JPH08179302A - 多色液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
多色液晶表示装置の製造方法Info
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- JPH08179302A JPH08179302A JP6320989A JP32098994A JPH08179302A JP H08179302 A JPH08179302 A JP H08179302A JP 6320989 A JP6320989 A JP 6320989A JP 32098994 A JP32098994 A JP 32098994A JP H08179302 A JPH08179302 A JP H08179302A
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
-
- G—PHYSICS
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- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
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- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高画質のアクティブマトリクス型多色液晶表
示装置を簡便に製造する。 【構成】 カラーフィルターを応用した多色液晶表示装
置の製造方法において、基板上に形成された複数の電極
上に、絶縁性のレジストをパターニング形成し、その
後、順次、電着によりカラーフィルターを形成、カラー
フィルター間隙に遮光性物質をカラーフィルターをマス
クとしてパターニング形成する事により、簡便な方法で
且つ高画質の多色液晶表示装置を製造することができ
る。
示装置を簡便に製造する。 【構成】 カラーフィルターを応用した多色液晶表示装
置の製造方法において、基板上に形成された複数の電極
上に、絶縁性のレジストをパターニング形成し、その
後、順次、電着によりカラーフィルターを形成、カラー
フィルター間隙に遮光性物質をカラーフィルターをマス
クとしてパターニング形成する事により、簡便な方法で
且つ高画質の多色液晶表示装置を製造することができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルターを応用
した多色液晶表示装置の製造方法に関し、詳しくは高画
質のアクティブマトリクス型多色液晶表示装置の簡便な
製造方法に関する。
した多色液晶表示装置の製造方法に関し、詳しくは高画
質のアクティブマトリクス型多色液晶表示装置の簡便な
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２（ａ），（ｂ）に従来の多色液晶表
示装置の断面図及び正面図を示す。図中１１はガラス基
板、１２はＩＴＯ等より成る透明電極でストライプ状に
パターニング形成される。１３はカラーフィルターで電
着により透明電極１２上に作成される。１４は遮光層で
カーボン等の遮光性物質を含んだ感光性物質をカラーフ
ィルター１３上に塗布し、カラーフィルター形成面とは
反対側からカラーフィルターをマスクにして露光、現像
してカラーフィルター間隙のみに形成する。１５は第二
のガラス基板で透明電極１６と薄膜トランジスタ１７が
形成される。このように形成されたカラーフィルター基
板１１と薄膜トランジスタ基板１５とをシール剤１８で
一定の間隙に保つように張り合わせ、その間隙に液晶１
９を充填して多色液晶表示装置を形成する。
示装置の断面図及び正面図を示す。図中１１はガラス基
板、１２はＩＴＯ等より成る透明電極でストライプ状に
パターニング形成される。１３はカラーフィルターで電
着により透明電極１２上に作成される。１４は遮光層で
カーボン等の遮光性物質を含んだ感光性物質をカラーフ
ィルター１３上に塗布し、カラーフィルター形成面とは
反対側からカラーフィルターをマスクにして露光、現像
してカラーフィルター間隙のみに形成する。１５は第二
のガラス基板で透明電極１６と薄膜トランジスタ１７が
形成される。このように形成されたカラーフィルター基
板１１と薄膜トランジスタ基板１５とをシール剤１８で
一定の間隙に保つように張り合わせ、その間隙に液晶１
９を充填して多色液晶表示装置を形成する。
【０００３】このようにして形成された多色液晶表示装
置は薄膜トランジスタのスイッチング特性によりコント
ラストが良く、且つ電着により簡便にカラーフィルター
が形成されているため、高品質，低コストの多色表示装
置が得られるものである。
置は薄膜トランジスタのスイッチング特性によりコント
ラストが良く、且つ電着により簡便にカラーフィルター
が形成されているため、高品質，低コストの多色表示装
