JPH0545266A - 原子間力顕微鏡用試料作成方法 - Google Patents
原子間力顕微鏡用試料作成方法Info
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- JPH0545266A JPH0545266A JP20412691A JP20412691A JPH0545266A JP H0545266 A JPH0545266 A JP H0545266A JP 20412691 A JP20412691 A JP 20412691A JP 20412691 A JP20412691 A JP 20412691A JP H0545266 A JPH0545266 A JP H0545266A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 検体１の観察面１’に樹脂溶液を塗付し、硬
化させ、レプリカ２を形成する。次いで、検体から機械
的に剥離したレプリカ２を支持体３上に接着して、原子
間力顕微鏡用の試料を作成する。 【効果】 原子間力顕微鏡による観察が、大形状の検体
においても可能になった。
化させ、レプリカ２を形成する。次いで、検体から機械
的に剥離したレプリカ２を支持体３上に接着して、原子
間力顕微鏡用の試料を作成する。 【効果】 原子間力顕微鏡による観察が、大形状の検体
においても可能になった。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、原子間力顕微鏡用の試
料作成方法に関する。
料作成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】原子間力顕微鏡（Atomic Force Microsc
ope ；以下、ＡＦＭと略す。）は、試料表面に対して１
mm以下の距離に接近させた探針と試料表面との間に働く
原子間力を利用した顕微観察用装置である。（バイニン
グ エト アル，フィズ．レブ．レット；Binning et a
l., Phys. Rev. Lett. 56, 930, 1986）。図２は原子間
力顕微鏡の構成を示す概念図である。ＡＦＭは、探針４
０、探針を支持するカンチレバー（弾性体）３０、カン
チレバーの撓み量を検出する検出系及び探針と試料との
相対位置を三次元で制御する制御系とからなる。試料表
面と探針４０との間に働く原子間力はカンチレバー３０
の撓み量によって計算される。この原子間力が一定とな
るように、三次元駆動素子９０によって試料表面と探針
との間を制御しながら、試料位置を三次元的に移動させ
ることによって、試料表面の三次元構造がナノメートル
以下の分解能で観察できる。
ope ；以下、ＡＦＭと略す。）は、試料表面に対して１
mm以下の距離に接近させた探針と試料表面との間に働く
原子間力を利用した顕微観察用装置である。（バイニン
グ エト アル，フィズ．レブ．レット；Binning et a
l., Phys. Rev. Lett. 56, 930, 1986）。図２は原子間
力顕微鏡の構成を示す概念図である。ＡＦＭは、探針４
０、探針を支持するカンチレバー（弾性体）３０、カン
チレバーの撓み量を検出する検出系及び探針と試料との
相対位置を三次元で制御する制御系とからなる。試料表
面と探針４０との間に働く原子間力はカンチレバー３０
の撓み量によって計算される。この原子間力が一定とな
るように、三次元駆動素子９０によって試料表面と探針
との間を制御しながら、試料位置を三次元的に移動させ
ることによって、試料表面の三次元構造がナノメートル
以下の分解能で観察できる。
【０００３】ＡＦＭにおいては、絶縁性物質の原子、分
子レベルでの観察が可能である為、特に半導体レジス
ト、生体高分子などの分野での広い応用が期待されてい
る。
子レベルでの観察が可能である為、特に半導体レジス
ト、生体高分子などの分野での広い応用が期待されてい
る。
【０００４】ところで、カンチレバーの撓み量を検出す
る方法としては、次の２つがある。第１の方法は、図２
に示されるように、カンチレバー３０背後に設けた光源
１０から光を照射し、その反射光スポットの位置のずれ
から、カンチレバー３０の撓み量を求める光てこ法であ
る。また、図３に示される第２の方法は、カンチレバー
３０背面を導電コートし、この背面に導電性探針１１０
を接近させ、両者間に流れるトンネル電流の大きさから
カンチレバーの撓み量を求めるトンネル電流法である。
尚、図中２０は二分割フォトダイオード、４０は探針、
５０は試料、６０はレンズ、７０はレバーホルダー、８
０は試料ステージ。９０は三次元駆動素子、１００はピ
エゾ素子である。
る方法としては、次の２つがある。第１の方法は、図２
