JPH08167176A - 光記録媒体用スタンパーおよびその製造方法 - Google Patents
光記録媒体用スタンパーおよびその製造方法Info
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- JPH08167176A JPH08167176A JP30582094A JP30582094A JPH08167176A JP H08167176 A JPH08167176 A JP H08167176A JP 30582094 A JP30582094 A JP 30582094A JP 30582094 A JP30582094 A JP 30582094A JP H08167176 A JPH08167176 A JP H08167176A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 プリフォーマットを有する光記録媒体用スタ
ンパーにおいて、スタンパー厚み方向に硬度分布をもた
せ、例えばプリフォーマット面側を硬く、例えば３００
Ｈｖ以上とし、その裏面側を軟らかく、例えば１８０Ｈ
ｖ以下とする。 【効果】 スタンパーをロール状にした場合において
も、取付け時の伸びその他の不良現象がなく、高精度か
つ高品位の基板を生産性よく作製できる。
ンパーにおいて、スタンパー厚み方向に硬度分布をもた
せ、例えばプリフォーマット面側を硬く、例えば３００
Ｈｖ以上とし、その裏面側を軟らかく、例えば１８０Ｈ
ｖ以下とする。 【効果】 スタンパーをロール状にした場合において
も、取付け時の伸びその他の不良現象がなく、高精度か
つ高品位の基板を生産性よく作製できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光記録媒体用基板の製
造に用いる光記録媒体用スタンパーおよびその製造方法
に関し、特にスタンパーの厚み方向に対して硬度分布を
もたせて耐久性を向上させたスタンパーおよびその製造
方法に関する。
造に用いる光記録媒体用スタンパーおよびその製造方法
に関し、特にスタンパーの厚み方向に対して硬度分布を
もたせて耐久性を向上させたスタンパーおよびその製造
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、各種情報の記録には、磁気テー
プ、磁気ディスク等の磁気材料、各種半導体メモリー等
が主として用いられてきた。このような磁気メモリーお
よび半導体メモリーは、情報の書き込みおよび読み出し
が容易に行えるという利点がある反面、情報の内容を容
易に書き換えたり、高密度記録することができないとい
う問題点があった。
プ、磁気ディスク等の磁気材料、各種半導体メモリー等
が主として用いられてきた。このような磁気メモリーお
よび半導体メモリーは、情報の書き込みおよび読み出し
が容易に行えるという利点がある反面、情報の内容を容
易に書き換えたり、高密度記録することができないとい
う問題点があった。
【０００３】このような問題点を解決するために、多種
多様の情報を効率よく取り扱う手段として、光記録媒体
による光学的情報記録方法が提案され、そのための光学
的情報記録担体、記録再生方法、記録再生装置が提案さ
れている。かかる情報記録担体としての光記録媒体は、
一般にレーザー光を用いて情報記録担体上の光記録層の
一部を揮散させるか、反射率の変化を生じさせるか、あ
るいは変形を生じさせて、光学的な反射率や透過率の差
によって情報を記録し、あるいは再生を行っている。
多様の情報を効率よく取り扱う手段として、光記録媒体
による光学的情報記録方法が提案され、そのための光学
的情報記録担体、記録再生方法、記録再生装置が提案さ
れている。かかる情報記録担体としての光記録媒体は、
一般にレーザー光を用いて情報記録担体上の光記録層の
一部を揮散させるか、反射率の変化を生じさせるか、あ
るいは変形を生じさせて、光学的な反射率や透過率の差
によって情報を記録し、あるいは再生を行っている。
【０００４】この場合、光記録層は情報を書き込み後、
現像処理等の必要がなく、「書いた後に直読する」こと
のできる、いわゆるＤＲＡＷ（ダイレクト・リード・ア
フター・ライト）媒体であり、高密度記録が可能であ
り、また追加書き込みも可能であることから、情報の記
録・保存媒体として有効である。