置が得られるものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のような多色液晶
表示装置ではカラーフィルターをマスクにセルフアライ
ンメントで遮光層が形成されているため、簡便であるが
必然的にカラーフィルターのある部分には遮光層は形成
されない。また、カラーフィルターは電着で形成されて
いるので簡便であるが、通電するための配線が必要とな
り、必然的に画素以外の部分にもカラーフィルターが形
成される。
表示装置ではカラーフィルターをマスクにセルフアライ
ンメントで遮光層が形成されているため、簡便であるが
必然的にカラーフィルターのある部分には遮光層は形成
されない。また、カラーフィルターは電着で形成されて
いるので簡便であるが、通電するための配線が必要とな
り、必然的に画素以外の部分にもカラーフィルターが形
成される。
【０００５】以上の事から従来の多色表示装置の製造方
法はどうしても画素の周囲を全て遮光層で囲うことはで
きなかった。一方、薄膜トランジスタを用いた表示装置
は高いコントラストが得られるが、光によりその特性が
変化し易く、安定した動作をさせるには外光を遮断する
必要がある。
法はどうしても画素の周囲を全て遮光層で囲うことはで
きなかった。一方、薄膜トランジスタを用いた表示装置
は高いコントラストが得られるが、光によりその特性が
変化し易く、安定した動作をさせるには外光を遮断する
必要がある。
【０００６】このため従来の方法でどうしても避けられ
なかった画素周囲からの光のもれをなくし、画素周囲を
完全に遮光する必要がある。これにより、薄膜トランジ
スタの動作を安定にし、迷光が無くなることによりコン
トラストがさらに向上することとなる。
なかった画素周囲からの光のもれをなくし、画素周囲を
完全に遮光する必要がある。これにより、薄膜トランジ
スタの動作を安定にし、迷光が無くなることによりコン
トラストがさらに向上することとなる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明では、 基板上に形成された複数の電極上に、絶縁性のレジス
トをパターニング形成する工程、 該複数の電極を選択通電し、電極上に電着によりカラ
ーフィルターを形成する工程、 カラーフィルター上に遮光性物質を形成する工程、 該遮光性物質を基板のカラーフィルター形成面とは反
対側より、該カラーフィルターをマスクにして露光して
遮光性物質をパターニングし、カラーフィルター間隙の
みに遮光性物質を残す工程、によりカラーフィルター基
板を作製することにより、薄膜トランジスタと組み合わ
せた多色表示装置の画素周囲を完全に遮光し、画素周囲
からの光のもれをなくすことができる。これにより、薄
膜トランジスタの動作が安定化し、迷光が無くなり、表
示品質及びコントラストがさらに向上した多色液晶表示
装置を提供するものである。
本発明では、 基板上に形成された複数の電極上に、絶縁性のレジス
トをパターニング形成する工程、 該複数の電極を選択通電し、電極上に電着によりカラ
ーフィルターを形成する工程、 カラーフィルター上に遮光性物質を形成する工程、 該遮光性物質を基板のカラーフィルター形成面とは反
対側より、該カラーフィルターをマスクにして露光して
遮光性物質をパターニングし、カラーフィルター間隙の
みに遮光性物質を残す工程、によりカラーフィルター基
板を作製することにより、薄膜トランジスタと組み合わ
せた多色表示装置の画素周囲を完全に遮光し、画素周囲
からの光のもれをなくすことができる。これにより、薄
膜トランジスタの動作が安定化し、迷光が無くなり、表
示品質及びコントラストがさらに向上した多色液晶表示
装置を提供するものである。
【０００８】
【作用】本発明のポイントは、如何にして電着により他
の画素から孤立した形状で分離したドット状のカラーフ
ィルターを形成するかにある。この目的のためには、電
着する電極の画素以外の部分をカラーフィルターが形成
されないように絶縁レジストで覆う方法が考えられる。
この方法の問題点はこの絶縁レジストは後の遮光層形成
には不用な層であるため、如何にして遮光層形成の妨げ
にならないようにするかである。また、さらに進めれば
カラーフイルターにダメージを与えないように絶縁レジ
ストを除去できるかである。これはカラーフィルター，
絶縁レジスト共に樹脂であるので、片方のみを選択的に
除去するのは難しい問題である。本発明ではそれぞれの
問題点の解決のために解決法を見いだした。
の画素から孤立した形状で分離したドット状のカラーフ
ィルターを形成するかにある。この目的のためには、電
着する電極の画素以外の部分をカラーフィルターが形成
されないように絶縁レジストで覆う方法が考えられる。
この方法の問題点はこの絶縁レジストは後の遮光層形成
には不用な層であるため、如何にして遮光層形成の妨げ
にならないようにするかである。また、さらに進めれば
カラーフイルターにダメージを与えないように絶縁レジ