に示されるように、カンチレバー３０背後に設けた光源
１０から光を照射し、その反射光スポットの位置のずれ
から、カンチレバー３０の撓み量を求める光てこ法であ
る。また、図３に示される第２の方法は、カンチレバー
３０背面を導電コートし、この背面に導電性探針１１０
を接近させ、両者間に流れるトンネル電流の大きさから
カンチレバーの撓み量を求めるトンネル電流法である。
尚、図中２０は二分割フォトダイオード、４０は探針、
５０は試料、６０はレンズ、７０はレバーホルダー、８
０は試料ステージ。９０は三次元駆動素子、１００はピ
エゾ素子である。
【０００５】上述方法により検出を行なう為、走査は三
次元駆動素子により試料ステージを動かして行なう。従
って、試料の大きさは、三次元駆動素子によって制御し
得る試料ステージの大きさによって制限される。通常、
直径１５mm以下、厚さ１０mm以下のフラットな形状の試
料が一般的に用いられる。
次元駆動素子により試料ステージを動かして行なう。従
って、試料の大きさは、三次元駆動素子によって制御し
得る試料ステージの大きさによって制限される。通常、
直径１５mm以下、厚さ１０mm以下のフラットな形状の試
料が一般的に用いられる。
【０００６】ここで、上記形状の試料を得ることが困難
な場合には、試料表面の形状を樹脂材料等に転写させる
レプリカ法が従来より利用されてきた。
な場合には、試料表面の形状を樹脂材料等に転写させる
レプリカ法が従来より利用されてきた。
【０００７】しかし、従来のレプリカ法は、図４に示さ
れるように、主として透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）の観
察試料作成を目的としているので、次に示すような煩雑
な工程が含まれていた。
れるように、主として透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）の観
察試料作成を目的としているので、次に示すような煩雑
な工程が含まれていた。
【０００８】１．電子線を透過させるために、最終的な
レプリカの膜厚を１００nm以下に制御しなければならな
い。
レプリカの膜厚を１００nm以下に制御しなければならな
い。
【０００９】２．像のコントラストを強くするために、
レプリカ表面に金属（Ｃｒ，Ｐｔ−Ｐｄ等）を一定の角
度で真空蒸着（シャドウイング）する必要がある。
レプリカ表面に金属（Ｃｒ，Ｐｔ−Ｐｄ等）を一定の角
度で真空蒸着（シャドウイング）する必要がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上述
の従来レプリカ法を、原子間力顕微鏡用試料の作成に適
した方法に改良し、直接観察することの困難な試料のレ
プリカを容易に作成することにある。
の従来レプリカ法を、原子間力顕微鏡用試料の作成に適
した方法に改良し、直接観察することの困難な試料のレ
プリカを容易に作成することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、検体の観察面上に、樹脂性硬化材料を
塗付し、硬化させ、レプリカを形成した後、検体とレプ
リカとを剥離し、レプリカの検体の観察面が転写された
面の反対面と支持体とを接着させる原子間力顕微鏡用作
成方法である。
めに、本発明は、検体の観察面上に、樹脂性硬化材料を
塗付し、硬化させ、レプリカを形成した後、検体とレプ
リカとを剥離し、レプリカの検体の観察面が転写された
面の反対面と支持体とを接着させる原子間力顕微鏡用作
成方法である。
【００１２】また、本発明は、検体の観察面上に、溶剤
を介して、樹脂性材料からなるフィルムを貼着し、前記
フィルムに検体の観察面を転写した後、検体とフィルム
とを剥離し、フィルムの反対面と反対面と支持体とを接
着する原子間力顕微鏡用試料作成方法である。
を介して、樹脂性材料からなるフィルムを貼着し、前記
フィルムに検体の観察面を転写した後、検体とフィルム
とを剥離し、フィルムの反対面と反対面と支持体とを接
着する原子間力顕微鏡用試料作成方法である。
【００１３】以下、本発明を詳細に説明する。
【００１４】本発明の原子間力顕微鏡用の試料作成方法
の手順を図１に示す。図中、１は検体、１’は観察面、
２はレプリカ、２’は転写面、３はレプリカ支持体であ
る。
の手順を図１に示す。図中、１は検体、１’は観察面、
２はレプリカ、２’は転写面、３はレプリカ支持体であ
る。
【００１５】検体１の観察面１’上に樹脂性硬化材料を
塗付し、硬化させ、レプリカ２を形成する。次に、検体
１とレプリカ２を機械的に剥離し、レプリカの転写面
２’の反対面と支持体３とを接着する。
塗付し、硬化させ、レプリカ２を形成する。次に、検体
１とレプリカ２を機械的に剥離し、レプリカの転写面
２’の反対面と支持体３とを接着する。