現像処理等の必要がなく、「書いた後に直読する」こと
のできる、いわゆるＤＲＡＷ（ダイレクト・リード・ア
フター・ライト）媒体であり、高密度記録が可能であ
り、また追加書き込みも可能であることから、情報の記
録・保存媒体として有効である。
【０００５】一般的な光記録媒体では、熱可塑性樹脂で
あるポリカーボネート樹脂やポリメチルメタクリル樹脂
を、トラックや情報に対応する凹凸パターンが記録され
ているスタンパーを用いて、その凹凸パターンを転写し
てグルーブを形成している。このような情報記録媒体用
基板成形用スタンパーは、従来実開昭５８−１４１４３
５号公報、特開昭６１−２８４８４３号公報および日本
工業技術センター発行の「光ディスクプロセス技術の要
点Ｎｏ．５」（昭和６０年３月１５日発行）に記載され
ているような方法により製造されている。
あるポリカーボネート樹脂やポリメチルメタクリル樹脂
を、トラックや情報に対応する凹凸パターンが記録され
ているスタンパーを用いて、その凹凸パターンを転写し
てグルーブを形成している。このような情報記録媒体用
基板成形用スタンパーは、従来実開昭５８−１４１４３
５号公報、特開昭６１−２８４８４３号公報および日本
工業技術センター発行の「光ディスクプロセス技術の要
点Ｎｏ．５」（昭和６０年３月１５日発行）に記載され
ているような方法により製造されている。
【０００６】すなわち、スタンパーの製造方法として、
具体的には図２に示すごとく、まずガラス基板６の表面
にフォトレジスト層７を塗布形成し（図２（Ａ））、レ
ジスト層７にトラッキング用溝や情報用ビット等のプリ
フォーマットに対応したパターンの露光および現像を行
って表面にレジストパターン７’を有するガラス原盤を
得る（図２（Ｂ））。
具体的には図２に示すごとく、まずガラス基板６の表面
にフォトレジスト層７を塗布形成し（図２（Ａ））、レ
ジスト層７にトラッキング用溝や情報用ビット等のプリ
フォーマットに対応したパターンの露光および現像を行
って表面にレジストパターン７’を有するガラス原盤を
得る（図２（Ｂ））。
【０００７】次に、ガラス原盤８の表面に導電化膜９を
形成した後（図２（Ｃ））、電鋳法により金属膜１０を
形成させ（図２（Ｄ））、さらに金属膜１０の表面を研
磨した後、これらの導電化膜９および金属膜１０を一体
として同時にガラス原盤８から剥離させ、情報記録媒体
成形用スタンパー１１を製造している（図２（Ｅ））。
電鋳法による一般的な情報記録媒体成形用スタンパー
の製造プロセスは上述した通りであり、特に図２の
（Ｃ）〜（Ｄ）の工程を詳しく説明すると、原盤上の導
電化膜９は、真空中での金属の蒸着もしくはスパッタリ
ング等の方法により成膜され、材料には銀、多くはニッ
ケルが用いられている。そして、例えばニッケル膜を５
００オングストローム〜３０００オングストロームの厚
み範囲に、トラッキング用溝、情報用ビット等に対応す
る凹凸の微細レジストパターン７’上に成膜する。
形成した後（図２（Ｃ））、電鋳法により金属膜１０を
形成させ（図２（Ｄ））、さらに金属膜１０の表面を研
磨した後、これらの導電化膜９および金属膜１０を一体
として同時にガラス原盤８から剥離させ、情報記録媒体
成形用スタンパー１１を製造している（図２（Ｅ））。
電鋳法による一般的な情報記録媒体成形用スタンパー
の製造プロセスは上述した通りであり、特に図２の
（Ｃ）〜（Ｄ）の工程を詳しく説明すると、原盤上の導
電化膜９は、真空中での金属の蒸着もしくはスパッタリ
ング等の方法により成膜され、材料には銀、多くはニッ
ケルが用いられている。そして、例えばニッケル膜を５
００オングストローム〜３０００オングストロームの厚
み範囲に、トラッキング用溝、情報用ビット等に対応す
る凹凸の微細レジストパターン７’上に成膜する。
【０００８】次に電鋳工程（Ｄ）では、導電化膜９を形
成したガラス原盤８を原盤ホルダーで保持した図３に示
す電鋳装置を用いて、原盤を２０〜３０ｒｐｍの回転速
度で回転させながら、スルファミン酸ニッケル電鋳液１
５中で通電させ、導電化膜９を形成したガラス原盤８上
にニッケル金属を析出させて電鋳を行っている。１６は
原盤ホルダーである。
成したガラス原盤８を原盤ホルダーで保持した図３に示
す電鋳装置を用いて、原盤を２０〜３０ｒｐｍの回転速
度で回転させながら、スルファミン酸ニッケル電鋳液１
５中で通電させ、導電化膜９を形成したガラス原盤８上
