ曲げ変形振動させることができる。また
検出部では、端子Ａ３とＢ３の検出出力の和と、端子Ｃ
３とＤ３の検出出力の和を求め、両和出力の差を求める
ことにより、コリオリ力の振動成分Ｖ1のみを得ること
ができる。

【００７２】（第四実施例）図４（ａ）に示す第四実施
例の振動型ジャイロスコープ４１では、弾性体４２が圧
電セラミックなどの圧電材料により形成されている。こ
の圧電材料は、図４（ｂ）に示すように、縦方向（Ｚ方
向）に小ブロック化され、隣接する上下の各小ブロック
の間で誘電分極方向が互いに逆向きに設定されている。
この誘電分極方向が互いに逆向きとなる小ブロックがＹ
方向へ配列されたものがさらに左右（Ｘ方向）に２列に
形成されている。

【００７３】上記圧電材料により形成された弾性体４２
の一方の表面に、櫛歯状の第１の電極４３ａと櫛歯状の
第２の電極４３ｄが形成され、さらに第一の電極４３ａ
と第二の電極４３ｄの中間に、櫛歯状の一対の対向電極
４３ｂ，４３ｃが形成されている。第一の電極４３ａと
第二の電極４３ｄならびに対向電極４３ｂ，４３ｃは、
例えば弾性体４２の圧電材料に銅などの導電性の薄膜を
形成し、この薄膜をエッチングすることにより形成され
る。

【００７４】図４（ｂ）に示すように、左側の列の小ブ
ロックの配列において、小ブロック４２ａでは、圧電材
料の誘電分極方向が−Ｚ方向であり、分極方向を示す白
抜きの矢印の先端方向が対向電極４３ｂで、矢印の基端
方向が第一の電極４３ａである。小ブロック４２ｂにお
いても同様に、誘電分極方向を示す矢印の先端方向が対
向電極４３ｂであり、矢印の基端方向が第一の電極４３
ａである。図示左側の小ブロックでは、全て分極方向が
対向電極４３ｂに向けられている。

【００７５】図４（ｂ）に示す右側の列の小ブロックの
配列において、小ブロック４２ｃでは、圧電材料の誘電
分極方向が＋Ｚ方向であり、分極方向を示す白抜きの矢
印の先端方向が第二の電極４３ｄで、矢印の基端方向が
対向電極４３ｃに向けられている。これに隣接する小ブ
ロック４２ｄでは、分極方向が−Ｚ方向であり、分極方
向を示す矢印の先端方向が第二の電極４３ｄである。右
側の列の各小ブロックでは、分極方向が全て第二の電極
４３ｄに向けられている。

【００７６】駆動電源部では、交流電源４５から所定の
周波数ｆの駆動電力が与えられるが、この駆動電力は端
子Ａ４を介して第一の電極４３ａへ、また端子Ｄ４を介
して第二の電極４３ｄへ同じ位相で与えられる。また対
向電極４３ｂと４３ｃは、接地されまたは所定の電位に
設定されている。検出部では、第一の電極４３ａの電力
と第二の電極４３ｄの電力との差を求める減算手段（差
動回路）４８が設けられている。

【００７７】この振動型ジャイロスコープ４１が定電流
駆動される場合、交流電源４５から端子Ａ４とＤ４を介
して第一の電極４３ａと第二の電極４３ｄに同じ位相の
数２で示した駆動電圧Ｖaが与えられる。このとき、あ
る時点では、図示左側の列の小ブロック４２ａ，４２
ｂ，…の圧電材料がＺ方向へ伸び、図示右側の小ブロッ
ク４２ｃ，４２ｄ，…の圧電材料が収縮する。また電圧
の位相が１８０度進んだ時点では、上記と逆に図示左側
の個々の小ブロックがＺ方向へ収縮し、図示右側の小ブ
ロックの圧電材料が伸びる。よって、弾性体４２はＸ方
向へ曲げ変形振動する。

【００７８】このときにＺ軸回りの回転系内に置かれる
と、弾性体４２はコリオリ力によりＹ方向へ曲げ変形し
て振動する。第一の電極４３ａと第二の電極４３ｄに対
する圧電材料の各小ブロックの誘電分極方向が逆である
ため、弾性体４２がＹ方向へ振動したときに、第一の電
極４３ａに誘起される電圧が｛ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋
δ）｝であると、第二の電極４３ｄに誘起される電圧は
｛−ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝である。

