JPH03221831A - 疲労破面解析法 - Google Patents
疲労破面解析法Info
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- JPH03221831A JPH03221831A JP2016201A JP1620190A JPH03221831A JP H03221831 A JPH03221831 A JP H03221831A JP 2016201 A JP2016201 A JP 2016201A JP 1620190 A JP1620190 A JP 1620190A JP H03221831 A JPH03221831 A JP H03221831A
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- replica
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- 238000004458 analytical method Methods 0.000 title description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims abstract description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 claims description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
- G01N1/2806—Means for preparing replicas of specimens, e.g. for microscopal analysis
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は疲労破面の損傷過程を把握するのに適用される
破面解析法に関する。
破面解析法に関する。
従来の疲労破面の解析法を第２図に示す。まず、破面１
を洗浄後、導電性及び二次電子像をよくするために金蒸
着を行い、その後金蒸着破面を走査型電子顕微鏡に装着
して破面像を観察しストライエーション模様が観察され
れば、像を撮影し、写真上でストライエーションピッチ
を測定し、損傷過程を把握していた。
を洗浄後、導電性及び二次電子像をよくするために金蒸
着を行い、その後金蒸着破面を走査型電子顕微鏡に装着
して破面像を観察しストライエーション模様が観察され
れば、像を撮影し、写真上でストライエーションピッチ
を測定し、損傷過程を把握していた。
第２図に示した従来の手法では、破面を走査型電子顕微
鏡に装着し、観察する際、装置が真空度を必要とするた
め時間を要する（試料挿入から観察できる状態−約２分
、観察位置の選択及び写真撮影−最短で約５分）。又、
写真ができあがった後、写真上でのストライエーション
ピッチを入力によって測定し、損傷過程を把握していた
のでかなりの時間及び入力を必要とし、又、測定者によ
ってはピッチ寸法の誤差を生じることもありデーターの
信頼性にかけていた。
鏡に装着し、観察する際、装置が真空度を必要とするた
め時間を要する（試料挿入から観察できる状態−約２分
、観察位置の選択及び写真撮影−最短で約５分）。又、
写真ができあがった後、写真上でのストライエーション
ピッチを入力によって測定し、損傷過程を把握していた
のでかなりの時間及び入力を必要とし、又、測定者によ
ってはピッチ寸法の誤差を生じることもありデーターの
信頼性にかけていた。
又、試料が大きいと保管も大変であった。
本発明は上記技術水準に鑑み、疲労破面解析に用いるス
トライエーションピッチ測定が迅速かつ、正確に行える
方法を提供しようとするものである。
トライエーションピッチ測定が迅速かつ、正確に行える
方法を提供しようとするものである。
本発明は疲労被面特有のストライエーション模様を観察
するに当り、プラスチック膜のレプリカを用いて破面形
状を転写後、上記転写面に金蒸着を行ない、レーザ顕微
鏡にセットし、付設のモニターにてストライエーション
模様を画像処理することを特徴とする疲労破面解析法で
ある。
するに当り、プラスチック膜のレプリカを用いて破面形
状を転写後、上記転写面に金蒸着を行ない、レーザ顕微
鏡にセットし、付設のモニターにてストライエーション
模様を画像処理することを特徴とする疲労破面解析法で
ある。
第１図に本発明である疲労破面解析法の概要図を示す。
まず破面表面１にプラスチック膜（アセチセルロイド）
のレプリカ２を押貼し、破面を転写する。転写後、膜面
２に金蒸着３を行い、その後、金蒸着した膜面２を市販
されているレーザー顕微鏡にセットし、画像を記憶させ
る。なお、レーザー顕微鏡は大気中で観察でき、又焦点
深度が深ものでも観察できる機構をもっている。記憶さ
れた画像上で寸法測定でき従来の方法より短時間（真空
中での試料観察がないため）で画像から寸法計測までで
きる。又、実体試料を保存することなくレプリカ試料厚
さ２ｍｍ程度のもので保存することができる。
のレプリカ２を押貼し、破面を転写する。転写後、膜面
２に金蒸着３を行い、その後、金蒸着した膜面２を市販
されているレーザー顕微鏡にセットし、画像を記憶させ
る。なお、レーザー顕微鏡は大気中で観察でき、又焦点
深度が深ものでも観察できる機構をもっている。記憶さ
れた画像上で寸法測定でき従来の方法より短時間（真空
中での試料観察がないため）で画像から寸法計測までで
きる。又、実体試料を保存することなくレプリカ試料厚
さ２ｍｍ程度のもので保存することができる。
〔作用〕
実体の破面を観察することなくレプリカフィルムを用い
ることで試料の保存が容易にでき、なおかつ、実体と同
等の破面観察ができる。又、レーザーを用いることによ
り、観察及び測定に要する時間を短縮ができる。
ることで試料の保存が容易にでき、なおかつ、実体と同
等の破面観察ができる。又、レーザーを用いることによ
り、観察及び測定に要する時間を短縮ができる。
本発明の破面解析法の一実施例について述べる。まず、
調査する破面１の表面に、プラスチック膜（アセチセル
ロイド）であるレプリカフィルム２を押貼し、その後乾
燥させ剥離させる。
調査する破面１の表面に、プラスチック膜（アセチセル
ロイド）であるレプリカフィルム２を押貼し、その後乾
燥させ剥離させる。
次に剥離させたレプリカフィルム２の膜面に導電性及び
二次電子像をよくするために金蒸着３を行い、その後、
レーザー顕微鏡４にセットし、モニター５によって画像
を観察する。次に、装置をオペレートすることによりピ
ッチ表示するための画像６が表示され、ストライエーシ
ョンピッチを測定する。
二次電子像をよくするために金蒸着３を行い、その後、
