JPH08195478A - 基板バイアス発生回路 - Google Patents

基板バイアス発生回路

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JPH08195478A
JPH08195478A JP7005115A JP511595A JPH08195478A JP H08195478 A JPH08195478 A JP H08195478A JP 7005115 A JP7005115 A JP 7005115A JP 511595 A JP511595 A JP 511595A JP H08195478 A JPH08195478 A JP H08195478A
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JP
Japan
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transistor
potential
substrate
gate
power
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JP7005115A
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English (en)
Inventor
Yuji Kihara
雄治 木原
Daisaku Hayashi
大作 林
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 電源投入時に基板電位を直ちに接地電位にク
ランプし、通常動作時における基板電位の下がり過ぎを
防止する。 【構成】 バイアス発生回路BVOの出力端および接地
間にクランプ用トランジスタQ5 を接続し、該クランプ
用トランジスタQ5 のゲートおよび上記接地間に基準電
圧発生素子Q61〜Q61を接続して、さらに、上記クラン
プ用トランジスタQ5 のゲートに、該ゲート電位が基板
電位に抜けるのを防止する抵抗手段を接続するととも
に、上記クランプ用トランジスタQ5 のゲートと電源と
の間にコンデンサCV を接続する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体集積回路にお
いて負電圧のバイアス電圧を発生する基板バイアス発生
回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体集積回路では、基板バイアスをか
けると多くの利点が生ずる。例えば、P型基板の場合に
は、これに負電圧をかけることが多い。また、最近で
は、半導体集積回路を単一の外部電源、例えば、+5V
で動作させる傾向にあり、従って、上記負電圧のバイア
ス電圧を発生させる手段を備えている。
【0003】図5は、例えば特開昭61―177766
号公報に示された従来の負電圧のバイアス電圧を発生さ
せる基板バイアス発生回路を示す回路図であり、図にお
いて、φおよび/φ(”/”は反転を表わすものとす
る。以下同じ。)は発信器あるいはその他の方法で内部
発生させた矩形波であり、直列接続された2つのトラン
ジスタQ1 ,Q2 のゲートにそれぞれ入力される互いに
相補の信号である。
【0004】また、VCCは電源電圧、VBBは基板電位
(バイアス電位)、Q3 ,Q4 はトランジスタ、CCP
コンデンサを示し、このコンデンサCCPとダイオード接
続されたトランジスタQ3 ,Q4 によりバイアス発生回
路BVOを構成する。
【0005】このように構成されたバイアス発生回路B
VOにおいて、まず、信号φが`H´,信号/φが`L
´のときには、トランジスタQ1 がオン,トランジスタ
2がオフとなり、ノードN1 は`H´となる。これに
よりコンデンサCCPを通してトランジスタQ4 はオンと
なり、コンデンサCCPは充電される。
【0006】次に、信号φが`L´,信号/φが`H´
になると、トランジスタQ1 がオフ,トランジスタQ2
がオンとなり、ノードN1 は接地電位となり、ノードN
2 の電位が下がる。
【0007】そして、このノードN2 の電位が基板電位
