JPH08159745A - 部品の表面状態の非破壊特性判定法 - Google Patents
部品の表面状態の非破壊特性判定法Info
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- JPH08159745A JPH08159745A JP7166275A JP16627595A JPH08159745A JP H08159745 A JPH08159745 A JP H08159745A JP 7166275 A JP7166275 A JP 7166275A JP 16627595 A JP16627595 A JP 16627595A JP H08159745 A JPH08159745 A JP H08159745A
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- G01B1/00—Measuring instruments characterised by the selection of material therefor
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 部品表面の接近が困難な領域の検査及び評価
に適用可能な部品の表面状態の非破壊特性判定法を提供
する。 【構成】 本発明による方法は、シリコーンをベースと
したペースト形状で高精度のエラストマー製品を使用し
て、検査すべき領域の押し型を実現することから成る。
硬化した後に、得られた押し型を剥ぎ取って検査する。
に適用可能な部品の表面状態の非破壊特性判定法を提供
する。 【構成】 本発明による方法は、シリコーンをベースと
したペースト形状で高精度のエラストマー製品を使用し
て、検査すべき領域の押し型を実現することから成る。
硬化した後に、得られた押し型を剥ぎ取って検査する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、部品の表面の粗度を検
査して欠陥を明らかにするための、部品の表面状態の非
破壊特性判定法に関する。この方法は特に粒状表面の検
査に適用可能であり、特に接近の困難な領域が観察でき
る。
査して欠陥を明らかにするための、部品の表面状態の非
破壊特性判定法に関する。この方法は特に粒状表面の検
査に適用可能であり、特に接近の困難な領域が観察でき
る。
【０００２】
【従来の技術】ショットブラスト技法は、鋼鉄製、ガラ
ス製、またはセラミック製の球を部品の表面に浴びせる
ことから成る。この種の技法は、部品の使用安定性を改
善する目的で表面圧縮プレストレスを得ることを狙った
応用分野に特に使用される。これは、応力下での疲労耐
性または耐蝕性を向上させるためのものである。処理す
べき部品の形状はますます複雑になるので、部品ショッ
トブラストの望みの適用度を得ることは困難である。し
たがって、部品についてますます要求される良好な品質
の保証を得るためには、ショットブラストの程度が十分
であり、またショットブラストが中断なく処理される表
面の全体に広がるようにする必要がある。
ス製、またはセラミック製の球を部品の表面に浴びせる
ことから成る。この種の技法は、部品の使用安定性を改
善する目的で表面圧縮プレストレスを得ることを狙った
応用分野に特に使用される。これは、応力下での疲労耐
性または耐蝕性を向上させるためのものである。処理す
べき部品の形状はますます複雑になるので、部品ショッ
トブラストの望みの適用度を得ることは困難である。し
たがって、部品についてますます要求される良好な品質
の保証を得るためには、ショットブラストの程度が十分
であり、またショットブラストが中断なく処理される表
面の全体に広がるようにする必要がある。
【０００３】部品の表面状態の確認を可能にするいろい
ろな方法が存在する。特に、押し型の観察をもとにして
部品表面の状態を検査することが知られている。各押し
型は、検査すべき表面の上に、部品の形状に忠実にぴっ
たり合うように軟化させるためにアセトン中に浸した、
例えば酢酸セルロースの一枚のプラスチック薄膜を置い
て得られる。硬化の後に、押し型を剥ぎ取り、この観察
を双眼顕微鏡、光学顕微鏡、または走査電子顕微鏡を用
いて実施することができる。この技法は、これによって
一度に、部品を有効と認め、押し型を通して表面の状態
を記録保存し、トポグラフィーを査定することができる
ので、粒状表面、研削仕上げ表面、または機械工作表面
の検査によく使用されている。しかし、この技法は、活
用するには難しく、接近の困難な領域には適用不可能で
ある。さらに、これらの押し型が空気封入部のような重
要な欠陥を示すことを避けるよう、注意を払わなければ
