JPH08178959A - プローブを備えた電気回路用検査装置 - Google Patents
プローブを備えた電気回路用検査装置Info
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- JPH08178959A JPH08178959A JP6336549A JP33654994A JPH08178959A JP H08178959 A JPH08178959 A JP H08178959A JP 6336549 A JP6336549 A JP 6336549A JP 33654994 A JP33654994 A JP 33654994A JP H08178959 A JPH08178959 A JP H08178959A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 接続作業が容易であり、高周波特性に優れて
いるプローブを備えた電気回路用検査装置を提供する。 【構成】 基板上に検査用回路のパターンを配設し、該
基板上にはプローブ支持体を取り付け、該プローブ支持
体には各パターンに対応する弾性を有するプローブを底
面より内方に突設し、パターンの内側端はプローブ支持
体の内側端よりも内方に位置させ、各プローブはプロー
ブ支持体の内側端よりも内方にて斜め上方に折曲させ、
各プローブの折曲部はパターン上に位置するようにな
し、被検査物を押圧手段により基板方向に押圧させ、以
て各プローブをその弾性に抗してパターンに押圧させ
る。
いるプローブを備えた電気回路用検査装置を提供する。 【構成】 基板上に検査用回路のパターンを配設し、該
基板上にはプローブ支持体を取り付け、該プローブ支持
体には各パターンに対応する弾性を有するプローブを底
面より内方に突設し、パターンの内側端はプローブ支持
体の内側端よりも内方に位置させ、各プローブはプロー
ブ支持体の内側端よりも内方にて斜め上方に折曲させ、
各プローブの折曲部はパターン上に位置するようにな
し、被検査物を押圧手段により基板方向に押圧させ、以
て各プローブをその弾性に抗してパターンに押圧させ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、集積回路等のベアチッ
プ、プリント基板等の電気回路における導通、周波数特
性等を検査するためのプローブ（探針ないしワイヤ）を
備えた電気回路用検査装置に関するものである。
プ、プリント基板等の電気回路における導通、周波数特
性等を検査するためのプローブ（探針ないしワイヤ）を
備えた電気回路用検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ベアチップを検査するためのプローブを
備えた電気回路用検査装置としては、図１６に示す如き
ものが従来より使用されている。この検査装置は絶縁ブ
ロック１に多数本の長いプローブ３、３・・・を固定
し、各プローブ３の基端３ｂには一端を検査装置の検査
用回路（図示せず。）に接続したたわみ線５の他端５ａ
をはんだ付け等により接続し、各プローブ３の先端３ａ
をベアチップ７における電極パッド９に当接させるよう
にしたものである。
備えた電気回路用検査装置としては、図１６に示す如き
ものが従来より使用されている。この検査装置は絶縁ブ
ロック１に多数本の長いプローブ３、３・・・を固定
し、各プローブ３の基端３ｂには一端を検査装置の検査
用回路（図示せず。）に接続したたわみ線５の他端５ａ
をはんだ付け等により接続し、各プローブ３の先端３ａ
をベアチップ７における電極パッド９に当接させるよう
にしたものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、上記従来の
電気回路用検査装置においては、絶縁ブロックから長く
突出したプローブの先端をベアチップの電極パッドに当
接させるようにしているため、各プローブの先端をベア
チップの電極パッドに確実に当接させることは必ずしも
容易ではない。各プローブの整列状態（アラインメン
ト）に乱れが生ずると各プローブの先端はベアチップの
電極パッドに当接しなくなる。このように各プローブの
整列状態に乱れが生じたときには、これを修正すること
は極めて困難である。また、上記従来の電気回路用検査
装置においては、ベアチップの電極パッドはプローブの
全長とたわみ線の全長とを介して検査装置の検査用回路
に接続されるため、被検査物と検査用回路との間の接続
距離が非常に長くなる結果、信号の著しい減衰が生じ、
高周波特性の面で問題が存するのである。本発明は以上
の如き問題を解決しようとしてなされたものである。
電気回路用検査装置においては、絶縁ブロックから長く
突出したプローブの先端をベアチップの電極パッドに当
接させるようにしているため、各プローブの先端をベア
チップの電極パッドに確実に当接させることは必ずしも
容易ではない。各プローブの整列状態（アラインメン
ト）に乱れが生ずると各プローブの先端はベアチップの
電極パッドに当接しなくなる。このように各プローブの
整列状態に乱れが生じたときには、これを修正すること
は極めて困難である。また、上記従来の電気回路用検査
装置においては、ベアチップの電極パッドはプローブの
全長とたわみ線の全長とを介して検査装置の検査用回路
に接続されるため、被検査物と検査用回路との間の接続
距離が非常に長くなる結果、信号の著しい減衰が生じ、
高周波特性の面で問題が存するのである。本発明は以上
の如き問題を解決しようとしてなされたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、基板上に検査用回路のパターンを配設
し、該基板上にはプローブ支持体を取り付け、該プロー
ブ支持体には各パターンに対応する弾性を有するプロー
ブを底面より内方に突設し、パターンの内側端はプロー
ブ支持体の内側端よりも内方に位置させ、各プローブは
プローブ支持体の内側端よりも内方にて斜め上方に折曲
させ、各プローブの折曲部はパターン上に位置するよう
になし、被検査物を押圧手段により基板方向に押圧さ
せ、以て各プローブをその弾性に抗してパターンに押圧
させるようにしたことを特徴とする、プローブを備えた
電気回路用検査装置（請求項１）を提供するものであ
