JPH0818165A - 半導体レーザ装置 - Google Patents
半導体レーザ装置Info
- Publication number
- JPH0818165A JPH0818165A JP6151182A JP15118294A JPH0818165A JP H0818165 A JPH0818165 A JP H0818165A JP 6151182 A JP6151182 A JP 6151182A JP 15118294 A JP15118294 A JP 15118294A JP H0818165 A JPH0818165 A JP H0818165A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor laser
- laser device
- stem
- protective cap
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Abstract
体レーザ装置を光ピックアップに適用した場合等に、ア
クセス時間の短縮、装置の小型化を達成できるようにす
る。 【構成】保護キャップ6の側壁面の一部を取り除いてブ
リッジ状に構成することで、半導体レーザ装置の厚みを
薄くする。その際、半導体レーザ素子31等の搭載され
ている半導体素子の表面には、Al2O3 、SiO2、SiN、Mg
F2、Si等からなる保護層を形成して外環境から保護す
る。また、リード端子として、フレキシブル基板37を
用いることにより、この部分でも薄型化,小型化をはか
る。
Description
光ピックアップ等として用いられる半導体レーザ装置に
関する。
られる半導体レーザ装置は、一般に、レーザダイオード
(半導体レーザ素子)とその光出力検出用のフォトダイ
オードで構成する形態、または、上記形態に加えて、ホ
ログラム素子と信号検出用のフォトダイオードを付加し
た形態のいずれかである。前記ホログラム素子は、下面
にレーザ光を2つのトラッキング副ビームとメディアか
らの情報読み出し用主ビームに分けるための光回折格子
が形成され、かつ上面にメディアからの反射光を信号検
出用フォトダイオードに導くための光路回折用格子が形
成されたものである。そして、前記レーザダイオード、
光出力検出用のフォトダイオード、信号検出用のフォト
ダイオード、の各部品はステム上に配置されている。
構成例を説明する。
ム105上に、半導体レーザ素子(レーザチップ)を含
むレーザ出力部101、光出力検出部102、および信
号検出部103を備えたものである。なお、レーザ出力
部101は、台座部101b上にレーザチップ101a
をマウントしたものであり、この例の構成では、信号検
出部103も台座部101b上に配置されている。これ
らのレーザ出力部101、光出力検出部102、および
信号検出部103は、外環境からの保護のために、保護
キャップ106によって気密封入されている。保護キャ
ップ106はステム105側の面が開口した箱型のもの
で、開口面の周囲には鍔部106aが形成されている。
保護キャップ106は鍔部106aがステム105に溶
着されることで内部が気密状態になっている。なお、図
においては、保護キャップ106の一部を切り欠いて示
している。
が通され、このリード端子107とレーザ出力部10
1、光出力検出部102,信号検出部103と、が金線
109により接続されているが、前記したように保護キ
ャップ106内の気密性を保持するために、前記リード
端子107とステム105との間はハーメチックシール
108が設けられている。
ラム素子104の固定台としても兼用されており、保護
キャップ106の上面には、石英ガラス等からなるガラ
ス窓110が形成され、ガラス窓110の上面にホログ
ラム素子104が配置されている。これにより、レーザ
出力部101から出力されたレーザ光がガラス窓11
0、ホログラム素子104を介して外部へ放射される。
アップ装置の構成例を図6を参照して説明する。
を光走査するためのものであり、ハウジング122内に
半導体レーザ装置100、レンズ,ミラー等の光学部品
123、対物レンズ124、等を備えている。半導体レ
ーザ装置100からホログラム素子104を介して出力
されたレーザ光130は、光学部品123、対物レンズ
124を介して光ディスク121に照射され、光ディス
ク121で反射された後、再び対物レンズ124、光学
部品123を介して半導体レーザ装置100に入力さ
れ、半導体レーザ装置100内の信号検出部103によ
り光信号が検出される。なお、半導体レーザ装置100
のリード端子107は、基板125上に配置される。基
板125は、信号基板126により図外の駆動系と接続
されたものであり、外部の駆動系の信号を基板125を
介して半導体レーザ装置100に伝達する。
装置に用いられる光ピックアップ装置は、薄型である程
好ましい。薄型になれば重量が軽くなり、光ディスク装
置としてのアクセス時間が短縮されるからである。ま
た、光ディスク装置自体も小型化,薄型化できるととも