ならない。その上、この技法は、高い室温の場合には、
アセトンの急速な蒸発が原因となって適用の困難性を示
す。また、ばらつきの測定値を得ることができるように
する寸法図示を実施して部品の表面状態を検査すること
は周知である。すなわち、特に度量衡学の分野では、ア
クリル樹脂に属する流体樹脂をベースとする自己重合メ
タクリル酸メチルを使用して製作された押し型によっ
て、寸法図示が行われる。この種の樹脂は、過度に流体
状であり、硬化後には粘着性が非常に強くなるので、接
近不能な領域における表面状態を検査する場合には使用
することができない。しかし、この種の樹脂によって得
られた詳細部の精度は不十分であり、一般に多数の空気
封入部を含む。
ろな方法が存在する。特に、押し型の観察をもとにして
部品表面の状態を検査することが知られている。各押し
型は、検査すべき表面の上に、部品の形状に忠実にぴっ
たり合うように軟化させるためにアセトン中に浸した、
例えば酢酸セルロースの一枚のプラスチック薄膜を置い
て得られる。硬化の後に、押し型を剥ぎ取り、この観察
を双眼顕微鏡、光学顕微鏡、または走査電子顕微鏡を用
いて実施することができる。この技法は、これによって
一度に、部品を有効と認め、押し型を通して表面の状態
を記録保存し、トポグラフィーを査定することができる
ので、粒状表面、研削仕上げ表面、または機械工作表面
の検査によく使用されている。しかし、この技法は、活
用するには難しく、接近の困難な領域には適用不可能で
ある。さらに、これらの押し型が空気封入部のような重
要な欠陥を示すことを避けるよう、注意を払わなければ
ならない。その上、この技法は、高い室温の場合には、
アセトンの急速な蒸発が原因となって適用の困難性を示
す。また、ばらつきの測定値を得ることができるように
する寸法図示を実施して部品の表面状態を検査すること
は周知である。すなわち、特に度量衡学の分野では、ア
クリル樹脂に属する流体樹脂をベースとする自己重合メ
タクリル酸メチルを使用して製作された押し型によっ
て、寸法図示が行われる。この種の樹脂は、過度に流体
状であり、硬化後には粘着性が非常に強くなるので、接
近不能な領域における表面状態を検査する場合には使用
することができない。しかし、この種の樹脂によって得
られた詳細部の精度は不十分であり、一般に多数の空気
封入部を含む。
【０００４】また、ショットブラストによって発生した
表面状態を、粒状物の噴射に当てられる部品を表す技術
試験片によって検査することができる。しかし、試験片
の製作は費用によって制限され、部品の実際の表面状態
の正確な指示をもたらすものではない。
表面状態を、粒状物の噴射に当てられる部品を表す技術
試験片によって検査することができる。しかし、試験片
の製作は費用によって制限され、部品の実際の表面状態
の正確な指示をもたらすものではない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、周知
の方法の持つ不具合を緩和し、そして複雑で費用のかか
るツールの使用を必要とせず、正確で忠実な情報を得る
ことができるようにし、接近が困難な領域で使用できる
ようにする、実行が容易な機械部品のショットブラスト
によって生ずる表面状態の検査方法を提唱することであ
る。
の方法の持つ不具合を緩和し、そして複雑で費用のかか
るツールの使用を必要とせず、正確で忠実な情報を得る
ことができるようにし、接近が困難な領域で使用できる
ようにする、実行が容易な機械部品のショットブラスト
によって生ずる表面状態の検査方法を提唱することであ
る。
【０００６】本発明の他の１つの目的は、機械部品の検
査ができるようにし、高精度トポグラフィー査定を行う
ために使用することができ、さらに高い精度で、粗度の
特性寸法図示を実行できるようにする検査方法を実現す
ることである。
査ができるようにし、高精度トポグラフィー査定を行う
ために使用することができ、さらに高い精度で、粗度の
特性寸法図示を実行できるようにする検査方法を実現す
ることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】このために、上記の方法
は、例えば歯科の分野で使用されるペーストのような抗
付着性を示すシリコーンをベースとしたペースト形状で
高精度のエラストマー（elastomeres ）製品を使用し
て、検査すべき領域の押し型を製作することから成って
いる。硬化した後は、得られた押し型は剥ぎ取られて検
査される。各種の検査が可能である。すなわち、双眼顕
微鏡、または光学顕微鏡か走査電子顕微鏡による写真、
もしくはその両方によって、押し型を観測することがで
きる。また押し型を、例えば得られた粗度をレーザ断面