にニッケル金属を析出させて電鋳を行っている。１６は
原盤ホルダーである。
【０００９】一方、情報記録媒体用基板にグルーブを形
成する方法としては、射出成形法あるいは圧縮成形法が
採用されている。しかしながら、情報記録媒体用基板の
仕様では、基板の平面度および平滑度が光学的レベルで
の高いレベルが要求されている。射出成形法あるいは圧
縮成形法においては、反り、気泡の混入等の欠陥が発生
しやすく、このため光による情報検出を著しく阻害する
ので、温度、圧力の制御や、型の精度、気泡の発生防止
等に非常に困難が伴い、また装置自体も大型化してしま
うために、生産コストのかかるものであった。さらに圧
縮成形法においては、枚葉処理であるために、後工程が
煩雑で生産性が低かった。
成する方法としては、射出成形法あるいは圧縮成形法が
採用されている。しかしながら、情報記録媒体用基板の
仕様では、基板の平面度および平滑度が光学的レベルで
の高いレベルが要求されている。射出成形法あるいは圧
縮成形法においては、反り、気泡の混入等の欠陥が発生
しやすく、このため光による情報検出を著しく阻害する
ので、温度、圧力の制御や、型の精度、気泡の発生防止
等に非常に困難が伴い、また装置自体も大型化してしま
うために、生産コストのかかるものであった。さらに圧
縮成形法においては、枚葉処理であるために、後工程が
煩雑で生産性が低かった。
【００１０】プラスチック平板は、気泡の混入も少なく
平滑な板が容易に製造できるため、平板にスタンパーを
密着させて圧力を加え、凹凸パターンを転写する方法が
提案されている。しかしながら、この方法において板面
全体に均一な圧力をかけるには非常に大きな圧力を必要
としていた。
平滑な板が容易に製造できるため、平板にスタンパーを
密着させて圧力を加え、凹凸パターンを転写する方法が
提案されている。しかしながら、この方法において板面
全体に均一な圧力をかけるには非常に大きな圧力を必要
としていた。
【００１１】これを解決する方法として、特開平３−１
１３７５１号には、成形用ローラーと鏡面ローラーの間
に、Ｔダイから押出された熔融樹脂シートを通し、小さ
な圧力で成形用ローラーの凹凸パターンをシート表面に
転写するローラー・グルーブ成形法により情報記録媒体
用基板を製造する方法が開示されている。
１３７５１号には、成形用ローラーと鏡面ローラーの間
に、Ｔダイから押出された熔融樹脂シートを通し、小さ
な圧力で成形用ローラーの凹凸パターンをシート表面に
転写するローラー・グルーブ成形法により情報記録媒体
用基板を製造する方法が開示されている。
【００１２】ローラー・グルーブ成形法の成形用ロール
には、凹凸の施されているフレキシブルスタンパーの両
端に固定具を溶着し、さらに固定具とほぼ同形状の溝を
ロールに施し、この溝に固定具を挿入し、固定具の少な
くとも一方にテンションの掛かる機構を設けることによ
り、フレキシブルスタンパーをローラーに固定するロー
ル状スタンパーが用いられている。
には、凹凸の施されているフレキシブルスタンパーの両
端に固定具を溶着し、さらに固定具とほぼ同形状の溝を
ロールに施し、この溝に固定具を挿入し、固定具の少な
くとも一方にテンションの掛かる機構を設けることによ
り、フレキシブルスタンパーをローラーに固定するロー
ル状スタンパーが用いられている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来例では、
スタンパーをロール状にしていたために、次のような欠
点があった。
スタンパーをロール状にしていたために、次のような欠
点があった。
【００１４】（１）スタンパーの膜質が硬い場合は、 スタンパーをロールに取付けるとき、ロールのなじみ
が悪く、また 曲げたときの応力により、腐蝕が起き易く、結果とし
て割れ易い。
が悪く、また 曲げたときの応力により、腐蝕が起き易く、結果とし
て割れ易い。
【００１５】（２）スタンパーの膜質が軟らかい場合
は、 固定具を溶着して取付けるときに、溶着部が歪み、精
度の高い基板の形成が不可能であり、 プリフォーマット表面の耐久性が不十分であり、かつ 引張強さが弱いために、テンションをかけた際に伸
び、５００μｍ以上の厚みにしないと引張強さを保てな
い。
は、 固定具を溶着して取付けるときに、溶着部が歪み、精