る。なお、特許請求の範囲を含む本明細書において「内
方」とは電気回路用検査装置の中心に向かう方向をい
い、「内側」とは電気回路用検査装置の中心に近い側を
いうものとする。
に、本発明は、基板上に検査用回路のパターンを配設
し、該基板上にはプローブ支持体を取り付け、該プロー
ブ支持体には各パターンに対応する弾性を有するプロー
ブを底面より内方に突設し、パターンの内側端はプロー
ブ支持体の内側端よりも内方に位置させ、各プローブは
プローブ支持体の内側端よりも内方にて斜め上方に折曲
させ、各プローブの折曲部はパターン上に位置するよう
になし、被検査物を押圧手段により基板方向に押圧さ
せ、以て各プローブをその弾性に抗してパターンに押圧
させるようにしたことを特徴とする、プローブを備えた
電気回路用検査装置（請求項１）を提供するものであ
る。なお、特許請求の範囲を含む本明細書において「内
方」とは電気回路用検査装置の中心に向かう方向をい
い、「内側」とは電気回路用検査装置の中心に近い側を
いうものとする。
【０００５】前記プローブ支持体には押圧兼ガイド手段
を該プローブ支持体の内方に突設してもよい（請求項
２）。該押圧兼ガイド手段は各プローブにおける折曲傾
斜部を該プローブの弾性に抗して常時基板方向に押圧さ
せ、以て各プローブをその弾性に抗してパターンに押圧
させるようにすると共に被検査物のガイドとなるもので
ある。
を該プローブ支持体の内方に突設してもよい（請求項
２）。該押圧兼ガイド手段は各プローブにおける折曲傾
斜部を該プローブの弾性に抗して常時基板方向に押圧さ
せ、以て各プローブをその弾性に抗してパターンに押圧
させるようにすると共に被検査物のガイドとなるもので
ある。
【０００６】前記各プローブは予めプローブ支持体の内
側端にて下方に折曲させると共にプローブ支持体の内側
端よりも内方にて斜め上方に折曲させることが望まし
い。（請求項３）
側端にて下方に折曲させると共にプローブ支持体の内側
端よりも内方にて斜め上方に折曲させることが望まし
い。（請求項３）
【０００７】前記各プローブの内側端部に鋭い接触縁を
形成することが望ましい。（請求項４）
形成することが望ましい。（請求項４）
【０００８】前記プローブ支持体は内側端を被検査物の
ガイド面とし、該ガイド面に切り欠きを形成することが
望ましい。（請求項５）
ガイド面とし、該ガイド面に切り欠きを形成することが
望ましい。（請求項５）
【０００９】前記押圧兼ガイド手段には被検査物をガイ
ドする面に切り欠きを形成することが望ましい。（請求
項６）
ドする面に切り欠きを形成することが望ましい。（請求
項６）
【００１０】前記基板にはゴミの落下孔を形成すること
が望ましい。（請求項７）
が望ましい。（請求項７）
【００１１】また、本発明は、基板の下面に検査用回路
のパターンを配設し、該基板の下面側にはプローブ支持
体を取り付け、該プローブ支持体には該パターンに対応
する弾性を有するプローブを上面より内方に突設し、パ
ターンの内側端はプローブ支持体の内側端よりも内方に
位置させ、各プローブはプローブ支持体の内側端よりも
内方にて斜め下方に折曲させ、各プローブの折曲部はパ
ターンの下面に位置するようになし、プローブ支持体に
は各プローブにおける折曲傾斜部を該プローブの弾性に
抗して常時上方に押圧する押圧板を該プローブ支持体の
内方に突設し、該基板を押圧手段により下方に押圧させ
るようにしたことを特徴とする、プローブを備えた電気
回路用検査装置（請求項８）を提供する。
のパターンを配設し、該基板の下面側にはプローブ支持
体を取り付け、該プローブ支持体には該パターンに対応
する弾性を有するプローブを上面より内方に突設し、パ
ターンの内側端はプローブ支持体の内側端よりも内方に
位置させ、各プローブはプローブ支持体の内側端よりも
内方にて斜め下方に折曲させ、各プローブの折曲部はパ
ターンの下面に位置するようになし、プローブ支持体に
は各プローブにおける折曲傾斜部を該プローブの弾性に
抗して常時上方に押圧する押圧板を該プローブ支持体の
内方に突設し、該基板を押圧手段により下方に押圧させ
るようにしたことを特徴とする、プローブを備えた電気
回路用検査装置（請求項８）を提供する。
【００１２】
［請求項１の電気回路用検査装置］請求項１の電気回路
用検査装置を用いて被検査物を検査する際には、各プロ
ーブ支持体間に被検査物を位置させ、該被検査物を押圧
手段により基板方向に押圧させればよい。しかるとき
は、被検査物は各プローブ支持体の内側にて適宜の手段
により位置決めされた状態で基板方向に押圧され、被検
査物下面の各電極パッドが対応する各プローブの内側端
（先端）に確実に当接する。各プローブは下降する被検
査物の各電極パッドにより内側端が基板方向に押圧され
るため、各プローブの折曲傾斜部が該プローブの弾性に
抗して基板方向に屈曲される結果、各プローブの折曲部
は基板上のパターンに強力に圧接する。このように、被
検査物の各電極パッドは各プローブの折曲傾斜部を介し
て基板上の検査用回路のパターンに容易且つ確実に接続
される。また、パターンの表面が平坦でなくても、接続
に支障はない。なお、検査終了後、被検査物を除去すれ
ば、各プローブは被検査物による基板方向への押圧から
解放されるため、各プローブはその弾性により元の状態
に戻る。
用検査装置を用いて被検査物を検査する際には、各プロ
ーブ支持体間に被検査物を位置させ、該被検査物を押圧
手段により基板方向に押圧させればよい。しかるとき
は、被検査物は各プローブ支持体の内側にて適宜の手段
により位置決めされた状態で基板方向に押圧され、被検
査物下面の各電極パッドが対応する各プローブの内側端
（先端）に確実に当接する。各プローブは下降する被検
査物の各電極パッドにより内側端が基板方向に押圧され
るため、各プローブの折曲傾斜部が該プローブの弾性に
抗して基板方向に屈曲される結果、各プローブの折曲部
は基板上のパターンに強力に圧接する。このように、被
検査物の各電極パッドは各プローブの折曲傾斜部を介し
て基板上の検査用回路のパターンに容易且つ確実に接続
される。また、パターンの表面が平坦でなくても、接続
に支障はない。なお、検査終了後、被検査物を除去すれ
ば、各プローブは被検査物による基板方向への押圧から
解放されるため、各プローブはその弾性により元の状態
に戻る。
