JPH08185762A - プリスケーラｉｃテスト方法及びテストプローブカード - Google Patents
プリスケーラｉｃテスト方法及びテストプローブカードInfo
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- JPH08185762A JPH08185762A JP6327888A JP32788894A JPH08185762A JP H08185762 A JPH08185762 A JP H08185762A JP 6327888 A JP6327888 A JP 6327888A JP 32788894 A JP32788894 A JP 32788894A JP H08185762 A JPH08185762 A JP H08185762A
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
- G01R31/31903—Tester hardware, i.e. output processing circuits tester configuration
- G01R31/31905—Interface with the device under test [DUT], e.g. arrangements between the test head and the DUT, mechanical aspects, fixture
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/282—Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
- G01R31/2831—Testing of materials or semi-finished products, e.g. semiconductor wafers or substrates
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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Abstract
(57)【要約】
【目的】不良品ＩＣを早期に選別し、工程およびテスト
装置を簡略化するとともに、テスト時間を短縮するプリ
スケーラＩＣのテスト方法及びテストプローブカードを
提供することにある。 【構成】プローブカード１１上に、プリスケーラＩＣ１
８の分周周波数領域で動作するＯＳＣ１２と、ＩＣ直流
テスタ１０の制御信号Ｖｓによって切換えられる複数の
スイッチ１４〜１７と、平均値検出回路２０とを有す
る。ＯＳＣ１２の出力をＩＣ１８に供給してその出力を
パルス幅変換し、直流電圧／電流を検出することにより
ＩＣ１８の正常／異常の判定を含む交流テストを行う。
また、スイッチ１４〜１７の状態を切り替え、テスタ１
０からの直流テスト信号Ｖｂにより直流テストを行う。
このため、テスタ１０との間に直流信号のみの送受によ
り交流および直流テストの双方を行いうる。
装置を簡略化するとともに、テスト時間を短縮するプリ
スケーラＩＣのテスト方法及びテストプローブカードを
提供することにある。 【構成】プローブカード１１上に、プリスケーラＩＣ１
８の分周周波数領域で動作するＯＳＣ１２と、ＩＣ直流
テスタ１０の制御信号Ｖｓによって切換えられる複数の
スイッチ１４〜１７と、平均値検出回路２０とを有す
る。ＯＳＣ１２の出力をＩＣ１８に供給してその出力を
パルス幅変換し、直流電圧／電流を検出することにより
ＩＣ１８の正常／異常の判定を含む交流テストを行う。
また、スイッチ１４〜１７の状態を切り替え、テスタ１
０からの直流テスト信号Ｖｂにより直流テストを行う。
このため、テスタ１０との間に直流信号のみの送受によ
り交流および直流テストの双方を行いうる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプリスケーラＩＣテスト
方法及びテストプローブカードに関し、特に交流試験機
能および直流試験機能を実現するプリスケーラＩＣテス
ト方法及びテストプローブカードに関する。
方法及びテストプローブカードに関し、特に交流試験機
能および直流試験機能を実現するプリスケーラＩＣテス
ト方法及びテストプローブカードに関する。
【０００２】
【従来の技術】最近の高速・高集積回路ＩＣ技術は、高
度情報化社会を構築するためのキー・テクノロジーとし
て期待される一分野であり、特にプリスケーラＩＣなど
のこれら高速・高集積回路ＩＣの応用分野は、移動体通
信から各家庭等で使用されるＡＶ機器に至るまで広範囲
に渡っている。
度情報化社会を構築するためのキー・テクノロジーとし
て期待される一分野であり、特にプリスケーラＩＣなど
のこれら高速・高集積回路ＩＣの応用分野は、移動体通
信から各家庭等で使用されるＡＶ機器に至るまで広範囲
に渡っている。
【０００３】このようなプリスケーラＩＣは、各種シス
テムにおけるＰＬＬ方式技術（ＰＬＬ：フェーズ・ロッ
クド・ループ）の導入に伴ない、使用される機会が多く
なっている。かかるプリスケーラＩＣの製造工程として
は、ほぼ拡散工程，ウェーハチェック工程（一般的にペ
レット／ウェーハ：Ｐ／Ｗ工程とも呼ばれる），組み立
て工程，選別工程，検査工程のフローとなっている。特
に、上述したプリスケーラＩＣの特性チェックを行う工
程としては、ウェーハ状態で直流特性や交流特性のチェ
ックを行うウェーハチェック工程と、パッケージへの組
み立て後に直流試験選別／交流試験選別を行う選別工程
とがある。
テムにおけるＰＬＬ方式技術（ＰＬＬ：フェーズ・ロッ
クド・ループ）の導入に伴ない、使用される機会が多く
なっている。かかるプリスケーラＩＣの製造工程として
は、ほぼ拡散工程，ウェーハチェック工程（一般的にペ
レット／ウェーハ：Ｐ／Ｗ工程とも呼ばれる），組み立
て工程，選別工程，検査工程のフローとなっている。特
に、上述したプリスケーラＩＣの特性チェックを行う工
程としては、ウェーハ状態で直流特性や交流特性のチェ
ックを行うウェーハチェック工程と、パッケージへの組
み立て後に直流試験選別／交流試験選別を行う選別工程
とがある。
【０００４】また、これらのウェーハチェック工程や選
別工程においては、それぞれ異ったＩＣテストプローブ
カードを用いて直流および交流試験が行われる。
別工程においては、それぞれ異ったＩＣテストプローブ
カードを用いて直流および交流試験が行われる。
【０００５】図４は従来の一例を説明するための直流試