【００７９】よって第一の電極４３ａの電圧すなわち電
極４３ａと４３ｂの間によって検出される電圧ＶA4ーB4
（端子Ａ４ーＢ４間）は、数１８で示すものとなり、第
二の電極４３ｄの電圧すなわち電極４３ｃと４３ｄの間
によって検出される電圧ＶC4ーD4（端子Ｃ４ーＤ４間）
は数１９で示すものとなる。

【００８０】

【数１８】ＶA4ーB4 ＝Ｖa ＋Ｖ1 ＝ν0 ｓｉｎωｔ＋ν
1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）

【００８１】

【数１９】ＶC4ーD4 ＝Ｖa −Ｖ1 ＝ν0 ｓｉｎωｔ−ν
1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）

【００８２】これは第二実施例で得られた数８と数９と
同じである。したがって、これらから得られたれ検出電
圧が減算手段４８によって減算されると、

【００８３】

【数２０】 ＶA4ーB4 −ＶC4ーD4 ＝｛ν0 ｓｉｎωｔ＋ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝ −｛ν0 ｓｉｎωｔ−ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝ ＝２ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）＝２Ｖ1

【００８４】となり、駆動電力が消去され、コリオリ力
による振動成分のみが検出される。なお、圧電材料の各
小ブロックの誘電分極方向を、第一の電極４３ａと第二
の電極４３ｄに対して同じ向きにした場合には、第一実
施例と同様に、減算手段４８の代わりに加算手段を設け
ることにより、同様にして、コリオリ力による振動成分
のみを検出することができる。

【００８５】また、この第四実施例において、第三実施
例に示したように恒弾性材料の両側に圧電材料を積層
し、それぞれの圧電材料の表面に図４（ｂ）に示した各
電極４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄを配置して、恒弾
性材料の両側からＸ方向への振動を発生させ、またコリ
オリ力による振動成分をそれぞれの圧電材料に形成され
た電極から検出してもよい。

【００８６】（第五実施例）図５（ａ）に示す第五実施
例の振動型ジャイロスコープ５１では、弾性体５２を構
成する圧電材料の誘電分極方向が全ての位置で＋Ｘ方向
となっている。したがって、この弾性体５２は、単結晶
材料により形成することが可能である。そして弾性体５
２の圧電材料の一方の面に、第一の電極５３ａと第二の
電極５３ｄが形成され、また両電極５３ａと５３ｄの間
に、これに対向する対向電極５３ｂ，５３ｃが形成され
ている。これらの電極５３ａ，５３ｂ，５３ｃ，５３ｄ
も銅などの薄膜をエッチングすることにより形成でき
る。

【００８７】駆動と検出は第四実施例と同じであり、駆
動電源部には交流電源５５が設けられ、検出部には減算
手段（差動回路）５８が設けられている。第一の電極５
３ａに対する圧電材料の誘電分極方向と、第二の電極５
３ｄに対する圧電材料の誘電分極方向は逆向きである。
よって交流電源５５から、第一の電極５３ａと第二の電
極５３ｄに同じ位相の駆動電圧Ｖaが与えられると、弾
性体５２は電極が形成された面方向（Ｘ方向）へ曲げ変
形振動する。

【００８８】Ｘ方向へ振動している振動型ジャイロスコ
ープ５１がＺ軸回りの回転系内に置かれると、弾性体５
２に対しＹ軸方向のコリオリ力が作用し、弾性体５２が
Ｙ軸方向へ振動する。第一の電極５３ａと第二の電極５
３ｄに対する圧電材料の分極方向が逆向きであるため、
弾性体５２がＹ方向へ振動したときに第一の電極５３ａ
に誘起される電圧と、第二の電極５３ｄに誘起される電
圧は逆の位相となり、一方の電極の誘起電圧が｛ν1 ｓ
ｉｎ（ωｔ＋δ）｝のとき、他方の電極の誘起電圧は
｛−ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝である。

【００８９】よって、第一の電極５３ａと対向電極５３
ｂとの間によって検出される電圧ＶA5ーB5（端子Ａ５ー
Ｂ５間）は数２１となり、第二の電極５３ｄと対向電極
５３ｃとの間に検出される電圧ＶD5ーC5（端子Ｄ５ーＣ
５）は数２２となる。