【００１３】被検査物の各電極パッドは、各プローブの
全長ではなく、各プローブにおける折曲傾斜部を介して
基板上の検査用回路のパターンに接続される。しかし
て、各プローブにおける折曲傾斜部はこれを極めて短く
形成することが可能である。このように各プローブにお
ける折曲傾斜部を短くすることにより被検査物とパター
ンとの間の接続距離を短縮し、以て信号の減衰を防止
し、高周波特性を高めることが可能となる。因みに、上
記従来の電気回路用検査装置においては、ベアチップの
電極パッドはプローブの全長とたわみ線の全長とを介し
て検査装置の検査用回路に接続されるため、被検査物と
検査用回路との間の接続距離が長くなる結果、信号の減
衰が生じ、高周波特性の面で問題が生じているのであ
る。
全長ではなく、各プローブにおける折曲傾斜部を介して
基板上の検査用回路のパターンに接続される。しかし
て、各プローブにおける折曲傾斜部はこれを極めて短く
形成することが可能である。このように各プローブにお
ける折曲傾斜部を短くすることにより被検査物とパター
ンとの間の接続距離を短縮し、以て信号の減衰を防止
し、高周波特性を高めることが可能となる。因みに、上
記従来の電気回路用検査装置においては、ベアチップの
電極パッドはプローブの全長とたわみ線の全長とを介し
て検査装置の検査用回路に接続されるため、被検査物と
検査用回路との間の接続距離が長くなる結果、信号の減
衰が生じ、高周波特性の面で問題が生じているのであ
る。
【００１４】また、パターンの内側端はプローブ支持体
の内側端よりも内方に位置しており、各プローブはプロ
ーブ支持体から内方に突出しているため、図９に示す如
く、各プローブと対応パターンとを上方から目視するこ
とが可能である。従って、仮に各プローブの整列状態
（アラインメント）に乱れが生じた場合でも、その修正
は極めて容易である。
の内側端よりも内方に位置しており、各プローブはプロ
ーブ支持体から内方に突出しているため、図９に示す如
く、各プローブと対応パターンとを上方から目視するこ
とが可能である。従って、仮に各プローブの整列状態
（アラインメント）に乱れが生じた場合でも、その修正
は極めて容易である。
【００１５】［請求項２の電気回路用検査装置］請求項
２の電気回路用検査装置を用いて被検査物を検査する際
には、各プローブ支持体に突設された押圧兼ガイド手段
間に被検査物を位置させ、該被検査物を押圧手段により
下方に押圧させればよい。しかるときは、被検査物は押
圧兼ガイド手段間に挟まれ、所定の位置に位置決めされ
た状態で下方にガイドされ、被検査物下面の各電極パッ
ドが対応する各プローブの内側端（先端）に確実に当接
する。しかして、各プローブは折曲傾斜部にて押圧兼ガ
イド手段により該プローブの弾性に抗して常時下方に押
圧されているため、各プローブの折曲部は基板上のパタ
ーンに常時接触しているのであるが、各プローブは下降
する被検査物の各電極パッドにより内側端が下方に押圧
される。従って、各プローブの折曲傾斜部が該プローブ
の弾性に抗して押圧兼ガイド手段から離されて更に下方
に屈曲される結果、各プローブの折曲部は基板上のパタ
ーンに強力に圧接する。換言すれば、弾性を有する各プ
ローブは例えば図５における符号Ａに示す状態に予め折
曲形成されているのであるが、このプローブは折曲傾斜
部にて押圧兼ガイド手段により図５における符号Ｂに示
す如く該プローブの弾性に抗して常時下方に押圧されて
いるのであるから、各プローブの折曲部は基板上のパタ
ーンに常時接触していることになる。この状態で各プロ
ーブの内側端が下降する被検査物の各電極パッドにより
下方に押圧されると、各プローブの折曲傾斜部は図５に
おける符号Ｃに示す如く該プローブの弾性に抗して押圧
兼ガイド手段から離されて更に下方に屈曲される。その
結果、各プローブの折曲部は基板上のパターンに強力に
圧接するのである。各プローブの折曲部は押圧兼ガイド
手段により基板上のパターンに常時押圧されているた
め、押圧手段が被検査物を下方に押圧するストロークは
小さくて済むと共に各プローブの折曲部とパターンとの
接触はより確実なものとなる。因みに、各プローブの折
曲部は基板上のパターンに常時接触しているのである
が、仮に両者間に隙間があると酸化被膜が生じて充分な
導通が確保されなくなるおそれがある。以上のように、
被検査物の各電極パッドは各プローブの折曲傾斜部を介
して基板上の検査用回路のパターンに容易且つ確実に接
続される。また、パターンの表面が平坦でなくても、接
続に支障はない。更に、押圧兼ガイド手段は弾性を有す
る各プローブを押圧することにより、各プローブを強制
的に上下方向に整列させることができる。即ち、押圧兼
ガイド手段は各プローブのパターンからのずれを防止す
るという作用をも果たす。なお、検査終了後、被検査物
を除去すれば、各プローブは被検査物による下方への押
圧から解放されるため、各プローブはその弾性により折
曲傾斜部が押圧兼ガイド手段に当接した状態（図５にお
ける符号Ｂに示す状態）に戻る。その他の点において
は、請求項２の電気回路用検査装置は請求項１の電気回
路用検査装置と同様の作用を有する。
２の電気回路用検査装置を用いて被検査物を検査する際
には、各プローブ支持体に突設された押圧兼ガイド手段
間に被検査物を位置させ、該被検査物を押圧手段により
下方に押圧させればよい。しかるときは、被検査物は押
圧兼ガイド手段間に挟まれ、所定の位置に位置決めされ
た状態で下方にガイドされ、被検査物下面の各電極パッ
ドが対応する各プローブの内側端（先端）に確実に当接
する。しかして、各プローブは折曲傾斜部にて押圧兼ガ
イド手段により該プローブの弾性に抗して常時下方に押
圧されているため、各プローブの折曲部は基板上のパタ
ーンに常時接触しているのであるが、各プローブは下降
する被検査物の各電極パッドにより内側端が下方に押圧
される。従って、各プローブの折曲傾斜部が該プローブ
の弾性に抗して押圧兼ガイド手段から離されて更に下方
に屈曲される結果、各プローブの折曲部は基板上のパタ
ーンに強力に圧接する。換言すれば、弾性を有する各プ
ローブは例えば図５における符号Ａに示す状態に予め折
曲形成されているのであるが、このプローブは折曲傾斜
部にて押圧兼ガイド手段により図５における符号Ｂに示
す如く該プローブの弾性に抗して常時下方に押圧されて