験を行うプローブカードとテスタの概略図である。図４
に示すように、ここではウェーハチェック工程において
用いられるＩＣ直流テスタ１０と、ＩＣテストプローブ
カード１１ａとを示し、プローブカード１１ａ上に形成
された配線パターン２２の被測定物側先端に設けられて
いる接触針（図示省略）によりプリスケーラＩＣ１８に
接触させて直流試験を行うものである。
験を行うプローブカードとテスタの概略図である。図４
に示すように、ここではウェーハチェック工程において
用いられるＩＣ直流テスタ１０と、ＩＣテストプローブ
カード１１ａとを示し、プローブカード１１ａ上に形成
された配線パターン２２の被測定物側先端に設けられて
いる接触針（図示省略）によりプリスケーラＩＣ１８に
接触させて直流試験を行うものである。
【０００６】まず、ＩＣ直流テスタ１０とプローブカー
ド１１ａとの情報授受内容としては、予めＩＣ直流テス
タ１０に設定されているテストプログラムに基いて、Ｉ
Ｃ直流テスタ１０より直流電圧情報がプローブカード１
１ａに供給される。この直流電圧情報は、配線パターン
２２を介しプリスケーラＩＣ１８に供給されて電源電圧
や入力端電圧等になる。
ド１１ａとの情報授受内容としては、予めＩＣ直流テス
タ１０に設定されているテストプログラムに基いて、Ｉ
Ｃ直流テスタ１０より直流電圧情報がプローブカード１
１ａに供給される。この直流電圧情報は、配線パターン
２２を介しプリスケーラＩＣ１８に供給されて電源電圧
や入力端電圧等になる。
【０００７】次に、プリスケーラＩＣ１８からは、ＩＣ
直流テスタ１０に出力電位情報等が引き渡される。この
情報はＩＣ直流テスタ１０に予め設定された正常／異常
基準によりチェックされ、プリスケーラＩＣ１８の正常
／異常が判定される。
直流テスタ１０に出力電位情報等が引き渡される。この
情報はＩＣ直流テスタ１０に予め設定された正常／異常
基準によりチェックされ、プリスケーラＩＣ１８の正常
／異常が判定される。
【０００８】このように、ウェーハチェック工程におけ
る直流試験では、配線パターン２２のみが形成された直
流試験専用のプローブカード１１ａを用いて試験が行わ
れる。尚、パッケージへの組み立て後に行われる選別工
程では、プローブカードではなく、例えばＩＣソケット
などにより構成される選別用治具が用いられる。
る直流試験では、配線パターン２２のみが形成された直
流試験専用のプローブカード１１ａを用いて試験が行わ
れる。尚、パッケージへの組み立て後に行われる選別工
程では、プローブカードではなく、例えばＩＣソケット
などにより構成される選別用治具が用いられる。
【０００９】図５は従来の他の例を説明するための交流
試験を行うプローブカードとテスタの概略図である。図
５に示すように、ここではウェーハチェック工程におい
て用いられるＩＣ用ＡＣテスタ２４と、ＩＣテストプロ
ーブカード１１ｂとを示し、プローブカード１１ｂ上に
形成された配線パターン２２の先端に設けられる接触針
（図示省略）を被測定物であるプリスケーラＩＣ１８と
接続して交流試験を行うものである。このＡＣテスタ２
４はＡＣ信号源２５と、ＡＣ試験装置２６とから構成さ
れ、ＡＣ信号源２５からプローブカード１１ｂと接続さ
れたプリスケーラＩＣ１８に交流信号を供給するととも
に、得られた交流出力信号をＡＣ試験装置２６で直流試
験と同様に判定する。この場合も、プローブカード１１
ｂ上には配線パターン２２のみが形成されており、さら
にパッケージへの組み立て後に行われる選別工程では、
直流試験同様に選別用治具が用いられる。
試験を行うプローブカードとテスタの概略図である。図
５に示すように、ここではウェーハチェック工程におい
て用いられるＩＣ用ＡＣテスタ２４と、ＩＣテストプロ
ーブカード１１ｂとを示し、プローブカード１１ｂ上に
形成された配線パターン２２の先端に設けられる接触針
（図示省略）を被測定物であるプリスケーラＩＣ１８と
接続して交流試験を行うものである。このＡＣテスタ２
４はＡＣ信号源２５と、ＡＣ試験装置２６とから構成さ
れ、ＡＣ信号源２５からプローブカード１１ｂと接続さ
れたプリスケーラＩＣ１８に交流信号を供給するととも
に、得られた交流出力信号をＡＣ試験装置２６で直流試
験と同様に判定する。この場合も、プローブカード１１
ｂ上には配線パターン２２のみが形成されており、さら
にパッケージへの組み立て後に行われる選別工程では、
直流試験同様に選別用治具が用いられる。
【００１０】さらに、これら従来のテスト方法やプロー
ブカード、特に図４の構成を用いた場合の試験項目とし
ては、直流試験のみとなるので、この結果現実的には直
流試験で排除しきれない交流的不良品を次工程、すなわ
ち付加価値を加える組み立て工程に流出させてしまうと
いう問題がある。また、図５の構成を用いた場合は、図
４の構成でのウェーハチェック（直流試験）を行った後
に、交流試験を行うことになり、結果的にウェーハチェ
ック工程数の増加とＡＣ試験設備を必要とするという問
題がある。
ブカード、特に図４の構成を用いた場合の試験項目とし
ては、直流試験のみとなるので、この結果現実的には直
流試験で排除しきれない交流的不良品を次工程、すなわ
ち付加価値を加える組み立て工程に流出させてしまうと
いう問題がある。また、図５の構成を用いた場合は、図
４の構成でのウェーハチェック（直流試験）を行った後
に、交流試験を行うことになり、結果的にウェーハチェ
ック工程数の増加とＡＣ試験設備を必要とするという問
題がある。
【００１１】従来は、これらの問題を解決するために、
例えば実開平１−７９８３７号公報に記載されたよう
に、１枚のプローカード上に交流試験を行うプロービン
グブロックと、直流試験を行うプロービングブロックと
を設け、同時に異なるＩＣチップの測定を行う形態を採
っているもの、あるいは特開昭６２−１２３７３２号公
報に記載さらたように、複数の検査回路をプローブカー
ド上に形成する形態を採っているものがある。
例えば実開平１−７９８３７号公報に記載されたよう
に、１枚のプローカード上に交流試験を行うプロービン
グブロックと、直流試験を行うプロービングブロックと
を設け、同時に異なるＩＣチップの測定を行う形態を採
っているもの、あるいは特開昭６２−１２３７３２号公
報に記載さらたように、複数の検査回路をプローブカー
ド上に形成する形態を採っているものがある。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のプリス
ケーラＩＣテスト方法及びテストプローブカードは、特