【００９０】

【数２１】ＶA5ーB5＝Ｖa ＋Ｖ1 ＝ν0 ｓｉｎωｔ＋ν1
ｓｉｎ（ωｔ＋δ）

【００９１】

【数２２】ＶD5ーC5＝Ｖa −Ｖ1 ＝ν0 ｓｉｎωｔ−ν1
ｓｉｎ（ωｔ＋δ）

【００９２】これは、第二実施例での数８と数９、およ
び第四実施例での数１７と数１８と同じである。これら
から得られた電圧が減算手段５８によって減算される
と、

【００９３】

【数２３】ＶA5ーB5−ＶD5ーC5 ＝２ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋
δ）＝２Ｖ1

【００９４】となり、コリオリ力による振動成分のみが
検出される。また図３に示したように、恒弾性材料の両
側に単結晶材料の圧電材料を積層し、この圧電材料のそ
れぞれの表面に図５に示したのと同じ電極を形成しても
よい。

【００９５】（第六実施例）この第六実施例での弾性体
６２には、先端から切り込まれた２つの溝６９ａおよび
６９ｂが形成され、この溝６９ａと６９ｂにより分離さ
れた３個の平板状の振動体６２ａ，６２ｂおよび６２ｃ
が形成されている。各振動体６２ａ，６２ｂ，６２ｃは
その形状と寸法が互いに同じである。

【００９６】この振動型ジャイロスコープ６１では、全
ての振動体６２ａ，６２ｂ，６２ｃがＸ方向へ駆動され
るが、このときの振動位相は、両側の振動体６２ａ，６
２ｃと中央の振動体６２ｂとで逆に設定される。ある時
点で両側の振動体６２ａと６２ｃの振幅が＋Ｘ方向のと
き中央の振動体６２ｂの振幅は−Ｘ方向である。この位
相にてＸ方向へ振動する弾性体６２がＺ軸回りの回転系
内に置かれると、各振動体６２ａ，６２ｂ，６２ｃにコ
リオリ力によるＹ方向への振動が発生する。このときの
Ｙ方向への振動では、両側の振動体６２ａ，６２ｃと中
央の振動体６２ｂとで位相が逆になる。ある時点で、両
側の振動体６２ａと６２ｃの振幅方向が＋Ｙ方向である
とき、中央の振動体６２ｂの振幅方向は−Ｙ方向であ
る。

【００９７】このように、両側の振動体６２ａ，６２ｃ
と中央の振動体６２ｂとが互いに逆向きの振動になるた
め、弾性体６２全体にひねりなどが生じることなく、安
定した振動となる。また弾性体６２の溝６９ａ，６９ｂ
が形成されていない基部を剛体支持することが可能であ
り、支持が容易で且つ支持状態が安定したものとなる。
また中央の振動体６２ｂの長さをトリミングして設定す
ることにより、全体の固有振動数の調整も容易である。

【００９８】上記の各振動体６２ａ，６２ｂ，６２ｃを
駆動し、またコリオリ力による振動成分を検出するため
の電極配置に関しては、前記第一実施例から第五実施例
のいずれのものであっても適用可能である。ただし、図
６（ａ）（ｂ）では、振動体６２ａ，６２ｂ，６２ｃを
駆動し且つコリオリ力による振動成分の検出のための電
極配置として図５に示した第五実施例を適用した例を示
している。

【００９９】弾性体６２は、第五実施例に示したものと
同じようにその分極方向が＋Ｘ方向へ揃えられており、
例えば単結晶材料により構成することができる。振動体
６２ａには第一の電極６３ａと第二の電極６３ｄおよび
対向電極６３ｂ，６３ｃが設けられ、振動体６２ｃには
第一の電極６３ｉと第二の電極６３ｌおよび対向電極６
３ｊ，６３ｋが設けられている。この両側の振動体６２
ａと６２ｃでは、共に第一の電極６３ａと６３ｉに対す
る圧電材料の分極方向が同じであり、第二の電極６３ｄ
と６３ｌに対する圧電材料の分極方向が同じである。