【００１６】前記樹脂性硬化材料としては、モノマーに
重合触媒を含有させた溶液を湯煎にかけて得られる半重
合体が好ましい。
重合触媒を含有させた溶液を湯煎にかけて得られる半重
合体が好ましい。
【００１７】前記モノマーとしては、具体的には例え
ば、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、ス
チレン等を挙げることができる。
ば、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、ス
チレン等を挙げることができる。
【００１８】重合触媒としては、具体的には例えば、過
酸化ベンゾイルを挙げることができる。重合触媒はモノ
マーに対して１〜３wt. ％含有させることが好ましい。
湯煎温度は７０〜９０℃が好ましい。
酸化ベンゾイルを挙げることができる。重合触媒はモノ
マーに対して１〜３wt. ％含有させることが好ましい。
湯煎温度は７０〜９０℃が好ましい。
【００１９】上記半重合体を検体に塗付した後の硬化条
件、例えば、硬化雰囲気、温度、時間等は公知の条件に
よる。
件、例えば、硬化雰囲気、温度、時間等は公知の条件に
よる。
【００２０】レプリカを検体から剥離させる方法は、機
械的引き剥し法を用いる。
械的引き剥し法を用いる。
【００２１】また、レプリカを接着する支持体として
は、ＡＦＭ装置の試料固定マグネットで固定可能な研磨
仕上げをした金属板が好ましい。
は、ＡＦＭ装置の試料固定マグネットで固定可能な研磨
仕上げをした金属板が好ましい。
【００２２】ここで、接着方法としては、エポキシ系接
着剤、アクリル系接着剤等の接着剤を用いる方法が好ま
しい。また、本発明は樹脂性硬化材料として、前記半重
合体のかわりに樹脂フィルムを用いてもよい。ここで樹
脂フィルムとしては、具体的には、例えば、アセチルセ
ルロース、トリアセチルセルロース等からなるフィルム
が好ましい。
着剤、アクリル系接着剤等の接着剤を用いる方法が好ま
しい。また、本発明は樹脂性硬化材料として、前記半重
合体のかわりに樹脂フィルムを用いてもよい。ここで樹
脂フィルムとしては、具体的には、例えば、アセチルセ
ルロース、トリアセチルセルロース等からなるフィルム
が好ましい。
【００２３】尚、前記樹脂フィルムは、溶剤を介して、
検体上に貼着される。
検体上に貼着される。
【００２４】この場合、溶剤としては、アセチルセルロ
ースフィルムに対しては酢酸メチル、トリアセチルセル
ロースフィルムに対しては二塩化エチレン（１０％メタ
ノール添加）等が適している。
ースフィルムに対しては酢酸メチル、トリアセチルセル
ロースフィルムに対しては二塩化エチレン（１０％メタ
ノール添加）等が適している。
【００２５】その他の作成条件は、前記方法と同様であ
る。
る。
【００２６】以上のようにして作成した試料は、原子間
力顕微鏡の試料ステージに固定され、観察に供される。
力顕微鏡の試料ステージに固定され、観察に供される。
【００２７】
【実施例】以下、実施例により、本発明を更に具体的に
説明する。
説明する。
【００２８】実施例１ 本発明の原子間力顕微鏡用の試料作成方法の手順を図１
に示した。図中、１は検体、１’は観察面、２はレプリ
カ、２’は転写面、３はレプリカ支持体である。
に示した。図中、１は検体、１’は観察面、２はレプリ
カ、２’は転写面、３はレプリカ支持体である。
【００２９】検体１の観察面１’上に樹脂性硬化材料を
塗付し、硬化させ、レプリカを形成した。次に、検体１
とレプリカ２を機械的に剥離し、レプリカの転写面２’
の反対面と支持体３とを接着した。まず前記樹脂性硬化
材料を次の要領で調整した。メチルメタクリレートのモ
ノマーに対して、重合触媒として過酸化ベンゾイル１．
５％（ｗ／ｖ）を加えた溶液を約９０℃で湯煎して半重
合体を得た。
塗付し、硬化させ、レプリカを形成した。次に、検体１
とレプリカ２を機械的に剥離し、レプリカの転写面２’
の反対面と支持体３とを接着した。まず前記樹脂性硬化
材料を次の要領で調整した。メチルメタクリレートのモ
ノマーに対して、重合触媒として過酸化ベンゾイル１．
５％（ｗ／ｖ）を加えた溶液を約９０℃で湯煎して半重
合体を得た。
【００３０】次いで、前記半重合体を、検体の観察面上
に、１mm程度の厚さに塗付し、７０℃、３時間で重合を
完了させレプリカを得た。
に、１mm程度の厚さに塗付し、７０℃、３時間で重合を
完了させレプリカを得た。
【００３１】次いで、検体から剥離したレプリカを、転
写面の反対面が支持体と対向するように、エポキシ系接
着剤で接着し原子間力顕微鏡用試料を得た。ここで支持
体はＡＦＭ付属の試料固定板を使用した。
写面の反対面が支持体と対向するように、エポキシ系接
