JPH08189946A - 電子板体検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】作業性を格段と向上でき、作業時間の短縮及び
小型化を実現し、制御も容易な装置及び方法を提供す
る。 【構成】スライダー１００のスライド方向へ間隔をおい
て第１、第２の被搭載部１０１、１０２を設け、スライ
ダードライブ手段により前記スライダーを駆動して、前
記第１の被搭載部を第１の補給位置に位置させた状態で
は、前記第２の被搭載部を検査位置に位置させ、前記第
２の被搭載部を第２の補給位置に位置させた状態では、
前記第１の被搭載部を前記検査位置に位置させ、前記前
記検査位置の電子板体が検査されている間に、第１の被
搭載部または第２の被搭載部の検査済み電子板体をこれ
から検査する電子板体に交換できるようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、液晶板、電子分品基
板等の電子板体を作業効率良く検査するのに好適する電
子板体検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば液晶板を製造した後は、その端子
電極にコンタクトプローブを当接して検査を行ってい
る。このための従来の検査装置は、非検査用の液晶板を
検査位置に搬送して設置し、次にこの検査位置で所定の
検査を行い、検査が終わると検査が終了した液晶板を取
り込みし、次に、新たな被検査用の液晶板を検査位置に
搬送して設置するという工程をとっている。この工程
は、ロボットにより実行されているが、全体の作業時間
が長く、一層の改善が望まれている。また、ロボットに
関しても複雑な工程を取るために、ロボットの制御が複
雑である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記したように従来の
電子板体検査装置にあっては、その作業性の向上、作業
時間の短縮、制御の単純化、また小型化、小スペース化
が望まれている。そこでこの発明は、作業性を格段と向
上できると共に、小型化を実現し、作業時間の短縮及び
制御も容易な電子板体検査装置を提供することを目的と
する。

【０００４】

【課題を解決するための手段】この発明は、スライド方
向へ間隔をおいて第１、第２の被搭載部を有するスライ
ダーと、前記スライダーの前記第１の被搭載部を第１の
補給位置に位置させた状態では、前記第２の被搭載部を
検査位置に位置させ、前記第２の被搭載部を第２の補給
位置に位置させた状態では、前記第１の被搭載部を前記
検査位置に位置させるスライダードライブ手段と、前記
検査位置の上部に検査プローブを配備した検査装置と、
前記第１及び第２の補給位置に移動した前記第１及び前
記第２の被搭載部に搭載されている検査済みの電子板体
をこれから検査する電子板体に交換する交換機構とを備
えるものである。

【０００５】さらにまたこの発明では、前記交換機構
が、前記第１、第２の補給位置の下部にそれぞれ配備さ
れ、前記スライダーの第１、第２の被搭載部に搭載され
ている電子板体を上方に突き上げ浮上させることができ
る第１、第２の突き上げ機構と、前記第１、第２の補給
位置の上部にそれぞれ配備され、それぞれの位置で前記
第１、第２の突き上げ機構により浮上されている電子板
体を受けとることができる第１、第２のバッファ機構
と、前記第１、第２のバッファ機構により保持される電
子板体を取り出し、空になった前記第１、第２の被搭載
部に新たな電子板体を補給する補給機構とを備えるもの
である。

【０００６】

【作用】上記の手段によれば、第１または第２の被搭載
部の電子板体が前記検査位置に移動して検査されている
時間に、第２または第１の被搭載部の検査済みの電子板
体が前記突き上げ機構とバッファ機構により取り出さ
れ、前記補給機構により新たな電子板体を補給すること
になり、ほとんどの時間が検査時間となり、全体の作業
時間を短縮することができる。

【０００７】

【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。図１はこの発明の一実施例における概要を示す
もので、スライダー１００は、スライダー駆動機構２０
０によりレール２０１上を図示矢印Ｘ１−Ｘ２方向へ移
動自在である。スライダー駆動機構２００としては、例
えばモータ等が利用される。スライダー１００は、スラ
イド方向へ第１、第２の被搭載部１０１、１０２を有す
る。第１、第２の被搭載部１０１、１０２は、四角状の
フレームであり上下に貫通しており、ここにパレットと
共に電子板体（液晶ガラス板）を搭載することができ
る。図の状態は、スライダー１００が図示矢印Ｘ２の方
向へ移動し、第１の被搭載部１０１を第１の補給位置に
位置させ、第２の被搭載部１０２を検査位置に移動させ
た状態である。

