JP2715927B2 - プリスケーラｉｃテスト方法及びプリスケーラｉｃテスト装置 - Google Patents
プリスケーラｉｃテスト方法及びプリスケーラｉｃテスト装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、移動体通信等に用いら
れる高速・高集積回路ＩＣに属されるプリスケーラＩＣ
の製造工程におけるウェハーチェック時に導入されるプ
リスケーラＩＣテスト方法及びプリスケーラＩＣテスト
装置に関する。
れる高速・高集積回路ＩＣに属されるプリスケーラＩＣ
の製造工程におけるウェハーチェック時に導入されるプ
リスケーラＩＣテスト方法及びプリスケーラＩＣテスト
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、高速・高集積回路ＩＣの技術分野
は、将来の高度情報社会を構築するためのキー・テクノ
ロジーとして期待されている。特に高速・高集積回路Ｉ
Ｃの一例であるプリスケーラＩＣは、これを適用するシ
ステムにおけるＰＬＬ（フェーズ・ロックド・ループ）
の導入に伴なって使用頻度が高くなっている。
は、将来の高度情報社会を構築するためのキー・テクノ
ロジーとして期待されている。特に高速・高集積回路Ｉ
Ｃの一例であるプリスケーラＩＣは、これを適用するシ
ステムにおけるＰＬＬ（フェーズ・ロックド・ループ）
の導入に伴なって使用頻度が高くなっている。
【０００３】このようなプリスケーラＩＣを製造する場
合、拡散工程，ウェハーチェック工程（一般的にＰ／Ｗ
工程と呼ばれる），組み立て工程，選別工程，及び検査
工程をこの順で行っている。こうした製造工程におい
て、ウェハーチェック工程及び選別工程ではＩＣの特性
チェックが行われるが、ウェハーチェック工程では通常
テスト用プローブカードを用いてウェハー状態で直流特
性のチェックを行い、選別工程ではパッケージへの組み
立て後に特性のチェック及び特性の選別を行っている。
合、拡散工程，ウェハーチェック工程（一般的にＰ／Ｗ
工程と呼ばれる），組み立て工程，選別工程，及び検査
工程をこの順で行っている。こうした製造工程におい
て、ウェハーチェック工程及び選別工程ではＩＣの特性
チェックが行われるが、ウェハーチェック工程では通常
テスト用プローブカードを用いてウェハー状態で直流特
性のチェックを行い、選別工程ではパッケージへの組み
立て後に特性のチェック及び特性の選別を行っている。
【０００４】図４は、上述したウェハーチェック工程に
おいて使用される従来の直流試験用のテスト用プローブ
カード３２を含むプリスケーラＩＣテスト装置の基本構
成を示したものである。
おいて使用される従来の直流試験用のテスト用プローブ
カード３２を含むプリスケーラＩＣテスト装置の基本構
成を示したものである。
【０００５】このプリスケーラＩＣテスト装置では、テ
スト用プローブカード３２上に所定の配線パターン３３
が形成されており、配線パターン３３における一端側は
ＩＣテスト装置としてのＩＣテスタ３１に接続され，且
つその他端側はテスト用プローブカード３２上に載置さ
れた被測定物であるウェハー状態のプリスケーラＩＣ３
４に接続されている。
スト用プローブカード３２上に所定の配線パターン３３
が形成されており、配線パターン３３における一端側は
ＩＣテスト装置としてのＩＣテスタ３１に接続され，且
つその他端側はテスト用プローブカード３２上に載置さ
れた被測定物であるウェハー状態のプリスケーラＩＣ３
４に接続されている。
【０００６】ウェハーチェックを行う場合、ＩＣテスタ
３１とテスト用プローブカード３２との間で情報が授受
されるが、このとき予めＩＣテスタ３１に設定されてい
るテストプログラムに基づいて、ＩＣテスタ３１から直
流電圧情報がテスト用プローブカード３２の配線パター
ン３３の特定のものへ供給される。これにより、プリス
ケーラＩＣ３４に関しては直流電圧情報が電源電圧等と
なり、プリスケーラＩＣ３４からは出力電位情報が配線
パターン３３の他の特定のものを介してＩＣテスタ３１
に対して引き渡たされる。ＩＣテスタ３１では引き渡た
された出力電位情報に関し、予め設定された良，否に関
する判定基準に従ってプリスケーラＩＣ３４の良，不良
に関する判定を行う。即ち、ここでのテスト用プローブ
カード３２は、直流（ＤＣ）試験専用に構成されてい
る。
３１とテスト用プローブカード３２との間で情報が授受
されるが、このとき予めＩＣテスタ３１に設定されてい
るテストプログラムに基づいて、ＩＣテスタ３１から直
流電圧情報がテスト用プローブカード３２の配線パター
ン３３の特定のものへ供給される。これにより、プリス
ケーラＩＣ３４に関しては直流電圧情報が電源電圧等と
なり、プリスケーラＩＣ３４からは出力電位情報が配線
パターン３３の他の特定のものを介してＩＣテスタ３１
に対して引き渡たされる。ＩＣテスタ３１では引き渡た