いるのであるから、各プローブの折曲部は基板上のパタ
ーンに常時接触していることになる。この状態で各プロ
ーブの内側端が下降する被検査物の各電極パッドにより
下方に押圧されると、各プローブの折曲傾斜部は図５に
おける符号Ｃに示す如く該プローブの弾性に抗して押圧
兼ガイド手段から離されて更に下方に屈曲される。その
結果、各プローブの折曲部は基板上のパターンに強力に
圧接するのである。各プローブの折曲部は押圧兼ガイド
手段により基板上のパターンに常時押圧されているた
め、押圧手段が被検査物を下方に押圧するストロークは
小さくて済むと共に各プローブの折曲部とパターンとの
接触はより確実なものとなる。因みに、各プローブの折
曲部は基板上のパターンに常時接触しているのである
が、仮に両者間に隙間があると酸化被膜が生じて充分な
導通が確保されなくなるおそれがある。以上のように、
被検査物の各電極パッドは各プローブの折曲傾斜部を介
して基板上の検査用回路のパターンに容易且つ確実に接
続される。また、パターンの表面が平坦でなくても、接
続に支障はない。更に、押圧兼ガイド手段は弾性を有す
る各プローブを押圧することにより、各プローブを強制
的に上下方向に整列させることができる。即ち、押圧兼
ガイド手段は各プローブのパターンからのずれを防止す
るという作用をも果たす。なお、検査終了後、被検査物
を除去すれば、各プローブは被検査物による下方への押
圧から解放されるため、各プローブはその弾性により折
曲傾斜部が押圧兼ガイド手段に当接した状態（図５にお
ける符号Ｂに示す状態）に戻る。その他の点において
は、請求項２の電気回路用検査装置は請求項１の電気回
路用検査装置と同様の作用を有する。
【００１６】［請求項３の電気回路用検査装置］請求項
３の電気回路用検査装置においては、各プローブは予め
プローブ支持体の内側端にて下方に折曲させると共にプ
ローブ支持体の内側端よりも内方にて斜め上方に折曲さ
せている（図７参照）。この場合、各プローブの内側端
が下降する被検査物の各電極パッドにより下方に押圧さ
れると、各プローブにおけるプローブ支持体の内側端と
折曲部との間の部分（図８における符号１７ｄ参照）は
上方に湾曲する傾向があり、各プローブの折曲部は基板
上のパターンに更に強力に圧接する。
３の電気回路用検査装置においては、各プローブは予め
プローブ支持体の内側端にて下方に折曲させると共にプ
ローブ支持体の内側端よりも内方にて斜め上方に折曲さ
せている（図７参照）。この場合、各プローブの内側端
が下降する被検査物の各電極パッドにより下方に押圧さ
れると、各プローブにおけるプローブ支持体の内側端と
折曲部との間の部分（図８における符号１７ｄ参照）は
上方に湾曲する傾向があり、各プローブの折曲部は基板
上のパターンに更に強力に圧接する。
【００１７】［請求項４の電気回路用検査装置］請求項
４の電気回路用検査装置においては、各プローブの内側
端部に鋭い接触縁が形成されているため、各プローブは
被検査物における小さな電極パッドと確実に接触する
（図１０〜１３参照）。因みに、各プローブの内側端部
を折り曲げ、該折曲部を接点にしようとした場合には被
検査物における小さな電極パッドとの確実な接触が得ら
れないおそれがある（図１４参照）。また、各プローブ
の内側端部を折り曲げる作業は面倒である。
４の電気回路用検査装置においては、各プローブの内側
端部に鋭い接触縁が形成されているため、各プローブは
被検査物における小さな電極パッドと確実に接触する
（図１０〜１３参照）。因みに、各プローブの内側端部
を折り曲げ、該折曲部を接点にしようとした場合には被
検査物における小さな電極パッドとの確実な接触が得ら
れないおそれがある（図１４参照）。また、各プローブ
の内側端部を折り曲げる作業は面倒である。
【００１８】［請求項５の電気回路用検査装置］請求項
５の電気回路用検査装置においては、プローブ支持体に
はその内側端に被検査物のガイド面が形成され、該ガイ
ド面に切り欠き（図４参照）が形成されている。被検査
物はプローブ支持体間に挟まれ、所定の位置に位置決め
された状態で下方にガイドされ、被検査物下面の各電極
パッドが対応する各プローブの内側端（先端）に確実に
当接する。プローブ支持体の内側端に形成された切り欠
きは被検査物を検査装置から取り出すとき等にピンセッ
トの使用を可能にするものである。即ち、ピンセットを
当該切り欠きに挿入することにより被検査物を検査装置
から摘み出すことが可能となる。
５の電気回路用検査装置においては、プローブ支持体に
はその内側端に被検査物のガイド面が形成され、該ガイ
ド面に切り欠き（図４参照）が形成されている。被検査
物はプローブ支持体間に挟まれ、所定の位置に位置決め
された状態で下方にガイドされ、被検査物下面の各電極
パッドが対応する各プローブの内側端（先端）に確実に
当接する。プローブ支持体の内側端に形成された切り欠
きは被検査物を検査装置から取り出すとき等にピンセッ
トの使用を可能にするものである。即ち、ピンセットを
当該切り欠きに挿入することにより被検査物を検査装置
から摘み出すことが可能となる。
【００１９】［請求項６の電気回路用検査装置］請求項
６の電気回路用検査装置においては、押圧兼ガイド手段
における被検査物をガイドする面に切り欠き（図３参
照）が形成されている。この切り欠きは、上記請求項５
の切り欠きと同様に、被検査物を検査装置から取り出す
とき等にピンセット使用を可能にするものである（図２
参照）。
６の電気回路用検査装置においては、押圧兼ガイド手段
における被検査物をガイドする面に切り欠き（図３参
照）が形成されている。この切り欠きは、上記請求項５
の切り欠きと同様に、被検査物を検査装置から取り出す
とき等にピンセット使用を可能にするものである（図２
参照）。
【００２０】［請求項７の電気回路用検査装置］請求項
７の電気回路用検査装置においては、基板にゴミの落下
孔が形成されているため、検査装置内にゴミが生じた場
合にはこれを該落下孔を介して落下させることができ
る。
７の電気回路用検査装置においては、基板にゴミの落下
孔が形成されているため、検査装置内にゴミが生じた場
合にはこれを該落下孔を介して落下させることができ
る。
【００２１】［請求項８の電気回路用検査装置］請求項
