JPH0819983A - ストローク機構を有する流体圧チャック - Google Patents
ストローク機構を有する流体圧チャックInfo
- Publication number
- JPH0819983A JPH0819983A JP17480194A JP17480194A JPH0819983A JP H0819983 A JPH0819983 A JP H0819983A JP 17480194 A JP17480194 A JP 17480194A JP 17480194 A JP17480194 A JP 17480194A JP H0819983 A JPH0819983 A JP H0819983A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- finger
- piston
- chuck
- fingers
- drive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 フィンガのストローク機構を有し、かつコン
パクトにできる流体圧チャックを提供する。 【構成】 チャック1のボディ6にシリンダ7と中空の
ピストン9及びロッド10を設けてストローク機構4と
し、ピストンとロッドの中空部をフィンガ駆動部3の駆
動シリンダ14として、駆動ピストン16とカム19,
19を有するカム軸18とを設ける。ロッド10に取付
けたフィンガガイド11にフィンガ2,2を半径方向に
開閉可能に取付け、カム19,19によってこれらのフ
ィンガを開閉させる。また、駆動ポート28a,28
b、溝30a,30b及び流路29a,29bによっ
て、フィンガ駆動部3の圧力室27a,27bに圧力流
体を供給する。
パクトにできる流体圧チャックを提供する。 【構成】 チャック1のボディ6にシリンダ7と中空の
ピストン9及びロッド10を設けてストローク機構4と
し、ピストンとロッドの中空部をフィンガ駆動部3の駆
動シリンダ14として、駆動ピストン16とカム19,
19を有するカム軸18とを設ける。ロッド10に取付
けたフィンガガイド11にフィンガ2,2を半径方向に
開閉可能に取付け、カム19,19によってこれらのフ
ィンガを開閉させる。また、駆動ポート28a,28
b、溝30a,30b及び流路29a,29bによっ
て、フィンガ駆動部3の圧力室27a,27bに圧力流
体を供給する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ストローク機構を有す
る流体圧チャックに関するものである。
る流体圧チャックに関するものである。
【0002】
【従来の技術】複数個のフィンガと、これらのフィンガ
を開閉させるフィンガ駆動部を備え、該フィンガ駆動部
に圧力流体を給排してこれらのフィンガを開閉させる流
体圧チャックは、特に例示するまでもなく周知であり、
この流体圧チャックを流体圧シリンダのロッド内に組み
込んで軸方向に移動可能とした把持装置も、既に知られ
ている(一例として実開平04−102790号公報参
照)。しかしながら、上記既提案の把持装置は、流体圧
チャックを流体圧シリンダのロッド内に組み込んでいる
ために、全体の軸方向長さが長くなるという問題があ
る。また、フィンガ駆動部への圧力流体の給排について
の配慮に欠けるところがあり、フィンガ駆動部を移動さ
せる流体圧シリンダに軸方向の貫通孔を設けて、この貫
通孔に圧力流体給排用の二重管を気密にかつ相対摺動可
能に挿通しているために、フィンガ駆動部への圧力流体
給排の構成が複雑で、かつ流体圧シリンダと二重管との
間の摩擦が大きいという問題もある。
を開閉させるフィンガ駆動部を備え、該フィンガ駆動部
に圧力流体を給排してこれらのフィンガを開閉させる流
体圧チャックは、特に例示するまでもなく周知であり、
この流体圧チャックを流体圧シリンダのロッド内に組み
込んで軸方向に移動可能とした把持装置も、既に知られ
ている(一例として実開平04−102790号公報参
照)。しかしながら、上記既提案の把持装置は、流体圧
チャックを流体圧シリンダのロッド内に組み込んでいる
ために、全体の軸方向長さが長くなるという問題があ
る。また、フィンガ駆動部への圧力流体の給排について
の配慮に欠けるところがあり、フィンガ駆動部を移動さ
せる流体圧シリンダに軸方向の貫通孔を設けて、この貫
通孔に圧力流体給排用の二重管を気密にかつ相対摺動可
能に挿通しているために、フィンガ駆動部への圧力流体