に図４あるいは図５においては、前述した問題がある。
また、これらを解決するための２つの文献に記載された
技術、すなわち前者の技術においては、試験装置として
ＩＣ直流テスタとＡＣテスタとの両方を必要とし、その
上直流試験から交流試験に移る場合に、プローブカード
の移動もしくはウェーハの移動が必要になるので、テス
トタイムが長くなり、処理能力の低下を招くという欠点
がある。
ケーラＩＣテスト方法及びテストプローブカードは、特
に図４あるいは図５においては、前述した問題がある。
また、これらを解決するための２つの文献に記載された
技術、すなわち前者の技術においては、試験装置として
ＩＣ直流テスタとＡＣテスタとの両方を必要とし、その
上直流試験から交流試験に移る場合に、プローブカード
の移動もしくはウェーハの移動が必要になるので、テス
トタイムが長くなり、処理能力の低下を招くという欠点
がある。
【００１３】一方、後者の技術においては、被測定物で
あるＩＣの出力信号に対する単なる検査回路であり、入
力信号に対する配慮がなされておらず、従来の問題点を
解決し得るものではない。また、かかる後者の技術で
は、試験装置との信号の授受関係等が不明確であり、実
現性に乏しいものである。
あるＩＣの出力信号に対する単なる検査回路であり、入
力信号に対する配慮がなされておらず、従来の問題点を
解決し得るものではない。また、かかる後者の技術で
は、試験装置との信号の授受関係等が不明確であり、実
現性に乏しいものである。
【００１４】本発明の目的は、不良品ＩＣの早期選別、
すなわち従来パッケージ組み立て後の選別工程で行って
いた直流試験選別と交流試験選別とをウェーハチェック
工程で行えるようにし、選別工程の抜き取り試験化など
を実現することのできるプリスケーラＩＣテスト方法を
提供することにある。
すなわち従来パッケージ組み立て後の選別工程で行って
いた直流試験選別と交流試験選別とをウェーハチェック
工程で行えるようにし、選別工程の抜き取り試験化など
を実現することのできるプリスケーラＩＣテスト方法を
提供することにある。
【００１５】また、本発明の目的は、テスト装置の簡略
化およびテスト時間（工数）の短縮を図れるテストプロ
ーブカードを提供することにある。
化およびテスト時間（工数）の短縮を図れるテストプロ
ーブカードを提供することにある。
【００１６】さらに、本発明の目的は、テスト装置の簡
略化やテスト時間の短縮に加え、テスト精度の向上を実
現するテストプローブカードを提供することにある。
略化やテスト時間の短縮に加え、テスト精度の向上を実
現するテストプローブカードを提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明のプリスケーラＩ
Ｃテスト方法は、集積回路テスト装置とプローブカード
を用い、直流信号の授受によりプリスケーラＩＣをウェ
ーハ状態のまま機能テストを行うプリスケーラＩＣテス
ト方法において、前記プローブカード上に、前記プリス
ケーラＩＣの分周周波数領域で動作する正弦波発生手段
と、前記集積回路テスト装置からの制御信号によって切
換えられる複数の信号切換え手段と、前記プリスケーラ
ＩＣの出力の平均値を求める平均値検出手段とを有し、
前記正弦波発生手段の出力を前記プリスケーラＩＣに供
給してそのテスト出力をパルス幅変換し、前記平均値検
出手段を介してその直流電圧／電流を検出することによ
り前記プリスケーラＩＣの正常／異常の判定を含む交流
テストを行うとともに、前記複数の信号切換え手段の状
態を切替えて前記集積回路テスト装置からの直流テスト
信号により直流テストを行うことを特徴としている。
Ｃテスト方法は、集積回路テスト装置とプローブカード
を用い、直流信号の授受によりプリスケーラＩＣをウェ
ーハ状態のまま機能テストを行うプリスケーラＩＣテス
ト方法において、前記プローブカード上に、前記プリス
ケーラＩＣの分周周波数領域で動作する正弦波発生手段
と、前記集積回路テスト装置からの制御信号によって切
換えられる複数の信号切換え手段と、前記プリスケーラ
ＩＣの出力の平均値を求める平均値検出手段とを有し、
前記正弦波発生手段の出力を前記プリスケーラＩＣに供
給してそのテスト出力をパルス幅変換し、前記平均値検
出手段を介してその直流電圧／電流を検出することによ
り前記プリスケーラＩＣの正常／異常の判定を含む交流
テストを行うとともに、前記複数の信号切換え手段の状
態を切替えて前記集積回路テスト装置からの直流テスト
信号により直流テストを行うことを特徴としている。
【００１８】また、本発明のテストプローブカードは、
集積回路テスト装置との間で直流信号の授受を行い、プ
リスケーラＩＣをウェーハ状態のまま機能テストするテ
ストプローブカードにおいて、前記集積回路テスト装置
からの直流駆動制御信号により予め設定した周波数の正
弦波信号を発生する正弦波発生回路と、前記正弦波発生
回路の出力を前記プリスケーラＩＣに供給する第１のス
イッチ回路と、前記集積回路テスト装置からの直流テス
ト信号を前記プリスケーラＩＣに供給する第２のスイッ
チ回路と、前記プリスケーラＩＣの直流出力信号を受け
前記集積回路テスト装置へ出力する第３のスイッチ回路
と、前記前記プリスケーラＩＣの交流出力信号を伝達す
る第４のスイッチ回路と、前記第４のスイッチ回路を介
して入力した前記プリスケーラＩＣの前記交流出力信号
を予め設定したパルス幅に変換するパルス幅変換回路
と、前記パルス幅変換回路の変換出力より平均値直流電
圧／電流を求めて前記集積回路テスト装置へ出力する平
均値電圧／電流検出回路とを有し、前記集積回路テスト
装置からの直流スイッチ制御信号に基いて前記第１，第
４のスイッチ回路と前記第２，第３のスイッチ回路とを
反転して制御することにより、直流信号のみを用いて交
流テストおよび直流テストの双方を行うことを特徴とし
ている。
集積回路テスト装置との間で直流信号の授受を行い、プ
リスケーラＩＣをウェーハ状態のまま機能テストするテ
ストプローブカードにおいて、前記集積回路テスト装置
からの直流駆動制御信号により予め設定した周波数の正
弦波信号を発生する正弦波発生回路と、前記正弦波発生
回路の出力を前記プリスケーラＩＣに供給する第１のス
イッチ回路と、前記集積回路テスト装置からの直流テス
ト信号を前記プリスケーラＩＣに供給する第２のスイッ
チ回路と、前記プリスケーラＩＣの直流出力信号を受け
前記集積回路テスト装置へ出力する第３のスイッチ回路
と、前記前記プリスケーラＩＣの交流出力信号を伝達す
る第４のスイッチ回路と、前記第４のスイッチ回路を介