に、軽量化できる利点が生じる。
ザ装置100の厚みt(図5,図6参照)がネックとな
って、光ピックアップ装置の薄型化が困難になってお
り、アクセス時間の短縮、装置の軽量化を追求しきれず
にいた。すなわち、図5に示すように、半導体レーザ装
置は、レーザ出力部101、光出力検出部102、信号
検出部103、等を気密封入するために保護キャップ1
06を有しており、保護キャップ106をステム105
上に密着させるための構成(鍔106a)が必要となる
ために、ある程度以上の薄型化は困難であった。また、
上記気密封入のためには、ハーメチックシール108も
必要であり、この構成のために、ますます薄型化が困難
となっていた。
型化することによって、上記アクセス時間の問題や、光
ピックアップの薄型化の問題を解消することのできる半
導体レーザ装置を提供することにある。
は、ステム上に、少なくとも、半導体レーザ素子、受光
素子等の半導体素子を搭載し、これらの半導体素子の上
方に保護キャップを配置した半導体レ ザ装置におい
て、前記保護キャップの側壁面の一部を取り除いて該保
護キャップをブリッジ状に構成するとともに、前記半導
体レーザ素子等の半導体素子を、保護層でコーティング
してなることを特徴とする。
の半導体レーザ装置において、前記ステム上に搭載され
た半導体素子と、半導体レーザ装置の外部との信号入出
力端子として、フレキシブル基板型のリード端子を備え
たことを特徴とする。
は、ステム上に配置される保護キャップがブリッジ状に
構成されている、すなわち、一部の側壁面が取り除かれ
ているため、その取り除かれた分、ステムおよび半導体
レーザ装置全体の幅が薄くなり、重量も軽くなる。この
とき、保護キャップの側壁面を取り除く側を、該半導体
レーザ装置が適用される装置(光ピックアップ装置等)
の厚み方向と一致させておけば、前記光ピックアップ装
置等の厚みを薄くすることができる。このように保護キ
ャップの側壁面を取り除く際、半導体レーザ素子や受光
素子等の半導体素子には、保護層をコーティングしてい
るため、非気密による劣化が生じることがない。
出力部,光出力検出部と、外部との信号入力端子とし
て、フレキシブル基板型のリード端子が用いられる。こ
のフレキシブル基板型のリード端子は、従来の装置で用
いていた一般的なリード端子に比べて厚みが薄い。その
ため、半導体レーザ装置を薄型に構成することが可能と
なる。
明する。
示す半導体レーザ装置の斜視図である。
に、半導体レーザ素子を含むレーザ出力部1を備えてい
る。レーザ出力部1は、L字型の柱状の台座部1bの側
壁面に、レーザダイオードを含むレーザチップ1aを配
置したものである。レーザチップ1aの下側近傍にはレ
ーザ出力光の状態を検出するための光出力検出部2が配
置されている。光出力検出部2はフォトダイオードを含
んでいる。また、レーザ出力部1の台座部1bの上面に
は、5〜6個程度のフォトダイオードを有し、光ディス
クからの反射光を検出するための信号検出部3が配置さ
れている。
As,AlGaAs等を接合してなるレーザダイオードであり、
表面には保護膜1cが形成されている。保護膜1cは、
透光性、湿度等に対する耐性を有するとともに、GaAs等
からなるレーザダイオードと反応しない材料からなり、
例えば、Al2O3 、SiO2、SiN、MgF2、Si等からなる。保
護膜1cは、レーザチップ1aの製造工程の最終段階に
おいて、蒸着等の方法により数千〜数万Åの厚みでレー
ザチップ1aの表面に形成される。ただし、レーザチッ
プ1aの電極部1dには保護膜1bを形成しない。この
ため、電極部1dは劣化を防止するために金(Au)等の
耐性の良いもので構成される。
面にも上記レーザチップ1aと同様に保護膜が形成さ
れ、かつ、それらの電極部はAu等で構成される。
ド端子7はステム5部分で接着剤8によって固定されて
いる。そして、各リード端子7は、金線9によって半導
体レーザチップ1aや、光出力検出部2,信号検出部3
のフォトダイオードと接続されている。なお、リード端
子7、および、レーザチップ1a,光出力検出部2,信
号検出部3の電極部は、金(Au)等の安定した材料を用
いることにより、信号の伝達性の劣化を防止することが
できる。
部2、信号検出部3の上方には保護キャップ6が設けら
れ、該保護キャップ6上にホログラム素子4が固定され
る。保護キャップ6は、従来の保護キャップ(図5中1
06)の対向した側壁面が取り除かれることで、ほぼコ
字型の断面形状を有するブリッジ形状に形成されたもの
で、開放片の端部にステム5への接着固定用の鍔部6a
が形成されている。保護キャップ6は、従来の保護キャ
ップと異なり、図1中t方向部分に鍔部を備えない。こ
のため、t方向の厚みを薄くすることができる。具体的
には、従来の保護キャップ(図5中106)を設けた構
成であると、半導体レーザ装置の厚みtは4.8mm程度
であったが、この実施例のように、厚みt方向の鍔部
(106a)を備えない保護キャップ6を設けた構成で
は、鍔部106a分だけ厚みtが薄くなって、半導体レ