された出力電位情報に関し、予め設定された良，否に関
する判定基準に従ってプリスケーラＩＣ３４の良，不良
に関する判定を行う。即ち、ここでのテスト用プローブ
カード３２は、直流（ＤＣ）試験専用に構成されてい
る。
【０００７】一方、テスト用プローブカードにより交流
（ＡＣ）試験を行う場合には、図５に示すような構成の
プリスケーラＩＣテスト装置が用いられる。
（ＡＣ）試験を行う場合には、図５に示すような構成の
プリスケーラＩＣテスト装置が用いられる。
【０００８】このプリスケーラＩＣテスト装置でも、テ
スト用プローブカード４２上に所定の配線パターン４３
が形成され、この配線パターン４３における一端側はＡ
Ｃ試験装置４２に接続され，且つその他端側はテスト用
プローブカード４２上に載置されたウェハー状態のプリ
スケーラＩＣ４４に接続されている。尚、ここでＩＣテ
スト装置としてのＡＣ試験装置４２はＡＣ信号源及びＡ
Ｃ試験部を含むもので、これらのＡＣ信号源及びＡＣ試
験部にはそれぞれ配線パターン４３の一端側における所
定箇所が接続されるようになっている。
スト用プローブカード４２上に所定の配線パターン４３
が形成され、この配線パターン４３における一端側はＡ
Ｃ試験装置４２に接続され，且つその他端側はテスト用
プローブカード４２上に載置されたウェハー状態のプリ
スケーラＩＣ４４に接続されている。尚、ここでＩＣテ
スト装置としてのＡＣ試験装置４２はＡＣ信号源及びＡ
Ｃ試験部を含むもので、これらのＡＣ信号源及びＡＣ試
験部にはそれぞれ配線パターン４３の一端側における所
定箇所が接続されるようになっている。
【０００９】ウェハーチェックを行う場合、予めＡＣ試
験装置４２に設定されているテストプログラムに基づい
て、ＡＣ信号源から交流電圧情報がテスト用プローブカ
ード４２の配線パターン４３の特定のものへ供給され
る。これにより、プリスケーラＩＣ４４に対してはこの
交流電圧情報が電源電圧等となり、プリスケーラＩＣ４
４からは出力電位情報が配線パターン４３の他の特定の
ものを介してＡＣ試験部に対して引き渡たされる。そこ
で、ＡＣ試験装置４１におけるＡＣ試験部では引き渡た
された出力電位情報に関し、予め設定された良，否に関
する判定基準に従ってプリスケーラＩＣ４４の良，不良
に関する判定を行う。
験装置４２に設定されているテストプログラムに基づい
て、ＡＣ信号源から交流電圧情報がテスト用プローブカ
ード４２の配線パターン４３の特定のものへ供給され
る。これにより、プリスケーラＩＣ４４に対してはこの
交流電圧情報が電源電圧等となり、プリスケーラＩＣ４
４からは出力電位情報が配線パターン４３の他の特定の
ものを介してＡＣ試験部に対して引き渡たされる。そこ
で、ＡＣ試験装置４１におけるＡＣ試験部では引き渡た
された出力電位情報に関し、予め設定された良，否に関
する判定基準に従ってプリスケーラＩＣ４４の良，不良
に関する判定を行う。
【００１０】因みに、プリスケーラのテストや半導体ウ
ェハーのテストに関連する技術としては、特開平１−２
１０８７５号公報に開示されたプリスケーラのテスト方
式，特開平２−９０８０６号公報に開示されたプリスケ
ーラ回路特性チェック装置，特開昭６２−１７０８５９
号公報に開示された半導体ウエハの探針基板，特開平３
−９０８７５号公報に開示されたウエーハ集積回路等が
挙げられる。
ェハーのテストに関連する技術としては、特開平１−２
１０８７５号公報に開示されたプリスケーラのテスト方
式，特開平２−９０８０６号公報に開示されたプリスケ
ーラ回路特性チェック装置，特開昭６２−１７０８５９
号公報に開示された半導体ウエハの探針基板，特開平３
−９０８７５号公報に開示されたウエーハ集積回路等が
挙げられる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上述した直流試験用の
テスト用プローブカードを含むプリスケーラＩＣテスト
装置による直流試験の場合、現実的には直流試験では排
除し切れない交流試験によってチェックされる不良判定
要素が残される。従って、直流試験のみでは不良要素を
残した中間製品を次の付加価値が加わる組み立て工程へ
流出させてしまうことになる。こうした場合、特にウェ
ハー状態のプリスケーラＩＣが不良であると、プリスケ
ーラＩＣのみならず組み立てに要した部品までを台無し
にしてしまうことになる。
テスト用プローブカードを含むプリスケーラＩＣテスト
装置による直流試験の場合、現実的には直流試験では排
除し切れない交流試験によってチェックされる不良判定
要素が残される。従って、直流試験のみでは不良要素を
残した中間製品を次の付加価値が加わる組み立て工程へ
流出させてしまうことになる。こうした場合、特にウェ
ハー状態のプリスケーラＩＣが不良であると、プリスケ
ーラＩＣのみならず組み立てに要した部品までを台無し
にしてしまうことになる。