BBよりトランジスタQ3 の閾値電圧だけ低い値よりも
低くなると、トランジスタQ3 がオンし、基板に対して
電子をポンプする。すなわち、基板電位VBBを下げる働
きをする。
【0008】上記のように、基板電位VBBは、VBB=−
(VCC−VTH)なる電位となり、落ちつくことになる。
ただし、VTHはトランジスタQ1 とトランジスタQ3
閾値電圧の和である。
【0009】そして、ダイナミック型メモリなどにおい
ては、回路中のトランジスタQ1 ,Q2 であるMOS・
FFTのドレインからインパクトイオン化により発生す
る正孔が存在し、これが上記のように、ポンプされた電
子と打ち消す点で基板電位がきまる。
【0010】ここで、単位時間内に発生する正孔は、メ
モリ動作周波数に比例する。すなわち、サイクルタイム
が短いほど多くなる。また、インパクトイオン化は電源
電圧VCCが高いほど激しい。
【0011】また、この図5において、Q5 はバイアス
発生回路BVOの出力端と接地との間に設けられたクラ
ンプ用トランジスタ、RおよびQ61〜Q6nはバイアス発
生回路BVOの出力端と接地の間に直列接続された抵抗
および基準電圧発生素子としてのトランジスタで、これ
らは上記クランプ用トランジスタQ5 のゲートに基準電
圧を印加するための基準電圧発生回路RVOを構成して
いる。
【0012】次に、この基準電圧発生回路RVOの動作
を、図6を参照して説明する。この図6は横軸に電源電
圧VCC(V),縦軸に基板電位VBB(V)をとって表し
たサイクルタイムの特性図である。
【0013】まず、基準電圧発生回路RVOにおけるト
ランジスタQ61〜Q6nの閾値電圧の総和をVT1とし、ク
ランプ用トランジスタQ5 の閾値電圧をVT2とすると、
基板電位VBBがVBB≦−(VT1+VT2)になろうとする
と、クランプ用トランジスタQ5 がオンするので、結
局、VBB=−(VT1+VT2)なる値に固定(クランプ)
されることになる。
【0014】この図6に示すサイクルタイムの特性から
明らかなように、図6において例えばC点ではサイクル
タイムに依存しない基板電位VBBが得られる。なお、図
5では、上記各閾値電圧の和をVT1+VT2=3Vに設定
した場合を示し、図6に示す特性のサイクルタイムは2
00nS 〜100μS である。
【0015】従って、サイクルタイムが変化しても基板
バイアスは一定に保たれ、上記のような基板バイアス変
化による回路の動作状態の変化あるいは回路の誤動作は
なくなる。
【0016】また、クランプ用トランジスタQ5 のサイ
ズ(電流駆動能力)が十分大きい場合は、基準電圧発生
回路RVOにおけるトランジスタQ61からQ6nのサイズ
は小さくてよい。従って、この回路は回路面積を小さく
でき、集積回路技法に適することになる。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】従来の基板バイアス発
生回路は以上のように構成されているので、トランジス
タQ5 をオンさせるためには、トランジスタQ5 のゲー
ト電位が基板電位VBBに抜けないよう、抵抗Rにある程
度高い抵抗値を与える必要があり、一方、クランプ機能
として、電源投入時にバイアス発生回路BVOが機能す
る前は基板電位VBBノードが接地電位よりも高くなって
いるので、速やかにこの接地電位まで落してやるという
機能(シャント機能)を持たせる必要があり、このため
には、時定数を小さくするように抵抗Rの抵抗値を小さ
い値とする必要があり、結果として、この抵抗Rの値の
最適化が難しいなどの問題点があった。特に、半導体集
積回路装置が大量生産される場合、その抵抗Rの抵抗値
のばらつきにより特性が大きく異なってしまうなどの問
題点があった。
【0018】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、基板電位が所定の値よりも高く
なった時や電源投入時に接地電位よりも高い時に、抵抗
値のばらつきに関係なく高性能にクランプ機能を果すこ
とができるとともに、通常動作時における基板電位の下
がり過ぎを防止できる基板バイアス発生回路を得ること
を目的とする。