８の電気回路用検査装置は請求項２の検査装置を上下反
転させ、被検査物を下方に配設し、基板を押圧手段によ
り下方に押圧させるようにしたものである。従って、請
求項８の電気回路用検査装置は請求項２の検査装置と上
下関係が逆になるものの、請求項２の検査装置とほぼ同
様の作用を有する。各プローブの折曲部は押圧板により
基板上のパターンに常時押圧されているため、押圧手段
が基板を下方に押圧するストロークは小さくて済むと共
に各プローブの折曲部とパターンとの接触はより確実な
ものとなる。ただし、請求項８の電気回路用検査装置に
おいては、基板は検査装置により位置決めされ、また、
押圧板は被検査物をガイドしない。
８の電気回路用検査装置は請求項２の検査装置を上下反
転させ、被検査物を下方に配設し、基板を押圧手段によ
り下方に押圧させるようにしたものである。従って、請
求項８の電気回路用検査装置は請求項２の検査装置と上
下関係が逆になるものの、請求項２の検査装置とほぼ同
様の作用を有する。各プローブの折曲部は押圧板により
基板上のパターンに常時押圧されているため、押圧手段
が基板を下方に押圧するストロークは小さくて済むと共
に各プローブの折曲部とパターンとの接触はより確実な
ものとなる。ただし、請求項８の電気回路用検査装置に
おいては、基板は検査装置により位置決めされ、また、
押圧板は被検査物をガイドしない。
【００２２】
【実施例】次に、本発明の実施例を添付図面に従って説
明する。符号１１に示すものは基板である。基板１１上
には検査用回路のパターン１３を配設する。基板１１上
にはプローブ支持体１５を取り付ける。プローブ支持体
１５は絶縁体である。図１に示す事例においては、プロ
ーブ支持体１５は二対、即ち合計４個設けられている。
各プローブ支持体１５には各パターン１３に対応するプ
ローブ１７を底面より内方に突設する。各プローブ１７
は弾性を有するものとする。図５に示すように、パター
ン１３の内側端１３ａはプローブ支持体１５の内側端１
５ａよりも内方に位置させ、各プローブ１７はプローブ
支持体１５の内側端１５ａよりも内方にて斜め上方に折
曲させ、各プローブ１７の折曲部１７ｃはパターン１３
上に位置するようになす（図９参照）。プローブ支持体
１５はその内側端１５ａを被検査物１９のガイド面とし
てもよいが（図４参照）、これに代えて、他のガイド手
段（図示せず。）を用いてもよいし、プローブ支持体１
５には各プローブ１７における折曲傾斜部１７ｂを該プ
ローブ１７の弾性に抗して常時基板方向に押圧すると共
に被検査物１９のガイドとなる押圧兼ガイド手段２１を
該プローブ支持体１５の内方に突設してもよい（図２、
図５参照）。各押圧兼ガイド手段２１は各プローブ支持
体１５と一体的に形成してもよいが、各押圧兼ガイド手
段２１を各プローブ支持体１５と別体のものとし、各押
圧兼ガイド手段２１を各プローブ支持体１５に固定する
ようにしてもよい。プローブ支持体１７は例えば正方形
状又は長方形状の一体の枠状に形成してもよい。図１５
はこのような枠状のプローブ支持体１７に取り付ける枠
状の押圧兼ガイド手段２１を示すものである。この押圧
兼ガイド手段２１は枠状体の内側に切り欠き２５、２５
を備えている。また、被検査物１９を押圧手段２３によ
り基板方向に押圧させるようになす。押圧手段２３は一
例としてプランジャとするが、押圧手段２３は他の如何
なるものであってもよい。なお、符号１９ａに示すもの
は被検査物１９に設けられた電極パッドである。
明する。符号１１に示すものは基板である。基板１１上
には検査用回路のパターン１３を配設する。基板１１上
にはプローブ支持体１５を取り付ける。プローブ支持体
１５は絶縁体である。図１に示す事例においては、プロ
ーブ支持体１５は二対、即ち合計４個設けられている。
各プローブ支持体１５には各パターン１３に対応するプ
ローブ１７を底面より内方に突設する。各プローブ１７
は弾性を有するものとする。図５に示すように、パター
ン１３の内側端１３ａはプローブ支持体１５の内側端１
５ａよりも内方に位置させ、各プローブ１７はプローブ
支持体１５の内側端１５ａよりも内方にて斜め上方に折
曲させ、各プローブ１７の折曲部１７ｃはパターン１３
上に位置するようになす（図９参照）。プローブ支持体
１５はその内側端１５ａを被検査物１９のガイド面とし
てもよいが（図４参照）、これに代えて、他のガイド手
段（図示せず。）を用いてもよいし、プローブ支持体１
５には各プローブ１７における折曲傾斜部１７ｂを該プ
ローブ１７の弾性に抗して常時基板方向に押圧すると共
に被検査物１９のガイドとなる押圧兼ガイド手段２１を
該プローブ支持体１５の内方に突設してもよい（図２、
図５参照）。各押圧兼ガイド手段２１は各プローブ支持
体１５と一体的に形成してもよいが、各押圧兼ガイド手
段２１を各プローブ支持体１５と別体のものとし、各押
圧兼ガイド手段２１を各プローブ支持体１５に固定する
ようにしてもよい。プローブ支持体１７は例えば正方形
状又は長方形状の一体の枠状に形成してもよい。図１５
はこのような枠状のプローブ支持体１７に取り付ける枠
状の押圧兼ガイド手段２１を示すものである。この押圧
兼ガイド手段２１は枠状体の内側に切り欠き２５、２５
を備えている。また、被検査物１９を押圧手段２３によ
り基板方向に押圧させるようになす。押圧手段２３は一
例としてプランジャとするが、押圧手段２３は他の如何
なるものであってもよい。なお、符号１９ａに示すもの
は被検査物１９に設けられた電極パッドである。
【００２３】各プローブ１７を形成する際には、図７、
図８に示すように、各プローブ１７を予めプローブ支持
体１５の内側端１５ａにて下方に折曲させると共にプロ
ーブ支持体の内側端１５ａよりも内方にて斜め上方に折
曲させることが望ましい。
図８に示すように、各プローブ１７を予めプローブ支持
体１５の内側端１５ａにて下方に折曲させると共にプロ
ーブ支持体の内側端１５ａよりも内方にて斜め上方に折
曲させることが望ましい。
【００２４】各プローブ１７の内側端部１７ａに鋭い接
触縁１７ａ’を形成することが望ましい（図１０〜１３
参照）。図１４はプローブ１７の内側端部１７ａを折り
曲げ、該折曲部１７ａ”を接点にした場合を示す。
触縁１７ａ’を形成することが望ましい（図１０〜１３
参照）。図１４はプローブ１７の内側端部１７ａを折り