【００１２】そこで、このような事態への対策として、
直流試験後に図５に示したような交流試験用のテスト用
プローブカードを含む構成のプリスケーラＩＣテスト装
置によって交流試験を行うことが考えられる。
直流試験後に図５に示したような交流試験用のテスト用
プローブカードを含む構成のプリスケーラＩＣテスト装
置によって交流試験を行うことが考えられる。
【００１３】しかしながら、このように直流試験と交流
試験とを段階別に行うと、結果的にウェハーチェック工
程での工数が増加されると共に、交流試験を行うための
専用のＡＣ試験装置が必要となり、設備面でコスト高に
なってしまう。
試験とを段階別に行うと、結果的にウェハーチェック工
程での工数が増加されると共に、交流試験を行うための
専用のＡＣ試験装置が必要となり、設備面でコスト高に
なってしまう。
【００１４】本発明は、かかる問題点を解決すべくなさ
れたもので、その技術的課題は、直流試験及び交流試験
の両方を可能にしてプリスケーラＩＣの良，不良を簡易
にして適確に判定し得るプリスケーラＩＣテスト方法及
びそれを適用した廉価に構成され得るプリスケーラＩＣ
テスト装置を提供することにある。
れたもので、その技術的課題は、直流試験及び交流試験
の両方を可能にしてプリスケーラＩＣの良，不良を簡易
にして適確に判定し得るプリスケーラＩＣテスト方法及
びそれを適用した廉価に構成され得るプリスケーラＩＣ
テスト装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、テスト
用プローブカード上におけるウェハー状態のプリスケー
ラＩＣと該テスト用プローブカード外のＩＣテスト装置
との間で直流信号を授受させて該プリスケーラＩＣに関
する機能テストを行うプリスケーラＩＣテスト方法にお
いて、ＩＣテスト装置から直流信号としての直流制御信
号をテスト用プローブカードに印加し、該直流制御信号
に応じて予め設定されたプリスケーラＩＣに関する分周
周波数領域で発振の有無を含む制御に従って発生した正
弦波信号を該プリスケーラＩＣに入力させ、該プリスケ
ーラＩＣから得られる正弦波出力信号に対してパルス幅
変換を行ったパルス幅変換出力信号の直流平均値を検出
することにより、該検出結果に基づいて該プリスケーラ
ＩＣの良，不良に関する判定を行うプリスケーラＩＣテ
スト方法が得られる。
用プローブカード上におけるウェハー状態のプリスケー
ラＩＣと該テスト用プローブカード外のＩＣテスト装置
との間で直流信号を授受させて該プリスケーラＩＣに関
する機能テストを行うプリスケーラＩＣテスト方法にお
いて、ＩＣテスト装置から直流信号としての直流制御信
号をテスト用プローブカードに印加し、該直流制御信号
に応じて予め設定されたプリスケーラＩＣに関する分周
周波数領域で発振の有無を含む制御に従って発生した正
弦波信号を該プリスケーラＩＣに入力させ、該プリスケ
ーラＩＣから得られる正弦波出力信号に対してパルス幅
変換を行ったパルス幅変換出力信号の直流平均値を検出
することにより、該検出結果に基づいて該プリスケーラ
ＩＣの良，不良に関する判定を行うプリスケーラＩＣテ
スト方法が得られる。
【００１６】又、本発明によれば、ウェハー状態のプリ
スケーラＩＣが載置されると共に，該プリスケーラＩＣ
とＩＣテスト装置との間で直流信号を授受させて該プリ
スケーラＩＣに関する機能テストを行うためのテスト用
プローブカードにおいて、直流信号として外部からの直
流制御信号に応じて予め設定されたプリスケーラＩＣに
関する分周周波数領域で発振の有無を含む制御に従って
正弦波信号を発生して該プリスケーラＩＣへ伝送する正
弦波発生回路と、プリスケーラＩＣからの正弦波出力信
号を予め設定したパルス幅に変換してパルス幅変換出力
信号を出力するパルス幅変換回路と、パルス幅変換出力
信号の直流平均値を検出して直流平均値検出信号を出力
する直流平均値検出回路とを含むテスト用プローブカー
ドが得られる。
スケーラＩＣが載置されると共に，該プリスケーラＩＣ
とＩＣテスト装置との間で直流信号を授受させて該プリ
スケーラＩＣに関する機能テストを行うためのテスト用
プローブカードにおいて、直流信号として外部からの直
流制御信号に応じて予め設定されたプリスケーラＩＣに
関する分周周波数領域で発振の有無を含む制御に従って
正弦波信号を発生して該プリスケーラＩＣへ伝送する正
弦波発生回路と、プリスケーラＩＣからの正弦波出力信
号を予め設定したパルス幅に変換してパルス幅変換出力
信号を出力するパルス幅変換回路と、パルス幅変換出力
信号の直流平均値を検出して直流平均値検出信号を出力
する直流平均値検出回路とを含むテスト用プローブカー
ドが得られる。
【００１７】更に、本発明によれば、上記テスト用プロ
ーブカードと、直流制御信号を出力するＩＣテスト装置
とを含むプリスケーラＩＣテスト装置において、正弦波