【0019】また、この発明は電源投入時に半導体集積
回路装置の基板電位をパワーオンリセット信号を用いて
接地電位に引き込むことができる基板バイアス発生回路
を得ることを目的とする。
【0020】また、この発明は高抵抗素子を用いて通常
動作時における基板電位の下がり過ぎを防止でき、かつ
電源投入時に基板電位を速やかに接地電位に引き込むこ
とができる基板バイアス発生回路を得ることを目的とす
る。
【0021】また、この発明は常時オンとなるトランジ
スタを抵抗手段として用いても、通常動作時における基
板電位の下がり過ぎの防止と、電源投入時における基板
電位の接地電位への速やかな下降を、それぞれ実施でき
る基板バイアス発生回路を得ることを目的とする。
【0022】さらに、この発明は半導体集積回路装置内
のトランジスタを利用して、負のクランプを実現する定
電圧発生回路を容易に形成できる基板バイアス発生回路
を得ることを目的とする。
【0023】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る基
板バイアス発生回路は、半導体集積回路装置を構成する
バイアス発生回路の出力端および接地間にクランプ用ト
ランジスタを接続し、該クランプ用トランジスタのゲー
トおよび上記接地間に基準電圧発生素子を接続して、さ
らに、上記クランプ用トランジスタのゲートに、該ゲー
ト電位が基板電位に抜けるのを防止する抵抗手段を接続
するとともに、上記クランプ用トランジスタのゲートと
電源との間にコンデンサを接続したものである。
【0024】請求項2の発明に係る基板バイアス発生回
路は、抵抗手段を、パワーオンリセット信号によって電
源投入時には高抵抗で、一定時間経過後に低抵抗となる
トランジスタとしたものである。
【0025】請求項3の発明に係る基板バイアス発生回
路は、抵抗手段を、電源投入時および電源投入後に抵抗
値の大きい高抵抗素子としたものである。
【0026】請求項4の発明に係る基板バイアス発生回
路は、抵抗手段を、ゲートに電源が接続されて、オン抵
抗が十分に大きいトランジスタとしたものである。
【0027】請求項5の発明に係る基板バイアス発生回
路は、基準電圧発生素子をダイオード接続されたトラン
ジスタとしたものである。
【0028】
【作用】請求項1の発明における基板バイアス発生回路
は、通常動作時における基板電位の下がり過ぎの防止
と、電源投入時における基板電位の接地電位への下降
を、クランプ用トランジスタのゲートと基板との間に接
続した抵抗手段により、この抵抗手段の最適化技術をと
ることなく実現可能にし、基板バイアス発生回路の安定
動作を実現する。
【0029】請求項2の発明における基板バイアス発生
回路は、電源投入時に抵抗手段であるトランジスタをパ
ワーオンリセット信号によって高抵抗化することで、速
やかに基板電位を接地電位に引き下げるようにする。
【0030】請求項3の発明における基板バイアス発生
回路は、抵抗手段の抵抗値の最適化を行わずに、電源投
入時および電源投入後も抵抗値の高い高抵抗素子を抵抗
手段として用いることで、正常動作時における基板電位
の下がり過ぎを防止し、電源投入時における基板電位の
上昇を防止し、これを安価な構成にて実現する。
【0031】請求項4の発明における基板バイアス発生
回路は、抵抗手段としてオン抵抗の十分に大きいトラン
ジスタを用い、このゲート入力を電源電圧に固定するこ
とで、電源投入時における基板電位の上昇を速やかに防
止する。
【0032】請求項5の発明における基板バイアス発生
回路は、抵抗手段に直列に入れた基準電圧発生素子とし
てのトランジスタにより、負のクランプに必要な定電圧
を発生可能にする。
【0033】
【実施例】
実施例1.以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1において、φおよび/φは発信器あるいはそ
の他の方法で内部発生させた矩形波であり、直列接続さ
れた2つのトランジスタQ1 ,Q2 のゲートにそれぞれ
入力される互いに相補の信号である。
【0034】また、VCCは電源電圧、VBBは基板電位
(バイアス電位)、Q3 ,Q4 はトランジスタ、CCP