ストを除去できるかである。これはカラーフィルター，
絶縁レジスト共に樹脂であるので、片方のみを選択的に
除去するのは難しい問題である。本発明ではそれぞれの
問題点の解決のために解決法を見いだした。
【０００９】一つ目の問題に対しては絶縁レジストの膜
厚をカラーフィルターより相対的に薄くして、絶縁レジ
ストを剥離する事なく、その上に遮光層を形成してしま
うことを見いだした。この方法では電極上の遮光層がカ
ラーフィルター間隙の遮光層よりも絶縁レジスト分厚く
なるがレジストの膜厚は電着されない必要最小限まで薄
くしてあるため段差は少なく、液晶表示装置の配向乱れ
を引き起こすほどではなく、絶縁レジストの剥離工程も
なく簡便な製造方法である。
厚をカラーフィルターより相対的に薄くして、絶縁レジ
ストを剥離する事なく、その上に遮光層を形成してしま
うことを見いだした。この方法では電極上の遮光層がカ
ラーフィルター間隙の遮光層よりも絶縁レジスト分厚く
なるがレジストの膜厚は電着されない必要最小限まで薄
くしてあるため段差は少なく、液晶表示装置の配向乱れ
を引き起こすほどではなく、絶縁レジストの剥離工程も
なく簡便な製造方法である。
【００１０】もう一つの問題に対しては絶縁レジストを
剥離する際の剥離剤にはアルカリを選択し、電着する樹
脂にはカチオン型を選択することを見いだした。一般的
にフォトレジストは溶剤剥離型，アルカリ剥離型，硝酸
剥離型等があるが、溶剤剥離では強い有機溶剤を使うた
めカラーフィルター樹脂が膨潤、溶解を起こし易い。ま
た、硝酸剥離では樹脂の酸化分解を伴うため、カラーフ
ィルター樹脂も同様に酸化分解を起こしてしまう。アル
カリ剥離型では樹脂の官能基の中和溶解により剥離を行
うため、カラーフィルター樹脂にアルカリで中和溶解し
ないタイプを選択すれば絶縁レジスト剥離の際にカラー
フィルターが侵されることはない。
剥離する際の剥離剤にはアルカリを選択し、電着する樹
脂にはカチオン型を選択することを見いだした。一般的
にフォトレジストは溶剤剥離型，アルカリ剥離型，硝酸
剥離型等があるが、溶剤剥離では強い有機溶剤を使うた
めカラーフィルター樹脂が膨潤、溶解を起こし易い。ま
た、硝酸剥離では樹脂の酸化分解を伴うため、カラーフ
ィルター樹脂も同様に酸化分解を起こしてしまう。アル
カリ剥離型では樹脂の官能基の中和溶解により剥離を行
うため、カラーフィルター樹脂にアルカリで中和溶解し
ないタイプを選択すれば絶縁レジスト剥離の際にカラー
フィルターが侵されることはない。
【００１１】一般的なフォトレジストはポジ型ではフェ
ノールノボラック型樹脂等、ネガ型では合成ゴム等の基
質樹脂が用いられ、剥離はアルカリや硝酸，溶剤とさま
ざまなタイプがあるが、アルカリ溶解型の物は一般的に
市販されている。また、電着樹脂にはポリカルボン酸を
アミン等のアルカリで中和したアニオンタイプ及びポリ
アミンを酸で中和したカチオンタイプの２種類の樹脂が
ある。アニオンタイプは陽極に電着されるが、析出膜は
本質的にアルカリ可溶タイプであり、本発明のように電
着によりカラーフィルターを形成した後に絶縁レジスト
をアルカリで剥離する際に、カラーフィルターもアルカ
リで侵されてしまう。
ノールノボラック型樹脂等、ネガ型では合成ゴム等の基
質樹脂が用いられ、剥離はアルカリや硝酸，溶剤とさま
ざまなタイプがあるが、アルカリ溶解型の物は一般的に
市販されている。また、電着樹脂にはポリカルボン酸を
アミン等のアルカリで中和したアニオンタイプ及びポリ
アミンを酸で中和したカチオンタイプの２種類の樹脂が
ある。アニオンタイプは陽極に電着されるが、析出膜は
本質的にアルカリ可溶タイプであり、本発明のように電
着によりカラーフィルターを形成した後に絶縁レジスト
をアルカリで剥離する際に、カラーフィルターもアルカ
リで侵されてしまう。
【００１２】これに対してカチオンタイプでは陰極にカ
ラーフィルターが析出し、析出膜は本質的に酸可溶，ア
ルカリ不溶であるため、その後の絶縁レジストをアルカ
リで剥離する際でもカラーフィルターが侵される事な
く、簡便に絶縁レジストを剥離できる。カチオンタイプ
の電着樹脂はアクリル樹脂，エポキシ樹脂，ウレタン樹
脂，ポリブタジエン樹脂，ポリアミド樹脂などがありこ
れらの単独あるいは混合物またはウレタン樹脂，ポリエ
ステル樹脂などの架橋性樹脂との併用で使用する。いず
れの樹脂も分子内にアミノ基，アンモニウム，スルフォ
ニウム，フォスフォニウムなどのオニウム基などの塩基
性の官能基を持ち、酢酸，ギ酸，プロピオン酸，乳酸な
どの酸あるいは酸性物質で水に可溶化された形で使用さ
れる。
ラーフィルターが析出し、析出膜は本質的に酸可溶，ア
ルカリ不溶であるため、その後の絶縁レジストをアルカ
リで剥離する際でもカラーフィルターが侵される事な
く、簡便に絶縁レジストを剥離できる。カチオンタイプ
の電着樹脂はアクリル樹脂，エポキシ樹脂，ウレタン樹
脂，ポリブタジエン樹脂，ポリアミド樹脂などがありこ