して入力した前記プリスケーラＩＣの前記交流出力信号
を予め設定したパルス幅に変換するパルス幅変換回路
と、前記パルス幅変換回路の変換出力より平均値直流電
圧／電流を求めて前記集積回路テスト装置へ出力する平
均値電圧／電流検出回路とを有し、前記集積回路テスト
装置からの直流スイッチ制御信号に基いて前記第１，第
４のスイッチ回路と前記第２，第３のスイッチ回路とを
反転して制御することにより、直流信号のみを用いて交
流テストおよび直流テストの双方を行うことを特徴とし
ている。
【００１９】さらに、本発明のテストプローブカード
は、集積回路テスト装置との間で直流信号の授受を行
い、プリスケーラＩＣをウェーハ状態のまま機能テスト
するテストプローブカードにおいて、前記集積回路テス
ト装置からの直流駆動制御信号により予め設定した周波
数の正弦波信号を発生する正弦波発生回路と、前記正弦
波発生回路の出力を前記集積回路テスト装置からの直流
減衰制御信号により減衰させる可変減衰回路と、前記正
弦波発生回路の出力を前記プリスケーラＩＣに供給する
第１のスイッチ回路と、前記集積回路テスト装置からの
直流テスト信号を前記プリスケーラＩＣに供給する第２
のスイッチ回路と、前記プリスケーラＩＣの直流出力信
号を受け前記集積回路テスト装置へ出力する第３のスイ
ッチ回路と、前記前記プリスケーラＩＣの交流出力信号
を伝達する第４のスイッチ回路と、前記第４のスイッチ
回路を介して入力した前記プリスケーラＩＣの前記交流
出力信号を予め設定したパルス幅に変換するパルス幅変
換回路と、前記パルス幅変換回路の変換出力より平均値
直流電圧／電流を求めて前記集積回路テスト装置へ出力
する平均値電圧／電流検出回路とを有し、前記集積回路
テスト装置からの直流スイッチ制御信号に基いて前記第
１，第４のスイッチ回路と前記第２，第３のスイッチ回
路とを反転して制御することにより、直流信号のみを用
いて交流テストおよび直流テストの双方を行うととも
に、前記交流テストとして入力感度試験を行えることを
特徴としている。
は、集積回路テスト装置との間で直流信号の授受を行
い、プリスケーラＩＣをウェーハ状態のまま機能テスト
するテストプローブカードにおいて、前記集積回路テス
ト装置からの直流駆動制御信号により予め設定した周波
数の正弦波信号を発生する正弦波発生回路と、前記正弦
波発生回路の出力を前記集積回路テスト装置からの直流
減衰制御信号により減衰させる可変減衰回路と、前記正
弦波発生回路の出力を前記プリスケーラＩＣに供給する
第１のスイッチ回路と、前記集積回路テスト装置からの
直流テスト信号を前記プリスケーラＩＣに供給する第２
のスイッチ回路と、前記プリスケーラＩＣの直流出力信
号を受け前記集積回路テスト装置へ出力する第３のスイ
ッチ回路と、前記前記プリスケーラＩＣの交流出力信号
を伝達する第４のスイッチ回路と、前記第４のスイッチ
回路を介して入力した前記プリスケーラＩＣの前記交流
出力信号を予め設定したパルス幅に変換するパルス幅変
換回路と、前記パルス幅変換回路の変換出力より平均値
直流電圧／電流を求めて前記集積回路テスト装置へ出力
する平均値電圧／電流検出回路とを有し、前記集積回路
テスト装置からの直流スイッチ制御信号に基いて前記第
１，第４のスイッチ回路と前記第２，第３のスイッチ回
路とを反転して制御することにより、直流信号のみを用
いて交流テストおよび直流テストの双方を行うととも
に、前記交流テストとして入力感度試験を行えることを
特徴としている。
【００２０】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は本発明のプリスケーラＩＣテスト方
法及びテストプローブカードの一実施例を説明するため
のテスタとの信号授受およびカード構成を表わす図であ
る。図１に示すように、本実施例のプリスケーラＩＣテ
スト方法は、集積回路テスト装置としてのＩＣ直流テス
タ１０と、テストプローブカード１１とを用い、テスト
プローブカード１１上の配線パターン２２の被測定物側
先端に設けられた接触針（図示省略）を被測定物のプリ
スケーラＩＣ１８と接続させ、これらの間で直流信号の
授受を行うことにより、プリスケーラＩＣ１８をウェー
ハ状態のまま交流テストおよび直流テストの双方を同時
に行うものである。このように、ＩＣ直流テスタ１０と
同一のテストプローブカード１１により、交流および直
流の機能テストを行うにあたり、テストプローブカード
１１には、プリスケーラＩＣ１８の分周周波数領域で動
作する正弦波発生回路（ＯＳＣ）１２，帯域通過フィル
タ（ＢＰＦ）１３と、ＩＣ直流テスタ１０からの直流ス
イッチ制御信号Ｖｓによって切換えられる４つのスイッ
チ１４〜１７と、プリスケーラＩＣ１８の出力のパルス
幅を変換するパルス幅変換回路（ＭＭ）１９，その平均
値を求める平均値検出回路２０と、インバータ２１とを
有し、２種類の交流テスト、すなわちプリスケーラＩＣ
１８を分周動作させたときの交流テストおよびプリスケ
ーラＩＣ１８を自己発振させたときの交流テストと、そ
れに続く直流テストとを行う。尚、ここでは交流テスト
を先に行うように説明したが、直流テストを先に行って
も何ら差しつかえない。
て説明する。図１は本発明のプリスケーラＩＣテスト方
法及びテストプローブカードの一実施例を説明するため
のテスタとの信号授受およびカード構成を表わす図であ
る。図１に示すように、本実施例のプリスケーラＩＣテ
スト方法は、集積回路テスト装置としてのＩＣ直流テス
タ１０と、テストプローブカード１１とを用い、テスト
プローブカード１１上の配線パターン２２の被測定物側
先端に設けられた接触針（図示省略）を被測定物のプリ
スケーラＩＣ１８と接続させ、これらの間で直流信号の
授受を行うことにより、プリスケーラＩＣ１８をウェー
ハ状態のまま交流テストおよび直流テストの双方を同時
に行うものである。このように、ＩＣ直流テスタ１０と
同一のテストプローブカード１１により、交流および直
流の機能テストを行うにあたり、テストプローブカード
１１には、プリスケーラＩＣ１８の分周周波数領域で動
作する正弦波発生回路（ＯＳＣ）１２，帯域通過フィル
タ（ＢＰＦ）１３と、ＩＣ直流テスタ１０からの直流ス
イッチ制御信号Ｖｓによって切換えられる４つのスイッ
チ１４〜１７と、プリスケーラＩＣ１８の出力のパルス
幅を変換するパルス幅変換回路（ＭＭ）１９，その平均
値を求める平均値検出回路２０と、インバータ２１とを
有し、２種類の交流テスト、すなわちプリスケーラＩＣ
１８を分周動作させたときの交流テストおよびプリスケ