コンデンサを示し、このコンデンサCCPとダイオード接
続されたトランジスタQ3 ,Q4 によりバイアス発生回
路BVOを構成する。
【0035】このように構成されたバイアス発生回路B
VOにおいて、まず、信号φが`H´,信号/φが`L
´のときには、トランジスタQ1 がオン,トランジスタ
2がオフとなり、ノードN1 は`H´となる。これに
よりコンデンサCCPを通してトランジスタQ4 はオンと
なり、コンデンサCCPは充電される。
【0036】これに対して、信号φが`L´,信号/φ
が`H´になると、トランジスタQ1 がオフ,トランジ
スタQ2 がオンとなり、ノードN1 は接地電位となり、
ノードN2 の電位が下がる、
【0037】また、このノードN2 の電位が基板電位V
BBよりトランジスタQ3 の閾値電圧だけ低い値よりも低
くなると、トランジスタQ3 がオンし、基板に対して電
子をポンプする。すなわち、基板電位VBBを下げる働き
をする。
【0038】上記のように、基板電位VBBは、VBB=−
(VCC−VTH)なる電位となり、落ちつくことになる。
ただし、VTHはトランジスタQ1 とトランジスタQ3
閾値電圧の和である。
【0039】Q5 は上記バイアス発生回路BVOの出力
端および接地間にソースおよびドレインが接続されたク
ランプ用トランジスタ、Q61〜Q6nはクランプ用トラン
ジスタQ5 のゲートおよび上記接地間に接続された基準
電圧発生素子としてのダイオード接続されたトランジス
タである。
【0040】また、Q7 は上記クランプ用トランジスタ
5 のゲートおよび上記バイアス発生回路の出力端間に
接続されて、該ゲート電位が基板電位に抜けるのを防止
する抵抗手段としてのトランジスタで、ゲートにはパワ
ーオンリセット信号が入力され、ソースが上記出力端
に、ドレインがノードaにそれぞれ図示のように接続さ
れている。
【0041】CV は上記クランプ用トランジスタQ5
ゲート(ノードa)と電源電圧VCCとの間に接続された
コンデンサである。
【0042】次に動作について、図2に示す電位特性図
を参照しながら説明する。まず、電源投入時の電源電圧
CCの立ち上がりはシステムにより異なるが、一般に、
図2に示すように一定の勾配をもって立ち上がる。
【0043】一方、半導体集積回路装置のチップ内部に
は、上記の電源投入を感知して、一定期間経過すると論
理を反転させるパワーオンリセット回路(図示しない)
が具備されており、これから出力されるパワーオンリセ
ット信号PORがトランジスタQ7 のゲートに入力され
る。
【0044】このパワーオンリセット信号PORは図示
のように当初接地電位と同電位にあり、上記一定時間後
にハイレベル(VCCレベル)となり、従って、通常動作
中においては、このパワーオンリセット信号PORはハ
イレベルとなっている。
【0045】従って、この通常動作においては、基板バ
イアス発生回路が動作しているため、基板電位VBBが下
がり過ぎるのを防止する機能のみが必要である。
【0046】そして、パワーオンリセット信号PORは
ハイレベルであるため、トランジスタQ7 はオン状態で
あるが、このトランジスタQ7 のオン抵抗が十分に大き
いため、クランプ用トランジスタQ5 のゲート電位が基
板電位VBBに抜けることがなく、従来と同様の動作とな
る。
【0047】これに対して、電源投入時は基板電位VBB
が接地電位よりも高いレベルとなっているため、この基
板電位VBBを接地電位レベルの電位まで下げる必要があ
る。
【0048】そこで、上記パワーオンリセット信号PO
Rをローレベルにして、トランジスタQ7 をオフにす
る。このため、電源電位のレベルが次第に上昇してい
く。
【0049】このときコンデンサCV により電源電圧V
CCとノードaとの間に容量結合を発生し、このノードa
の電位を上げさせて、クランプ用トランジスタQ5 をオ
ンさせることで、上記の基板電位VBBを接地電位に引き
込むことができる。
【0050】実施例2.図3はこの発明の他の実施例を
示し、この実施例が図1に示したものと異なるところ
は、クランプ用トランジスタQ5 のゲート(ノードa)
とバイアス発生回路BPOの出力端との間に抵抗手段と