信号は直流制御信号に応じて発生されるものであり、Ｉ
Ｃテスト装置は、直流平均値検出信号に基づいてプリス
ケーラＩＣの良，不良に関する判定を行うプリスケーラ
ＩＣテスト装置が得られる。
ーブカードと、直流制御信号を出力するＩＣテスト装置
とを含むプリスケーラＩＣテスト装置において、正弦波
信号は直流制御信号に応じて発生されるものであり、Ｉ
Ｃテスト装置は、直流平均値検出信号に基づいてプリス
ケーラＩＣの良，不良に関する判定を行うプリスケーラ
ＩＣテスト装置が得られる。
【００１８】
【実施例】以下に実施例を挙げ、本発明のプリスケーラ
ＩＣテスト方法及びプリスケーラＩＣテスト装置につい
て、図面を参照して詳細に説明する。
ＩＣテスト方法及びプリスケーラＩＣテスト装置につい
て、図面を参照して詳細に説明する。
【００１９】最初に、本発明のプリスケーラＩＣテスト
方法の概要を簡単に説明する。このプリスケーラＩＣテ
スト方法は、従来のようにテスト用プローブカード上に
おけるウェハー状態のプリスケーラＩＣとテスト用プロ
ーブカード外のＩＣテスト装置との間で直流信号を授受
させてプリスケーラＩＣに関する機能テストを行う際、
ＩＣテスト装置から直流信号としての直流制御信号をテ
スト用プローブカードに印加し、この直流制御信号に応
じて予め設定されたプリスケーラＩＣに関する分周周波
数領域で発振の有無を含む制御に従って発生した正弦波
信号をプリスケーラＩＣに入力させ、このプリスケーラ
ＩＣから得られる正弦波出力信号に対してパルス幅変換
を行ったパルス幅変換出力信号の直流平均値を検出する
ことにより、その検出結果に基づいてプリスケーラＩＣ
の良，不良に関する判定を行うものである。
方法の概要を簡単に説明する。このプリスケーラＩＣテ
スト方法は、従来のようにテスト用プローブカード上に
おけるウェハー状態のプリスケーラＩＣとテスト用プロ
ーブカード外のＩＣテスト装置との間で直流信号を授受
させてプリスケーラＩＣに関する機能テストを行う際、
ＩＣテスト装置から直流信号としての直流制御信号をテ
スト用プローブカードに印加し、この直流制御信号に応
じて予め設定されたプリスケーラＩＣに関する分周周波
数領域で発振の有無を含む制御に従って発生した正弦波
信号をプリスケーラＩＣに入力させ、このプリスケーラ
ＩＣから得られる正弦波出力信号に対してパルス幅変換
を行ったパルス幅変換出力信号の直流平均値を検出する
ことにより、その検出結果に基づいてプリスケーラＩＣ
の良，不良に関する判定を行うものである。
【００２０】図１は、このプリスケーラＩＣテスト方法
を適用したプリスケーラＩＣテスト装置の基本構成を示
したものである。
を適用したプリスケーラＩＣテスト装置の基本構成を示
したものである。
【００２１】このプリスケーラＩＣテスト装置において
も、所定の配線パターン１３が施されたテスト用プロー
ブカード１２上にウェハー状態のプリスケーラＩＣ１４
が載置され、プリスケーラＩＣ１４とＩＣテスト装置と
してのＩＣテスタ１１との間で配線パターン１３を介し
て直流信号を授受させてプリスケーラＩＣ１４に関する
機能テストを行うように構成されている。
も、所定の配線パターン１３が施されたテスト用プロー
ブカード１２上にウェハー状態のプリスケーラＩＣ１４
が載置され、プリスケーラＩＣ１４とＩＣテスト装置と
してのＩＣテスタ１１との間で配線パターン１３を介し
て直流信号を授受させてプリスケーラＩＣ１４に関する
機能テストを行うように構成されている。
【００２２】但し、テスト用プローブカード１２上に
は、直流制御信号としての直流制御電圧５に応じて予め
設定されたプリスケーラＩＣ１４に関する分周周波数領
域で発振の有無を含む制御に従って正弦波信号を発生す
る正弦波発生回路（ＯＳＣ）１と、この正弦波信号を所
定の周波数帯域で濾過してプリスケーラＩＣ１４へ伝送
する帯域通過フィルタ（ＢＰＦ）２と、プリスケーラＩ
Ｃ１４からの正弦波出力信号を予め設定したパルス幅に
変換してパルス幅変換出力信号を出力するパルス幅変換
回路（ＭＭ）３と、パルス幅変換出力信号の直流平均値
を検出して直流平均値検出信号を出力する直流平均値検
出回路としての平均値電圧検出回路（ＡＶＥ）４とが備
えられている。尚、ここでの直流平均値には平均電圧値
が用いられ、直流平均値検出信号は平均値電圧信号とな
る。
は、直流制御信号としての直流制御電圧５に応じて予め
設定されたプリスケーラＩＣ１４に関する分周周波数領
域で発振の有無を含む制御に従って正弦波信号を発生す
る正弦波発生回路（ＯＳＣ）１と、この正弦波信号を所
定の周波数帯域で濾過してプリスケーラＩＣ１４へ伝送
する帯域通過フィルタ（ＢＰＦ）２と、プリスケーラＩ
Ｃ１４からの正弦波出力信号を予め設定したパルス幅に
変換してパルス幅変換出力信号を出力するパルス幅変換
回路（ＭＭ）３と、パルス幅変換出力信号の直流平均値
を検出して直流平均値検出信号を出力する直流平均値検
出回路としての平均値電圧検出回路（ＡＶＥ）４とが備
えられている。尚、ここでの直流平均値には平均電圧値
が用いられ、直流平均値検出信号は平均値電圧信号とな
る。
【００２３】このようなテスト用プローブカード１２
と、直流信号として分周周波数を設定する直流制御電圧
５を出力するＩＣテスタ１１とを含むプリスケーラＩＣ
テスト装置では、正弦波発生回路１から得られる正弦波
信号は直流制御電圧５に応じて発生（発振の有無が制
御）され、平均値電圧信号に基づいてＩＣテスタ１１が
プリスケーラＩＣ１４の良，不良に関する判定を行う。
と、直流信号として分周周波数を設定する直流制御電圧
５を出力するＩＣテスタ１１とを含むプリスケーラＩＣ
テスト装置では、正弦波発生回路１から得られる正弦波
信号は直流制御電圧５に応じて発生（発振の有無が制
御）され、平均値電圧信号に基づいてＩＣテスタ１１が
プリスケーラＩＣ１４の良，不良に関する判定を行う。
【００２４】このプリスケーラＩＣテスト装置による動
作を説明すると、先ずＩＣテスタ１１より印加される直
流制御電圧５によって正弦波発生回路１が所望の分周周
波数領域で正弦波信号を発生する。この正弦波発生回路
１に予め設定される信号周波数ｆa としては、プリスケ
ーラＩＣ１４の自走発振周波数である１／Ｎ（但し、Ｎ
は分周比とする）よりも充分低い周波数を設定しておく
ことが望ましい。例えば、分周比が１／１０で自走発振
周波数が２ＧＨｚである場合には設定信号周波数を２０
ＭＨｚ程度とすれば良いことになる。尚、正弦波発生回
路１の回路構成例としては、発振周波数が低くて済むの
で、自走マルチバイブレータを用いる場合が挙げられ
る。
作を説明すると、先ずＩＣテスタ１１より印加される直
流制御電圧５によって正弦波発生回路１が所望の分周周
波数領域で正弦波信号を発生する。この正弦波発生回路
１に予め設定される信号周波数ｆa としては、プリスケ
ーラＩＣ１４の自走発振周波数である１／Ｎ（但し、Ｎ
は分周比とする）よりも充分低い周波数を設定しておく
ことが望ましい。例えば、分周比が１／１０で自走発振
周波数が２ＧＨｚである場合には設定信号周波数を２０
ＭＨｚ程度とすれば良いことになる。尚、正弦波発生回
路１の回路構成例としては、発振周波数が低くて済むの
で、自走マルチバイブレータを用いる場合が挙げられ
る。
【００２５】正弦波発生回路１から出力された正弦波信
号は、帯域通過フィルタ２を経てプリスケーラＩＣ１４
へ伝送され、プリスケーラＩＣ１４が正常動作を行って
いれば、ｆa ／Ｎの周波数の正弦波出力信号がパルス幅
変換回路３へ伝送される。
号は、帯域通過フィルタ２を経てプリスケーラＩＣ１４
へ伝送され、プリスケーラＩＣ１４が正常動作を行って
いれば、ｆa ／Ｎの周波数の正弦波出力信号がパルス幅
変換回路３へ伝送される。
【００２６】このパルス幅変換回路３は、入力された正
弦波出力信号の例えば立ち上がり部を検出し、予め設定
されたパルス幅Ｔａのパルス幅変換出力信号を出力す
る。このパルス幅Ｔａとしては、プリスケーラＩＣ１４
が自走した時の出力信号として表われる信号周期の１／
２以下の時間幅にしておくことが望ましい。従って、プ
リスケーラＩＣ１４の自走出力信号周波数が２００ＭＨ
ｚのときには、パルス幅Ｔａを２ｍｓｅｃ程度に設定す
れば良いことになる。尚、パルス幅変換回路３の回路構
成例としては、単安定マルチバイブレータを用いる場合
が挙げられる。
弦波出力信号の例えば立ち上がり部を検出し、予め設定
されたパルス幅Ｔａのパルス幅変換出力信号を出力す
る。このパルス幅Ｔａとしては、プリスケーラＩＣ１４
が自走した時の出力信号として表われる信号周期の１／
２以下の時間幅にしておくことが望ましい。従って、プ
リスケーラＩＣ１４の自走出力信号周波数が２００ＭＨ
ｚのときには、パルス幅Ｔａを２ｍｓｅｃ程度に設定す
れば良いことになる。尚、パルス幅変換回路３の回路構
成例としては、単安定マルチバイブレータを用いる場合
が挙げられる。
【００２７】パルス幅変換回路３より出力されたパルス
幅Ｔａのパルス幅変換出力信号（この信号の周期はプリ
スケーラＩＣ１４から出力された正弦波出力信号の周期
と等しい）からは、平均値電圧検出回路４において平均
値電圧が検出され、平均値電圧信号としてＩＣテスタ１
１へ伝送される。
幅Ｔａのパルス幅変換出力信号（この信号の周期はプリ
スケーラＩＣ１４から出力された正弦波出力信号の周期
と等しい）からは、平均値電圧検出回路４において平均
値電圧が検出され、平均値電圧信号としてＩＣテスタ１
１へ伝送される。
【００２８】そこで、次にＩＣテスタ１１から出力され
る直流制御電圧５をオフすることにより、正弦波発生回
路１の動作は停止し、プリスケーラＩＣ１４の入力信号
は無信号状態となる。このため、プリスケーラＩＣ１４
は自走状態となってプリスケーラＩＣ１４の正弦波出力
信号としては自走時周波数ｆosc ／Ｎの信号が出力され
る。以後はこのような動作が繰り返される。
る直流制御電圧５をオフすることにより、正弦波発生回
路１の動作は停止し、プリスケーラＩＣ１４の入力信号
は無信号状態となる。このため、プリスケーラＩＣ１４
は自走状態となってプリスケーラＩＣ１４の正弦波出力
信号としては自走時周波数ｆosc ／Ｎの信号が出力され
る。以後はこのような動作が繰り返される。
【００２９】即ち、ＩＣテスタ１１において平均電圧検
出回路４から出力される平均値電圧信号の平均値電圧と
しては、それぞれ図２（ａ），（ｂ）のタイミングチャ
ートで示されるように、ＯＳＣ動作時の平均値電圧ＶA1
と自走時の平均値電圧ＶA2との二つの値が検出される。
出回路４から出力される平均値電圧信号の平均値電圧と
しては、それぞれ図２（ａ），（ｂ）のタイミングチャ
ートで示されるように、ＯＳＣ動作時の平均値電圧ＶA1
と自走時の平均値電圧ＶA2との二つの値が検出される。
【００３０】ここで、図３に示される周波数ｆに対する
平均値電圧ＶA の関係において、ＩＣテスタ１１によっ
てＯＳＣ動作時周波数ｆa ／Ｎに対応する平均値電圧Ｖ
A1，自走時周波数ｆosc ／Ｎに対応する平均値電圧ＶA2
以外の電圧値が検出された場合、プリスケーラＩＣ１４
は設定値以外の動作をしていることになる。従って、Ｉ
Ｃテスタ１１では結果的に平均値電圧ＶA1，ＶA2をチェ
ックすることによってプリスケーラＩＣ１４の良，不良
に関する判定を行い、平均値電圧ＶA1，ＶA2以外の場合
は異常動作値を示す不良とみなす。
平均値電圧ＶA の関係において、ＩＣテスタ１１によっ
てＯＳＣ動作時周波数ｆa ／Ｎに対応する平均値電圧Ｖ
A1，自走時周波数ｆosc ／Ｎに対応する平均値電圧ＶA2
以外の電圧値が検出された場合、プリスケーラＩＣ１４
は設定値以外の動作をしていることになる。従って、Ｉ
Ｃテスタ１１では結果的に平均値電圧ＶA1，ＶA2をチェ
ックすることによってプリスケーラＩＣ１４の良，不良
に関する判定を行い、平均値電圧ＶA1，ＶA2以外の場合
は異常動作値を示す不良とみなす。
【００３１】このプリスケーラＩＣテスト装置の場合、
ＩＣテスタ１１からの直流制御信号，及びパルス幅変換
回路３は交流試験機能として働くため、この装置では交
流試験と直流試験とを併用することができる。
ＩＣテスタ１１からの直流制御信号，及びパルス幅変換
回路３は交流試験機能として働くため、この装置では交
流試験と直流試験とを併用することができる。
【００３２】
【発明の効果】以上に述べたように、本発明のプリスケ
ーラＩＣテスト方法によれば、プリスケーラＩＣのウェ
ハーチェックに用いるテスト用プローブカード上で交流
試験を行い得るので、ウェハー状態のプリスケーラＩＣ
に関して直流特性不良，及び交流動作不良の選別を行う
ことで直流試験及び交流試験の両方を可能にしてプリス
ケーラＩＣの良，不良を簡易にして適確に判定し得るよ
うになり、このプリスケーラＩＣテスト方法を適用した
プリスケーラＩＣテスト装置も簡素にして廉価に構成さ
れ得るようになる。この結果、パッケージ組立て後の交
流不良要素による不良発生が低減化され、従来の場合と
比べて損失コストを約１／１０に改善することができ、
従来のようなパッケージ組立て後におけるＡＣ試験工程
を排除して工程の簡略化が図られるようになる。加え
て、設備投資の点においても、従来の交流試験用の専用
装置を備える場合に比べて費用を僅か（約１／５００）
で済ませることができ、結果的に製品単価における設備
回収分を減少させることができるようになる。
ーラＩＣテスト方法によれば、プリスケーラＩＣのウェ
ハーチェックに用いるテスト用プローブカード上で交流
試験を行い得るので、ウェハー状態のプリスケーラＩＣ
に関して直流特性不良，及び交流動作不良の選別を行う
ことで直流試験及び交流試験の両方を可能にしてプリス
ケーラＩＣの良，不良を簡易にして適確に判定し得るよ
うになり、このプリスケーラＩＣテスト方法を適用した
プリスケーラＩＣテスト装置も簡素にして廉価に構成さ
れ得るようになる。この結果、パッケージ組立て後の交
流不良要素による不良発生が低減化され、従来の場合と
比べて損失コストを約１／１０に改善することができ、
従来のようなパッケージ組立て後におけるＡＣ試験工程
を排除して工程の簡略化が図られるようになる。加え
て、設備投資の点においても、従来の交流試験用の専用
装置を備える場合に比べて費用を僅か（約１／５００）
で済ませることができ、結果的に製品単価における設備
回収分を減少させることができるようになる。
【図１】本発明の一実施例に係るテスト用プローブカー
ドを含むプリスケーラＩＣテスト装置の基本構成を示し
たものである。
ドを含むプリスケーラＩＣテスト装置の基本構成を示し
たものである。
【図２】図１に示すプリスケーラＩＣテスト装置に備え