ーザ装置の厚みtを3.2mm程度に構成することができ
た。
1aに対応する位置にガラス窓10が形成され、ガラス
窓10の上方には、ホログラム素子4が配置されてい
る。
ーザ装置を装着した光ピックアップの構成を示す図であ
る。図において、図5に示した従来の構成と異なる点
は、半導体レーザ装置11の厚みtが薄くなったことに
よる光ピックアップの厚みTであり、全体の構成自体は
図5と同様である。したがって、光ピックアップの構成
を示す部分は図5と同一番号で示している。図示するよ
うに、半導体レーザ装置11の厚みtが3.2mmと薄く
なったことにより、光ピックアップ装置自体の厚みTも
薄く、小型になって重量が軽くなる。この結果、光ピッ
クアップ装置のアクセス時間が短縮され、光ピックアッ
プの性能が向上する。
びホログラム素子4を備えた半導体レーザ装置を例にし
ているが、これらの部品を備えない半導体レーザ装置に
おいても本願発明は適用可能である。
リード端子をフリキシブル基板で構成した半導体レーザ
装置の要部構成を示している。
ブル基板27が貼付され、該フレキシブル基板27は、
楕円柱状のステム25の上面およひ側壁面に沿うように
折り曲げられて下方に垂下されている。フレキシブル基
板27は、厚さがほぼ100μm以下程度のもので、容
易に折り曲げてステム25の表面に沿わせることができ
る。また、フレキシブル基板27は、裏面に貼り付け固
定用の接着剤層が設けられたものであって、ステム25
の表面に容易に接着固定できるようになっている。フレ
キシブル基板27の表面には、レーザチップ21、光出
力検出部22、信号検出部23用のリード端子27aが
形成されている。
号検出部23は、ステム25上のフレキシブル基板27
上に配置されている。これらの部品は上記の実施例と同
様に、台座部21bと、この台座部21bの側壁面に配
置されたレーザチップ21aとからなるレーザ出力部2
1、台座部21b上に配置された信号検出部23、およ
びレーザチップ21aの近傍に配置された光出力検出部
22、である。そして、レーザチップ21、光出力検出
部22、信号検出部23の各電極と、フレキシブル基板
27上のリード端子27aとが金線29によって接続さ
れており、各々は前述の実施例と同様に、保護層によっ
て外部から保護されている。
号検出部23上には、上記の実施例と同様に保護キャッ
プ26が形成され、該保護キャップ26上にホログラム
素子24が配置されている。保護キャップ26,ホログ
ラム素子24の構成は上記実施例と同様である。
ド端子をフレキシブル基板で構成したことによって、リ
ード端子自体の厚みが薄くなり、しかも、リード端子を
ステム25に接着するための接着部(ハーメチックシー
ル等)が不要となる。この結果、レーザ半導体装置の厚
みを薄くできた。具体的には、従来の構成においては、
保護キャップ,リード端子,ハーメチックシールによ
り、t=4.8mmであったものが、t=2.8mmとなっ
た。
に示すようにフレキシブル基板で構成する構成によって
のみであっても半導体レーザ装置の厚みtを薄くするこ
とができるが、その場合には保護キャップを用いてレー
ザチップ等の素子を気密封入しなければならず、通常の
保護キャップの固定方法が溶着方法によるものであるた
め、フレキシブル基板に変形を生じてしまうおそれがあ
る。そのため、フレキシブル基板を用いる場合には、レ
ーザチップ等に保護層を設けて保護キャップを用いない
構造とすることが好ましい。
である。
のの一部を切り欠いて構成されている。ステム35の切
り欠き部35a壁面の上端部付近には、レーザチップ3
1が固定配置され、ステム35が放熱部として用いられ
ている。また、レーザチップ31の下方部には光出力検
出部32が固定配置されている。このように、ステム3
5に切り欠き部35aを形成し、この切り欠き部35a
の壁面に、レーザチップ31,光出力検出部32を直接
固定配置したことにより、レーザチップ31を固定する
ための台座部(図3中31b)を特別に設ける必要がな
くなり、レーザ光出力方向(図中上下方向)の厚みを薄
くできるとともに、軽量化をはかることができる利点が
ある。なお、従来の構成においては図5に示したよう
に、ステム105上のレーザチップ101等を気密封入
するために保護キャップ106を被せる必要があり、ス
テム105の形状を切り欠き等によって複雑な構成にす
ることが困難であったため、この実施例のようにレーザ
光出力方向の厚みを薄くすることができなかった。
をパターン化したフレキシブル基板37が貼付されてい
る。そして、フレキシブル基板37上に信号検出部33
が配置されている。なお、レーザチップ31、光出力検
出部32、信号検出部33には、前記したように、予め
保護膜が形成されており、環境に対して保護されてい
る。また、各部品31,32,33の電極部は、Au等の
安定した材料で構成されている。そして、各部品31,
32,33は、各々フレキシブル基板37表面のリード
端子37aに金線39によって接続されている。