着剤で接着し原子間力顕微鏡用試料を得た。ここで支持
体はＡＦＭ付属の試料固定板を使用した。
【００３２】実施例２ 樹脂性硬化材料として、メチルメタクリレートのかわり
にエチルメタクリレートを用い、更に過酸化ベンゾイル
の含有量をエチルメタクリレートに対して１％（ｗ／
ｖ）とした以外は実施例１と同様に、原子間力顕微鏡用
試料を作成した。
にエチルメタクリレートを用い、更に過酸化ベンゾイル
の含有量をエチルメタクリレートに対して１％（ｗ／
ｖ）とした以外は実施例１と同様に、原子間力顕微鏡用
試料を作成した。
【００３３】実施例３ 実施例２において、エチルメタクリレートをスチレンに
かえた以外は実施例２と同様にして、原子間力顕微鏡用
試料を作成した。
かえた以外は実施例２と同様にして、原子間力顕微鏡用
試料を作成した。
【００３４】実施例４ 検体の観察面上に、酢酸メチルを介して、アセチルセル
ロースからなるフィルムを貼着した。数分後、検体から
剥離させたフィルムを、転写面の裏面と支持体とが対向
するように、エポキシ系接着剤を介して、支持体に接着
し、原子間力顕微鏡用試料を作成した。
ロースからなるフィルムを貼着した。数分後、検体から
剥離させたフィルムを、転写面の裏面と支持体とが対向
するように、エポキシ系接着剤を介して、支持体に接着
し、原子間力顕微鏡用試料を作成した。
【００３５】
【発明の効果】本発明を用いることによって、広範囲の
検体において、容易にＡＦＭ観察を行なうことが可能に
なる。特に、ＡＦＭ試料ステージ上に設置することが困
難である大形状の検体において有効である。
検体において、容易にＡＦＭ観察を行なうことが可能に
なる。特に、ＡＦＭ試料ステージ上に設置することが困
難である大形状の検体において有効である。
【図１】本発明の原子間力顕微鏡用試料作成方法を模式
的に示す工程図である。
的に示す工程図である。
【図２】原子間力顕微鏡の構成を示す概念図である。
【図３】原子間力顕微鏡の検出部分を示す拡大図であ
る。
る。
【図４】従来のレプリカ法を模式的に示す工程図であ
る。
る。
１ 検体 １’ 観察面 ２ レプリカ ２’ レプリカ転写面 ３ 支持体 １０ 光源 ２０ 二分割フォトダイオード ３０ カンチレバー ４０ 探針 ５０ 試料 ６０ レンズ ７０ レバーホルダー ８０ 試料ステージ ９０ 三次元駆動素子 １００ ピエゾ素子 １１０ 導電性探針
フロントページの続き (72)発明者 畑中 勝則 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 検体の観察面上に、樹脂性硬化材料を塗
付して硬化させ、レプリカを形成した後、検体とレプリ
カとを剥離し、検体の観察面が転写されたレプリカ面の
反対面と支持体とを接着させることを特徴とする原子間
力顕微鏡用試料作成方法。 - 【請求項２】 検体の観察面上に、溶剤を介して、樹脂
性材料からなるフィルムを貼着し、前記フィルムに検体
の観察面を転写した後、検体とフィルムとを剥離し、フ
ィルムの反対面と反対面と支持体とを接着させることを
特徴とする原子間力顕微鏡用試料作成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20412691A JPH0545266A (ja) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | 原子間力顕微鏡用試料作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20412691A JPH0545266A (ja) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | 原子間力顕微鏡用試料作成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0545266A true JPH0545266A (ja) | 1993-02-23 |
Family
ID=16485260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20412691A Pending JPH0545266A (ja) | 1991-08-14 | 1991-08-14 | 原子間力顕微鏡用試料作成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0545266A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0690301A1 (fr) * | 1994-06-30 | 1996-01-03 | Societe Nationale D'etude Et De Construction De Moteurs D'aviation "Snecma" | Procédé de caractérisation non destructif de l'état de surface d'une pièce |