【０００８】スライダー１００は、矢印Ｘ２方向へ移動
して、第１の被搭載部１０１を第１の補給位置に位置さ
せた状態で第２の被搭載部１０２を検査位置に位置さ
せ、第２の被搭載部１０２を第２の補給位置に位置させ
た状態では、第１の被搭載部１０１を前記検査位置に位
置させる（図２（Ａ）参照）。図２（Ａ）においてスラ
イダー１００が矢印Ｘ１方向へ移動すると、第２の被搭
載部１０２を第２の補給位置に位置させ、第１の被搭載
部１０１を前記検査位置に位置させた状態となる。

【０００９】図１に戻って説明する。ここで、検査位置
の上部には検査装置（図示せず）のプローブ等が位置
し、下部には電子板体の姿勢を所望の検査姿勢に安定化
するための姿勢制御機構も配備されている。

【００１０】ここで、図の状態では、第１の補給位置の
下部に第１の突き上げ機構３００が配備され、上部には
第１のバッファ機構４００が配備されている。同様に第
２の補給位置の下部にも同様な第２の突き上げ機構が配
備され、上部に第２のバッファ機構が配備されているの
であるが、図では省略している。

【００１１】下部の突き上げ機構３００から説明する。
突き上げ機構３００は、第１の被搭載部１０１に搭載さ
れている液晶ガラス板を下側から突き上げて浮上状態に
することができる。そのために、上下制御されるテーブ
ル３０１と、このテーブル３０１の複数箇所に突出した
ピンＰ１〜Ｐ４を有する。テーブル３０１が上昇制御さ
れると、ピンＰ１〜Ｐ４は、第１の被搭載部１０１の内
側に切り込むように形成されている切欠き部を通して、
第１の被搭載部１０１の内側エッジに係止している液晶
ガラス板のエッジを押し上げることができる。図２
（Ｂ）と（Ｃ）には第１の被搭載部１０１にパレット１
１１に保持されて液晶ガラス板５００が搭載された状態
を示している。パレット１１１にも先のピンＰ１〜Ｐ４
に対応した切欠き部が形成されており、この切欠き部を
介してピンＰ１〜Ｐ２が下部から上部に挿通できるよう
になっている。

【００１２】図３はピンＰ１〜Ｐ４が液晶ガラス板５０
０を浮上させた状態を示している。液晶ガラス板５００
をスライダー１００から取り出す場合には、図３のよう
に液晶ガラス板５００を浮上させ、次に、上部の第１の
バッファ機構４００がこの液晶ガラス板５００を受けと
るようになっている。即ち、バッファ機構４００は、固
定台４０１とこの固定台４０１に対して上下自在（図示
矢印Ｙ１−Ｙ２方向）に取り付けられたテーブル４０２
と、このテーブル４０２に取り付けられたアーム４０
３、４０４とで構成されている。アーム４０３、４０４
は、先端部がＬ型であり互いに近付いた状態、離れた状
態に制御可能であり、液晶ガラス板５００のエッジ部を
２つのアーム４０３、４０４で保持することができる。
液晶ガラス板５００が浮上された状態で、バッファ機構
４００のテーブル４０２が下降制御され、またアーム４
０３、４０４がその先端を閉じる方向へ制御されること
により、液晶ガラス板５００を受けとり、上昇する。図
示の１点鎖線で示すようにアーム４０３、４０４が液晶
ガラス板５００を保持した状態で、突き上げ機構３００
のテーブル３０１が下降される。

【００１３】バッファ機構４０３に残った液晶ガラス板
５００は、補給機構により取り出される。またこの補給
機構は、スライダー１００の被搭載部に対して液晶ガラ
ス板を搭載することができる。

【００１４】補給機構６００は、図１に示すように、図
示矢印Ｘ１−Ｘ２方向に付設されたレール６０１上に本
体部６０２が搭載されており、本体部６０２の頭部に
は、回転アーム機構６１１が構成されている。この回転
アーム機構６１１は、スライド板６１２と、このスライ
ド板６１２を長手方向へスライド自在に保持するととも
に、自ら平面的に回転自在な回転基部６１３とで構成さ
れている。スライド板６１２の下側の面には、吸着部が
設けられており、液晶ガラス板を真空吸着装置により吸
着したり、離脱させたりすることができる。さらにまた
この補給機構６００は上記の回転アーム機構６１１を上
下方向へ移動制御することが可能である。