れらの単独あるいは混合物またはウレタン樹脂，ポリエ
ステル樹脂などの架橋性樹脂との併用で使用する。いず
れの樹脂も分子内にアミノ基，アンモニウム，スルフォ
ニウム，フォスフォニウムなどのオニウム基などの塩基
性の官能基を持ち、酢酸，ギ酸，プロピオン酸，乳酸な
どの酸あるいは酸性物質で水に可溶化された形で使用さ
れる。
【００１３】上記のようにカラーフィルターがストライ
プではなく、所望の画素形状に一致させて形成した後
は、従来技術と同じように遮光膜をカラーフィルターを
マスクとしてセルフアラインメントで形成すれば、遮光
膜は画素の周囲全てを覆うことになり、遮光性能がアッ
プし、優れた表示品質が得られる。
プではなく、所望の画素形状に一致させて形成した後
は、従来技術と同じように遮光膜をカラーフィルターを
マスクとしてセルフアラインメントで形成すれば、遮光
膜は画素の周囲全てを覆うことになり、遮光性能がアッ
プし、優れた表示品質が得られる。
【００１４】
【実施例】以下、実施例に基づいて本発明の効果を具体
的に説明する。 （実施例１）図１は本発明による多色液晶表示装置の断
面図を示す。図中１はガラス基板、２はＩＴＯ等より成
る透明電極でストライプ状にパターニング形成される。
３はカラーフィルターで電着により透明電極２上に画素
に形状を一致させて作成される。４は遮光層でカーボン
等の遮光性物質を含んだ感光性物質をカラーフィルター
３上に塗布し、カラーフィルター形成面とは反対側から
カラーフィルターをマスクにして露光、現像してカラー
フィルター周囲を覆って形成する。
的に説明する。 （実施例１）図１は本発明による多色液晶表示装置の断
面図を示す。図中１はガラス基板、２はＩＴＯ等より成
る透明電極でストライプ状にパターニング形成される。
３はカラーフィルターで電着により透明電極２上に画素
に形状を一致させて作成される。４は遮光層でカーボン
等の遮光性物質を含んだ感光性物質をカラーフィルター
３上に塗布し、カラーフィルター形成面とは反対側から
カラーフィルターをマスクにして露光、現像してカラー
フィルター周囲を覆って形成する。
【００１５】図３に上記のカラーフィルター基板の作成
方法を断面図及び正面図で示す。図３（ａ），（ａ’）
において２１はガラス基板でＩＴＯがスパッタリング等
で形成され、その後パターニングすることにより透明電
極２２がストライプ状に形成される。図３（ｂ），
（ｂ’）において透明電極２２上にネガレジスト（Ｖ−
２５９−ＰＡ 新日鉄化学製）を０．１μｍ塗布した。
その後、所望の画素形状に露光した後、炭酸ナトリウム
水溶液で現像して絶縁レジスト２３とした。
方法を断面図及び正面図で示す。図３（ａ），（ａ’）
において２１はガラス基板でＩＴＯがスパッタリング等
で形成され、その後パターニングすることにより透明電
極２２がストライプ状に形成される。図３（ｂ），
（ｂ’）において透明電極２２上にネガレジスト（Ｖ−
２５９−ＰＡ 新日鉄化学製）を０．１μｍ塗布した。
その後、所望の画素形状に露光した後、炭酸ナトリウム
水溶液で現像して絶縁レジスト２３とした。
【００１６】図３（ｃ），（ｃ’）において透明電極２
２の内、赤に着色したい画素群を選択し、アニオンタイ
プのポリエステル電着樹脂と赤顔料の分散水溶液より透
明電極２２を陽極にし、電着により赤のカラーフィルタ
ー２４を形成した。次に緑，青について同様の操作を繰
り返し、カラーフィルター２４，２４’，２４”を膜厚
１．５μｍで作成した。
２の内、赤に着色したい画素群を選択し、アニオンタイ
プのポリエステル電着樹脂と赤顔料の分散水溶液より透
明電極２２を陽極にし、電着により赤のカラーフィルタ
ー２４を形成した。次に緑，青について同様の操作を繰
り返し、カラーフィルター２４，２４’，２４”を膜厚
１．５μｍで作成した。
【００１７】図３（ｄ），（ｄ’）においてネガレジス
ト（Ｖ−２５９−ＰＡ 新日鉄化学製）にカーボンを混
合した黒色レジストをカラーフィルター上に塗布し、カ
ラーフィルターをマスクとして裏面から露光し、現像す
ることにより遮光膜２５を形成した。この際現像に用い
たアルカリは剥離に用いるものよりはるかに弱いため、
カラーフィルターは硬化させておけば侵されることはな
かった。
ト（Ｖ−２５９−ＰＡ 新日鉄化学製）にカーボンを混
合した黒色レジストをカラーフィルター上に塗布し、カ
ラーフィルターをマスクとして裏面から露光し、現像す
ることにより遮光膜２５を形成した。この際現像に用い
たアルカリは剥離に用いるものよりはるかに弱いため、
カラーフィルターは硬化させておけば侵されることはな
かった。
【００１８】図１に戻って説明を進めると、このように
カラーフィルター画素周囲を全て遮光されて形成したカ
ラーフィルター基板１と画素透明電極６と薄膜トランジ
スタ７が形成された第二のガラス基板５とをシール剤８
で一定の間隙に保つように張り合わせ、その間隙に液晶
９を充填して多色液晶表示装置を形成する。