測定装置を用いて測定するために使用することができ
る。押し型には一般に空気封入部は含まれていない。
は、例えば歯科の分野で使用されるペーストのような抗
付着性を示すシリコーンをベースとしたペースト形状で
高精度のエラストマー（elastomeres ）製品を使用し
て、検査すべき領域の押し型を製作することから成って
いる。硬化した後は、得られた押し型は剥ぎ取られて検
査される。各種の検査が可能である。すなわち、双眼顕
微鏡、または光学顕微鏡か走査電子顕微鏡による写真、
もしくはその両方によって、押し型を観測することがで
きる。また押し型を、例えば得られた粗度をレーザ断面
測定装置を用いて測定するために使用することができ
る。押し型には一般に空気封入部は含まれていない。
【０００８】双眼顕微鏡による観察のためには、光学的
なコントラストを増加するように押し型を事前にメッキ
しておくことが好ましい。走査電子顕微鏡または光学顕
微鏡による検査の場合には、メッキは必ず行わなければ
ならない。メッキは表面を導電性にしたり、または光学
顕微鏡による検査の場合に表面を反射性にすることがで
きるからである。
なコントラストを増加するように押し型を事前にメッキ
しておくことが好ましい。走査電子顕微鏡または光学顕
微鏡による検査の場合には、メッキは必ず行わなければ
ならない。メッキは表面を導電性にしたり、または光学
顕微鏡による検査の場合に表面を反射性にすることがで
きるからである。
【０００９】こうして本発明によってシリコーンをベー
スとしたエラストマー材料から作られた押し型は、非常
に安定しており、しかもすぐれた自然老化耐性を示すの
で、容易に記録保存することができる。この押し型は、
１枚のプラスチック薄膜によって作られた押し型に匹敵
する再生忠実度を提供する。
スとしたエラストマー材料から作られた押し型は、非常
に安定しており、しかもすぐれた自然老化耐性を示すの
で、容易に記録保存することができる。この押し型は、
１枚のプラスチック薄膜によって作られた押し型に匹敵
する再生忠実度を提供する。
【００１０】この押し型は、塩素の含有量が極めて少な
いので、チタンを含む部品に対して何の有害性も示さな
い。
いので、チタンを含む部品に対して何の有害性も示さな
い。
【００１１】本発明によれば、機械部品の表面状態の非
破壊検査法は、下記の段階から成ることを特徴とする。
すなわち、硬化の後に支持型を得るように、ペースト状
の第１エラストマー材料を用いて、検査すべき表面の予
備押し型を作る段階、数分の１ミクロン程度の精度で詳
細な複製を可能にする中程度の堅さのペースト状の第２
エラストマー材料を、得られた支持型の中に流し込むこ
とによってインプレッションエレメントを形成する段
階、このインプレッションエレメントを、検査すべき表
面の押し型を作るように、この表面の上に当てる段階、
硬化させるために必要な所定の時間だけ、このインプレ
ッションエレメントをその場に保持しておく段階、硬化
の後に押し型を取り除く段階。
破壊検査法は、下記の段階から成ることを特徴とする。
すなわち、硬化の後に支持型を得るように、ペースト状
の第１エラストマー材料を用いて、検査すべき表面の予
備押し型を作る段階、数分の１ミクロン程度の精度で詳
細な複製を可能にする中程度の堅さのペースト状の第２
エラストマー材料を、得られた支持型の中に流し込むこ
とによってインプレッションエレメントを形成する段
階、このインプレッションエレメントを、検査すべき表
面の押し型を作るように、この表面の上に当てる段階、
硬化させるために必要な所定の時間だけ、このインプレ
ッションエレメントをその場に保持しておく段階、硬化
の後に押し型を取り除く段階。
【００１２】本発明のその他の特徴及び利点は、添付の
図面に関して行う非限定的な実施例についての説明によ
って明らかになろう。
図面に関して行う非限定的な実施例についての説明によ
って明らかになろう。
【００１３】
【実施例】図１に、本発明による方法におけるステップ
の概略図を示す。
の概略図を示す。
【００１４】第１ステップ１０では、この方法は、硬化
の後に支持型を得るように、ペースト状の第１エラスト
マー材料を用いて、検査すべき表面の予備押し型を作る
ことから成る。この予備押し型は、中程度の精度のエラ
ストマー材料を使用しておおまかに作られる。この材料
は、その硬化に必要な時間だけその場に保持される。
の後に支持型を得るように、ペースト状の第１エラスト
マー材料を用いて、検査すべき表面の予備押し型を作る
ことから成る。この予備押し型は、中程度の精度のエラ
ストマー材料を使用しておおまかに作られる。この材料
は、その硬化に必要な時間だけその場に保持される。