ーラＩＣ１８を自己発振させたときの交流テストと、そ
れに続く直流テストとを行う。尚、ここでは交流テスト
を先に行うように説明したが、直流テストを先に行って
も何ら差しつかえない。
【００２１】まづ、交流テストを実施するにあたり、直
流スイッチ制御信号ＶｓをＩＣ直流テスタ１０よりテス
トプローブカード１１に供給する。この直流信号は配線
パターン２２を介して第１のスイッチ１４および第４の
スイッチ１７を閉状態、第２のスイッチ１５および第３
のスイッチ１６を開状態とする。
流スイッチ制御信号ＶｓをＩＣ直流テスタ１０よりテス
トプローブカード１１に供給する。この直流信号は配線
パターン２２を介して第１のスイッチ１４および第４の
スイッチ１７を閉状態、第２のスイッチ１５および第３
のスイッチ１６を開状態とする。
【００２２】つぎに、ＩＣ直流テスタ１０から直流駆動
制御信号（直流電圧）Ｖａを供給して正弦波発生回路
（ＯＳＣ）１２を動作させる。このＯＳＣ１２は、予め
設定された周波数（ｆａ）成分の正弦波信号を発生する
が、このＯＳＣ１２に予め設定しておく信号周波数とし
ては、プリスケーラＩＣ１８の分周動作が確実に行わ
れ、しかも自走動作との切り分けを明確にして判定を行
うために、プリスケーラＩＣ１８の自走発振周波数（ｆ
ｏｓｃ）の１／〔分周数（Ｎ）〕よりも十分低い周波数
を設定しておく。例えば、分周数（Ｎ）が１０で、自走
発振周波数ｆｏｓｃ＝２ＧＨｚの時、発振周波数ｆａは
２０ＭＨｚ程度に設定する。このＯＳＣ１２から出力さ
れた信号はＢＰＦ１３により不要雑音成分を除去され、
第１のスイチ１４を介してプリスケーラＩＣ１８に印加
される。
制御信号（直流電圧）Ｖａを供給して正弦波発生回路
（ＯＳＣ）１２を動作させる。このＯＳＣ１２は、予め
設定された周波数（ｆａ）成分の正弦波信号を発生する
が、このＯＳＣ１２に予め設定しておく信号周波数とし
ては、プリスケーラＩＣ１８の分周動作が確実に行わ
れ、しかも自走動作との切り分けを明確にして判定を行
うために、プリスケーラＩＣ１８の自走発振周波数（ｆ
ｏｓｃ）の１／〔分周数（Ｎ）〕よりも十分低い周波数
を設定しておく。例えば、分周数（Ｎ）が１０で、自走
発振周波数ｆｏｓｃ＝２ＧＨｚの時、発振周波数ｆａは
２０ＭＨｚ程度に設定する。このＯＳＣ１２から出力さ
れた信号はＢＰＦ１３により不要雑音成分を除去され、
第１のスイチ１４を介してプリスケーラＩＣ１８に印加
される。
【００２３】ここで、プリスケーラＩＣ１８が正常動作
を行っているときは、ｆａ／Ｎの出力信号が第４のスイ
ッチ１７を介してパルス幅変換回路（ＭＭ）１９に供給
される。このＭＭ１９においては、例えば入力された信
号の立ち上りエッジ部を検出し、予め設定されたパルス
幅（Ｔａ）の信号を出力する。このパルス幅Ｔａは、プ
リスケーラＩＣ１８の自走信号がＭＭ１９に入力されて
も、所望の繰返しパルスがＭＭ１９から出力される必要
があり、その為にはプリスケーラＩＣ１８が自走したと
きに表われる出力信号の周期の１／２以下にしておくこ
とが望ましい。例えば、自走出力信号周波数が２００Ｍ
Ｈｚのときは、パルス幅Ｔａとして２ｎｓｅｃ程度に設
定すればよい。このＭＭ１９から出力されたパルス幅Ｔ
ａの出力信号（周期はプリスケーラＩＣ１８から出力さ
れた信号の周期に等しい）は、直流平均値電圧検出回路
（ＡＶＥ）２０において平均値電圧が検出され、交流テ
ストの直流出力信号ＶＯ２としてＩＣ直流テスタ１０に
出力される。
を行っているときは、ｆａ／Ｎの出力信号が第４のスイ
ッチ１７を介してパルス幅変換回路（ＭＭ）１９に供給
される。このＭＭ１９においては、例えば入力された信
号の立ち上りエッジ部を検出し、予め設定されたパルス
幅（Ｔａ）の信号を出力する。このパルス幅Ｔａは、プ
リスケーラＩＣ１８の自走信号がＭＭ１９に入力されて
も、所望の繰返しパルスがＭＭ１９から出力される必要
があり、その為にはプリスケーラＩＣ１８が自走したと
きに表われる出力信号の周期の１／２以下にしておくこ
とが望ましい。例えば、自走出力信号周波数が２００Ｍ
Ｈｚのときは、パルス幅Ｔａとして２ｎｓｅｃ程度に設
定すればよい。このＭＭ１９から出力されたパルス幅Ｔ
ａの出力信号（周期はプリスケーラＩＣ１８から出力さ
れた信号の周期に等しい）は、直流平均値電圧検出回路
（ＡＶＥ）２０において平均値電圧が検出され、交流テ
ストの直流出力信号ＶＯ２としてＩＣ直流テスタ１０に
出力される。
【００２４】また逆に、プリスケーラＩＣ１８が異常動
作を行っているときは、直流出力信号ＶＯ２として設定
値以外の電圧もしくは電流が出力されるので、ＩＣ直流
テスタ１０での判定が可能となる。
作を行っているときは、直流出力信号ＶＯ２として設定
値以外の電圧もしくは電流が出力されるので、ＩＣ直流
テスタ１０での判定が可能となる。
【００２５】次に、ＩＣ直流テスタ１０からの直流駆動
制御信号Ｖａの供給をやめると、ＯＳＣ１２は動作を停
止するので、プリスケーラＩＣ１８の入力は無信号状態
となる。このため、プリスケーラＩＣ１８は自走状態と
なり、プリスケーラＩＣ１８の出力信号としては、自走
周波数（ｆｏｓｃ）の１／Ｎの信号が出力される。以後
の動作は、前述した動作と同様に行われ、直流出力信号
ＶＯ２としてＩＣ直流テスタ１０に出力される。
制御信号Ｖａの供給をやめると、ＯＳＣ１２は動作を停
止するので、プリスケーラＩＣ１８の入力は無信号状態
となる。このため、プリスケーラＩＣ１８は自走状態と
なり、プリスケーラＩＣ１８の出力信号としては、自走
周波数（ｆｏｓｃ）の１／Ｎの信号が出力される。以後
の動作は、前述した動作と同様に行われ、直流出力信号
ＶＯ２としてＩＣ直流テスタ１０に出力される。
【００２６】一方、直流テストを行う場合は、まづＩＣ
直流テスタ１０からの直流スイッチ制御信号Ｖｓの供給
を停止させ、第１乃至第４のスイッチ１４〜１７の状態
を反転させる。これにより、ＯＳＣ１２からの信号はプ
リスケーラＩＣ１８に伝達されず、またプリスケーラＩ
Ｃ１８からＭＭ１９やＡＶＥ２０に対しても信号が出力
されなくなる。すなわち、プローブカード１１において
は、インバータ２１を介して第２のスイッチ１５および
第３のスイッチ１６が閉状態になるので、プリスケーラ
ＩＣ１８はＩＣ直流テスタ１０に対して第２のスイッチ
１５および第３のスイッチ１６を介して接続状態とな
る。
直流テスタ１０からの直流スイッチ制御信号Ｖｓの供給
を停止させ、第１乃至第４のスイッチ１４〜１７の状態
を反転させる。これにより、ＯＳＣ１２からの信号はプ
リスケーラＩＣ１８に伝達されず、またプリスケーラＩ