度の高い基板の形成が不可能であり、 プリフォーマット表面の耐久性が不十分であり、かつ 引張強さが弱いために、テンションをかけた際に伸
び、５００μｍ以上の厚みにしないと引張強さを保てな
い。
【００１６】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、表
面にプリフォーマットを有する光記録媒体用スタンパー
において、スタンパーの厚み方向に硬度分布をもたせる
ことにより、前記した課題を解決したものである。
面にプリフォーマットを有する光記録媒体用スタンパー
において、スタンパーの厚み方向に硬度分布をもたせる
ことにより、前記した課題を解決したものである。
【００１７】上記した本発明において、プリフォーマッ
ト面側の硬度を２５０〜４００Ｈｖとし、かつその裏面
側の硬度を１８０Ｈｖ以下とすることによってその効果
をより高めることができる。さらに、硬度１８０〜１０
０Ｈｖの領域の厚みが、５μｍ〜３０μｍとするスタン
パーを用いて光記録媒体用基板を作製するときは、射出
成形法あるいは圧縮成形法はもとよりローラ・グルーブ
（ＲＧ）成形法においても、スタンパー表面側、すなわ
ちプリフォーマット側が硬いために、表面の耐久性が連
続成形に耐え得るレベルであり、スタンパー固定時のテ
ンションによる伸びを防止するために厚みを５００μｍ
以上とする必要もなく、固定具を溶着するときにも歪む
ことなく溶着できる。
ト面側の硬度を２５０〜４００Ｈｖとし、かつその裏面
側の硬度を１８０Ｈｖ以下とすることによってその効果
をより高めることができる。さらに、硬度１８０〜１０
０Ｈｖの領域の厚みが、５μｍ〜３０μｍとするスタン
パーを用いて光記録媒体用基板を作製するときは、射出
成形法あるいは圧縮成形法はもとよりローラ・グルーブ
（ＲＧ）成形法においても、スタンパー表面側、すなわ
ちプリフォーマット側が硬いために、表面の耐久性が連
続成形に耐え得るレベルであり、スタンパー固定時のテ
ンションによる伸びを防止するために厚みを５００μｍ
以上とする必要もなく、固定具を溶着するときにも歪む
ことなく溶着できる。
【００１８】一方、スタンパー裏面は軟らかいので、ロ
ールへのなじみが良く、取付けも容易となり、さらに曲
げ応力による割れ、それに起因する腐蝕も防止できる。
ールへのなじみが良く、取付けも容易となり、さらに曲
げ応力による割れ、それに起因する腐蝕も防止できる。
【００１９】本発明を図を用いてさらに詳細に説明す
る。
る。
【００２０】図１は本発明の光記録媒体用スタンパーの
模式的断面図である。図１において７’はプリフォーマ
ット、９は導電化膜、１０ａは硬質金属膜、１０ｂは軟
質金属膜である。硬質金属膜１０ａの硬度は２５０Ｈｖ
以上、軟質金属膜１０ｂの硬度は１８０Ｈｖ以下である
ことが望ましい。また。硬質金属膜１０ａの厚みは、５
μｍ〜３０μｍの範囲であることが望ましい。
模式的断面図である。図１において７’はプリフォーマ
ット、９は導電化膜、１０ａは硬質金属膜、１０ｂは軟
質金属膜である。硬質金属膜１０ａの硬度は２５０Ｈｖ
以上、軟質金属膜１０ｂの硬度は１８０Ｈｖ以下である
ことが望ましい。また。硬質金属膜１０ａの厚みは、５
μｍ〜３０μｍの範囲であることが望ましい。
【００２１】図２は、フレキシブルスタンパーの製造方
法を示す工程説明図であり、図２において６は青板ガラ
ス等のガラス基板、７はガラス基板上にパターニングす
るためのフォトレジスト、７’はフォトレジストに露光
・現像を行うことで得られるトラッキング用溝、情報用
ビット等の凹凸の微細パターンを有するプリフォーマッ
ト、８はガラス基板上にトラッキング用溝、情報用ビッ
ト等の凹凸の微細パターンを形成することによって得ら
れるガラス原盤、９はガラス原盤に金属膜を形成するた
めの導電化膜、１０は電鋳法により導電化膜を形成した
ガラス原盤へ成膜される金属膜、１１は導電化膜および
金属膜を一体として同時にガラス原盤より剥離させるこ
とにより得られるフレキシブルスタンパーである。
法を示す工程説明図であり、図２において６は青板ガラ
ス等のガラス基板、７はガラス基板上にパターニングす
るためのフォトレジスト、７’はフォトレジストに露光
・現像を行うことで得られるトラッキング用溝、情報用
ビット等の凹凸の微細パターンを有するプリフォーマッ
ト、８はガラス基板上にトラッキング用溝、情報用ビッ
ト等の凹凸の微細パターンを形成することによって得ら
れるガラス原盤、９はガラス原盤に金属膜を形成するた
めの導電化膜、１０は電鋳法により導電化膜を形成した
ガラス原盤へ成膜される金属膜、１１は導電化膜および
金属膜を一体として同時にガラス原盤より剥離させるこ
とにより得られるフレキシブルスタンパーである。
【００２２】金属膜を電鋳法により成膜する際、硬度２
５０Ｈｖ以上の金属膜を成膜するときは、電流密度を２
Ａ／ｄｍ2 以下とし、硬質金属膜が所定の厚み、例えば
５μｍ〜３０μｍに達した後、電流密度を３〜１０Ａ／
ｄｍ2 以上にして軟質金属膜を成膜することが好まし
い。
５０Ｈｖ以上の金属膜を成膜するときは、電流密度を２
Ａ／ｄｍ2 以下とし、硬質金属膜が所定の厚み、例えば
５μｍ〜３０μｍに達した後、電流密度を３〜１０Ａ／
ｄｍ2 以上にして軟質金属膜を成膜することが好まし
い。
【００２３】図４は、ＲＧ装置の模式的断面図であり、
１７は例えばポリカーボネート樹脂ペレット等のペレッ
ト状樹脂を熔融しながら一定の速度で押出すための押出
し機、１２は押出し機から押出された熔融樹脂を成形形
状に近づけるＴダイ、５はＴダイから押出された熔融樹
脂にトラッキング用溝、情報用ビット等の凹凸の微細パ
ターンを転写するためのロール状スタンパー、１３は情
報記録媒体用基板の板厚調整および鏡面を調整するため
の鏡面ローラーであり、１４はロール状スタンパーと鏡
面ローラーの間にＴダイから押出された熔融樹脂を通
し、小さな圧力で成形用ローラーの凹凸パターンを転写
することにより得られる情報記録媒体用基板の連続シー
トである。
１７は例えばポリカーボネート樹脂ペレット等のペレッ
ト状樹脂を熔融しながら一定の速度で押出すための押出
し機、１２は押出し機から押出された熔融樹脂を成形形
状に近づけるＴダイ、５はＴダイから押出された熔融樹
脂にトラッキング用溝、情報用ビット等の凹凸の微細パ
ターンを転写するためのロール状スタンパー、１３は情
報記録媒体用基板の板厚調整および鏡面を調整するため
の鏡面ローラーであり、１４はロール状スタンパーと鏡
面ローラーの間にＴダイから押出された熔融樹脂を通
し、小さな圧力で成形用ローラーの凹凸パターンを転写
することにより得られる情報記録媒体用基板の連続シー
トである。
【００２４】
実施例１ 図２の工程（Ａ）では、青板ガラス等のガラス基板６に
フォトレジスト７を形成する。フォトレジスト７はＡＺ
１３７０（商品名、社名：ヘキスト・ジャパン）を用
い、ガラス基板６に滴下し、スピナーで３０００オング
ストロームの膜厚に塗布する。その後、９０℃で３０ｍ
ｉｎの条件でプレベークを行った。
フォトレジスト７を形成する。フォトレジスト７はＡＺ
１３７０（商品名、社名：ヘキスト・ジャパン）を用
い、ガラス基板６に滴下し、スピナーで３０００オング
ストロームの膜厚に塗布する。その後、９０℃で３０ｍ
ｉｎの条件でプレベークを行った。
【００２５】次に、工程（Ｂ）において、レーザー露光
装置、Mirror Projector Mask Aligner・MPA-1500（社
名：キヤノン）等の露光装置を用い、複数個の情報記録
媒体の所定パターン（ストライプ状）を露光し、現像液
Ａｚ３１２ＭＩＦ（商品名：ヘキスト・ジャパン）で現
像することにより、トラッキング用溝、情報用ビット等
の凹凸の微細パターンを有するプリフォーマット７’を
形成し、光カード用のガラス原盤８を製作する。
装置、Mirror Projector Mask Aligner・MPA-1500（社
名：キヤノン）等の露光装置を用い、複数個の情報記録
媒体の所定パターン（ストライプ状）を露光し、現像液
Ａｚ３１２ＭＩＦ（商品名：ヘキスト・ジャパン）で現
像することにより、トラッキング用溝、情報用ビット等
の凹凸の微細パターンを有するプリフォーマット７’を
形成し、光カード用のガラス原盤８を製作する。
【００２６】さらに工程（Ｃ）では、電鋳法により金属
膜を形成するための前処理として、スパッター装置、蒸
着装置、等の成膜装置を用い、導電化処理を行う。膜厚
１０００オングストローム〜２０００オングストローム
のニッケル膜をスパッター装置により成膜することで、
導電化膜９をガラス原盤８の上に形成した。
膜を形成するための前処理として、スパッター装置、蒸
着装置、等の成膜装置を用い、導電化処理を行う。膜厚
１０００オングストローム〜２０００オングストローム
のニッケル膜をスパッター装置により成膜することで、
導電化膜９をガラス原盤８の上に形成した。
【００２７】次に工程（Ｄ）では、導電化膜９の施され
たガラス原盤８に、電鋳法により金属膜１０を形成す
る。スルファミン酸ニッケル電鋳液中で、導電化膜９の
施されたガラス原盤８を２０〜３０ｒｐｍで回転させな
がら、電流密度１Ａ／ｄｍ2 、積算電流値１１２５Ａ・
ｍ（アンペア・分）の条件で成膜後、続けて電流密度５
Ａ／ｄｍ2 、積算電流値５６２５Ａ・ｍの条件で成膜し
てニッケルを析出させ、硬質金属膜（１０ａ）２５μ
ｍ、軟質金属膜（１０ｂ）１２５μｍ、合計１５０μｍ
の金属膜１０を形成した。なお、１μｍ成膜するのに要
する積算電流値は約４５Ａ・ｍであることが実験により
確認されている。
たガラス原盤８に、電鋳法により金属膜１０を形成す
る。スルファミン酸ニッケル電鋳液中で、導電化膜９の
施されたガラス原盤８を２０〜３０ｒｐｍで回転させな
がら、電流密度１Ａ／ｄｍ2 、積算電流値１１２５Ａ・
ｍ（アンペア・分）の条件で成膜後、続けて電流密度５
Ａ／ｄｍ2 、積算電流値５６２５Ａ・ｍの条件で成膜し
てニッケルを析出させ、硬質金属膜（１０ａ）２５μ
ｍ、軟質金属膜（１０ｂ）１２５μｍ、合計１５０μｍ
の金属膜１０を形成した。なお、１μｍ成膜するのに要
する積算電流値は約４５Ａ・ｍであることが実験により
確認されている。
【００２８】使用した電鋳液は、以下の組成のものであ
る。
る。
【００２９】 スルファミン酸ニッケル・４水塩［Ｎｉ（ＮＨ2 ＳＯ3 ）2 ・４Ｈ2 Ｏ］ ５００ｇ／ｌ 硼酸［Ｈ3 ＢＯ3 ］ ３５〜３８ｇ／ｌ ビット防止剤 ２．５ｍｌ／ｌ 次に、金属膜１０を研磨し、最後に工程（Ｅ）におい
て、導電化膜９および金属膜１０を一体として、同時に
ガラス原盤８より剥離させ、表面に付着しているフォト
レジストを除去し、レーザー切断することにより、ライ
ン・アンド・スペース：９・５μｍ／２・５μｍ、段
差：２５００オングストローム〜３０００オングストロ
ームのストライブ状案内溝の形成されたフレキシブルス
タンパー１１が得られた。
て、導電化膜９および金属膜１０を一体として、同時に
ガラス原盤８より剥離させ、表面に付着しているフォト
レジストを除去し、レーザー切断することにより、ライ
ン・アンド・スペース：９・５μｍ／２・５μｍ、段
差：２５００オングストローム〜３０００オングストロ
ームのストライブ状案内溝の形成されたフレキシブルス
タンパー１１が得られた。
【００３０】スタンパーの硬度を測定したところ、硬質
金属膜表面では２７０Ｈｖ、軟質金属膜表面では１６０
Ｈｖであった。
金属膜表面では２７０Ｈｖ、軟質金属膜表面では１６０
Ｈｖであった。
【００３１】固定具との溶着工程では、ＹＡＧレーザー
溶着装置：ＪＫ７０１（ル・モニクス社製）により下記
に示す条件で固定を行った。
溶着装置：ＪＫ７０１（ル・モニクス社製）により下記
に示す条件で固定を行った。
【００３２】 オンタイム： ５．０ｍｓｅｃ アシストガス： アルゴン 周波数： １５Ｈｚ 出力： ５．５Ｊ ８０Ｗ 速度： ２００ｍｍ／ｍｉｎ． 溶着後、溶着部近傍を目視検査したところ、歪みは確認
されなかった。
されなかった。
【００３３】このようにして、固定具付きフレキシブル
スタンパーが完成した。このフレキシブルスタンパー
を、予め、固定具とほぼ同形状の溝を施してあるローラ
ーに取付け、テンションを掛けながら固定することによ
り、ロール状スタンパー５を作製した。
スタンパーが完成した。このフレキシブルスタンパー
を、予め、固定具とほぼ同形状の溝を施してあるローラ
ーに取付け、テンションを掛けながら固定することによ
り、ロール状スタンパー５を作製した。
【００３４】次に、このロール状スタンパー５を用い、
図４に示すＲＧ装置によりローラー・グルーブ成形を試
みた。押出し機１７のＴダイ１２からポリカーボネート
の熔融樹脂を２８０〜３１０℃の樹脂温度で押出し、ロ
ール状スタンパー５と鏡面ローラー１３の間を通し、小
さな圧力でロール状スタンパー５の微細な凹凸パターン
を転写したところ、成形開始後１２時間を経過しても、
スタンパー表面にクラック、割れ等の腐蝕は全く確認さ
れなかった。また、成形基板のパターン寸法を測定した
ところ、スタンパーのパターン寸法とほぼ一致してお
り、ロールにセットするときのテンションによるスタン
パーの伸びはないことが確認された。また、ロールに対
するなじみも良好であった。 実施例２ 硬質金属膜（１０ａ）を１０μｍ（電流密度１Ａ／ｄｍ
2 、積算電流値４５０Ａ・ｍ）に、軟質金属膜（１０
ｂ）を１４０μｍ（電流密度５Ａ／ｄｍ2 、積算電流値
６３００Ａ・ｍ）にしたこと以外は実施例１と同様にス
タンパーを作製した。
図４に示すＲＧ装置によりローラー・グルーブ成形を試
みた。押出し機１７のＴダイ１２からポリカーボネート
の熔融樹脂を２８０〜３１０℃の樹脂温度で押出し、ロ
ール状スタンパー５と鏡面ローラー１３の間を通し、小
さな圧力でロール状スタンパー５の微細な凹凸パターン
を転写したところ、成形開始後１２時間を経過しても、
スタンパー表面にクラック、割れ等の腐蝕は全く確認さ
れなかった。また、成形基板のパターン寸法を測定した
ところ、スタンパーのパターン寸法とほぼ一致してお
り、ロールにセットするときのテンションによるスタン
パーの伸びはないことが確認された。また、ロールに対
するなじみも良好であった。 実施例２ 硬質金属膜（１０ａ）を１０μｍ（電流密度１Ａ／ｄｍ
2 、積算電流値４５０Ａ・ｍ）に、軟質金属膜（１０
ｂ）を１４０μｍ（電流密度５Ａ／ｄｍ2 、積算電流値
６３００Ａ・ｍ）にしたこと以外は実施例１と同様にス
タンパーを作製した。
【００３５】さらに、実施例１と同様にして基板成形を
試みたところ、実施例１と同様の結果を得た。 比較例１ 電流密度５Ａ／ｄｍ2 、積算電流値６７５０Ａ・ｍで１
５０μｍの金属膜を成膜したこと以外は実施例１と同様
である。このスタンパーの表面および裏面の硬度はとも
に１６０Ｈｖであった。
試みたところ、実施例１と同様の結果を得た。 比較例１ 電流密度５Ａ／ｄｍ2 、積算電流値６７５０Ａ・ｍで１
５０μｍの金属膜を成膜したこと以外は実施例１と同様
である。このスタンパーの表面および裏面の硬度はとも
に１６０Ｈｖであった。
【００３６】さらに、実施例１と同様にして基板成形を
試みたところ、固定具溶着部に歪みが生じた。また、成
形基板の寸法を測定したところ、スタンパーのパターン
寸法より約０．１％伸びていた。 参考例１ 硬質金属膜（１０ａ）を３μｍ（電流密度１Ａ／ｄｍ
2 、積算電流値１３５Ａ・ｍ）に、軟質金属膜（１０
ｂ）を１４７μｍ（電流密度５Ａ／ｄｍ2 、積算電流値
６６１５Ａ・ｍ）にしたこと以外は実施例１と同様にし
てスタンパーを作製した。
試みたところ、固定具溶着部に歪みが生じた。また、成
形基板の寸法を測定したところ、スタンパーのパターン
寸法より約０．１％伸びていた。 参考例１ 硬質金属膜（１０ａ）を３μｍ（電流密度１Ａ／ｄｍ
2 、積算電流値１３５Ａ・ｍ）に、軟質金属膜（１０
ｂ）を１４７μｍ（電流密度５Ａ／ｄｍ2 、積算電流値
６６１５Ａ・ｍ）にしたこと以外は実施例１と同様にし
てスタンパーを作製した。
【００３７】さらに、実施例１と同様にして基板成形を
試みたところ、固定具溶着部に歪みが生じた。また、成
形基板の寸法を測定したところ、スタンパーのパターン
寸法より約０．０５％伸びていた。 参考例２ 硬質金属膜（１０ａ）を５０μｍ（電流密度１Ａ／ｄｍ
2 、積算電流値２２５０Ａ・ｍ）に、軟質金属膜（１０
ｂ）１００μｍ（電流密度５Ａ／ｄｍ2 、積算電流値４
５００Ａ・ｍ）にしたこと以外は実施例１と同様にして
スタンパーを作製した。
試みたところ、固定具溶着部に歪みが生じた。また、成
形基板の寸法を測定したところ、スタンパーのパターン
寸法より約０．０５％伸びていた。 参考例２ 硬質金属膜（１０ａ）を５０μｍ（電流密度１Ａ／ｄｍ
2 、積算電流値２２５０Ａ・ｍ）に、軟質金属膜（１０
ｂ）１００μｍ（電流密度５Ａ／ｄｍ2 、積算電流値４
５００Ａ・ｍ）にしたこと以外は実施例１と同様にして
スタンパーを作製した。
【００３８】さらに、実施例１と同様にして基板成形を
試みたところ、固定具溶着部の歪みはなかったが、成形
開始後１時間でスタンパー表面が割れた。
試みたところ、固定具溶着部の歪みはなかったが、成形
開始後１時間でスタンパー表面が割れた。
【００３９】
【表１】
【００４０】
【発明の効果】以上に説明したように、光記録媒体用ス
タンパーの膜質において、厚みの方向に硬度分布をもた
せ、特にプリフォーマット表面側を硬質にその裏面側を
軟質にすることにより、次のような多くの効果が得られ
る。すなわち、該スタンパーをロール状にした場合にお
いても、ロールになじみよく固定することができ、固定
具溶着部の歪み、ロール状に曲げたときの曲げ応力によ
る割れ、それに起因する腐食および取付け時にかけるテ
ンションによる伸び等の問題を解消することができる。
タンパーの膜質において、厚みの方向に硬度分布をもた
せ、特にプリフォーマット表面側を硬質にその裏面側を
軟質にすることにより、次のような多くの効果が得られ
る。すなわち、該スタンパーをロール状にした場合にお
いても、ロールになじみよく固定することができ、固定
具溶着部の歪み、ロール状に曲げたときの曲げ応力によ
る割れ、それに起因する腐食および取付け時にかけるテ
ンションによる伸び等の問題を解消することができる。
【００４１】さらに、連続運転に十分耐えるような耐久
性を兼ね備えることができ、より高精度かつ高品位な基
板を生産性よく作製できる。
性を兼ね備えることができ、より高精度かつ高品位な基
板を生産性よく作製できる。
【図１】本発明により得られたスタンパーの模式的断面
図である。
図である。
【図２】電鋳法による情報記録媒体成形用スタンパーの
製造方法を示す工程説明図である。
製造方法を示す工程説明図である。
【図３】電鋳装置の模式的断面図である。
【図４】ＲＧ装置の模式的断面図である。
５ ロール状スタンパー ６ ガラス基板 ７ フォトレジスト ７’ プリフォーマット ８ ガラス原盤 ９ 導電化膜 １０ 金属膜 １０ａ 硬質金属膜 １０ｂ 軟質金属膜 １１ スタンパー １２ Ｔダイ １３ 鏡面ローラー １４ 光記録媒体用基板の連続シート １５ 電鋳液 １６ 原盤ホルダー １７ 押出し機
Claims (4)
- 【請求項１】 表面にプリフォーマットを有する光記録
媒体用スタンパーにおいて、スタンパーの厚み方向に硬
度分布をもたせたことを特徴とする光記録媒体用スタン
パー。 - 【請求項２】 プリフォーマット面側の硬度を２５０Ｈ
ｖ以上とし、かつその裏面側の硬度を１８０Ｈｖ以下と
したことを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体用ス
タンパー。 - 【請求項３】 プリフォーマット面側の硬度２５０Ｈｖ
以上の領域の厚みが、５μｍ〜３０μｍの範囲であるこ
とを特徴とする請求項２に記載の光記録媒体用スタンパ
ー。 - 【請求項４】 表面にプリフォーマットを有するマザー
スタンパーから電鋳法により金属スタンパーを作製する
スタンパーの製造方法において、電鋳工程での電流密度
をプリフォーマット側の硬度を２５０Ｈｖ以上とすると
きは２Ａ／ｄｍ2 以下とし、その裏面側の硬度を１８０
Ｈｖ以下とするときは３〜１０Ａ／ｄｍ2 以上としたこ
とを特徴とする光記録媒体用スタンパーの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30582094A JPH08167176A (ja) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | 光記録媒体用スタンパーおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30582094A JPH08167176A (ja) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | 光記録媒体用スタンパーおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08167176A true JPH08167176A (ja) | 1996-06-25 |
Family
ID=17949771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30582094A Pending JPH08167176A (ja) | 1994-12-09 | 1994-12-09 | 光記録媒体用スタンパーおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08167176A (ja) |
-
1994
- 1994-12-09 JP JP30582094A patent/JPH08167176A/ja active Pending
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