【００１５】第２ステップ２０では、予備押し型が取り
除かれると、複製すべき表面は純粋なアセトンで入念に
脱脂される。
除かれると、複製すべき表面は純粋なアセトンで入念に
脱脂される。
【００１６】ステップ３０では、検査すべき表面の精密
な押し型が製作される。この押し型を実現するための方
法は、ステップ１０で得られた支持型の中に高精度の第
２エラストマー材料を流し込むことによってインプレッ
ションエレメントを形成する段階と、複製すべき表面に
インプレッションエレメントを当てる段階と、数秒間弱
い圧力を加える段階と、インプレッションエレメントの
硬化に必要な所定の時間だけインプレッションエレメン
トをその場に保持する段階と、押し型を取り除く段階と
から成る。
な押し型が製作される。この押し型を実現するための方
法は、ステップ１０で得られた支持型の中に高精度の第
２エラストマー材料を流し込むことによってインプレッ
ションエレメントを形成する段階と、複製すべき表面に
インプレッションエレメントを当てる段階と、数秒間弱
い圧力を加える段階と、インプレッションエレメントの
硬化に必要な所定の時間だけインプレッションエレメン
トをその場に保持する段階と、押し型を取り除く段階と
から成る。
【００１７】したがって、この押し型は、例えばレーザ
収束による表面断面測定装置を用いて表面状態の寸法図
示を実施するためにステップ４０で、または双眼顕微鏡
を用いて検査するためにステップ４５で、もしくはその
両ステップで使用することができる。
収束による表面断面測定装置を用いて表面状態の寸法図
示を実施するためにステップ４０で、または双眼顕微鏡
を用いて検査するためにステップ４５で、もしくはその
両ステップで使用することができる。
【００１８】また押し型を、ステップ５０で真空メッキ
した後に、ステップ６０で双眼顕微鏡または光学顕微鏡
または走査電子顕微鏡で観察することができる。このメ
ッキは、例えば蒸発器の中または陰極噴霧装置の中で実
施可能である。メッキ付着層の厚さは数１００分の１ミ
クロン程度である。
した後に、ステップ６０で双眼顕微鏡または光学顕微鏡
または走査電子顕微鏡で観察することができる。このメ
ッキは、例えば蒸発器の中または陰極噴霧装置の中で実
施可能である。メッキ付着層の厚さは数１００分の１ミ
クロン程度である。
【００１９】例として、第１及び第２エラストマー材料
を、可塑剤を装入したシリコーン系から選択することが
できる。この種の製品の堅さは、シリコーンの中に加え
られた可塑剤の量が多いだけ堅くなる。詳細な複製物の
高い精度を得るためには、製品の堅さは堅過ぎてはなら
ない。したがって、予備押し型を作るために選択される
第１エラストマー材料は、高精度の最終押し型を作るた
めに選択される第２エラストマー材料よりも堅い。
を、可塑剤を装入したシリコーン系から選択することが
できる。この種の製品の堅さは、シリコーンの中に加え
られた可塑剤の量が多いだけ堅くなる。詳細な複製物の
高い精度を得るためには、製品の堅さは堅過ぎてはなら
ない。したがって、予備押し型を作るために選択される
第１エラストマー材料は、高精度の最終押し型を作るた
めに選択される第２エラストマー材料よりも堅い。
【００２０】図２ａと図２ｂに、被覆の欠如を示すショ
ットブラスト試験片の写真と、同じショットブラスト試
験片の押し型の写真をそれぞれ示す。
ットブラスト試験片の写真と、同じショットブラスト試
験片の押し型の写真をそれぞれ示す。
【００２１】これら２枚の写真は、倍率５０倍で走査電
子顕微鏡によって得られたものである。ショットブラス
ト試験片には、加工痕跡の上に目印の条痕と球衝撃の条
痕が見える。
子顕微鏡によって得られたものである。ショットブラス
ト試験片には、加工痕跡の上に目印の条痕と球衝撃の条
痕が見える。
【００２２】試験片の押し型は、可塑剤を装入したシリ
コーン・オイルで構成された２つのエラストマー材料を
連続して使用して製作されるが、これらの材料はＰＲＯ
ＶＩＬの商標で登録され、ＢＡＹＥＲ社によって供給さ
れている。予備押し型の製作は、ショアＡ硬さ６０と７
０の間の硬度を有する製品ＰＲＯＶＩＬ Ｐ ＳＯＦＴ
を使用して行われ、また高精度の押し型の製作は、ショ
アＡ硬さ５０と５５の間の硬度を有する製品ＰＲＯＶＩ
Ｌ ＣＤ Ｍを使用して行われた。次に、製作された押
し型は、厚さ０．０３ミクロン程度の純粋なアルミニウ
ム蒸着物によって真空メッキされた。
コーン・オイルで構成された２つのエラストマー材料を
連続して使用して製作されるが、これらの材料はＰＲＯ
ＶＩＬの商標で登録され、ＢＡＹＥＲ社によって供給さ
れている。予備押し型の製作は、ショアＡ硬さ６０と７
０の間の硬度を有する製品ＰＲＯＶＩＬ Ｐ ＳＯＦＴ