曲げ、該折曲部１７ａ”を接点にした場合を示す。
【００２５】押圧兼ガイド手段２１には被検査物１９を
ガイドする面に切り欠き２５を形成することが望ましい
（図１〜３参照）。図４に示す事例においては、プロー
ブ支持体１５における内側端を被検査物１９のガイド面
１５ａとし、該ガイド面１５ａに切り欠き２５’を形成
している。なお、図２、図４における符号２７はピンセ
ットである。
ガイドする面に切り欠き２５を形成することが望ましい
（図１〜３参照）。図４に示す事例においては、プロー
ブ支持体１５における内側端を被検査物１９のガイド面
１５ａとし、該ガイド面１５ａに切り欠き２５’を形成
している。なお、図２、図４における符号２７はピンセ
ットである。
【００２６】基板１１にはゴミの落下孔２９を形成する
ことが望ましい（図２、図４参照）。
ことが望ましい（図２、図４参照）。
【００２７】図６に示す事例は図５に示す事例を上下反
転させ、被検査物１９を下方に固定し、基板を押圧手段
により下方に押圧させるようにしたものである。この事
例においては、支持板１３１の下面に基板１１１を取り
付け、該基板１１１の下面に検査用回路のパターン１１
３を配設し、該基板１１１の下面側にはプローブ支持体
１１５を取り付ける。プローブ支持体１１５にはパター
ン１１３に対応する弾性を有するプローブ１１７を上面
より内方に突設する。パターン１１３の内側端１１３ａ
はプローブ支持体１１５の内側端１１５ａよりも内方に
位置させる。各プローブ１１７はプローブ支持体１１５
の内側端１１５ａよりも内方にて斜め下方に折曲させ、
各プローブ１１７の折曲部１１７ｃはパターン１１３の
下面に位置させる。プローブ支持体１１５には各プロー
ブ１１７における折曲傾斜部１１７ｂを該プローブ１１
７の弾性に抗して常時上方に押圧する押圧板１２１を該
プローブ支持体１１５の内方に突設し、支持板１３１を
押圧手段１２３により下方に押圧させるようになす。
転させ、被検査物１９を下方に固定し、基板を押圧手段
により下方に押圧させるようにしたものである。この事
例においては、支持板１３１の下面に基板１１１を取り
付け、該基板１１１の下面に検査用回路のパターン１１
３を配設し、該基板１１１の下面側にはプローブ支持体
１１５を取り付ける。プローブ支持体１１５にはパター
ン１１３に対応する弾性を有するプローブ１１７を上面
より内方に突設する。パターン１１３の内側端１１３ａ
はプローブ支持体１１５の内側端１１５ａよりも内方に
位置させる。各プローブ１１７はプローブ支持体１１５
の内側端１１５ａよりも内方にて斜め下方に折曲させ、
各プローブ１１７の折曲部１１７ｃはパターン１１３の
下面に位置させる。プローブ支持体１１５には各プロー
ブ１１７における折曲傾斜部１１７ｂを該プローブ１１
７の弾性に抗して常時上方に押圧する押圧板１２１を該
プローブ支持体１１５の内方に突設し、支持板１３１を
押圧手段１２３により下方に押圧させるようになす。
【００２８】
［請求項１の電気回路用検査装置］請求項１の電気回路
用検査装置によれば、被検査物の各電極パッドは各プロ
ーブを介して基板上の検査用回路のパターンに容易且つ
確実に接続される。パターンの表面が平坦でなくても、
接続に支障はない。また、被検査物の各電極パッドは、
各プローブの全長ではなく、各プローブにおける折曲傾
斜部を介して基板上の検査用回路のパターンに接続され
る。従って、各プローブにおける折曲傾斜部を極めて短
くすることにより被検査物とパターンとの間の接続距離
を短縮し、以て信号の減衰を防止し、高周波特性を高め
ることが可能となる。更に、パターンの内側端はプロー
ブ支持体の内側端よりも内方に位置しており、各プロー
ブはプローブ支持体から内方に突出しているため、各プ
ローブと対応パターンとを上方から目視することが可能
である。従って、仮に各プローブの整列状態（アライン
メント）に乱れが生じた場合でも、その修正は極めて容
易である。
用検査装置によれば、被検査物の各電極パッドは各プロ
ーブを介して基板上の検査用回路のパターンに容易且つ
確実に接続される。パターンの表面が平坦でなくても、
接続に支障はない。また、被検査物の各電極パッドは、
各プローブの全長ではなく、各プローブにおける折曲傾
斜部を介して基板上の検査用回路のパターンに接続され
る。従って、各プローブにおける折曲傾斜部を極めて短
くすることにより被検査物とパターンとの間の接続距離
を短縮し、以て信号の減衰を防止し、高周波特性を高め
ることが可能となる。更に、パターンの内側端はプロー
ブ支持体の内側端よりも内方に位置しており、各プロー
ブはプローブ支持体から内方に突出しているため、各プ
ローブと対応パターンとを上方から目視することが可能
である。従って、仮に各プローブの整列状態（アライン
メント）に乱れが生じた場合でも、その修正は極めて容
易である。
【００２９】［請求項２の電気回路用検査装置］請求項
２の電気回路用検査装置においては、プローブ支持体に
は各プローブにおける折曲傾斜部を該プローブの弾性に
抗して常時下方に押圧すると共に被検査物のガイドとな
る押圧兼ガイド手段を該プローブ支持体の内方に突設し
ているため、被検査物の各電極パッドは各プローブを介
して基板上の検査用回路のパターンにより確実に接続さ
れる。また、押圧兼ガイド手段は弾性を有する各プロー
ブを常時押圧することにより、前述の如く、押圧手段の
ストロークを小さくするだけでなく、各プローブを強制
的に上下方向に整列させることができる。換言すれば、
押圧兼ガイド手段は各プローブのパターンからのずれを
防止するという効果をも発揮する。その他の点において
は請求項２の電気回路用検査装置は請求項１の電気回路
用検査装置と同様の効果を発揮する。
２の電気回路用検査装置においては、プローブ支持体に
は各プローブにおける折曲傾斜部を該プローブの弾性に
抗して常時下方に押圧すると共に被検査物のガイドとな
る押圧兼ガイド手段を該プローブ支持体の内方に突設し
ているため、被検査物の各電極パッドは各プローブを介
して基板上の検査用回路のパターンにより確実に接続さ
れる。また、押圧兼ガイド手段は弾性を有する各プロー
ブを常時押圧することにより、前述の如く、押圧手段の
ストロークを小さくするだけでなく、各プローブを強制
的に上下方向に整列させることができる。換言すれば、
押圧兼ガイド手段は各プローブのパターンからのずれを
防止するという効果をも発揮する。その他の点において
は請求項２の電気回路用検査装置は請求項１の電気回路
用検査装置と同様の効果を発揮する。
【００３０】［請求項３の電気回路用検査装置］請求項
３の電気回路用検査装置においては、各プローブの内側
端が下降する被検査物の各電極パッドにより下方に押圧
されると、各プローブにおけるプローブ支持体の内側端
と折曲部との間の部分は上方に湾曲する傾向があり、各
プローブの折曲部は基板上のパターンに更に強力に圧接
する。
３の電気回路用検査装置においては、各プローブの内側
端が下降する被検査物の各電極パッドにより下方に押圧
されると、各プローブにおけるプローブ支持体の内側端
と折曲部との間の部分は上方に湾曲する傾向があり、各
プローブの折曲部は基板上のパターンに更に強力に圧接
する。
【００３１】［請求項４の電気回路用検査装置］請求項
４の電気回路用検査装置においては、各プローブの内側
端部に鋭い接触縁が形成されているため、各プローブは
被検査物における小さな電極パッドと確実に接触する。
４の電気回路用検査装置においては、各プローブの内側
端部に鋭い接触縁が形成されているため、各プローブは
被検査物における小さな電極パッドと確実に接触する。
【００３２】［請求項５の電気回路用検査装置］請求項
５の電気回路用検査装置においては、プローブ支持体に
おける内側端に被検査物のガイド面が形成され、該ガイ
ド面に切り欠きが形成されている。被検査物はプローブ
支持体間に挟まれ、所定の位置に位置決めされた状態で
下方にガイドされ、被検査物下面の各電極パッドが対応
する各プローブの内側端（先端）に確実に当接する。該
ガイド面に形成された切り欠きは被検査物を検査装置か
ら取り出すとき等にピンセットの使用を可能にするもの
である。
５の電気回路用検査装置においては、プローブ支持体に
おける内側端に被検査物のガイド面が形成され、該ガイ
ド面に切り欠きが形成されている。被検査物はプローブ
支持体間に挟まれ、所定の位置に位置決めされた状態で
下方にガイドされ、被検査物下面の各電極パッドが対応
する各プローブの内側端（先端）に確実に当接する。該
ガイド面に形成された切り欠きは被検査物を検査装置か
ら取り出すとき等にピンセットの使用を可能にするもの
である。
【００３３】［請求項６の電気回路用検査装置］請求項
６の電気回路用検査装置においては、押圧兼ガイド手段
における被検査物をガイドする面に切り欠きが形成され
ており、この切り欠きも被検査物を検査装置から取り出
すとき等にピンセットの使用を可能にするものである。
６の電気回路用検査装置においては、押圧兼ガイド手段
における被検査物をガイドする面に切り欠きが形成され
ており、この切り欠きも被検査物を検査装置から取り出
すとき等にピンセットの使用を可能にするものである。
【００３４】［請求項７の電気回路用検査装置］請求項
７の電気回路用検査装置においては、基板にゴミの落下
孔が形成されているため、検査装置内にゴミが生じた場
合にはこれを該落下孔を介して落下させることができ
る。
７の電気回路用検査装置においては、基板にゴミの落下
孔が形成されているため、検査装置内にゴミが生じた場
合にはこれを該落下孔を介して落下させることができ
る。
【００３５】［請求項８の電気回路用検査装置］請求項
８の電気回路用検査装置は請求項２の電気回路用検査装
置を上下反転させ、被検査物を下方に固定し、基板を押
圧手段により下方に押圧させるようにしたものである。
従って、請求項８の電気回路用検査装置は請求項２の検
査装置と同様の効果を発揮する。因みに、押圧板は弾性
を有する各プローブを常時押圧することにより、前述の
如く、押圧手段のストロークを小さくするだけでなく、
各プローブを強制的に上下方向に整列させることができ
る。換言すれば、押圧兼ガイド手段は各プローブのパタ
ーンからのずれを防止するという効果をも発揮する。
８の電気回路用検査装置は請求項２の電気回路用検査装
置を上下反転させ、被検査物を下方に固定し、基板を押
圧手段により下方に押圧させるようにしたものである。
従って、請求項８の電気回路用検査装置は請求項２の検
査装置と同様の効果を発揮する。因みに、押圧板は弾性
を有する各プローブを常時押圧することにより、前述の
如く、押圧手段のストロークを小さくするだけでなく、
各プローブを強制的に上下方向に整列させることができ
る。換言すれば、押圧兼ガイド手段は各プローブのパタ
ーンからのずれを防止するという効果をも発揮する。
【図１】本発明による電気回路用検査装置の一例を一部
省略して示す平面図である。
省略して示す平面図である。
【図２】同上電気回路用検査装置の断面図である。
【図３】押圧兼ガイド手段を示す斜視図である。
【図４】本発明による電気回路用検査装置の別の一例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図５】図１の電気回路用検査装置の一部を示す断面図
である。
である。
【図６】本発明による電気回路用検査装置の更に別の一
例を示す平面図である。
例を示す平面図である。
【図７】プローブの変形例を示す側面図である。
【図８】同上プローブの使用状態を示す側面図である。
【図９】プローブとパターンとの位置関係を示す平面図
である。
である。
【図１０】プローブの内側端の一例を示す斜視図であ
る。
る。
【図１１】同上プローブの正面図である。
【図１２】プローブの内側端の別の一例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図１３】プローブの内側端の更に別の一例を示す斜視
図である。
図である。
【図１４】プローブの内側端の更に別の一例を示す斜視
図である。
図である。
【図１５】押圧兼ガイド手段の別の一例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図１６】従来の電気回路用検査装置を示す側面図であ
る。
る。
１ 絶縁ブロック ３ プローブ ３ａ 先端 ３ｂ 基端 ５ たわみ線 ５ａ 他端 ７ ベアチップ ９ 電極パッド １１ 基板 １３ パターン １３ａ 内側端 １５ プローブ支持体 １５ａ 内側端 １７ プローブ １７ａ 内側端部 １７ａ’ 接触縁 １７ａ” 折曲部 １７ｂ 折曲傾斜部 １７ｃ 折曲部 １７ｄ プローブにおけるプローブ支持体の内側端と折