レーザー顕微鏡４にセットし、モニター５によって画像
を観察する。次に、装置をオペレートすることによりピ
ッチ表示するための画像６が表示され、ストライエーシ
ョンピッチを測定する。
本発明の破面解析法を用いることにより、疲労破面解析
に用いるストライエーションピッチ測定が迅速かつ、正
確に測定することができる。
に用いるストライエーションピッチ測定が迅速かつ、正
確に測定することができる。
第１図は本発明の一実施例の解析法を説明するための概
要図、第２図は従来の解析法の概念図である。
要図、第２図は従来の解析法の概念図である。
Claims (1)
- 疲労被面特有のストライエーション模様を観察するに
当り、プラスチック膜のレプリカを用いて破面形状を転
写後、上記転写面に金蒸着を行ない、レーザ顕微鏡にセ
ットし、付設のモニターにてストライエーション模様を
画像処理することを特徴とする疲労破面解析法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016201A JPH03221831A (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | 疲労破面解析法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016201A JPH03221831A (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | 疲労破面解析法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03221831A true JPH03221831A (ja) | 1991-09-30 |
Family
ID=11909897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016201A Pending JPH03221831A (ja) | 1990-01-29 | 1990-01-29 | 疲労破面解析法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03221831A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0690301A1 (fr) * | 1994-06-30 | 1996-01-03 | Societe Nationale D'etude Et De Construction De Moteurs D'aviation "Snecma" | Procédé de caractérisation non destructif de l'état de surface d'une pièce |
| JPH11101625A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-13 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 空間周波数分析による破面解析方法 |
| US7481098B2 (en) * | 2007-06-18 | 2009-01-27 | United Technologies Corporation | Method of determining depth of intergranular attack (IGA) for a metal part |
| JP2009085737A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Hitachi Ltd | 破面解析方法及び装置 |
-
1990
- 1990-01-29 JP JP2016201A patent/JPH03221831A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0690301A1 (fr) * | 1994-06-30 | 1996-01-03 | Societe Nationale D'etude Et De Construction De Moteurs D'aviation "Snecma" | Procédé de caractérisation non destructif de l'état de surface d'une pièce |
| FR2722001A1 (fr) * | 1994-06-30 | 1996-01-05 | Snecma | Procede de caracterisation non destructif de l'etat de surface d'une piece |
| US5610326A (en) * | 1994-06-30 | 1997-03-11 | Societe Nationale D'etude Et De Construction De Moteurs D'aviation "Snecma" | Non-destructive process for characterizing the surface condition of a part |
| JPH11101625A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-13 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 空間周波数分析による破面解析方法 |
| US7481098B2 (en) * | 2007-06-18 | 2009-01-27 | United Technologies Corporation | Method of determining depth of intergranular attack (IGA) for a metal part |
| US7603890B2 (en) * | 2007-06-18 | 2009-10-20 | United Technologies Corporation | Method of inspecting a metal alloy part for incipient melting |
| JP2009085737A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Hitachi Ltd | 破面解析方法及び装置 |
| JP4686522B2 (ja) * | 2007-09-28 | 2011-05-25 | 株式会社日立製作所 | 破面解析方法及び装置 |
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