されている。保護キャップ36の、レーザ光出力方向の
長さは、上記したようにレーザチップ31の台座部分が
ない分短くされている。ブリッジ36の上面には、レー
ザチップ31に対応する位置にガラス窓40が形成さ
れ、該ガラス窓40の上部にホログラム素子34が配置
されている。
れば、ステム上の保護キャップの一方の側壁面がカット
されているため、そのカットされた分、ステムおよび半
導体レーザ装置全体の幅を薄く、軽くでき、これによっ
て例えば、該半導体レーザ装置を光ディスク装置の光ピ
ックアップに適用した場合に、応答性が良くなってアク
セス時間を短縮できる。また、該半導体レーザ装置にお
いては、開口された保護キャップ内の素子に保護層を形
成しているため、それらの素子が湿度等によって劣化し
てしまうことが防止される。
子をフレキシブル基板で構成したこによって半導体レー
ザ装置の厚みを薄くすることができ、それにより、半導
体レーザ装置の軽量化をはかることができる。さらに、
装置の軽量化により、該半導体レーザ装置を光ピックア
ップに適用したときに、アクセス時間を短縮できる利点
が生じる。
ザ装置の構成を示す図である。
置の光ピックアップの構成を示す図である。
ザ装置の要部の構成を示す図である。
成を示す図である。
る。
ク装置の光ピックアップの構成を示す図である。
Claims (2)
- 【請求項1】ステム上に、少なくとも、半導体レーザ素
子、受光素子等の半導体素子を搭載し、これらの半導体
素子の上方に保護キャップを配置した半導体レ ザ装置
において、 前記保護キャップの側壁面の一部を取り除いて該保護キ
ャップをブリッジ状に構成するとともに、前記半導体レ
ーザ素子等の半導体素子を、保護層でコーティングして
なることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 【請求項2】請求項1に記載の半導体レーザ装置におい
て、 前記ステム上に搭載された半導体素子と、半導体レーザ
装置の外部との信号入出力端子として、フレキシブル基
板型のリード端子を備えたことを特徴とする半導体レー
ザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15118294A JP3815802B2 (ja) | 1994-07-01 | 1994-07-01 | 半導体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15118294A JP3815802B2 (ja) | 1994-07-01 | 1994-07-01 | 半導体レーザ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0818165A true JPH0818165A (ja) | 1996-01-19 |
JP3815802B2 JP3815802B2 (ja) | 2006-08-30 |
Family
ID=15513087
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15118294A Expired - Fee Related JP3815802B2 (ja) | 1994-07-01 | 1994-07-01 | 半導体レーザ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3815802B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001320158A (ja) * | 2000-05-11 | 2001-11-16 | Sharp Corp | フレキシブル基板へのリードレス部品の実装方法および光ピックアップ装置の製造方法 |
JP2007019077A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザユニットおよび光ピックアップ装置 |
US9588313B2 (en) | 2015-04-01 | 2017-03-07 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Optical device package and optical device apparatus |
WO2018211636A1 (ja) * | 2017-05-17 | 2018-11-22 | 三菱電機株式会社 | 光モジュールおよびその製造方法 |
JPWO2020240738A1 (ja) * | 2019-05-29 | 2021-11-18 | 三菱電機株式会社 | 光モジュール |
-
1994
- 1994-07-01 JP JP15118294A patent/JP3815802B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001320158A (ja) * | 2000-05-11 | 2001-11-16 | Sharp Corp | フレキシブル基板へのリードレス部品の実装方法および光ピックアップ装置の製造方法 |