曲部との間の部分 １９ 被検査物 １９ａ 電極パッド ２１ 押圧兼ガイド手段 ２３ 押圧手段 ２５ 切り欠き ２５’ 切り欠き ２７ ピンセット ２９ 落下孔 １１１ 基板 １１３ パターン １１３ａ 内側端 １１５ プローブ支持体 １１５ａ 内側端 １１７ プローブ １１７ｂ 折曲傾斜部 １１７ｃ 折曲部 １２１ 押圧板 １２３ 押圧手段 １３１ 支持板
曲部との間の部分 １９ 被検査物 １９ａ 電極パッド ２１ 押圧兼ガイド手段 ２３ 押圧手段 ２５ 切り欠き ２５’ 切り欠き ２７ ピンセット ２９ 落下孔 １１１ 基板 １１３ パターン １１３ａ 内側端 １１５ プローブ支持体 １１５ａ 内側端 １１７ プローブ １１７ｂ 折曲傾斜部 １１７ｃ 折曲部 １２１ 押圧板 １２３ 押圧手段 １３１ 支持板
Claims (8)
- 【請求項１】 基板上に検査用回路のパターンを配設
し、該基板上にはプローブ支持体を取り付け、該プロー
ブ支持体には各パターンに対応する弾性を有するプロー
ブを底面より内方に突設し、パターンの内側端はプロー
ブ支持体の内側端よりも内方に位置させ、各プローブは
プローブ支持体の内側端よりも内方にて斜め上方に折曲
させ、各プローブの折曲部はパターン上に位置するよう
になし、被検査物を押圧手段により基板方向に押圧さ
せ、以て各プローブをその弾性に抗してパターンに押圧
させるようにしたことを特徴とする、プローブを備えた
電気回路用検査装置。 - 【請求項２】 基板上に検査用回路のパターンを配設
し、該基板上にはプローブ支持体を取り付け、該プロー
ブ支持体には各パターンに対応する弾性を有するプロー
ブを底面より内方に突設し、パターンの内側端はプロー
ブ支持体の内側端よりも内方に位置させ、各プローブは
プローブ支持体の内側端よりも内方にて斜め上方に折曲
させ、各プローブの折曲部はパターン上に位置するよう
になし、プローブ支持体には各プローブにおける折曲傾
斜部を該プローブの弾性に抗して常時下方に押圧すると
共に被検査物のガイドとなる押圧兼ガイド手段を該プロ
ーブ支持体の内方に突設し、被検査物を押圧手段により
下方に押圧させるようにしたことを特徴とする、プロー
ブを備えた電気回路用検査装置。 - 【請求項３】 前記各プローブは予めプローブ支持体の
内側端にて下方に折曲させると共にプローブ支持体の内
側端よりも内方にて斜め上方に折曲させたことを特徴と
する請求項１又は２の電気回路用検査装置。 - 【請求項４】 前記各プローブの内側端部に鋭い接触縁
を形成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれかの
電気回路用検査装置。 - 【請求項５】 前記プローブ支持体は内側端を被検査物
のガイド面とし、該ガイド面に切り欠きを形成したこと
を特徴とする請求項１の電気回路用検査装置。 - 【請求項６】 前記押圧兼ガイド手段には被検査物をガ
イドする面に切り欠きを形成したことを特徴とする請求
項２〜４のいずれかの電気回路用検査装置。 - 【請求項７】 前記基板にはゴミの落下孔を形成したこ
とを特徴とする請求項１〜６のいずれかの電気回路用検
査装置。 - 【請求項８】 基板の下面に検査用回路のパターンを配
設し、該基板の下面側にはプローブ支持体を取り付け、
該プローブ支持体には該パターンに対応する弾性を有す
るプローブを上面より内方に突設し、パターンの内側端
はプローブ支持体の内側端よりも内方に位置させ、各プ
ローブはプローブ支持体の内側端よりも内方にて斜め下
方に折曲させ、各プローブの折曲部はパターンの下面に
位置するようになし、プローブ支持体には各プローブに
おける折曲傾斜部を該プローブの弾性に抗して常時上方
に押圧する押圧板を該プローブ支持体の内方に突設し、
該基板を押圧手段により下方に押圧させるようにしたこ
とを特徴とする、プローブを備えた電気回路用検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6336549A JPH08178959A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | プローブを備えた電気回路用検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6336549A JPH08178959A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | プローブを備えた電気回路用検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08178959A true JPH08178959A (ja) | 1996-07-12 |
Family
ID=18300289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6336549A Pending JPH08178959A (ja) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | プローブを備えた電気回路用検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08178959A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015030028A1 (ja) * | 2013-08-27 | 2015-03-05 | 株式会社ティー・ピー・エス | カンチレバー型プローブおよびプローブカード |
-
1994
- 1994-12-22 JP JP6336549A patent/JPH08178959A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015030028A1 (ja) * | 2013-08-27 | 2015-03-05 | 株式会社ティー・ピー・エス | カンチレバー型プローブおよびプローブカード |
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