られるＩＣテスタに伝送される平均値電圧信号の平均値
電圧のタイミングチャートを示したもので、（ａ）はＯ
ＳＣ動作時の平均値電圧に関するもの，（ｂ）は自走時
の平均値電圧に関するものである。
られるＩＣテスタに伝送される平均値電圧信号の平均値
電圧のタイミングチャートを示したもので、（ａ）はＯ
ＳＣ動作時の平均値電圧に関するもの，（ｂ）は自走時
の平均値電圧に関するものである。
【図３】図２で説明したＩＣテスタにおける周波数に対
する平均値電圧信号の平均値電圧の関係を示したもので
ある。
する平均値電圧信号の平均値電圧の関係を示したもので
ある。
【図４】従来の直流試験用のテスト用プローブカードを
含むプリスケーラＩＣテスト装置の基本構成を示したも
のである。
含むプリスケーラＩＣテスト装置の基本構成を示したも
のである。
【図５】従来の交流試験用のテスト用プローブカードを
含むプリスケーラＩＣテスト装置の基本構成を示したも
のである。
含むプリスケーラＩＣテスト装置の基本構成を示したも
のである。
１ 正弦波発生回路（ＯＳＣ） ２ 帯域通過フィルタ（ＢＰＦ） ３ パルス幅変換回路（ＭＭ） ４ 平均電圧検出回路（ＡＶＥ） ５ 直流制御電圧 １１，３１ ＩＣテスタ ４１ ＡＣ試験装置 １２，３２，４２ テスト用プローブカード １３，３３，４３ 配線パターン １４，３４，４４ プリスケーラＩＣ
Claims (3)
- 【請求項１】 テスト用プローブカード上におけるウェ
ハー状態のプリスケーラＩＣと該テスト用プローブカー
ド外のＩＣテスト装置との間で直流信号を授受させて該
プリスケーラＩＣに関する機能テストを行うプリスケー
ラＩＣテスト方法において、前記ＩＣテスト装置から前
記直流信号としての直流制御信号を前記テスト用プロー
ブカードに印加し、該直流制御信号に応じて予め設定さ
れた前記プリスケーラＩＣに関する分周周波数領域で発
振の有無を含む制御に従って発生した正弦波信号を該プ
リスケーラＩＣに入力させ、該プリスケーラＩＣから得
られる正弦波出力信号に対してパルス幅変換を行ったパ
ルス幅変換出力信号の直流平均値を検出することによ
り、該検出結果に基づいて該プリスケーラＩＣの良，不
良に関する判定を行うことを特徴とするプリスケーラＩ
Ｃテスト方法。 - 【請求項２】 ウェハー状態のプリスケーラＩＣが載置
されると共に，該プリスケーラＩＣとＩＣテスト装置と
の間で直流信号を授受させて該プリスケーラＩＣに関す
る機能テストを行うためのテスト用プローブカードにお
いて、前記直流信号として外部からの直流制御信号に応
じて予め設定された前記プリスケーラＩＣに関する分周
周波数領域で発振の有無を含む制御に従って正弦波信号
を発生して該プリスケーラＩＣへ伝送する正弦波発生回
路と、前記プリスケーラＩＣからの正弦波出力信号を予
め設定したパルス幅に変換してパルス幅変換出力信号を
出力するパルス幅変換回路と、前記パルス幅変換出力信
号の直流平均値を検出して直流平均値検出信号を出力す
る直流平均値検出回路とを含むことを特徴とするテスト
用プローブカード。 - 【請求項３】 請求項２記載のテスト用プローブカード
と、前記直流制御信号を出力するＩＣテスト装置とを含
むプリスケーラＩＣテスト装置において、前記正弦波信
号は前記直流制御信号に応じて発生されるものであり、
前記ＩＣテスト装置は、前記直流平均値検出信号に基づ
いて前記プリスケーラＩＣの良，不良に関する判定を行
うことを特徴とするプリスケーラＩＣテスト装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6209808A JP2715927B2 (ja) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | プリスケーラｉｃテスト方法及びプリスケーラｉｃテスト装置 |
| US08/520,783 US5701087A (en) | 1994-09-02 | 1995-08-30 | Prescaler IC test method capable of executing alternate current test by the use of IC tester for direct current test |
| EP95113726A EP0702303A1 (en) | 1994-09-02 | 1995-08-31 | Prescaler IC test method capable of executing alternate current test by the use of IC tester for direct current test |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6209808A JP2715927B2 (ja) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | プリスケーラｉｃテスト方法及びプリスケーラｉｃテスト装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0875816A JPH0875816A (ja) | 1996-03-22 |