を使用して行われ、また高精度の押し型の製作は、ショ
アＡ硬さ５０と５５の間の硬度を有する製品ＰＲＯＶＩ
Ｌ ＣＤ Ｍを使用して行われた。次に、製作された押
し型は、厚さ０．０３ミクロン程度の純粋なアルミニウ
ム蒸着物によって真空メッキされた。
【００２３】図２ａと図２ｂに示されている図は互いに
反転している。すなわち、押し型の採取が結果として検
査される表面の情報を逆転させるという事実に起因す
る。図２ｂでは、電気信号が、図２ａのためと同様に試
験された表面のポジティブ・トポグラフィーを得るよう
に、走査電子顕微鏡において反転された。
反転している。すなわち、押し型の採取が結果として検
査される表面の情報を逆転させるという事実に起因す
る。図２ｂでは、電気信号が、図２ａのためと同様に試
験された表面のポジティブ・トポグラフィーを得るよう
に、走査電子顕微鏡において反転された。
【００２４】試験片の表面の押し型から得られた図２ｂ
の写真は、あらゆる点で押し型から直接図２ａに得られ
た写真に匹敵する。
の写真は、あらゆる点で押し型から直接図２ａに得られ
た写真に匹敵する。
【００２５】写真３ａは、幅０．５ミクロンの亀裂を有
する標準くさびの一領域の写真を示し、写真３ｂは、同
領域の押し型の写真を示す。
する標準くさびの一領域の写真を示し、写真３ｂは、同
領域の押し型の写真を示す。
【００２６】これらの写真は、倍率１００倍で走査電子
顕微鏡によって得られたものである。標準くさびの上に
示される亀裂は、５％誤差で５ミクロンの厚さのニッケ
ル／クロム付着物で一面の上が覆われたくさびを引くこ
とによって生じたものである。亀裂の深さはニッケル／
クロム付着物の厚さと同じである。くさびの押し型から
図３ｂの上に得られた写真は、くさびから直接図３ａの
上に得られた写真と同じ精度で亀裂を表現している。
顕微鏡によって得られたものである。標準くさびの上に
示される亀裂は、５％誤差で５ミクロンの厚さのニッケ
ル／クロム付着物で一面の上が覆われたくさびを引くこ
とによって生じたものである。亀裂の深さはニッケル／
クロム付着物の厚さと同じである。くさびの押し型から
図３ｂの上に得られた写真は、くさびから直接図３ａの
上に得られた写真と同じ精度で亀裂を表現している。
【００２７】亀裂の幅は０．５ミクロン程度であるか
ら、この方法は、少なくとも０．５ミクロンの精度で機
械部品の表面状態を視覚化することができる。
ら、この方法は、少なくとも０．５ミクロンの精度で機
械部品の表面状態を視覚化することができる。
【００２８】同様に、粗度の測定値はガラスの標準くさ
び上で得られており、これは０・８６ミクロン程度の平
均粗度を特徴とする表面状態を示す。
び上で得られており、これは０・８６ミクロン程度の平
均粗度を特徴とする表面状態を示す。
【００２９】粗度標準ゲージのくさびのエラストマー押
し型上で得られた測定値は、くさび自体上で得られた測
定値に対して４％程度の算術平均偏差を示す。こうして
得られた結果は、例えば、計測の分野で特に寸法記録の
ために使用される登録商標ＴＥＣＨＮＯＶＩＴの液体樹
脂を用いた押し型採取方法など、周知の方法よりも明ら
かにすぐれている。実際に、この種の樹脂によって得ら
れる平均偏差は１０％程度である。
し型上で得られた測定値は、くさび自体上で得られた測
定値に対して４％程度の算術平均偏差を示す。こうして
得られた結果は、例えば、計測の分野で特に寸法記録の
ために使用される登録商標ＴＥＣＨＮＯＶＩＴの液体樹
脂を用いた押し型採取方法など、周知の方法よりも明ら
かにすぐれている。実際に、この種の樹脂によって得ら
れる平均偏差は１０％程度である。
【００３０】本発明は、明確に説明した実施例に限定さ
れるものではなく、特に押し型の観察は、メッキの前ま
たは後、あるいはその両方において双眼顕微鏡によっ
て、またはメッキの後に望みの性能、倍率、及び領域の
深さの程度に応じて、光学顕微鏡または走査電子顕微鏡
によって実施することができる。
れるものではなく、特に押し型の観察は、メッキの前ま
たは後、あるいはその両方において双眼顕微鏡によっ
て、またはメッキの後に望みの性能、倍率、及び領域の
深さの程度に応じて、光学顕微鏡または走査電子顕微鏡
によって実施することができる。
【００３１】さらにまた、押し型の検査のために実施さ
れる金属付着層は、必ずしもアルミニウム蒸着層である
必要はなく、例えば金の合金やパラジウムの合金の蒸着
層など、他の種類の金属蒸着層も適用可能である。
れる金属付着層は、必ずしもアルミニウム蒸着層である
必要はなく、例えば金の合金やパラジウムの合金の蒸着
層など、他の種類の金属蒸着層も適用可能である。
【図１】本発明による方法の各ステップの概略図であ
る。
る。
【図２ａ】本発明による被覆の欠如を示すショットブラ
スト試験片の写真である。
スト試験片の写真である。
【図２ｂ】本発明による図２ａにおけるものと同じショ
ットブラスト試験片の押し型の写真である。
ットブラスト試験片の押し型の写真である。
【図３ａ】本発明による幅０．５ミクロンの亀裂を含む
標準くさびの一領域の写真である。
標準くさびの一領域の写真である。
【図３ｂ】本発明による図３ａにおけるものと同じ領域
の写真である。
の写真である。
Claims (5)
- 【請求項１】 部品の表面状態の非破壊特性判定方法で
あって、 硬化の後に支持型を得るように、ペースト状の第１エラ
ストマー材料を用いて、検査すべき表面の予備押し型を
製作する段階と、 数分の１ミクロン程度という精度で詳細な複製を可能に
する中程度の堅さのペースト状の第２エラストマー材料
を、得られた支持型の中に流し込むことによってインプ
レッションエレメントを形成する段階と、 前記インプレッションエレメントを、検査すべき表面の
押し型が出来るように、前記表面の上に当てる段階と、 硬化させるために必要な所定の時間だけ、前記インプレ
ッションエレメントをその場に保持しておく段階と、 硬化の後に押し型を取り除く段階とを特徴とする前記の
非破壊特性判定方法。 - 【請求項２】 レーザ収束による表面断面測定装置を用
いて押し型の粗度を測定する段階から成ることを特徴と
する請求項１に記載の特性判定方法。 - 【請求項３】 双眼顕微鏡を用いて押し型を検査する段
階から成ることを特徴とする請求項１または２に記載の
特性判定方法。 - 【請求項４】 さらに、製作された押し型を厚さ数１０
０分の１ミクロン程度の金属付着層によってメッキする
段階と、メッキされた押し型を双眼顕微鏡または光学顕
微鏡または走査電子顕微鏡を用いて検査する段階とから
成ることを特徴とする請求項１に記載の特性判定方法。 - 【請求項５】 エラストマー材料が可塑剤を装入したシ
リコーン系から選択されることを特徴とする請求項１か
ら４のいずれか一項に記載の特性判定方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9408058 | 1994-06-30 | ||
| FR9408058A FR2722001B1 (fr) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | Procede de caracterisation non destructif de l'etat de surface d'une piece |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08159745A true JPH08159745A (ja) | 1996-06-21 |
| JP2963643B2 JP2963643B2 (ja) | 1999-10-18 |
Family
ID=9464833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7166275A Expired - Fee Related JP2963643B2 (ja) | 1994-06-30 | 1995-06-30 | 部品の表面状態の非破壊特性判定法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5610326A (ja) |
| EP (1) | EP0690301B1 (ja) |
| JP (1) | JP2963643B2 (ja) |
| CA (1) | CA2152887C (ja) |
| DE (1) | DE69506484T2 (ja) |
| FR (1) | FR2722001B1 (ja) |
| IL (1) | IL114395A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012117849A (ja) * | 2010-11-29 | 2012-06-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 組織転写方法、組織観察方法並びに組織転写器具 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2390684A (en) * | 2002-07-12 | 2004-01-14 | Denselight Semiconductors Pte | Non-destructive observation of profile roughness |
| US7481098B2 (en) * | 2007-06-18 | 2009-01-27 | United Technologies Corporation | Method of determining depth of intergranular attack (IGA) for a metal part |
| US7900497B2 (en) * | 2007-12-04 | 2011-03-08 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | System, method and apparatus for obtaining true roughness of granular media |
| GB2469863A (en) * | 2009-04-30 | 2010-11-03 | R & A Rules Ltd | Measuring surface profile of golf clubs, calibrating image capture device and apparatus for preparing a measurement specimen by taking a cast of a surface |
| ITRM20120436A1 (it) * | 2012-09-13 | 2014-03-14 | System Optimal Solution S R L | Elemento per la realizzazione di repliche di indagini superficiali di materiali e metodo atto a realizzare tali indagini |
| WO2014041415A1 (en) * | 2012-09-13 | 2014-03-20 | System Optimal Solution S.R.L. | Element for making replicas in material surface investigations and method suited to carry out such investigations |
| US10317332B2 (en) * | 2014-09-05 | 2019-06-11 | Southwest Research Institute | System, apparatus or method for characterizing pitting corrosion |
| EP3593529B1 (en) * | 2017-03-06 | 2022-07-06 | Gelsight, Inc. | Surface topography measurement systems |
| CN107607071B (zh) * | 2017-09-26 | 2020-11-06 | 深圳市领先医疗服务有限公司 | 可降解药物涂层支架涂层厚度的测量方法 |
| US10769851B1 (en) | 2018-04-29 | 2020-09-08 | Dustin Kyle Nolen | Method for producing a scaled-up solid model of microscopic features of a surface |
| EP4024003A1 (en) * | 2021-01-05 | 2022-07-06 | Schott Ag | Method for non-destructive inspection of a structure and corresponding system |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR853567A (fr) * | 1939-04-27 | 1940-03-22 | Procédé d'examen de surfaces | |
| GB1364980A (en) * | 1972-02-25 | 1974-08-29 | Omnium Tech Administrat | Models of macro structures |
| JPS5249055A (en) * | 1975-10-16 | 1977-04-19 | Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp | Method of measuring surface roughness |
| US4198362A (en) * | 1978-10-02 | 1980-04-15 | Preiser Herman S | Method and apparatus for molding and replicating minute surface characteristics |