| US5829555A (en) * | 1996-03-06 | 1998-11-03 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Disc brake caliper assembly |
| US7481098B2 (en) * | 2007-06-18 | 2009-01-27 | United Technologies Corporation | Method of determining depth of intergranular attack (IGA) for a metal part |
| WO2018016062A1 (ja) * | 2016-07-22 | 2018-01-25 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | パターン評価装置 |
| CN107656097A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-02-02 | 中国石油大学(华东) | 一种便于afm测试涂层生长动力学模型的样品制备方法 |
-
1991
- 1991-08-14 JP JP20412691A patent/JPH0545266A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0690301A1 (fr) * | 1994-06-30 | 1996-01-03 | Societe Nationale D'etude Et De Construction De Moteurs D'aviation "Snecma" | Procédé de caractérisation non destructif de l'état de surface d'une pièce |
| FR2722001A1 (fr) * | 1994-06-30 | 1996-01-05 | Snecma | Procede de caracterisation non destructif de l'etat de surface d'une piece |
| US5610326A (en) * | 1994-06-30 | 1997-03-11 | Societe Nationale D'etude Et De Construction De Moteurs D'aviation "Snecma" | Non-destructive process for characterizing the surface condition of a part |
| US5829555A (en) * | 1996-03-06 | 1998-11-03 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Disc brake caliper assembly |
| US7481098B2 (en) * | 2007-06-18 | 2009-01-27 | United Technologies Corporation | Method of determining depth of intergranular attack (IGA) for a metal part |
| US7603890B2 (en) * | 2007-06-18 | 2009-10-20 | United Technologies Corporation | Method of inspecting a metal alloy part for incipient melting |
| WO2018016062A1 (ja) * | 2016-07-22 | 2018-01-25 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | パターン評価装置 |
| CN107656097A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-02-02 | 中国石油大学(华东) | 一种便于afm测试涂层生长动力学模型的样品制备方法 |
| CN107656097B (zh) * | 2017-10-31 | 2023-09-22 | 中国石油大学(华东) | 一种便于afm测试涂层生长动力学模型的样品制备方法 |
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