Ｃ１８からＭＭ１９やＡＶＥ２０に対しても信号が出力
されなくなる。すなわち、プローブカード１１において
は、インバータ２１を介して第２のスイッチ１５および
第３のスイッチ１６が閉状態になるので、プリスケーラ
ＩＣ１８はＩＣ直流テスタ１０に対して第２のスイッチ
１５および第３のスイッチ１６を介して接続状態とな
る。
【００２７】しかる後、ＩＣ直流テスタ１０から直流テ
スト信号ＶｂをプリスケーラＩＣ１８供給すると、その
出力は直流出力信号ＶＯ１としてＩＣ直流テスタ１０に
出力される。これにより、ＩＣ直流テスタ１０からはプ
リスケーラＩＣ１８に対して直流試験を行うことができ
る。
スト信号ＶｂをプリスケーラＩＣ１８供給すると、その
出力は直流出力信号ＶＯ１としてＩＣ直流テスタ１０に
出力される。これにより、ＩＣ直流テスタ１０からはプ
リスケーラＩＣ１８に対して直流試験を行うことができ
る。
【００２８】以上、プリスケーラＩＣテスト方法を中心
に説明したが、本実施例によれば、パッケージ組み立て
後の選別工程で行っていた交流試験選別と直流試験選別
とをウェーハチェック工程で行えるので、不良品ＩＣを
早期に選別することができる上、選別工程の抜き取り試
験化などを実現できるので、ＩＣ製造の途中工程を簡略
化することができる。
に説明したが、本実施例によれば、パッケージ組み立て
後の選別工程で行っていた交流試験選別と直流試験選別
とをウェーハチェック工程で行えるので、不良品ＩＣを
早期に選別することができる上、選別工程の抜き取り試
験化などを実現できるので、ＩＣ製造の途中工程を簡略
化することができる。
【００２９】さらに、テストプローブカード１１につい
ては、上述の説明からも分るように、ＩＣ直流テスタ１
０からの直流駆動制御信号Ｖａにより予め設定した周波
数の正弦波信号（ｆａ）を発生する正弦波発生回路（Ｏ
ＳＣ）１２と、このＯＳＣ１２の出力から雑音成分を除
去するＢＰＦ１３と、ＢＰＦ１３の出力をプリスケーラ
ＩＣ１８に供給する第１のスイッチ１４と、ＩＣ直流テ
スタ１０からの直流テスト信号ＶｂをプリスケーラＩＣ
１８に供給する第２のスイッチ１５と、このプリスケー
ラＩＣ１８の直流出力信号ＶＯ１を受けＩＣ直流テスタ
１０へ出力する第３のスイッチ１６と、プリスケーラＩ
Ｃ１８の交流出力信号を伝達する第４のスイッチ１７
と、この第４のスイッチ１７を介して入力したプリスケ
ーラＩＣ１８の交流出力信号を予め設定したパルス幅に
変換するパルス幅変換回路（ＭＭ）１９と、このＭＭ１
９の変換出力より平均値直流電圧／電流を求めてＩＣ直
流テスタ１０へ出力する平均値電圧／電流検出回路（Ａ
ＶＥ）２０とを有する。
ては、上述の説明からも分るように、ＩＣ直流テスタ１
０からの直流駆動制御信号Ｖａにより予め設定した周波
数の正弦波信号（ｆａ）を発生する正弦波発生回路（Ｏ
ＳＣ）１２と、このＯＳＣ１２の出力から雑音成分を除
去するＢＰＦ１３と、ＢＰＦ１３の出力をプリスケーラ
ＩＣ１８に供給する第１のスイッチ１４と、ＩＣ直流テ
スタ１０からの直流テスト信号ＶｂをプリスケーラＩＣ
１８に供給する第２のスイッチ１５と、このプリスケー
ラＩＣ１８の直流出力信号ＶＯ１を受けＩＣ直流テスタ
１０へ出力する第３のスイッチ１６と、プリスケーラＩ
Ｃ１８の交流出力信号を伝達する第４のスイッチ１７
と、この第４のスイッチ１７を介して入力したプリスケ
ーラＩＣ１８の交流出力信号を予め設定したパルス幅に
変換するパルス幅変換回路（ＭＭ）１９と、このＭＭ１
９の変換出力より平均値直流電圧／電流を求めてＩＣ直
流テスタ１０へ出力する平均値電圧／電流検出回路（Ａ
ＶＥ）２０とを有する。
【００３０】かかるテストプローブカード１１における
ＯＳＣ１２は低周波動作でよいため、ＴＴＬ構成の自走
マルチバイブレータ回路で形成することができ、安価に
製造することができる。また、ＭＭ１９はリ・トリガラ
ブル・モノステーブル・マルチバイブレータを用いるこ
とができるので、簡単にカードを構成することができ
る。
ＯＳＣ１２は低周波動作でよいため、ＴＴＬ構成の自走
マルチバイブレータ回路で形成することができ、安価に
製造することができる。また、ＭＭ１９はリ・トリガラ
ブル・モノステーブル・マルチバイブレータを用いるこ
とができるので、簡単にカードを構成することができ
る。
【００３１】前述したように、ＩＣ直流テスタ１０から
の直流スイッチ制御信号Ｖｓに基いて第１，第４のスイ
ッチ１４，１７と、第２，第３のスイッチ１５，１６と
を反転して制御すれば、直流信号（Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｓお
よびＶＯ１，ＶＯ２）のみを用いて交流テストおよび直
流テストの双方を行うことができる。
の直流スイッチ制御信号Ｖｓに基いて第１，第４のスイ
ッチ１４，１７と、第２，第３のスイッチ１５，１６と
を反転して制御すれば、直流信号（Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｓお
よびＶＯ１，ＶＯ２）のみを用いて交流テストおよび直
流テストの双方を行うことができる。
【００３２】図２（ａ），（ｂ）はそれぞれ図１におけ
る正弦波発生回路の動作時および停止時のＡ点波形図と
周波数対平均電圧特性図である。図２（ａ）に示すよう
に、ＩＣ直流テスタ１０における交流テストとして、Ａ
ＶＥ２０から送出されるＯＳＣ１２の動作時と停止時の
それぞれのＡ点波形に基いてＢ点の平均電圧を求めてい
る。
る正弦波発生回路の動作時および停止時のＡ点波形図と
周波数対平均電圧特性図である。図２（ａ）に示すよう
に、ＩＣ直流テスタ１０における交流テストとして、Ａ
ＶＥ２０から送出されるＯＳＣ１２の動作時と停止時の
それぞれのＡ点波形に基いてＢ点の平均電圧を求めてい
る。
【００３３】この結果、図２（ｂ）に示すように、Ｂ点
の平均電圧、すなわち直流出力信号ＶＯ２がＩＣ直流テ
スタ１０に送出され、正常ならば、２つの平均電圧（あ
るいは電流）値Ｖ１，Ｖ２が検出される。
の平均電圧、すなわち直流出力信号ＶＯ２がＩＣ直流テ
スタ１０に送出され、正常ならば、２つの平均電圧（あ
るいは電流）値Ｖ１，Ｖ２が検出される。
【００３４】ここで、２つの平均電圧値Ｖ１，Ｖ２以外
の値がＩＣ直流テスタ１０で検出された場合は、プリス
ケーラＩＣ１８として設定以外の動作をしていることに
なる。要するに、Ｖ１，Ｖ２の値をチェックすることに
より、プリスケーラＩＣ１８交流動作の正常／異常を判
定することができる。
の値がＩＣ直流テスタ１０で検出された場合は、プリス
ケーラＩＣ１８として設定以外の動作をしていることに
なる。要するに、Ｖ１，Ｖ２の値をチェックすることに
より、プリスケーラＩＣ１８交流動作の正常／異常を判
定することができる。
【００３５】図３は本発明の他の実施例を説明するため
のテスタとの信号授受およびカード構成を表わす図であ
る。図３に示すように、本実施例のテストプローブカー
ド１１もＩＣ直流テスタ１０との間で直流信号の授受を
行い、プリスケーラＩＣ１８をウェーハ状態のまま交流
および直流の機能テストを行うものである。このテスト
プローブカード１１は、前述した図１のテストプローブ
カード１１と同様、ＯＳＣ１２，ＢＰＦ１３，４つのス
イッチ１４〜１７，ＭＭ１９，ＡＶＥ２０およびインバ
ータ２１を備える他に、ＯＳＣ１２とＢＰＦ１３間にＰ
ＩＮダイオード等で形成した可変減衰回路２３を設けた
ものである。この可変減衰回路２３は、交流テストの一
環としてＩＣ直流テスタ１０からの直流減衰制御信号Ｖ
ｇにより減衰量を制御することにより、プリスケーラＩ
Ｃ１８への入力信号レベルを変えることができる。この
入力信号レベルを変えることにより、プリスケーラＩＣ
１８の交流テストの１つとしての入力感度試験を行うこ
とができる。
のテスタとの信号授受およびカード構成を表わす図であ
る。図３に示すように、本実施例のテストプローブカー
ド１１もＩＣ直流テスタ１０との間で直流信号の授受を
行い、プリスケーラＩＣ１８をウェーハ状態のまま交流
および直流の機能テストを行うものである。このテスト
プローブカード１１は、前述した図１のテストプローブ
カード１１と同様、ＯＳＣ１２，ＢＰＦ１３，４つのス
イッチ１４〜１７，ＭＭ１９，ＡＶＥ２０およびインバ
ータ２１を備える他に、ＯＳＣ１２とＢＰＦ１３間にＰ
ＩＮダイオード等で形成した可変減衰回路２３を設けた
ものである。この可変減衰回路２３は、交流テストの一
環としてＩＣ直流テスタ１０からの直流減衰制御信号Ｖ
ｇにより減衰量を制御することにより、プリスケーラＩ
Ｃ１８への入力信号レベルを変えることができる。この
入力信号レベルを変えることにより、プリスケーラＩＣ
１８の交流テストの１つとしての入力感度試験を行うこ
とができる。
【００３６】尚、テストプローブカード１１の基本構成
および基本動作は、前述した図１のカードと同様である
ので、その説明は省略する。
および基本動作は、前述した図１のカードと同様である
ので、その説明は省略する。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のプリスケ
ーラＩＣテスト方法は、プリスケーラＩＣのウェーハチ
ェックに用いるプローブカード上に、交流信号源と交流
／直流変換機能とを備え、集積回路テスト装置との間で
直流信号のみの授受を行うことにより、パッケージ組み
立て後の選別工程で行っていた直流試験選別と交流試験
選別とをウェーハチェック工程で行えるので、不良品Ｉ
Ｃを早期に選別できる上、選別工程の抜き取り試験化な
どを実現できるので、ＩＣ製造の途中工程を簡略化でき
るという効果がある。
ーラＩＣテスト方法は、プリスケーラＩＣのウェーハチ
ェックに用いるプローブカード上に、交流信号源と交流
／直流変換機能とを備え、集積回路テスト装置との間で
直流信号のみの授受を行うことにより、パッケージ組み
立て後の選別工程で行っていた直流試験選別と交流試験
選別とをウェーハチェック工程で行えるので、不良品Ｉ
Ｃを早期に選別できる上、選別工程の抜き取り試験化な
どを実現できるので、ＩＣ製造の途中工程を簡略化でき
るという効果がある。
【００３８】すなわち、ウェーハ段階において直流特性
不良，交流特性不良の選別を実現し、パッケージ組み立
て後における不良製品の低減を可能とし、ロスコストの
増大を回避することができる。また、パッケージ組み立
て後における交流選別抜き取り試験化などを実現し、工
程の簡略化や生産数量の増大を図ることができる。さら
に、設備費用も従来の約１／５０程度で済むので、ＩＣ
を安価に製造することができる。
不良，交流特性不良の選別を実現し、パッケージ組み立
て後における不良製品の低減を可能とし、ロスコストの
増大を回避することができる。また、パッケージ組み立
て後における交流選別抜き取り試験化などを実現し、工
程の簡略化や生産数量の増大を図ることができる。さら
に、設備費用も従来の約１／５０程度で済むので、ＩＣ
を安価に製造することができる。
【００３９】また、本発明のテストプローブカードは、
プリスケーラＩＣに対して交流信号を供給するための正
弦波発生回路と、そのＩＣからの出力の平均値を求める
平均値検出回路と、交流テストおよび直流テストを切り
換えるための複数のスイッチとを設けることにより、試
験装置（直流テスタ）との間には直流信号のみの授受で
済むので、交流テスタを用いずに交流テストを行うこと
ができ、テスト装置の簡略化を実現することができると
いう効果がある。しかも、かかる本発明のテストプロー
ブカードは、直流信号によるスイッチの切り換え制御だ
けで交流テストと直流テストを共に連続して行うことが
できるので、テスト時間（工数）を短縮できるという効
果がある。
プリスケーラＩＣに対して交流信号を供給するための正
弦波発生回路と、そのＩＣからの出力の平均値を求める
平均値検出回路と、交流テストおよび直流テストを切り
換えるための複数のスイッチとを設けることにより、試
験装置（直流テスタ）との間には直流信号のみの授受で
済むので、交流テスタを用いずに交流テストを行うこと
ができ、テスト装置の簡略化を実現することができると
いう効果がある。しかも、かかる本発明のテストプロー
ブカードは、直流信号によるスイッチの切り換え制御だ
けで交流テストと直流テストを共に連続して行うことが
できるので、テスト時間（工数）を短縮できるという効
果がある。
【００４０】さらに、本発明のテストプローブカード
は、前述した正弦波発生回路の後に可変減衰回路を設
け、この回路をＩＣ直流テスタからの直流信号により制
御することにより、プリスケーラＩＣの交流テストにお
ける入力感度試験をウェーハ段階で行うことができるの
で、テスト装置の簡略化やテスト時間の短縮に加え、テ
スト精度を向上させることができるという効果がある。
は、前述した正弦波発生回路の後に可変減衰回路を設
け、この回路をＩＣ直流テスタからの直流信号により制
御することにより、プリスケーラＩＣの交流テストにお
ける入力感度試験をウェーハ段階で行うことができるの
で、テスト装置の簡略化やテスト時間の短縮に加え、テ