| FR2472182A1 (fr) * | 1979-12-18 | 1981-06-26 | Tokyo Metropolitan Government | Film de reproduction d'un specimen pour microscopie electronique |
| US4303608A (en) * | 1980-01-23 | 1981-12-01 | Arthur Ticker | Apparatus and method for molding of submerged surfaces |
| US4346588A (en) * | 1980-12-22 | 1982-08-31 | Tuttle Douglas E | Reproducing surface testing method and apparatus |
| JPS5979832A (ja) * | 1982-10-29 | 1984-05-09 | Showa Denko Kk | 二段レブリカ法による検鏡試料の作成方法 |
| JPH02170010A (ja) * | 1988-12-23 | 1990-06-29 | Kawasaki Steel Corp | 表面粗さ測定用レプリカ採取方法 |
| JPH03221831A (ja) * | 1990-01-29 | 1991-09-30 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 疲労破面解析法 |
| JPH0545266A (ja) * | 1991-08-14 | 1993-02-23 | Canon Inc | 原子間力顕微鏡用試料作成方法 |
-
1994
- 1994-06-30 FR FR9408058A patent/FR2722001B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-06-28 US US08/495,395 patent/US5610326A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-06-28 DE DE69506484T patent/DE69506484T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-06-28 EP EP95401538A patent/EP0690301B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-28 CA CA002152887A patent/CA2152887C/fr not_active Expired - Fee Related
- 1995-06-29 IL IL11439595A patent/IL114395A/xx active IP Right Revival
- 1995-06-30 JP JP7166275A patent/JP2963643B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012117849A (ja) * | 2010-11-29 | 2012-06-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 組織転写方法、組織観察方法並びに組織転写器具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69506484T2 (de) | 1999-06-10 |
| CA2152887C (fr) | 2003-09-30 |
| DE69506484D1 (de) | 1999-01-21 |
| CA2152887A1 (fr) | 1995-12-31 |
| FR2722001A1 (fr) | 1996-01-05 |
| EP0690301A1 (fr) | 1996-01-03 |
| IL114395A0 (en) | 1995-10-31 |
| EP0690301B1 (fr) | 1998-12-09 |
| FR2722001B1 (fr) | 1996-08-02 |
| JP2963643B2 (ja) | 1999-10-18 |
| US5610326A (en) | 1997-03-11 |
| IL114395A (en) | 1999-04-11 |
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