給排の構成が複雑で、かつ流体圧シリンダと二重管との
間の摩擦が大きいという問題もある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、コンパクトなものとすることができ、また
フィンガ駆動部への圧力流体給排の構成が簡単な流体圧
チャックを提供することにある。
する課題は、コンパクトなものとすることができ、また
フィンガ駆動部への圧力流体給排の構成が簡単な流体圧
チャックを提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の流体圧チャックは、複数個のフィンガと、
これらのフィンガを開閉させるフィンガ駆動部とを備
え、該フィンガ駆動部に圧力流体を給排してこれらのフ
ィンガを開閉させる流体圧チャックにおいて、上記流体
圧チャックのボディの軸方向に、シリンダと、圧力流体
の給排により上記シリンダを摺動する中空のピストン及
びロッドとを有するストローク機構を設け、上記ピスト
ン及びロッドの中空部に上記フィンガ駆動部を組み込ん
だことを特徴としている。
め、本発明の流体圧チャックは、複数個のフィンガと、
これらのフィンガを開閉させるフィンガ駆動部とを備
え、該フィンガ駆動部に圧力流体を給排してこれらのフ
ィンガを開閉させる流体圧チャックにおいて、上記流体
圧チャックのボディの軸方向に、シリンダと、圧力流体
の給排により上記シリンダを摺動する中空のピストン及
びロッドとを有するストローク機構を設け、上記ピスト
ン及びロッドの中空部に上記フィンガ駆動部を組み込ん
だことを特徴としている。
【0005】また、同様の問題を解決するため、上記流
体圧チャックのボディに、フィンガ駆動部とストローク
機構に圧力流体を給排する駆動ポートとストロークポー
トを設け、ストローク機構に、フィンガ駆動部の圧力室
と駆動ポートとを連通させる流路を設けたことを特徴と
している。
体圧チャックのボディに、フィンガ駆動部とストローク
機構に圧力流体を給排する駆動ポートとストロークポー
トを設け、ストローク機構に、フィンガ駆動部の圧力室
と駆動ポートとを連通させる流路を設けたことを特徴と
している。
【0006】
【作用】ストローク機構を、流体圧チャックのボディに
設けたシリンダと、該シリンダを摺動する中空のピスト
ン及びロッドによって構成し、フィンガ駆動部をこれら
のピストンとロッドの中空部内に組み込んだために、フ
ィンガが軸方向に移動できる流体圧チャックを、コンパ
クトなものにすることができる。
設けたシリンダと、該シリンダを摺動する中空のピスト
ン及びロッドによって構成し、フィンガ駆動部をこれら
のピストンとロッドの中空部内に組み込んだために、フ
ィンガが軸方向に移動できる流体圧チャックを、コンパ
クトなものにすることができる。
【0007】また、流体圧チャックのボディに設けた駆
動ポートとストローク機構に設けた流路とによって、フ
ィンガ駆動部の圧力室に圧力流体を給排できるので、フ
ィンガ駆動部への圧力流体の給排が簡単である。
動ポートとストローク機構に設けた流路とによって、フ
ィンガ駆動部の圧力室に圧力流体を給排できるので、フ
ィンガ駆動部への圧力流体の給排が簡単である。
【0008】
【実施例】図1ないし図3は本発明の第1実施例を示
し、この流体圧チャック1は、対向して配設された2個
のフィンガ2,2と、これらのフィンガを開閉させるフ
ィンガ駆動部3と、該フィンガ駆動部3を上記チャック
1の軸方向に移動させる、ストローク機構4とを備えた
2爪チャックとして構成されている。上記流体圧チャッ
ク1のボディ6は、軸方向のシリンダ7とその下方の縮
径部7aとを備え、シリンダ7の上部開口は止め輪で固
定されたヘッドカバー8によって閉鎖されている。上記
シリンダ7と縮径部7aを気密に摺動するピストン9と
ロッド10はいずれも中空円筒状に形成され、縮径部7
aを貫通するロッド10の先端に、フィンガガイド11
が取付けねじ12,・・によって取付けられている。
し、この流体圧チャック1は、対向して配設された2個
のフィンガ2,2と、これらのフィンガを開閉させるフ
ィンガ駆動部3と、該フィンガ駆動部3を上記チャック
1の軸方向に移動させる、ストローク機構4とを備えた
2爪チャックとして構成されている。上記流体圧チャッ
ク1のボディ6は、軸方向のシリンダ7とその下方の縮
径部7aとを備え、シリンダ7の上部開口は止め輪で固
定されたヘッドカバー8によって閉鎖されている。上記
シリンダ7と縮径部7aを気密に摺動するピストン9と
ロッド10はいずれも中空円筒状に形成され、縮径部7
aを貫通するロッド10の先端に、フィンガガイド11
が取付けねじ12,・・によって取付けられている。
【0009】上記ピストン9とロッド10の中空円筒部
は、フィンガ駆動部3の駆動シリンダ14を構成し、該
駆動シリンダ14の上部開口は止め輪で固定されたカバ
ー15によって閉鎖されている。上記駆動シリンダ14
を気密に摺動する駆動ピストン16には、取付けボルト
17によってカム軸18が取付けられ、フィンガガイド
11の中心孔を気密に貫通する上記カム軸18の先端
に、互いに背向するカム19,19が形成されている。
は、フィンガ駆動部3の駆動シリンダ14を構成し、該
駆動シリンダ14の上部開口は止め輪で固定されたカバ
ー15によって閉鎖されている。上記駆動シリンダ14
を気密に摺動する駆動ピストン16には、取付けボルト
17によってカム軸18が取付けられ、フィンガガイド
11の中心孔を気密に貫通する上記カム軸18の先端
に、互いに背向するカム19,19が形成されている。
【0010】上記フィンガガイド11の直径方向には、
下方が開口する断面ほぼT字形のガイド溝22が形成さ
れ、このガイド溝22に摺動可能に挿入された上記フィ
ンガ2,2は、ガイド溝22とほぼ同形のT字状に形成
され、その脚部がガイド溝22の開口から下方に突出し
ている。上記カム19は、両側面に下方に行くほどカム
軸18の中心に近づくように傾斜させたカム溝20,2
0を有し、フィンガ2の内端側には、カム溝20,20
と同方向に傾斜する嵌合部23,23が形成されてお
り、これらの嵌合部23,23にカム溝20,20が移
動可能に挿入されている(図1及び図3参照)。したが
って、カム軸18が図において上動するとカム溝20,
20と嵌合部23,23によってフィンガ2,2が中心
側に移動し、カム軸18が図において下動するとフィン
ガ2,2が放射方向に移動する。そして、駆動ピストン
16、カム軸18、カム19,19及びフィンガの嵌合
部23,23によってフィンガ駆動部3が、中空のピス
トン9及びロッド10によってストローク機構4が構成
される。
下方が開口する断面ほぼT字形のガイド溝22が形成さ
れ、このガイド溝22に摺動可能に挿入された上記フィ
ンガ2,2は、ガイド溝22とほぼ同形のT字状に形成
され、その脚部がガイド溝22の開口から下方に突出し
ている。上記カム19は、両側面に下方に行くほどカム
軸18の中心に近づくように傾斜させたカム溝20,2
0を有し、フィンガ2の内端側には、カム溝20,20
と同方向に傾斜する嵌合部23,23が形成されてお
り、これらの嵌合部23,23にカム溝20,20が移
動可能に挿入されている(図1及び図3参照)。したが
って、カム軸18が図において上動するとカム溝20,
20と嵌合部23,23によってフィンガ2,2が中心
側に移動し、カム軸18が図において下動するとフィン
ガ2,2が放射方向に移動する。そして、駆動ピストン
16、カム軸18、カム19,19及びフィンガの嵌合
部23,23によってフィンガ駆動部3が、中空のピス
トン9及びロッド10によってストローク機構4が構成
される。
【0011】ボディ6の外周面には、ピストン9によっ
て区画された一対の圧力室25a,25bに圧縮空気を
給排するストロークポート26a,26bと、駆動ピス
トン16によって区画された一対の圧力室27a,27
bに圧縮空気を給排する駆動ポート28a,28bが開
設され、ピストン9には圧力室27aに連通する径方向
の流路29aが、ロッド10には圧力室27bに連通す
る流路29bがそれぞれ形成されている。また、ピスト
ン9の外周面には、駆動ポート28aと流路29aとを
連通させる円周方向の溝30aが、縮径部7aの内周面
には、駆動ポート28bと流路29bとを連通させる円
周方向の溝30bがそれぞれ形成され、これらの溝30
a,30bは、ピストン9のストローク位置に関係な
く、これらのポートと流路とを連通させる軸方向の幅を
備えている。したがって、ピストン9が摺動しても、駆
動ポート28a,28bは常に圧力室27a,27bに
連通している。また、ピストン9に形成した軸方向の凹
部31には、ボディ6に螺着したピン32の先端が挿入
され、これによってピストン9の回転が防止されてい
る。図中の符号33は、カム軸18の先端に取付けた押
え板である。
て区画された一対の圧力室25a,25bに圧縮空気を
給排するストロークポート26a,26bと、駆動ピス
トン16によって区画された一対の圧力室27a,27
bに圧縮空気を給排する駆動ポート28a,28bが開
設され、ピストン9には圧力室27aに連通する径方向
の流路29aが、ロッド10には圧力室27bに連通す
る流路29bがそれぞれ形成されている。また、ピスト
ン9の外周面には、駆動ポート28aと流路29aとを
連通させる円周方向の溝30aが、縮径部7aの内周面
には、駆動ポート28bと流路29bとを連通させる円
周方向の溝30bがそれぞれ形成され、これらの溝30
a,30bは、ピストン9のストローク位置に関係な
く、これらのポートと流路とを連通させる軸方向の幅を
備えている。したがって、ピストン9が摺動しても、駆
動ポート28a,28bは常に圧力室27a,27bに
連通している。また、ピストン9に形成した軸方向の凹
部31には、ボディ6に螺着したピン32の先端が挿入
され、これによってピストン9の回転が防止されてい
る。図中の符号33は、カム軸18の先端に取付けた押
え板である。
【0012】上記流体圧チャック1は、駆動ポート28
aから圧力室27aに圧縮空気を供給すると、駆動ピス
トン16とカム軸18が図において下動するので、カム
溝20,20と嵌合部23,23とによってフィンガ
2,2がガイド溝22に沿って放射方向(開放方向)に
移動する。また、駆動ポート28bから圧力室27bに
圧縮空気を供給すると、駆動ピストン16とカム軸18
が図において上動するので、カム溝20,20と嵌合部
23,23とによってフィンガ2,2がガイド溝22に
沿って中心側(閉鎖方向)に移動する。
aから圧力室27aに圧縮空気を供給すると、駆動ピス
トン16とカム軸18が図において下動するので、カム
溝20,20と嵌合部23,23とによってフィンガ
2,2がガイド溝22に沿って放射方向(開放方向)に
移動する。また、駆動ポート28bから圧力室27bに
圧縮空気を供給すると、駆動ピストン16とカム軸18
が図において上動するので、カム溝20,20と嵌合部
23,23とによってフィンガ2,2がガイド溝22に
沿って中心側(閉鎖方向)に移動する。
【0013】ストロークポート26aから圧力室25a
に圧縮空気を供給すると、ピストン9とロッド10が図
において下動するので、これらに組み込んだフィンガ駆
動部3及びフィンガ2,2を図において下動させること
ができ、ストロークポート26bから圧力室25bに圧
縮空気を供給すると、これらを図において上動させるこ
とができる。第1実施例は、ピストン9及びロッド10
の中空部に、フィンガ駆動部3を組み込んだので、フィ
ンガ2,2のストローク機構4を有する流体圧チャック
を、コンパクトにすることができる。
に圧縮空気を供給すると、ピストン9とロッド10が図
において下動するので、これらに組み込んだフィンガ駆
動部3及びフィンガ2,2を図において下動させること
ができ、ストロークポート26bから圧力室25bに圧
縮空気を供給すると、これらを図において上動させるこ
とができる。第1実施例は、ピストン9及びロッド10
の中空部に、フィンガ駆動部3を組み込んだので、フィ
ンガ2,2のストローク機構4を有する流体圧チャック
を、コンパクトにすることができる。
【0014】また、ボディ6の外周面に、駆動ピストン
16によって区画された圧力室27a,27bに圧縮空
気を給排する駆動ポート28a,28bを設けるととも
に、ストローク機構4に、流路29a,29bと円周方
向の溝30a,30bとを設けたので、ストローク機構
4内に組み込んだフィンガ駆動部3への圧力流体の給排
が簡単である。
16によって区画された圧力室27a,27bに圧縮空
気を給排する駆動ポート28a,28bを設けるととも
に、ストローク機構4に、流路29a,29bと円周方
向の溝30a,30bとを設けたので、ストローク機構
4内に組み込んだフィンガ駆動部3への圧力流体の給排
が簡単である。
【0015】図4及び図5は本発明の第2実施例を示
し、この流体圧チャック35は、ほぼ等角度に配設され
た3個のフィンガ2,・・を有する3爪チャックとして
構成されている。上記第2実施例は、フィンガガイド3
6に3つのガイド溝37,・・が、カム軸18に3つの
カム19.・・が、いずれもほぼ等角度に配設されてい
る。第2実施例の他の構成及び作用は、3個のフィンガ
が開閉する以外は第1実施例と同じであるから、図の主
要な同一の箇所に同一の符号を付して、詳細な説明は省
略する。
し、この流体圧チャック35は、ほぼ等角度に配設され
た3個のフィンガ2,・・を有する3爪チャックとして
構成されている。上記第2実施例は、フィンガガイド3
6に3つのガイド溝37,・・が、カム軸18に3つの
カム19.・・が、いずれもほぼ等角度に配設されてい
る。第2実施例の他の構成及び作用は、3個のフィンガ
が開閉する以外は第1実施例と同じであるから、図の主
要な同一の箇所に同一の符号を付して、詳細な説明は省
略する。
【0016】なお、本発明におけるフィンガ駆動部は、
図示のカム溝と嵌合部に限定されるものではなく、圧力
流体の給排によって複数個のフィンガが互いに開閉する
ものであればよい。
図示のカム溝と嵌合部に限定されるものではなく、圧力
流体の給排によって複数個のフィンガが互いに開閉する
ものであればよい。
【0017】
【発明の効果】本発明の流体圧チャックは、チャックの
ボディに設けたシリンダを摺動するピストンとロッドを
中空として、これらの中空部内にフィンガ駆動部を組み
込んだことにより、フィンガのストローク機構を有する
ものでありながら、チャックの軸方向長さが殆ど変わら
ないので、流体圧チャックをコンパクトなものにするこ
とができる。
ボディに設けたシリンダを摺動するピストンとロッドを
中空として、これらの中空部内にフィンガ駆動部を組み
込んだことにより、フィンガのストローク機構を有する
ものでありながら、チャックの軸方向長さが殆ど変わら
ないので、流体圧チャックをコンパクトなものにするこ
とができる。
【0018】また、流体圧チャックのボディに、フィン
ガ駆動部とストローク機構に圧力流体を給排する駆動ポ
ートとストロークポートを設けるとともに、ストローク
機構に、フィンガ駆動部の圧力室と駆動ポートとを連通
させる流路を設けたので、ストローク機構内にフィンガ
駆動部を組み込んだものでありながら、フィンガ駆動部
への圧力流体の給排が簡単である。
ガ駆動部とストローク機構に圧力流体を給排する駆動ポ
ートとストロークポートを設けるとともに、ストローク
機構に、フィンガ駆動部の圧力室と駆動ポートとを連通
させる流路を設けたので、ストローク機構内にフィンガ
駆動部を組み込んだものでありながら、フィンガ駆動部
への圧力流体の給排が簡単である。
【図1】第1実施例の縦断正面図である。
【図2】同じく裏面図である。
【図3】カムとフィンガの関係を示す図である。
【図4】第2実施例の縦断正面図である。
【図5】同じく裏面図である。
1,35 流体圧チャック 2 フィンガ 3 フィンガ駆動部 4 ストローク機構 6 ボディ 7 シリンダ 9 ピストン 10 ロッド 26a,26b ストロークポート 27a,27b 圧力室 28a,28b 駆動ポート 29a,29b 流路
Claims (2)
- 【請求項1】複数個のフィンガと、これらのフィンガを
開閉させるフィンガ駆動部とを備え、該フィンガ駆動部
に圧力流体を給排してこれらのフィンガを開閉させる流
体圧チャックにおいて、 上記流体圧チャックのボディの軸方向に、シリンダと、
圧力流体の給排により上記シリンダを摺動する中空のピ
ストン及びロッドとを有するストローク機構を設け、上
記ピストン及びロッドの中空部に上記フィンガ駆動部を
組み込んだ、ことを特徴とするストローク機構を有する
流体圧チャック。 - 【請求項2】ボディに、フィンガ駆動部とストローク機
構に圧力流体を給排する駆動ポートとストロークポート
を設け、 ストローク機構に、フィンガ駆動部の圧力室と駆動ポー
トとを連通させる流路を設けた、ことを特徴とする請求
項1に記載したストローク機構を有する流体圧チャッ
ク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17480194A JPH0819983A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | ストローク機構を有する流体圧チャック |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17480194A JPH0819983A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | ストローク機構を有する流体圧チャック |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0819983A true JPH0819983A (ja) | 1996-01-23 |
Family
ID=15984908
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17480194A Pending JPH0819983A (ja) | 1994-07-04 | 1994-07-04 | ストローク機構を有する流体圧チャック |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0819983A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000084883A (ja) * | 1998-09-16 | 2000-03-28 | N Ke Kk | チャッキング装置 |
US6478310B1 (en) | 1999-10-04 | 2002-11-12 | Smc Corporation | Combination pneumatic chuck with position detecting mechanism |
JP2012171034A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-10 | Toyota Motor Corp | ロボットハンド |
-
1994
- 1994-07-04 JP JP17480194A patent/JPH0819983A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000084883A (ja) * | 1998-09-16 | 2000-03-28 | N Ke Kk | チャッキング装置 |
US6478310B1 (en) | 1999-10-04 | 2002-11-12 | Smc Corporation | Combination pneumatic chuck with position detecting mechanism |
JP2012171034A (ja) * | 2011-02-18 | 2012-09-10 | Toyota Motor Corp | ロボットハンド |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4122490B2 (ja) | 位置検出機構付き複合型エアチャック | |
US2955579A (en) | Fluid actuator for linear and rotary movements | |
JP2004009151A (ja) | 3方向開閉チャック | |
CA1273547A (en) | Hydraulic cylinder | |
EP1286814B1 (en) | Actuator having dual piston surfaces | |
KR960701277A (ko) | 유체작동식 충격 드릴장치용 압력 역전 밸브(pressure reversing valve for percussive drilling apparatus) | |
JP2000087913A (ja) | 多段式テレスコ―プ形シリンダを備える入れ子装置 | |
US4158327A (en) | Mold closing device of injection molding machine | |
KR20150074164A (ko) | 완충 밸브 | |
JPH0819983A (ja) | ストローク機構を有する流体圧チャック | |
US5275085A (en) | Control device for pneumatic cylinder | |
JP3824416B2 (ja) | 油圧シリンダユニット | |
JPH11166506A (ja) | 流体圧シリンダ | |
JPS6230562Y2 (ja) | ||
JPH0217204Y2 (ja) | ||
JP3782723B2 (ja) | 油圧シリンダ | |
KR102037356B1 (ko) | 밸브작동식 핫러너 사출금형의 이중 피스톤기구 | |
JPS6244108U (ja) | ||
JPS622007A (ja) | チヤツク用回転流体圧シリンダ | |
JP2002181114A (ja) | 油圧緩衝器の減衰力調整機構 | |
JP3856530B2 (ja) | 掘削装置 | |
JPH05172121A (ja) | シリンダ | |
JPH0424162Y2 (ja) | ||
JPH081764Y2 (ja) | 回転シリンダ | |
JPH0218804Y2 (ja) |