【０１００】中央の振動体６２ｂには、第一の電極６３
ｆと第二の電極６３ｇおよび対向電極６３ｅ，６３ｈが
形成されているが、中央の振動体６２ｂでは第一の電極
６３ｆに対する圧電材料の分極方向が、両側の振動体６
２ａ，６２ｃの第一の電極６３ａ，６３ｉに対する向き
と逆向きである。また中央の振動体６２ｂでの第二の電
極６３ｇに対する分極方向が、両側の振動体６２ａ，６
２ｃの第二の電極６３ｄ，６３ｌに対する向きと逆向き
である。なお、図６では、第一と第二の電極をハッチン
グを付して示し、対向電極はハッチングを付すことなく
示している。全ての対向電極６３ｂ，６３ｃ，６３ｅ，
６３ｈ，６３ｊ，６３ｋは接地されまたは所定の電位に
設定されている。駆動電源部に設けられた交流電源６５
からは、所定周波数ｆの交流電力が与えられるが、全て
の第一の電極６３ａ，６３ｆ，６３ｉと第二の電極６３
ｄ，６３ｇ，６３ｌに対して同じ位相の電圧Ｖaが与え
られる。

【０１０１】その結果、前述のように各振動体６２ａ，
６２ｂ，６２ｃはＸ方向へ曲げ変形振動するが、両側の
振動体６２ａ，６２ｃと中央の振動体６２ｂとで、Ｘ方
向への振動が逆位相となる。この弾性体６２がＺ軸回り
の回転系内に置かれると、コリオリ力により各振動体６
２ａ，６２ｂ，６２ｃにＹ方向への曲げ変形振動が発生
する。このときのＹ方向への振動においても、両側の振
動体６２ａ，６２ｃと中央の振動体６２ｂとで逆の位相
である。

【０１０２】圧電材料により形成されている各振動体６
２ａ，６２ｂ，６２ｃがＹ方向へ振動したときに誘起さ
れる電圧は、電極６３ａ，６３ｆ，６３ｉで同じ位相
で、電極６３ｄ，６３ｇ，６３ｌで、前記とは逆の位相
である。前の組の電極に誘起される電圧の位相が｛ν1
ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝のとき、後の組の電極に誘起され
る電圧の位相は｛−ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝である。

【０１０３】よって電極６３ａ，６３ｆ，６３ｉ（端子
Ａ６，Ｆ６，Ｉ６）で検出される電圧は全て数２４で表
わされ、電極６３ｄ，６３ｇ，６３ｌ（端子Ｄ６，Ｇ
６，Ｌ６）で検出される電圧は数２５で表わされる。

【０１０４】

【数２４】 Ｖa ＋Ｖ1 ＝ν0 ｓｉｎωｔ＋ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）

【０１０５】

【数２５】 Ｖa −Ｖ1 ＝ν0 ｓｉｎωｔ−ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）

【０１０６】検出部には、加算手段６７ａと６７ｂおよ
び減算手段６８が設けられている。加算手段６７ａで
は、端子Ａ６，Ｆ６，Ｉ６の電圧が加算され、加算手段
６７ｂでは端子Ｄ６，Ｇ６，Ｌ６の電圧が加算される。
それぞれの加算電圧（端子Ｍ６とＮ６の電圧）はそれぞ
れ数２６と数２７で表わされる。

【０１０７】

【数２６】 ３｛ν0 ｓｉｎωｔ＋ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝

【０１０８】

【数２７】 ３｛ν0 ｓｉｎωｔ−ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）｝

【０１０９】よって、減算手段（差動回路）６８により
減算されて端子Ｐ６に出力されるＶoutは数２８で表わ
される。

【０１１０】

【数２８】６ν1 ｓｉｎ（ωｔ＋δ）

【０１１１】このようにしてコリオリ力による振動成分
のみを検出できるようになる。

【０１１２】

【発明の効果】以上のように、本発明では、弾性体が平
板状であり、平板状の圧電材料にて同一面に第一と第二
の電極が形成されている。よって、第一と第二の電極の
相対位置および面積などを互いに高精度に一致させて形
成することが容易にできる。また同一の平面に第一と第
二の電極が形成されるため、各電極を薄膜形成し、且つ
エッチングすることなどが可能であり、高精度な電極を
簡単に形成することができる。

【０１１３】また同一平面に形成された第一と第二の電
極を駆動用と検出用に使用し、また加算手段や減算手段
を用いることにより、電極からコリオリ力による振動成
分のみを高精度に検出することができる。電極を駆動用
と検出用に兼用することにより全体の構造を簡単にでき
る。

【０１１４】また、圧電材料として単結晶材料を使用す
れば、分極設定の工程が不要になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は、本発明の第一実施例の振動型ジャイ
ロスコープを示す斜視図、（ｂ）は、その回路構成図。

【図２】（ａ）は、本発明の第二実施例の振動型ジャイ
ロスコープを示す斜視図、（ｂ）は、その回路構成図で
ある。

【図３】（ａ）は、本発明の第三実施例の振動型ジャイ
ロスコープを示す斜視図、（ｂ）は、その回路構成図で
ある。

【図４】（ａ）は、本発明の第四実施例の振動型ジャイ
ロスコープを示す斜視図、（ｂ）は、その回路構成図で
ある。

【図５】（ａ）は、本発明の第五実施例の振動型ジャイ
ロスコープを示す斜視図、（ｂ）は、その回路構成図で
ある。

【図６】（ａ）は、本発明の第六実施例の振動型ジャイ
ロスコープを示す斜視図、（ｂ）は、その回路構成図で
ある。

【図７】従来の振動型ジャイロスコープの第一の例を示
す斜視図である。

【図８】（ａ）は従来の振動型ジャイロスコープの第二
の例を示す斜視図、（ｂ）は、そのＺ軸方向矢視図であ
る。

【符号の説明】

１２，２２，３６，４２，５２，６２ 弾性体 ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ 三分割された振動体 ３２ 圧電材料 ３４ 恒弾性材料 １３ａ，２３ａ，３３ａ，３３ｃ，４３ａ，５３ａ，６
３ａ，６３ｆ，６３ｉ第一の電極 １３ｂ，２３ｂ，３３ｂ，３３ｄ，４３ｄ，５３ｄ，６
３ｄ，６３ｇ，６３ｌ第二の電極 １４，２４，４３ｂ，４３ｃ，５３ｂ，５３ｃ，６３
ｂ，６３ｃ，６３ｅ，６３ｈ，６３ｊ，６３ｋ 対向電
極 １５，２５，３５，４５，５５，６５ 交流電源 １６ 位相反転回路 １７，３７ａ，３７ｂ，６７ａ，６７ｂ 加算手段 ２８，３８，４８，５８，６８ 減算手段

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電材料または圧電材料と他の弾性材料
   とで構成された平板状の弾性体と、前記圧電材料に接す
   る対向電極と、前記圧電材料の同一平面上に取り付けら
   れて前記対向電極に対向する第一と第二の電極と、第一
   と第二の電極へ駆動電力を与えて前記弾性体を変形振動
   させる駆動電力部と、前記第一と第二の電極のそれぞれ
   から取り出した検出電力を加算しまたは差を求める手段
   を有して、回転系内におかれたときにコリオリ力により
   生じる振動成分を検出する検出部を有することを特徴と
   する振動型ジャイロスコープ。
2. 【請求項２】 第一の電極に対する圧電材料の誘電分極
   方向と第二の電極に対する圧電材料の誘電分極方向が同
   じであり、第一の電極と第二の電極に対して駆動電力部
   から逆位相の電力が与えられ、検出部は第一の電極と第
   二の電極から取り出された検出電力を加算する手段を有
   する請求項１記載の振動型ジャイロスコープ。
3. 【請求項３】 第一の電極に対する圧電材料の誘電分極
   方向と第二の電極に対する圧電材料の誘電分極方向が相
   違し、第一の電極と第二の電極に対して駆動電力部から
   同位相の電力が与えられ、検出部は第一の電極と第二の
   電極から取り出された検出電力との差を求める手段を有
   する請求項１記載の振動型ジャイロスコープ。
4. 【請求項４】 圧電材料または圧電材料と他の弾性材料
   とで構成された平板状の弾性体に、三枚に分離された振
   動体が設けられ、それぞれの振動体に第一と第二の電極
   および対向電極が設けられている請求項１から請求項３
   のいずれかに記載の振動型ジャイロスコープ。
5. 【請求項５】 駆動電力部からの駆動電力により中央の
   振動体と両端の振動体とで逆位相の振動が与えられる請
   求項４記載の振動型ジャイロスコープ。
6. 【請求項６】 圧電材料は、全ての部分での誘電分極方
   向が同じである圧電単結晶材料により形成されている請
   求項１から請求項５のいずれかに記載の振動型ジャイロ
   スコープ