カラーフィルター画素周囲を全て遮光されて形成したカ
ラーフィルター基板１と画素透明電極６と薄膜トランジ
スタ７が形成された第二のガラス基板５とをシール剤８
で一定の間隙に保つように張り合わせ、その間隙に液晶
９を充填して多色液晶表示装置を形成する。
【００１９】このように作製された多色液晶表示装置は
簡便な方法で製造されたにもかかわらず、画素周囲は全
て完全に遮光されており、光による薄膜トランジスタの
特性劣化もなく高い表示品質を示した。また、遮光膜も
膜厚段差は絶縁レジストの膜厚０．１μｍだけなので異
常配向のない均一な配向を維持できるものであった。
簡便な方法で製造されたにもかかわらず、画素周囲は全
て完全に遮光されており、光による薄膜トランジスタの
特性劣化もなく高い表示品質を示した。また、遮光膜も
膜厚段差は絶縁レジストの膜厚０．１μｍだけなので異
常配向のない均一な配向を維持できるものであった。
【００２０】（実施例２）実施例１におけるカラーフィ
ルター基板を図４の断面図及び正面図にて示すような方
法で作製した。図４（ａ），（ａ’）において３１はガ
ラス基板でＩＴＯがスパッタリング等で形成され、その
後パターニングすることにより透明電極３２がストライ
プ状に形成される。
ルター基板を図４の断面図及び正面図にて示すような方
法で作製した。図４（ａ），（ａ’）において３１はガ
ラス基板でＩＴＯがスパッタリング等で形成され、その
後パターニングすることにより透明電極３２がストライ
プ状に形成される。
【００２１】図４（ｂ），（ｂ’）において透明電極３
２上にポジレジスト（ＯＦＰＲ−８００ 東京応化製）
を１μｍ塗布した。その後、所望の画素形状に露光した
後、炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリで現像して絶縁
レジスト３３とした。図４（ｃ），（ｃ’）において透
明電極３２の内、赤に着色したい画素群を選択し、カチ
オンタイプのアクリル電着樹脂と赤顔料の分散水溶液よ
り透明電極３２を陰極にし、電着により赤のカラーフィ
ルター３４を形成した。次に緑，青について同様の操作
を繰り返し、カラーフィルター３４，３４’，３４”を
膜厚１．５μｍで作成した。
２上にポジレジスト（ＯＦＰＲ−８００ 東京応化製）
を１μｍ塗布した。その後、所望の画素形状に露光した
後、炭酸ナトリウム水溶液等のアルカリで現像して絶縁
レジスト３３とした。図４（ｃ），（ｃ’）において透
明電極３２の内、赤に着色したい画素群を選択し、カチ
オンタイプのアクリル電着樹脂と赤顔料の分散水溶液よ
り透明電極３２を陰極にし、電着により赤のカラーフィ
ルター３４を形成した。次に緑，青について同様の操作
を繰り返し、カラーフィルター３４，３４’，３４”を
膜厚１．５μｍで作成した。
【００２２】図４（ｄ），（ｄ’）において絶縁レジス
ト３３をＮａＯＨ，ＫＯＨ，テトラメチルアンモニウム
ハイドロオキサイド等の強アルカリで溶解剥離した。図
４（ｅ），（ｅ’）においてネガ形黒色レジスト（ＣＫ
−５００２ 富士ハント製）をカラーフィルター上に塗
布し、カラーフィルターをマスクとして裏面から露光
し、現像することにより遮光膜３５を形成した。
ト３３をＮａＯＨ，ＫＯＨ，テトラメチルアンモニウム
ハイドロオキサイド等の強アルカリで溶解剥離した。図
４（ｅ），（ｅ’）においてネガ形黒色レジスト（ＣＫ
−５００２ 富士ハント製）をカラーフィルター上に塗
布し、カラーフィルターをマスクとして裏面から露光
し、現像することにより遮光膜３５を形成した。
【００２３】このように作製したカラーフィルター基板
は、絶縁レジスト剥離の際の強アルカリにもカラーフィ
ルターは侵されることなく簡便にできあがった。以下、
実施例１と同様に多色液晶表示装置を作製したところ、
実施例１と同様の効果が得られた。
は、絶縁レジスト剥離の際の強アルカリにもカラーフィ
ルターは侵されることなく簡便にできあがった。以下、
実施例１と同様に多色液晶表示装置を作製したところ、
実施例１と同様の効果が得られた。
【００２４】
【発明の効果】実施例にて詳しく説明したように、本発
明による多色液晶表示装置の製造方法は、 基板上に形成された複数の電極上に、絶縁性のレジス
トをパターニング形成する工程、 該複数の電極を選択通電し、電極上に電着によりカラ
ーフィルターを形成する工程、 カラーフィルター上に遮光性物質を形成する工程、 該遮光性物質を基板のカラーフィルター形成面とは反
対側より、該カラーフィルターをマスクにして露光して
遮光性物質をパターニングし、カラーフィルター間隙の
みに遮光性物質を残す工程、によりカラーフィルター基
板を作製することにより、電着によるカラーフィルター
形成及び遮光膜のセルフアラインメント形成という簡便
な工程の利点を損なうこと無しに、薄膜トランジスタと
組み合わせた多色表示装置の画素周囲を完全に遮光し、
画素周囲からの光のもれをなくすことができる。これに