JP2007019077A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザユニットおよび光ピックアップ装置 |
US9588313B2 (en) | 2015-04-01 | 2017-03-07 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Optical device package and optical device apparatus |
WO2018211636A1 (ja) * | 2017-05-17 | 2018-11-22 | 三菱電機株式会社 | 光モジュールおよびその製造方法 |
JPWO2018211636A1 (ja) * | 2017-05-17 | 2019-11-07 | 三菱電機株式会社 | 光モジュールおよびその製造方法 |
JPWO2020240738A1 (ja) * | 2019-05-29 | 2021-11-18 | 三菱電機株式会社 | 光モジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3815802B2 (ja) | 2006-08-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6762868B2 (en) | Electro-optical package with drop-in aperture | |
JPH08186326A (ja) | 半導体発光素子のパッケージ及びその製造方法 | |
JP3167650B2 (ja) | 一体化鏡を備えた光検出器及びその作成方法 | |
JPH09102650A (ja) | 半導体レーザ装置及び光ピックアップ装置 | |
JPH0818165A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
US6542447B1 (en) | Magneto-optical pickup | |
US7525895B2 (en) | Semiconductor integrated device | |
JP3277736B2 (ja) | 半導体素子の封止構造 | |
JP2002100062A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
JP3922896B2 (ja) | 光半導体部品のパッケージ | |
JPH08161766A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
JP3242284B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JP3002180B1 (ja) | 光半導体装置 | |
JPH01222492A (ja) | 半導体レーザ装置 | |
JPH10241199A (ja) | 光ピックアップ | |
US20060291362A1 (en) | Optical semiconductor device and method of manufacture thereof | |
JP3483807B2 (ja) | 発光装置及びこれを用いた回折素子集積型発光ユニット | |
JP2000123391A (ja) | 光導波路ユニット、およびこれを用いた光学ヘッド | |
JPH05327129A (ja) | 半導体レーザ装置及びこれを用いた光ピックアップ装置 | |
JPH11307872A (ja) | 半導体光結合装置 | |
JPH08279655A (ja) | 複合光学装置 | |
JPH11110788A (ja) | 光学装置 | |
JPH06334269A (ja) | 半導体レーザー装置 | |
JP2002063728A (ja) | 光ピックアップ装置用光学部材の取付方法、光ピックアップ装置用ハーフミラーの取付方法、光ピックアップ装置および光ピックアップ装置用ハーフミラー | |
JPH07201065A (ja) | 光学式記録再生装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060221 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060424 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060523 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060606 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100616 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |