JPH08173738A - 集塵機および集塵方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】微細加工により発生する微小の粉塵を収集する
集塵機および集塵方法において、フィルタ７に塵埃６を
再付着させることなく長時間集塵能力を維持できるよう
にする。 【構成】吸引口４より下方の塵受皿部３を集塵室１１と
仕切るとともに塵埃を滑り落し込む傾斜壁と穴１ａとを
もつ漏斗状部材１と、吸引力により浮き上がり穴１ａを
塞ぐとともに吸引力がないとき穴１ａから離間し下方に
停留するフロートボール２とを設け、外気の吸引時に堆
積する塵埃６の舞い上りを阻止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、微粉状の塵埃を含む外
気を吸引しフィルタを通過させることで塵埃を除去する
集塵機および集塵方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】通常、レーザトリマやレーザスクライバ
ーなどにより樹脂材や金属材などの表面を微細加工した
とき、削り屑として微粉状の塵埃を発生する。このよう
な微細な塵埃は、半導体装置の製造における品質に問題
を起すだけではなく人体にも有害となる。そこで、この
ような微細加工装置には微粉状の塵埃を除去する集塵機
が備えられている。

【０００３】図３は従来の一例を示す集塵機の断面図で
ある。この集塵機は、図３に示すように、外気を吸引す
る吸引口４を有し排気装置９と直結する排気室１０とフ
ィルタ７を介して仕切られる集塵室１１と、排気室１０
にあってフィルタ７に付着する塵埃を集塵室１１にかき
落す塵落とし棒８とを備えている。

【０００４】この集塵機の吸引口４はレーザスクライバ
ーなどの排気ダクトに接続され、レーザで加工により発
生した塵埃を吸引口４より吸込みフィルタ７で塵埃を除
去し清浄な空気にし、この清浄な空気を排気室１０から
排気装置９のダクトを経由し屋外に排出していた。

【０００５】また、この集塵機は、時間の経過とともに
フィルタ７が切屑である塵埃で詰り排気による集塵能力
が低下するので、必要に応じて塵落とし棒８を上下動さ
せフィルタ８に振動を与え付着する塵埃６を塵埃室１１
の底部の塵受皿部３に落してフィルタ７の集塵能力を回
復させていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の集塵機では、停止させた状態から排気し始める
と、集塵室の急激な圧力低下に伴ない集塵室の底部に堆
積された塵埃が舞い上り清掃済みのフィルタに塵埃が再
付着し、極めて短時間で集塵能力を著しく低下させると
いう問題がある。

【０００７】従って、本発明の目的は、フィルタに塵埃
を再付着させることなく長時間集塵能力を維持できる集
塵機および集塵方法を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、塵埃を
含む外気を吸引する吸引口を有し排気装置と直結する排
気室とフィルタを介して仕切られる集塵室と、前記フィ
ルタに付着する塵埃を前記集塵室の底部にかき落す塵埃
除去手段とを有する集塵機において、前記塵埃除去手段
でかき落される前記塵埃が通る穴を中央部に有し前記吸
引口より下側の前記集塵室の内壁より前記穴へ下るよう
に傾斜して伸びる壁をもつ漏斗状部材と、この漏斗状部
材の前記穴の下に停留し排気時の吸引力で上昇し前記穴
を塞ぐ球状部材とを備える集塵機である。

【０００９】また、本発明の他の特徴は、塵埃を含む外
気を前記吸引口から吸引し該吸引力により前記球状部材
を浮し前記漏斗状部材の該穴を塞ぐとともに前記フィル
タに前記塵埃を吸収し停留させる第１の動作と、前記吸
引口からの前記外気の吸引を停止し該停止によって前記
球状部材を前記穴から離脱させ該穴を開けるとともに前
記フィルタに停留する前記塵埃を前記塵埃除去手段で離
脱させ前記穴に落し込む第２の動作とを含み構成される
集塵方法である。

【００１０】

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。

【００１１】図１は本発明の集塵機の一実施例を示す断
面図である。この集塵機は、図１に示すように、塵落と
し棒８でかき落される塵埃が通る穴１ａを中央部に有し
吸引口４より下側の集塵室１１の内壁より中央部の穴１
ａへ下るように傾斜して伸びる壁をもつ漏斗状部材１
と、この漏斗状部材１の穴１ａの下のボール受け５に停
留し排気時の吸引力で上昇し穴１ａを塞ぐフロートボー
ル２とを設けたことである。それ以外の塵落とし棒８、
排気室１０、排気装置９およびフィルタ７並びに集塵室
１１と塵受皿部３は従来例で示したものと同じである。

【００１２】ここで、漏斗状部材１は交換可能のよう
に、集塵室１１のエッジにねじ止めされるフランジが取
付けられている。また、この漏斗状部材１は鉄板をへら
絞り成形して製作し、傾斜する内壁の表面は塵埃が付着
しないようにテフロンコート（６フッ化ビニール膜の形
成）することが望ましい。また、フロートボール２は市
販のピンポン玉で十分使用できる。そして、浮き上るフ
ロートボール２で塞がれる穴１ａの大きさは、フロート
ボール２の直径の１／４から３／４程度の直径の穴にす
る。

【００１３】図２（ａ）および（ｂ）は図１の集塵機の
動作順に示す集塵室の断面図である。次に、この集塵機
の動作による集塵方法ついて図１と図２を参照して説明
する。まず、図２（ａ）に示すように、微細加工装置か
ら排出される塵埃を含む外気を吸引口４から排気する。
このことにより、排気装置９の吸引力によりフロートボ
ール２はボール受け５より浮き上り穴１ａを塞ぎ、塵受
皿部３から舞い上がる塵埃６は穴１ａが閉じた漏斗状部
材１で阻止される。そして、吸引口４からの外気は矢印
の方向に流れ外気に含まれた塵埃はフィルタで除去され
る。

【００１４】次に、排気装置９の動作を停止し外気の吸
引を停止すると、吸引力がなくなりその結果フロートボ
ール２は下降し穴１ｂを開けボール受け５に停留する。
そして、フィルタに停留していた塵埃６を塵落とし棒８
で落下させ、落下する塵埃は漏斗状部材１の穴１ａに直
接落ち込むかあるいは内壁を滑り穴１ａから塵受皿部３
に落ち込んで塵受皿部３に堆積する。

【００１５】このように外気を吸引しフィルタに塵埃を
停留させるとともに吸引力によるフロートボール２の浮
上による穴１ａの閉じ動作と、吸引停止により穴１ａを
開け塵落とし棒８の作用でフィルタからの塵埃を穴１ａ
への落し込み動作を行なえば、フィルタに目詰りを起す
ことなく集塵能力を常に一定に保つことができる。

【００１６】ここで、望ましくは、集塵室１１の圧力を
検出してフィルタ７に振動を与える塵落とし棒８が自動
的に動作するようにし、排気装置の前段に開閉バルブを
設け、吸引及び吸引停止の動作を開閉バルブで行なうと
ともにフィルタ７の詰り状態を検知しながら塵落とし棒
８で塵埃の離脱を自動的に行なうことである。そうすれ
ば、フィルタ７に停留する塵埃が無くなりフィルタは常
に初期状態を維持し長期間集塵能力を保つことができ
る。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、集塵室の
吸引口より下方の塵受皿部を集塵室と仕切るとともに塵
埃を滑り落し込む傾斜壁と穴とをもつ漏斗状部材と、吸
引力により浮き上がり穴を塞ぐとともに吸引力がないと
き前記穴から離間し下方に停留する球状部材を設けるこ
とにより、外気を吸引時に集塵室の底部に堆積する塵埃
の舞い上りを阻止しフィルタへの塵埃の再付着を防止で
きるので、集塵能力を高く長時間維持できるという効果
がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の集塵機の一実施例を示す断面図であ
る。

【図２】図１の集塵機の動作順に示す集塵室の断面図で
ある。

【図３】従来の一例を示す集塵機の断面図である。

【符号の説明】

１ 漏斗状部材 ２ フロートボール ３ 塵受皿部 ４ 吸引口 ５ ボール受け ６ 塵埃 ７ フィルタ ８ 塵落とし棒 ９ 排気装置 １０ 排気室 １１ 集塵室

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 塵埃を含む外気を吸引する吸引口を有し
   排気装置と直結する排気室とフィルタを介して仕切られ
   る集塵室と、前記フィルタに付着する塵埃を前記集塵室
   の底部にかき落す塵埃除去手段とを有する集塵機におい
   て、前記塵埃除去手段でかき落される前記塵埃が通る穴
   を中央部に有し前記吸引口より下側の前記集塵室の内壁
   より前記穴へ下るように傾斜して伸びる壁をもつ漏斗状
   部材と、この漏斗状部材の前記穴の下に停留し排気時の
   吸引力で上昇し前記穴を塞ぐ球状部材とを備えることを
   特徴とする集塵機。
2. 【請求項２】 塵埃を含む外気を前記吸引口から吸引し
   該吸引力により前記球状部材を浮し前記漏斗状部材の該
   穴を塞ぐとともに前記フィルタに前記塵埃を吸収し停留
   させる第１の動作と、前記吸引口からの前記外気の吸引
   を停止し該停止によって前記球状部材を前記穴から離脱
   させ該穴を開けるとともに前記フィルタに停留する前記
   塵埃を前記塵埃除去手段で離脱させ前記穴に落し込む第
   ２の動作とを含み構成されることを特徴とする集塵方
   法。