より、薄膜トランジスタの動作が安定化し、迷光が無く
なり、表示品質及びコントラストがさらに向上した多色
液晶表示装置を安価に提供するものである。
明による多色液晶表示装置の製造方法は、 基板上に形成された複数の電極上に、絶縁性のレジス
トをパターニング形成する工程、 該複数の電極を選択通電し、電極上に電着によりカラ
ーフィルターを形成する工程、 カラーフィルター上に遮光性物質を形成する工程、 該遮光性物質を基板のカラーフィルター形成面とは反
対側より、該カラーフィルターをマスクにして露光して
遮光性物質をパターニングし、カラーフィルター間隙の
みに遮光性物質を残す工程、によりカラーフィルター基
板を作製することにより、電着によるカラーフィルター
形成及び遮光膜のセルフアラインメント形成という簡便
な工程の利点を損なうこと無しに、薄膜トランジスタと
組み合わせた多色表示装置の画素周囲を完全に遮光し、
画素周囲からの光のもれをなくすことができる。これに
より、薄膜トランジスタの動作が安定化し、迷光が無く
なり、表示品質及びコントラストがさらに向上した多色
液晶表示装置を安価に提供するものである。
【図１】本発明による多色液晶表示装置の断面図であ
る。
る。
【図２】従来の多色液晶表示装置の断面図及び正面図で
ある。
ある。
【図３】本発明によるカラーフィルター基板の製造工程
図である。
図である。
【図４】本発明によるカラーフィルター基板の別の製造
工程図である。
工程図である。
１，５，１１，１５，２１，３１ 基板 ２，６，１２，１６，２２，３２ 透明電極 ３，１３，２４，２４’，２４”，３４，３４’，３
４” カラーフィルター ４，１４，２５，３５ 遮光膜 ７，１７ 薄膜トランジスタ ８，１８ シール剤 ９，１９ 液晶
４” カラーフィルター ４，１４，２５，３５ 遮光膜 ７，１７ 薄膜トランジスタ ８，１８ シール剤 ９，１９ 液晶
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福地 高和 東京都江東区亀戸６丁目31番１号 セイコ ー電子工業株式会社内 (72)発明者 釜森 均 東京都江東区亀戸６丁目31番１号 セイコ ー電子工業株式会社内 (72)発明者 岡田 良克 東京都江東区新木場４丁目12番 神東塗料 株式会社内 (72)発明者 桜井 亜紀子 東京都江東区新木場４丁目12番 神東塗料 株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 カラーフィルターを応用した多色液晶表
示装置の製造方法において、 基板上に形成された複数の電極上に、絶縁性のレジス
トをパターニング形成する工程と、 該複数の電極を選択通電し、電極上に電着により該絶
縁性のレジストの膜厚よりも厚いカラーフィルターを形
成する工程、 カラーフィルター上に遮光性物質を形成する工程と、 該遮光性物質を基板のカラーフィルター形成面とは反
対側より、該カラーフィルターをマスクにして露光して
遮光性物質をパターニングし、カラーフィルター間隙の
みに遮光性物質を残す工程と、を含むことを特徴とする
多色液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項２】 カラーフィルターを応用した多色液晶表
示装置の製造方法において、 基板上に形成された複数の電極上に、絶縁性のレジス
トをパターニング形成する工程と、 該複数の電極を選択的にマイナスに通電し、電極上に
カチオン電着性高分子を電着により析出しカラーフィル
ターを形成する工程と 該レジストをアルカリにより除去する工程。 カラーフィルター上に遮光性物質を形成する工程と、 該遮光性物質を基板のカラーフィルター形成面とは反
対側より、該カラーフィルターをマスクにして露光して
遮光性物質をパターニングし、カラーフィルター間隙の
みに遮光性物質を残す工程と、を含むことを特徴とする
多色液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項３】 前記遮光性物質が感光性を持つことを特
徴とする請求項１及び請求項２記載の多色液晶表示装置
の製造方法。 - 【請求項４】 前記カラーフィルターを応用した多色表
示装置が薄膜トランジスタを具備したアクティブマトリ
クス型であることを特徴とする請求項１及び請求項２記
載の多色液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6320989A JPH08179302A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 多色液晶表示装置の製造方法 |
| EP95309428A EP0718664B1 (en) | 1994-12-22 | 1995-12-22 | Manufacturing method of colour liquid crystal display |
| EP99201345A EP0932071A3 (en) | 1994-12-22 | 1995-12-22 | Manufacturing method of colour liquid crystal display |
| KR1019950054824A KR960024574A (ko) | 1994-12-22 | 1995-12-22 | 다색액정표시장치의 제조방법 |
| DE69520337T DE69520337T2 (de) | 1994-12-22 | 1995-12-22 | Herstellungsverfahren einer Flussigkristall-Farbanzeigevorrichtung |
| TW085106052A TW406203B (en) | 1994-12-22 | 1996-05-22 | Manufacturing method of multicolor liquid crystal display |
| US08/821,028 US5770349A (en) | 1994-12-22 | 1997-03-20 | Manufacturing method of multicolor liquid crystal display |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6320989A JPH08179302A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 多色液晶表示装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08179302A true JPH08179302A (ja) | 1996-07-12 |
Family
ID=18127546
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6320989A Pending JPH08179302A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | 多色液晶表示装置の製造方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5770349A (ja) |
| EP (2) | EP0718664B1 (ja) |
| JP (1) | JPH08179302A (ja) |
| KR (1) | KR960024574A (ja) |
| DE (1) | DE69520337T2 (ja) |
| TW (1) | TW406203B (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3907804B2 (ja) | 1997-10-06 | 2007-04-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 液晶表示装置 |
| US6068953A (en) * | 1997-11-17 | 2000-05-30 | Ricoh Company, Ltd. | Color filter for liquid crystal display device |
| JP2000029013A (ja) * | 1998-07-10 | 2000-01-28 | Rohm Co Ltd | 液晶表示素子 |
| US6395576B1 (en) | 2000-06-14 | 2002-05-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | High efficiency color filter process to improve color balance in semiconductor array imaging devices |
| JP3599047B2 (ja) * | 2001-06-25 | 2004-12-08 | セイコーエプソン株式会社 | カラーフィルタおよびその製造方法、カラーフィルタ用液滴材料着弾精度試験基板、液滴材料着弾精度の測定方法、電気光学装置、ならびに電子機器 |
| CN100410756C (zh) * | 2005-01-25 | 2008-08-13 | 统宝光电股份有限公司 | 彩色滤光基板及其制造方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6111703A (ja) * | 1984-06-26 | 1986-01-20 | Citizen Watch Co Ltd | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPH0727082B2 (ja) * | 1985-05-28 | 1995-03-29 | セイコー電子工業株式会社 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPH07117662B2 (ja) * | 1986-04-21 | 1995-12-18 | 神東塗料株式会社 | 微細な透明導電性回路パタ−ン上およびその間隙に機能性薄膜を形成する方法 |
| JPH01158401A (ja) * | 1987-12-15 | 1989-06-21 | Fujitsu Ltd | カラーフィルタの形成方法 |
| JPH0273305A (ja) * | 1988-09-09 | 1990-03-13 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| JP2537562B2 (ja) * | 1990-05-28 | 1996-09-25 | シャープ株式会社 | 液晶表示装置のカラ―フィルタ―層の製造方法 |
| JPH04342231A (ja) * | 1991-05-20 | 1992-11-27 | Stanley Electric Co Ltd | 液晶表示装置用カラーフィルタ付基板の製造方法 |
| JPH0540258A (ja) * | 1991-08-06 | 1993-02-19 | Nippon Paint Co Ltd | 多色表示装置の製造方法 |
| JP3092869B2 (ja) * | 1991-10-02 | 2000-09-25 | シャープ株式会社 | 多色表示装置の製造方法 |
| JPH05203807A (ja) * | 1991-11-29 | 1993-08-13 | Seiko Instr Inc | カラーフィルターの製造方法 |
| JPH06273618A (ja) * | 1993-03-24 | 1994-09-30 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法 |
| US5578403A (en) * | 1993-07-26 | 1996-11-26 | Shinto Paint Co., Ltd. | Method for manufacture of a substrate having window-shaped and frame-shaped coating films on the surface thereof |
| US5503952A (en) * | 1994-03-22 | 1996-04-02 | Shinto Paint Co., Ltd. | Method for manufacture of color filter and liquid crystal display |
-
1994
- 1994-12-22 JP JP6320989A patent/JPH08179302A/ja active Pending
-
1995
- 1995-12-22 DE DE69520337T patent/DE69520337T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-12-22 KR KR1019950054824A patent/KR960024574A/ko active IP Right Grant
- 1995-12-22 EP EP95309428A patent/EP0718664B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-12-22 EP EP99201345A patent/EP0932071A3/en not_active Withdrawn
-
1996
- 1996-05-22 TW TW085106052A patent/TW406203B/zh not_active IP Right Cessation
-
1997
- 1997-03-20 US US08/821,028 patent/US5770349A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW406203B (en) | 2000-09-21 |
| US5770349A (en) | 1998-06-23 |
| EP0932071A2 (en) | 1999-07-28 |
| KR960024574A (ko) | 1996-07-20 |
| DE69520337D1 (de) | 2001-04-19 |
| EP0718664A2 (en) | 1996-06-26 |
| EP0718664A3 (en) | 1997-01-08 |
| EP0932071A3 (en) | 1999-12-29 |
| DE69520337T2 (de) | 2001-06-21 |
| EP0718664B1 (en) | 2001-03-14 |
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