しての高抵抗素子Hを接続した点である。
【0051】ここでは、この高抵抗素子Hは、通常動作
時および電源投入時の両特性を見ながら最適値を選んで
使用する従来のような抵抗Rとは異なる動作をする。
【0052】次に動作について説明する。まず、通常動
作時においては、基板バイアス発生回路が動作している
ため、基板電位VBBが下がり過ぎるのを防止する機能の
みが必要である。
【0053】この実施例では、抵抗手段としての高抵抗
素子Hの抵抗値を十分に高く設定しておくことで、従来
と同様に、クランプ用トランジスタQ5 のゲート電位が
基板電位に抜けるのを防ぐことができる。
【0054】一方、電源投入時にあっては、実施例1の
場合と同じく、基板電位VBBを接地電位のレベルまで速
やかに下げる必要がある。そして、上記高抵抗素子Hは
高抵抗であるので、基板電位VBBはノードaには伝わり
にくくなっている。
【0055】また、上記電源投入によって電源電圧VCC
のレベルが次第に高くなっていき、−コンデンサCV
より電源電圧VCCとノードaとの間に容量結合が生じ、
そのノードaの電位が上昇し、クランプ用トランジスタ
5 をオンにして、基板電位VBBを接地電位に引き下げ
ることとなる。
【0056】この場合には、上記通常動作時と同じく、
高抵抗素子Hが高抵抗値であるため、容量結合で発生し
た高電圧が、バイアス発生回路BVOの出力端に伝わる
ことはなく、基板電位の上昇を招くことはない。
【0057】ここで用いる高抵抗素子Hは、従来の図5
に示した抵抗Rとは異なり、通常動作時および電源投入
時のいずれでも抵抗値が高く、負のクランプおよびシャ
ントの両方の特性を共に良好なものとすることができ
る。
【0058】実施例3.図4はこの発明のさらに他の実
施例を示す。この実施例では、図1に示すトランジスタ
7 に代えて、オン抵抗値が十分に高いトランジスタQ
8 を用い、このゲート入力を電源電圧VCCに固定したほ
かは、図1に示したものと同様の構成が採用されてい
る。
【0059】この実施例によれば、トランジスタQ8
オン抵抗が十分に高いため、オフ抵抗も極めて高くな
り、これが実施例2の高抵抗素子Hを用いた場合と略同
様の機能を持ち、しかも同様の動作となり、かかるオン
抵抗の高いトランジスタQ8 によって負クランプおよび
シャントの両方の特性を、共に良好なものとすることが
できる。
【0060】なお、上記各実施例では負のクランプを実
現するのに必要な定電圧発生回路RVOに基準電圧発生
素子としてダイオード接続のトランジスタQ61〜Q6n
用いた場合を示したが、この基準電圧発生素子として負
のクランプ機能をもつ他の回路を用いることも任意であ
る。
【0061】また、上記各実施例ではトランジスタQ1
〜Q8 としてNチャネルトランジスタを用いたものを示
したが、一部または全部にPチャネルトランジスタを用
いてもよい。さらに、シャント機能を果すために必要な
抵抗手段として、上記実施例で述べた以外の他の任意の
回路を用いてもよい。
【0062】
【発明の効果】以上のように、請求項1の発明によれ
ば、半導体集積回路装置を構成するバイアス発生回路の
出力端および接地間にクランプ用トランジスタを接続
し、該クランプ用トランジスタのゲートおよび上記接地
間に基準電圧発生素子を接続して、さらに、上記クラン
プ用トランジスタのゲートに、該ゲート電位が基板電位
に抜けるのを防止する抵抗手段を接続するとともに、上
記クランプ用トランジスタのゲートと電源との間にコン
デンサを接続するように構成したので、基板電位が所定
の値よりも高くなった時や電源投入時に接地電位よりも
高い時に、抵抗値のばらつきに関係なく高性能にクラン
プ機能を果すことができるとともに、通常動作時におけ
る基板電位の下がり過ぎを防止できるものが得られる効
果がある。
【0063】請求項2の発明によれば、抵抗手段を、パ
ワーオンリセット信号によって電源投入時には高抵抗
で、一定時間経過後に低抵抗となるトランジスタとする
ように構成したので、電源投入時に半導体集積回路装置
の基板電位を、パワーオンリセット信号を用いて確実に
接地電位に引き込むことができるものが得られる効果が
ある。
【0064】請求項3の発明によれば、抵抗手段を、電
源投入時および電源投入後に抵抗値の大きい高抵抗素子
とするように構成したので、高抵抗素子を用いて通常動
作時における基板電位の下がり過ぎを防止でき、かつ電
源投入時に基板電位を速やかに接地電位に引き込むこと
ができるものが得られる効果がある。
【0065】請求項4の発明によれば、バイアス発生回
路は、抵抗手段を、ゲートに電源が接続されて、オン抵
抗が十分に大きいトランジスタとするように構成したの
で、常時オンとなるトランジスタを抵抗手段として用い
ても、通常動作時における基板電位の下がり過ぎの防止
と、電源投入時における基板電位の接地電位への速やか
な下降をそれぞれ実現できるものが得られる効果があ
る。
【0066】請求項5の発明によれば、基準電圧発生素
子をダイオード接続されたトランジスタとするように構
成したので、半導体集積回路装置内のトランジスタを利
用して、負のクランプを実現する定電圧発生回路を容易
に形成できるものが得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の一実施例による基板バイアス発生
回路を示す回路図である。
【図2】 図1における基板バイアス発生回路各部にお
ける電源投入時の電位変化を示す電位特性図である。
【図3】 この発明の他の実施例によるバイアス発生回
路を示す回路図である。
【図4】 この発明の他の実施例によるバイアス発生回
路を示す回路図である。
【図5】 従来の基板バイアス発生回路を示す回路図で
ある。
【図6】 図5における基板電位の変化を示す電位特性
図である。
【符号の説明】
BVO バイアス発生回路、Q5 クランプ用トランジ
スタ、Q61〜Q6n トランジスタ(基準電圧発生素
子)、Q7 ,Q8 トランジスタ(抵抗手段)、H高抵
抗素子(抵抗手段)、CV コンデンサ。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体集積回路装置に設けられたバイア
    ス発生回路と、該バイアス発生回路の出力端および接地
    間にソースおよびドレインが接続されたクランプ用トラ
    ンジスタと、該クランプ用トランジスタのゲートおよび
    上記接地間に接続された基準電圧発生素子と、上記クラ
    ンプ用トランジスタのゲートに接続されて、該ゲート電
    位が基板電位に抜けるのを防止する抵抗手段と、上記ク
    ランプ用トランジスタのゲートと電源との間に接続され
    たコンデンサとを備えた基板バイアス発生回路。
  2. 【請求項2】 上記抵抗手段を、パワーオンリセット信
    号によって電源投入時に高抵抗となり、一定時間経過後
    に低抵抗となるトランジスタで構成したことを特徴とす
    る請求項1に記載の基板バイアス発生回路。
  3. 【請求項3】 上記抵抗手段を、電源投入時および電源
    投入後に抵抗値が大きい高抵抗素子で構成したことを特
    徴とする請求項1に記載の基板バイアス発生回路。
  4. 【請求項4】 上記抵抗手段を、ゲートに電源が接続さ
    れて、オン抵抗が十分に大きいトランジスタで構成した
    ことを特徴とする請求項1に記載の基板バイアス発生回
    路。
  5. 【請求項5】 上記基準電圧発生素子を、ダイオード接
    続されたトランジスタで構成したことを特徴とする請求
    項1に記載の基板バイアス発生回路。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100727436B1 (ko) * 2000-06-30 2007-06-13 주식회사 하이닉스반도체 반도체메모리 장치의 기준전압 안정화 회로

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KR100727436B1 (ko) * 2000-06-30 2007-06-13 주식회사 하이닉스반도체 반도체메모리 장치의 기준전압 안정화 회로

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