【００１５】図４には上記補給機構６００の動作説明図
を示している。図４（ａ）では、スライド板６１２が矢
印Ｚ１方向へ延在制御され、部品補給部の液晶ガラス板
５００を吸着した状態を示している。このように液晶ガ
ラス板５００を吸着して保持すると、図示矢印Ｚ２方向
へスライド板６１２が若干引き込まれる。次に、図４
（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すように回転基部６１３の
機能が発揮され、向きを変えてスライダー１００側に液
晶ガラス板５００を向ける。次に、スライダー１００の
側にスライド板６１２を延在させることにより液晶ガラ
ス板５００を所望の被搭載部の上部に位置させる。ここ
で液晶ガラス板５００に対する吸着を解放すれば、液晶
ガラス板５００は、スライダー１００の被搭載部のパレ
ット上に配置されることになる。

【００１６】上記の図４での説明は、これから検査を行
う液晶ガラス基板をスライダー１００の被搭載部に載置
する作業を説明した。逆に、検査の終わった液晶ガラス
板を取り出して所望の収納部へ収納する場合には次のよ
うな作業が行われる。

【００１７】即ち、検査の終わった液晶ガラス板は、第
１の補給位置または第２の補給位置において、突き上げ
機構により突き上げられ、バッファ機構により保持され
る（図３において説明した）。バッファ機構により保持
された状態の液晶ガラス基板は、まず、補給機構６００
の空のスライド板６１２に吸着される。この吸着作業に
ついては図４で説明した。そして、図４の（ｅ）、
（ｄ）、（ｃ）、（ｂ）、（ａ）の順序で取り出した液
晶ガラス基板を収納部へ収納することになる。このよう
に補給機構６００は、図２で説明した第１の補給位置、
第２の補給位置への移動も含めて、上記の作業を繰り返
して行い、空いている被搭載部に検査用の液晶ガラス板
を搭載し、検査済みの液晶ガラス板を取り出す。

【００１８】図５（Ａ）は、スライド板６１２が液晶ガ
ラス板５００をバッファ機構４００から取り出す時の状
態を示している。また図５（Ｂ）は、次の液晶ガラス板
５０１をスライド板６１２が搬送してきて、突き上げ機
構３００のピンＰ１〜Ｐ４上に載置した状態を示してい
る。このときは事前にバッファ機構４００が上方へ移動
制御され、退避されている。次に図５（Ｃ）に示すよう
に、突き上げ機構３００のテーブル３０１が下降制御さ
れ、ピンＰ１〜Ｐ４上に載置されていた液晶ガラス板５
０１が、パレット上に載置された状態を示している。こ
の後は、液晶ガラス板５０１は、スライダー１００の移
動により検査位置に配置される。

【００１９】上記の実施例では、パレット１１１の位置
調整（液晶ガラス板５００の姿勢調整）手段については
とくに触れなかったが、実際の装置では検査位置におい
てプローブの接触を正確なものとするために姿勢調整機
構が配備されている。この姿勢制御手段は、検査位置の
下部（図１の矢印Ｗで示す方向）に配備されている。

【００２０】図６は、検査位置の下部に配置される姿勢
調整機構９００である。９００は長方形のベースであ
る。このベース９００はプローブの下側の所定位置に配
設されている。ベース９００の上面中央には、長方形の
パレット８００が載置される。このパレット８００の面
積は、ベース９００のそれよりも小さく、ベース上を平
面的に可動自在なように、スライドベアリングあるは真
空吸着装置の吸着部等の支持手段に載置されている。

【００２１】ベース９００のＸ軸方向の一辺側の上面に
は、例えばプランジャー９０１、９０１が取り付けら
れ、パレット８００のエッジを弾性的に矢印Ｘ１方向へ
押さえるように構成されている。このプランジャー９０
１、９０１に対向したベース９００の他方の辺側の上面
には、調整ねじ９０４が軸受け９０３に縲合されてお
り、この調整ねじ９０４を所定方向に回転すると、パレ
ット８００のエッジを押し、Ｘ２方向にパレット８００
を駆動することができる。また、ベース９００のＺ軸方
向の一辺側の上面には、例えばプランジャー９０２、９
０２が取り付けられ、パレット８００のエッジを弾性的
に矢印Ｚ１方向へ押さえるように構成されている。この
プランジャー９０２、９０２に対向したベース８００の
他方の辺側の上面には、調整ねじ９０５、９０６が軸受
け９０７、９０８にそれぞれ縲合されており、この調整
ねじ９０５、９０６を所定方向に回転すると、パレット
８００のエッジを押し、Ｚ２方向にパレット８００を駆
動することができる。回転（θ）方向の調整は、調整ね
じ９０４、９０５、９０６の回転量により調整すること
ができる。またパレット８００の上面には、液晶ガラス
板（ＬＣＤ）を支持するためのピンＰ11〜Ｐ14が起立し
て設けられている。