| JP2715927B2 true JP2715927B2 (ja) | 1998-02-18 |
Family
ID=16578951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6209808A Expired - Fee Related JP2715927B2 (ja) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | プリスケーラｉｃテスト方法及びプリスケーラｉｃテスト装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5701087A (ja) |
| EP (1) | EP0702303A1 (ja) |
| JP (1) | JP2715927B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6466007B1 (en) * | 2000-08-14 | 2002-10-15 | Teradyne, Inc. | Test system for smart card and indentification devices and the like |
| JP2006194620A (ja) * | 2005-01-11 | 2006-07-27 | Tokyo Electron Ltd | プローブカード及び検査用接触構造体 |
| JP4731414B2 (ja) * | 2006-06-26 | 2011-07-27 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体集積回路装置およびそのテスト方法 |
| US7915902B2 (en) * | 2006-10-18 | 2011-03-29 | Mongtage Technology Group Limited | Dynamic burn-in systems and apparatuses |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4547724A (en) * | 1983-02-07 | 1985-10-15 | Tektronix, Inc. | Method and apparatus for detection of non-linear electrical devices |
| JPS62170859A (ja) * | 1986-01-24 | 1987-07-27 | Fujitsu Ltd | 半導体ウエハの探針基板 |
| JPS6365377A (ja) * | 1986-09-06 | 1988-03-23 | Akuto Denshi Kk | 広帯域フラツタメ−タの同調方法 |
| JPH01194432A (ja) * | 1988-01-29 | 1989-08-04 | Nec Corp | 集積回路チップの選別装置 |
| US5202626A (en) * | 1991-10-25 | 1993-04-13 | Motorola, Inc. | On-chip self-test circuit |
-
1994
- 1994-09-02 JP JP6209808A patent/JP2715927B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-08-30 US US08/520,783 patent/US5701087A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-08-31 EP EP95113726A patent/EP0702303A1/en not_active Withdrawn
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| トランジスタ技術編集部「実用電子回路ハンドブック（３）」（１９９０年３月２０日，第１８版発行）ＣＱ出版社 Ｐ．１１９−１２６ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0702303A1 (en) | 1996-03-20 |
| US5701087A (en) | 1997-12-23 |
| JPH0875816A (ja) | 1996-03-22 |
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