スト精度を向上させることができるという効果がある。
【図１】本発明のプリスケーラＩＣテスト方法及びテス
トプローブカードの一実施例を説明するためのテスタと
の信号授受およびカード構成を表わす図である。
トプローブカードの一実施例を説明するためのテスタと
の信号授受およびカード構成を表わす図である。
【図２】図１における正弦波発生回路の動作時および停
止時のＡ点波形と周波数対平均電圧特性とを表わす図で
ある。
止時のＡ点波形と周波数対平均電圧特性とを表わす図で
ある。
【図３】本発明の他の実施例を説明するためのテスタと
の信号授受およびカード構成を表わす図である。
の信号授受およびカード構成を表わす図である。
【図４】従来の一例を説明するための直流試験を行うプ
ローブカードとテスタの概略図である。
ローブカードとテスタの概略図である。
【図５】従来の他の例を説明するための交流試験を行う
プローブカードとテスタの概略図である。
プローブカードとテスタの概略図である。
１０ ＩＣ直流テスタ １１ プローブカード １２ 正弦波発生回路（ＯＳＣ） １３ 帯域通過フィルタ（ＢＰＦ） １４ 第１のスイッチ １５ 第２のスイッチ １６ 第３のスイッチ １７ 第４のスイッチ １８ プリスケーラＩＣ １９ パルス幅変換回路（ＭＭ） ２０ 直流平均値電圧検出回路（ＡＶＥ） ２１ インバータ ２２ 配線パターン ２３ 可変減衰回路
Claims (3)
- 【請求項１】 集積回路テスト装置とプローブカードを
用い、直流信号の授受によりプリスケーラＩＣをウェー
ハ状態のまま機能テストを行うプリスケーラＩＣテスト
方法において、前記プローブカード上に、前記プリスケ
ーラＩＣの分周周波数領域で動作する正弦波発生手段
と、前記集積回路テスト装置からの制御信号によって切
換えられる複数の信号切換え手段と、前記プリスケーラ
ＩＣの出力の平均値を求める平均値検出手段とを有し、
前記正弦波発生手段の出力を前記プリスケーラＩＣに供
給してそのテスト出力をパルス幅変換し、前記平均値検
出手段を介してその直流電圧／電流を検出することによ
り前記プリスケーラＩＣの正常／異常の判定を含む交流
テストを行うとともに、前記複数の信号切換え手段の状
態を切替えて前記集積回路テスト装置からの直流テスト
信号により直流テストを行うことを特徴とするプリスケ
ーラＩＣテスト方法。 - 【請求項２】 集積回路テスト装置との間で直流信号の
授受を行い、プリスケーラＩＣをウェーハ状態のまま機
能テストするテストプローブカードにおいて、前記集積
回路テスト装置からの直流駆動制御信号により予め設定
した周波数の正弦波信号を発生する正弦波発生回路と、
前記正弦波発生回路の出力を前記プリスケーラＩＣに供
給する第１のスイッチ回路と、前記集積回路テスト装置
からの直流テスト信号を前記プリスケーラＩＣに供給す
る第２のスイッチ回路と、前記プリスケーラＩＣの直流
出力信号を受け前記集積回路テスト装置へ出力する第３
のスイッチ回路と、前記前記プリスケーラＩＣの交流出
力信号を伝達する第４のスイッチ回路と、前記第４のス
イッチ回路を介して入力した前記プリスケーラＩＣの前
記交流出力信号を予め設定したパルス幅に変換するパル
ス幅変換回路と、前記パルス幅変換回路の変換出力より
平均値直流電圧／電流を求めて前記集積回路テスト装置
へ出力する平均値電圧／電流検出回路とを有し、前記集
積回路テスト装置からの直流スイッチ制御信号に基いて
前記第１，第４のスイッチ回路と前記第２，第３のスイ
ッチ回路とを反転して制御することにより、直流信号の
みを用いて交流テストおよび直流テストの双方を行うこ
とを特徴とするテストプローブカード。 - 【請求項３】 集積回路テスト装置との間で直流信号の
授受を行い、プリスケーラＩＣをウェーハ状態のまま機
能テストするテストプローブカードにおいて、前記集積
回路テスト装置からの直流駆動制御信号により予め設定
した周波数の正弦波信号を発生する正弦波発生回路と、
前記正弦波発生回路の出力を前記集積回路テスト装置か
らの直流減衰制御信号により減衰させる可変減衰回路
と、前記正弦波発生回路の出力を前記プリスケーラＩＣ
に供給する第１のスイッチ回路と、前記集積回路テスト
装置からの直流テスト信号を前記プリスケーラＩＣに供
給する第２のスイッチ回路と、前記プリスケーラＩＣの
直流出力信号を受け前記集積回路テスト装置へ出力する
第３のスイッチ回路と、前記前記プリスケーラＩＣの交
流出力信号を伝達する第４のスイッチ回路と、前記第４
のスイッチ回路を介して入力した前記プリスケーラＩＣ
の前記交流出力信号を予め設定したパルス幅に変換する
パルス幅変換回路と、前記パルス幅変換回路の変換出力
より平均値直流電圧／電流を求めて前記集積回路テスト
装置へ出力する平均値電圧／電流検出回路とを有し、前
記集積回路テスト装置からの直流スイッチ制御信号に基
いて前記第１，第４のスイッチ回路と前記第２，第３の
スイッチ回路とを反転して制御することにより、直流信
号のみを用いて交流テストおよび直流テストの双方を行
うとともに、前記交流テストとして入力感度試験を行え
ることを特徴とするテストプローブカード。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6327888A JP2710574B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | プリスケーラｉｃテスト方法及びテストプローブカード |
| EP95120670A EP0723164A1 (en) | 1994-12-28 | 1995-12-28 | Prescaler IC testing method and test probe card |
| US08/580,365 US5604447A (en) | 1994-12-28 | 1995-12-28 | Prescaler IC testing method and test probe card |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6327888A JP2710574B2 (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | プリスケーラｉｃテスト方法及びテストプローブカード |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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