【００２２】ベース９００は、先の突き上げ機構の如
く、上方にベース９００を浮上させて検査位置にある液
晶ガラス板をピンＰ11〜Ｐ14により持ち上げることがで
きる。この場合、パレット８００の位置調整を行うこと
により、上記した調整機構によりＬＣＤのコンタクトに
対する位置決めが行われる。

【００２３】パレット８００の位置決め（つまりＬＣＤ
の位置決め）を行う際、ＬＣＤの例えば配線パターンを
ビデオカメラにより拡大撮像して、メモリに記憶してい
る基準パターンと画面上で比較し、配線パターンと基準
パターンとが一致するようにパレット８００の位置を調
整する仕組みになっている。

【００２４】なおパレット８００は、ベース９００に対
して位置調整の後は、真空吸着手段により吸着固定され
るようになっている。即ち、９１１、９１２が吸着部で
あり、この吸着部９１１、９１２はそれぞれ継ぎ手９１
３、９１４を介して吸引装置に接続されている。姿勢調
整機構９００としては、上記の方式及び構成に限定され
るものではなく各種の実施例が可能である。またその他
の機構としても上記した実施例に限定されるものではな
く、各種の変形実施が可能であり、また被検査部品も液
晶デバイスに限定されるものではない。

【００２５】

【発明の効果】以上説明したようにこの発明は、作業性
を格段と向上でき、作業時間の短縮及び小型化を実現
し、制御も容易な装置及び方法を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例における外観を示す図。

【図２】図１のスライダーの動き及び突き上げ機構の動
作を説明するために示した図。

【図３】図１の突き上げ機構及びバッファ機構の説明
図。

【図４】図１の補給機構の動作を説明するために示した
図。

【図５】液晶ガラス基板の交換作業を説明するために示
した図。

【図６】検査位置における姿勢制御機構を示す図。

【符号の説明】

１００…スライダー、２００…スライダー駆動機構、３
００…突き上げ機構、４００…バッファ機構、６００…
補給機構、９００…姿勢制御機構。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】スライド方向へ間隔をおいて第１、第２の
   被搭載部を有するスライダーと、 前記スライダーの前記第１の被搭載部を第１の補給位置
   に位置させた状態では、前記第２の被搭載部を検査位置
   に位置させ、前記第２の被搭載部を第２の補給位置に位
   置させた状態では、前記第１の被搭載部を前記検査位置
   に位置させるスライダードライブ手段と、 前記検査位置の上部に検査プローブを配備した検査装置
   と前記第１及び第２の補給位置に移動した前記第１及び
   前記第２の被搭載部に搭載されている検査済みの電子板
   体をこれから検査する電子板体に交換する交換機構とを
   具備したことを特徴とする電子板体検査装置。
2. 【請求項２】前記交換機構は、 前記第１、第２の補給位置の下部にそれぞれ配備され、
   前記スライダーの第１、第２の被搭載部に搭載されてい
   る電子板体を上方に突き上げ浮上させることができる第
   １、第２の突き上げ機構と、 前記第１、第２の補給位置の上部にそれぞれ配備され、
   それぞれの位置で前記第１、第２の突き上げ機構により
   浮上されている電子板体を受けとることができる第１、
   第２のバッファ機構と、 空になった前記第１、第２の被搭載部に新たな電子板体
   を補給し、前記第１、第２のバッファ機構により保持さ
   れる電子板体を取り出す補給機構とを具備したことを特
   徴とする請求項１記載の電子板体検査装置。
3. 【請求項３】前記検査位置の下部には、この検査位置に
   移動してきた電子板体を下部から持ち上げて傾き及び位
   置制御を行う姿勢制御機構を設けたことを特徴とする請
   求項１記載の電子板体検査装置。
4. 【請求項４】前記補給機構は、１つであり、前記第１と
   第２の補給位置に移動自在であることを特徴とする請求
   項２記載の電子板体検査装置。
5. 【請求項５】スライダーのスライド方向へ間隔をおいて
   第１、第２の被搭載部を設け、スライダードライブ手段
   により前記スライダーを駆動して、前記第１の被搭載部
   を第１の補給位置に位置させた状態では、前記第２の被
   搭載部を検査位置に位置させ、前記第２の被搭載部を第
   ２の補給位置に位置させた状態では、前記第１の被搭載
   部を前記検査位置に位置させ、前記前記検査位置の電子
   板体が検査されている間に、第１の被搭載部または第２
   の被搭載部の検査済み電子板体をこれから検査する電子
   板体に交換するようにしたことを特徴とする電子板体検
   査方法。